JP2000517252A - 被覆された切削植刃 - Google Patents

被覆された切削植刃

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Abstract

(57)【要約】 本発明は、特に鋳鉄材料の切削に対して有益である被覆された切削植刃を開示する。この植刃は、高Ｗ合金化Ｃｏバインダー相を含む生のＷＣ−Ｃｏ超硬合金本体（Ａ）、十分に規定された表面Ｃｏ含有量、及び柱状晶粒のＴｉＣXＮYＯZの最外側層（Ｃ）と微細粒で集合組織のαＡｌ2Ｏ3の層（Ｅ）と切れ刃線に沿って除去されるＴｉＣXＮYＯZの頂部相（Ｆ）とを含む被膜を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】 被覆された切削植刃 本発明は、旋削加工による鋳鉄部品の機械加工に特に有益である被覆された切 削工具（超硬合金植刃）に関する。 鋳鉄材料は主に二つの範疇に入る鼠鋳鉄とノジュラー鋳鉄とに分けられる。一 般的に鋳鉄材料は、砂、錆、他の不純物の種々の介在物をほとんど含有する鋳肌 外層となり、またこの材料の錆よりも脱炭されフェライト領域を大量に含有する 。 Ａｌ2Ｏ3被覆切削工具で鼠鋳鉄材料を機械加工する場合、摩耗は化学的摩耗が 支配的となり、それは凝着摩耗と呼ばれる。切削工具を化学的摩耗から保護する ために、可能な限り厚いＡｌ2Ｏ3層を用いることが望ましい。このことは凝着摩 耗に係わる特性によって否定され、すなわち、この種の層に通常備わる凝着摩耗 は再研磨される。この層の断片または個々の粒が形成された工作物の切粉によっ て切れ刃から引き剥がされるときに、凝着摩耗は発生する。特に、大量のフェラ イトが存在する表面領域では、被膜の粘着特性に関する要求が厳しく見積もられ 、且つ工作物の鋳肌のそれぞれの介在物の組合せにより、主切れ刃の切り込み深 さに切り欠け摩耗を発生させる。 鼠鋳鉄の機械加工における他の臨界因子は、超硬合金植刃と被膜との間の界面 における過剰Ｃｏバインダー相に対する感受性である。過剰Ｃｏバインダー相が 被膜と超硬合金との間の粘着性を低下させ、且つ機械加工の際に被膜の剥離をも たらす。 スウェーデン特許願書９５０２６４０−７号は超硬合金本体からなる被覆切削 植刃を開示し、超硬合金本体は５〜１１ｗｔ％のＣｏ 、１０％未満好ましくは１．５〜７．５ｗｔ％のＴｉ、Ｔａ及び／またはＮｂの 金属立方晶炭化物、及び残部ＷＣの組成であり、特に低合金鋼構成材を旋削加工 により機械加工するのに適している。 次の特徴を組み合わせることによって、すなわち、高Ｗ合金バインダー相を有 する超硬合金本体と、低含有量の立方晶炭化物および特別な焼結処理から得られ る十分に規定された表面組成と、柱状晶ＴｉＣXＮYＯZ層と、集合組織のαＡｌ2 Ｏ3層と、ＴｉＮ層と、使用した刃先を簡単に識別する要求を満足することと、 ブラシ掛けによる被覆切れ刃の後処理と、鋳鉄材料特に鼠鋳鉄の機械加工用に優 れた切削工具と、が得られる驚くべきことが判明した。 図１は、本発明にしたがう被覆植刃の倍率２０００×の顕微鏡写真であり、 Ａ：超硬合金本体 Ｂ：等軸粒のＴｉＣXＮYＯZ層 Ｃ：柱状晶粒のＴｉＣXＮYＯZ層 Ｄ：等軸粒または針状粒のＴｉＣXＮYＯZ層 Ｅ：柱状晶状粒を有する集合組織ののαＡｌ2Ｏ3層 Ｆ：ＴｉＮ層 である。 本発明にしたがい、切削工具植刃は、５〜１０ｗｔ％のＣｏ、好ましくは５〜 ８ｗｔ％のＣｏ、２％未満好ましくは０．５未満の最も好ましくは０ｗｔ％のＴ ｉ、Ｔａ及び／またはＮｂの金属の立方晶炭化物、及び残部ＷＣの組成である。 ＷＣの粒径は１〜２．５μｍの範囲にある。コバルトバインダー相は大量のＷで 合金化される。バインダー相中のＷ含有量は、 ＣＷ比＝ＭS／（ｗｔ％Ｃｏ・０．