JP2000044059A - ハンドラのデバイス収納機構 - Google Patents
ハンドラのデバイス収納機構Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ハンドラのデバイス収納機構において、トレ
ーを積み重ねたテーブルを上下方向に移動する際に、ト
レーが他の部材に引っかかって、トレーに収容した測定
済みＩＣが飛び跳ねたりすることを防止する。 【解決手段】 被測定デバイスを収容したトレー１を積
み重ねて収納する収納部６０を備えたハンドラのデバイ
ス収納機構である。収納部６０は、積み重ねたトレー１
を載置するテーブル２と、テーブル２上に積み重ねたト
レー１の水平位置を整えるトレー整列用ガイドとを備え
ている。前記トレー整列用ガイドは、テーブル２上に積
み重ねたトレー１を前後両方向から押圧してトレー１の
前後方向の水平位置を整える縦ガイド５，５と、テーブ
ル２上に積み重ねたトレー１を左右両方向から押圧して
トレー１の左右方向の水平位置を整える横ガイド４，４
と、縦ガイド５，５及び横ガイド４，４を近接及び離間
する方向に水平移動させるシリンダ６，…とにより構成
される。
ーを積み重ねたテーブルを上下方向に移動する際に、ト
レーが他の部材に引っかかって、トレーに収容した測定
済みＩＣが飛び跳ねたりすることを防止する。 【解決手段】 被測定デバイスを収容したトレー１を積
み重ねて収納する収納部６０を備えたハンドラのデバイ
ス収納機構である。収納部６０は、積み重ねたトレー１
を載置するテーブル２と、テーブル２上に積み重ねたト
レー１の水平位置を整えるトレー整列用ガイドとを備え
ている。前記トレー整列用ガイドは、テーブル２上に積
み重ねたトレー１を前後両方向から押圧してトレー１の
前後方向の水平位置を整える縦ガイド５，５と、テーブ
ル２上に積み重ねたトレー１を左右両方向から押圧して
トレー１の左右方向の水平位置を整える横ガイド４，４
と、縦ガイド５，５及び横ガイド４，４を近接及び離間
する方向に水平移動させるシリンダ６，…とにより構成
される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水平搬送方式のオ
ートハンドラに備わり、測定済みの被測定デバイスを収
容したトレーを積み重ねて収納する収納部を具備したハ
ンドラのデバイス収納機構に関する。
ートハンドラに備わり、測定済みの被測定デバイスを収
容したトレーを積み重ねて収納する収納部を具備したハ
ンドラのデバイス収納機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】水平搬送方式のオートハンドラに備わ
る、従来のデバイス収納機構について、図７〜図１０の
図面を参照しながら説明する。図７及び図８は従来のデ
バイス収納機構の構成を示すもので、図７がその正面
図、図８が側面図である。図９は、図７のデバイス収納
機構を構成する収納部を示す平面図、図１０は、図９の
収納部を示す正面図で、積み重ねて収納したトレーが水
平方向にズレている状態を示している。
る、従来のデバイス収納機構について、図７〜図１０の
図面を参照しながら説明する。図７及び図８は従来のデ
バイス収納機構の構成を示すもので、図７がその正面
図、図８が側面図である。図９は、図７のデバイス収納
機構を構成する収納部を示す平面図、図１０は、図９の
収納部を示す正面図で、積み重ねて収納したトレーが水
平方向にズレている状態を示している。
【０００３】従来のデバイス収納機構は、図７及び図８
に示すように、トレー１を供給する供給部３０、測定済
みＩＣ２５（被測定デバイス）を収容する位置までトレ
ー１を搬送する第１の搬送手段４０、測定済みＩＣ２５
を収容したトレー１を収納部６０Ａまで搬送する第２の
搬送手段５０、測定済みＩＣ２５を収容したトレー１を
収納する収納部６０Ａ等により構成されている。収納部
６０Ａは、図８に示すように、測定済みＩＣ２５を収容
したトレー１を積み重ねて載置するテーブル２、テーブ
ル２に積み重ねたトレー１の四隅部をガイドするコーナ
ーガイド３，…、テーブル２を上下方向に移動させるエ
レベータ部２７、テーブル２に積み重ねたトレー１の上
面位置を検出する上面検出センサ（図示省略）等により
構成されている。テーブル２は、図９に示すように、略
平板状に形成されると共に、その四隅部には切欠部２
ａ，…が形成されている。テーブル２の縁部には、上に
載せたトレー１（最下段のトレー１）の位置決めをする
トレーガイド２Ａ，２Ａ、２Ｂ，２Ｂが上方向に起立し
た状態で設けられている。エレベータ部２７は、モータ
２０、ボールネジ２１、テーブル支持部材２６等から構
成されている。モータ２０の回転駆動は、ボールネジ２
１及びテーブル支持部材２６によって直線運動に変換さ
れた後、テーブル２に伝達される。収納部６０Ａでは、
第２の搬送手段５０によって搬送されたトレー１を順次
テーブル２の上に積み重ねていく。このとき、エレベー
タ部２７はテーブル２を上下方向に移動させる。
に示すように、トレー１を供給する供給部３０、測定済
みＩＣ２５（被測定デバイス）を収容する位置までトレ
ー１を搬送する第１の搬送手段４０、測定済みＩＣ２５
を収容したトレー１を収納部６０Ａまで搬送する第２の
搬送手段５０、測定済みＩＣ２５を収容したトレー１を
収納する収納部６０Ａ等により構成されている。収納部
６０Ａは、図８に示すように、測定済みＩＣ２５を収容
したトレー１を積み重ねて載置するテーブル２、テーブ
ル２に積み重ねたトレー１の四隅部をガイドするコーナ
ーガイド３，…、テーブル２を上下方向に移動させるエ
レベータ部２７、テーブル２に積み重ねたトレー１の上
