JP2001074904A - 二波長反射防止膜 - Google Patents

二波長反射防止膜

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JP2001074904A
JP2001074904A JP24815699A JP24815699A JP2001074904A JP 2001074904 A JP2001074904 A JP 2001074904A JP 24815699 A JP24815699 A JP 24815699A JP 24815699 A JP24815699 A JP 24815699A JP 2001074904 A JP2001074904 A JP 2001074904A
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film
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antireflection
layer
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Minoru Otani
実 大谷
Kenji Ando
謙二 安藤
Yasuyuki Suzuki
康之 鈴木
Ryuji Hiroo
竜二 枇榔
Hidehiro Kanazawa
秀宏 金沢
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Canon Inc
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    • G02—OPTICS
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    • G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11—Anti-reflection coatings
    • G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
    • G02B1/115—Multilayers

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 等の酸化物のみを用い
て、波長２４８ｎｍの紫外光と波長６３３ｎｍの可視光
に対して反射防止特性を有する二波長反射防止膜を実現
する。 【解決手段】 石英等の基板１０上に、ＳｉＯ2 膜であ
る低屈折率膜２１とＡｌ 2 Ｏ3 膜である高屈折率膜２２
からなる１０層膜構成の交互多層膜２０を設ける。空気
媒質側から奇数層が低屈折率膜２１、偶数層が高屈折率
膜２２であり、第１波長λ1 （２４８ｎｍ）における低
屈折率膜２１の屈折率が１．４５〜１．５２、高屈折率
膜２２の屈折率が１．６５〜１．８である。空気媒質側
から第１層、第２層、第３層の光学膜厚をそれぞれ０．
２１λ1 〜０．２８λ1 として上記二波長域における反
射防止効果を得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、石英等を基板とす
る光学素子の表面にコーティングされる二波長反射防止
膜であって、特に、波長２４８ｎｍの紫外光、例えばＫ
ｒＦエキシマレーザと、可視光である波長６３３ｎｍの
光、例えばＨｅ−Ｎｅレーザの２つの波長領域において
反射防止効果のある二波長反射防止膜に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、波長が３００ｎｍ以下の紫外光と
可視光の２つの波長領域に対する反射防止膜として、酸
化物膜と弗化物膜を利用した特公平７−７１２４号公報
や特公平７−１０７５６３号公報等に開示されている膜
構成が知られている。また、酸化物膜を用いた６層の膜
構成も特開平７−２１８７０１号公報等に開示されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例では、弗化物膜を用いると耐環境性の面で性能が劣化
しやすいという問題点があり、また、耐環境性にすぐれ
た酸化物膜のみの膜構成では反射防止帯域幅が狭いとい
う未解決の課題があった。
【０００４】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、波長２４８ｎｍの紫
外光と波長６３３ｎｍの可視光の２つの波長領域におい
て良好な反射防止特性を有し、しかも耐久性にすぐれた
高性能な二波長反射防止膜を提供することを目的とする
ものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の二波長反射防止膜は、第１波長λ1 が２４
