JP3342841B2 - 液体定量吐出方法および装置 - Google Patents
液体定量吐出方法および装置Info
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Description
物質等をも含む液体を定量吐出するに用いて好適な液体
定量吐出方法および装置に関するものである。
材料を基板上に規則的にまたは不規則にポイント塗布、
線状塗布等するに当って使用されている従来の定量吐出
装置としては、たとえば特開平4−49108号公報に
開示されたスクリーン式吐出装置がある。
量を、スクリューの回転速度、回転時間等をもってコン
トロールするものであり、これによれば、スクリューの
回転速度と停止時期の精度良い制御によって、液体の粘
度、流動性や貯留容器内の液体量に影響されることな
く、連続的な吐出においても液体の吐出量を安定させ、
定量吐出を果たすことができるとする。
術は、液体の吐出および停止を、スクリューの回転およ
び停止のそれぞれによって行うこととしており、吐出の
停止時においてなお、吐出口が物理的な開放状態にある
ことから、とくに、液体の粘度が低い場合、貯留容器内
の液体を加圧する場合、スクリューの外周面とスクリュ
ーハウジングの内周面とのクリアランスが大きい場合等
には、液体の吐出停止時の液切れが悪く、また、液体の
重量および液体加圧力に起因する液体の洩出があるとい
う問題があり、この一方で、かかる問題点の解決を図る
べくスクリューの外周面とスクリューハウジングの内周
面とのクリアランスを小さくした場合には、たとえば電
子材料中のフィラーが破壊されるという他の問題があっ
た。
問題点を解決することを課題とするものであり、それの
目的とするところは、吐出バルブの吐出口を機械的に開
閉することに基き、フィラーの破壊のおそれなしに、吐
出の停止時の液切れ性を高め、また、液体の洩れ出しを
十分に防止した液体吐出方法および装置を提供すること
にある。
方法は、液体貯留容器から吐出バルブを経て液体を定量
吐出するに当り、吐出バルブの吐出口近傍の液体圧力が
予め定めた特定値となるように、液体貯留容器から吐出
バルブに供給する液体の圧力をコントロールするととも
に、その液体圧力に応じて吐出口を機械的に開閉するこ
とを特徴とする。
液体の定量吐出に当っては、吐出の終了後における流路
内圧力、とくには吐出口近傍部分の圧力が予め定めた特
定値となるようにコントロールすることで、その後の液
体吐出を常に一定の流路条件の下にて行うことができ、
従って、液体貯留容器内の液体の加圧力、加圧時間等を
設定することで、それらに応じた吐出量を、高い信頼性
をもって繰返し再現することができる。
する場合には、上述したところに加え、液体吐出中にも
また、液体圧力の検出結果に基いて、供給液体の圧力
を、たとえば検出圧力の変動が小さくなるようコントロ
ールすることで、所期した通りの定量吐出を行うことが
できる。
加圧力の増加とタイミングを合わせて吐出バルブの吐出
口を機械的に開放することで液体吐出をタイムラグ無し
に開始することができる。そして、吐出の終了に際して
は、加圧力の増加分を除去し、併せてバルブの吐出口を
機械的に閉止することで、液体の洩出のおそれなしに、
高い液切れ性をもって定量吐出を終了することができ
る。
を終えた後の、流路内の液体圧力は、前述したように、
液体圧力に応じて、予め定めた特定値となるようにコン
トロールされる。
容器から吐出バルブを経て液体を定量吐出する装置であ
って、貯留液体をその粘度に応じた圧力で加圧するため
の加圧手段と、その液体貯留容器に連通して設けられ、
かつ吐出口を機械的に開閉する吐出バルブと、吐出口近
傍の液体圧力を検出する圧力センサと、その圧力センサ
からの信号に基いて、吐出バルブの吐出口近傍の液体圧
力が予め定めた特定値となるように前記加圧手段の作動
をコントロールするとともに、その液体圧力に応じて吐
出口を機械的に開閉させる制御手段とを具えることを特
徴とする。
び加圧時間信号に基いて、液体貯留容器内の液体を、圧
力信号に応じた圧力に、加圧時間信号に応じた時間加圧