面位置を検出する上面検出センサ（図示省略）等により
構成されている。テーブル２は、図９に示すように、略
平板状に形成されると共に、その四隅部には切欠部２
ａ，…が形成されている。テーブル２の縁部には、上に
載せたトレー１（最下段のトレー１）の位置決めをする
トレーガイド２Ａ，２Ａ、２Ｂ，２Ｂが上方向に起立し
た状態で設けられている。エレベータ部２７は、モータ
２０、ボールネジ２１、テーブル支持部材２６等から構
成されている。モータ２０の回転駆動は、ボールネジ２
１及びテーブル支持部材２６によって直線運動に変換さ
れた後、テーブル２に伝達される。収納部６０Ａでは、
第２の搬送手段５０によって搬送されたトレー１を順次
テーブル２の上に積み重ねていく。このとき、エレベー
タ部２７はテーブル２を上下方向に移動させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
デバイス収納機構では、図１０に示すように、テーブル
２に積み重ねたトレー１に、自身の寸法精度、反り等の
影響により積み重ね誤差が生じて、水平方向のズレ（横
ズレや縦ズレ）が発生することがあった。そして、ずれ
た状態のまま、エレベータ部２７がテーブル２を下降し
ていくと、積み重ねたトレー１が、コーナーガイド３，
…等に引っかかって、傾いた状態となり、その結果、ト
レー１に収容した測定済みＩＣ２５が飛び跳ねて装置内
にこぼれてしまうことがあった。また、トレー１が一度
傾いた状態になると、その後に積むトレー１も正常に積
み重ねることができなかった。
デバイス収納機構では、図１０に示すように、テーブル
２に積み重ねたトレー１に、自身の寸法精度、反り等の
影響により積み重ね誤差が生じて、水平方向のズレ（横
ズレや縦ズレ）が発生することがあった。そして、ずれ
た状態のまま、エレベータ部２７がテーブル２を下降し
ていくと、積み重ねたトレー１が、コーナーガイド３，
…等に引っかかって、傾いた状態となり、その結果、ト
レー１に収容した測定済みＩＣ２５が飛び跳ねて装置内
にこぼれてしまうことがあった。また、トレー１が一度
傾いた状態になると、その後に積むトレー１も正常に積
み重ねることができなかった。
【０００５】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、テーブルに積み重ねたトレーに
生じた水平方向のズレをなくすことによって、テーブル
を上下方向に移動する際に、トレーが他の部材に引っか
かって、トレーに収容した測定済みＩＣが飛び跳ねたり
することを防止するハンドラのデバイス収納機構を提供
することを目的とする。
ためになされたもので、テーブルに積み重ねたトレーに
生じた水平方向のズレをなくすことによって、テーブル
を上下方向に移動する際に、トレーが他の部材に引っか
かって、トレーに収容した測定済みＩＣが飛び跳ねたり
することを防止するハンドラのデバイス収納機構を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、被測定デバイスを収容した
トレーを積み重ねて収納する収納部を備えたハンドラの
デバイス収納機構において、前記収納部が、積み重ねた
トレーを載置するテーブルと、前記テーブル上に積み重
ねたトレーの水平位置を整えるトレー整列用ガイドと、
を備えた構成とした。
め、請求項１記載の発明は、被測定デバイスを収容した
トレーを積み重ねて収納する収納部を備えたハンドラの
デバイス収納機構において、前記収納部が、積み重ねた
トレーを載置するテーブルと、前記テーブル上に積み重
ねたトレーの水平位置を整えるトレー整列用ガイドと、
を備えた構成とした。
【０００７】請求項１記載の発明によれば、積み重ねた
トレーを載置するテーブルと、テーブル上に積み重ねた
トレーの水平位置を整えるトレー整列用ガイドとを収納
部が備えたため、テーブル上に積み重ねたトレーに、例
えば、寸法精度、反り等の影響により水平方向のズレが
生じたとしても、そのズレはトレー整列用ガイドによっ
て解消される。従って、トレーを積み重ねたテーブル
を、例えば、上下方向に移動したとしても、従来のよう
に、積み重ねたトレーが他の部材に引っかかって傾倒し
たりすることがない。そのため、トレーに収容した被測
定デバイスが飛び跳ねることもない。
トレーを載置するテーブルと、テーブル上に積み重ねた
トレーの水平位置を整えるトレー整列用ガイドとを収納
部が備えたため、テーブル上に積み重ねたトレーに、例
えば、寸法精度、反り等の影響により水平方向のズレが
生じたとしても、そのズレはトレー整列用ガイドによっ
て解消される。従って、トレーを積み重ねたテーブル
を、例えば、上下方向に移動したとしても、従来のよう
に、積み重ねたトレーが他の部材に引っかかって傾倒し
たりすることがない。そのため、トレーに収容した被測
定デバイスが飛び跳ねることもない。
【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載のハ
ンドラのデバイス収納機構において、前記トレー整列用
ガイドが、前記テーブル上に積み重ねたトレーを前後両
方向から押圧して前記トレーの前後方向の水平位置を整
える縦ガイドと、前記テーブル上に積み重ねたトレーを
左右両方向から押圧して前記トレーの左右方向の水平位
置を整える横ガイドと、により構成される。
ンドラのデバイス収納機構において、前記トレー整列用
ガイドが、前記テーブル上に積み重ねたトレーを前後両
方向から押圧して前記トレーの前後方向の水平位置を整
える縦ガイドと、前記テーブル上に積み重ねたトレーを
左右両方向から押圧して前記トレーの左右方向の水平位
