JP2001049435A - Liquid double alkoxide of niobium, tantalum and lithium, its production and production of multiple oxide dielectric thin film using it - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a new double alkoxide of niobium, tantalum and lithium hard to be thermal-dissociated, being in a leg. at room temp. and having the properties of beihng capable of distillation, to provide a method for producing it and to provide a method for producing a multiple oxide dielectric thin film using the compd. SOLUTION: This new compd. LiM(OC2H5)4(OC2H4OCH3)2 (M is Nb orTa) is a liq. at room temp., is hard to thermal-dissociated and has the vapor pressure of about 0.3 Torr at 190 deg.C. The compd. can be produced by bringing Li(OC2H4 OCH3) into reaction with M(OC2H5)4(OC2H4OCH3) and next distillating and recovering the same. By using the compd. as the raw material for a CVD method, an LiNbO3 thin film and an LiTaO3 thin film for optical elements can be produced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ニオブ、タンタル
とリチウムとの新規な液体ダブルアルコキシド及びその
製法並びにそれを用いた複合酸化物誘電体の製法に関す
る。The present invention relates to a novel liquid double alkoxide of niobium, tantalum and lithium, a method for producing the same, and a method for producing a composite oxide dielectric using the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ニオブ、タンタルとリチウムとの複合酸
化物を成分とする誘電体薄膜は、高誘電率や強誘電性を
示すものが多い。例えば、ＬｉＮｂＯ_３が光変調素子と
して開発されている。そのほか光通信システムの部品と
して、ＬｉＴａＯ_３薄膜が検討されている。これらの薄
膜を有機金属化合物を原料として製造する方法には、ゾ
ル−ゲル法、ＭＯＤ法（Ｍｅｔａｌｏｒｇａｎｉｃ ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、ＣＶＤ法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，化学気相成長）が
ある。リチウムとニオブ、タンタルとの膜組成を量論比
にしたり、より低温で結晶化させるためには、原子オー
ダーで酸化物結晶の構造に似ているダブルアルコキシド
を原料にすると効果があることが知られている。2. Description of the Related Art Many dielectric thin films containing a composite oxide of niobium, tantalum and lithium have a high dielectric constant or ferroelectricity. For example, LiNbO ₃ has been developed as a light modulation element. In addition, a LiTaO ₃ thin film is being studied as a component of an optical communication system. Methods for producing these thin films using an organometallic compound as a raw material include a sol-gel method and a MOD method (Metalorganic d.
deposition), CVD (Chemical)
vapor deposition). In order to make the film composition of lithium, niobium, and tantalum stoichiometric, or to crystallize at a lower temperature, it is known that it is effective to use a double alkoxide that is similar to the oxide crystal structure in the atomic order as a raw material. Have been.

【０００３】溶液状態で使うゾル−ゲル法やＭＯＤ法の
例としては、特開昭６３−２７０３９７やＳ．Ｈｉｒａ
ｎｏ ａｎｄ Ｋ．Ｋａｔｏ，Ｊ．Ｎｏｎ−Ｃｒｙｓ
ｔ．Ｓｏｌｉｄ，Ｖｏｌ．１００，５３８（１９８８）
がＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_６からのＬｉＮｂＯ_３薄膜作
成を開示している。Examples of the sol-gel method and the MOD method used in a solution state are described in JP-A-63-27097 and S.K. Hira
no and K. Kato, J .; Non-Crys
t. Solid, Vol. 100, 538 (1988)
Discloses the preparation of a LiNbO ₃ thin film from LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₆ .

【０００４】気相状態で使うＣＶＤ法の例としては、Ｕ
Ｓ５，２５８，２０４が、アルカリ金属（Ｍ’＝Ｌｉ，
Ｎａ，Ｋ）βジケトネートとＭ”＝Ｎｂ，Ｔａのアルコ
キシドとの反応生成物である単一前駆体を蒸発させて供
給し、加熱した基板土にＭ’Ｍ”Ｏ_３膜を製造する方法
を開示している。しかしその実施例から明らかなよう
に、Ｌｉ（ｄｐｍ）とＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_５の１：１反
応生成物は溶液から単離同定されることなく、溶液状態
から霧化され、酸素を含んだキャリヤーガスに同伴され
ＣＶＤ室に導かれ基板上で熱分解され膜が生成する。前
駆体である単一の反応生成物は、単離同定がなされてお
らず、またＣＶＤの原料として重要な物性である蒸気
圧、融点や熱安定性が不明であるので、量産用には問題
があった。As an example of a CVD method used in a gas phase, U.S. Pat.
S5, 258, and 204 are alkali metals (M ′ = Li,
Na, K) β-diketonate and M ″ = Nb, Ta A single precursor, which is a reaction product, is evaporated and supplied to produce a M′M ″ O ₃ film on a heated substrate soil. Has been disclosed. However, as is clear from the examples, the 1: 1 reaction product of Li (dpm) and Nb (OC ₂ H ₅ ) ₅ was not isolated and identified from the solution, but was atomized from the solution state to remove oxygen. The film is entrained by the contained carrier gas and guided to the CVD chamber to be thermally decomposed on the substrate to form a film. A single reaction product, a precursor, has not been isolated and identified, and the vapor pressure, melting point and thermal stability, which are important physical properties for CVD, are unknown. was there.

【０００５】揮発性のあるＬｉとＮｂ、Ｔａとのダブル
アルコキシドの例としてはＤ．Ｃ．Ｂｒａｄｌｅｙ，
Ｒ．Ｃ．Ｍｅｈｒｏｔｒａ ａｎｄ Ｄ．Ｐ．Ｇａｕ
ｒ”Ｍｅｔａｌ Ａｌｋｏｘｉｄｅｓ”（ＡＣＡＤＥＭ
ＩＣ ＰＲＥＳＳ，１９７８）Ｐ３１９ に記載されて
おり、表１のとおりである。Examples of double alkoxides of volatile Li with Nb and Ta are disclosed in C. Bradley,
R. C. Mehrotra and D.M. P. Gau
r "Metal Alkoxides" (ACADEM
IC PRESS, 1978) P319, as shown in Table 1.

【０００６】[0006]

【表１】 [Table 1]

【０００７】しかし、Ｄ．Ｃ．Ｂｒａｄｌｅｙ，Ｃｈｅ
ｍ．Ｒｅｖ．Ｖｏｌ．８９，１３１７（１９８９）は、
ＬｉＮｂ（ＯＲ）_６が、不都合なことに蒸発の際に不均
化反応をおこし、Ｌｉ（ＯＲ）とＮｂ（ＯＲ）_５とに分
解してしまうことを記載している。同様な解離が表１記
載のダブルアルコキシドでもおこる。ＬｉＮｂ系ダブル
アルコキシドの方が、ＬｉＴａ系ダブルアルコキシドよ
り熱解離しやすい。また、熱安定性の比較的高いイソプ
ロポキシドやターシャリーブトキシドは使用温度でも固
体なので、ＣＶＤ用の原料としては問題があった。However, D. C. Bradley, Che
m. Rev .. Vol. 89,1317 (1989)
It states that LiNb (OR) ₆ disadvantageously undergoes a disproportionation reaction upon evaporation and decomposes into Li (OR) and Nb (OR) ₅ . Similar dissociation occurs with the double alkoxides listed in Table 1. LiNb-based double alkoxides are easier to thermally dissociate than LiTa-based double alkoxides. In addition, isopropoxide and tertiary butoxide, which have relatively high thermal stability, are solid even at the operating temperature, and thus have a problem as a raw material for CVD.

【０００８】Ｗ．Ａ．Ｈｅｒｒｍａｎｎ，Ｎ．Ｗ．Ｈｕ
ｂｅｒ，ａｎｄ Ｏ．Ｒｕｎｔｅ，Ａｎｇｅｗ．Ｃｈｅ
ｍ．Ｉｎｔ．Ｅｄ．Ｅｎｇｌ．Ｖｏｌ．３４，２１８７
（１９９５）は揮発性があり比較的高い熱安定性を有す
る単一の前駆体化合物として、Ｌｉ_２Ｎｂ_２Ｏ_３（ＯＣ
Ｍｅ_２ＣＨ_２ＯＭｅ）_６とＬｉＮｂ（ＯＣＨＭｅＣＨ_２
ＮＭｅ_２）_２（ＯｉＰｒ）_４を開示している。しかし、
これらの化合物の有機基は複雑で量産には問題があっ
た。よって液体で熱解離しにくく工業的に使えるＬｉと
ＮｂのダブルアルコキシドあるいはＬｉとＴａのダブル
アルコキシドは、まだ知られていないのである。[0008] W. A. Herrmann, N .; W. Hu
ber, and O.M. Runte, Angew. Che
m. Int. Ed. Engl. Vol. 34,2187
(1995) describe Li ₂ Nb ₂ O ₃ (OC as a single precursor compound that is volatile and has relatively high thermal stability.
Me ₂ CH ₂ OMe) ₆ and LiNb (OCHMeCH ₂₎
NMe ₂ ) ₂ (OiPr) ₄ are disclosed. But,
The organic groups of these compounds are complicated and there is a problem in mass production. Therefore, a double alkoxide of Li and Nb or a double alkoxide of Li and Ta which is liquid and hardly thermally dissociated and which can be used industrially has not been known yet.

