JP2000006016A - 研削盤 - Google Patents
研削盤Info
- Publication number
- JP2000006016A JP2000006016A JP17341298A JP17341298A JP2000006016A JP 2000006016 A JP2000006016 A JP 2000006016A JP 17341298 A JP17341298 A JP 17341298A JP 17341298 A JP17341298 A JP 17341298A JP 2000006016 A JP2000006016 A JP 2000006016A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- robot
- storage device
- robot hand
- grinding machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの保持を確実に検出して、ワークを確
実に搬送することができる研削盤を提供する。 【解決手段】 未加工ワーク格納装置22からワーク1
1をアンロード位置P1のキャリアテーブル14まで搬
入し、加工されたワーク11を加工済みワーク格納装置
23に搬出するロボット15,16を設ける。各ロボッ
ト15,16にはワーク11を持ち上げるロボットハン
ド27を設け、真空吸着動作後にロボットハンド27を
上げた状態でワーク11の保持を確認する真空センサを
設ける。
実に搬送することができる研削盤を提供する。 【解決手段】 未加工ワーク格納装置22からワーク1
1をアンロード位置P1のキャリアテーブル14まで搬
入し、加工されたワーク11を加工済みワーク格納装置
23に搬出するロボット15,16を設ける。各ロボッ
ト15,16にはワーク11を持ち上げるロボットハン
ド27を設け、真空吸着動作後にロボットハンド27を
上げた状態でワーク11の保持を確認する真空センサを
設ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばワイヤソー
で切断したウエハ状のワークを研削する研削盤に関する
ものである。
で切断したウエハ状のワークを研削する研削盤に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の研削盤においては、研削
盤本体のキャリアテーブルに対応して、搬入ロボット及
び搬出ロボットがそれぞれ配設されている。そして、搬
入ロボットのロボットハンドにより、未加工ワーク格納
装置のカセット内に収容されているワークが1つずつ取
り出されて、研削盤本体のキャリアテーブル上に搬入さ
れる。また、研削盤本体でワークの研削が行われた後、
搬出ロボットのロボットハンドにより、ワークがキャリ
アテーブル上から取り出されて、加工済みワーク格納装
置のカセット内に格納されるようになっている。
盤本体のキャリアテーブルに対応して、搬入ロボット及
び搬出ロボットがそれぞれ配設されている。そして、搬
入ロボットのロボットハンドにより、未加工ワーク格納
装置のカセット内に収容されているワークが1つずつ取
り出されて、研削盤本体のキャリアテーブル上に搬入さ
れる。また、研削盤本体でワークの研削が行われた後、
搬出ロボットのロボットハンドにより、ワークがキャリ
アテーブル上から取り出されて、加工済みワーク格納装
置のカセット内に格納されるようになっている。
【0003】ロボットハンドにはバキュームパッドが設
けられ、このバキュームパッドは真空ポンプに接続され
ている。搬入または搬出ロボットのバキュームパッドは
ワークを一枚ずつ真空吸着し、搬入または搬出するよう
になっている。そして、ワークにロボットハンドが接触
した際にワークが真空吸着されたか否かを確認するよう
にしている。
けられ、このバキュームパッドは真空ポンプに接続され
ている。搬入または搬出ロボットのバキュームパッドは
ワークを一枚ずつ真空吸着し、搬入または搬出するよう
になっている。そして、ワークにロボットハンドが接触
した際にワークが真空吸着されたか否かを確認するよう
にしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の研削
盤においては、ワークの裏側に水分等が付着している
と、ワークがキャリアテーブルに密着してワークを持ち
