JP2000193100A - 液体定量吐出バルブ - Google Patents
液体定量吐出バルブInfo
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Abstract
当って、ニードル弁体の移動に起因する液室内の圧力変
動を相殺して、高精度で安定した液体吐出および吐出停
止を行うこと。 【解決手段】 吐出口を閉止開放するニードル弁体の進
退移動に同期して、その弁体の移動によって生じる液室
内の圧力変動を相殺するような方向に、液室の体積を変
化させる圧力補償手段とを備える。
Description
物質等をも含む液体の定量吐出装置に用いられるのに好
適な吐出バルブに関するものである。
造工程において、ペースト等の電子材料を基板上に規則
的にまたは不規則にポイント塗布、線状塗布等するに当
って使用されている。このような液体定量吐出装置にお
いて、液体貯留容器からピストンのような加圧手段によ
って押し出される液体は、吐出バルブの開閉量および開
閉時間等によってその吐出量が制御されるようになって
いる。このような吐出バルブには各種タイプのものがあ
り、吐出されるべき液体の種類や単位時間当たりに吐出
されるべき液体の量等によって適切な吐出バルブが使い
分けされている。特に、ニードルバルブと呼ばれる吐出
バルブは、液室内に移動可能に設けられた鋭角な先端を
有するニードル弁体と、ニードル弁体の先端部を受ける
ように設けられ、吐出口に通じる小さな開口を中央部に
形成した弁座とを含み、ニードル弁体の先端が弁座中央
部の開口を塞ぐことによって液体吐出を停止させ、開口
から離れることによって液体吐出を行うように構成され
ているため、ニードル弁体の微小なストローク調整に対
する弁座開口の有効断面積の変化が少ないという特性を
有しており、その特性のゆえに、液体の微量吐出に好適
であるとされている。このようなニードルバルブは、本
出願人によって出願された、「液体定量吐出装置」を表
題とする特願平10-309179 号(出願日:平成10年10月29
日)に開示されている。
ニードルバルブを用いて液体定量吐出を行う際には、液
体吐出口に連通する開口を有して形成されている液体室
内に占めるニードル弁体の割合が変化する、すなわち、
液室内でのニードル弁体の占有体積の変化が起こるの
で、これによって液室内の液圧の変化が起こり、その結
果、吐出される液体の吐出速度 (吐出量) が微妙に変化
してしまうという問題がある。このようなニードル弁体
の占有体積は、バルブ開放時には最小であるが、開放時
から閉鎖時に向かう際には次第に増加し、閉鎖時には最
大となり、液体の吐出量に影響を与えることになる。特
に、吐出量が微量かつ一定であることが要求されている
場合には、小さな体積変化でも吐出量の変動要素として
大きく作用することになる。
ブが抱える問題点を解消することにあり、液体の微小吐
出を高精度でしかも安定的に行うと共にその吐出停止を
すばやく行うことができる液体定量吐出バルブを提供す
ることにある。本発明の他の目的は、液体の吐出口を開
閉させるニードル弁体の移動に伴う液室内の液圧の変化
を相殺するように、液室の体積を増減させる圧力補償手
段を備えた液体定量吐出バルブを提供することにある。
に、本発明の液体定量吐出バルブは、液体貯留容器に連
通する入口孔と、その入口孔から導入された液体を収容
する液室と、その液室の液体が吐出されるべき出口孔と
を有して形成されたバルブ本体と、液室内において第1
位置と第2位置との間で移動可能に設けられたニードル
状の弁体と、その弁体の第1位置において弁体の先端を
受けて上記出口孔が閉鎖されるように形成された弁座
と、上記弁体の移動に伴う液室内の液圧の変動を相殺す
るように、上記弁体の移動に同期して、液室の体積を変
化させる圧力補償手段とを備えることを特徴とする。
ードル状の弁体は、第1位置と第2位置との間の移動に
よって液体の吐出量を制御するように構成されるが、こ
の移動によって生じる液室内における弁体の占有体積の
変化、すなわち液圧の変化が圧力補償手段の作動によっ
て同時に相殺されるので、液室内の液圧は常に所定の値
に保持され、バルブ作動中の吐出流速を一定に保持する
ことができる。特に、小さな寸法および体積のニードル
弁体の移動による微小な液圧の変動を有効に吸収するこ
とができるので、液体吐出を高精度でかつ安定的に行う