置を整える横ガイドと、により構成される。
【０００９】請求項２記載の発明によれば、テーブル上
に積み重ねたトレーは、縦ガイドによって前後方向の水
平位置が整えられる一方、横ガイドによって左右方向の
水平位置が整えられる。
に積み重ねたトレーは、縦ガイドによって前後方向の水
平位置が整えられる一方、横ガイドによって左右方向の
水平位置が整えられる。
【００１０】請求項３記載の発明は、請求項２記載のハ
ンドラのデバイス収納機構において、前記縦ガイド及び
前記横ガイドが、前記テーブル上に積み重ねたトレーを
複数同時に押圧する構成とした。
ンドラのデバイス収納機構において、前記縦ガイド及び
前記横ガイドが、前記テーブル上に積み重ねたトレーを
複数同時に押圧する構成とした。
【００１１】請求項３記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドがテーブル上に積み重ねたトレーを複数同時
に押圧する構成としたため、テーブル上に積み重ねたト
レーは短時間で水平位置が整えられる。
び横ガイドがテーブル上に積み重ねたトレーを複数同時
に押圧する構成としたため、テーブル上に積み重ねたト
レーは短時間で水平位置が整えられる。
【００１２】請求項４記載の発明は、請求項２又は３に
記載のハンドラのデバイス収納機構において、前記縦ガ
イド及び前記横ガイドが、電気的駆動手段の駆動により
水平移動して、前記テーブル上に積み重ねたトレーを押
圧する構成とした。
記載のハンドラのデバイス収納機構において、前記縦ガ
イド及び前記横ガイドが、電気的駆動手段の駆動により
水平移動して、前記テーブル上に積み重ねたトレーを押
圧する構成とした。
【００１３】請求項４記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドは、電気的駆動手段の駆動により水平移動し
て、テーブル上に積み重ねたトレーを押圧する。
び横ガイドは、電気的駆動手段の駆動により水平移動し
て、テーブル上に積み重ねたトレーを押圧する。
【００１４】電気的駆動手段としては、例えば、電磁弁
と組み合わせたシリンダ、ソレノイド、モータなどが挙
げられる。
と組み合わせたシリンダ、ソレノイド、モータなどが挙
げられる。
【００１５】請求項５記載の発明は、請求項４記載のハ
ンドラのデバイス収納機構において、前記縦ガイド及び
前記横ガイドの移動範囲を制限する移動範囲制限手段を
備えた構成とした。
ンドラのデバイス収納機構において、前記縦ガイド及び
前記横ガイドの移動範囲を制限する移動範囲制限手段を
備えた構成とした。
【００１６】請求項５記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドの移動範囲は移動範囲制限手段によって制限
される。従って、縦ガイド及び横ガイドが、テーブル上
に積み重ねたトレーを押圧するときの押圧力が制限され
て、トレーの破損が防止される。
び横ガイドの移動範囲は移動範囲制限手段によって制限
される。従って、縦ガイド及び横ガイドが、テーブル上
に積み重ねたトレーを押圧するときの押圧力が制限され
て、トレーの破損が防止される。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図１〜図６の図面を参照しながら説明する。
て、図１〜図６の図面を参照しながら説明する。
【００１８】図１及び図２は本発明に係るデバイス収納
機構の構成を示すもので、図１がその正面図、図２が側
面図である。図３は図１のデバイス収納機構を構成する
収納部を示す平面図、図４は図３のＡ−Ａ矢視図であ
る。また、図５は図１のデバイス収納機構を構成する供
給部を示す平面図、図６は図１のデバイス収納機構を構
成する搬送シャトルを示す平面図である。
機構の構成を示すもので、図１がその正面図、図２が側
面図である。図３は図１のデバイス収納機構を構成する
収納部を示す平面図、図４は図３のＡ−Ａ矢視図であ
る。また、図５は図１のデバイス収納機構を構成する供
給部を示す平面図、図６は図１のデバイス収納機構を構
成する搬送シャトルを示す平面図である。
【００１９】この実施の形態のデバイス収納機構は、図
１及び図２に示すように、トレー１を供給する供給部３
０、供給部３０から供給されたトレー１を測定済みＩＣ
２５（被測定デバイス）の収容位置まで搬送する第１の
搬送手段４０、測定済みＩＣ２５を収容したトレー１を
収納部６０Ａまで搬送する第２の搬送手段５０、測定済
みＩＣ２５を収容したトレー１を収納する収納部６０等
により構成されている。
１及び図２に示すように、トレー１を供給する供給部３
０、供給部３０から供給されたトレー１を測定済みＩＣ
２５（被測定デバイス）の収容位置まで搬送する第１の
搬送手段４０、測定済みＩＣ２５を収容したトレー１を
収納部６０Ａまで搬送する第２の搬送手段５０、測定済
みＩＣ２５を収容したトレー１を収納する収納部６０等
により構成されている。
【００２０】供給部３０は、図５に示すように、積み重
ねたトレー１の四隅部をガイドするトレーガイド７，
…、積み重ねた最下段のトレー１を支持する保持爪９，
９、保持爪９，９を水平移動させるシリンダ９Ａ，９Ａ
等により構成されている。保持爪９，９は、トレー１を
挟んで対向配置され、シリンダ９Ａ，９Ａの駆動により
互いに近接及び離間する方向に水平移動する。保持爪
９，９が近接した状態において、トレー１の下端側に形
成される切欠部１Ａに、保持爪９，９の略コ字状に形成
された先端部が嵌入して、トレー１が支持される一方、
保持爪９，９が離間した状態において、トレー１の切欠
部１Ａから保持爪９，９の先端部が離脱して、トレー１
