JP2000188267A

JP2000188267A - ダイシング装置

Info

Publication number: JP2000188267A
Application number: JP36300198A
Authority: JP
Inventors: Kazuya Fukuoka; 一也福岡
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1998-12-21
Filing date: 1998-12-21
Publication date: 2000-07-04
Anticipated expiration: 2018-12-21
Also published as: JP3282145B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ブレードの破損を検出する破損検出器の受光部
の汚れを早期に検出することにより、ウェーハの切断効
率を向上させることができるダイシング装置を提供す
る。【解決手段】本発明は、ブレード１８のフランジカバー
３６に破損検出器を設け、この破損検出器の受光フォト
ダイオード４４として、ブレード１８の損傷を検出する
破損検出用の受光フォトダイオードＢの他に、受光フォ
トダイオード４４の汚れをチェックする汚れチェック専
用の受光フォトダイオードＡを設けた。この受光フォト
ダイオードＡによって、受光フォトダイオード４４の汚
れを早期に検出し、ウェーハの切断効率を向上させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はダイシング装置に係
り、特に半導体ウェーハに形成された多数の素子を素子
毎に切断するダイシング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ダイシング装置の切断刃（以下、「ブレ
ード」と称する）は、フランジカバーによって切断部を
除く部分が覆われており、また、前記フランジカバーに
は複数のノズルが設けられ、これらのノズルからウェー
ハ切断中のブレードに向けて切削液、洗浄液が噴射され
る。

【０００３】このようなダイシング装置には、ブレード
の欠け、磨耗等の損傷を光学的に検出する破損検出器が
前記フランジカバーに取り付けられているものがある。
前記破損検出器は、投光ＬＥＤ等の投光部と、受光フォ
トダイオード等の受光部とから構成され、投光部と受光
部とはブレードを挟んで取り付けられるとともに、投光
部と受光部の光路上にブレードの刃先が位置するよう
に、その取付位置が調整されている。即ち、従来の受光
部は、投光部から投光された検出光がブレードの刃先で
遮光される遮光エリアに取り付けられている。したがっ
て、前記破損検出器によれば、投光部からの検出光を受
光部で受光した時に、ブレードが損傷したことを検知す
ることができる。

【０００４】ところで、前記破損検出器は、ウェーハの
切断屑や切削液、洗浄液が飛散する悪雰囲気のなかで使
用されるので受光部が汚れ易く、この結果、ブレードが
破損しているのにもかかわらず、検出光を受光すること
ができず、ブレードの破損を検出することができなくな
る。ブレードが破損している状態でウェーハを切断する
と、切断精度が悪化し、ウェーハが無駄になる場合があ
るので、このような不具合は早期に解消しなければなら
ない。

【０００５】そこで、特開平５−５０３６３号公報のダ
イシング装置では、破損検出器をフランジカバーに設け
ないで、ブレードから離れた雰囲気の良い位置に設置
し、この破損検出器による検出位置に前記ブレードを切
断位置から移動させて、ブレードが損傷しているか否か
のチェックを定期的に実施していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ダイシング装置は、ブレードの損傷をチェックする度
に、ブレードを切断位置から破損検出器による検出位置
に移動させ、また、チェックの終了後にブレードを元の
切断位置に戻さなければならないので、チェックに時間
がかかり、ウェーハの切断効率が低下するという欠点が
あった。

【０００７】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、破損検出手段の受光部の汚れを早期に検出する
ことによって、ウェーハの切断効率を向上させることが
できるダイシング装置を提供する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、切断刃をカバーで覆い該切断刃を回転さ
せてウェーハを所定の形状に切断するダイシング装置に
おいて、前記切断刃の欠け、磨耗等の損傷を検出する破
損検出手段が前記カバーに取り付けられ、前記破損検出
手段は、前記切断刃を挟んで取り付けられた投光部と受
光部とを備え、前記破損検出手段の前記受光部は、受光
部の汚れをチェックする汚れチェック用受光部と、切断
刃の損傷を検出する破損検出用受光部とからなり、前記
汚れチェック用受光部は、前記破損検出用受光部よりも
切断刃の径方向の外側に取り付けられていることを特徴
としている。

【０００９】請求項１記載の発明によれば、切断刃を覆
うカバーに破損検出手段を設け、この破損検出手段の受
光部として、切断刃の損傷を検出する破損検出用受光部
の他、受光部の汚れをチェックする専用の汚れチェック
用受光部を設けた。これにより、受光部の汚れは、前記
汚れチェック用受光部で早期に検出することができる。
よって、この場合には、破損検出用受光部も汚れている
ので、破損検出用受光部を洗浄する。これによって、破
損検出用受光部の誤検出を防止できるので、ウェーハの
切断効率が向上する。

