JP2000021336A - 導電性反射防止膜付きガラス物品およびそれを用いた陰極線管 - Google Patents

導電性反射防止膜付きガラス物品およびそれを用いた陰極線管

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照房 國定
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保則 谷中
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Etsuo Ogino
悦男 荻野
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 陰極線管の組立工程で熱処理を受けても、
電気抵抗および可視光線透過率が変化しない導電性反射
防止膜が被覆されたフェースプレートは得られなかっ
た。 【解決手段】 ５５０ｎｍの波長での屈折率が１．４〜
１．７のガラス製フェースプレートの表面に、第１層と
して３．２ｎｍの厚みの鉄２０重量％ニッケル８０重量
％の合金膜、第２層として１２７．４ｎｍの厚みのチタ
ン酸プラセオジウム膜、第３層として４５．４ｎｍの厚
みの酸化マグネシウム膜、第４層として７１．７ｎｍの
厚みのフッ化マグネシウム膜を順次真空蒸着で被覆し、
可視光線反射率を１％以下としたガラス物品。金属層は
ニッケルと鉄の二成分とし、ニッケルを５〜９５重量％
とすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性と光吸収性
を兼ね備えた反射防止膜が被覆されたガラス物品に関す
る。とりわけ陰極線管などのように加速された電子線が
蛍光体を励起して画像を表示する表示装置に用いられる
フェースプレートやフェースプレートの表示部前面に樹
脂またはガラスフリット等の接着剤で貼り合わせて用い
られるガラス板などのガラス物品に関し、またそれを用
いた陰極線管に関する。
【０００２】
【従来の技術】テレビジョン等のように陰極線管を用い
た表示装置では、表示面での外光の反射率を低くして表
示品質をよくすることが行われている。また、この陰極
線管を用いた表示装置では、電子銃の使用により高電圧
が用いられるため、画像表示面に帯電が生じ、これによ
り空気中のゴミや埃が引きつけられる。このような帯電
により生じる現象を防止、抑制するために画像表示装置
の前面を導電性にすることが行われている。
【０００３】また、高電圧で加速された電子線によって
電磁波が発生すると、これが人体へ悪影響を及ぼす恐れ
があるとされている。そこで、電磁波遮蔽の目的で表示
部の前面を導電性の被膜で被覆することが行われてい
る。
【０００４】上述のような目的で、導電性反射防止膜を
被覆したガラス板を陰極線管のフェースプレートに貼り
つけたり、フェースプレートの外表面に直接導電性反射
防止膜を被覆することが行われている。
【０００５】上記の陰極線管の表示品質を向上させる目
的でガラス物品に被覆される導電性反射防止膜として
は、特開昭６４−７０７０１号公報に開示されているガ
ラス板／金属／酸化チタン／酸化珪素で表される積層体
や、特開平１−１８０３３３号公報に開示されているガ
ラス板／フッ化マグネシウム／金属／酸化チタン／フッ
化マグネシウムで表される積層体や、特許公報第２５６
５５３８号に開示されているガラス／チタン酸プラセオ
ジウム／金属／チタン酸プラセオジウム／フッ化マグネ
シウムで表せる積層体がある。
【０００６】そしてこれらの先行技術において用いられ
る金属膜としては、ステンレス、チタン、クロム、ジル
コニウム、モリブデン、ニッケル、クロムの薄膜で構成
することが開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術に具体的に開示されている金属または合金を金
属膜とし、それと透明誘電体膜を積層して導電性反射防
止膜としたものは、可視光線の透過率を高くするために
金属膜を５ｎｍ以下にすると、電気抵抗が著しく上昇し
て帯電防止機能や電磁波遮蔽機能が著しく低下するとい
う問題点があった。
【０００８】また、上記従来技術で開示されている金属
または合金を金属膜に用いた反射防止膜をガラス製フェ
ースプレートの前面に被覆した後、そのフェースプレー
トとファンネルをガラスフリットで加熱接合する陰極線
管の製造方法を採用する場合、加熱工程で導電性反射防
止膜の電気抵抗が著しく増加してしまい、また透過率が
大きくなってしまうので、光吸収性を確保しかつ優れた