上げられないことがある。この場合、ロボットハンドが
接触したときにワークの吸着を確認しているため、持ち
上げられなかったワークを確実に確認することができな
い。従って、ワークを確実に搬送することができないお
それがあった。
盤においては、ワークの裏側に水分等が付着している
と、ワークがキャリアテーブルに密着してワークを持ち
上げられないことがある。この場合、ロボットハンドが
接触したときにワークの吸着を確認しているため、持ち
上げられなかったワークを確実に確認することができな
い。従って、ワークを確実に搬送することができないお
それがあった。
【0005】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、ロボットハンド27を所定位置
に持ち上げた状態で、ワークの保持を確認することによ
り、ワークを確実に搬送することができる研削盤を提供
することにある。
のであり、その目的は、ロボットハンド27を所定位置
に持ち上げた状態で、ワークの保持を確認することによ
り、ワークを確実に搬送することができる研削盤を提供
することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、未加工ワーク格納装置に格納されたワークを研削盤
本体のワーク搬入搬出位置のキャリアテーブルに搬入
し、加工されたワークを加工済みワーク格納装置に搬出
するロボットを備え、ロボットにはワークを持ち上げる
ロボットハンドを設け、該ロボットハンドを所定位置に
上げた状態でワークの保持を確認するワーク検出手段を
設けたものである。
は、未加工ワーク格納装置に格納されたワークを研削盤
本体のワーク搬入搬出位置のキャリアテーブルに搬入
し、加工されたワークを加工済みワーク格納装置に搬出
するロボットを備え、ロボットにはワークを持ち上げる
ロボットハンドを設け、該ロボットハンドを所定位置に
上げた状態でワークの保持を確認するワーク検出手段を
設けたものである。
【0007】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の研削盤において、前記ロボットは、未加工ワーク格納
装置に格納されたワークを研削盤本体のワーク搬入出位
置のキャリアテーブルに搬入する搬入ロボットと、加工
されたワークを加工済みワーク格納装置に搬出する搬出
ロボットとから構成されているものである。
の研削盤において、前記ロボットは、未加工ワーク格納
装置に格納されたワークを研削盤本体のワーク搬入出位
置のキャリアテーブルに搬入する搬入ロボットと、加工
されたワークを加工済みワーク格納装置に搬出する搬出
ロボットとから構成されているものである。
【0008】請求項3に記載の発明は、請求項1または
請求項2に記載の研削盤において、前記ワーク検出手段
はワークと対向配置されているものである。
請求項2に記載の研削盤において、前記ワーク検出手段
はワークと対向配置されているものである。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態を
添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べ
る実施形態は、本発明の好適な具体例であるから技術的
に好ましい種々の限定が付されているが、本発明は、以
下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない
限り、これらの実施形態に限られるものではない。
添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べ
る実施形態は、本発明の好適な具体例であるから技術的
に好ましい種々の限定が付されているが、本発明は、以
下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない
限り、これらの実施形態に限られるものではない。
【0010】図1及び図2に示すように、この研削盤
は、ウエハ状のワーク11の被加工面を研削するための
研削盤本体12を備えている。その研削盤本体12に
は、ワーク11の被加工面に図示せぬ砥石を接触させて
研削する機構部13と、ワーク11を機構部13内に移
動させるキャリアテーブル14が装備されている。研削
盤本体12の正面両側には搬入ロボット15及び搬出ロ
ボット16が配設されている。また、搬出ロボット16
の後部には研削盤全体を制御する制御盤20が配設され