８ｎｍ、第２波長λ2 が６３３ｎｍであり、これらをそ
れぞれ中心波長とする２つの波長領域において反射防止
特性をもつ二波長反射防止膜であって、空気媒質側から
数えて奇数層を低屈折率膜、偶数層を高屈折率膜とする
１０層構成の交互多層膜を有し、前記第１波長λ1 にお
ける前記高屈折率膜の屈折率が１．６５〜１．８、前記
低屈折率膜の屈折率が１．４５〜１．５２であり、前記
空気媒質側から第１層と第２層と第３層の光学膜厚がそ
れぞれ０．２１λ1 〜０．２８λ 1 の範囲であることを
特徴とする。
【０００６】また、第１波長λ1 が２４８ｎｍ、第２波
長λ2 が６３３ｎｍであり、これらをそれぞれ中心波長
とする２つの波長領域において反射防止特性をもつ二波
長反射防止膜であって、空気媒質側から数えて奇数層を
低屈折率膜、偶数層を高屈折率膜とする８層構成の交互
多層膜を有し、前記第１波長λ1 における前記高屈折率
膜の屈折率が１．６５〜１．８、前記低屈折率膜の屈折
率が１．４５〜１．５２であり、前記空気媒質側から第
１層と第２層と第３層の光学膜厚がそれぞれ０．２３λ
1 〜０．２８λ1 の範囲であることを特徴とする二波長
反射防止膜でもよい。
【０００７】
【作用】耐環境性にすぐれたＡｌ2 Ｏ3 膜やＳｉＯ2 膜
等の酸化物膜のみを用いて、紫外光域と可視光域の２つ
の波長領域で良好な反射防止特性を有する二波長反射防
止膜を実現できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基い
て説明する。
【０００９】図１は第１の実施の形態による二波長反射
防止膜の膜構成を示す。これは、第１波長λ1 ＝２４８
ｎｍと第２波長λ2 ＝６３３ｎｍをそれぞれ中心波長と
する２つの波長領域において反射防止特性を有する二波
長反射防止膜であり、石英等の基板１０上に、低屈折率
膜２１と高屈折率膜２２を５層ずつ合計１０層からなる
交互多層膜２０を積層したものである。
【００１０】空気媒質側から基板側に向かって奇数層す
なわち、第１層、第３層、第５層、第７層、第９層がＳ
ｉＯ2 等を主成分とする低屈折率膜２１であり、偶数層
すなわち、第２層、第４層、第６層、第８層、第１０層
がＡｌ2 Ｏ3 等を主成分とする高屈折率膜２２である。
低屈折率膜２１の屈折率は、第１波長λ1 において１．
４５〜１．５２、高屈折率膜２２の屈折率は、第１波長
λ1 において１．６５〜１．８となるように成膜材料を
選定する。
【００１１】また、第１層と第２層と第３層の光学膜厚
ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ3 がそれぞれ、０．２１λ1 〜０．２８
λ1 の範囲になるように設定される。
【００１２】このような条件で、交互多層膜２０の各層
の光学膜厚を最適化することで、波長２４８ｎｍの紫外
光域と、第２波長６３３ｎｍの可視光域の２つの波長領
域において良好な反射防止特性を有する二波長反射防止
膜を実現できる。
【００１３】上記１０層構成の交互多層膜２０におい
て、第１層から第１０層のそれぞれの光学膜厚ｄ1 ，ｄ
2 ，ｄ3 ，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 ，ｄ9 ，ｄ10
が以下の式で表わされる範囲であると良好な二波長反射
防止膜となる。 ０．２１λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．３０λ1 ≦ｄ4 ≦０．３５λ1 ０．１２λ1 ≦ｄ5 ≦０．２２λ1 ０．１０λ1 ≦ｄ6 ≦０．２０λ1 ０．５０λ1 ≦ｄ7 ≦０．７０λ1 ０．２０λ1 ≦ｄ8 ≦０．３５λ1 １．００λ1 ≦ｄ9 ≦１．３５λ1 ０．３５λ1 ≦ｄ10≦０．７５λ1
【００１４】また、上記１０層構成の交互多層膜２０に
おいて、第１層から第１０層のそれぞれの光学膜厚ｄ
1 ，ｄ2 ，ｄ3 ，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 ，ｄ
9 ，ｄ10が以下の式で表わされる範囲であると良好な二
波長反射防止膜となる。 ０．２１λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．３０λ1 ≦ｄ4 ≦０．４８λ1 ０．０１λ1 ≦ｄ5 ≦０．１５λ1 ０．２２λ1 ≦ｄ6 ≦０．４１λ1 ０．３９λ1 ≦ｄ7 ≦０．６０λ1 ０．６５λ1 ≦ｄ8 ≦０．８５λ1 ０．２４λ1 ≦ｄ9 ≦０．４５λ1 ０．３２λ1 ≦ｄ10≦０．５８λ1
【００１５】また、上記１０層構成の交互多層膜２０に
おいて、第１層から第１０層のそれぞれの光学膜厚ｄ