【００１０】請求項２記載の発明によれば、投光部から
投光された検出光を切断刃で遮光されることなく受光す
ることができる位置に、前記汚れチェック用受光部を取
り付けたので、投光部の検出光を利用して受光部の汚れ
をチェックすることができる。請求項３記載の発明によ
れば、汚れチェック用受光部と破損検出用受光部とカバ
ーに位置調整自在に取り付けたので、切断刃に対する受
光部の位置調整を容易に行うことができる。

【００１１】請求項４記載の発明によれば、汚れチェッ
ク用受光部、及び破損検出用受光部の他に、使用限界検
出用受光部を設けたので、この使用限界検出用受光部に
よって切断刃の使用限界を検出することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るダイシング装置について詳説する。図１は、本発明の
実施の形態に係るダイシング装置１０の斜視図、図２は
図１に示したダイシング装置１０の縦断面図である。こ
られの図に示すダイシング装置１０は、図２の如くカッ
ティングシート１２に接着シート１４を介して接着され
たウェーハ１６をファインアライメントし、その後、高
速回転するブレード１８でウェーハ１６をダイス状に切
断する装置である。そして、ウェーハ１８の切断時に
は、ウェーハ１６の加工精度を維持するために、図１の
一対の洗浄水噴射ノズル２０、２０及び切削水噴射ノズ
ル２２からウェーハ切断中のブレード１８の両面に向け
て洗浄水、切削水が噴射され、ブレード１８の洗浄、冷
却が実施される。

【００１３】図２に示す前記ブレード１８は、リング型
のブレードである。このブレード１８は、駆動モータ２
４のスピンドル２６に嵌入されたフランジ２８とハブ３
０とによって挟まれ、ナット３２をフランジ２８に締結
することによりフランジ２８とハブ３０とによって強固
に挟持されている。また、前記フランジ２８、ハブ３
０、及びナット３２は、ナット３４をスピンドル２６に
締結することによって、スピンドル２６に固定されてい
る。

【００１４】前記ブレード１８は図１に示すように、フ
ランジカバー（カバーに相当）３６によって切断部を除
く部分が覆われている。また、前記フランジカバー３６
には、前記洗浄水噴射ノズル２０、２０、及び前記切削
水噴射ノズル２２が取り付けられ、更に、洗浄水噴射ノ
ズル２０、２０に洗浄水を供給するチューブ３８が接続
されるとともに、切削水噴射ノズル２２に切削水を供給
するチューブ４０が接続されている。

【００１５】ところで、前記フランジカバー３６には、
ブレード１８の欠け、磨耗等の損傷を光学的に検出する
破損検出器が取り付けられている。前記破損検出器は図
２に示すように、投光部である投光ＬＥＤ４２、及び受
光部である受光フォトダイオード４４等から構成されて
いる。前記投光ＬＥＤ４２と受光フォトダイオード４４
とは、ブレード１８を挟んでその両側の上部に取り付け
られている。

【００１６】前記投光ＬＥＤ４２は、図１、図２に示す
ように、ホルダ４６に取り付けられており、このホルダ
４６をフランジカバー３６に固定することにより、ブレ
ード１８に向けて検出光を照射する所定の位置に位置決
めされる。なお、前記ホルダ４６は、図示しない位置調
整機構によってフランジカバー３６に対する位置が位置
調整自在であり、これによって、ブレード１８のサイズ
に応じた位置に投光ＬＥＤ４２が位置決めされる。符号
４８は、投光ＬＥＤ４２に接続されたケーブルである。

【００１７】一方、前記受光フォトダイオード４４は図
２、図３に示すように、３個の受光フォトダイオード
Ａ、Ｂ、Ｃから構成されている。これらの受光フォトダ
イオードＡ、Ｂ、Ｃは、ホルダ５０に取り付けられてい
る。このホルダ５０がフランジカバー３６に、ねじ５
２、５２で固定されることによって、前記受光フォトダ
イオードＡ、Ｂ、Ｃが、ブレード１８及び投光ＬＥＤ４
２に対向した所定の位置に位置決めされる。