帯電防止機能を有する陰極線管を製造することは困難で
あった。すなわち従来技術では、陰極線管の組立工程で
熱処理を受けても、導電性反射防止膜の電気抵抗および
可視光線透過率が大きく変化しないという課題を解決す
ることはできなかった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の第１は、５５０
ｎｍの波長での屈折率が１．４〜１．７のガラス基体上
に、該ガラス基体側から順に、第１層の金属膜と、第２
層の５５０ｎｍの波長での屈折率が２．０〜２．４の高
屈折率透明誘電体膜と、第３層の５５０ｎｍの波長での
屈折率が１．３５〜１．４６の低屈折率透明誘電体膜が
積層された導電性反射防止膜が被覆されたガラス物品で
あって、該金属膜をニッケル鉄合金の膜とし、かつ、可
視光線反射率を１％以下としたことを特徴とする導電性
反射防止膜付きガラス物品である。
【００１０】本発明の第１の金属膜は、ニッケルと鉄の
合金膜であることが必要である。金属膜中のニッケル含
有量は５重量％以上とするのが好ましく、さらに１０重
量％以上とするのがさらに好ましい。また７０重量％と
するのが最も好ましい。ニッケル含有量が５％未満であ
ると、金属膜は鉄の単一成分からなる金属膜の熱的性質
に近づき、加熱されることにより電気抵抗値が著しく上
昇し、また透過率が大きく変化するので好ましくない。
【００１１】また、金属膜中のニッケル含有量は９５重
量％以下とするのが好ましい。ニッケル含有量が９５重
量％を越えると、金属膜はニッケルの単一成分からなる
金属膜の熱的性質に近づき、とくに金属膜の厚みが４ｎ
ｍ未満である場合に電気抵抗値が著しく上昇するので好
ましくない。
【００１２】本発明の第１においては、金属膜の厚みを
１．５ｎｍ〜８ｎｍとするのが好ましい。厚みが１．５
ｎｍ以下であると、電気抵抗値が著しく増加するので好
ましくない。また、厚みが８ｎｍを越えると透過率が低
下し、表示画像が暗くなるので好ましくない。
【００１３】また本発明の第１においては、可視光線反
射率を１％以下にするとともに、陰極線管に用いるガラ
ス製品として反射の色調が目立った色にならないように
する観点から、第２層の高屈折率透明誘電体膜の厚みを
５ｎｍ〜１４０ｎｍとし、第３層の低屈折率透明誘電体
膜の厚みを５０ｎｍ〜１２０ｎｍとするのが好ましい。
【００１４】本発明の第２は、５５０ｎｍの波長での屈
折率が１．４〜１．７のガラス基体上に、該ガラス基体
側から順に、第１層の金属膜と、第２層の５５０ｎｍの
波長での屈折率が２．０〜２．４の高屈折率透明誘電体
膜と、第３層の５５０ｎｍの波長での屈折率が１．７〜
１．９の中屈折率透明誘電体膜と、第４層の５５０ｎｍ
の波長での屈折率が１．３５〜１．４６の低屈折率透明
誘電体膜が積層された反射防止膜が被覆されたガラス物
品であって、該金属膜をニッケル鉄合金の膜とし、可視
光線反射率を１％以下としたことを特徴とする導電性反
射防止膜付きガラス物品である。
【００１５】本発明の第２の金属膜は、ニッケルと鉄の
合金膜であることが必要である。金属膜中のニッケル含
有量は５重量％以上とするのが好ましく、さらに１０重
量％以上とするのが好ましく、７０重量％以上とするの
が最も好ましい。ニッケル含有量が５重量％未満である
と、金属膜は鉄の単一成分からなる金属膜の熱的性質に
近づき、加熱されることにより電気抵抗値が著しく上昇
し、また透過率が大きく変化するので好ましくない。
【００１６】また、金属膜中のニッケル含有量は９５重
量％以下とするのが好ましい。ニッケル含有量が９５重
量％を越えると、金属膜はニッケルの単一成分からなる
金属膜の熱的性質に近づき、とくに金属膜の厚みを４ｎ
ｍ未満である場合に電気抵抗値が著しく上昇するので好
ましくない。
【００１７】本発明の第２においては、金属膜の厚みを
１．５ｎｍ〜８ｎｍとするのが好ましい。１．５ｎｍ以
下であると、電気抵抗が著しく増加するので好ましくな
い。また、８ｎｍを越えると透過率が著しく低下し、表
示画像が暗くなるので好ましくない。
【００１８】また本発明の第２においては、可視光線反
射率を１％以下にするとともに、陰極線管に用いるガラ
ス製品として反射の色調が目立った色にならないように
する観点から、第２層の高屈折率透明誘電体膜の厚みを
５ｎｍ〜７０ｎｍとし、第３層の中屈折率透明誘電体膜
の厚みを１０ｎｍ〜１００ｎｍとし、第４層の低屈折率
透明誘電体膜の厚みを５０ｎｍ〜１２０ｎｍとするのが
好ましい。