ている。そして、研削盤全体の各種動作は制御盤20内
に予め組み込まれているプログラムに従って実行され
る。
は、ウエハ状のワーク11の被加工面を研削するための
研削盤本体12を備えている。その研削盤本体12に
は、ワーク11の被加工面に図示せぬ砥石を接触させて
研削する機構部13と、ワーク11を機構部13内に移
動させるキャリアテーブル14が装備されている。研削
盤本体12の正面両側には搬入ロボット15及び搬出ロ
ボット16が配設されている。また、搬出ロボット16
の後部には研削盤全体を制御する制御盤20が配設され
ている。そして、研削盤全体の各種動作は制御盤20内
に予め組み込まれているプログラムに従って実行され
る。
【0011】図7に示すように、搬入ロボット15は、
ロボット本体40、上部円筒体41、第1アーム42、
第2アーム43及びロボットハンド27から構成されて
いる。ロボット本体40は円筒形状で、その上部が上部
円筒体41に覆われている。上部円筒体41はロボット
本体40と同軸で、上下方向に移動自在である。上部円
筒体41の上面には第1アーム42の一端が軸着され、
第1アーム42は、その軸着された位置を中心に水平面
内で旋回自在である。第1アーム42の他端には第2ア
ーム43の一端が軸着され、第2アーム43は軸着され
た位置を中心に水平面内で旋回自在である。さらに、第
2アーム43の他端には前記ロボットハンド27が軸着
されている。ロボットハンド27は軸着された位置を中
心に水平面内で旋回自在である。この構成により、ロボ
ットハンド27は水平面内で360゜旋回可能で、かつ
上下方向にも移動可能である。なお、搬出ロボット16
は、搬入ロボット15と同じ構成となっているため、搬
出ロボット16には搬入ロボット15と同一符号を付し
説明を省略する。
ロボット本体40、上部円筒体41、第1アーム42、
第2アーム43及びロボットハンド27から構成されて
いる。ロボット本体40は円筒形状で、その上部が上部
円筒体41に覆われている。上部円筒体41はロボット
本体40と同軸で、上下方向に移動自在である。上部円
筒体41の上面には第1アーム42の一端が軸着され、
第1アーム42は、その軸着された位置を中心に水平面
内で旋回自在である。第1アーム42の他端には第2ア
ーム43の一端が軸着され、第2アーム43は軸着され
た位置を中心に水平面内で旋回自在である。さらに、第
2アーム43の他端には前記ロボットハンド27が軸着
されている。ロボットハンド27は軸着された位置を中
心に水平面内で旋回自在である。この構成により、ロボ
ットハンド27は水平面内で360゜旋回可能で、かつ
上下方向にも移動可能である。なお、搬出ロボット16
は、搬入ロボット15と同じ構成となっているため、搬
出ロボット16には搬入ロボット15と同一符号を付し
説明を省略する。
【0012】ワーク搬入搬出位置(アンロード位置P
1)のキャリアテーブル14とともに、搬入ロボット1
5のロボットハンド27の作動軌跡上に位置するよう
に、研削盤本体12の両側前方には角度合わせ機17、
洗浄機19及びワーク格納装置22,23が配設されて
いる。そして、搬入ロボット15のロボットハンド27
は、未加工ワーク格納装置22のワークカセット24内
に格納されているワーク11を取り出し、角度合わせ機
17を介してアンロード位置P1に待機しているキャリ
アテーブル14まで搬送する。一方、搬出ロボット16
のロボットハンド27は、研削加工を終えてアンロード
位置P1に待機されているキャリアテーブル14からワ
ーク11を取り出し、洗浄機19を介して加工済みワー
ク格納装置23のワークカセット24まで搬送する。
1)のキャリアテーブル14とともに、搬入ロボット1
5のロボットハンド27の作動軌跡上に位置するよう
に、研削盤本体12の両側前方には角度合わせ機17、
洗浄機19及びワーク格納装置22,23が配設されて
いる。そして、搬入ロボット15のロボットハンド27
は、未加工ワーク格納装置22のワークカセット24内
に格納されているワーク11を取り出し、角度合わせ機
17を介してアンロード位置P1に待機しているキャリ
アテーブル14まで搬送する。一方、搬出ロボット16
のロボットハンド27は、研削加工を終えてアンロード
位置P1に待機されているキャリアテーブル14からワ
ーク11を取り出し、洗浄機19を介して加工済みワー
ク格納装置23のワークカセット24まで搬送する。