が開放された状態（下方向に移動可能な状態）となる。
ねたトレー１の四隅部をガイドするトレーガイド７，
…、積み重ねた最下段のトレー１を支持する保持爪９，
９、保持爪９，９を水平移動させるシリンダ９Ａ，９Ａ
等により構成されている。保持爪９，９は、トレー１を
挟んで対向配置され、シリンダ９Ａ，９Ａの駆動により
互いに近接及び離間する方向に水平移動する。保持爪
９，９が近接した状態において、トレー１の下端側に形
成される切欠部１Ａに、保持爪９，９の略コ字状に形成
された先端部が嵌入して、トレー１が支持される一方、
保持爪９，９が離間した状態において、トレー１の切欠
部１Ａから保持爪９，９の先端部が離脱して、トレー１
が開放された状態（下方向に移動可能な状態）となる。
【００２１】第１の搬送手段４０は、図１及び図２に示
すように、供給部３０の下方位置に設けられた受け台１
４、受け台１４を上下方向に移動させるシリンダ１４
Ａ、供給部３０の下方位置で平行に配置されたレール１
０，１０、これらレール１０，１０に連続して設けられ
たレール１１，１１、これらレール１１，１１を近接及
び離間する方向に水平移動させるシリンダ１１Ａ，１１
Ａ、レール１０，１０上のトレー１を押圧してレール１
１，１１に移動させるプッシャー１３等により構成され
ている。
すように、供給部３０の下方位置に設けられた受け台１
４、受け台１４を上下方向に移動させるシリンダ１４
Ａ、供給部３０の下方位置で平行に配置されたレール１
０，１０、これらレール１０，１０に連続して設けられ
たレール１１，１１、これらレール１１，１１を近接及
び離間する方向に水平移動させるシリンダ１１Ａ，１１
Ａ、レール１０，１０上のトレー１を押圧してレール１
１，１１に移動させるプッシャー１３等により構成され
ている。
【００２２】第１の搬送手段４０では、先ず、シリンダ
１４Ａの駆動により受け台１４を上昇させて供給部３０
の積層トレー１を一旦持ち上げた後、シリンダ９Ａ，９
Ａの駆動により保持爪９，９を離間する方向に水平移動
させて、トレー１を下方向に移動可能な状態にする。そ
の後、受け台１４を所定位置まで下降したところで、保
持爪９，９を近接する方向に水平移動させて保持爪９，
９の先端部を最下段から二枚目のトレー１の切欠部１Ａ
に嵌入させた後、受け台１４を下降させて、供給部３０
の最下段のトレー１を分離しレール１０上に載せる。そ
して、レール１０に載せたトレー１を、プッシャー１３
の押圧によりレール１１，１１に移動させた後、収容ハ
ンド２４に把持された測定済みＩＣ２５をトレー１に収
容する。ＩＣ２５の収容が完了したら、第２の搬送手段
５０によりトレー１を収納部６０に搬送する。
１４Ａの駆動により受け台１４を上昇させて供給部３０
の積層トレー１を一旦持ち上げた後、シリンダ９Ａ，９
Ａの駆動により保持爪９，９を離間する方向に水平移動
させて、トレー１を下方向に移動可能な状態にする。そ
の後、受け台１４を所定位置まで下降したところで、保
持爪９，９を近接する方向に水平移動させて保持爪９，
９の先端部を最下段から二枚目のトレー１の切欠部１Ａ
に嵌入させた後、受け台１４を下降させて、供給部３０
の最下段のトレー１を分離しレール１０上に載せる。そ
して、レール１０に載せたトレー１を、プッシャー１３
の押圧によりレール１１，１１に移動させた後、収容ハ
ンド２４に把持された測定済みＩＣ２５をトレー１に収
容する。ＩＣ２５の収容が完了したら、第２の搬送手段
５０によりトレー１を収納部６０に搬送する。
【００２３】第２の搬送手段５０は、図２に示すよう
に、レール１１，１１の下方位置に設けられた受け台２
２、受け台２２を上下方向に移動させるシリンダ２２
Ａ、レール１１，１１から移されたトレー１を収納部６
０へと搬送する搬送シャトル１９等により構成されてい
る。搬送シャトル１９は、図６に示すように、トレー１
を位置決めするトレーガイド１８，１８、トレー１を挟
持する保持爪１６，１６、保持爪１６，１６を水平移動
させるシリンダ１６Ａ，１６Ａ等により構成されてい
る。また、搬送シャトル１９の中央には、開放したトレ
ー１を挿通させる開口部１９Ａが形成されている。保持
爪１６，１６は、トレー１を挟んで対向配置され、シリ
ンダ１６Ａ，１６Ａの駆動により互いに近接及び離間す
る方向に水平移動して、トレー１を挟持したり、開放し
たりする。
に、レール１１，１１の下方位置に設けられた受け台２
２、受け台２２を上下方向に移動させるシリンダ２２
Ａ、レール１１，１１から移されたトレー１を収納部６
０へと搬送する搬送シャトル１９等により構成されてい
る。搬送シャトル１９は、図６に示すように、トレー１
を位置決めするトレーガイド１８，１８、トレー１を挟
持する保持爪１６，１６、保持爪１６，１６を水平移動
させるシリンダ１６Ａ，１６Ａ等により構成されてい
る。また、搬送シャトル１９の中央には、開放したトレ
ー１を挿通させる開口部１９Ａが形成されている。保持
爪１６，１６は、トレー１を挟んで対向配置され、シリ
ンダ１６Ａ，１６Ａの駆動により互いに近接及び離間す
る方向に水平移動して、トレー１を挟持したり、開放し
たりする。
【００２４】第２の搬送手段５０では、シリンダ２２Ａ
の駆動により受け台２２を上昇させてレール１１，１１
上にあるトレー１（測定済みＩＣ２５の収容が完了した
トレー１）を一旦持ち上げた後、シリンダ１１Ａ，１１
Ａの駆動によりレール１１，１１を互いに離間する方向
に水平移動させると共に、受け台２２を下降させて、ト
レー１を搬送シャトル１９に載せる。その後、搬送シャ
トル１９によりトレー１を収納部６０に搬送する。
の駆動により受け台２２を上昇させてレール１１，１１