1 ，ｄ2 ，ｄ3 ，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 ，ｄ
9 ，ｄ10が以下の式で表わされる範囲であると良好な二
波長反射防止膜となる。 ０．２１λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．２２λ1 ≦ｄ4 ≦０．４６λ1 ０．０５λ1 ≦ｄ5 ≦０．２８λ1 ０．０１λ1 ≦ｄ6 ≦０．２５λ1 ０．５５λ1 ≦ｄ7 ≦０．８０λ1 ０．５５λ1 ≦ｄ8 ≦０．８５λ1 ０．０１λ1 ≦ｄ9 ≦０．１５λ1 ０．０１λ1 ≦ｄ10≦０．１５λ1
【００１６】高屈折率膜２２が耐環境性にすぐれたＡｌ
2 Ｏ3 等を主成分とする酸化物膜であり、低屈折率膜２
１も耐環境性にすぐれたＳｉＯ2 等を主成分とする酸化
物膜が望ましい。
【００１７】このように酸化物膜のみで上記の膜構成に
することで、紫外光域と可視光域の２つの波長領域で所
望の反射防止特性を有し、しかも耐久性にすぐれた高性
能な二波長反射防止膜を実現できる。
【００１８】（実施例１）合成石英ガラスの基板上に波
長２４８ｎｍの紫外光と波長６３３ｎｍの可視光の双方
に反射防止膜効果のある二波長反射防止膜を、表１に示
した膜構成で真空蒸着法を用いて製作した。製作した反
射防止膜の波長２００ｎｍから７００ｎｍの範囲の反射
特性図を図２に示す。また、図３に波長２４８ｎｍ付近
の拡大反射特性図を示す。波長２４８ｎｍで反射率０．
０６％以下、０．２％反射率波長幅３４ｎｍ、波長６３
３ｎｍで反射率０．２％以下と広帯域幅で低反射率であ
る良好な二波長反射防止特性であることが分かる。
【００１９】
【表１】
【００２０】（実施例２）合成石英ガラスの基板上に波
長２４８ｎｍの紫外光と波長６３３ｎｍの可視光の双方
に反射防止膜効果のある二波長反射防止膜を、表２に示
した膜構成でスパッタリング法を用いて製作した。製作
した反射防止膜の波長２００ｎｍから７００ｎｍの範囲
の反射特性図を図４に示す。また、図５に波長２４８ｎ
ｍ付近の拡大反射特性図を示す。波長２４８ｎｍで反射
率０．０５％以下、０．２％反射率波長幅２８ｎｍ、波
長６３３ｎｍで反射率０．５％以下と広帯域幅で低反射
率である良好な二波長反射防止特性であることが分か
る。
【００２１】
【表２】
【００２２】（実施例３）合成石英ガラスの基板上に波
長２４８ｎｍの紫外光と波長６３３ｎｍの可視光の双方
に反射防止膜効果のある二波長反射防止膜を、表３に示
した膜構成でスパッタリング法を用いて製作した。製作
した反射防止膜の波長２００ｎｍから７００ｎｍの範囲
の反射特性図を図６に示す。また、図７に波長２４８ｎ
ｍ付近の拡大反射特性図を示す。波長２４８ｎｍで反射
率０．０５％以下、０．２％反射率波長幅２６ｎｍ、波
長６３３ｎｍで反射率０．５％以下と広帯域幅で低反射
率である良好な二波長反射防止特性であることが分か
る。
【００２３】
【表３】
【００２４】図８は第２の実施の形態による二波長反射
防止膜の膜構成を示す。これは、第１波長λ1 ＝２４８
ｎｍと第２波長λ2 ＝６３３ｎｍをそれぞれ中心波長と
する２つの波長領域において反射防止特性を有する二波
長反射防止膜であり、石英等の基板３０上に、低屈折率
膜４１と高屈折率膜４２を４層ずつ合計８層からなる交
互多層膜４０を積層したものである。
【００２５】空気媒質側から基板側に向かって奇数層す
なわち、第１層、第３層、第５層、第７層がＳｉＯ2 等
の低屈折率膜４１であり、偶数層すなわち、第２層、第
４層、第６層、第８層がＡｌ2 Ｏ3 等の高屈折率膜４２
である。低屈折率膜４１の屈折率は、第１波長λ1 にお
いて１．４５〜１．５２、高屈折率膜４２の屈折率は、
第１波長λ1 において１．６５〜１．８となるように成
膜材料を選定する。
【００２６】また、第１層と第２層と第３層の光学膜厚
ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ3 がそれぞれ、０．２３λ1 〜０．２８
λ1 の範囲になるように設定される。
【００２７】このような条件で、交互多層膜４０の各層
の光学膜厚を最適化することで、波長２４８ｎｍの紫外
光域と、第２波長６３３ｎｍの可視光域の２つの波長領
域において良好な反射防止特性を有する二波長反射防止
膜を実現できる。
【００２８】上記８層構成の交互多層膜４０において、
第１層から第８層のそれぞれの光学膜厚ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ
3 ，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 が以下の式で表わさ
