JP2000028411A

JP2000028411A - 流量センサー及び流量検出装置

Info

Publication number: JP2000028411A
Application number: JP10193424A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Inoue; 眞一井上; Atsushi Koike; 淳小池; Toshiaki Kawanishi; 川西　　利明; Kiyoshi Yamagishi; 喜代志山岸
Original assignee: Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Current assignee: Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority date: 1998-07-08
Filing date: 1998-07-08
Publication date: 2000-01-28

Abstract

(57)【要約】【課題】応答速度をより高速化し、測定精度をより高
精度とし、腐食、変形をも解消し、しかも、より小型化
し、製造コストも十分削減することができる流量センサ
ー及び流量検出装置を提供する。【解決手段】基板４の一端部に直接、発熱体９及び感
温体１３を形成した流量検知部２と、基板４の一端部に
直接、感温体１５を形成した温度検知部３と、出力端子
５，６とを有し、基板４の一部及び出力端子５，６の一
部をモールディングによる被覆部材７により被覆してな
る流量センサー１を設ける。流量センサー１をケーシン
グ５２に穿設したセンサー挿入孔５９に収容して流量検
出装置５１を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、配管内を流れる気
体、液体等の流体の流量を測定するための流量センサー
及び流量検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、各種流体、特に液体の流量（又は
流速）を測定する流量センサー（又は流速センサー）と
しては、種々形式のものが使用されているが、低価格化
が容易であるという理由から、いわゆる熱式（特に傍熱
型）の流量センサーが幅広く使用されている。

【０００３】その中でも、熱応答性に優れ、測定精度が
高く、小型かつ安価な傍熱型流量センサーとして、特開
平８−１４６０２６号公報に開示される薄膜素子を用い
た傍熱型流量センサーが知られている。この流量センサ
ー１０１は、図１１に示すように、薄膜技術を利用して
基板１０２上に薄膜発熱体１０３と薄膜感温体１０４と
を絶縁層１０５を介して積層したものであり、図１２に
示すように、配管１０６の適宜位置に設置されて使用さ
れる。

【０００４】この流量センサー１０１では、発熱体１０
３に通電することにより感温体１０４を加熱し、感温体
１０４の電気抵抗値の変化を検出する。ここで、流量セ
ンサー１０１は配管１０６に設置されているため、発熱
体１０３の発熱量の一部は基板１０２を介して配管内を
流れる流体中へと放逸され、感温体１０４に伝達される
熱量はこの放逸熱量を差し引いたものとなる。そして、
この放逸熱量は流体の流量に対応して変化するから、供
給される熱量により変化する感温体１０４の電気抵抗値
の変化を検出することによって、配管１０６内を流れる
流体の流量を測定できるということになる。又、前記放
逸熱量は流体の温度によっても変化するから、図１２に
示すように、配管１０６の適宜位置に温度センサー１０
７を設置し、感温体１０４の電気抵抗値の変化を検出す
る流量検出回路中に温度補償回路を付加して、流体の温
度による流量測定値の誤差をできるだけ少なくすること
も行われている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の流量セ
ンサー１０１は、金属製配管１０６に直接設置されてお
り、しかも、その金属製配管１０６は外気に露出してい
た。よって、熱伝導性が高い金属製配管１０６を介して
流体の保有する熱量が外気へと放逸され、又は、外気か
ら流体へと熱量が供給されやすく、流量センサー１０１
の測定精度を低下させる要因となった。特に、流体の流
量が微小である場合には、測定精度に与える影響が大き
く、流体の温度と外気の温度との差が大きい場合、流体
の比熱が小さい場合にあっては、さらにその影響は顕著
であった。

【０００６】又、流体が比較的粘度の高い粘性流体であ
る場合には、配管１０６の横断面における流速は管壁近
傍部と中央部とで大きく異なり、その流速ベクトルは中
央部に極値を有する略放物線状を呈するようになる。よ
って、従来のように、管壁に基板１０２又はそれに接続
されたケーシング１０８を設置し、管壁近傍部のみの流
速を測定するのでは、中央部の流速が考慮されないた
め、流量の測定精度は低いものとならざるを得なかっ
た。尚、常温においては粘度が低い流体も温度が低下す
るにつれて粘度は上昇するため、上記のような問題を無
視することはできない。特に、流量が微小である場合に
は、粘度の影響は一層顕著であった。