【０００９】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、熱解離しに
くく、室温で液体で、蒸留可能な性質を有する、ニオ
ブ、タンタルとリチウムとの新規なダブルアルコキシド
を提供する。さらに、本発明は、その化合物の製法を提
供する。さらに、本発明は、その化合物を用いた複合酸
化物誘電体の製法を提供する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a novel double alkoxide of niobium, tantalum and lithium which is resistant to thermal dissociation, is liquid at room temperature, and has a distillable property. Further, the present invention provides a method for producing the compound. Further, the present invention provides a method for producing a composite oxide dielectric using the compound.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、 ＬｉＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）_２ ・・・・・・・・・・式Ｉ （式中、ＭはＮｂ又はＴａであり、Ｒは炭素数１〜４の
アルキル基である）で表される新規なダブルアルコキシ
ドが、熱解離しにくく、室温で液体で、蒸留可能な性質
を持つことを見い出した。式中のＲは、メチル、エチ
ル、プロピル、イソプロピル、ブチルなどがあげられ
る。好ましくはメチル、エチルである。とくに好ましく
はメチルである。本発明の化合物に比べてより簡単な化
合物であるＬｉＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_５（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）
は、蒸留できるが、分子間の会合が強く非常に粘性が高
かったり、固体であったりして好ましくない。ＬｉＮｂ
（ＯＣ_２Ｈ_５）_５（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）は室温で固体
であった。本発明の化合物は式Ｉで表されるように（Ｏ
Ｃ_２Ｈ_５）基が４個と（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）基が２個から
成っているが、分子間で（ＯＣ_２Ｈ_５）基と（ＯＣ_２Ｈ
_４ＯＲ）基が交換反応を起こすため、一つずつの化合物
でみると、ＬｉＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）
_２の他に、ＬｉＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）
_３やＬｉＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_５（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）_１など
が含まれている。それらの平均が式Ｉである。本発明及
び本明細書における基数は、平均の基数を意味する。Means for Solving the Problems The present inventors have found that LiM (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OR) ₂ ... Formula I (where M is Nb Or R is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms), and it has been found that the novel double alkoxide is hardly thermally dissociated, is liquid at room temperature, and has a distillable property. R in the formula includes methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl and the like. Preferred are methyl and ethyl. Particularly preferred is methyl. LiM (OC ₂ H ₅ ) ₅ (OC ₂ H ₄ OR), which is a simpler compound than the compound of the present invention
Can be distilled, but unfavorably because of strong intermolecular association and very high viscosity and solid. LiNb
(OC ₂ H ₅ ) ₅ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) was a solid at room temperature. The compounds of the present invention have the formula (O)
It consists of four (C ₂ H ₅ ) groups and two (OC ₂ H ₄ OR) groups, but the (OC ₂ H ₅ ) group and the (OC ₂ H ₅ ) group
_{Since the 4} OR) group causes an exchange reaction, looking at each compound, LiM (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OR)
₂ , LiM (OC ₂ H ₅ ) ₃ (OC ₂ H ₄ OR)
₃ and LiM (OC ₂ H ₅ ) ₅ (OC ₂ H ₄ OR) ₁ . Their average is Formula I. The radix in the present invention and the present specification means an average radix.

【００１１】本発明の式Ｉで表される化合物は、Ｌｉ
（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）とＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４
ＯＲ）を反応させ、次いで、蒸留回収することにより容
易に製造することができ、その化合物は、正確な量論比
を持ち、高純度の性質を有している。式中のＲがメチル
の化合物は、Ｌｉ（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）とＭ（ＯＣ_２
Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）を反応させ、次いで、
蒸留回収することにより容易に製造することができ、そ
の化合物は、正確な量論比を持ち、高純度の性質を有し
ている。The compound of the present invention represented by the formula I is represented by Li
(OC ₂ H ₄ OR) and M (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄
OR) can be easily prepared by reacting and then recovering by distillation, and the compound has an accurate stoichiometric ratio and has high-purity properties. Compounds in which R is methyl in the formula are Li (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) and M (OC ₂
H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ )
It can be easily prepared by distillation and recovery, and the compound has an accurate stoichiometric ratio and has high-purity properties.

【００１２】本発明の式Ｉで表される化合物を用いて、
化学気相成長法により容易に複合酸化物誘電体ＬｉＭＯ
_３薄膜を製造することができる。式中のＲがメチルの化
合物を用いて、化学気相成長法により容易に複合酸化物
誘電体ＬｉＭＯ_３薄膜を製造することができる。 ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）_２（式中
Ｒは炭素数１〜４のアルキル基を表す）で表される化合
物を用いて、化学気相成長法によりＬｉＮｂＯ_３誘電体
薄膜を容易に製造することができる。 ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２を
用いて、化学気相成長法によりＬｉＮｂＯ_３誘電体薄膜
を容易に製造することができる。 ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）_２（式中
Ｒは炭素数１〜４のアルキル基を表す）で表される化合
物を用いて、化学気相成長法によりＬｉＴａＯ_３誘電体
薄膜を容易に製造することができる。 ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２を
用いて、化学気相成長法によりＬｉＴａＯ_３誘電体薄膜
を容易に製造することができる。Using the compounds of the formula I according to the invention,
Complex oxide dielectric LiMO easily by chemical vapor deposition
_Three thin films can be manufactured. A compound oxide dielectric LiMO ₃ thin film can be easily produced by a chemical vapor deposition method using a compound in which R in the formula is methyl. Using a compound represented by LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OR) ₂ (where R represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms), a LiNbO ₃ dielectric material is produced by a chemical vapor deposition method. A body thin film can be easily manufactured. Using LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₂ , a LiNbO ₃ dielectric thin film can be easily manufactured by a chemical vapor deposition method. Using a compound represented by LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OR) ₂ (where R represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms), a LiTaO ₃ dielectric material is produced by a chemical vapor deposition method. A body thin film can be easily manufactured. Using LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₂ , a LiTaO ₃ dielectric thin film can be easily manufactured by a chemical vapor deposition method.

【００１３】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の新規化合物は、 ＬｉＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）_２・・・・・・・・・・式Ｉ （式中、ＭはＮｂ又はＴａであり、Ｒは炭素数１〜４の
アルキル基である）で表される化合物である。具体的な
化合物すなわち本発明のダブルアルコキシドの例を表２
に挙げる。さらに、表２の化合物どうしの混合物も本発
明に含まれる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The novel compound of the present invention is represented by the formula: LiM (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OR) ₂ ... Formula I (where M is Nb or Ta, and R is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms). Table 2 shows examples of specific compounds, that is, double alkoxides of the present invention.
Listed in Further, a mixture of the compounds in Table 2 is also included in the present invention.

【００１４】[0014]

【表２】 [Table 2]

【００１５】以下、ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２
Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２（リチウムニオブ（テトラエトキシ）
ビス（２−メトキシエトキシド））を例に述べる。本発
明の方法によれば、Ｌｉ（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（リチ
ウム（２−メトキシエトキシド））１モルとＮｂ（ＯＣ
_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（ニオブ（テトラエ
トキシ）（２−メトキシエトキシド））１モルをトルエ
ンなどの溶媒中あるいは無溶媒で１００〜２００℃の適
当な温度で１〜１２時間反応させることによりＬｉＮｂ
（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２が得られ
る。この反応生成液から溶媒を留去したのち、約０．３
Ｔｏｒｒの真空下で蒸留し、１８０〜１９０℃で得られ
る留出液が単離された目的の化合物である。Ｌｉ（ＯＣ
_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（リチウム（２−メトキシエトキシ
ド））は、２−メトキシエトキシドとリチウムを室温な
いし沸点下で反応させ、過剰の２−メトキシエトキシド
を減圧留去することにより得られる。Ｎｂ（ＯＣ
_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（ニオブ（テトラエ
トキシ）（２−メトキシエトキシド））は、Ｎｂ（ＯＣ
_２Ｈ_５）_５（ニオブ（ペンタエトキシド））１モルと２
−メトキシエトキシド１モルをトルエンなどの溶媒中で
１〜１０時間反応させ、次いで、生成したエタノールと
溶媒を留去することにより得られる。Hereinafter, LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂
H ₄ OCH ₃ ) ₂ (lithium niobium (tetraethoxy)
Bis (2-methoxyethoxide)) will be described as an example. According to the method of the present _{invention, Li (OC 2 H 4 OCH} 3) ( lithium (2-methoxyethoxy de)) 1 mol of Nb (OC
_{2 H 5) 4 (OC 2} H 4 OCH 3) ( Niobium (tetraethoxy) (2-methoxyethoxide)) 1 mole of a 1 at an appropriate temperature of 100 to 200 ° C. in a solvent or without a solvent such as toluene After reacting for 12 hours, LiNb
(OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₂ is obtained. After distilling off the solvent from the reaction product solution, about 0.3
The distillate obtained by distillation under a vacuum of Torr at 180 to 190 ° C is the isolated target compound. Li (OC
_{2 H} 4 _OCH 3) _(lithium (2-methoxyethoxy de)) can be obtained by 2-methoxy ethoxide and lithium is reacted at room temperature to the boiling point, evaporated under reduced pressure and excess 2-methoxyethoxide . Nb (OC
_{2 H 5) 4 (OC 2} H 4 OCH 3) ( Niobium (tetraethoxy) (2-methoxyethoxide)) is, Nb (OC
1 mol of ₂ H ₅ ) ₅ (niobium (pentaethoxide))
-Methoxyethoxide is obtained by reacting 1 mol in a solvent such as toluene for 1 to 10 hours, and then distilling off the produced ethanol and the solvent.

