JPH05253888A - ロボットの防塵構造 - Google Patents
ロボットの防塵構造Info
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- JPH05253888A JPH05253888A JP9162692A JP9162692A JPH05253888A JP H05253888 A JPH05253888 A JP H05253888A JP 9162692 A JP9162692 A JP 9162692A JP 9162692 A JP9162692 A JP 9162692A JP H05253888 A JPH05253888 A JP H05253888A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ロボット内部で発生した塵埃のロボット外へ
の放出を防止でき、さらに該塵埃を積極的に吸引してク
リーンルーム外に排出処理できるロボットの防塵構造を
提供する。 【構成】 ロボット本体を略密閉状のカバーで囲んでな
るロボットの内部で発生する塵埃のロボット外部への放
出を防止する防塵構造を構成する。この場合にロボット
本体の塵埃発生箇所近傍に開口する吸引通路４４ａ〜４
４ｇを設け、該通路４４ａ〜４４ｇをカバー２７に形成
された外部接続口７ｆに延長接続し、該接続口７ｆと外
部吸引機とを外部吸引通路４５で接続する。
の放出を防止でき、さらに該塵埃を積極的に吸引してク
リーンルーム外に排出処理できるロボットの防塵構造を
提供する。 【構成】 ロボット本体を略密閉状のカバーで囲んでな
るロボットの内部で発生する塵埃のロボット外部への放
出を防止する防塵構造を構成する。この場合にロボット
本体の塵埃発生箇所近傍に開口する吸引通路４４ａ〜４
４ｇを設け、該通路４４ａ〜４４ｇをカバー２７に形成
された外部接続口７ｆに延長接続し、該接続口７ｆと外
部吸引機とを外部吸引通路４５で接続する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ロボット内部で発生す
る塵の外部放出を、ロボット内部を負圧にすることによ
り防止するようにした防塵構造に関する。
る塵の外部放出を、ロボット内部を負圧にすることによ
り防止するようにした防塵構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体デバイスの組立作業は、ク
リーンルームと呼ばれる超清浄雰囲気中で行うのが一般
的である。このクリーンルームでは人間自体の存在が雰
囲気汚染の原因となることからロボット化が進められて
いる。このロボット化に当たっては、ロボットの内部で
発生する塵埃のロボット外への放出を防止する防塵構造
を採用することが必要である。この場合、ロボット本体
を略密閉状のカバーで囲んだだけでは、ロボット内の塵
埃の外部放出を完全に防止することはできない。
リーンルームと呼ばれる超清浄雰囲気中で行うのが一般
的である。このクリーンルームでは人間自体の存在が雰
囲気汚染の原因となることからロボット化が進められて
いる。このロボット化に当たっては、ロボットの内部で
発生する塵埃のロボット外への放出を防止する防塵構造
を採用することが必要である。この場合、ロボット本体
を略密閉状のカバーで囲んだだけでは、ロボット内の塵
埃の外部放出を完全に防止することはできない。
【０００３】そこで例えば特開昭６２−１２４８９５号
公報に記載されているように、上記カバーに外部接続口
を設け、該接続口を外部吸引ホースによって吸引機に接
続し、これによりカバー内部を負圧とすることにより塵
埃のロボット外への放出を防止するようにしたものが提
案されている。
公報に記載されているように、上記カバーに外部接続口
を設け、該接続口を外部吸引ホースによって吸引機に接
続し、これによりカバー内部を負圧とすることにより塵
埃のロボット外への放出を防止するようにしたものが提
案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
装置では、カバー内部全体を負圧に保持する構造を採用
しているので、塵埃のロボット外への放出については防
止できるものの、発生した塵埃をクリーンルームの外部
に取り出して処分することは困難であり、発生した塵埃