【０００７】さらに、流量センサー１０１は、地理的条
件、屋内外の別等種々異なった環境下で使用され、特
に、屋外では、季節的条件、昼夜の別等の要因も加わる
ため、外部環境による温度変化も考慮しなければならな
い。しかし、従来の流量センサー１０１は、このような
外部温度環境の影響を受けやすい構造であったため、流
量の測定値に誤差が大きく、幅広い外部温度環境下で精
度良く流量を検知することができる流量センサーが望ま
れていたのである。

【０００８】そこで、本発明者等は、かかる従来におけ
る問題点を解消すべく、図１３に示すように、基板２０
２上に薄膜発熱体２０３と薄膜感温体２０４とを絶縁層
２０５を介して積層した流量検知部２０６を、Ｌ字型に
折曲したフィンプレート２０７の水平板部２０７ａ上に
載置した流量センサー２０１を開発した。そして、ケー
シング２０８内において、フィンプレート２０７の垂直
板部２０７ｂと流通管２０９の開口部との間にガラス２
１０を充填して密封し、流量検知部２０６とフィンプレ
ート２０７の水平板部２０７ａ全体を合成樹脂２１１に
よって被覆し、密封するとともに固定する流量検出装置
２１２をも開発した。

【０００９】この流量センサー２０１及び流量検出装置
２１２によって、外気への熱量放逸又は供給、管路横断
面における流速変化、外部温度環境の影響等に起因する
流量の測定精度の低下という問題は大幅に改善された。

【００１０】しかし、流量検出装置２１２において、流
量センサー２０１の流量検知部２０６と合成樹脂２１１
とが直接接触しているため、感温体２０４の保有する熱
量が合成樹脂２１１へと流出又は流入されやすい。又、
流量検知部２０６は熱伝導性が良好な銀ペースト等の接
合材２１３によってフィンプレート２０７の水平板部２
０７ａに接合されているため、フィンプレート２０７を
伝達する熱量が接合材２１３を介して合成樹脂２１１へ
と流出又は流入されやすい。よって、流体の比熱が小さ
い場合、流量が少ない場合等にあっては、流量センサー
２０１の感度を低下させる虞れがある。

【００１１】一方、フィンプレート２０７の垂直板部２
０７ｂと流通管２０９の開口部との間はガラス２１０に
より熱伝達を遮断しているが、ガラス２１０を充填して
密封しているため、流体が流動することによりフィンプ
レート２０７が微小振動する等して、密封状態が不完全
となると、フィンプレート２０７を伝達する熱量が熱伝
達性の良好な金属製流通管２０９を介してケーシング２
０８へと流出又は流入されやすい。よって、同様に、流
体の比熱が小さい場合、流量が少ない場合等にあって
は、流量センサー２０１の感度を低下させる虞れがあ
る。

【００１２】さらに、上記流量センサー２０１は、流量
検知部２０６を接合材２１３によってフィンプレート２
０７の水平板部２０７ａに接合し、フィンプレート２０
７の垂直板部２０７ｂと流通管２０９の開口部との間に
ガラス２１０を充填して密封し、流量検知部２０６とフ
ィンプレート２０７の水平板部２０７ａ全体を合成樹脂
２１１によって被覆し、密封する作業を必要とするた
め、ケーシング２０８への組み込みが面倒であるととも
に、固定状態も不安定であって耐久性に問題がある。

【００１３】そこで、本発明者等は、さらに、上記問題
点を解消すべく、図１４に示すように、基板上に発熱体
と感温体とを形成した流量検知部３０２をフィンプレー
ト３０３の一端面に銀ペースト等の接合材を介して固着
し、流量検知部３０２と出力端子３０４とをボンディン
グワイヤー３０５によって接続し、流量検知部３０２、
フィンプレート３０３の一部及び出力端子３０４の一部
をモールディング３０６により被覆した流量センサー３
０１を開発した。