【００１６】実施例１で単離された化合物について行っ
た同定と物性について以下に述べる。 （１）組成分析 ＩＣＰ発光分光分析の結果 Ｌｉ １．５８ｗｔ％ Ｎｂ ２２．３ｗｔ％ （ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２
＝ＬｉＮｂＣ_１４Ｈ_３４Ｏ_８の式量４３０．２７、計算
値Ｌｉ１．６１ｗｔ％、Ｎｂ２１．５９ｗｔ％） 分析値からＮｂ／Ｌｉ＝１．０５となり、分析誤差内で
量論比１に一致した。残り有機分は差し引き７６．１ｗ
ｔ％となり、これは計算値の７６．８ｗｔ％に近かっ
た。The identification and physical properties of the compound isolated in Example 1 are described below. (1) Composition Analysis Results of ICP emission spectroscopy Li 1.58 wt% Nb 22.3 wt% (LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₂
= Formula weight of LiNbC ₁₄ H ₃₄ O ₈ 430.27, calculated value Li 1.61 wt%, Nb 21.59 wt%) From the analytical value, Nb / Li = 1.05, which coincided with the stoichiometric ratio 1 within the analytical error. The remaining organic content is deducted 76.1w
t%, which was close to the calculated value of 76.8 wt%.

【００１７】 （２）不純物分析 ＩＣＰ発光分光分析の結果 Ｍｇ ２， Ｃａ ５０， Ｎａ １０， Ｆｅ ２， （単位ｐｐｍ） であり、高純度であった。(2) Impurity Analysis The result of ICP emission spectroscopy was Mg 2, Ca 50, Na 10, Fe 2 (unit ppm), and was of high purity.

【００１８】（３）分子量 ベンゼンの凝固点降下法により測定した。 試料３．６７３ｇ ベンゼン３０．１ｇ △Ｔ＝０．８１５℃， ０．８１５℃， ０．８４０℃ 平均０．８２３℃ よって分子量＝７５９ 会合度１．７６(3) Molecular weight The molecular weight was measured by the freezing point depression method of benzene. Sample 3.673 g Benzene 30.1 g ΔT = 0.815 ° C., 0.815 ° C., 0.840 ° C. Average 0.823 ° C. Therefore, molecular weight = 759 Association degree 1.76

【００１９】（４）ＥＩ−ＭＳ 測定条件 装置 ； ＪＥＯＬ ＡＸ５０５Ｗ イオン源温度 ； ２３０℃ イオン化エネルギー ； ７０ｅＶ 測定範囲 ｍ／ｚ ； ０−１５００ 測定範囲は０−１５００を行ったが、８００−１５００
にはイオンが検出されなかったので、０−８００を詳し
く測定し、その測定結果を図１に示した。(4) EI-MS measurement conditions Apparatus; JEOL AX505W Ion source temperature; 230 ° C. Ionization energy; 70 eV Measurement range m / z; 0-1500 The measurement range was 0-1500, but 800-1500.
Since no ions were detected in the sample, 0-800 was measured in detail, and the measurement results are shown in FIG.

【００２０】[0020]

【図１】FIG.

【００２１】分子イオンＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（Ｏ
Ｃ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２ ^＋（ｍ／ｚ＝４３０）はなかっ
た。また二量体の分子イオンもなかった。主なｍ／ｚと
強度とそのイオン種の推定を以下に列挙した。 ｍ／ｚ＝２７３（２３）Ｎｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４ ^＋，３０
３（８３）Ｎｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣＨ_２）^＋，３５
５（２２）ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣ
Ｈ_３）^＋，３８５（１００）ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３
（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２ ^＋，４１５（９３）ＬｉＮｂ
（ＯＣ_２Ｈ_５）_２（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_３ ^＋，４４５
（３２）ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣ
Ｈ_３）４^＋， この結果ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ
_３）_２ ^＋が中心で、これは化合物ＬｉＮｂ（ＯＣ
_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２から（ＯＣ
_２Ｈ_５）１基が離脱したものである。The molecular ion LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (O
There was no C ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₂ ⁺ (m / z = 430). Also, there was no dimer molecular ion. The main m / z, intensity and estimation of the ion species are listed below. m / z = 273 (23) Nb (OC ₂ H ₅ ) ₄ ⁺ , 30
3 (83) Nb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OCH ₂ ) ⁺ , 35
5 (22) LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OC
^{_{H 3) +, 385 (100}} ) LiNb (OC 2 H 5) 3
_{(OC 2 H 4 OCH 3)} 2 +, 415 (93) LiNb
(OC ₂ H ₅ ) ₂ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₃ ⁺ , 445
(32) LiNb (OC ₂ H ₅ ) (OC ₂ H ₄ OC
H ₃ ) 4 ⁺ , resulting in LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₃ (OC ₂ H ₄ OCH
₃ ) ₂ ⁺ is the center, which is the compound LiNb (OC
_{2 H 5) 4 (OC 2} H 4 OCH 3) from ₂ (OC
₂ H ₅ ) is one in which one group has been eliminated.

【００２２】 （５）^１Ｈ−ＮＭＲ 測定条件 装置 ； ＢＲＵＫＥＲ ＡＣ−３００Ｐ ＦＴ−ＮＭＲ 観測周波数 ； ３００．１３ＭＨｚ 溶媒 ； Ｂｅｎｚｅｎｅ−ｄ_６ 化学シフト基準 ； ＴＭＳ 温度 ； 室温 測定結果を図２に示した。(5) ¹ H-NMR measurement conditions Apparatus; BRUKER AC-300P FT-NMR Observation frequency; 300.13 MHz Solvent; Benzene-d ₆ chemical shift standard; TMS temperature; room temperature The measurement results are shown in FIG.

【００２３】[0023]

【図２】FIG. 2

【００２４】δ_Ｈ（ｐｐｍ）と（帰属）を以下に列挙す
る。 ０．９９（？），１．４０（−ＯＣＨ_２ＣＨ _３），１．
５３（？），２．９８（？），３．２２（？），３．２
９（−ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＯＣＨ _３），３．４８（−ＯＣＨ
_２ＣＨ _２ＯＣＨ_３），４．５２（−ＯＣＨ _２ＣＨ_３，−
ＯＣＨ _２ＣＨ_２ＯＣＨ_３），Δ _H (ppm) and (assignment) are listed below. 0.99 (?), 1.40 (-OCH 2 C H 3), 1.
53 (?), 2.98 (?), 3.22 (?), 3.2
_{9 (-OCH 2 CH 2 OC H} 3), 3.48 (-OCH
_{2 C H 2 OCH 3),} 4.52 (-OC H 2 CH 3, -
_{OC H 2 CH 2 OCH 3)} ,

【００２５】 （６）ＦＴ−ＩＲ 測定装置 ； ＳＨＩＭＡＤＺＵ ＦＴ−ＩＲ ８６００ 測定方法 ； 液膜法 測定結果を図３に示した。(6) FT-IR measuring device; SHIMADZU FT-IR 8600 measuring method; liquid film method The measurement results are shown in FIG.

【００２６】[0026]

【図３】FIG. 3

【００２７】スペクトル（ｃｍ^−１） ２９６６，２９２０，２８５９，２６９６，１４５４，
１３７３，１３５４，１２８５，１２４０，１１９８，
１１５１，１１０３，１０６７，１０２２，９６４，９
１２，８４１，６０５，５５６，４９８， 低周波６０５，５５６，４９８は、Ｎｂ−Ｏ及びＬｉ−
Ｏの振動である。Spectrum (cm ^-1 ) 2966, 2920, 2859, 2696, 1454,
1373, 1354, 1285, 1240, 1198,
1151,1103,1067,1022,964,9
12,841,605,556,498, low frequency 605,556,498 are Nb-O and Li-
O vibration.

【００２８】（７）蒸気圧 蒸留による推定値０．３Ｔｏｒｒ／１８５℃(7) Vapor pressure Estimated value by distillation 0.3 Torr / 185 ° C.

【００２９】（８）性状と融点 室温で淡黄橙色透明な液体で、その融点は０℃以下であ
った。(8) Properties and Melting Point At room temperature, it is a transparent liquid of pale yellow orange color, and its melting point is 0 ° C. or less.

【００３０】（９）液密度 １．１０ｇ／ｃｍ^３ (9) Liquid density 1.10 g / cm ³

【００３１】（１０）動粘度 蒸留直後は約１００ｃＳｔであつたが、室温で放置して
おくと約１０００ｃＳｔになった。(10) Kinematic viscosity The viscosity was about 100 cSt immediately after distillation, but it was about 1000 cSt when left at room temperature.