れる範囲であると良好な二波長反射防止膜となる。 ０．２３λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．７２λ1 ≦ｄ4 ≦０．８０λ1 ０．４４λ1 ≦ｄ5 ≦０．５２λ1 ０．７６λ1 ≦ｄ6 ≦０．８５λ1 ０．３３λ1 ≦ｄ7 ≦０．４１λ1 ０．４０λ1 ≦ｄ8 ≦０．５１λ1
【００２９】また、上記８層構成の交互多層膜４０にお
いて、第１層から第８層のそれぞれの光学膜厚ｄ1 ，ｄ
2 ，ｄ3 ，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 が以下の式で
表わされる範囲であると良好な二波長反射防止膜とな
る。 ０．２３λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．７２λ1 ≦ｄ4 ≦０．８０λ1 ０．４４λ1 ≦ｄ5 ≦０．５２λ1 ０．８２λ1 ≦ｄ6 ≦０．９２λ1 ０．２５λ1 ≦ｄ7 ≦０．３５λ1 ０．４３λ1 ≦ｄ8 ≦０．５３λ1
【００３０】また、上記８層構成の交互多層膜４０にお
いて、第１層から第８層のそれぞれの光学膜厚ｄ1 ，ｄ
2 ，ｄ3 ，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 が以下の式で
表わされる範囲であると良好な二波長反射防止膜とな
る。 ０．２３λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ4 ≦０．２８λ1 １．０λ1 ≦ｄ5 ≦１．２λ1 ０．５２λ1 ≦ｄ6 ≦０．６５λ1 ０．２２λ1 ≦ｄ7 ≦０．３１λ1 ０．９６λ1 ≦ｄ8 ≦１．１２λ1
【００３１】また、高屈折率膜４２が耐環境性にすぐれ
たＡｌ2 Ｏ3 等を主成分とする酸化物膜であり、低屈折
率膜４１も耐環境性にすぐれたＳｉＯ2 等を主成分とす
る酸化物膜が望ましい。
【００３２】（実施例４）合成石英ガラスの基板上に波
長２４８ｎｍの紫外光と波長６３３ｎｍの可視光の双方
に反射防止膜効果のある二波長反射防止膜を、表４に示
した膜構成で真空蒸着法を用いて製作した。製作した反
射防止膜の波長２００ｎｍから７００ｎｍの範囲の反射
特性図を図９に示した。また、図１０に波長２４８ｎｍ
付近の拡大反射特性図を示した。波長２４８ｎｍで反射
率０．１５％以下、０．１５％反射率波長幅３２ｎｍ、
６３３ｎｍで反射率０．２％以下と広帯域幅で低反射率
である良好な二波長反射防止特性であることが分かる。
【００３３】
【表４】
【００３４】（実施例５）合成石英ガラスの基板上に波
長２４８ｎｍの紫外光と波長６３３ｎｍの可視光の双方
に反射防止膜効果のある二波長反射防止膜を、表５に示
した膜構成でスパッタリング法を用いて製作した。製作
した反射防止膜の波長２００ｎｍから７００ｎｍの範囲
の反射特性図を図１１に示した。また、図１２に波長２
４８ｎｍ付近の拡大反射特性図を示した。波長２４８ｎ
ｍで反射率０．１％以下、０．１％反射率波長幅２２ｎ
ｍ、６３３ｎｍで反射率０．４％以下と広帯域幅で低反
射率である良好な二波長反射防止特性であることが分か
る。
【００３５】
【表５】
【００３６】（実施例６）合成石英ガラスの基板上に波
長２４８ｎｍの紫外光と波長６３３ｎｍの可視光の双方
に反射防止膜効果のある二波長反射防止膜を、表６に示
した膜構成でスパッタリング法を用いて製作した。製作
した反射防止膜の波長２００ｎｍから７００ｎｍの範囲
の反射特性図を図１３に示した。また、図１４に波長２
４８ｎｍ付近の拡大反射特性図を示した。波長２４８ｎ
ｍで反射率０．１％以下、０．１％反射率波長幅２８ｎ
ｍ、６３３ｎｍで反射率０．５％以下と広帯域幅で低反
射率である良好な二波長反射防止特性であることが分か
る。
【００３７】
【表６】
【００３８】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
【００３９】波長２４８ｎｍの紫外光と波長６３３ｎｍ
の可視光の２つの波長領域に対して極めて有効かつ良好
な反射防止特性を有し、しかも耐久性にすぐれた二波長
反射防止膜を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態による二波長反射防止膜の膜
構成を示す図である。
【図２】実施例１による１０層膜構成の二波長反射防止
膜の波長２００ｎｍから波長７００ｎｍにおける反射防
止特性を示すグラフである。
【図３】実施例１による二波長反射防止膜の波長２４８
ｎｍ付近における反射防止特性を拡大して示すグラフで
ある。
【図４】実施例２による１０層膜構成の二波長反射防止
膜の波長２００ｎｍから波長７００ｎｍにおける反射防
止特性を示すグラフである。
【図５】実施例２による二波長反射防止膜の波長２４８
ｎｍ付近における反射防止特性を拡大して示すグラフで
ある。