【００１４】又、基板上に感温体を形成した温度検知部
３１２をフィンプレート３１３の一端面に銀ペースト等
の接合材を介して固着し、温度検知部３１２と出力端子
３１４とをボンディングワイヤー３１５によって接続
し、温度検知部３１２、フィンプレート３１３の一部及
び出力端子３１４の一部をモールディング３１６により
被覆した、前記流量センサー３０１と同様の構成を有す
る流体温度補償用の温度センサー３１１を開発した。そ
して、前記流量センサー３０１及び温度センサー３１１
をケーシングのセンサー挿入孔に挿入し、フィンプレー
ト３０３，３１３を被検知流体を流通させる流通管内に
垂下させた流量検出装置をも開発した。

【００１５】この流量センサー、温度センサー及び流量
検出装置によって、流量センサー及び温度センサー各部
からケーシング及び外部へ放逸する熱量を極力少なくす
ることができ、流体の比熱が小さい場合、流量が少ない
場合等にあっても、流量を高精度に測定できるようにな
った。又、流量センサー及び温度センサーのケーシング
への組み込み作業は簡易となり、固定状態も安定とな
り、十分に耐久性を有する流量検出装置を実現化するこ
とができた。

【００１６】しかし、上記流量センサー３０１、温度セ
ンサー３１１では、フィンプレート３０３，３１３、銀
ペースト等の接合材を介して流量検知部３０２、温度検
知部３１２に熱が伝達されるので、応答速度が若干遅か
った。又、樹脂モールドによっても外部への熱流出又は
流入を完全に阻止することはできず、銀ペースト等の接
合材の層厚も製造ロット毎に変動するため、測定精度も
若干悪かった。さらに、フィンプレート３０３，３１３
は、銅、銅−タングステン合金等からなり、厚さ２００
μｍ、幅２ｍｍ程度の矩形薄板であるから、腐食した
り、変形し易かった。

【００１７】又、上記流量検出装置では、流量センサー
と温度センサーの設置位置が異なり、流量測定位置と離
隔した位置で温度測定をしているため、温度補償の効果
が十分発揮されているとは言えず、測定精度の点で問題
があった。そして、流量センサー及び温度センサーを有
するため、センサー挿入孔を２つ穿設する必要があり、
組み込み作業もそれだけ時間を要するから、流量検出装
置をあまり小型化できないとともに、製造コストも十分
削減することができなかった。

【００１８】本発明は、かかる問題点をも解消し、本発
明者等らが開発した流量センサー３０１及び流量検出装
置をさらに改良し、流量センサーの応答速度をより高速
化し、測定精度もより高精度とし、しかも、フィンプレ
ートの腐食、変形という問題点を解消した流量センサー
及び流量検出装置を提供することを目的とする。又、流
量検出装置をより小型化し、製造コストも十分削減する
ことができる流量センサー及び流量検出装置を提供する
ことをも目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の流量センサーは、薄膜リード線を形成した
基板と、この基板の一端部に直接、発熱体及び感温体を
形成した流量検知部と、前記基板の一端部に直接、感温
体を形成した温度検知部と、出力端子とを有し、前記流
量検知部、前記温度検知部及び前記薄膜リード線の一部
を被覆するように前記基板に耐水性、絶縁性を有する保
護膜を形成するとともに、前記基板の一部及び前記出力
端子の一部をモールディングによる被覆部材により被覆
してなるものである。

【００２０】前記流量検知部及び温度検知部は、前記基
板の一端部の両側面に直接形成してもよい。又、前記基
板は、前記流量検知部を形成した基板と前記温度検知部
を形成した基板とを接着して、一体化したものであって
もよい。

【００２１】そして、流量検知部の発熱体による熱の影
響をより低減するため、前記流量検知部と温度検知部と
は離隔させて形成するのが好ましい。

【００２２】前記流量検知部及び温度検知部は、前記基
板の一端部の同一側面に直接形成してもよい。

【００２３】そして、前記流量検知部と前記温度検知部
との間の熱伝達を阻止するため、前記基板の一端部にス
リットを形成するのが好ましい。

【００２４】本発明の流量検出装置は、前記流量センサ
ーと、この流量センサーを収容するセンサー挿入孔を穿
設したケーシングと、前記センサー挿入孔に対応する位
置に開口部を形成した被検知流体を流通させる流通管と
を有するものである。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の流量センサー及び
流量検出装置の好適な実施形態について、図面を参照し
つつ説明する。

【００２６】図１は、本発明の流量センサーの一実施例
を示す図であり、この流量センサー１は、流量検知部
２、温度検知部３、基板４、出力端子５，６及び被覆部
材７よりなる。