０１６１） として表示することができ、 この式においてＭSは、超硬合金本体の測定された飽和磁場であり、ｋＡ／ｍ で示される、且つ ｗｔ％Ｃｏは超硬合金中のＣｏの重量％である。低ＣＷ値は、バインダー相中 の高Ｗ含有量に相当する。 超硬合金本体が０．７５〜０．９３好ましくは０．８０〜０．９０のＣＷ比を 有する場合に、改良された切削性能を達成できることが本発明にしたがいここで 明らかになった。超硬合金本体は、いずれの悪影響もなく少量の１体積％未満の イータ相（Ｍ6Ｃ）を含有することができる。 超硬合金植刃の表面組成は明瞭に限定され、表面のＣｏ含有量は公称含有量の −４ｗｔ％〜＋４ｗｔ％内にある。 代わりに、本発明にしたがう超硬合金はＷＣ及びＣｏを含み、且つ約１００〜 ３５０μｍ好ましくは１５０〜３００μｍの幅のバインダー相の枯渇した表面を 有し、バインダー相含有量が超硬合金本体の内部の公称含有量まで最大に達する ことなく単調に無段階状態に増加する。５０μｍの表面相の平均バインダー相含 有量は、公称バインダー相含有量の２５〜７５％、好ましくは４０〜６０％であ る。 被膜は、次の層を含む。 ＊ ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、好ましくはｙ＞ｘ及びｚ＜０．１、最も好ましくはｙ＞ ０．８及びｚ＝０である０．１〜２μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの第１の層（最 内層）で、且つ大きさが０．５μｍ未満の等軸粒を有する。代わりの実施態様に おいては、ＴｉＣXＮYＯZ層は，好ましくはｚ＜０．５でｙ＜０．１、最も好ま しくは０．１＜ｚ＜０．５でｙ＝０である。 ＊ ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、好ましくはｚ＝０及びｘ＞０．３及びｙ＞０．３、最も 好ましくはｘ＞０．５であり、４〜１２μｍ好ましく は５〜１０μｍ最も好ましくは６〜９μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの層であり、 且つ５μｍ未満好ましくは２μｍ未満の直径の柱状晶粒を有する。 ＊ ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、ｚ＜０．５、好ましくはｘ＞ｙ、最も好ましくはｘ＞０ ．５及び０．１＜ｚ＜０．４であり、０．１〜２μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの 層であり、０．５μｍ未満の等軸粒または針状粒を有し、この層は最外層と同一 かまたは相違する。 ＊ 集合組織で微細粒（０．５〜２μｍの平均粒径を有する）のαＡｌ2Ｏ3の 層で、３〜８μｍ好ましくは３〜６μｍの厚みを有する。そして、 ＊ ＴｉＣXＮYＯZの外側層。このＴｉＣXＮYＯZの層はｘ＋ｙ＋ｚ＝１、ｚ＜ ０．０５好ましくはｙ＞ｘの組成を有する１層またはそれ以上の層からなりる。 代わりに、この外側層は、１層または数層の連続層中にＴｉＮ／ＴｉＣ／ＴｉＮ の多層とすることができ、合計厚さは０．５〜３μｍ好ましくは１〜２μｍであ る。この層は１μｍ未満の粒径を示す。 機械加工に適切で滑らかな切れ刃線を得るために、スウェーデン特許願書９４ ０２５４３−４号に記載される方法にしたがって、被覆植刃の刃は１０μｍの長 さに渡って表面粗さＲMAX≦０．４を付与するブラシ掛け処理を施す。この処理 はＴｉＣXＮYＯZの頂部の層を切れ刃線に沿って除去する。また、表面を湿式ブ ラシ掛け処理によって滑らかにすることは本発明の範囲内である。 さらに、米国特許第５，６５４，０３５号またはスウェーデン特許願書９３０ ４２８３−６号または９４０００８９−０号に開示されるように、αＡｌ2Ｏ3層 は、Ｘ線回折装置（ＸＲＤ）で測定されるように、（１０４）方向、（０１２） 方向または（１１０）方向のいずれかの方向に、好ましくは（０１２）方向に優 先結晶成長 方位を持っている。