【００３２】（１１）ＴＧ−ＤＴＡ 測定結果を図４に示した。２００℃までで約７％の減量
がみられるのは、試料を測定系にセットする間に大気中
の水分と反応し、加水分解で生じたアルコールが飛散し
たものと推定される。(11) TG-DTA The measurement results are shown in FIG. The reason why a weight loss of about 7% is observed up to 200 ° C. is presumed to be that the alcohol produced by hydrolysis reacted with moisture in the air while setting the sample in the measurement system and was scattered.

【００３３】[0033]

【図４】FIG. 4

【００３４】（１２）溶解度 トルエン、ヘキサン、ＴＨＦに任意に溶ける。(12) Solubility: It is freely soluble in toluene, hexane and THF.

【００３５】以上述べたうちの主に組成分析、ＥＩ−Ｍ
Ｓ、^１Ｈ−ＮＭＲ、ＦＴ−ＩＲから、総合的に判断し
て、この化合物はＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ
_４ＯＣＨ_３）_２と同定した。Of the above, mainly composition analysis, EI-M
Comprehensively judged from S, ¹ H-NMR and FT-IR, this compound was LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H
₄ OCH ₃ ) ₂ .

【００３６】本発明は、量産性に優れた本発明化合物の
製造方法である。本発明の方法によれば、Ｌｉ（ＯＣ_２
Ｈ_４ＯＲ）（式中、Ｒは炭素数１〜４のアルキル基であ
る）１モルとＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）
（式中、ＭはＮｂ又はＴａであり、Ｒは炭素数１〜４の
アルキル基である）１モルをトルエンなどの溶媒中ある
いは無溶媒で１００〜２００℃の適当な温度で１〜１２
時間反応させ、次いでこの反応生成液から溶媒を留去し
たのち、約０．３Ｔｏｒｒの真空下で蒸留し、１８０〜
２３０℃の留出液としてＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（Ｏ
Ｃ_２Ｈ_４ＯＲ）_２が得られる。蒸留することにより、わ
ずかに未反応で残っている可能性のある揮発性の高い原
料を除くことができ、かつより高沸点の不純物元素のア
ルコキシドや分解縮合で生じた不揮発性の高分子や酸化
物を除くことができる。The present invention is a method for producing the compound of the present invention which is excellent in mass productivity. According to the method of the present invention, Li (OC ₂
H ₄ OR) (where R is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms) and 1 mol of M (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OR)
(Wherein M is Nb or Ta, and R is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms). 1 mol is added to a solution of 1 to 12 at a suitable temperature of 100 to 200 ° C. in a solvent such as toluene or without a solvent.
After reacting for an hour and then distilling off the solvent from the reaction product, the mixture was distilled under a vacuum of about 0.3 Torr to obtain
As a distillate at 230 ° C., LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (O
(C ₂ H ₄ OR) ₂ is obtained. By distillation, highly volatile raw materials that may remain slightly unreacted can be removed, and alkoxides of higher-boiling impurity elements or non-volatile polymers or oxidized products generated by decomposition condensation can be obtained. Things can be removed.

【００３７】ここで使用するＬｉ（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）
は、ＬｉとＲＯＣＨ_２ＣＨ_２ＯＨ（２−アルコキシエタ
ノール）を室温〜５０℃付近で１分〜１時間反応させ、
過剰の原料アルコールを１００℃程度で減圧留去するこ
とにより、容易に製造することができる。２−アルコキ
シエタノールとしては、以下のものが挙げられる。２−
メトキシエタノール（慣用名メチルセロソルブ）、２−
エトキシエタノール（慣用名エチルセロソルブ）、２−
プロポキシエタノール、２−イソプロポキシエタノー
ル、２−ブトキシエタノールなどである。Li (OC ₂ H ₄ OR) used here
Reacts Li and ROCH ₂ CH ₂ OH (2-alkoxyethanol) at room temperature to around 50 ° C. for 1 minute to 1 hour,
It can be easily produced by removing excess raw material alcohol under reduced pressure at about 100 ° C. Examples of the 2-alkoxyethanol include the following. 2-
Methoxyethanol (common name methyl cellosolve), 2-
Ethoxyethanol (common name ethyl cellosolve), 2-
And propoxyethanol, 2-isopropoxyethanol, 2-butoxyethanol and the like.

【００３８】もう一つの原料であるＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４
（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）は、Ｍ（ＯＣ_２Ｈ_５）_５（ニオブ
（ペンタエトキシド）あるいはタンタル（ペンタエトキ
シド））１モルと２−アルコキシエトキシド１モルをト
ルエンなどの溶媒中で１〜１０時間反応させ、次いで、
生成したエタノールと溶媒を留去することにより得られ
る。Another material, M (OC ₂ H ₅ ) ₄
(OC ₂ H ₄ OR) is obtained by mixing 1 mol of M (OC ₂ H ₅ ) ₅ (niobium (pentaethoxide) or tantalum (pentaethoxide)) with 1 mol of 2-alkoxyethoxide in a solvent such as toluene. Let react for ~ 10 hours, then
It is obtained by distilling off the produced ethanol and the solvent.

【００３９】また本発明は、本発明化合物を用いて、化
学気相成長法によって複合酸化物誘電体ＬｉＭＯ_３薄膜
を製造する方法である。それらの誘電体の例としては、
ＬｉＮｂＯ_３、ＬｉＴａＯ_３およびこれらを主成分とす
る酸化物である。本発明化合物を原料として、３００〜
８００℃で酸化雰囲気中で分解あるいは酸化することに
より、Ｍ／Ｌｉ＝１の量論比の酸化物が容易に製造でき
る。本発明化合物の分子構造は複合酸化物と類似してい
ると考えられ、より低温で複合酸化物の結晶化が起きや
すい。酸化物薄膜の製造は、本発明化合物を用いて、ゾ
ル−ゲル法、ＭＯＤ法でもできるが、最も有効なのはＣ
ＶＤ法によるものである。The present invention is also a method for producing a composite oxide dielectric LiMO ₃ thin film by a chemical vapor deposition method using the compound of the present invention. Examples of those dielectrics are:
LiNbO ₃ , LiTaO ₃ and oxides containing these as main components. Using the compound of the present invention as a raw material, 300 to
By decomposing or oxidizing in an oxidizing atmosphere at 800 ° C., an oxide having a stoichiometric ratio of M / Li = 1 can be easily produced. The molecular structure of the compound of the present invention is considered to be similar to that of the composite oxide, and crystallization of the composite oxide is likely to occur at lower temperatures. The oxide thin film can be produced by the sol-gel method or the MOD method using the compound of the present invention.
This is based on the VD method.

【００４０】ＣＶＤ法における本発明化合物の供給方法
としては、 （１）本発明化合物を１５０〜２５０℃に保ち、キャリ
ヤーガスのバブリングによりその蒸気を同伴させる （２）本発明化合物をＴＨＦ、ヘキサン、オクタン、酢
酸ブチルなどの有機溶媒に溶かし溶液とし、液体マスフ
ローコントローラーを通し、気化器で蒸気とする等があ
る。本化合物は有機溶媒への溶解度が高く、溶液化が容
易である。The method of supplying the compound of the present invention in the CVD method includes: (1) keeping the compound of the present invention at 150 to 250 ° C. and entraining the vapor by bubbling a carrier gas; (2) mixing the compound of the present invention with THF, hexane, Dissolved in an organic solvent such as octane and butyl acetate to form a solution, passed through a liquid mass flow controller, and vaporized with a vaporizer. This compound has high solubility in organic solvents and is easy to form a solution.

【００４１】本発明の化合物は熱解離しにくいが、ＣＶ
Ｄ法で加熱された基板に到達するまでは、できるだけ熱
解離を防ぐような条件や装置であると、基板上に形成さ
れた膜組成を量論比にできる。ＣＶＤ法では、熱ＣＶＤ
法のほかに、ＥＣＲ−プラズマＣＶＤ法、レーザーＣＶ
Ｄ法なども使える。酸化性ガスは、Ｏ_２、Ｎ_２Ｏなどで
ある。The compound of the present invention is hardly thermally dissociated, but has a CV
Until the substrate reaches the substrate heated by the method D, the stoichiometric ratio of the composition of the film formed on the substrate can be set if the conditions and apparatus are such that thermal dissociation is prevented as much as possible. In the CVD method, thermal CVD
Method, ECR-plasma CVD method, laser CV
D method can also be used. The oxidizing gas is O ₂ , N ₂ O, or the like.