【００２７】流量検知部２は、図２及び図３に示すよう
に、基板４の下端部の一側面に直接、絶縁層８、薄膜発
熱体９、電極層１０，１１、絶縁層１２、薄膜感温体１
３を順次積層、形成したものである。

【００２８】発熱体９は、膜厚１μｍ程度で所望形状に
パターニングしたサーメットからなり、電極層１０，１
１は、膜厚０．５μｍ程度のニッケル、又はこれに膜厚
０．５μｍ程度の金を積層してなる。感温体１３は、膜
厚０．５〜１μｍ程度で所望形状、例えば蛇行状にパタ
ーニングした白金、ニッケル等の温度係数が大きく安定
な金属抵抗膜、又は酸化マンガン系のＮＴＣサーミスタ
ーからなる。絶縁層８，１２は、膜厚１μｍ程度のＳｉ
Ｏ₂からなる。

【００２９】温度検知部３は、図４及び図５に示すよう
に、基板４の下端部の他側面に直接、絶縁層１４、薄膜
感温体１５を順次積層、形成したものであり、絶縁層１
４及び感温体１５の形状、材質は、流量検知部２におけ
ると同様である。

【００３０】基板４は、シリコン、アルミナ、ガラス等
からなる厚さ６００μｍ、幅２ｍｍ程度の矩形板であ
り、図１に示すように、流量検知部２及び温度検知部３
から上端部まで薄膜リード線１６，１７を形成してあ
る。

【００３１】そして、基板４の下半部に膜厚１μｍ程度
のＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₂、ＳｉＮ、ガラス、合成樹脂等
の耐水性、耐薬品性、絶縁性を有する保護膜１８，１９
を形成し、それぞれ、流量検知部２及び薄膜リード線１
６の下半部、温度検知部３及び薄膜リード線１７の下半
部を被覆してある。

【００３２】薄膜リード線１６の上端部と出力端子５、
薄膜リード線１７の上端部と出力端子６は、ボンディン
グワイヤー２０，２１によって接続してあり、基板４の
上半部及び出力端子５，６の下半部は、モールディング
による被覆部材７により被覆してある。

【００３３】本発明の流量センサー１は、流量検知部２
及び温度検知部３を基板４の下端部の両側面に直接形成
したから、フィンプレート、銀ペースト等の接合材は不
要となり、被検知流体から保護膜１８，１９を介して直
ちに流量検知部２、温度検知部３に熱が伝達されるの
で、応答速度は極めて高速となる。

【００３４】又、流量検知部２及び温度検知部３は被検
知流体内に位置し、被覆部材７から外部へ熱が流出又は
流入することはなく、銀ペースト等の接合材も不要であ
り、製造ロット毎の変動もないため、測定精度も極めて
高精度となる。

【００３５】さらに、フィンプレートは不要であるか
ら、勿論のこと、この腐食、変形を考慮する必要もな
い。

【００３６】又、流量検知部２及び温度検知部３を基板
４の下端部の両側面に直接形成したから、流量測定と温
度測定とを略同位置で実行することができ、温度補償の
効果が十分発揮され、測定精度をさらに向上させる。

【００３７】図６は、本発明の流量センサーの他実施例
を示す図であり、この流量センサー３１も、流量検知部
２、温度検知部３、基板３２，３３、出力端子５，６及
び被覆部材７よりなる。流量センサー３１が流量センサ
ー１と相違するのは、流量検知部２を形成した基板３２
と温度検知部３を形成した基板３３とを接着材３４によ
り接着して、一体化した点である。

【００３８】流量センサー１，３１では、基板４，３
２，３３として熱伝導性の低い材料を使用しているが、
流量検知部２の発熱体７による熱の影響をより低減する
ため、図１及び図６に示すように、流量検知部２と温度
検知部３とは離隔させて形成するのが好ましい。

【００３９】図７は、本発明の流量センサーの他実施例
を示す図であり、この流量センサー４１も、流量検知部
２、温度検知部３、基板４２、出力端子４３，４４及び
被覆部材７よりなる。流量センサー４１が流量センサー
１と相違するのは、流量検知部２及び温度検知部３を基
板４２の下端部の同一側面に形成して、一体化した点で
ある。