集合組織係数、ＴＣは次のように定義される。すなわち、 TC(hkl)=[I(hkl)/I0(hkl)]×｛[(1/N)Σ[I(hkl)/I0(hkl)]｝-1 I(hkl)はこの(hkl)反射の測定強度 I0(hkl)はASTMの標準粉末の標準強度 パターンの回折試料 ｎは計算に使用した反射数 （hkl）：使用した反射は（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３） 、（０２４）、（１１６）である。 （０１２）、（１０４）また（１１０）の結晶面の組のＴＣは、１．３より大 きく、好ましくは１．５より大きくするのが当然である。 本発明の方法にしたがう上記のＣＷ比を有する高Ｗ合金化バインダー層を含む ＷＣ−Ｃｏ基超硬合金本体は焼結工程が施され、且つ米国特許第５，３８０，４ ０８号に開示するようにエッチングによって表面コバルトを除去した。代わりの ＷＣ−Ｃｏからなる超硬合金に対しては、少なくとも１２００℃以下までの冷却 が、スウェーデン特許願書９６０２７５０−３号の開示のように、圧力０．４〜 ０．９の水素雰囲気中で実施してもよい。 植刃は次のように被覆される。すなわち、 ＊ ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、好ましくはｙ＞ｘ及びｚ＜０．１、最も好ましくはｙ＞ ０．８及びｚ＝０である０．１〜２μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの第１の層（最 内層）であり、且つ大きさが０．５μｍ未満である等軸粒を有する。代わりの実 施態様においては、ＴｉＣXＮYＯZ層は，好ましくはｚ＜０．５及びｙ＜０．１ 、最も好ましくは０．１＜ｚ＜０．５及びｙ＝０を有する。 ＊ ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、好ましくはｚ＝０及びｘ＞０．３及びｙ＞０．３、最も 好ましくはｘ＞０．５である４〜１２μｍ好ましくは５〜１０μｍの厚みのＴｉ ＣXＮYＯZの層であり、且つ５μｍ未満好ましくは２μｍ未満の直径の柱状晶粒 を有し、好ましくはＭＴＣＶＤ法によって蒸着される（７００〜９００℃の温度 範囲でこの層を形成するために炭素及び窒素の源としてアセトニトリルを使用す る）。しかしながら、正確な条件は使用する装置の仕様に大きく依存する。 ＊ ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、ｚ＜０．５、好ましくはｘ＞ｙ、最も好ましくはｘ＞０ ．５及び０．１＜ｚ＜０．４であり、０．１〜２μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの 層であり、且つ０．５μｍ未満の大きさの等軸粒または針状粒であり、既知のＣ ＶＤ法を使用してこの層は最内層と同一かまたは相違させる。 ＊ 米国特許第５，６５４，０３５号またはスウェーデン特許願書９３０４２ ３８−６号または９４０００８９−０号にしたがう滑らかで集合組織のαＡｌ2 Ｏ3の中間層で、３〜８μｍ好ましくは３〜６μｍの厚みを有する。 ＊ ＴｉＣXＮYＯZの外側層は、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、ｚ＜０．０５、好ましくは ｙ＞ｘである組成の１層または数層の連続層からなる。代わりに、この外側層は １層または数層の連続層中にＴｉＮ／ＴｉＣ／ＴｉＮの多層とすることができる 。合計被膜厚さは、０．５〜３．０μｍ好ましくは０．５〜２．０μｍである。 この外側層の粒径は１μｍ未満である。 