【００４２】[0042]

【実施例１】ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４Ｏ
ＣＨ_３）_２（リチウムニオブ（テトラエトキシ）ビス
（２−メトキシエトキシド））の製造 リフラックスコンデンサー、温度計、攪拌子を備えた３
００ｍｌ三口フラスコ（Ａ）を真空置換しアルゴン雰囲
気とし、モレキュラーシーブス３Ａで脱水した２−メト
キシエタノール４０ｍｌ（０．５１モル）を仕込み、次
いで、金属リチウム片０．５５ｇ（０．０７９モル）を
仕込んだ。約１分で反応し、金属片は消失した。次いで
減圧下、１００℃で未反応の原料２−メトキシエタノー
ルを留去すると、褐色の固体となった。これがＬｉ（Ｏ
Ｃ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（リチウム（２−メトキシエトキシ
ド））であった。次いで、このフラスコにトルエン１０
０ｍｌを仕込み８０℃に加熱してＬｉ（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣ
Ｈ_３）を溶解した。Example 1 LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ O
Production of CH ₃ ) ₂ (lithium niobium (tetraethoxy) bis (2-methoxyethoxide)) 3 equipped with a reflux condenser, a thermometer, and a stirrer
The 00 ml three-necked flask (A) was vacuum-replaced to an argon atmosphere, charged with 40 ml (0.51 mol) of 2-methoxyethanol dehydrated with Molecular Sieves 3A, and then charged with 0.55 g (0.079 mol) of lithium metal pieces. It is. The reaction took about 1 minute, and the metal pieces disappeared. Then, unreacted raw material 2-methoxyethanol was distilled off at 100 ° C. under reduced pressure to give a brown solid. This is Li (O
C ₂ H ₄ OCH ₃₎ was (lithium (2-methoxyethoxy de)). Then, toluene 10 was added to the flask.
0 ml and heated to 80 ° C. to prepare Li (OC ₂ H ₄ OC
H ₃ ) was dissolved.

【００４３】次いで、リフラックスコンデンサー、温度
計、攪拌子を備えた３００ｍｌ三口フラスコ（Ｂ）を真
空置換しアルゴン雰囲気とし、トルエン１００ｍｌとＮ
ｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_５（ニオブペンタエトキシド）２５．
０ｇ（０．０７９モル）と２−メトキシエタノール６．
０ｇ（０．０７９モル）を仕込み、加熱還流を１時間行
った。液は淡黄色透明であった。次いで、この液を加熱
し１気圧でエタノールとトルエンを大半留去したのち、
減圧下、１００℃ですべてのエタノールとトルエンを留
去した。残りは茶褐色透明な粘ちょうな液であり、これ
がＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（ニオ
ブ（テトラエトキシ）（２−メトキシエトキシド））で
あった。Next, the 300 ml three-necked flask (B) equipped with a reflux condenser, a thermometer and a stirrer was replaced with a vacuum to make an argon atmosphere, and 100 ml of toluene and N
b (OC ₂ H ₅ ) ₅ (niobium pentaethoxide)
0 g (0.079 mol) and 2-methoxyethanol6.
0 g (0.079 mol) was charged, and the mixture was heated under reflux for 1 hour. The liquid was pale yellow and transparent. Next, this liquid is heated and ethanol and toluene are mostly distilled off at 1 atm.
All ethanol and toluene were distilled off at 100 ° C. under reduced pressure. The remainder was a brownish-brown, viscous liquid, which was Nb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) (niobium (tetraethoxy) (2-methoxyethoxide)).

【００４４】次いで、フラスコ（Ａ）のＬｉ（ＯＣ_２Ｈ
_４ＯＣＨ_３）トルエン溶液全量をＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４
（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）のフラスコ（Ｂ）に仕込み、加
熱還流を６時間行った。コンデンサーをはずし、減圧下
で溶媒を留去したのち、０．３Ｔｏｒｒの真空下で蒸留
した。１６０℃までは全く留出物がなかった。さらに温
度を上げて初留を少量カット後、留去温度が１８０〜１
９０℃で主留分の淡黄橙色透明なオイル状液体２９ｇを
得た。この液体を同定した結果は、前述したとおり、Ｌ
ｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２（リ
チウムニオブ（テトラエトキシ）ビス（２−メトキシエ
トキシド））であった（０．０６７モル）。収率は８５
％であった。Next, Li (OC ₂ H) in the flask (A) was
₄ OCH ₃₎ A toluene solution total volume Nb _{(OC 2} H _{5) 4}
(OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) was charged into the flask (B), and heated under reflux for 6 hours. After the condenser was removed and the solvent was distilled off under reduced pressure, distillation was performed under a vacuum of 0.3 Torr. There was no distillate up to 160 ° C. After raising the temperature further and cutting a small amount of the first distillate, the distillation temperature was 180-1
At 90 ° C., 29 g of a pale yellow orange transparent oily liquid of the main fraction was obtained. As described above, the result of identifying this liquid is L
iNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₂ (lithium niobium (tetraethoxy) bis (2-methoxyethoxide)) (0.067 mol). Yield 85
%Met.

【００４５】[0045]

【比較例１】ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_５（ＯＣ_２Ｈ_４Ｏ
ＣＨ_３）（リチウムニオブ（ペンタエトキシ）（２−メ
トキシエトキシド））の製造 リフラックスコンデンサー、温度計、攪拌子を備えた３
００ｍｌ三口フラスコを真空置換しアルゴン雰囲気と
し、モレキュラーシーブス３Ａで脱水した２−メトキシ
エタノール４０ｍｌ（０．５１モル）を仕込み、次い
で、金属リチウム片０．５５ｇ（０．０７９モル）を仕
込んだ。約１分で反応し、金属片は消失した。次いで減
圧下、１００℃で未反応の原料２−メトキシエタノール
を留去すると、褐色の固体となった。これがＬｉ（ＯＣ
_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（リチウム（２−メトキシエトキシ
ド））であった。次いで、このフラスコにトルエン１０
０ｍｌを仕込み８０℃に加熱してＬｉ（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣ
Ｈ_３）を溶解した。Comparative Example 1 LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₅ (OC ₂ H ₄ O
Production of CH ₃ ) (lithium niobium (pentaethoxy) (2-methoxyethoxide)) 3 equipped with a reflux condenser, a thermometer, and a stirrer
A 00 ml three-necked flask was vacuum-substituted to an argon atmosphere, charged with 40 ml (0.51 mol) of 2-methoxyethanol dehydrated with Molecular Sieves 3A, and then charged with 0.55 g (0.079 mol) of lithium metal pieces. The reaction took about 1 minute, and the metal pieces disappeared. Then, unreacted raw material 2-methoxyethanol was distilled off at 100 ° C. under reduced pressure to give a brown solid. This is Li (OC
Was ₂ H ₄ OCH ₃₎ (lithium (2-methoxyethoxy de)). Then, toluene 10 was added to the flask.
0 ml and heated to 80 ° C. to prepare Li (OC ₂ H ₄ OC
H ₃ ) was dissolved.

【００４６】次いで、このフラスコにＮｂ（ＯＣ
_２Ｈ_５）_５（ニオブペンタエトキシド）２５．０ｇ
（０．０７９モル）を仕込み、加熱還流を６時間行っ
た。コンデンサーをはずし、減圧下で溶媒を留去したの
ち、０．３Ｔｏｒｒの真空下で蒸留した。１６０℃まで
は全く留出物がなかった。さらに温度を上げて初留を少
量カット後、留去温度が１９０〜２０５℃で主留分の淡
黄橙色透明な非常に粘性の高い液体２５ｇを得た。この
液体は室温で２日後固化した。元素分析の結果、Ｌｉ
１．７３ｗｔ％、Ｎｂ ２４．８ｗｔ％｛ＬｉＮｂ（Ｏ
Ｃ_２Ｈ_５）_５（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）＝ＬｉＮｂＣ_１３
Ｈ_３２Ｏ_７の式量４００．２４、計算値Ｌｉ １．７３
ｗｔ％、Ｎｂ ２３．２１ｗｔ％｝で、Ｎｂ／Ｌｉ＝
１．０７であり、この固体がＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_５
（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）であると判断した。このよう
に、より簡単な化合物であるＬｉＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）
_５（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）は、蒸留できるが分子間の会合が
強く非常に粘性が高かったり、固体であったりして、Ｃ
ＶＤ法の原料化合物として好ましくないことがわかる。Next, Nb (OC) was added to the flask.
₂ H _{5) 5} (niobium penta ethoxide) 25.0 g
(0.079 mol) and heated under reflux for 6 hours. After the condenser was removed and the solvent was distilled off under reduced pressure, distillation was performed under a vacuum of 0.3 Torr. There was no distillate up to 160 ° C. After raising the temperature further and cutting a small amount of the first fraction, 25 g of a very viscous liquid of pale yellow, orange and transparent was obtained as the main fraction at a distillation temperature of 190 to 205 ° C. The liquid solidified after 2 days at room temperature. As a result of elemental analysis, Li
1.73 wt%, Nb 24.8 wt% ｛LiNb (O
_{C 2 H 5) 5 (OC} 2 H 4 OCH 3) = LiNbC 13
Formula for H ₃₂ O ₇ : 400.24, calculated value Li 1.73
wt%, Nb 23.21 wt%}, and Nb / Li =
1.07 and this solid is LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₅
(OC ₂ H ₄ OCH ₃ ). Thus, the simpler compound LiM (OC ₂ H ₅ )
₅ (OC ₂ H ₄ OR) can be distilled, but the association between molecules is strong, the viscosity is very high, or the solid is solid.
It turns out that it is not preferable as a raw material compound of the VD method.