【００１８】また、前記ホルダ５０には図３に示すよう
に、２本の長孔５４、５４が鉛直方向に形成されてい
る。これらの長孔５４、５４に前記ねじ５２、５２が挿
入されている。したがって、ねじ５２、５２を長孔５
４、５４に挿入してフランジカバー３６に所定量ねじ込
むと、前記ホルダ５０は、ねじ５２、５２にガイドさ
れ、長孔５４、５４に沿って上下方向に移動される。こ
れにより、ブレード１８のサイズに応じた位置に受光フ
ォトダイオードＡ、Ｂ、Ｃを位置決めすることができ
る。符号５６は、受光フォトダイオードＡ、Ｂ、Ｃに各
々接続されたケーブルである。なお、本実施の形態で
は、受光フォトダイオードＡ、Ｂ、Ｃを同一のホルダ５
０に支持させて位置調整させるように構成したが、これ
に限られるものではなく、各々個別に位置調整自在に構
成してもよい。

【００１９】ところで、前記受光フォトダイオードＡ
は、受光フォトダイオード４４の汚れをチェックする汚
れチェック専用のフォトダイオードである。また、前記
受光フォトダイオードＢは、ブレード１８の欠け、磨耗
等の損傷を検出する破損検出専用のフォトダイオードで
あり、更に、前記受光フォトダイオードＣは、ブレード
１８の使用限界を検出する使用限界検出専用のフォトダ
イオードである。

【００２０】前記受光フォトダイオードＡは図４に示す
ように、投光ＬＥＤ４２から投光された検出光をブレー
ド１８で遮光されることなく受光することができる受光
エリアに取り付けられている。これによって、受光フォ
トダイオードＡは、その受光面が汚れない限り、ブレー
ド１８の破損にかかわらず、投光ＬＥＤ４２からの検出
光を常時検出することができる。

【００２１】前記受光フォトダイオードＢは、投光ＬＥ
Ｄ４２から投光された検出光がブレード１８の刃先１８
Ａで遮光される遮光エリアに取り付けられている。これ
によって、受光フォトダイオードＢは、ブレード１８の
刃先１８Ａに欠け、磨耗が生じた時に前記検出光を検出
することができる。また、前記受光フォトダイオードＣ
は、前記遮光エリアに取り付けられるとともに、前記受
光フォトダイオードＢよりもブレード１８の径方向の内
側で、ブレード１８の使用限界に対応する位置に取り付
けられている。

【００２２】これらの受光フォトダイオードＡ、Ｂ、Ｃ
からの信号は、ケーブル５６を介してコンパレータＡ、
Ｂ、Ｃに出力される。前記コンパレータＡ、Ｂ、Ｃは、
受光フォトダイオードＡ、Ｂ、Ｃから出力された信号
と、検出光を受光したか否かを判別するリファレンス信
号とを比較し、比較結果に基づいて“０”又は“１”の
２値信号を診断回路５８に出力する。そして、前記診断
回路５８は、前記２値信号と、光学式カッターセットか
らのブレード磨耗情報とに基づいて、ブレード１８の現
況を診断し、その診断結果に応じた『正常』、『汚
れ』、『欠け』、『使用限界』を示す信号のうち１つの
信号をディスプレイ等の表示装置６０に出力する。これ
により、表示装置６０には、出力された信号に対応する
文字が表示される。

【００２３】次に、前記診断回路５８による診断方法に
ついて、図５に示すマトリックス表に基づいて説明す
る。図５の表において、Ａ、Ｂ、Ｃは図４のコンパレー
タＡ、Ｂ、Ｃに対応し、また、コンパレータＡ、Ｂ、Ｃ
では、受光フォトダイオードＡ、Ｂ、Ｃが検出光を検出
した時に“１”の信号を出力し、受光フォトダイオード
Ａ、Ｂ、Ｃが検出光を検出しない時に“０”の信号を出
力するように設定されている。

【００２４】したがって、図５の表の上段に示すよう
に、全てのコンパレータＡ、Ｂ、Ｃから“０”信号が出
力されると、前記診断回路５８は、コンパレータＡから
の情報に基づいて、受光フォトダイオード４４に汚れが
発生し検出光を検出できない状況にあることを示す『汚
れ』信号を表示装置６０に出力する。これにより、ダイ
シング装置１０のオペレータは、受光フォトダイオード
Ｂが汚れていると判断し、受光フォトダイオードＢを洗
浄する。これによって、受光フォトダイオードＢの誤検
出を防止できるので、ウェーハの切断効率が向上する。

【００２５】また、図５の表の２段目に示すように、コ
ンパレータＡからは“１”信号が出力され、コンパレー
タＢ、Ｃからは“０”信号が出力されると、前記診断回
路５８は、コンパレータＡからの情報に基づいて、受光
フォトダイオード４４に汚れが発生していないことを診
断する。そして、診断回路５８は、コンパレータＢから
の情報に基づいて、ブレード１８に欠けが発生していな
いと診断するので、この状況を示す『正常』信号を表示
装置６０に出力する。