【００４０】流量センサー４１では、流量検知部２の発
熱体７による熱の影響を低減するため、図７に示すよう
に、基板４２の下端部にスリット４５を形成し、流量検
知部２と温度検知部３との間の熱伝達を阻止している。
スリット４５は、ダイシングソーで研削することによ
り、又、基板４２がシリコンからなる場合には、エッチ
ングにより形成することができる。

【００４１】そして、流量検知部２及び温度検知部３か
ら上端部まで薄膜リード線４６，４７を形成し、基板４
２の下半部に耐水性、耐薬品性、絶縁性を有する保護膜
４８を形成し、流量検知部２、温度検知部３及び薄膜リ
ード線４６，４７の下半部を被覆してある。

【００４２】薄膜リード線４６の上端部と出力端子４
３、薄膜リード線４７の上端部と出力端子４４は、ボン
ディングワイヤー４９，５０によって接続してあり、基
板４２の上半部及び出力端子４３，４４の下半部は、モ
ールディングによる被覆部材７により被覆してある。

【００４３】次に、本発明の流量検出装置を前記流量セ
ンサー１を装着した場合について説明する。図８、図９
及び図１０に示すように、流量検出装置５１は、ケーシ
ング５２、流通管５３、流量センサー１及び流量検出回
路基板５４等よりなる。

【００４４】ケーシング５２は、塩化ビニル樹脂、ポリ
ブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリフェニレンス
ルフィド（ＰＰＳ）等の合成樹脂製で、本体部５５及び
これに着脱自在な蓋体部５６からなり、本体部５５の両
端部は外部配管と接続するための接続部５７，５７と
し、本体部５５内には流通管５３を貫通させてある。本
体部５５の上部にはセンサー挿入空間５８を画成してあ
り、このセンサー挿入空間５８から前記流通管５３に向
かってセンサー挿入孔５９を穿設してある。

【００４５】流通管５３は、銅、鉄、ステンス鋼等の金
属からなる円管であり、前記センサー挿入孔５９に対応
する位置に開口部６０を形成してある。

【００４６】流量センサー１は、ケーシング５２のセン
サー挿入空間５８からセンサー挿入孔５９に嵌挿され、
基板４の下半部は、流通管５３の開口部６０を挿通して
流通管５３内に位置し、嵌挿時に、基板４の下端は、流
通管５３の軸線より下方まで到達するようにしてある。
尚、流量センサー１とセンサー挿入孔５９との間にはＯ
リング６１を介在させ、これら間隙より流体が漏洩する
のを防止している。

【００４７】流量センサー１を嵌挿した後、センサー挿
入空間５８にセンサー押圧板６２を挿入して流量センサ
ー１の被覆部材７の上面を押圧し、さらに、流量検出回
路基板５４を装着する。

【００４８】流量検出回路基板５４は、流量センサー１
の出力端子５，６と電気的に接続されており（図示しな
い）、全体として、図１０に示すような流量検出回路が
構成されている。直流電源６３から供給される電圧が並
列接続された発熱体９とブリッジ回路６４に印加され、
ブリッジ回路６４中に配設された差動増幅器６５の出力
として、流量を示す出力が得られるようになっている。
すなわち、流量検知部２においては、保護膜１８を介し
て流体に放逸された熱量を発熱体９の発熱量から差し引
いた熱量を感温体１３が検知し、一方、温度検知部３に
おいては、保護膜１９を介して流体の保有する熱量を感
温体１５が検知し、流体温度補償が実行されて、流体の
流量が精度良く検知されるのである。

【００４９】本発明の流量検出装置５１は、流量検知部
２と温度検知部３とを一体化した流量センサー１を有す
るから、センサー挿入孔を２つ穿設する必要はなく、組
み込み作業に要する時間も短縮でき、流量検出装置５１
をより小型化し、製造コストも十分削減することができ
る。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の流量セン
サーによれば、被検知流体から保護膜を介して直ちに流
量検知部、温度検知部に熱が伝達されるので、応答速度
は極めて高速となる。

【００５１】又、流量検知部、温度検知部は被検知流体
内に位置し、被覆部材から外部へ熱が流出又は流入する
ことはなく、しかも、製造ロット毎の変動もないため、
測定精度も極めて高精度となる。