【0013】図3及び図4に示すように、ロボットハン
ド27の各先端部には段差状をなす捕足部29が形成さ
れている。捕足部29の上下面それぞれには、3個のバ
キュームパッド31が取り付けられている。上面のバキ
ュームパッド31、下面のバキュームパッド31は、そ
れぞれ別系統のエアパイプ34a,34bに接続され、
電磁弁36を介して図示せぬバキュームポンプに接続さ
れていて、ワーク11を吸着可能に構成されている。
ド27の各先端部には段差状をなす捕足部29が形成さ
れている。捕足部29の上下面それぞれには、3個のバ
キュームパッド31が取り付けられている。上面のバキ
ュームパッド31、下面のバキュームパッド31は、そ
れぞれ別系統のエアパイプ34a,34bに接続され、
電磁弁36を介して図示せぬバキュームポンプに接続さ
れていて、ワーク11を吸着可能に構成されている。
【0014】従って、上面のバキュームパッド31と下
面のバキュームパッド31とは電磁弁36により吸着作
用を切り換えられるようになっており、上面のバキュー
ムパッド31が吸着するときには、下面のバキュームパ
ッド31は吸着しないように構成されている。他方、下
面のバキュームパッド31が吸着するときには、上面の
バキュームパッド31は吸着しないように構成されてい
る。そして、かかる構成を有するもののうち一方を搬入
ロボット15、他方を搬出ロボット16として用いる。
なお、搬入ロボット15、搬出ロボット16をそれぞれ
専用の構成に変更してよいことは勿論である。
面のバキュームパッド31とは電磁弁36により吸着作
用を切り換えられるようになっており、上面のバキュー
ムパッド31が吸着するときには、下面のバキュームパ
ッド31は吸着しないように構成されている。他方、下
面のバキュームパッド31が吸着するときには、上面の
バキュームパッド31は吸着しないように構成されてい
る。そして、かかる構成を有するもののうち一方を搬入
ロボット15、他方を搬出ロボット16として用いる。
なお、搬入ロボット15、搬出ロボット16をそれぞれ
専用の構成に変更してよいことは勿論である。
【0015】捕足部29には透孔32が形成され、その
透孔32内に配設されたワーク検出センサ33は、ロボ
ットハンド27が未加工ワーク格納装置22のワークカ
セット24内のワーク11を取りに行ったとき、棚板2
5にワーク11が有るか無いかを検知する。また、上下
各バキュームパッド31により、ワーク11の吸着動作
が行われた後、ロボットハンド27が所定位置に上昇さ
れたとき、エアパイプ34a,34bの経路上に設けら
れたワーク検出手段としての真空センサ35から検出信
号が前記制御盤20に出力されることにより、ワーク1
1の吸着状態が確認される。
透孔32内に配設されたワーク検出センサ33は、ロボ
ットハンド27が未加工ワーク格納装置22のワークカ
セット24内のワーク11を取りに行ったとき、棚板2
5にワーク11が有るか無いかを検知する。また、上下
各バキュームパッド31により、ワーク11の吸着動作
が行われた後、ロボットハンド27が所定位置に上昇さ
れたとき、エアパイプ34a,34bの経路上に設けら
れたワーク検出手段としての真空センサ35から検出信
号が前記制御盤20に出力されることにより、ワーク1
1の吸着状態が確認される。
【0016】図5及び図6に示すように、各ワーク格納
装置22,23にはワークカセット24が装備され、そ
のワークカセット24内にはワーク11を収容するため
の棚板25が設けられている。棚板25には前面側から
後面側に向かって切り欠き部26が形成され、切り欠き
部26により各ロボット15,16のロボットハンド2
7の干渉が回避されるようになっている。
装置22,23にはワークカセット24が装備され、そ
のワークカセット24内にはワーク11を収容するため
の棚板25が設けられている。棚板25には前面側から
後面側に向かって切り欠き部26が形成され、切り欠き
部26により各ロボット15,16のロボットハンド2
7の干渉が回避されるようになっている。
【0017】図2に示すように、前記角度合わせ機17
は、ワーク11のノッチ11aが所定位置にくるように
調整される。すなわち、角度合わせ機17では、ワーク
11上のノッチ11aを基準としてワーク11が回転調
整される。そして、この回転調整により、ワーク11が
キャリアテーブル14に搬送された際、キャリアテーブ
ル14の係合突起14aとワーク11のノッチ11aが