ことができる。
ブ本体をシリンダーの形態に構成することができ、その
ような形態においては、ニードル弁体の後端は、シリン
ダー内のピストンに連結され、圧力補償手段は、上記ピ
ストンと独立に設けられその一部が上記液室内に臨んで
配設された圧力補償ピストンからなり、上記ピストンの
移動によって生じる液室内における弁体の占有体積の変
化は、上記圧力補償ピストンを上記ピストンの移動方向
と反対の方向へ移動させることによって相殺されるよう
に構成される。
ンがシリンダーのピストンの進退変位と同時に作動し、
圧力補償ピストンの液室内に臨ませた一端が液室内に占
める体積がピストンの進退変位に伴って変化するので、
吐出口およびその近傍部分の圧力変動に、より簡単かつ
迅速に、しかも的確に対処することができる。たとえ
ば、バルブが開放作動するときは、吐出口近傍部分に占
めるニードル弁体の体積が減少し、逆に、バルブを閉止
作動させるときはニードル弁体の占有体積が増加するこ
とになるので、前者の場合には、圧力補償ピストンを進
出変位させて、その一端が液室内に進出させることで、
吐出近傍部分の液圧の低下を防止することができ、また
後者の場合には、その圧力補償ピストンを後退変位させ
て、その一端を液室から後退させることで、液圧の増加
を防止することができる。
置から第2位置までのストローク長を調整するための手
段が設けられるのが好ましく、弁体のストローク長の調
整によって液体の吐出流速を所望の値に設定することが
できる。さらに、ニードル弁体の移動および圧力補償手
段を形成するアクチュエータの駆動は、それぞれ電磁駆
動手段によって行うように構成することもできる。この
ような場合には、ニードル弁体の後端は、バルブ本体の
外側に配設した第1の電磁駆動手段に接続され、上記ア
クチュエータは、バルブ本体の外側に配設した第2の電
磁駆動手段に接続される。
れは、ステップモータおよびその回転を直線運動に変換
する機構とから構成することができる。また、上記第1
電磁駆動手段は、弁体の後端に接続された第1のプラン
ジャーと、その第1のプランジャーを駆動させる第1の
磁気コイルとから構成すると共に、上記第2電磁駆動手
段は、アクチュエータの一端に接続される第2のプラン
ジャーと、その第2のプランジャーを磁気的に駆動させ
る第2の磁気コイルとから構成することもできる。この
ように構成された吐出バルブは、液室内の弁座近傍に圧
力センサーを配置して液圧を検出し、この検出結果に基
づいて、第1電磁駆動手段と第2電磁駆動手段の駆動方
向および駆動時間をそれぞれ制御するように構成するこ
ともできる。
ブの実施形態を添付図面に基づいて説明する。図1は本
発明の第1の実施形態を示す断面図であり、図中10は
吐出バルブとしてのニードルバルブの全体を示す。この
ニードルバルブは複動型のエアシリンダー12の形態に
構成されたバルブ本体を有し、このバルブ本体内には、
液体貯留容器 (図示を省略する) に連通する入口孔、す
なわち液体導入口14を介して液室16に導入される加
圧液体を吐出口18から定量的に排出させるためのニー
ドル弁体20が配設されている。このニードル弁体20
は、エアシリンダー10内のピストン24によって昇降
されるように構成され、ニードル状の先端が弁座22中
央部の開口に接触して液体の吐出を停止させている第1
の位置と、第1の位置から上方に向かって所定の距離だ
け離れた位置であって、吐出口から排出される液体の最
大吐出量を与えるような第2位置との間でスムーズに移
動できるようになっている。
トン24に接続され、その先端は弁座22の中央部に形
成した吐出口18に通じる開口に向けて配置されてい
る。このようなニードル弁体20を移動させるピストン
24は、バルブ本体に設けた空気室30内にスライド可
能に配設され、ポートa1から圧縮空気を供給すること
によってニードル弁体20を降下させ、ポートa2から
圧縮空気を供給することによってニードル弁体20を上
昇させるように構成される。
されると共に隔壁27によって液室16と区画される他
の空気室32には、ピストン24と独立に他のピストン
26(以下、圧力補償ピストン)がスライド可能に配設
されている。この圧力補償ピストン26は、その中央部
においては、ピストン24に固定されたニードル弁体2
0が挿通され、ニードル弁体20のスムーズな移動を妨