するとともに、加圧手段の作動とタイミングを合わせて
吐出バルブを開放して、その吐出口から液体を吐出する
ことで、タイムラグなしに吐出を開始することができ
る。
所定の時間に達し、これによって液体の吐出量が所定量
に達したときは、吐出バルブの機械的な閉止を、加圧手
段の作動停止とタイミングを合わせて行う。吐出バルブ
はこの閉止によって、吐出口を物理的に閉止されること
から、すぐれた液切れ性をもたらすとともに、その後の
液体の不測の洩出を完全に防止することができる。
圧力センサをもって吐出近傍部分の液体圧力を検出する
とともに、この時の圧力信号を制御手段へ入力する。制
御手段はこの信号に基いて、吐出口近傍部分の残圧を、
予め定めた特定値とするべく、加圧手段をもって液圧の
増加もしくは減少をもたらす。なおここで、検出液圧が
上記特定値と一致するときは、加圧手段の再作動が不要
であることはもちろんである。
液体流路の内圧を、このように、常に一定値として流路
条件の変動を除去した場合には、次回の定量吐出に際し
て、液体の加圧力、加圧時間等を、不確定要素を考慮す
ることなく決定することができ、また、高精度の定量吐
出を行うことができる。ところで、液体の一回の吐出
が、液体の線状塗布等のように、比較的長い時間にわた
って継続される場合には、その吐出の途中においても圧
力センサによる圧力検出を行ない、この検出結果に基い
て、加圧手段による液体加圧力をコントロールすること
が好ましい。
出バルブをニードルバルブとする。ニードルそれ自体
は、十分小型化できるので、たとえば、100〜200
kgf/cm2 程度の高圧下にても、比較的小さな駆動力によ
って、円滑にかつ迅速に開閉変位することができ、従っ
て、吐出の終了時の液切れ性を高め、また、吐出の開始
時のタイムラグをより有効に除去することができる。し
かも、駆動力が小さくて済むこととの関連において、吐
出バルブの全体を小型化することもできる。
ルブに、液体圧力補償ピストンを設ける。これによれ
ば、液体圧力補償ピストンの進退変位をもって液体流
路、なかでも吐出およびその近傍部分の圧力変動に、よ
り簡単かつ迅速に、しかも的確に対処することができ
る。たとえば、ニードルバルブが開放作動させるとき
は、吐出口近傍部分に占めるニードルの体積が減少し、
逆に、ニードルバルブを閉止作動させるときはニードル
の占有体積が増加することになるので、前者の場合に
は、液体圧力補償ピストンを進出変位させることで、吐
出近傍部分の液圧の低下を防止することができ、また後
者の場合には、そのピストンを後退変位させることで液
圧の増加を防止することができる。従って、この液体圧
力補償ピストンは、吐出の終了後における液体残圧を、
予め定めた特性値とするために、前記加圧手段ととも
に、または、それに代えて適用することもできる。さら
に、このような装置において、ワークに対して吐出ノズ
ルを移動させる必要がある場合には、その吐出ノズル
を、たとえば直角座標型, 即ち三次元方向へ変位させる
ことができるマニピュレータに取付けることが好まし
く、そして、このマニピュレータの制御を加圧手段の制
御および吐出バルブの制御に同期させて制御することが
さらに好ましい。
面に示すところに基いて説明する。図1はこの発明の実
施の形態を示す要部断面図であり、図中1は液体貯留容
器を、2は、吐出バルブとしてのニードルバルブをそれ
ぞれ示す。ここにおける液体貯留容器1は、たとえば合
成樹脂材料製とすることができるシリンジ3と、このシ
リンジ3に外接してそれを保持するホルダ4とからな
り、ホルダ4は、シリンジ3の着脱を可能ならしめる。
そして、かかる液体貯留容器1内の液体を所要の圧力に
加圧する加圧手段5は、モータ6の出力軸に取付けたボ
ールねじ7に螺合され、ボールねじ7の回転に伴って昇
降変位する雌ねじ部材8に、ロッド9を介してプランジ
ャ10を連結することによって構成してなり、ここでプ
ランジャ10は、好ましくは、シリンジ3に液密に内接
する。
12を介して接続したニードルバルブ2は、流路12に
連通して吐出口13に至るアウトレットスペース14内