植刃の刃線は、例えば、スウェーデン特許願書９４０２５４３−４号に開示す るように、刃をブラシ掛けすることによって滑らかにされる。 ｚ＞０のＴｉＣXＮYＯZ層が望ましい場合、ＣＯ2及びＣＯの 少なくとも一方が反応混合ガスに添加される。実施例１ Ａ． ６．０ｗｔ％のＣｏと残部ＷＣの組成の型式ＣＮＭＧ１２０４１２−Ｋ Ｍの超硬合金切削工具植刃は、１４１０℃の慣用の方法で焼結され０．６バール のＨ2で１２００℃以下に冷却される。この植刃は、０．８５のＣＷ比に相当す る大量のＷで合金化されたバインダー層を有し、且つエネルギ分散分光器で測定 したときに表面に７ｗｔ％に相当するＣｏ含有量を有した。慣用のＥＲ処理のあ と、植刃は、約０．２μｍの平均粒径で且つｘ＝０．１、ｙ＝０．９、ｚ＝０で ０．５μｍの等軸のＴｉＣXＮYＯZ層で被覆し、引き続き２．５μｍの平均粒径 の柱状晶粒を有するｘ＝０．５５、ｙ＝０．４５である０．８μｍの厚みのＴｉ ＣXＮYの層で被覆し、ＭＴＣＶＤ法（処理温度８５０℃炭素／窒素の源としてＣ Ｈ3ＣＮ）を使用した。同一被覆サイクルの際のその後の処理工程において、等 軸粒で０．２μｍの平均粒径の１μｍ厚さのＴｉＣXＮYＯZ層が蒸着され、引き 続き約１．２μｍ平均粒径を有する（０１２）集合組織のαＡｌ2Ｏ3の５．０μ ｍの厚さの層が米国特許第５，６５４，０３５号で与えられる条件でしたがって 蒸着された。αＡｌ2Ｏ3層の頂部に、ＴｉＮ／ＴｉＣ／ＴｉＮ／ＴｉＣ／ＴｉＮ が、１．５μｍの合計被膜厚さの多層構造で且つそれぞれの個々の層に０．３μ ｍ未満の平均粒径で蒸着された。最後に植刃は、切れ刃線を研削材料のようなＳ ｉＣを含有する３２０メッシュのブラシで滑らかにするブラシ掛け処理を施して 、外側のＴｉＮ／ＴｉＣ多層が切れ刃線に沿ってブラシ掛け処理によって除去さ れた。 Ｂ． ６．０ｗｔ％のＣｏと残部ＷＣの組成の型式ＣＮＭＧ１２０４１２−Ｋ Ｍの超硬合金切削工具植刃は、Ａに記載されるような方法で被覆された。植刃は ０．８８のＣＷ比を有し且つそれらは冷 却工程の際にＨ2無しで慣用の焼結が施された。被覆処理の前に、この植刃は、 米国特許第５，３８０，４０８号にしたがう電解エッチング処理を含む表面洗浄 処理が成された。植刃表面のＣｏ含有量は、エネルギ分散分光器で測定したとき に約５ｗｔ％であった。超硬合金は、約２５０ｍｙｍの幅のバインダー相枯渇表 面領域を有し、その表面領域のバインダー相含有量は、超硬合金本体の内部の公 称含有量まで最大なしに単調に無段階状態に増加した。２５ｍｙｍの表面領域の 平均バインダー相含有量は３ｗｔ％であった。この植刃は、Ａと同一の最終ブラ シ掛け処理が施された。 Ｃ． Ａと同一バッチの型式ＣＮＭＧ１２０４１２−ＫＭの超硬合金切削工具 植刃は、先行技術にしたがい２．０μｍ未満の粒径である４μｍの等軸のＴｉＣ 層で被覆され、引き続き先行技術にしたがい６μｍの厚みのαＡｌ2Ｏ3層が被覆 された。、ＸＲＤ分析はＡｌ2Ｏ3の層が約６０／４０の比率のαＡｌ2Ｏ3とκＡ ｌ2Ｏ3との混合物からなることを示した。ＸＲＤで測定した場合このαＡｌ2Ｏ3 は優先成長方位を示さなかった。κＡｌ2Ｏ3の粒径は２．０μｍであったが、一 方αＡｌ2Ｏ3は５．５μｍ以下の粒であった。 Ｄ． Ｃと同一バッチの超硬合金切削工具植刃、この植刃は被覆後にブラシ処 理が施された。 Ｅ． Ａと同一バッチの型式ＣＮＭＧ１２０４１２−ＫＭの超硬合金切削工具 植刃が、平均結晶粒径が０．２μｍである２μｍの等軸のＴｉＣXＮYの層で被覆 され、引き続き先行技術にしたがい、Ａのような同一処理条件にしたがい蒸着す る約３．０μｍの平均粒径と６μｍ厚さの（０１２）の集合組織のαＡｌ2Ｏ3の 層と共に８μｍ厚みの柱状晶ＴｉＣＮが蒸着された。この植刃はＡのような同一 のブラシ掛け処理が成された。 