上にあるトレー１（測定済みＩＣ２５の収容が完了した
トレー１）を一旦持ち上げた後、シリンダ１１Ａ，１１
Ａの駆動によりレール１１，１１を互いに離間する方向
に水平移動させると共に、受け台２２を下降させて、ト
レー１を搬送シャトル１９に載せる。その後、搬送シャ
トル１９によりトレー１を収納部６０に搬送する。
【００２５】収納部６０は、図２に示すように、測定済
みＩＣ２５を収容したトレー１を積み重ねて載置するテ
ーブル２、テーブル２に積み重ねたトレー１の四隅部を
ガイドするコーナーガイド３、テーブル２を上下方向に
移動させるエレベータ部２７、テーブル２に積み重ねた
トレー１を前後両方向（図２から見て）から押圧して前
記トレー１の前後方向の水平位置を整える縦ガイド５，
５、テーブル２に積み重ねたトレー１を左右両方向（図
２から見て）から押圧して前記トレー１の左右方向の水
平位置を整える横ガイド４，４、これらガイド４，４、
５，５を近接及び離間する方向に水平移動させるシリン
ダ６，…（電気的駆動手段）、テーブル２に積み重ねた
トレー１の上面位置を検出する上面検出センサ（図示省
略）等により構成されている。
みＩＣ２５を収容したトレー１を積み重ねて載置するテ
ーブル２、テーブル２に積み重ねたトレー１の四隅部を
ガイドするコーナーガイド３、テーブル２を上下方向に
移動させるエレベータ部２７、テーブル２に積み重ねた
トレー１を前後両方向（図２から見て）から押圧して前
記トレー１の前後方向の水平位置を整える縦ガイド５，
５、テーブル２に積み重ねたトレー１を左右両方向（図
２から見て）から押圧して前記トレー１の左右方向の水
平位置を整える横ガイド４，４、これらガイド４，４、
５，５を近接及び離間する方向に水平移動させるシリン
ダ６，…（電気的駆動手段）、テーブル２に積み重ねた
トレー１の上面位置を検出する上面検出センサ（図示省
略）等により構成されている。
【００２６】テーブル２は、略平板状に形成されると共
に、その縁部には、上に載せたトレー１（最下段のトレ
ー１）の位置決めをするトレーガイド２Ａ、２Ｂが上方
向に起立した状態で設けられている。エレベータ部２７
は、モータ２０、ボールネジ２１、テーブル支持部材２
６等から構成されている。モータ２０の回転駆動は、ボ
ールネジ２１及びテーブル支持部材２６によって直線運
動に変換された後、テーブル２に伝達される。
に、その縁部には、上に載せたトレー１（最下段のトレ
ー１）の位置決めをするトレーガイド２Ａ、２Ｂが上方
向に起立した状態で設けられている。エレベータ部２７
は、モータ２０、ボールネジ２１、テーブル支持部材２
６等から構成されている。モータ２０の回転駆動は、ボ
ールネジ２１及びテーブル支持部材２６によって直線運
動に変換された後、テーブル２に伝達される。
【００２７】縦ガイド５，５は、図３に示すように、テ
ーブル２上のトレー１を前後両方向から挟む位置に対向
配置される一方、横ガイド４，４は、テーブル２上のト
レー１を左右両方向から挟む位置に対向配置されてい
る。縦ガイド５，５及び横ガイド４，４は、何れも略平
板状に形成されていて、その両側端部には、押圧時にテ
ーブル２上のトレー１に当接する当接部５ａ，５ａ、４
ａ，４ａが突設されている。また、縦ガイド５，５及び
横ガイド４，４は、トレーガイド２Ａ、２Ｂによる係止
によって、その押圧方向への移動が制限されている。従
って、縦ガイド５，５及び横ガイド４，４が、テーブル
２上に積み重ねたトレー１を押圧するときの押圧力が制
限されて、トレー１の破損が防止される。
ーブル２上のトレー１を前後両方向から挟む位置に対向
配置される一方、横ガイド４，４は、テーブル２上のト
レー１を左右両方向から挟む位置に対向配置されてい
る。縦ガイド５，５及び横ガイド４，４は、何れも略平
板状に形成されていて、その両側端部には、押圧時にテ
ーブル２上のトレー１に当接する当接部５ａ，５ａ、４
ａ，４ａが突設されている。また、縦ガイド５，５及び
横ガイド４，４は、トレーガイド２Ａ、２Ｂによる係止
によって、その押圧方向への移動が制限されている。従
って、縦ガイド５，５及び横ガイド４，４が、テーブル
２上に積み重ねたトレー１を押圧するときの押圧力が制
限されて、トレー１の破損が防止される。
【００２８】収納部６０では、上面検出センサに検出さ
れる位置までエレベータ部２７がテーブル２を上昇させ
た後、シリンダ１６Ａ，１６Ａの駆動により保持爪１
６，１６を互いに離間する方向に水平移動させて、搬送
されたトレー１をテーブル２に積み重ねたトレー１の上
（又はテーブル２の上）に載せる。その後、シリンダ
６，…の駆動により、縦ガイド５，５を互いに近接する
方向に水平移動させて、テーブル２上に積み重ねたトレ
ー１の前後方向の水平位置を整えるとともに、横ガイド
４，４を互いに近接する方向に水平移動させて、前記ト
レー１の左右方向の水平位置を整える。こうして、テー
ブル２上に積み重ねたトレー１の水平位置が整えられた
ら、エレベータ部２７の駆動によりテーブル２を下降さ
せる。
れる位置までエレベータ部２７がテーブル２を上昇させ
た後、シリンダ１６Ａ，１６Ａの駆動により保持爪１
６，１６を互いに離間する方向に水平移動させて、搬送
されたトレー１をテーブル２に積み重ねたトレー１の上
（又はテーブル２の上）に載せる。その後、シリンダ
６，…の駆動により、縦ガイド５，５を互いに近接する
方向に水平移動させて、テーブル２上に積み重ねたトレ
ー１の前後方向の水平位置を整えるとともに、横ガイド
４，４を互いに近接する方向に水平移動させて、前記ト
レー１の左右方向の水平位置を整える。こうして、テー
ブル２上に積み重ねたトレー１の水平位置が整えられた