はロボット内部に蓄積される。これは以下の理由による
ものと考えられる。発生した塵埃を吸入するのに充分な
流れを確保することは、カバーの隙間部分のような外気
流入口付近では、該流入口が通常は充分に狭いことから
容易である。しかしロボット内部全体に渡って上記流れ
を確保するには流量の極めて大きい吸引機が必要とな
り、装置の大型化，コスト増大につながるため困難であ
る。そのため上記ロボット内部で発生する塵埃はロボッ
ト外に流出することはないものロボット内部に蓄積され
ているのが実情である。
装置では、カバー内部全体を負圧に保持する構造を採用
しているので、塵埃のロボット外への放出については防
止できるものの、発生した塵埃をクリーンルームの外部
に取り出して処分することは困難であり、発生した塵埃
はロボット内部に蓄積される。これは以下の理由による
ものと考えられる。発生した塵埃を吸入するのに充分な
流れを確保することは、カバーの隙間部分のような外気
流入口付近では、該流入口が通常は充分に狭いことから
容易である。しかしロボット内部全体に渡って上記流れ
を確保するには流量の極めて大きい吸引機が必要とな
り、装置の大型化，コスト増大につながるため困難であ
る。そのため上記ロボット内部で発生する塵埃はロボッ
ト外に流出することはないものロボット内部に蓄積され
ているのが実情である。
【０００５】本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされ
たもので、ロボット内部で発生した塵埃のロボット外へ
の放出を防止でき、さらに該塵埃を積極的に吸引してク
リーンルーム外に排出処理できるロボットの防塵構造を
提供すること目的としている。
たもので、ロボット内部で発生した塵埃のロボット外へ
の放出を防止でき、さらに該塵埃を積極的に吸引してク
リーンルーム外に排出処理できるロボットの防塵構造を
提供すること目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ロボット本体
を略密閉状のカバーで囲んでなるロボットにおいて、該
ロボットの内部で発生する塵埃のロボット外部への放出
を防止する防塵構造であって、上記ロボット本体の塵埃
発生箇所近傍に開口する吸引通路を設け、該通路を上記
カバーに形成された外部接続口に延長接続し、該接続口
と外部吸引機とを外部吸引通路で接続したことを特徴と
している。
を略密閉状のカバーで囲んでなるロボットにおいて、該
ロボットの内部で発生する塵埃のロボット外部への放出
を防止する防塵構造であって、上記ロボット本体の塵埃
発生箇所近傍に開口する吸引通路を設け、該通路を上記
カバーに形成された外部接続口に延長接続し、該接続口
と外部吸引機とを外部吸引通路で接続したことを特徴と
している。
【０００７】
【作用】本発明に係る防塵構造によれば、塵埃発生箇所
近傍に吸引通路を開口させ、該通路を外部吸引通路を介
して吸引機に接続したので、カバー内全体が負圧になる
とともに、上記塵埃発生箇所近傍にて空気の流れが発生
する。従って発生した塵埃のロボット外への放出が上記
負圧によって防止されるだけでなく、さらに上記空気流
によって吸気通路内に吸引され、外部吸引機を介して外
部に排出される。この場合、吸引機の容量は塵埃発生箇
所のみに上記空気流を確保できるだけの容量で足り、上
記カバー全体に空気流を発生させる必要がないので、吸
引機の容量増大，装置の大型化等の問題が生じることは
ほとんどない。
近傍に吸引通路を開口させ、該通路を外部吸引通路を介
して吸引機に接続したので、カバー内全体が負圧になる
とともに、上記塵埃発生箇所近傍にて空気の流れが発生
する。従って発生した塵埃のロボット外への放出が上記
負圧によって防止されるだけでなく、さらに上記空気流
によって吸気通路内に吸引され、外部吸引機を介して外
部に排出される。この場合、吸引機の容量は塵埃発生箇
所のみに上記空気流を確保できるだけの容量で足り、上
記カバー全体に空気流を発生させる必要がないので、吸
引機の容量増大，装置の大型化等の問題が生じることは
ほとんどない。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。図１ないし図８は本発明の一実施例によるク
リーンルーム用ロボットの防塵構造を説明するための図
であり、図１は全体構成図、図２，図３は断面側面図、