げないように構成される。圧力補償ピストン26は、隔
壁27に設けた開口を通過して液室16内へ突出する突
出部26aを有しており、空気室32に設けたポートb
1から圧縮空気を供給することによって上昇され、ポー
トb2から圧縮空気を供給することによって下降される
ように構成される。
突出部26aがニードル弁体20の移動に際して、液室
内で生じるニードル弁体20の占有体積の変化を相殺す
るように突出量が調整される。すなわち、ニードル弁体
20が図1に示されるような第1位置を離れて、第2位
置に向かう場合には、液室16内に占めるニードル弁体
20の体積が減小して液室16の液圧が上昇するので、
その圧力上昇を相殺するために、圧力補償ピストン26
を下降させて突出量を増加させ、一方、ニードル弁体2
0が第2位置から第1位置に向かう場合には、液室16内
に占めるニードル弁体20の体積が増加して液室16の
液圧が降下するので、その圧力降下を相殺するために、
圧力補償ピストン26を上昇させて突出量を減少させる
ように構成される。
同期した圧力補償ピストン26の移動は、エアコンプレ
ッサ34から供給される圧縮空気を電磁切換弁36によ
って流路XおよびYを相互に切換えることで行われる。
流路Xはピストン24側の空気室30のポートa1と圧
力補償ピストン26側の空気室32のポートb1に接続
され、一方、流路Yはピストン24側の空気室30のポ
ートa2と圧力補償ピストン26側の空気室32のポー
トb2に接続されるように構成する。
出バルブは、ニードル弁体20の作動と圧力補償ピスト
ンの作動とを同期して行なうことができるので、吐出流
速を常に一定に保つことができる。特に、閉鎖状態にあ
るニードル弁体20が開放される際に、液室内の圧力低
下による現象、たとえば液体に大気が混入したり、吐出
口から液室方向へ液体が戻ってしまうといった不都合を
解消できるので、ニードル弁体20を作動させた直後か
ら一定の吐出流速での液体吐出を行うことができると共
にすばやく液体吐出を停止することができる。
の側壁面との間、ニードル弁体20と隔壁25との間、
圧力補償ピストン26の外周面と空気室32の側壁面と
の間、突出部27の外周面と隔壁27との間、およびニ
ードル弁体20と圧力補償ピストン26の挿通孔との間
の各シーリングはOリングによって行われる。
図であり、第1の実施態様と同一または類似の部分は同
一の符号で示される。この実施態様は、ピストン24と
圧力補償ピストン26のそれぞれについて、ストローク
長を調整する手段を設けた例を示す。ニードルバルブ本
体12の上部から空気室30内にねじ込まれた雄ねじ4
4は、ピストン24の変位量、すなわちニードル弁体2
0の第1位置から第2位置までのストローク長を調整す
るためのものである。ねじ44を所定の距離だけねじ込
むことによって、ニードル弁体20の第2位置をより下
方にシフトさせることができ、したがって、ニードルバ
ルブの開度を所望の値に調整することができる。
る隔壁25の外側から空気室32内にねじ込まれた雄ね
じ46は、同じく圧力補償ピストン26の変位量を調整
するためのものであり、このような調整は、上記ピスト
ン24の変位量の調整に伴って行われることが望まし
い。たとえば、ねじ44の先端を空気室30内に突出さ
せてニードル弁体20のストロークを小さくした場合
(開度を小さくした) には、ニードル弁体20の液室1
6内で占める体積の増減幅も小さくなるので、そのよう
な増減幅に見合った圧力補償ピストン26のストローク
長の調整が必要となるからである。
としての、雄ねじ44および46にマイクロメータを取
り付けると、各ピストンのストローク量を手動でしかも
定量的に調整することができる。上述した第1および第
2の実施態様においては、圧力補償手段としてピストン
を用いたが、これに限定されるべきでなく、ニードル弁
体20の移動に伴う液室16内における占有体積の変化
を相殺するように、弁体の移動に同期して液室の体積を
変化させることができる手段、たとえば、ダイアフラム
やベローズで構成してもよい。
ードルバルブを液体定量吐出システムに適用した場合の
システム概略図である。図において、符号1は液体貯留
容器を示し、ここでは、たとえば合成樹脂材料製とする
ことができるシリンジ3と、このシリンジ3に外接して
それを保持するホルダ4とからなり、ホルダ4は、シリ
ンジ3の着脱を可能ならしめている。