ら、エレベータ部２７の駆動によりテーブル２を下降さ
せる。
【００２９】以上のように、この実施の形態のハンドラ
のデバイス収納機構によれば、供給部３０から供給され
たトレー１は、第１の搬送手段４０によって測定済みＩ
Ｃ２５の収容位置まで搬送されて、測定済みＩＣ２５を
収容した後、第２の搬送手段５０によって収納部６０Ａ
まで搬送されて、収納部６０Ａに収納される。ここで、
収納部６０には、テーブル２上に積み重ねたトレー１の
前後方向の水平位置を整える縦ガイド５，５と、前記ト
レー１の左右方向の水平位置を整える横ガイド４，４と
が設けられているため、テーブル２上に積み重ねたトレ
ー１に、例えば、寸法精度、反り等の影響により水平方
向のズレが生じたとしても、そのズレは縦ガイド５，５
及び横ガイド４，４によって解消される。従って、トレ
ー１を積み重ねて載せたテーブル２を、エレベータ部２
７が上下方向に移動させたとしても、従来のように、積
み重ねたトレー１がコーナーガイド３，…等に引っかか
って傾倒したりすることがない。そのため、トレー１に
収容した測定済みＩＣ２５が飛び跳ねることもない。
のデバイス収納機構によれば、供給部３０から供給され
たトレー１は、第１の搬送手段４０によって測定済みＩ
Ｃ２５の収容位置まで搬送されて、測定済みＩＣ２５を
収容した後、第２の搬送手段５０によって収納部６０Ａ
まで搬送されて、収納部６０Ａに収納される。ここで、
収納部６０には、テーブル２上に積み重ねたトレー１の
前後方向の水平位置を整える縦ガイド５，５と、前記ト
レー１の左右方向の水平位置を整える横ガイド４，４と
が設けられているため、テーブル２上に積み重ねたトレ
ー１に、例えば、寸法精度、反り等の影響により水平方
向のズレが生じたとしても、そのズレは縦ガイド５，５
及び横ガイド４，４によって解消される。従って、トレ
ー１を積み重ねて載せたテーブル２を、エレベータ部２
７が上下方向に移動させたとしても、従来のように、積
み重ねたトレー１がコーナーガイド３，…等に引っかか
って傾倒したりすることがない。そのため、トレー１に
収容した測定済みＩＣ２５が飛び跳ねることもない。
【００３０】なお、この実施の形態では、電気的駆動手
段としてシリンダ６，…を例示したが、これに限られる
ものではなく、縦ガイド５，５及び横ガイド４，４をそ
れぞれ近接及び離間する方向に水平移動させることがで
きれば、例えば、ソレノイド、モータを駆動源とする直
動機構等により構成することも可能である。その他、具
体的に示した細部構成、方法等は、発明の主旨を逸脱し
ない範囲で適宜変更可能である。
段としてシリンダ６，…を例示したが、これに限られる
ものではなく、縦ガイド５，５及び横ガイド４，４をそ
れぞれ近接及び離間する方向に水平移動させることがで
きれば、例えば、ソレノイド、モータを駆動源とする直
動機構等により構成することも可能である。その他、具
体的に示した細部構成、方法等は、発明の主旨を逸脱し
ない範囲で適宜変更可能である。
【００３１】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、積み重ね
たトレーを載置するテーブルと、テーブル上に積み重ね
たトレーの水平位置を整えるトレー整列用ガイドとを収
納部が備えたため、テーブル上に積み重ねたトレーに、
例えば、寸法精度、反り等の影響により水平方向のズレ
が生じたとしても、そのズレはトレー整列用ガイドによ
って解消される。従って、トレーを積み重ねたテーブル
を、例えば、上下方向に移動したとしても、従来のよう
に、積み重ねたトレーが他の部材に引っかかって傾倒し
たりすることがない。そのため、トレーに収容した被測
定デバイスが飛び跳ねることもない。
たトレーを載置するテーブルと、テーブル上に積み重ね
たトレーの水平位置を整えるトレー整列用ガイドとを収
納部が備えたため、テーブル上に積み重ねたトレーに、
例えば、寸法精度、反り等の影響により水平方向のズレ
が生じたとしても、そのズレはトレー整列用ガイドによ
って解消される。従って、トレーを積み重ねたテーブル
を、例えば、上下方向に移動したとしても、従来のよう
に、積み重ねたトレーが他の部材に引っかかって傾倒し
たりすることがない。そのため、トレーに収容した被測
定デバイスが飛び跳ねることもない。
【００３２】請求項２記載の発明によれば、テーブル上
に積み重ねたトレーは、縦ガイドによって前後方向の水
平位置が整えられる一方、横ガイドによって左右方向の
水平位置が整えられる。
に積み重ねたトレーは、縦ガイドによって前後方向の水
平位置が整えられる一方、横ガイドによって左右方向の
水平位置が整えられる。
【００３３】請求項３記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドがテーブル上に積み重ねたトレーを複数同時
に押圧する構成としたため、テーブル上に積み重ねたト
レーは短時間で水平位置が整えられる。
び横ガイドがテーブル上に積み重ねたトレーを複数同時
に押圧する構成としたため、テーブル上に積み重ねたト
レーは短時間で水平位置が整えられる。
【００３４】請求項４記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドは、電気的駆動手段の駆動により水平移動し
て、テーブル上に積み重ねたトレーを押圧する。
び横ガイドは、電気的駆動手段の駆動により水平移動し
て、テーブル上に積み重ねたトレーを押圧する。
【００３５】請求項５記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドの移動範囲は移動範囲制限手段によって制限