【図６】実施例３による１０層膜構成の二波長反射防止
膜の波長２００ｎｍから波長７００ｎｍにおける反射防
止特性を示すグラフである。
【図７】実施例３による二波長反射防止膜の波長２４８
ｎｍ付近における反射防止特性を拡大して示すグラフで
ある。
【図８】第２の実施の形態による二波長反射防止膜の膜
構成を示す図である。
【図９】実施例４による８層膜構成の二波長反射防止膜
の波長２００ｎｍから波長７００ｎｍにおける反射防止
特性を示すグラフである。
【図１０】実施例４による二波長反射防止膜の波長２４
８ｎｍ付近における反射防止特性を拡大して示すグラフ
である。
【図１１】実施例５による８層膜構成の二波長反射防止
膜の波長２００ｎｍから波長７００ｎｍにおける反射防
止特性を示すグラフである。
【図１２】実施例５による二波長反射防止膜の波長２４
８ｎｍ付近における反射防止特性を拡大して示すグラフ
である。
【図１３】実施例６による８層膜構成の二波長反射防止
膜の波長２００ｎｍから波長７００ｎｍにおける反射防
止特性を示すグラフである。
【図１４】実施例６による二波長反射防止膜の波長２４
８ｎｍ付近における反射防止特性を拡大して示すグラフ
である。
【符号の説明】
１０，３０ 基板 ２０，４０ 交互多層膜 ２１，４１ 低屈折率膜 ２２，４２ 高屈折率膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 康之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 枇榔 竜二 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 金沢 秀宏 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2K009 AA09 BB02 CC03 DD03 4F100 AA19B AA19D AA19E AA20A AA20C AA20E BA05 BA07 BA08 BA10A BA10E EH66 EH662 GB41 GB90 JL00 JN06 JN18A JN18B JN18C JN18D JN18E YY00A YY00B YY00C YY00D YY00E

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１波長λ1 が２４８ｎｍ、第２波長λ
    2 が６３３ｎｍであり、これらをそれぞれ中心波長とす
    る２つの波長領域において反射防止特性をもつ二波長反
    射防止膜であって、空気媒質側から数えて奇数層を低屈
    折率膜、偶数層を高屈折率膜とする１０層構成の交互多
    層膜を有し、前記第１波長λ1 における前記高屈折率膜
    の屈折率が１．６５〜１．８、前記低屈折率膜の屈折率
    が１．４５〜１．５２であり、前記空気媒質側から第１
    層と第２層と第３層の光学膜厚がそれぞれ０．２１λ1
    〜０．２８λ1 の範囲であることを特徴とする二波長反
    射防止膜。
  2. 【請求項２】 第１層から第１０層のそれぞれの光学膜
    厚ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ3，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 ，
    ｄ9 ，ｄ10が以下の式で表わされる範囲であることを特
    徴とする請求項１記載の二波長反射防止膜。 ０．２１λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．３０λ1 ≦ｄ4 ≦０．３５λ1 ０．１２λ1 ≦ｄ5 ≦０．２２λ1 ０．１０λ1 ≦ｄ6 ≦０．２０λ1 ０．５０λ1 ≦ｄ7 ≦０．７０λ1 ０．２０λ1 ≦ｄ8 ≦０．３５λ1 １．００λ1 ≦ｄ9 ≦１．３５λ1 ０．３５λ1 ≦ｄ10≦０．７５λ1
  3. 【請求項３】 第１層から第１０層のそれぞれの光学膜
    厚ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ3，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 ，
    ｄ9 ，ｄ10が以下の式で表わされる範囲であることを特
    徴とする請求項１記載の二波長反射防止膜。 ０．２１λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．３０λ1 ≦ｄ4 ≦０．４８λ1 ０．０１λ1 ≦ｄ5 ≦１．１５λ1 ０．２２λ1 ≦ｄ6 ≦０．４１λ1 ０．３９λ1 ≦ｄ7 ≦０．６０λ1 ０．６５λ1 ≦ｄ8 ≦０．８５λ1 ０．２４λ1 ≦ｄ9 ≦０．４５λ1 ０．３２λ1 ≦ｄ10≦０．５８λ1