【００２６】また、図５の表の３段目に示すように、コ
ンパレータＡ、Ｂからは“１”信号が出力され、コンパ
レータＣからは“０”信号が出力されると、前記診断回
路５８は、この状況を示す『欠け』信号を表示装置６０
に出力する。この場合、ダイシング装置１０では、前記
欠けが切断精度に悪影響を与えない程度のものと自己診
断し、ウェーハ１６の切断を継続させる。このようにウ
ェーハ切断を継続させると、ブレード１８の欠け部分の
鋭部が滑らかに磨耗していき、切断精度が若干であるが
向上する。

【００２７】そして、切断を更に継続させると、図５の
表の４段目に示すように、全てのコンパレータＡ、Ｂ、
Ｃから、“１”信号が出力されることになる。この場
合、前記診断回路５８は、この状況を示す『使用限界』
信号を表示装置６０に出力する。これにより、オペレー
タは、ブレード１８が寿命であることを判断し、その古
いブレード１８を新しいブレード１８に交換する。

【００２８】このように、本実施の形態のダイシング装
置１０によれば、汚れチェック専用の受光フォトダイオ
ードＡをフランジカバー３６に設けたので、受光フォト
ダイオード４４の汚れチェックを早期に検出することが
できる。また、使用限界検出専用の受光フォトダイオー
ドＣを設けたので、ブレード１８の使用限界も検出する
ことができる。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るダイシ
ング装置によれば、切断刃のカバーに破損検出手段を設
け、この破損検出手段の受光部として、切断刃の損傷を
検出する破損検出用受光部の他、受光部の汚れをチェッ
クする専用の汚れチェック用受光部を設けたので、受光
部の汚れチェックを早期に検出することができ、これに
よって、ウェーハの切断効率を向上させることができ
る。

【００３０】また、本発明によれば、投光部からの検出
光を切断刃で遮光されることなく受光することができる
位置に、前記汚れチェック用受光部を取り付けたので、
投光部の検出光を利用して受光部の汚れチェックを行う
ことができる。更に、本発明によれば、汚れチェック用
受光部と破損検出用受光部とをカバーに位置調整自在に
取り付けたので、切断刃に対する受光部の位置調整が容
易になる。

【００３１】また、本発明によれば、汚れチェック用受
光部、及び破損検出用受光部の他に、使用限界検出用受
光部を設けたので、この使用限界検出用受光部によって
切断刃の使用限界を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るダイシング装置の斜
視図

【図２】図１上２−２線に沿うダイシング装置の断面図

【図３】図２上３−３線から見たダイシング装置のフラ
ンジカバーの背面図

【図４】図１のダイシング装置に設けられた破損検出器
のブロック図

【図５】コンパレータから出力される２値信号に基づい
た自己診断方法を示す表図

【符号の説明】１０…ダイシング装置１６…ウェーハ１８…ブレード３６…フランジカバー４２…投光ＬＥＤ４４…受光フォトダイオード４６、５０…ホルダＡ…汚れチェック専用の受光フォトダイオードＢ…破損検出専用の受光フォトダイオードＢ…使用限界検出専用の受光フォトダイオード

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】切断刃をカバーで覆い該切断刃を回転さ
せてウェーハを所定の形状に切断するダイシング装置に
おいて、前記切断刃の欠け、磨耗等の損傷を検出する破損検出手
段が前記カバーに取り付けられ、前記破損検出手段は、前記切断刃を挟んで取り付けられ
た投光部と受光部とを備え、前記破損検出手段の前記受光部は、受光部の汚れをチェ
ックする汚れチェック用受光部と、切断刃の損傷を検出
する破損検出用受光部とからなり、前記汚れチェック用受光部は、前記破損検出用受光部よ
りも切断刃の径方向の外側に取り付けられていることを
特徴とするダイシング装置。
【請求項２】前記汚れチェック用受光部は、前記投光
部から投光された検出光を前記切断刃で遮光されること
なく受光することができる位置に取り付けられ、前記破損検出用受光部は、前記投光部から投光された検
出光が前記切断刃の刃先で遮光される位置に取り付けら
れていることを特徴とする請求項１記載のダイシング装
置。
【請求項３】前記汚れチェック用受光部と前記破損検
出用受光部とは、前記カバーに位置調整自在に取り付け
られていることを特徴とする請求項１、又は２記載のダ
イシング装置。
【請求項４】前記破損検出用受光部よりも切断刃の径
方向の内側には、前記切断刃の使用限界を検出する使用
限界検出用受光部が設けられていることを特徴とする請
求項１記載のダイシング装置。