【００１９】本発明の第３は、５５０ｎｍの波長での屈
折率が１．４〜１．７のガラス基体上に、該ガラス基体
側から順に、第１層の金属膜と、第２層の５５０ｎｍの
波長での屈折率が２．０〜２．４の高屈折率透明誘電体
膜と、第３層の金属膜と、第４層の５５０ｎｍの波長で
の屈折率が２．０〜２．４の高屈折率透明誘電体膜と、
第５層の５５０ｎｍの波長での屈折率が１．３５〜１．
４６の低屈折率透明誘電体膜が積層された導電性反射防
止膜が被覆されたガラス物品であって、第１層の金属膜
と第３層の金属膜のうちの少なくとも一方をニッケル鉄
合金の膜とし、可視光線反射率を１％以下としたことを
特徴とする導電性反射防止膜付きガラス物品である。
【００２０】本発明の第３においても、金属膜は、ニッ
ケルと鉄の合金膜であることが必要である。金属膜中の
ニッケル含有量は５重量％以上とするのが好ましく、１
０重量％以上とするのがさらに好ましく、７０重量％以
上とするのが最も好ましい。ニッケル含有量が５重量％
未満であると、金属膜は鉄の単一成分からなる金属膜の
熱的性質に近づき、加熱されることにより電気抵抗値が
著しく上昇し、また透過率が大きく変化するので好まし
くない。
【００２１】また、金属膜中のニッケル含有量は９５重
量％以下とするのが好ましい。ニッケル含有量が９５重
量％を越えると、金属膜はニッケルの単一成分からなる
金属膜の熱的性質に近づき、とくに厚みが４ｎｍ未満で
ある場合に電気抵抗値が著しく上昇するので好ましくな
い。
【００２２】本発明の第３においては、第１層と第３層
の金属膜のそれぞれの厚みを１．５ｎｍ〜７．５ｎｍと
し、その合計厚みを９ｎｍ以下とするのが好ましい。金
属層のそれぞれの厚み範囲の限定理由は、本発明の第１
または第２と同じである。合計厚みが９ｎｍを越える
と、表示装置の前面に設けられる反射防止膜として透明
性が小さくなり表示画面が暗くなるので好ましくない。
【００２３】また本発明の第３においては、可視光線反
射率を１％以下にするとともに、陰極線管に用いられる
ガラス製品として反射の色調を目立った色にならないよ
うにする観点から、第２層の高屈折率透明誘電体膜の厚
みを１０ｎｍ〜７０ｎｍ、第４層の高屈折率透明誘電体
膜の厚みを１０ｎｍ〜７０ｎｍ、第５層の低屈折率透明
誘電体膜の厚みを７０ｎｍ〜１２０ｎｍとするのが好ま
しい。
【００２４】本発明の第１、第２、第３のいずれにおい
ても、ガラス基体としてガラス製フェースプレートや透
明あるいは着色したガラス板を用いることができ、それ
らのガラス組成は特に限定されるものではない。たとえ
ばソーダ石灰珪酸組成、ホウ珪酸組成、アルミノ珪酸組
成、アルミノホウ珪酸組成などのガラスを必要により曲
げ加工や風冷強化などにより加工したものを用いること
ができる。
【００２５】本発明の第１、第２、第３のいずれにおい
ても、高屈折率透明誘電体膜としてチタン酸プラセオジ
ウム（ＰｒＴｉＯ3）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸化タ
ンタル（Ｔａ2Ｏ5）および酸化ジルコニウム（Ｚｒ
Ｏ2）の膜が例示できる。なかでも、チタン酸プラセオ
ジウムは、真空蒸着で成膜するときに酸素ガスを導入し
なくても透明で緻密な膜が得られることから、成膜中に
金属膜を酸化劣化させないので好ましい。
【００２６】本発明の第１、第２、第３において、低屈
折率透明誘電体膜としてフッ化マグネシウムと二酸化珪
素を例示できる。なかでも、フッ化マグネシウムは屈折
率が１．３５と低く、高屈折率透明誘電体膜の屈折率と
の差が大きいので、反射率を低くすることが容易となる
ので好ましい。
【００２７】本発明の第２における、中屈折率透明誘電
体膜としては酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化ニオブ
（Ｎｂ2Ｏ5）および一酸化珪素（ＳｉＯ）等を例示でき
る。なかでも、酸化マグネシウムは真空蒸着による成膜
時に酸素ガスを導入しなくても透明で緻密な膜が得られ
ることから、成膜中に金属膜を酸化劣化させないので好
ましい。
【００２８】本発明の第１、第２、第３において、ガラ
ス基体と第１層の金属膜の間に透明誘電体層（以下、下
地膜と呼ぶ）を設けることができる。この下地膜は、ガ
ラス表面と第１層の金属膜の接触を断つ、すなわちガラ
ス表面の水分などの不純物が金属膜中に進入するのを防
止して金属膜の電気抵抗が増大するのを防止する目的で
設けられる。
【００２９】下地膜を構成する物質は特に限定されない