で進退変位して、その吐出口13を開閉するニードル1
5と、このニードル15の進退作動をもたらす、ここで
は複動型のシリンダ16とからなり、ニードル15をシ
リンダ16のピストン17に連結してなる。
分、図に示すところでは、ニードルバルブ2への流路1
2の接続部に、その流路12内の液体の圧力を検出する
圧力センサ18を配設するとともに、この圧力センサ1
8による検出信号を入力する制御手段19を設ける。
ンサ18の検出結果に基いて、流路12内、特には吐出
口近傍部分の液圧が、吐出の停止時に、より好ましくは
吐出時にもまた、予め定めた特定値となるように、モー
タ6の作動をコントロールする他、液体の吐出に当って
の、モータ6の回転速度、回転時間等とともに、ニード
ルバルブ2の切換弁20の作動をもコントロールすべく
機能する。
の定量吐出に当っては、たとえば、圧力センサ18の検
出圧力に基き、制御手段19をもってモータ6を作動さ
せて、シリンジ3内のプランジャ10を下降もしくは上
昇させ、これによって液体流路12内の液体圧力を、予
め定めた特定値として、吐出開始前の流路条件を常に一
定のものとする。
および吐出圧力信号を出力して、モータ6を所定速度で
定速回転させて、シリンジ3内の液体を所要の圧力に加
圧するとともに、そのモータ6の作動とタイミングを合
わせて、シリンダ16のピストン17、ひいては、ニー
ドル14の後退変位をもたらして吐出口13を開放し、
その吐出口13からの液体の吐出を開始する。ところ
で、この吐出が比較的長い時間にわたる場合には、その
吐出中にもまた、圧力センサ18による圧力検出を行な
い、その結果をモータ6の作動にフィードバックして回
転速度等を修正することが、定量吐出精度を高める上で
好ましい。
定時間の経過時には、制御手段19から、モータ6およ
び切換弁20のそれぞれに、吐出終了信号を出力してモ
ータ6の回転停止と、ニードルバルブ2の閉止作動とを
同時に行わせ、これによって一回の定量吐出が終了す
る。この場合、特にニードルバルブ2のニードル15
は、液体圧力の大小にかかわらず、常に円滑に、かつ迅
速に進出作動して吐出口13を機械的に閉止するので、
すぐれた液切れ性をもたらすとともに、吐出口13の完
全閉止を実現して不測の液洩れを十分に防止することが
できる。
面図であり、これは、液体貯留容器1の上部でプランジ
ャ10に貫通して延びる液体流路12を形成したもので
ある。この液体流路12によれば、沈殿物が多い液体に
おいて、その沈殿物の吐出を有効に防止することができ
る。
示す断面図である。ここでは、シリンジ3のホルダ4
に、シリンジ3の下端開口とニードルバルブ2とのそれ
ぞれに連通する液体流路12を設ける。これによれば、
液体貯留容器1とニードルバルブ2とを一体的に構成す
ることで、流路形成用のチューブを不要ならしめること
ができ、流路が長いことに起因する圧力応答性の低下を
防止することができる。
を示す断面図である。このニードルバルブ2は、アウト
レットスペース14と複動型のシリンダ16との間に、
シリンダ16からは独立して、アウトレットスペース1
4の区画に寄与する液体圧力補償ピストン21を配設し
たものである。このピストン21は、シリンダ16側の
室22へ加圧流体、たとえば加圧空気を供給してそれを
進出変位させた場合には,アウトレットスペース14の
容積を低減すべく、そして、アウトレットスペース14
側の室23へ加圧空気を供給してそれを後退変位させた
場合には、アウトレットスペース14の容積を増加させ
るべく機能する。従って、圧力センサ18で検出した、
吐出口13の近傍部分の液体圧力が、所定値より低い場
合には、その圧力補償ピストン21を幾分進出変位させ
ることにより、また、所定値より高い場合には、圧力補
償ピストン21を幾分後退変位させることにより所期し
た通りの液圧を実現することが可能となる。
ル15の後退変位によって、そのニードル15の、アウ
トレットスペース14内に占める体積が減少することに
起因する液圧低下に対しては、圧力補償ピストン21を
進出させ、逆に、ニードル15の進出変位によって吐出
を停止するときの占有体積の増加に対しては、そのピス