図４は上下装置部分の一部断面平面図、図５，図６は図
２のV-V 線,VI-VI線断面図、図７，図８は図３のアーム
部分を示すVII-VII 線,VIII-VIII線断面図である。
説明する。図１ないし図８は本発明の一実施例によるク
リーンルーム用ロボットの防塵構造を説明するための図
であり、図１は全体構成図、図２，図３は断面側面図、
図４は上下装置部分の一部断面平面図、図５，図６は図
２のV-V 線,VI-VI線断面図、図７，図８は図３のアーム
部分を示すVII-VII 線,VIII-VIII線断面図である。
【０００９】図において、１はクリーンルーム用ロボッ
トであり、これは上下装置２と、水平旋回装置３とで構
成されている。上記上下装置２は水平旋回装置３全体を
上下方向に移動させるためのものである。上記水平旋回
装置３は第１〜第３旋回機構４〜６で構成されており、
それぞれの垂直方向の旋回軸回りに旋回可能となってい
る。
トであり、これは上下装置２と、水平旋回装置３とで構
成されている。上記上下装置２は水平旋回装置３全体を
上下方向に移動させるためのものである。上記水平旋回
装置３は第１〜第３旋回機構４〜６で構成されており、
それぞれの垂直方向の旋回軸回りに旋回可能となってい
る。
【００１０】上記上下装置３は、フレーム７の下ブラケ
ット７ｃでブラケット１５を介して上下駆動モータ８を
懸吊支持し、該モータ８の出力軸８ａに垂直方向に配置
されたボールねじ１０をカップリング９を介して接続
し、該ボールねじ１０にナット部材１１を螺装し、該ナ
ット部材１１をスライドベース１２に固定した構造のも
のである。そして該上下装置３のこれらの各構成部品は
カバー２７で略密閉状に囲まれている。
ット７ｃでブラケット１５を介して上下駆動モータ８を
懸吊支持し、該モータ８の出力軸８ａに垂直方向に配置
されたボールねじ１０をカップリング９を介して接続
し、該ボールねじ１０にナット部材１１を螺装し、該ナ
ット部材１１をスライドベース１２に固定した構造のも
のである。そして該上下装置３のこれらの各構成部品は
カバー２７で略密閉状に囲まれている。
【００１１】上記フレーム７は、基礎面上に固定された
ベースプレート７ａに縦壁プレート７ｂを垂直に固着
し、該縦壁プレート７ｂの下部，上部にそれぞれ下ブラ
ケット７ｃ，上ブラケット７ｄを水平に固着した構造の
ものである。上記縦壁プレート７ｂには上記スライドベ
ース１２が上下動する際の干渉を回避する開口７ｅが形
成されている。またこの縦壁プレート７ａの前面には上
記開口７ｅと同一形状の開口を有する蓋プレート１６が
ボルト締め固定されており、該プレート１６と上記縦壁
プレート７ｂの段落ち部との間の空間が後述するシャッ
タプレート１７を収容するシール溝１８となっている。
ベースプレート７ａに縦壁プレート７ｂを垂直に固着
し、該縦壁プレート７ｂの下部，上部にそれぞれ下ブラ
ケット７ｃ，上ブラケット７ｄを水平に固着した構造の
ものである。上記縦壁プレート７ｂには上記スライドベ
ース１２が上下動する際の干渉を回避する開口７ｅが形
成されている。またこの縦壁プレート７ａの前面には上
記開口７ｅと同一形状の開口を有する蓋プレート１６が
ボルト締め固定されており、該プレート１６と上記縦壁
プレート７ｂの段落ち部との間の空間が後述するシャッ
タプレート１７を収容するシール溝１８となっている。
【００１２】上記ボールねじ１０は上記フレーム７の下
ブラケット７ｃ及び上記上ブラケット７ｄ部分に配設さ
れた軸受１３ａ，１３ｂで軸支されており、かつ上端に
はブレーキ機構１４が装着されている。また上記上ブラ
ケット７ｄの図２右側部分には、可撓性を有するコンジ
ットホース３６の一端が軸受３７ａを介して回動可能に
かつ空密に接続されている。
ブラケット７ｃ及び上記上ブラケット７ｄ部分に配設さ
れた軸受１３ａ，１３ｂで軸支されており、かつ上端に
はブレーキ機構１４が装着されている。また上記上ブラ
ケット７ｄの図２右側部分には、可撓性を有するコンジ
ットホース３６の一端が軸受３７ａを介して回動可能に
かつ空密に接続されている。
【００１３】また上記スライドベース１２は、上記フレ
ーム７の開口７ｅから図示左方に突出する接続ボス部１
２ａを有し、左，右側部１２ｂが上記フレーム７に固着
されたガイドレール１９で上下に摺動自在にガイドされ
ている（図５参照）。またこのスライドベース１２には