が、チタン酸プラセオジウム、酸化マグネシウム、フッ
化マグネシウム（ＭｇＦ2）が好ましいものとして例示
できる。
【００３０】下地膜の厚みは、第１層の金属膜を平滑に
し、それにより金属膜の電気抵抗を低減させるという観
点から、３ｎｍ以上とするのが好ましい。また、下地膜
自体の表面凹凸を小さくする観点から７ｎｍ以下とする
のが好ましく、５ｎｍ以下とするのがさらに好ましい。
【００３１】本発明の第１、第２、第３のいずれにおい
ても、ニッケルと鉄からなる金属層には、光吸収の程度
や反射色調を微妙に調整する等のために、上記の耐熱性
が大きく劣化しない範囲で第三の金属を添加してもよ
い。
【００３２】本発明の第１、第２、第３の導電性反射防
止膜を構成する各層は、真空蒸着法やイオンプレーティ
ング法などの公知の方法で成膜することができる。
【００３３】本発明にかかる陰極線管は、本発明にかか
る導電性反射防止膜を被覆したフェースプレートとファ
ンネルを加熱接合する方法によっても、フェースプレー
トとファンネルを接合後本発明にかかる導電性反射防止
膜を被覆する方法によっても製造することができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】本発明を以下に図面および実施例
を用いて説明する。図１は、本発明の導電性反射防止膜
付き物品１の一実施例の断面図で、ガラス製のフェース
プレート３の画像表示部に導電性反射防止膜２が被覆さ
れている。
【００３５】図２は、本発明の導電性反射防止膜２の積
層構成を説明するための一部断面図である。図２（ａ）
では、導電性反射防止膜２は、フェースプレート３の上
に金属膜４、高屈折率透明誘電体膜５および低屈折率透
明誘電体膜６が順次積層されて構成されている。図２
（ｂ）では、導電性反射防止膜２は、フェースプレート
３の上に金属膜４、高屈折率透明誘電体膜５、中屈折率
透明誘電体膜７および低屈折率透明誘電体膜６が順次積
層されて構成されている。図２（ｃ）では、導電性反射
防止膜２は、フェースプレート３の上に下地膜８、金属
膜４、高屈折率透明誘電体膜５、金属膜４、高屈折率透
明誘電体膜５および低屈折率透明誘電体膜６が順次積層
されて構成されている。
【００３６】図３は、本発明の実施例６で得られたサン
プルの可視光域の反射、透過の分光特性図である。
【００３７】以下の実施例および比較例において、各膜
を真空蒸着により成膜したときに用いた蒸着材料は下記
の通りである。 ・実施例のニッケル鉄膜：所定組成のニッケルと鉄の合
金ワイヤー ・比較例１、３のニッケル膜：ニッケルワイヤー ・比較例２の鉄膜：鉄ワイヤー ・比較例４、５のニッケル鉄クロム膜：所定組成のニッ
ケル鉄クロム合金ワイヤー ・比較例６のニッケルクロム膜：所定の組成のニッケル
クロム合金ワイヤー ・チタン酸プラセオジウム膜：Ｍｅｒｃｋ社製商品名Ｓ
ＵＢＳＴＡＮＣＥＨ２ペレット ・酸化マグネシウム膜：酸化マグネシウム粒 ・フッ化マグネシウム膜：フッ化マグネシウム粒
【００３８】実施例１ よく洗浄した１００ｍｍ×１００ｍｍ×厚み３ｍｍのソ
ーダライムシリカ組成のガラス板を真空蒸着槽にいれ、
蒸着装置内に設置された基板加熱ヒーターにより３００
℃に加熱した状態で、表１の実施例１の欄に示す積層構
成の導電性反射防止膜をガラス板上に被覆した。蒸着材
料の蒸発は電子ビーム蒸着法で行い、蒸着るつぼからガ
ラス板までの距離を１００ｃｍとし、ガラス板を回転さ
せながら行った。蒸着開始前の到達真空度はいずれの膜
についても、油拡散ポンプで０．００３Ｐａまで排気を
行った。ニッケル鉄の合金膜、チタン酸プラセオジウム
膜、フッ化マグネシウム膜、酸化マグネシウム膜につい
ては、酸素ガスを導入せずに蒸着を行った。
【００３９】得られたサンプルを蒸着装置から取り出し
て、透過率（波長：５５０ｎｍ）、膜被覆面側の反射率
（波長：５５０ｎｍ）、帯電防止性能の評価特性として
シート抵抗を測定した。金属膜の組成を化学分析により
測定した。各測定結果を表２に示す。また、サンプルを
大気中で４５０℃で１時間熱処理した後の透過率、膜被
覆面側の反射率、シート抵抗を測定した。結果を表２の
実施例１の欄に示す。
【００４０】