係合され、ワーク11がキャリアテーブル14にセット
される。また、前記洗浄機19は研削盤本体12での加
工が終了したワーク11に付着している研削粉等の汚れ
を洗浄する。
は、ワーク11のノッチ11aが所定位置にくるように
調整される。すなわち、角度合わせ機17では、ワーク
11上のノッチ11aを基準としてワーク11が回転調
整される。そして、この回転調整により、ワーク11が
キャリアテーブル14に搬送された際、キャリアテーブ
ル14の係合突起14aとワーク11のノッチ11aが
係合され、ワーク11がキャリアテーブル14にセット
される。また、前記洗浄機19は研削盤本体12での加
工が終了したワーク11に付着している研削粉等の汚れ
を洗浄する。
【0018】次に、上記のように構成された研削盤の動
作について説明する。搬入及び搬出ロボット15,16
及びキャリアテーブル14の初期待機位置を図2に示
す。すなわち、搬入ロボット15は、そのロボットハン
ド27が延ばされると、捕足部29が未加工ワーク格納
装置22におけるワークカセット24内の未加工ワーク
11をすぐに取りに行ける状態にある。このとき、ロボ
ットハンド27の捕足部29がワークカセット24に近
接されている。また、搬出ロボット16は、そのロボッ
トハンド27が延ばされると、捕足部29がキャリアテ
ーブル14上の加工済みワーク11をすぐに取りに行け
る状態にある。このとき、ロボットハンド27の捕足部
29がキャリアテーブル14に近接されている。
作について説明する。搬入及び搬出ロボット15,16
及びキャリアテーブル14の初期待機位置を図2に示
す。すなわち、搬入ロボット15は、そのロボットハン
ド27が延ばされると、捕足部29が未加工ワーク格納
装置22におけるワークカセット24内の未加工ワーク
11をすぐに取りに行ける状態にある。このとき、ロボ
ットハンド27の捕足部29がワークカセット24に近
接されている。また、搬出ロボット16は、そのロボッ
トハンド27が延ばされると、捕足部29がキャリアテ
ーブル14上の加工済みワーク11をすぐに取りに行け
る状態にある。このとき、ロボットハンド27の捕足部
29がキャリアテーブル14に近接されている。
【0019】研削盤の動作が開始されると、搬入ロボッ
ト15のロボットハンド27が延ばされ、未加工ワーク
格納装置22におけるワークカセット24内のワーク1
1が吸着される。この場合、ロボットハンド27はワー
クカセット24内の一番下側の棚板25から上の棚板2
5へ順に進むようにしてワーク11を取り出す。ここで
の各棚板25には制御盤20に設けられた図示しないメ
モリに番地が記憶されており、この番地は加工済みワー
ク格納装置23におけるワークカセット24内の棚板2
5の番地と対応している。そして、加工済みのワーク1
1は、未加工ワーク格納装置22におけるワークカセッ
ト24の棚板25と対応する棚板25に格納される。
ト15のロボットハンド27が延ばされ、未加工ワーク
格納装置22におけるワークカセット24内のワーク1
1が吸着される。この場合、ロボットハンド27はワー
クカセット24内の一番下側の棚板25から上の棚板2
5へ順に進むようにしてワーク11を取り出す。ここで
の各棚板25には制御盤20に設けられた図示しないメ
モリに番地が記憶されており、この番地は加工済みワー
ク格納装置23におけるワークカセット24内の棚板2
5の番地と対応している。そして、加工済みのワーク1
1は、未加工ワーク格納装置22におけるワークカセッ
ト24の棚板25と対応する棚板25に格納される。
【0020】未加工ワーク格納装置22におけるワーク
カセット24内でのワーク11の取出しは、捕足部29
がワーク11の下側に配置され、上側のバキュームパッ
ド31がワーク11に当接されて真空吸着が行われる。
捕足部29がワーク11の下側に配置されたとき、取出
しを目的としている番地の棚板25にワーク11が存在
しているか否かがワーク検出センサ33により判断され
る。
カセット24内でのワーク11の取出しは、捕足部29
がワーク11の下側に配置され、上側のバキュームパッ
ド31がワーク11に当接されて真空吸着が行われる。
捕足部29がワーク11の下側に配置されたとき、取出
しを目的としている番地の棚板25にワーク11が存在
しているか否かがワーク検出センサ33により判断され
る。
【0021】ワーク11が存在しない場合には、取出し
を中止し、この棚板25の番地を制御盤20のメモリ内
