JP2012077375A - 真空蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の真空蒸着装置では、冷却機構を有し、ボート11からの金属蒸気の基材方向以外への飛散を防止する第1の防着板16と、第1の防着板16よりもボート11側に防着面を有し、ボート11からの金属蒸気の基材方向以外への飛散を防止するとともに脱着自在に配設された第2の防着板19とを備えた構成とした。この構成により、蒸着時に第2の防着板19はボート11からの輻射熱にて十分に熱を帯びた状態となっているため、金属蒸気は第2の防着板19の表面上では固化しにくく、第2の防着板19に蒸着金属が付着することはほとんどないものとなる。この結果、金属層の剥離の可能性が低減され、本発明の真空蒸着装置は信頼性の高いものとなっている。
【選択図】図2
Description
場合には金属層を剥離させずに問題なく蒸着を行えたにも関わらず、2種類以上の金属からなる合金を金属材料103として用いた場合には上述のような原因により金属層が剥離してしまうという課題が生じていた。さらに、この剥離した金属層が蒸発源102に落下して再度加熱された際には、スプラッシュと呼ばれる金属塊の飛散が発生することがある。スプラッシュが発生した場合、飛散した金属塊が誘電体フィルムに付着、あるいは誘電体フィルムを傷つけることによって完成品としての金属化フィルムコンデンサの品質を著しく低下させてしまう恐れがあった。
まず、本実施例の真空蒸着装置1の全体の構成とその動作について図1を用いて説明する。図1は真空蒸着装置1の構成を示した概略正面図である。
シウムの合金からなる膜よりも厚みを厚く形成することで抵抗値を低くしたものであり、この低抵抗部は金属化フィルムコンデンサとして誘電体フィルム3を巻回した際にメタリコン電極と接続するようにしている。
態となっている。このとき、防着面20は第1の防着板16よりもボート11側に位置することになる。
本実施例の真空蒸着装置は、実施例1の真空蒸着装置1で用いた第2の防着板19の構成が異なる。この他の点に関しては実施例1と同様の構成であるのでその説明を省略する。なお、本実施例では実施例1の第2の防着板19と区別するため、「第2の防着板28」と記載する。
2 真空槽
3 誘電体フィルム
4 原反ロール
5 回転ローラ
6 メインキャン
7 パターンロール
8 蒸着室
8a 底板
9 線材
10 線材供給ロール
11 ボート
12 亜鉛蒸着部
13 回転ローラ
14 巻き取りロール
15 仕切り板
16 第1の防着板
17 フィーダ管
18 電極
19、28 第2の防着板
20、30 防着面
21、31 折り曲げ端
22、32 折り返し片
23 補強柱
24、36 ボルト孔
25、37 ボルト
26 固定穴
27 断熱材
29 貫通孔
33 屈曲部
34 防着面上部
35 防着面下部
Claims (7)
- 基材を所定の速度で搬送しながら、この基材の表面に金属微粒子を蒸着させる真空蒸着装置であり、
前記基材の下方に配設され、金属材料を加熱して金属蒸気を発生させる蒸発源と、
冷却機構を有し、前記蒸発源からの金属蒸気の前記基材方向以外への飛散を防止する第1の防着板と、
前記第1の防着板よりも前記蒸発源側に防着面を有し、前記蒸発源からの金属蒸気の前記基材方向以外への飛散を防止するとともに脱着自在に配設された第2の防着板と、
前記蒸発源、前記第1の防着板、および前記第2の防着板を内部に収容した真空槽を備えた真空蒸着装置。 - 基材を所定の速度で搬送しながら、この基材の表面に金属微粒子を蒸着させる真空蒸着装置であり、
前記基材の下方に配設され、所定の位置に設けられた複数のフィード管から供給された金属材料を加熱して金属蒸気を発生させる蒸発源と、
冷却機構を有し、前記蒸発源からの金属蒸気の前記基材方向以外への飛散を防止する第1の防着板と、
前記第1の防着板よりも前記蒸発源側に防着面を有し、前記蒸発源からの金属蒸気の前記基材方向以外への飛散を防止するとともに前記複数のフィード管どうしの間に脱着自在に配設された複数の第2の防着板と、
前記蒸発源、前記第1の防着板、および前記複数の第2の防着板を内部に収容した真空槽を備えた真空蒸着装置。 - 前記第2の防着板は、前記第1の防着板に断熱材を介して掛止された請求項1または2に記載の真空蒸着装置。
- 前記第2の防着板は、金属板を折り曲げることで形成されるとともに断面が略L字状を呈し、
前記第2の防着板を前記第1の防着板上部に断熱材を介して掛止した請求項1または2に記載の真空蒸着装置。 - 前記第2の防着板は金属板を折り曲げることで形成された折り曲げ端をさらに折り返すことで形成された折り返し片を有し、
前記折り返し片にボルトを貫挿し、前記折り返し片を前記第1の防着板上部と断熱材を介した状態で固定することで、前記第2の防着板を前記第1の防着板に掛止した請求項4に記載の真空蒸着装置。 - 前記第2の防着板は、ステンレス、銅、ニッケル、コバルト、鉄、チタンのいずれか、またはこれらの金属のうちの複数の金属の合金からなる請求項1または2に記載の真空蒸着装置。
- 前記第2の防着板は、前記防着面上部が前記蒸発源側に屈曲した請求項2に記載の真空蒸着装置。
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