【表１】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 実施例 膜 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 1 NiFe NiFe NiFe PrTiO3 PrTiO3 NiFe MgO PrTiO3 PrTiO3 NiFe 3.2 3.2 3.2 5.0 5.0 4.6 5.0 5.0 5.0 3.2 2 PrTiO3 PrTiO3 PrTiO3 NiFe NiFe PrTiO3 NiFe NiFe NiFe PrTiO3 127.4 127.4 127.4 2.0 3.2 26.0 4.6 2.2 2.4 34.8 3 MgO MgO MgO PrTiO3 PrTiO3 NiFe PrTiO3 PrTiO3 PrTiO3 MgF2 45.4 45.4 45.4 101.4 134.5 2.4 26.0 34.8 34.8 93.6 4 MgF2 MgF2 MgF2 MgO MgF2 PrTiO3 NiFe MgF2 MgF2 71.7 71.7 71.7 36.3 96.8 35.0 2.4 93.6 93.6 5 MgF2 MgF2 PrTiO3 80.8 79.0 35.0 6 MgF2 79.0 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 金属膜組成 Fe 20 10 30 20 50 20 40 95 5 5 Ni 80 90 70 80 50 80 60 5 95 95 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 上段は膜の物質、下段は膜の厚み（単位ｎｍ）、金属膜の組成は重量％
【００４１】サンプルの反射率は実用的観点から要求さ
れる１％以下であり、この値は熱処理を受けても大きく
変化せず１％以下が維持された。また、シート抵抗が２
８２Ω／□と帯電防止機能を有するには十分低い抵抗で
あり、かつ、熱処理を受けても抵抗は劣化する（大きく
なる）ことはなく、むしろ小さくなった。さらに、透過
率は、６６．５％から６７．２％とわずか１．７％の小
さな変化にとどまった。この値は、陰極線管のフェース
プレートあるいは透明なフェースプレートに貼りつけて
用いる前面ガラスパネルとし、実用的観点から有用な透
過率が４０〜８０％の範囲内であった。
【００４２】
【表２】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 透過率（％） 反射率（％） シート抵抗（Ω／□） 例 前 後 差 前 後 差 前 後 差 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 実施例１ 66.5 67.2 0.7 0.22 0.25 0.03 282 258 -24 実施例２ 65.2 66.3 1.1 0.26 0.28 0.02 305 245 -60 実施例３ 66.0 67.8 1.8 0.23 0.29 0.06 295 226 -69 実施例４ 75.2 76.2 1.0 0.25 0.26 0.01 207 174 -33 実施例５ 67.0 67.7 0.7 0.19 0.30 0.11 198 184 -14 実施例６ 47.0 49.2 2.2 0.11 0.28 0.17 98 96 -2 実施例７ 46.6 47.5 0.9 0.17 0.20 0.03 87 85 -2 実施例８ 61.2 61.8 0.6 0.81 0.85 0.04 341 330 -11 実施例９ 70.2 70.2 0.0 0.70 0.50 0.20 279 247 -32 実施例10 67.2 67.6 0.4 0.34 0.41 0.07 486 484 -2 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 前：熱処理前、後：熱処理後 差は熱処理後−熱処理前の値
【００４３】実施例２〜実施例１０ 実施例１と同じようにして、表１で示される膜構成の導
電性反射防止膜をガラス板上に被覆して、得られたサン
プルについて実施例１と同様の試験をした結果を表２に
示す。実施例２〜実施例１０のサンプルのいずれも、反
射率については初期および熱処理後とも１％以下であっ
た。初期のシート抵抗はいずれのサンプルも５００Ω／
□以下と低く、かつ熱処理を受けても大きく増加するこ
とはなく、むしろ低下することが判明した。また透過率
の熱処理による変化は、２．２％以下と小さい値であっ
た。
【００４４】