の圧力に加る加圧手段5は、エアシリンダ6にて構成し
てなり、それのピストンロッド7の先端に、好ましくは
シリンジ3に気密に内接してそこへ進入するプランジャ
8を取付ける。このような液体貯留容器1は、液体流路
9を介して、ニードルバルブのバルブ本体に接続され
る。図4においては、バルブ本体の内部構造は省略して
いるが、ここでは第1の実施態様で説明したようなニー
ドルバルブが採用される。流路9はバルブ本体12に形
成された液体導入口14に接続され、液室16は弁座2
2の中央部に形成した開口を介して吐出口18に至って
いる。この液室16内で進退変位して吐出口18を開閉
するニードル弁体20は、エアシリンダ10によって作
動されるように構成され、ニードル弁体20の先端は弁
座22の中央開口に向けて配置されると共にその後端は
シリンダ10のピストン24に連結されている。さら
に、液室16とピストン24との間に、ピストン24か
ら独立した液体圧力補償ピストン26が配設されてい
る。この圧力補償ピストン26は、ピストン24の空気
室32へ加圧空気を供給してそれを進出変位させた場合
には、液室16の容積を低減すべく、そして、液室16
側の空気室27へ加圧空気を供給してそれを後退変位さ
せた場合には、液室16の容積を増加させるべく機能す
る。
が、所定値より低い場合には、その圧力補償ピストン2
6を幾分進出変位させることにより、また、所定値より
高い場合には、圧力補償ピストン26を幾分後退変位さ
せることにより所期した通りの液圧を実現することが可
能となる。さらにここでは、液体貯留容器1を加圧する
エアシリンダ6およびニードル弁体20を進退させる複
動型のエアシリンダ10を、それぞれの電磁切換弁5
2,36に接続するとともに、これらの電磁切換弁52,
36を、予め入力された時間信号に基づいて作動コン
トロールする制御手段54に接続し、また、エアシリン
ダ6への加圧空気の供給を司る一方の電磁切換弁52
を、たとえば手動減圧弁56を介して加圧空気供給源3
3に、そして、他方の電磁切換弁36を加圧空気供給源
34に直接的に、それぞれ接続する。
は、液体の定量吐出に当たり、制御手段54からそれぞ
れの電磁切換弁52, 36に信号を出力して、エアシリ
ンダ6に、手動減圧弁56によって設定された空気圧力
を供給して、プランジャ8を所要の力で圧下すると共
に、それとタイミングを合わせて、エアシリンダー10
の入力ポートa2およびb2に、予め設定された空気圧
力を供給して、ピストン24を上昇させてニードル弁体
20を第1位置から第2位置まで上昇させ、かつそのニ
ードル弁体20が液室16内で占める体積の減少分を相
殺するように圧力補償ピストン26を下降させることに
よって、所要の圧力に加圧された液体を、吐出口18か
ら、それの開口面積との関連で特定される一定時間吐出
させることができるので、液体の定量吐出をタイムラグ
なしに高い精度で行うことができる。
は、制御手段54から電磁切換弁52, 36への吐出終
了信号に基づいて、エアシリンダ6への加圧空気の供給
を停止すると同時に、エアシリンダー10のポートa1
およびb1に加圧空気を供給して、ピストン24を下降
させてニードル弁体20を第2位置から第1位置まで下
降させ、かつニードル弁体20が液室16内で占める体
積の増加分を相殺するように圧力補償ピストン26を上
昇させることによって、吐出口18をニードル弁体20
をもって機械的に確実に閉止する。従って、吐出口18
からの液体の流出は、ニードルバルブ10の閉止をもっ
て完全に停止されることになり、ニードルバルブ10の
閉鎖中の液洩れのおそれは十分に除去されることにな
る。
成する、小さな寸法および体積のニードル弁体20は、
液体圧力の大小にかかわらず、常に円滑に、かつ迅速に
後退および進出して吐出口18の開閉を行うので、ニー
ドルバルブ10の開閉の確実性と併せて、すぐれた応答
性を実現することができる。
体定量吐出装置においては、液体の吐出の開始に伴うニ
ードル弁体20の後退変位によって、そのニードル弁体
20の液室16内に占める体積が減少することに起因す
る液圧低下に対しては、圧力補償ピストン26を進出さ
せ、逆に、ニードル弁体20の進出変位によって吐出を
停止するときの占有体積の増加に対しては、そのピスト
ン26を後退させることで、微妙な圧力変動を有効に吸
収することができる。