【００５２】さらに、本発明の流量センサーは、腐食、
変形の心配もなく、被覆部材により一体化し、センサー
挿入孔に嵌挿するだけであるから、ケーシングへの組み
込みは極めて簡単であり、固定状態も安定であって耐久
性の高いものである。

【００５３】又、本発明の流量検出装置は、流量検知部
と温度検知部とを一体化した流量センサーを有するか
ら、組み込み作業に要する時間も短縮でき、流量検出装
置をより小型化し、製造コストも十分削減することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の流量センサーの一実施例の（Ａ）は正
面断面図、（Ｂ）は側面断面図である。

【図２】本発明の流量センサーの流量検知部の分解斜視
図である。

【図３】本発明の流量センサーの流量検知部の縦断面図
である。

【図４】本発明の流量センサーの温度検知部の分解斜視
図である。

【図５】本発明の流量センサーの温度検知部の縦断面図
である。

【図６】本発明の流量センサーの他実施例の（Ａ）は正
面断面図、（Ｂ）は側面断面図である。

【図７】本発明の流量センサーの他実施例の（Ａ）は正
面断面図、（Ｂ）は側面断面図である。

【図８】本発明の流量検出装置の正面断面図である。

【図９】本発明の流量検出装置の側面断面図である。

【図１０】本発明の流量検出装置の流量検出回路図であ
る。

【図１１】従来の流量センサーの流量検知部の（Ａ）は
斜視図、（Ｂ）は断面図である。

【図１２】従来の流量センサーを配管に設置した状態を
示す断面図である。

【図１３】本発明者等が開発した流量検知部をフィンプ
レートに載置した流量センサー及びそれを設置した流量
検出装置の概略説明図である。

【図１４】本発明者等が開発した流量センサーの（Ａ）
は正面断面図、（Ｂ）は側面断面図である。

【図１５】本発明者等が開発した温度センサーの（Ａ）
は正面断面図、（Ｂ）は側面断面図である。

【符号の説明】

１，３１，４１流量センサー２流量検知部３温度検知部４，３２，３３，４２基板５，６，４３，４４出力端子７被覆部材９発熱体１３，１５感温体１６，１７，４６，４７薄膜リード線１８，１９，４８保護膜３４接着材４５スリット５１流量検出装置５２ケーシング５３流通管５９センサー挿入孔６０開口部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者川西利明埼玉県上尾市原市1333−２三井金属鉱業株式会社総合研究所内 (72)発明者山岸喜代志埼玉県上尾市原市1333−２三井金属鉱業株式会社総合研究所内Ｆターム(参考） 2F035 EA05 EA08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】薄膜リード線を形成した基板と、この基
板の一端部に直接、発熱体及び感温体を形成した流量検
知部と、前記基板の一端部に直接、感温体を形成した温
度検知部と、出力端子とを有し、前記流量検知部、前記
温度検知部及び前記薄膜リード線の一部を被覆するよう
に前記基板に耐水性、絶縁性を有する保護膜を形成する
とともに、前記基板の一部及び前記出力端子の一部をモ
ールディングによる被覆部材により被覆したことを特徴
とする流量センサー。
【請求項２】前記流量検知部及び温度検知部を前記基
板の一端部の両側面に直接形成したことを特徴とする請
求項１に記載の流量センサー。
【請求項３】前記基板は、前記流量検知部を形成した
基板と前記温度検知部を形成した基板とを接着して、一
体化したものであることを特徴とする請求項１又は２に
記載の流量センサー。
【請求項４】前記流量検知部と前記温度検知部とを離
隔させて形成したことを特徴とする請求項１乃至３に記
載の流量センサー。
【請求項５】前記流量検知部及び温度検知部を前記基
板の一端部の同一側面に直接形成したことを特徴とする
請求項１に記載の流量センサー。
【請求項６】前記基板の一端部にスリットを形成し、
前記流量検知部と前記温度検知部との間の熱伝達を阻止
したことを特徴する請求項５に記載の流量センサー。
【請求項７】請求項１乃至６に記載の流量センサー
と、この流量センサーを収容するセンサー挿入孔を穿設
したケーシングと、前記センサー挿入孔に対応する位置
に開口部を形成した被検知流体を流通させる流通管とを
有する流量検出装置。