上記接続ボス部１２ａを囲むように上記シャッタプレー
ト１７がボルト締め固定されており、このシャッタプレ
ート１７の周縁は上述のシール溝１８内を上下移動す
る。
ーム７の開口７ｅから図示左方に突出する接続ボス部１
２ａを有し、左，右側部１２ｂが上記フレーム７に固着
されたガイドレール１９で上下に摺動自在にガイドされ
ている（図５参照）。またこのスライドベース１２には
上記接続ボス部１２ａを囲むように上記シャッタプレー
ト１７がボルト締め固定されており、このシャッタプレ
ート１７の周縁は上述のシール溝１８内を上下移動す
る。
【００１４】上記スライドベース１２に、上記水平旋回
装置３の第１旋回機構４のベースブラケット２０がボル
ト締め固定されている。この第１旋回機構４は以下の構
造になっている。上記ベースブラケット２０の先端部に
形成された円筒状の支持フランジ部２０ａの上面に第１
旋回駆動モータ２１を垂直下向きに取り付け、該モータ
２１の出力軸に減速機２２を介して駆動軸２３を接続す
る。この駆動軸２３の中程部分を上記支持フランジ部２
０ａに嵌着された軸受２４ａで軸支し、該駆動軸２３の
下端部に旋回アーム２５の基部２５ａをボルト締め固定
した構造となっている。これにより上記旋回アーム２５
は上記駆動軸２３回りに旋回可能となっている。なお、
２９はキャップである。
装置３の第１旋回機構４のベースブラケット２０がボル
ト締め固定されている。この第１旋回機構４は以下の構
造になっている。上記ベースブラケット２０の先端部に
形成された円筒状の支持フランジ部２０ａの上面に第１
旋回駆動モータ２１を垂直下向きに取り付け、該モータ
２１の出力軸に減速機２２を介して駆動軸２３を接続す
る。この駆動軸２３の中程部分を上記支持フランジ部２
０ａに嵌着された軸受２４ａで軸支し、該駆動軸２３の
下端部に旋回アーム２５の基部２５ａをボルト締め固定
した構造となっている。これにより上記旋回アーム２５
は上記駆動軸２３回りに旋回可能となっている。なお、
２９はキャップである。
【００１５】また上記旋回アーム２５と上記支持フラン
ジ部２０ａとの対向部にはラビリンス機構２６が形成さ
れており、これにより両者間の隙間をシールしている。
また上記第１旋回駆動モータ２１等はカバー２８で略密
閉状態に囲まれている。
ジ部２０ａとの対向部にはラビリンス機構２６が形成さ
れており、これにより両者間の隙間をシールしている。
また上記第１旋回駆動モータ２１等はカバー２８で略密
閉状態に囲まれている。
【００１６】上記旋回アーム２５の支持部２５ｂには第
２旋回機構５の駆動軸３０の下端部がボルト締め固定さ
れている。この第２旋回機構５は、第２旋回駆動モータ
３１，減速機３２，駆動軸３０を有し、上記第１旋回機
構４と略同一構造になっている。そして上記第２旋回駆
動モータ３１は旋回ブラケット３３の円筒状の支持フラ
ンジ部３３ａの上面にボルト締め固定され、上記駆動軸
３０の中程部分は上記支持フランジ部３３ａに嵌着され
た軸受２４ｂで軸支されている。
２旋回機構５の駆動軸３０の下端部がボルト締め固定さ
れている。この第２旋回機構５は、第２旋回駆動モータ
３１，減速機３２，駆動軸３０を有し、上記第１旋回機
構４と略同一構造になっている。そして上記第２旋回駆
動モータ３１は旋回ブラケット３３の円筒状の支持フラ
ンジ部３３ａの上面にボルト締め固定され、上記駆動軸
３０の中程部分は上記支持フランジ部３３ａに嵌着され
た軸受２４ｂで軸支されている。
【００１７】また上記旋回ブラケット３３にはコンジッ
トステー３４が垂直上向きに固着されており、該ステー
３４の上端に固着されたコンジットホルダ３５には上述
のコンジットホース３６の他端が軸受３７ｂを介して回
動可能にかつ空密に接続されている。そして上記第２旋
回駆動モータ３１等はカバー３８で略密閉状態に囲まれ
ており、該第２旋回機構内空間は上記上下装置２の内部
空間と上記コンジットホース３６で空密状態に連通され
ている。
トステー３４が垂直上向きに固着されており、該ステー
３４の上端に固着されたコンジットホルダ３５には上述
のコンジットホース３６の他端が軸受３７ｂを介して回
動可能にかつ空密に接続されている。そして上記第２旋
回駆動モータ３１等はカバー３８で略密閉状態に囲まれ
ており、該第２旋回機構内空間は上記上下装置２の内部