【００４７】[0047]

【実施例２】ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４Ｏ
ＣＨ_３）_２（リチウムタンタル（テトラエトキシ）ビス
（２−メトキシエトキシド））の製造 リフラックスコンデンサー、温度計、攪拌子を備えた３
００ｍｌ三口フラスコ（Ａ）を真空置換しアルゴン雰囲
気とし、モレキュラーシーブス３Ａで脱水した２−メト
キシエタノール４０ｍｌ（０．５１モル）を仕込み、次
いで、金属リチウム片０．４７ｇ（０．０６８モル）を
仕込んだ。約１分で反応し、金属片は消失した。次いで
減圧下、１００℃で未反応の原料２−メトキシエタノー
ルを留去すると、褐色の固体となった。これがＬｉ（Ｏ
Ｃ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（リチウム（２−メトキシエトキシ
ド））であった。次いで、このフラスコにトルエン１０
０ｍｌを仕込み８０℃に加熱してＬｉ（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣ
Ｈ_３）を溶解した。Example 2 LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ O
Production of CH ₃ ) ₂ (lithium tantalum (tetraethoxy) bis (2-methoxyethoxide)) 3 equipped with a reflux condenser, a thermometer, and a stirrer
A 00 ml three-necked flask (A) was vacuum-replaced to an argon atmosphere, charged with 40 ml (0.51 mol) of 2-methoxyethanol dehydrated with Molecular Sieves 3A, and then charged with 0.47 g (0.068 mol) of lithium metal pieces. It is. The reaction took about 1 minute, and the metal pieces disappeared. Then, unreacted raw material 2-methoxyethanol was distilled off at 100 ° C. under reduced pressure to give a brown solid. This is Li (O
C ₂ H ₄ OCH ₃₎ was (lithium (2-methoxyethoxy de)). Then, toluene 10 was added to the flask.
0 ml and heated to 80 ° C. to prepare Li (OC ₂ H ₄ OC
H ₃ ) was dissolved.

【００４８】次いで、リフラックスコンデンサー、温度
計、攪拌子を備えた３００ｍｌ三口フラスコ（Ｂ）を真
空置換しアルゴン雰囲気とし、トルエン１００ｍｌとＴ
ａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_５（タンタルペンタエトキシド）２
５．０ｇ（０．０６２モル）と２−メトキシエタノール
４．７ｇ（０．０６２モル）を仕込み、加熱還流を１時
間行った。液はほぼ無色透明であった。次いで、この液
を加熱し１気圧でエタノールとトルエンを大半留去した
のち、減圧下、１００℃ですべてのエタノールとトルエ
ンを留去した。残りはほぼ無色透明な粘ちょうな液であ
り、これがＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣ
Ｈ_３）（タンタル（テトラエトキシ）（２−メトキシエ
トキシド））であった。Next, a 300 ml three-necked flask (B) equipped with a reflux condenser, a thermometer and a stirrer was replaced with a vacuum to make an argon atmosphere, and 100 ml of toluene and T
a (OC ₂ H ₅ ) ₅ (Tantalum pentaethoxide) 2
5.0 g (0.062 mol) and 4.7 g (0.062 mol) of 2-methoxyethanol were charged and heated under reflux for 1 hour. The liquid was almost colorless and transparent. Next, this solution was heated to remove most of ethanol and toluene at 1 atm, and then all ethanol and toluene were removed at 100 ° C. under reduced pressure. The rest is an almost colorless and transparent viscous liquid, which is Ta (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OC
H ₃₎ was (tantalum (tetraethoxy) (2-methoxyethoxide)).

【００４９】次いで、フラスコ（Ａ）のＬｉ（ＯＣ_２Ｈ
_４ＯＣＨ_３）トルエン溶液全量をＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４
（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）のフラスコ（Ｂ）に仕込み、加
熱還流を６時間行った。コンデンサーをはずし、減圧下
で溶媒を留去したのち、０．３Ｔｏｒｒの真空下で蒸留
した。１６０℃までは全く留出物がなかった。さらに温
度を上げて初留を少量カット後、留去温度が１９０〜１
９５℃で主留分のほぼ無色透明なオイル状液体２８ｇを
得た。この液体を後述するように同定した結果、ＬｉＴ
ａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２（リチウ
ムタンタル（テトラエトキシ）ビス（２−メシキシエト
キシド））であった（０．０５４モル）。収率は８８％
であった。Next, Li (OC ₂ H) in the flask (A)
₄ OCH ₃₎ toluene whole amount Ta _{(OC 2} H _{5) 4}
(OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) was charged into the flask (B), and heated under reflux for 6 hours. After the condenser was removed and the solvent was distilled off under reduced pressure, distillation was performed under a vacuum of 0.3 Torr. There was no distillate up to 160 ° C. After raising the temperature further and cutting a small amount of the first distillate, the distillation temperature was reduced to 190-1.
At 95 ° C., 28 g of an almost colorless and transparent oily liquid of the main fraction was obtained. As a result of identifying this liquid as described later, LiT
a (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₂ (lithium tantalum (tetraethoxy) bis (2-mesoxyethoxide)) (0.054 mol). 88% yield
Met.

【００５０】ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４Ｏ
ＣＨ_３）_２（リチウムタンタル（テトラエトキシ）ビス
（２−メシキシエトキシド））の同定と物性 （１）組成分析 ＩＣＰ発光分光分析の結果 Ｌｉ １．４０ｗｔ％ Ｔａ ３５．２ｗｔ％ （ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２
＝ＬｉＴａｃ_１４Ｈ_３４Ｏ_８の式量５１８．３１、計算
値Ｌｉ１．３４ｗｔ％、Ｔａ３４．９１ｗｔ％） 分析値からＴａ／Ｌｉ＝０．９６となり、分析誤差内で
量論比１に一致した。残り有機分は差し引き６３．４ｗ
ｔ％となり、これは計算値の６３．７５ｗｔ％に近かっ
た。LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ O
Identification and physical properties of CH ₃ ) ₂ (lithium tantalum (tetraethoxy) bis (2-mesoxyethoxide)) (1) Composition analysis Results of ICP emission spectroscopy Li 1.40 wt% Ta 35.2 wt% (LiTa (OC _{2 H 5) 4 (OC 2} H 4 OCH 3) 2
= Formula weight of LiTac ₁₄ H ₃₄ O ₈ 518.31, calculated value Li 1.34 wt%, Ta 34.91 wt%) From the analytical value, Ta / Li = 0.96, which coincided with the stoichiometric ratio 1 within the analytical error. The remaining organic content is deducted 63.4w
t%, which was close to the calculated value of 63.75 wt%.

【００５１】 （２）不純物分析 ＩＣＰ発光分光分析の結果 Ｍｇ ２， Ｃａ ６０， Ｎａ １２， Ｆｅ ２， （単位ｐｐｍ） であり、高純度であった。(2) Impurity Analysis Results of ICP emission spectroscopy: Mg 2, Ca 60, Na 12, Fe 2 (unit: ppm), and high purity.

【００５２】（３）分子量 ベンゼンの凝固点降下法により測定した。 試料４．１１４ｇ ベンゼン３０．０ｇ △Ｔ＝０．８１９℃， ０．７９５℃， ０．７５７℃， 平均０．７９０℃ よって分子量＝８８９ 会合度１．７２(3) Molecular Weight The molecular weight was measured by the freezing point depression method of benzene. Sample 4.114 g Benzene 30.0 g ΔT = 0.819 ° C., 0.795 ° C., 0.757 ° C., average 0.790 ° C. Therefore, molecular weight = 889 Association degree 1.72

【００５３】（４）ＥＩ−ＭＳ 測定結果を図５に示した。(4) EI-MS measurement results are shown in FIG.

【００５４】[0054]

【図５】FIG. 5

【００５５】分子イオンＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（Ｏ
Ｃ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２ ^＋（ｍ／ｚ＝５１８）はなかっ
た。また二量体の分子イオンもなかった。主なｍ／ｚと
強度とそのイオン種の推定を以下に列挙した。 ｍ／ｚ＝３６１（１４）Ｔａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４ ^＋，３９
１（２６）Ｔａ（ＯＣ_２Ｈ５）_４（ＯＣＨ_２）^＋，４４
３（４５）ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣ
Ｈ_３）^＋，４７３（１００）ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３
（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２ ^＋，５０３（５４）ＬｉＴａ
（ＯＣ_２Ｈ_５）_２（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_３ ^＋， この結果ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ
_３）_２ ^＋が中心で、これは化合物ＬｉＴａ（ＯＣ
_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２から（ＯＣ
_２Ｈ_５）１基が離脱したものである。The molecular ion LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (O
There was no C ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₂ ⁺ (m / z = 518). Also, there was no dimer molecular ion. The main m / z, intensity and estimation of the ion species are listed below. m / z = 361 (14) Ta (OC ₂ H ₅ ) ₄ ⁺ , 39
1 (26) Ta (OC ₂ H 5) ₄ (OCH ₂ ) ⁺ , 44
3 (45) LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OC
H ₃ ) ⁺ , 473 (100) LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₃
(OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₂ ⁺ , 503 (54) LiTa
(OC ₂ H ₅ ) ₂ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₃ ⁺ , resulting in LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₃ (OC ₂ H ₄ OCH
₃ ) ₂ ⁺ , which is the compound LiTa (OC
_{2 H 5) 4 (OC 2} H 4 OCH 3) from ₂ (OC
₂ H ₅ ) is one in which one group has been eliminated.