トン21を後退させることで、微妙な圧力変動を有効に
吸収することができる。
に述べたニードルバルブのそれぞれにおいて、吐出口1
3の閉止時の液切れ性を高めるためには、吐出口13
の、ニードル15の着座位置より下方側への突出長さを
極力短くして、吐出口13の閉止後においてなお、その
吐出口13内に残留する液体を実質的に零とすることが
好ましい。このような液体定量吐出装置は、液体の塗布
対象物としてのワークが、液体の吐出タイミング等との
関連の下で適宜に変位する場合には、吐出バルブとして
のニードルバルブ2の位置を固定して使用に供すること
ができる。
定されるものであるときは、ニードルバルブ2を所要の
位置および方向へ移動させることが必要となる。図5
は、かかる場合の、実施形態を示すものであり、これ
は、ニードルバルブ2を直角座標型の三次元マニピュレ
ータ25に取付け、このマニピュレータ25を、前記制
御手段19からの信号に基いて位置信号を出力するコン
トローラ26によって作動させることで、ニードルバル
ブ2の吐出口13を三次元座標系の所要の位置にもたら
すものである。このような装置は、たとえばコンベアに
てタクト搬送されるワークに用いて、すぐれた塗布効率
をもたらすことができる。
に、この発明によれば、吐出の終了後における吐出口近
傍部分の圧力が予め定めた特定値となるようにコントロ
ールすることで、その後の液体吐出を常に一定の流路条
件の下にて行うことができ、従って、液体貯留容器内の
液体の加圧力、加圧時間等を設定することで、それらに
応じた吐出量を高い信頼性をもって繰返し再現すること
ができる。また、吐出バルブを吐出口近傍に配置して吐
出口を機械的に開閉することにより、液体貯留容器内の
液体吐出をタイムラグ無しに開始することができるとと
もに、液体中に混合されることのあるフィラーを破壊す
ること無しに、液体の吐出停止時の液切れ性を高めるこ
とができ、また、吐出口からの液体の洩出を十分に防止
することができる。
る。
ある。
ある。
である。
Claims (6)
- 【請求項1】 液体貯留容器から吐出バルブを経て液体
を定量吐出するに当り、吐出の終了後における吐出バル
ブの吐出口近傍部分の液体圧力が予め定めた特定値とな
るように、液体貯留容器から吐出バルブに供給する液体
の圧力をコントロールするとともに、その液体圧力に応
じて吐出口を機械的に開閉することを特徴とする液体定
量吐出方法。 - 【請求項2】 液体貯留容器から吐出バルブを経て液体
を定量吐出する装置であって、貯留液体をその粘度に応
じた圧力で加圧するための加圧手段と、その液体貯留容
器に連通して設けられ、かつ吐出口を機械的に開閉する
吐出バルブと、吐出口近傍の液体圧力を検出する圧力セ
ンサと、その圧力センサからの信号に基いて、吐出バル
ブの吐出口近傍の液体圧力が予め定めた特定値となるよ
うに前記加圧手段の作動をコントロールするとともに、
その液体圧力に応じて吐出口を機械的に開閉させる制御
手段と、を具えてなる液体定量吐出装置。 - 【請求項3】 吐出バルブをニードルバルブとしてなる
請求項2に記載の液体定量吐出装置。 - 【請求項4】 ニードルバルブに、液体圧力補償ピスト
ンを設けてなる請求項3に記載の液体定量吐出装置。 - 【請求項5】 吐出バルブを、三次元方向に変位させる
マニピュレータに取付けてなる請求項2〜4のいずれか
1項に記載の液体定量吐出装置。 - 【請求項6】 加圧手段の制御、吐出バルブの制御、吐
出バルブを三次元方向へ変位させるマニピュレータの制
御を同期させる制御部を設けてなる請求項2〜5のいず
れか1項に記載の液体定量吐出装置。
Priority Applications (8)
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Family
ID=17909984
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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