【表３】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 比較例 膜 １ ２ ３ ４ ５ ６ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− １ Ni Fe PrTiO3 NiFeCr NiFeCr NiCr 3.2 3.2 5.0 3.2 4.6 3.2 ２ PrTiO3 PrTiO3 Ni PrTiO3 PrTiO3 PrTiO3 127.4 127.4 3.2 127.4 26.0 127.4 ３ MgO MgO PrTiO3 MgO NiFeCr MgO 45.4 45.4 134.5 45.4 2.4 45.4 ４ MgF2 MgF2 MgF2 MgF2 PrTiO3 MgF2 71.7 71.7 96.8 71.7 35.0 71.7 ５ MgF2 79.0 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 金属膜 Ni Fe Ni Ni:Fe:Cr Ni:Fe:Cr Ni:Cr 組成 100 100 100 60:12:28 76:9:16 80:20 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 上段は膜の物質、下段は膜の厚み（単位ｎｍ）、金属膜の組成は重量％
【００４５】実施例２の膜構成にチタン酸プラセオジウ
ムの下地膜を追加したものが実施例４であり、実施例６
の膜構成にチタン酸プラセオジウム下地膜を追加したも
のが実施例７である。実施例２と実施例４、実施例６と
実施例７を比較すると、下地膜を追加挿入することによ
り,シート抵抗が低くなることが分かる。
【００４６】比較例１ 金属膜をニッケル単一組成の膜とし、表３の比較例１の
欄に示す積層構成の導電性反射防止膜を、実施例１と同
様の方法により被覆した比較サンプルを得た。この比較
サンプルを実施例１と同じ方法で評価した結果を表４の
比較例１の欄に示す。この比較サンプルは、反射率が１
％以下であり、また透過率の熱安定性が良好であった
が、シート抵抗の初期および熱処理後ともに２Ｍ（メ
ガ）Ω／□以上であり、良好な帯電防止機能を得ること
ができなかった。
【００４７】
【表４】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 透過率（％） 反射率（％） シート抵抗（Ω／□） 例 前 後 差 前 後 差 前 後 差 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 比較例１ 62.6 63.1 0.5 0.45 0.58 0.13 ＞2M ＞2M 比較例２ 64.3 83.0 18.7 0.43 4.20 4.08 ＞2M ＞2M 比較例３ 63.6 64.2 0.6 0.65 0.52 -0.13 ＞2M ＞2M 比較例４ 66.7 76.5 9.8 0.37 1.54 1.17 1140 2950 1810 比較例５ 47.3 56.5 9.2 0.25 0.34 0.09 1173 554 -619 比較例６ 63.2 75.7 12.5 0.51 3.10 2.59 769 406K ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 前：熱処理前、後：熱処理後 差は熱処理後−熱処理前の値
【００４８】比較例２ 金属膜を鉄単一組成の膜とし、表３の比較例２の欄に示
す積層構成の導電性反射防止膜を、実施例１と同様の方
法により被覆した比較サンプルを得た。この比較サンプ
ルを実施例１と同じ方法で評価した結果を表４の比較例
２の欄に示す。この比較サンプルの初期の反射率は０．
４３％と低い値であったが、熱処理により透過率は１
８．７％に、反射率は４．０８％にそれぞれ上昇した。
またシート抵抗の初期および熱処理後ともに２Ｍ（メ
ガ）Ω以上であり、良好な帯電防止機能を得ることがで
きなかった。
【００４９】比較例３ 金属膜をニッケル単一組成の膜とし、表３の比較例３の
欄に示すようにガラス板と第１の金属層の間にチタン酸
プラセオジウムの下地膜を設けた積層構成の比較サンプ
ルを得た。この比較サンプルを実施例１と同じ方法で評
価した結果を表４の比較例３の欄に示す。熱処理前後の
反射率は１％以下であり、また透過率の熱安定性も良好
であったが、シート抵抗の初期および熱処理後ともに２
Ｍ（メガ）Ω／□以上であり、良好な帯電防止機能を得
ることができなかった。
【００５０】比較例４および比較例５ 金属膜をニッケル、鉄、クロムの三成分系の膜として、
表３の比較例４および比較例５の欄に示す積層構成の比
較サンプルを得た。この比較サンプルを実施例１と同じ