【００５６】（５）^１Ｈ−ＮＭＲ 測定結果を図６に示した。(5) ¹ H-NMR measurement results are shown in FIG.

【００５７】[0057]

【図６】FIG. 6

【００５８】δ_Ｈ（ｐｐｍ）と（帰属）を以下に列挙す
る。 ０．９６（？），１．４０（−ＯＣＨ_２ＣＨ _３），３．
０１（？），３．２４（？），３．２９（−ＯＣＨ_２Ｃ
Ｈ_２ＯＣＨ _３），３．４６（−ＯＣＨ_２ＣＨ _２ＯＣ
Ｈ_３），４．５５（−ＯＣＨ _２ＣＨ_３ ，−ＯＣＨ _２Ｃ
Ｈ_２ＯＣＨ_３）Δ _H (ppm) and (assignment) are listed below. 0.96 (?), 1.40 (-OCH 2 C H 3), 3.
01 (?), 3.24 (? ), 3.29 (-OCH 2 C
_{H 2 OC H 3), 3.46} (-OCH 2 C H 2 OC
_{H 3), 4.55 (-OC H} 2 CH 3, -OC H 2 C
H ₂ OCH ₃ )

【００５９】（６）ＦＴ−ＩＲ 測定結果を図７に示した。(6) FT-IR measurement results are shown in FIG.

【００６０】[0060]

【図７】FIG. 7

【００６１】スペクトル（ｃｍ^−１） ２９６６，２９２０，２８６０，２７０４，１４５２，
１３７５，１３５６，１２８３，１２４２，１１９８，
１１７７，１１０５，１０７０，１０２２，９６４，９
１４，８４１，６１０，５４８，４８２， 低周波６１０，５４８，４８２は、Ｔａ−Ｏ及びＬｉ−
Ｏの振動である。Spectrum (cm ^-1 ) 2966, 2920, 2860, 2704, 1452,
1375, 1356, 1283, 1242, 1198,
1177,1105,1070,1022,964,9
14, 841, 610, 548, 482, low frequencies 610, 548, 482 are Ta-O and Li-
O vibration.

【００６２】（７）蒸気圧 蒸留による推定値 ０．３Ｔｏｒｒ／１９０℃(7) Vapor pressure Estimated value by distillation 0.3 Torr / 190 ° C.

【００６３】（８）性状と融点 室温で淡黄色透明な液体で、その融点は０℃以下であっ
た。(8) Properties and Melting Point At room temperature, it was a pale yellow transparent liquid, and its melting point was 0 ° C. or less.

【００６４】（９）液密度 １．４５ｇ／ｃｍ^３ (9) Liquid density 1.45 g / cm ³

【００６５】（１０）動粘度 蒸留直後は約１００ｃＳｔであったが、室温で放置して
おくと約１０００ｃＳｔになった。(10) Kinematic viscosity It was about 100 cSt immediately after distillation, but it was about 1000 cSt when left at room temperature.

【００６６】（１１）ＴＧ−ＤＴＡ 測定結果を図８に示した。２００℃までで約３％の減量
がみられるのは、試料を測定系にセットする間に大気中
の水分と反応し、加水分解で生じたアルコールが飛散し
たものと推定される。(11) TG-DTA FIG. 8 shows the measurement results. The reason why a weight loss of about 3% is observed up to 200 ° C. is presumed to be the reaction of the sample with the measurement system with the moisture in the air and the scattering of alcohol generated by hydrolysis.

【００６７】[0067]

【図８】FIG. 8

【００６８】（１２）溶解度 トルエン、ヘキサン、ＴＨＦに任意に溶ける。(12) Solubility: It is arbitrarily soluble in toluene, hexane and THF.

【００６９】以上述べたうちの主に組成分析、ＥＩ−Ｍ
Ｓ、^１Ｈ−ＮＭＲ、ＦＴ−ＩＲから総合的に判断して、
この化合物はＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４Ｏ
ＣＨ_３）_２と同定した。Of the above, mainly the composition analysis, EI-M
Judging comprehensively from S, ¹ H-NMR and FT-IR,
This compound is LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ O
CH ₃ ) ₂ .

【００７０】[0070]

【実施例３】ＣＶＤ法によるＬｉＮｂＯ_３薄膜の製造 減圧熱ＣＶＤ装置系（全圧１０Ｔｏｒｒ）の原料容器に
実施例１で得られたＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２
Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２２０ｇを充填し、該容器を１７０℃の
恒温に保ち、アルゴンを３０ｓｃｃｍバブリングで導入
し、ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）
_２の蒸発した蒸気を同伴させ、熱分解炉に送った。熱分
解炉入り口でこのガスと３０ｓｃｃｍの酸素ガスと混合
した。熱分解炉中では、サファイア基板を６５０℃に加
熱しており、この基板上に混合ガスを導き、熱分解析出
をおこさしめ基板上に２００ｎｍの厚さの薄膜を得た。
この結晶構造をＸＲＤで分析した結果、ＬｉＮｂＯ_３で
あった。Example 3 Production of LiNbO ₃ Thin Film by CVD Method LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ ) obtained in Example 1 was placed in a raw material container of a reduced pressure thermal CVD system (total pressure: 10 Torr).
20 g of H ₄ OCH ₃ ) ₂ , the vessel was kept at a constant temperature of 170 ° C., argon was introduced by bubbling 30 sccm, and LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) was introduced.
The evaporating vapor of ₂ was entrained and sent to a pyrolysis furnace. This gas was mixed with 30 sccm of oxygen gas at the entrance of the pyrolysis furnace. In the thermal decomposition furnace, the sapphire substrate was heated to 650 ° C., and a mixed gas was introduced onto the substrate to cause thermal decomposition deposition to obtain a thin film having a thickness of 200 nm on the substrate.
As a result of analyzing this crystal structure by XRD, it was found to be LiNbO ₃ .

【００７１】[0071]

【実施例４】ＣＶＤ法によるＬｉＴａＯ_３薄膜の製造 実施例３で用いたＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ
_４ＯＣＨ_３）_２の代わりに、ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４
（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２を使った以外は実施例３と同
様にして薄膜を得た。この結晶構造をＸＲＤで分析した
結果、ＬｉＴａＯ_３であった。Example 4 Production of LiTaO ₃ Thin Film by CVD Method LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H) used in Example 3
₄ Instead of OCH ₃ ) ₂ , LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄
A thin film was obtained in the same manner as in Example 3 except that (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) ₂ was used. As a result of analyzing the crystal structure by XRD, it was found to be LiTaO ₃ .

【００７２】[0072]

【発明の効果】本発明の式Ｉで表されるニオブ、タンタ
ルとリチウムとのダブルアルコキシドは室温で液体で、
熱解離しにくく、１９０℃で０．３Ｔｏｒｒ程度の蒸気
圧を有しているので、これをＣＶＤ原料として容易にリ
チウムニオベート、リチウムタンタレート誘電体薄膜を
製造することができる。また、量論比の組成の膜が作り
やすいので、量産性の点で工業的価値が極めて大きい。The double alkoxide of niobium, tantalum and lithium of the formula I of the present invention is liquid at room temperature,
Since it is difficult to thermally dissociate and has a vapor pressure of about 0.3 Torr at 190 ° C., a lithium niobate or lithium tantalate dielectric thin film can be easily manufactured using this as a CVD raw material. Further, since a film having a stoichiometric composition is easily formed, the industrial value is extremely high in terms of mass productivity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ
_３）_２のＥＩ−ＭＳによる測定結果を示す図である。FIG. 1 LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH
₃ ) It is a figure which shows the measurement result by EI-MS of ₂ .

【図２】ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ
_３）_２の^１Ｈ−ＮＭＲによる測定結果を示す図である。FIG. 2 LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH
₃₎ it is a diagram illustrating a measurement result by the _second ¹ H-NMR.

【図３】ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ
_３）_２のＦＴ−ＩＲによる測定結果を示す図である。FIG. 3 LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH
₃ ) It is a figure which shows the measurement result by FT-IR of ₂ .

【図４】ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ
_３）_２のＴＧ−ＤＴＡによる測定結果を示す図である。FIG. 4 LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH
₃ ) It is a figure which shows the measurement result by TG-DTA of ₂ .

【図５】ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ
_３）_２のＥＩ−ＭＳによる測定結果を示す図である。FIG. 5 LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH
₃ ) It is a figure which shows the measurement result by EI-MS of ₂ .

【図６】ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ
_３）_２の^１Ｈ−ＮＭＲによる測定結果を示す図である。FIG. 6: LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH
₃₎ it is a diagram illustrating a measurement result by the _second ¹ H-NMR.

【図７】ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ
_３）_２のＦＴ−ＩＲによる測定結果を示す図である。FIG. 7: LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH
₃ ) It is a figure which shows the measurement result by FT-IR of ₂ .

【図８】ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ
_３）_２のＴＧ−ＤＴＡによる測定結果を示す図である。FIG. 8: LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH
₃ ) It is a figure which shows the measurement result by TG-DTA of ₂ .