される。従って、縦ガイド及び横ガイドが、テーブル上
に積み重ねたトレーを押圧するときの押圧力が制限され
て、トレーの破損が防止される。
び横ガイドの移動範囲は移動範囲制限手段によって制限
される。従って、縦ガイド及び横ガイドが、テーブル上
に積み重ねたトレーを押圧するときの押圧力が制限され
て、トレーの破損が防止される。
【図１】本発明に係るデバイス収納機構の構成を示す正
面図である。
面図である。
【図２】図１のデバイス収納機構の側面図である。
【図３】図１のデバイス収納機構を構成する収納部を示
す平面図である。
す平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ矢視図である。
【図５】図５は図１のデバイス収納機構を構成する供給
部を示す平面図である。
部を示す平面図である。
【図６】図１のデバイス収納機構を構成する搬送シャト
ルを示す平面図である。
ルを示す平面図である。
【図７】従来のデバイス収納機構の構成を示す正面図で
ある。
ある。
【図８】図７のデバイス収納機構の側面図である。
【図９】図７のデバイス収納機構を構成する収納部を示
す平面図である。
す平面図である。
【図１０】図９の収納部を示す正面図で、積み重ねて収
納したトレーが水平方向にズレている状態を示してい
る。
納したトレーが水平方向にズレている状態を示してい
る。
１ トレー １Ａ 切欠部 ２ テーブル ２Ａ トレーガイド（移動範囲制限手段） ２Ｂ トレーガイド（移動範囲制限手段） ３ コーナーガイド ４ 横ガイド（トレー整列用ガイド） ５ 縦ガイド（トレー整列用ガイド） ６ シリンダ（電気的駆動手段） ２５ 測定済みＩＣ（被測定デバイス） ２７ エレベータ部 ３０ 供給部 ４０ 第１の搬送手段 ５０ 第２の搬送手段 ６０ 収納部
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AG11 AH07 3F029 AA08 BA01 BA09 CA08 DA04 DA06 4M106 AA04 DG02 DG03
Claims (5)
- 【請求項１】被測定デバイスを収容したトレーを積み重
ねて収納する収納部を備えたハンドラのデバイス収納機
構において、 前記収納部は、 積み重ねたトレーを載置するテーブルと、 前記テーブル上に積み重ねたトレーの水平位置を整える
トレー整列用ガイドと、 を備えたことを特徴とするハンドラのデバイス収納機
構。 - 【請求項２】前記トレー整列用ガイドは、 前記テーブル上に積み重ねたトレーを前後両方向から押
圧して前記トレーの前後方向の水平位置を整える縦ガイ
ドと、 前記テーブル上に積み重ねたトレーを左右両方向から押
圧して前記トレーの左右方向の水平位置を整える横ガイ
ドと、 により構成されることを特徴とする請求項１記載のハン
ドラのデバイス収納機構。 - 【請求項３】前記縦ガイド及び前記横ガイドは、前記テ
ーブル上に積み重ねたトレーを複数同時に押圧すること
を特徴とする請求項２記載のハンドラのデバイス収納機
構。 - 【請求項４】前記縦ガイド及び前記横ガイドは、電気的
駆動手段の駆動により水平移動して、前記テーブル上に
積み重ねたトレーを押圧することを特徴とする請求項２
又は３に記載のハンドラのデバイス収納機構。 - 【請求項５】前記縦ガイド及び前記横ガイドの移動範囲
を制限する移動範囲制限手段を備えたことを特徴とする
請求項４記載のハンドラのデバイス収納機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10212861A JP2000044059A (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | ハンドラのデバイス収納機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10212861A JP2000044059A (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | ハンドラのデバイス収納機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000044059A true JP2000044059A (ja) | 2000-02-15 |
Family
ID=16629523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10212861A Pending JP2000044059A (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | ハンドラのデバイス収納機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000044059A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100780058B1 (ko) * | 2006-03-06 | 2007-11-29 | (주) 디오브이 | 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 정렬장치 |
| KR101062456B1 (ko) | 2011-05-02 | 2011-09-05 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 정반 정렬장치 |