方法で評価した結果を、表４の比較例４と比較例５の欄
に示す。クロムが２８重量％含有する比較サンプルは、
透過率の熱処理による変化が９．８％増加し、クロムが
１６％含有する比較サンプル５は、９．２％増加し、熱
安定性が大きく劣化することが分かった。また、シート
抵抗についても熱処理により、比較サンプル４では増加
し、比較サンプル５では減少するという不規則な変化を
することが認められた。
【００５１】比較例６ 比較例１とは、金属膜をニッケルとクロムの２成分系に
した他は全く同じようにして比較サンプルを得た。表４
の比較例６の欄に示すように、この比較サンプルは、透
過率の熱処理による変化が１２．５％と大きく、またシ
ート抵抗も三桁の増加がみられた。
【００５２】以上説明したように、いずれの比較サンプ
ルも、熱処理に対して透過率およびシート抵抗がともに
安定した特性を有するものではなかった。これに対し、
本発明の実施例のサンプルでは、透過率および反射率は
熱処理を受けても安定し、さらにシート抵抗はむしろ小
さくなり、帯電防止機能および電磁波遮蔽機能の両機能
が維持されることが分かる。
【００５３】蛍光体に電子線を加速照射して表示する陰
極線管などの表示装置では、画像表示部の前面に設けら
れる帯電防止機能を有する導電性反射防止膜の導電性能
は、シート抵抗がおよそ１ｋΩ／□以下であることが好
ましく、また、人体への影響を考慮して放射される電磁
波の遮断能をもたせるには、およそ５００Ω／□以下と
するのが好ましい。かかる観点から本発明の実施例で得
られたサンプルの導電性反射防止膜は、その実用的な性
能を十分に備えていることがわかる。
【００５４】以上説明したように、本発明は、金属膜と
透明誘電体膜の積層体からなる反射防止膜の金属膜を、
ニッケルの単独膜あるいは鉄の単独膜で構成した場合、
それらが熱処理を受けると電気抵抗が劣化（上昇）する
が、驚くべきことにニッケルと鉄の合金膜とすることに
より、電気抵抗の安定性が向上するという予期されない
効果を実験により見いだしたことによりなされたもので
ある。
【００５５】
【発明の効果】本発明の導電性反射防止膜を構成する金
属膜をニッケルと鉄の合金膜で構成したので、導電性反
射防止膜は熱安定性が優れたものになった。このため高
温の熱処理を受けても、その透過率および反射率の変化
が小さい。また、導電性反射防止膜の金属膜をニッケル
と鉄の合金の膜で構成したので、高温の熱処理を受けて
も、そのシート抵抗は安定している。
【００５６】本発明の導電性反射防止膜の光学特性およ
び電気抵抗特性は熱的に安定しているので、本発明の導
電性反射防止膜を被覆したガラス製フェースプレートを
ファンネルとフリットガラスで加熱接合しても、加熱接
合前の性能が維持でき、光学特性と帯電防止機能を損な
うことなく陰極線管を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の導電性反射防止膜付き物品の一実施例
の断面図である。
【図２】本発明の導電性反射防止膜の積層構成を説明す
るための一部断面図である。
【図３】本発明の実施例の可視域の透過、反射特性を示
す図である。
【符号の説明】
１：導電性反射防止膜付きガラス物品 ２：導電性反射防止膜 ３：ガラス基体 ４：金属膜 ５：高屈折率透明誘電体膜 ６：低屈折率透明誘電体膜 ７：中屈折率透明誘電体膜 ８：下地膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中西 功次 大阪府大阪市中央区道修町３丁目５番11号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 荻野 悦男 大阪府大阪市中央区道修町３丁目５番11号 日本板硝子株式会社内 Ｆターム(参考） 5C032 AA02 DD02 DE01 DE03 DF05 DG01 DG02

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ５５０ｎｍの波長での屈折率が１．４〜
    １．７のガラス基体上に、該ガラス基体側から順に、第
    １層の金属膜と、第２層の５５０ｎｍの波長での屈折率
    が２．０〜２．４の高屈折率透明誘電体膜と、第３層の
    ５５０ｎｍの波長での屈折率が１．３５〜１．４６の低
    屈折率透明誘電体膜が積層された導電性反射防止膜が被
    覆されたガラス物品であって、該金属膜をニッケル鉄合
    金の膜とし、かつ、可視光線反射率を１％以下としたこ