図である。この実施態様においては、液室16内でのニ
ードル弁体20の第1位置と第2位置との間の移動は、
モータ駆動によって行われ、ニードル弁体20の後端
は、モータ42の回転を直線運動に変換する機構44に
接続される。さらに圧力補償手段としては、モータ駆動
されるアクチュエータ46により構成され、アクチュエ
ータ46の一端を液室16内に臨ませ、他端をモータ48
の回転を直線運動に変換する機構50に接続してなる。
ニードル弁体20およびアクチュエータ46とバルブ本
体12との間のシーリングはOリングによって行われて
いる。
20の昇降(進退)およびアクチュエータ46の液室1
6内への進退動作は、制御装置37によって制御され
る。ニードル弁体20の第1位置から第2位置までの移
動 (液体の吐出) に際しては、ニードル弁体20の液室
16内に占める体積の減少分を相殺すべく、アクチュエ
ータ46が液室16内に進入し、反対に、ニードル弁体
20の第2位置から第1位置までの移動 (液体の吐出停
止) に際しては、ニードル弁体20の液室16内に占め
る体積の増加分を相殺すべく、アクチュエータ46が液
室16内から後退するように、それぞれのモータ42お
よび48が同期して駆動される。
的断面図である。この実施態様においては、液室16内
でのニードル弁体20の第1位置と第2位置との間の移
動は、電磁駆動装置59によって行われる。この電磁駆
動装置59は、ニードル弁体20の後端に接続されたプ
ランジャー60を磁気駆動するための磁気コイル62
と、磁気コイル62により発生される磁界の安定化のた
めの固定コア64とを備える。プランジャー60は、そ
の下端および上端においてそれぞれコイルスプリング6
6、68よって支持され、図示した状態では、コイルス
プリング66はプランジャー60を押し上げ、コイルス
プリング68は押し下げており、全体としては、プラン
ジャー60に連結されたニードル弁体20が吐出口18
を閉じるように構成されている。すなわち、このような
プランジャー60は、常態では、コイルスプリング68
による優勢なばね力の作用で下方に押し下げられてい
る。この状態からプランジャー60を上方に移動させ
て、吐出口18を開放するには、前記ばね力に抗して移
動できるような電流を、制御装置80から磁気コイル6
2に対して供給することにより行われる。また、このよ
うな電流の供給を停止した際には、プランジャー60は
コイルスプリング68のばね力によって押し下げられる
ので、吐出口18は即座に閉鎖される。
液室16の体積変化を相殺するための圧力補償手段は、
電磁駆動装置69によって進退されるアクチュエータ7
0から構成される。この電磁駆動装置69は、アクチュ
エータ70と一体的に形成されたプランジャー71と、
このプランジャー71を磁気駆動するための磁気コイル
72と、磁気コイル72により発生される磁界の安定化
のための固定コア74とを備える。
から磁気コイル72に所定の電流を供給することによっ
て行なわれ、プランジャー71は電流の供給を受けた磁
気コイル72が発生する磁場との相互作用で左方または
右方に移動されるように構成される。このプランジャー
71は、その両端において板ばね76およびコイルスプ
リング78によってそれぞれ支持されている。図示した
状態では、板ばね76はプランジャー71を右方に押
し、スプリングコイル78は左方に押しているが、板ば
ね76の優勢なばね力によってプランジャー71は右方
に付勢されており、アクチュエータ70の先端が液室1
6内に若干突出するように配設されている。
液室16内で上方に移動させる際には、制御装置80か
ら電磁駆動装置59に所定の電流が供給されて、磁気コ
イル62が励磁されると共に、それに同期して、電磁駆
動装置69にも所定の電流が供給されて、磁気コイル7
2が励磁される。制御装置80から磁気コイル62に供
給される電流は、ニードル弁体20を第1位置から第2
位置までの距離だけ移動させるような値に予め設定さ
れ、同様に、磁気コイル72に供給される電流は、液室
16内においてニードル弁体20が占める体積の減少分
を相殺するような距離だけ、アクチュエータ70を移動
させるような値に予め設定されているので、ニードル弁
体20の上方移動による液室16内の圧力変動は、アク
チュエータ70の液室16内への進入により相殺される
ことになる。
ニードル弁体20は、コイルスプリング68のばね力に