空間と上記コンジットホース３６で空密状態に連通され
ている。
【００１８】上記旋回ブラケット３３の前端には支持ブ
ラケット３９がボルト締め固着されており、該ブラケッ
ト３９によって上記第３旋回機構６の第３旋回駆動モー
タ４０が支持されている。この駆動モータ４０の出力軸
には減速機４１が接続されており、該減速機４１の出力
軸には旋回アーム４２が固着されている。
ラケット３９がボルト締め固着されており、該ブラケッ
ト３９によって上記第３旋回機構６の第３旋回駆動モー
タ４０が支持されている。この駆動モータ４０の出力軸
には減速機４１が接続されており、該減速機４１の出力
軸には旋回アーム４２が固着されている。
【００１９】そして上記上下装置２の、シール溝１８の
下端，上端部分（それぞれ左，右２箇所）及びボールね
じ１０の上軸受１３ｂ部分、上記第１旋回機構４の軸受
２４ａ部分には第１〜第４吸引口４３ａ〜４３ｄが開口
しており、該各吸気口４３ａ〜４３ｄは第１〜第４吸引
ホース４４ａ〜４４ｄで下ブラケット７ｃに形成された
外部接続口７ｆ部分に導出されている。
下端，上端部分（それぞれ左，右２箇所）及びボールね
じ１０の上軸受１３ｂ部分、上記第１旋回機構４の軸受
２４ａ部分には第１〜第４吸引口４３ａ〜４３ｄが開口
しており、該各吸気口４３ａ〜４３ｄは第１〜第４吸引
ホース４４ａ〜４４ｄで下ブラケット７ｃに形成された
外部接続口７ｆ部分に導出されている。
【００２０】また第２旋回機構５の軸受２４ｂ部分，第
３旋回機構６の減速機４１部分には第５，第６吸引口４
３ｅ，４３ｆが開口しており、該吸引口には第５，第６
吸引ホース４４ｅ，４４ｆの一端が接続され、また上記
第２旋回機構５の内部空間の上部には第７吸引ホース４
４ｇが開口している。これらの吸気ホース４４ｅ〜４４
ｇは上記コンジットホース３６を通って上記外部接続口
７ｆ部分に導出されている。
３旋回機構６の減速機４１部分には第５，第６吸引口４
３ｅ，４３ｆが開口しており、該吸引口には第５，第６
吸引ホース４４ｅ，４４ｆの一端が接続され、また上記
第２旋回機構５の内部空間の上部には第７吸引ホース４
４ｇが開口している。これらの吸気ホース４４ｅ〜４４
ｇは上記コンジットホース３６を通って上記外部接続口
７ｆ部分に導出されている。
【００２１】上記各吸引ホース４４ａ〜４４ｇは、外部
吸引ダクト４５の端部４５ａに空密に接続されており、
この外部吸引ダクト４５はクリーンルームの外部に設置
された吸引機（図示せず）に接続されている。
吸引ダクト４５の端部４５ａに空密に接続されており、
この外部吸引ダクト４５はクリーンルームの外部に設置
された吸引機（図示せず）に接続されている。
【００２２】次に本実施例装置の作用効果について説明
する。本実施例ロボット１では、上下装置２において、
上下駆動モータ８の回転がカップリング９を介してボー
ルねじ１０に伝達され、これによりナット部材１１がス
ライドベース１２とともに上下移動し、その結果水平旋
回装置３全体が上下移動する。また上記スライドベース
１２の上下動に伴って、シャッタプレート１７がシール
溝１８内を上下動し、従って開口７ｅは常時閉塞されて
いる。
する。本実施例ロボット１では、上下装置２において、
上下駆動モータ８の回転がカップリング９を介してボー
ルねじ１０に伝達され、これによりナット部材１１がス
ライドベース１２とともに上下移動し、その結果水平旋
回装置３全体が上下移動する。また上記スライドベース
１２の上下動に伴って、シャッタプレート１７がシール
溝１８内を上下動し、従って開口７ｅは常時閉塞されて
いる。
【００２３】また第１旋回機構４の第１旋回駆動モータ
２１の回転が減速機２２を介して駆動軸２３に伝達さ
れ、該駆動軸２３とともに旋回アーム２５が旋回する。
そしてこの旋回アーム２５の先端部に装着された第２旋
回駆動モータ３１の回転により該モータ３１が取り付け
られた旋回ブラケット３３が旋回する。さらに上記旋回
ブラケット３３の先端に装着された第３旋回駆動モータ
４０の回転により旋回アーム４２が旋回する。
２１の回転が減速機２２を介して駆動軸２３に伝達さ
れ、該駆動軸２３とともに旋回アーム２５が旋回する。
そしてこの旋回アーム２５の先端部に装着された第２旋
回駆動モータ３１の回転により該モータ３１が取り付け
られた旋回ブラケット３３が旋回する。さらに上記旋回
ブラケット３３の先端に装着された第３旋回駆動モータ