Ｆ． ６ｗｔ％のＣｏと４ｗｔ％の立方晶炭化物と残部ＷＣとの組成の型式Ｃ ＮＭＧ１２０４１２−ＫＭの超硬合金切削工具植刃は、Ａのような同一の被覆処 理が成された。この植刃のＣＷ比は０．８８であり、それらは冷却段階の際にＨ2 を使用する焼結工程が成され、表面のＣｏ含有量はエネルギ分散分光器によっ て測定した場合に９％であった。この植刃はＡのような同一のブラシ掛け処理が 成された。 Ｇ． ６．０ｗｔ％のＣｏ残部ＷＣとの組成の型式ＣＮＭＧ１２０４１２−Ｋ Ｍの超硬合金切削工具植刃は、植刃Ｅに記載される手順のもとで被覆された。超 硬合金は０．９８のＣＷ比を有し、この植刃は冷却段階の際にＨ2を使用しない 慣用の焼結工程が成された。この植刃はＥＲ処理され且つ慣用の方法で洗浄され た。被覆する前の表面のＣｏ含有量は、エネルギ分散分光器で測定した場合に３ ０ｗｔ％であった。この植刃はＡのような同一のブラシ掛け処理が成された。 この植刃は正面削り作業で試験された。工作物材料はノジュラー鋳鉄、ＳＳ７ １７であった。工作物の形状が各回転ごとに中断切削条件を与える。切削速度は ２５０ｍ／ｍｉｎであり、送りは０．１０ｍｍ／回転であり、切り込み深さは２ ．０ｍｍであった。この作業は冷却剤が使用された。 この種の作業は、一般的に連続的な切削剥離を生じる。被膜が植刃を断片状に 引き剥がした。摩耗は被膜が剥離した刃先線の部分として測定することができ、 この切削作業において使用された刃先線の合計長さを比較する。 植刃の種類 剥離した刃先線の％ Ａ ５未満 Ｂ ５未満 Ｃ １００ Ｄ ７０ Ｅ ２５ Ｆ ２０ Ｇ ５０実施例２ 上記実施例１のＡ、Ｂ、Ｄ及びＥのタイプの植刃が、中断削り作業において鼠 鋳鉄ＳＳ０１２５で試験された。この切削条件は、被膜の耐剥離性並びに被膜の 化学的な凝着摩耗耐性に関する高い要求を評価することができる。工作物の形状 は、各回転に対して、工作物に二つの入口が中断切削条件を与えるようになって いる。切削速度は３００ｍ／ｍｉｎであり、切削送りは０．２５ｍｍ／回転であ り、切り込み深さは２．０ｍｍであった。機械加工は冷却剤を使用せずに行った 。 植刃の種類 刃先が摩耗する前の通過回数 Ａ ６０ Ｂ ５５ Ｄ ４８ Ｅ ４８実施例３ 実施例２と同一の切削条件及び実施例１と同一のバッチからのタイプＡ、Ｂ、 Ｃ、Ｄ及びＦの植刃。この試験において、機械加工の際に冷却剤が使用された。 植刃の種類 通過回数 刃の状態 Ａ ６０ 刃先線の重要でないチッピング 摩耗無し Ｂ ５５ 刃先線の損傷無し、摩耗無し Ｃ ４８ 切れ刃の破壊、植刃の摩耗 Ｄ ２４ 切れ刃の破壊、植刃の摩耗 Ｆ ２４ 切れ刃の破壊、植刃の摩耗実施例４ 上記実施例１のタイプＡ、Ｂ及びＧの超硬合金植刃が、被膜の剥離をもたらす 切れ刃の変形を発生し且つ植刃の摩耗を促進する旋削加工試験で試験された。試 験は、長手方向切削作業において送りと切り込み深さとの所定の組合せで、ノジ ュラー鋳鉄ＳＳ００７３７で実施された。超硬合金の変形の発生する前の最も高 くできる切削速度が求められた。 植刃の種類 最も高くできる切削速度、ｍ／ｍｉｎ Ａ ４７５ Ｂ ４５０ Ｇ ４００
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 リュングベルウ，ビョールン スウェーデン国，エス―122 44 エンス ケーデ，クルステタルベーゲン 96 (72)発明者 レナンデル，アンデルス スウェーデン国，エス―135 53 テレス ェ，ソフィーベルスベーゲン 33 アー