よって、第2位置から第1位置まですばやく押し下げら
れると同時に、プランジャー71は、板ばね76のばね
力によって、元の位置に向かって右方にすばやく移動さ
れる。このようなニードル弁体20の下方への移動に際
しても、プランジャー71によって液室16内の圧力変
動が相殺されるので、液室16内の圧力は常に一定に保
たれる。したがって、バルブが開放の状態から閉止の状
態に移る際に、従来のようにペースト等の液体吐出速度
が増加することがないので、均一幅の線描画塗布に好適
である。
定量吐出装置に適用する場合には、液体の塗布対象物と
してのワークが、液体の吐出タイミング等との関連の下
で適宜に変位する場合には、吐出バルブとしてのニード
ルバルブの位置を固定して使用に供することができる。
定されるものであるときは、ニードルバルブを所要の位
置および方向へ移動させることが必要となる。かかる場
合には、たとえば、ニードルバルブ2を直角座標型の三
次元マニピュレータに取付け、このマニピュレータを、
上述した制御装置からの信号に基いて位置信号を出力す
るコントローラによって作動させることで、ニードルバ
ルブの吐出口18を三次元座標系の所要の位置にもたら
すことができ、コンベアにてタクト搬送等されるワーク
に用いて、すぐれた塗布効率をもたらすことができる。
液体の吐出口を開閉させるニードルバルブ弁体の移動に
際して、圧力補償手段がニードル弁体の移動によって生
じる液圧の変動を相殺する如く液室の体積を増減させる
ので、液体の微小吐出を高精度でしかも安定的に行うこ
とができる。特に、従来のような、液体吐出時の液室の
圧力低下による現象、たとえば液体に大気が混入した
り、吐出口から液室方向へ液体が戻ってしまうといった
不都合が解消され、ニードル弁体を作動させた直後から
一定の吐出流速での液体吐出を行うことができると共に
すばやく液体吐出を停止することができる。
定量吐出システムに適用した場合の概略的な説明図であ
る
Claims (6)
- 【請求項1】 液体貯留容器に連通する入口孔と、その
入口孔から導入された液体を収容する液室と、その液室
の液体が吐出されるべき出口孔とを有して形成されたバ
ルブ本体と、液室内において第1位置と第2位置との間
で移動可能に設けられたニードル状の弁体と、その弁体
の第1位置において弁体の先端を受けて上記出口孔が閉
鎖されるように形成された弁座と、上記弁体の移動によ
って生じる液室内の液圧の変動を相殺するように、上記
弁体の移動に同期して液室の体積を変化させる圧力補償
手段とを備える液体定量吐出バルブ。 - 【請求項2】 上記バルブ本体はシリンダーの形態に構
成され、弁体の後端はシリンダーのピストンに連結さ
れ、上記圧力補償手段は上記ピストンと独立に設けら
れ、その一部が上記液室内に臨んで配設された圧力補償
ピストンからなり、上記液室内の液圧の変動は、上記ピ
ストンの移動方向と反対の方向への上記圧力補償ピスト
ンの移動によって相殺されるように構成されることを特
徴とする請求項1に記載の液体定量吐出バルブ。 - 【請求項3】 上記弁体の第1位置から第2位置までの
ストローク長を調整するための手段が設けられているこ
とを特徴とする請求項1または2に記載の液体定量吐出
バルブ。 - 【請求項4】 上記弁体は、バルブ本体の外側に配設し
た第1の電磁駆動手段によって駆動され、上記圧力補償
手段は、一端を液室内に臨ませたアクチュエータから構
成され、そのアクチュエータの他端はバルブ本体の外側
に配設した第2の電磁駆動手段に接続されていることを
特徴とする請求項1に記載の液体定量吐出バルブ。 - 【請求項5】 上記第1および第2電磁駆動手段のそれ
ぞれは、モータおよびその回転を直線運動に変換する機
構から構成されることを特徴とする請求項4に記載の液
体定量吐出バルブ。 - 【請求項6】 上記第1電磁駆動手段は、弁体の後端に
接続された第1のプランジャーと、その第1のプランジ
ャーを駆動させる第1の磁気コイルとから構成されると
共に、上記第2電磁駆動手段は、アクチュエータの一端
に接続される第2のプランジャーと、その第2のプラン
ジャーを磁気的に駆動させる第2の磁気コイルとから構
成されることを特徴とする請求項4に記載に液体定量吐
出バルブ。
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