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【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成１１年１０月２２日（１９９９．１０．
２２）[Submission date] October 22, 1999 (1999.10.
22)

【手続補正１】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００１５[Correction target item name] 0015

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００１５】以下、ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２
Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２（リチウムニオブ（テトラエトキシ）
ビス（２−メトキシエトキシド））を例に述べる。本発
明の方法によれば、Ｌｉ（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（リチ
ウム（２−メトキシエトキシド））１モルとＮｂ（ＯＣ
_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（ニオブ（テトラエ
トキシ）（２−メトキシエトキシド））１モルをトルエ
ンなどの溶媒中あるいは無溶媒で１００〜２００℃の適
当な温度で１〜１２時間反応させることによりＬｉＮｂ
（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）_２か得られ
る。この反応生成液から溶媒を留去したのち、約０．３
Ｔｏｒｒの真空下で蒸留し、１８０〜１９０℃で得られ
る留出液が単離された目的の化合物である。Ｌｉ（ＯＣ
_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（リチウム（２−メトキシエトキシ
ド））は、２−メトキシエタノールとリチウムを室温な
いし沸点下で反応させ、過剰の２−メトキシエタノール
を減圧留去することにより得られる。Ｎｂ（ＯＣ
_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）（ニオブ（テトラエ
トキシ）（２−メトキシエトキシド））は、Ｎｂ（ＯＣ
_２Ｈ_５）_５（ニオブ（ペンタエトキシド））１モルと２
−メトキシエタノール１モルをトルエンなどの溶媒中で
１〜１０時間反応させ、次いで、生成したエタノールと
溶媒を留去することにより得られる。Hereinafter, LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂
H ₄ OCH ₃ ) ₂ (lithium niobium (tetraethoxy)
Bis (2-methoxyethoxide)) will be described as an example. According to the method of the present _{invention, Li (OC 2 H 4 OCH} 3) ( lithium (2-methoxyethoxy de)) 1 mol of Nb (OC
_{2 H 5) 4 (OC 2} H 4 OCH 3) ( Niobium (tetraethoxy) (2-methoxyethoxide)) 1 mole of a 1 at an appropriate temperature of 100 to 200 ° C. in a solvent or without a solvent such as toluene After reacting for 12 hours, LiNb
(OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) _{2 is} obtained. After distilling off the solvent from the reaction product solution, about 0.3
The distillate obtained by distillation under a vacuum of Torr at 180 to 190 ° C is the isolated target compound. Li (OC
₂ H ₄ OCH ₃₎ (lithium (2-methoxyethoxy de)) are 2-methoxy ethanol and lithium is reacted at room temperature to the boiling point, the excess 2-methoxyethanol <br/> removed by distillation under reduced pressure to obtain can get. Nb (OC
_{2 H 5) 4 (OC 2} H 4 OCH 3) ( Niobium (tetraethoxy) (2-methoxyethoxide)) is, Nb (OC
₂ H _{5) 5} (niobium (penta ethoxide)) 1 mol of 2
It is obtained by reacting 1 mol of methoxyethanol in a solvent such as toluene for 1 to 10 hours, and then distilling off the produced ethanol and the solvent.

【手続補正２】[Procedure amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００２７[Correction target item name] 0027

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００２７】スペクトル（ｃｍ^−１） ２９６６，２９２０，２８５９，２６９６，１４５４，
１３７３，１３５４，１２８５，１２４０，１１９８，
１１５１，１１０３，１０６７，１０２２，９６４，９
１２，８４１，６０５，５５６，４９８，低波数 ６０５，５５６，４９８は、Ｎｂ−Ｏ及びＬｉ−
Ｏの振動である。Spectrum (cm ^-1 ) 2966, 2920, 2859, 2696, 1454,
1373, 1354, 1285, 1240, 1198,
1151,1103,1067,1022,964,9
12,841,605,556,498 and low wave numbers 605,556,498 are Nb-O and Li-
O vibration.

【手続補正３】[Procedure amendment 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００３８[Correction target item name] 0038

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００３８】もう一つの原料であるＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４
（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）は、Ｍ（ＯＣ_２Ｈ_５）_５（ニオブ
（ペンタエトキシド）あるいはタンタル（ペンタエトキ
シド））１モルと２−アルコキシエタノール１モルをト
ルエンなどの溶媒中で１〜１０時間反応させ、次いで、
生成したエタノールと溶媒を留去することにより得られ
る。Another material, M (OC ₂ H ₅ ) ₄
(OC ₂ H ₄ OR) is obtained by mixing 1 mol of M (OC ₂ H ₅ ) ₅ (niobium (pentaethoxide) or tantalum (pentaethoxide)) with 1 mol of 2-alkoxyethanol in a solvent such as toluene. Let react for 10 hours, then
It is obtained by distilling off the produced ethanol and the solvent.

【手続補正４】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００６１[Correction target item name] 0061

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【００６１】スペタトル（ｃｍ^−１） ２９６６，２９２０，２８６０，２７０４，１４５２，
１３７５，１３５６，１２８３，１２４２，１１９８，
１１７７，１１０５，１０７０，１０２２，９６４，９
１４，８４１，６１０，５４８，４８２，低波数 ６１０，５４８，４８２は、Ｔａ−Ｏ及びＬｉ−
Ｏの振動である。Spectator (cm ^-1 ) 2966, 2920, 2860, 2704, 1452,
1375, 1356, 1283, 1242, 1198,
1177,1105,1070,1022,964,9
14, 841, 610, 548, 482 and low wave numbers 610, 548, 482 are Ta-O and Li-
O vibration.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ＬｉＭ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４Ｏ
Ｒ）_２・・・・・・式Ｉで表される化合物。（式中、Ｍ
はＮｂ又はＴａであり、Ｒは炭素数１〜４のアルキル基
である）。1. The method of claim 1, wherein LiM (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄ O
R) ₂ ... A compound represented by the formula I. (Where M
Is Nb or Ta, and R is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms). 【請求項２】 ＲがＣＨ_３である請求項１の化合物。2. The compound according to claim 1, wherein R is CH ₃ . 【請求項３】 Ｌｉ（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）とＭ（ＯＣ_２Ｈ
_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＲ）を反応させ、次いで、蒸留回
収することよりなる請求項１の化合物の製法。3. Li (OC ₂ H ₄ OR) and M (OC ₂ H
₅₎ reacting _{4 (OC} 2 _H 4 OR), then preparation of a compound of claim 1 which consists in distilling recovered. 【請求項４】 Ｌｉ（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）とＭ（ＯＣ
_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）を反応させ、次い
で、蒸留回収することよりなる請求項２の化合物の製
法。4. Li (OC ₂ H ₄ OCH ₃ ) and M (OC
_{2 H 5) 4 (OC 2} H 4 OCH 3) are reacted, then, preparation of a compound of claim 2 which consists in distilling recovered. 【請求項５】 請求項１の化合物を用いることを特徴と
する化学気相成長法による複合酸化物誘電体ＬｉＭＯ_３
薄膜の製法。5. A composite oxide dielectric LiMO ₃ by the chemical vapor deposition method, characterized by using the compound of claim 1.
Manufacturing method of thin film. 【請求項６】 請求項２の化合物を用いることを特徴と
する化学気相成長法による複合酸化物誘電体ＬｉＭＯ_３
薄膜の製法。6. A composite oxide dielectric LiMO ₃ prepared by a chemical vapor deposition method using the compound of claim 2.
Manufacturing method of thin film. 【請求項７】 ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４
ＯＲ）_２（式中Ｒは炭素数１〜４のアルキル基を表す）
で表される化合物を用いることを特徴とする化学気相成
長法によるＬｉＮｂＯ_３誘電体薄膜の製法。7. LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄
OR) ₂ (wherein R represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms)
A method for producing a LiNbO ₃ dielectric thin film by chemical vapor deposition using a compound represented by the formula: 【請求項８】 ＬｉＮｂ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４
ＯＣＨ_３）_２を用いることを特徴とする化学気相成長法
によるＬｉＮｂＯ_３誘電体薄膜の製法。8. LiNb (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄
A method for producing a LiNbO ₃ dielectric thin film by chemical vapor deposition using OCH ₃ ) ₂ . 【請求項９】 ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ_４
ＯＲ）_２（式中Ｒは炭素数１〜４のアルキル基を表す）
で表される化合物を用いることを特徴とする化学気相成
長法によるＬｉＴａＯ_３誘電体薄膜の製法。9. LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H ₄₎
OR) ₂ (wherein R represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms)
A method for producing a LiTaO ₃ dielectric thin film by chemical vapor deposition using a compound represented by the following formula: 【請求項１０】 ＬｉＴａ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４（ＯＣ_２Ｈ
_４ＯＣＨ_３）_２を用いることを特徴とする化学気相成長
法によるＬｉＴａＯ_３誘電体薄膜の製法。10. LiTa (OC ₂ H ₅ ) ₄ (OC ₂ H
A method for producing a LiTaO ₃ dielectric thin film by chemical vapor deposition using ₄ OCH ₃ ) ₂ .