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １．被膜と超硬合金本体とを含む切削工具植刃であって、 超硬合金本体が、ＷＣと、５〜１０ｗｔ％のＣｏと、周期律表のＩＶｂ、Ｖｂ またはＶＩｂ族の金属の炭化物を０．５ｗｔ％未満とを含み、高Ｗ合金化バイン ダー相を含み、０．８〜０．９のＣＷ比を有し、且つ前記超硬合金本体の表面組 成が明瞭に限定され該表面のＣｏ含有量が公称Ｃｏ含有量の−４ｗｔ％〜＋４ｗ ｔ％内にあり、 前記被膜が、 ＊ ０．５μｍ未満の大きさの等軸粒を有し、且つｘ＋ｙ＋ｚ＝１、ｙ＞ｘ及 びｚ＜０．１であり０．１〜２μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの第１の層（最内層 ）、 ＊ ２μｍ未満の直径の柱状晶粒を有し、且つｘ＋ｙ＋ｚ＝１、ｚ＝０、ｘ＞ ０．３及びｙ＞０．３であり５〜１０μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの層、 ＊ ０．５μｍ未満の大きさの等軸粒または針状粒を有し、且つｘ＋ｙ＋ｚ＝ １、ｚ＜０．５及びｘ＞ｙであり０．１〜２μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの層、 ＊ ３〜６μｍの厚みを有し滑らかで集合組織の微細粒（０．５〜２μｍ）で あるαＡｌ2Ｏ3の層、及び ＊ １μｍ未満の粒径を有し、且つｘ＋ｙ＋ｚ＝１、ｚ＜０．０５であり０． ５〜３μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの外側層、 を含んでなり、且つ 外側被膜層が少なくとも切れ刃線において除去されるので、Ａｌ2Ｏ3層が切れ 刃線に沿う頂部にあり、且つＴｉＣXＮYＯZの外側層が逃げ側の頂部層である、 ことを特徴とする切削工具植刃。 ２．前記αＡｌ2Ｏ3の層が、（０１２）方向の集合組織と、１．３より大きな 集合組織係数ＴＣ（０１２）とを有することを特徴とする請求項１記載の切削工 具植刃。 ３．ＴｉＣXＮYＯZの第１の層（最内層）がｚ＜０．５及びｙ＜０．１の組成 を有することを特徴とする先行請求項のいずれか１項に記載の切削工具植刃。 ４．ＴｉＣXＮYＯZの外側層は１層または数層の連続層にＴｉＮ／ＴｉＣ／Ｔ ｉＮの多層を含むことを特徴とする先行請求項のいずれか１項に記載の切削工具 植刃。 ５．ＷＣ−Ｃｏ基超硬合金本体に、 ＊ 少なくとも１２００℃以下まで０．４〜０．９バールの圧力の水素雰囲気 で実施される冷却工程を含んでなる焼結工程を施し、且つその後、 ＊ 既知のＣＶＤ法を使用して０．５μｍ未満の大きさの等軸粒を有し、０． １〜２μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの第１の層（最内層）、 ＊ ８５０〜９００℃の所望の温度範囲においてこの層を形成するために炭素 源及び窒素源としてアセトニトリルを使用し、ＭＴＣＶＤ法によって蒸着した柱 状晶粒及び５μｍ未満の直径を有し、４〜１２μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの層 、 ＊ 既知のＣＶＤ法を使用して０．５μｍ未満の大きさの等軸粒または針状粒 を有し、０．１〜２μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの層、 ＊ 既知のＣＶＤ法を使用して３〜８μｍの厚みを有し、（０１２）、（１０ ４）または（１１０）方向に集合組織となる滑らかで集合組織のαＡｌ2Ｏ3の層 、及び ＊ 既知のＣＶＤ法を使用して０．５〜３μｍの厚みのＴｉＣXＮYＯZの外側 層、 を被覆し及びさらに、 ＊ ＴｉＣXＮYＯZの外側層がブラシ掛けまたはブラスト処理によって少なく とも切れ刃線で除去されるので、Ａｌ2Ｏ3層が切れ刃線に沿う頂部にあり、且つ ＴｉＣXＮYＯZの外側層が切削植刃の逃げ側の頂部層にある、 ことを特徴とする切削工具植刃の製造方法。
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