  4. 【請求項４】 第１層から第１０層のそれぞれの光学膜
    厚ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ3，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 ，
    ｄ9 ，ｄ10が以下の式で表わされる範囲であることを特
    徴とする請求項１記載の二波長反射防止膜。 ０．２１λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２１λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．２２λ1 ≦ｄ4 ≦０．４６λ1 ０．０５λ1 ≦ｄ5 ≦１．２８λ1 ０．０１λ1 ≦ｄ6 ≦０．２５λ1 ０．５５λ1 ≦ｄ7 ≦０．８０λ1 ０．５５λ1 ≦ｄ8 ≦０．８５λ1 ０．０１λ1 ≦ｄ9 ≦０．１５λ1 ０．０１λ1 ≦ｄ10≦０．１５λ1
  5. 【請求項５】 第１波長λ1 が２４８ｎｍ、第２波長λ
    2 が６３３ｎｍであり、これらをそれぞれ中心波長とす
    る２つの波長領域において反射防止特性をもつ二波長反
    射防止膜であって、空気媒質側から数えて奇数層を低屈
    折率膜、偶数層を高屈折率膜とする８層構成の交互多層
    膜を有し、前記第１波長λ1 における前記高屈折率膜の
    屈折率が１．６５〜１．８、前記低屈折率膜の屈折率が
    １．４５〜１．５２であり、前記空気媒質側から第１層
    と第２層と第３層の光学膜厚がそれぞれ０．２３λ1 〜
    ０．２８λ1 の範囲であることを特徴とする二波長反射
    防止膜。
  6. 【請求項６】 第１層から第８層のそれぞれの光学膜厚
    ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ3 ，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 が以
    下の式で表わされる範囲であることを特徴とする請求項
    ５記載の二波長反射防止膜。 ０．２３λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．７２λ1 ≦ｄ4 ≦０．８０λ1 ０．４４λ1 ≦ｄ5 ≦０．５２λ1 ０．７６λ1 ≦ｄ6 ≦０．８５λ1 ０．３３λ1 ≦ｄ7 ≦０．４１λ1 ０．４０λ1 ≦ｄ8 ≦０．５１λ1
  7. 【請求項７】 第１層から第８層のそれぞれの光学膜厚
    ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ3 ，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 が以
    下の式で表わされる範囲であることを特徴とする請求項
    ５記載の二波長反射防止膜。 ０．２３λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．７２λ1 ≦ｄ4 ≦０．８０λ1 ０．４４λ1 ≦ｄ5 ≦０．５２λ1 ０．８２λ1 ≦ｄ6 ≦０．９２λ1 ０．２５λ1 ≦ｄ7 ≦０．３５λ1 ０．４３λ1 ≦ｄ8 ≦０．５３λ1
  8. 【請求項８】 第１層から第８層のそれぞれの光学膜厚
    ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ3 ，ｄ4 ，ｄ5 ，ｄ6 ，ｄ7 ，ｄ8 が以
    下の式で表わされる範囲であることを特徴とする請求項
    ５記載の二波長反射防止膜。 ０．２３λ1 ≦ｄ1 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ2 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ3 ≦０．２８λ1 ０．２３λ1 ≦ｄ4 ≦０．２８λ1 １．０λ1 ≦ｄ5 ≦１．２λ1 ０．５２λ1 ≦ｄ6 ≦０．６５λ1 ０．２２λ1 ≦ｄ7 ≦０．３１λ1 ０．９６λ1 ≦ｄ8 ≦１．１２λ1
  9. 【請求項９】 高屈折率膜の材料がＡｌ2 Ｏ3 を主成分
    とするものであり、 低屈折率膜の材料がＳｉＯ2 を主成分とすることを特徴
    とする請求項１ないし８いずれか１項記載の二波長反射
    防止膜。
  10. 【請求項１０】 基板が石英であることを特徴とする請
    求項１ないし９いずれか１項記載の二波長反射防止膜。
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