４０の回転により旋回アーム４２が旋回する。
【００２４】そして本実施例ロボット１では、上記吸引
機の作動により、各吸引ホース４４ａ〜４４ｇ内が負圧
に吸引され、これらのホースの先端が接続された各吸引
口４３ａ〜４３ｆ及び吸引ホース４４ｇの先端開口から
空気が吸引される。これにより各カバー内空間が負圧と
なり、該空間内の空気が外方に洩れ出ることはなく、従
って該空間内の塵埃の外方放出が防止される。
機の作動により、各吸引ホース４４ａ〜４４ｇ内が負圧
に吸引され、これらのホースの先端が接続された各吸引
口４３ａ〜４３ｆ及び吸引ホース４４ｇの先端開口から
空気が吸引される。これにより各カバー内空間が負圧と
なり、該空間内の空気が外方に洩れ出ることはなく、従
って該空間内の塵埃の外方放出が防止される。
【００２５】また上記各吸引口４３ａ〜４３ｆは、軸受
部のような塵埃発生部に近接した位置に開口しているの
で、吸引容量をそれほど増大することなく上記塵埃発生
部から吸引口への空気流を発生させることができ、上記
発生した塵埃はこの各吸引ホース４４ａ〜４４ｇ内に吸
引され、上記吸引機によってクリーンルームの外方に排
出される。
部のような塵埃発生部に近接した位置に開口しているの
で、吸引容量をそれほど増大することなく上記塵埃発生
部から吸引口への空気流を発生させることができ、上記
発生した塵埃はこの各吸引ホース４４ａ〜４４ｇ内に吸
引され、上記吸引機によってクリーンルームの外方に排
出される。
【００２６】ここで上記シャッタプレート１７の例えば
下降によって、シール溝１８の下部内では空気が圧縮さ
れ、該シール溝１８の下部の圧力が高くなり、そのため
該シール溝１８内の塵埃がシール溝１８とシャッタプレ
ート１７との隙間を通ってクリーンルーム内に放出され
る懸念がある。しかし本実施例では、このシール溝１８
の下端部，上端部部分についても吸引ホース４４ａ，４
４ｂで吸引するようにしたので、上記圧力上昇を回避で
き、塵埃の外部放出を防止できる。
下降によって、シール溝１８の下部内では空気が圧縮さ
れ、該シール溝１８の下部の圧力が高くなり、そのため
該シール溝１８内の塵埃がシール溝１８とシャッタプレ
ート１７との隙間を通ってクリーンルーム内に放出され
る懸念がある。しかし本実施例では、このシール溝１８
の下端部，上端部部分についても吸引ホース４４ａ，４
４ｂで吸引するようにしたので、上記圧力上昇を回避で
き、塵埃の外部放出を防止できる。
【００２７】また本実施例では、上記シャッタプレート
１７をフレーム７の縦壁プレート７ａと蓋プレート１６
とで形成されたシール溝１８内に挿入するようにしたの
で、該部分がラビリンスとして機能し、それだけ流入抵
抗が大きくなり、この点からも吸引機容量を増大させる
ことなくカバー内空間を確実に負圧に維持できる。
１７をフレーム７の縦壁プレート７ａと蓋プレート１６
とで形成されたシール溝１８内に挿入するようにしたの
で、該部分がラビリンスとして機能し、それだけ流入抵
抗が大きくなり、この点からも吸引機容量を増大させる
ことなくカバー内空間を確実に負圧に維持できる。
【００２８】
【発明の効果】以上のように本発明に係るロボットの防
塵構造によれば、塵埃発生箇所近傍に吸引通路を開口さ
せ、該通路を外部吸引通路を介して吸引機に接続したの
で、吸引機容量の増大，装置の大型化を招くことなくカ
バー内全体を負圧にでき、かつ上記塵埃発生箇所近傍に
空気の流れを発生でき、これにより発生した塵埃のロボ
ット外放出を防止できるだけでなく、外部吸引機を介し
てクリーンルーム外に排出できる効果がある。
塵構造によれば、塵埃発生箇所近傍に吸引通路を開口さ
せ、該通路を外部吸引通路を介して吸引機に接続したの
で、吸引機容量の増大，装置の大型化を招くことなくカ
バー内全体を負圧にでき、かつ上記塵埃発生箇所近傍に
空気の流れを発生でき、これにより発生した塵埃のロボ
ット外放出を防止できるだけでなく、外部吸引機を介し
てクリーンルーム外に排出できる効果がある。
【図１】本発明の一実施例によるロボットの防塵構造を
示す全体構成図である。
示す全体構成図である。
【図２】上記実施例装置の上下装置部分の断面側面図で
ある。
ある。
【図３】上記実施例装置の水平旋回装置部分の断面側面
図である。
図である。
【図４】上記実施例装置の上下装置部分の一部断面平面