| KR101241127B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-03-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 카세트이송시스템 및 이를 이용한 카세트이송방법 |
| KR101401516B1 (ko) * | 2007-05-23 | 2014-06-09 | 주성엔지니어링(주) | 트레이 정렬장치와 이를 포함하는 태양전지 제조장치 및이를 이용한 트레이 정렬방법 |
| CN107499947A (zh) * | 2017-09-29 | 2017-12-22 | 安徽智森电子科技有限公司 | 一种产品规整装置 |
| CN108002046A (zh) * | 2018-01-16 | 2018-05-08 | 湖北文理学院 | 一种托盘拆垛码垛机 |
| CN110790180A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-02-14 | 江苏晨洁日化有限公司 | 一种托盘升降机构 |
| CN112453073A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-03-09 | 北京科技大学设计研究院有限公司 | 一种板坯垛板台自动下板坯控制方法 |
| JP2021038097A (ja) * | 2020-11-24 | 2021-03-11 | Ｎｅｃプラットフォームズ株式会社 | 段積装置、クレート仕分け装置、及びプログラム |
| WO2021201584A1 (ko) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | 주식회사 클레버 | 전지셀의 테라스 얼라인 장치 |
| CN114348412A (zh) * | 2022-02-11 | 2022-04-15 | 青岛黄海学院 | 一种物流托盘、反向裝垛机及装垛方法 |
-
1998
- 1998-07-28 JP JP10212861A patent/JP2000044059A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100780058B1 (ko) * | 2006-03-06 | 2007-11-29 | (주) 디오브이 | 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 정렬장치 |
| KR101241127B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-03-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 카세트이송시스템 및 이를 이용한 카세트이송방법 |
| KR101401516B1 (ko) * | 2007-05-23 | 2014-06-09 | 주성엔지니어링(주) | 트레이 정렬장치와 이를 포함하는 태양전지 제조장치 및이를 이용한 트레이 정렬방법 |
| KR101062456B1 (ko) | 2011-05-02 | 2011-09-05 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 정반 정렬장치 |
| CN107499947A (zh) * | 2017-09-29 | 2017-12-22 | 安徽智森电子科技有限公司 | 一种产品规整装置 |
| CN108002046A (zh) * | 2018-01-16 | 2018-05-08 | 湖北文理学院 | 一种托盘拆垛码垛机 |
| CN110790180A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-02-14 | 江苏晨洁日化有限公司 | 一种托盘升降机构 |
| CN110790180B (zh) * | 2019-10-30 | 2021-04-23 | 江苏晨洁日化有限公司 | 一种托盘升降机构 |
| WO2021201584A1 (ko) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | 주식회사 클레버 | 전지셀의 테라스 얼라인 장치 |
| CN112453073A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-03-09 | 北京科技大学设计研究院有限公司 | 一种板坯垛板台自动下板坯控制方法 |
| CN112453073B (zh) * | 2020-10-23 | 2022-10-11 | 北京科技大学设计研究院有限公司 | 一种板坯垛板台自动下板坯控制方法 |
| JP2021038097A (ja) * | 2020-11-24 | 2021-03-11 | Ｎｅｃプラットフォームズ株式会社 | 段積装置、クレート仕分け装置、及びプログラム |
| JP7244104B2 (ja) | 2020-11-24 | 2023-03-22 | Ｎｅｃプラットフォームズ株式会社 | 段積装置及びクレート仕分け装置 |
| CN114348412A (zh) * | 2022-02-11 | 2022-04-15 | 青岛黄海学院 | 一种物流托盘、反向裝垛机及装垛方法 |
| CN114348412B (zh) * | 2022-02-11 | 2023-06-27 | 青岛黄海学院 | 一种物流托盘、反向装垛机及装垛方法 |
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