    とを特徴とする導電性反射防止膜付きガラス物品。
  2. 【請求項２】 該金属膜中のニッケル含有量を５重量％
    以上９５重量％以下としたことを特徴とする請求項１に
    記載の導電性反射防止膜付きガラス物品。
  3. 【請求項３】 該金属膜の厚みを１．５ｎｍ〜８ｎｍと
    したことを特徴とする請求項１または２に記載の導電性
    反射防止膜付きガラス物品。
  4. 【請求項４】 第２層の高屈折率透明誘電体膜の厚みを
    ５ｎｍ〜１４０ｎｍとし、第３層の低屈折率透明誘電体
    膜の厚みを５０ｎｍ〜１２０ｎｍとした請求項１〜３の
    いずれかに記載の導電性反射防止膜付きガラス物品。
  5. 【請求項５】 ５５０ｎｍの波長での屈折率が１．４〜
    １．７のガラス基体上に、該ガラス基体側から順に、第
    １層の金属膜と、第２層の５５０ｎｍの波長での屈折率
    が２．０〜２．４の高屈折率透明誘電体膜と、第３層の
    ５５０ｎｍの波長での屈折率が１．７〜１．９の中屈折
    率透明誘電体膜と、第４層の５５０ｎｍの波長での屈折
    率が１．３５〜１．４６の低屈折率透明誘電体膜が積層
    された導電性反射防止膜が被覆されたガラス物品であっ
    て、該金属膜をニッケル鉄合金の膜とし、可視光線反射
    率を１％以下としたことを特徴とする導電性反射防止膜
    付きガラス物品。
  6. 【請求項６】 該金属膜中のニッケル含有量を５重量％
    以上９５重量％以下としたことを特徴とする請求項５に
    記載の導電性反射防止膜付きガラス物品。
  7. 【請求項７】 該金属膜の厚みを１．５ｎｍ〜８ｎｍと
    したことを特徴とする請求項５または６に記載の導電性
    反射防止膜付きガラス物品。
  8. 【請求項８】 第２層の高屈折率透明誘電体膜の厚みを
    ５ｎｍ〜７０ｎｍ、第３層の中間屈折率透明誘電体膜の
    厚みを１０ｎｍ〜１００ｎｍ、第４層の低屈折率透明誘
    電体膜の厚みを５０ｎｍ〜１２０ｎｍとしたことを特徴
    とする請求項５〜７のいずれかに記載の導電性反射防止
    膜付きガラス物品。
  9. 【請求項９】 ５５０ｎｍの波長での屈折率が１．４〜
    １．７のガラス基体上に、該ガラス基体側から順に、第
    １層の金属膜と、第２層の５５０ｎｍの波長での屈折率
    が２．０〜２．４の高屈折率透明誘電体膜と、第３層の
    金属膜と、第４層の５５０ｎｍの波長での屈折率が２．
    ０〜２．４の高屈折率透明誘電体膜と、第５層の５５０
    ｎｍの波長での屈折率が１．３５〜１．４６の低屈折率
    透明誘電体膜が積層された導電性反射防止膜が被覆され
    たガラス物品であって、第１層の金属膜と第３層の金属
    膜のうちの少なくとも一方をニッケル鉄合金の膜とし、
    可視光線反射率を１％以下としたことを特徴とする導電
    性反射防止膜付きガラス物品。
  10. 【請求項１０】 該金属膜中のニッケル含有量を５重量
    ％以上９５重量％以下としたことを特徴とする請求項９
    に記載の導電性反射防止膜付きガラス物品。
  11. 【請求項１１】 第１層と第３層の金属膜の厚みをそれ
    ぞれ１．５ｎｍ〜７．５ｎｍ、その合計厚みを９ｎｍ以
    下としたことを特徴とする請求項９または１０に記載の
    導電性反射防止膜付きガラス物品。
  12. 【請求項１２】 第２層の高屈折率透明誘電体膜の厚み
    を１０ｎｍ〜７０ｎｍ、第４層の高屈折率透明誘電体膜
    の厚みを１０ｎｍ〜７０ｎｍ、第５層の低屈折率透明誘
    電体膜の厚みを７０ｎｍ〜１２０ｎｍとしたことを特徴
    とする請求項９〜１１のいずれかに記載の導電性反射防
    止膜付きガラス物品。
  13. 【請求項１３】 該ガラス基体と第１層の金属膜の間に
    透明誘電体膜を設けたことを特徴とする請求項１〜１２
    のいずれかに記載の導電性反射防止膜付きガラス物品。
  14. 【請求項１４】 該ガラス基体が陰極線管用ガラス製フ
    ェースプレートである請求項１〜１３のいずれかに記載
    の導電性反射防止膜付きガラス物品。
  15. 【請求項１５】 請求項１４に記載の導電性反射防止膜
    付きガラス物品をファンネルにガラスフリットで加熱接
    合して得られる陰極線管。
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