図である。
図である。
【図５】図２のV-V 線断面図である。
【図６】図２のVI- VI線,VI ′- VI′線断面図である。
【図７】図３VII-VII 線断面図である。
【図８】図３のVIII-VIII 線断面図である。
１ ロボット ７ｆ 外部接続口 ２７，２８，３８，４８ カバー ４３ａ〜４３ｆ 吸引開口 ４４ａ〜４４ｇ 吸引ホース（吸引通路） ４５ 外部吸引ダクト（外部吸引通路）
Claims (1)
- 【請求項１】 ロボット本体を略密閉状のカバーで囲ん
でなるロボットにおいて、該ロボットの内部で発生する
塵埃のロボット外部への放出を防止する防塵構造であっ
て、上記ロボット本体の塵埃発生箇所近傍に開口する吸
引通路を設け、該通路を上記カバーに形成された外部接
続口に延長し、該接続口に接続された外部吸引通路を介
して吸引機に接続したことを特徴とするロボットの防塵
構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09162692A JP3187924B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | ロボットの防塵構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09162692A JP3187924B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | ロボットの防塵構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253888A true JPH05253888A (ja) | 1993-10-05 |
| JP3187924B2 JP3187924B2 (ja) | 2001-07-16 |
Family
ID=14031770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09162692A Expired - Lifetime JP3187924B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | ロボットの防塵構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3187924B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006132023A1 (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Japan Computer Associates Inc. | インジェクタおよびこれを備えた薬液調合装置 |
| JP2013157561A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Yaskawa Electric Corp | 搬送ロボット |
-
1992
- 1992-03-16 JP JP09162692A patent/JP3187924B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006132023A1 (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Japan Computer Associates Inc. | インジェクタおよびこれを備えた薬液調合装置 |
| JP2006340999A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Nippon Computer Associates:Kk | インジェクタおよびこれを備えた薬液調合装置 |
| JP2013157561A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Yaskawa Electric Corp | 搬送ロボット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3187924B2 (ja) | 2001-07-16 |
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