に記憶し、次の番地のワーク11を取りに行く。これに
対し、所望の棚板25にワーク11が存在した場合は、
ワーク11がロボットハンド27にて真空吸着された
後、ロボットハンド27が所定位置(ワーク11が吸着
動作される位置から好ましくは1〜5mm上方の位置)
に持ち上げられた後、ワーク11の吸着保持確認動作が
真空センサ35により行われる。ロボットハンド27を
持ち上げた後にワーク11の吸着による保持を確認する
のは、次工程にワーク11を確実にしかもスムーズに搬
送するためである。
を中止し、この棚板25の番地を制御盤20のメモリ内
に記憶し、次の番地のワーク11を取りに行く。これに
対し、所望の棚板25にワーク11が存在した場合は、
ワーク11がロボットハンド27にて真空吸着された
後、ロボットハンド27が所定位置(ワーク11が吸着
動作される位置から好ましくは1〜5mm上方の位置)
に持ち上げられた後、ワーク11の吸着保持確認動作が
真空センサ35により行われる。ロボットハンド27を
持ち上げた後にワーク11の吸着による保持を確認する
のは、次工程にワーク11を確実にしかもスムーズに搬
送するためである。
【0022】ワーク11の吸着保持が確認されなかった
場合には、真空吸着を再度行う。真空吸着を10回行っ
てもワーク11が吸着されない場合には、アラームが報
知され、研削盤が自動停止される。このとき、吸着エラ
ーであるワーク11に対応する棚板25の番地が、制御
盤20のメモリ内に履歴として記憶される。そして、オ
ペレータにより、吸着されなかったワーク11がワーク
カセット24内から取り除かれる。その後、オペレータ
により研削盤が再起動されると、ロボットハンド27
は、吸着エラーにより記憶した番地の次の番地に対応す
るワーク11を取りに行く。
場合には、真空吸着を再度行う。真空吸着を10回行っ
てもワーク11が吸着されない場合には、アラームが報
知され、研削盤が自動停止される。このとき、吸着エラ
ーであるワーク11に対応する棚板25の番地が、制御
盤20のメモリ内に履歴として記憶される。そして、オ
ペレータにより、吸着されなかったワーク11がワーク
カセット24内から取り除かれる。その後、オペレータ
により研削盤が再起動されると、ロボットハンド27
は、吸着エラーにより記憶した番地の次の番地に対応す
るワーク11を取りに行く。
【0023】これに対し、ワーク11の吸着保持が確認
された場合には、ワーク11は角度合わせ機17に搬送
され、角度合わせ機17にて位置合わせされる。その
後、ロボットハンド27によりアンロード位置P1のキ
ャリアテーブル14まで運ばれ、キャリアテーブル14
内にセットされる。ワーク11がセットされると、キャ
リアテーブル14は研削加工位置P2に移動されてワー
ク11の研削加工が実施される。研削加工が終了する
と、ワーク11は再びキャリアテーブル14の移動によ
りアンロード位置P1に戻される。その後、搬出ロボッ
ト16にてキャリアテーブル14内の加工済みワーク1
1が取り出される。
された場合には、ワーク11は角度合わせ機17に搬送
され、角度合わせ機17にて位置合わせされる。その
後、ロボットハンド27によりアンロード位置P1のキ
ャリアテーブル14まで運ばれ、キャリアテーブル14
内にセットされる。ワーク11がセットされると、キャ
リアテーブル14は研削加工位置P2に移動されてワー
ク11の研削加工が実施される。研削加工が終了する
と、ワーク11は再びキャリアテーブル14の移動によ
りアンロード位置P1に戻される。その後、搬出ロボッ
ト16にてキャリアテーブル14内の加工済みワーク1
1が取り出される。
【0024】搬出ロボット16によるワーク11の取出
しでは、キャリアテーブル14上にロボットハンド27
が延ばされて捕足部29がワーク11の上側に配置さ
れ、下側のバキュームパッド31がワーク11に当接さ
れ真空吸着が行われる。その後、ロボットハンド27が
所定位置(ワーク11が吸着動作される位置から好まし
くは5〜20mm上方の位置)に持ち上げられ、真空セ
ンサ35によりワーク11の保持が確認される。ロボッ
トハンド27が持ち上げられた後にワーク11の吸着に
よる保持を確認するのは、ワーク11の裏面に研削屑や
クーラント等が付着していて負荷となり、真空吸着をし
たが実際にキャリアテーブル14からワーク11を持ち
上げられなかった場合等を想定したためである。
しでは、キャリアテーブル14上にロボットハンド27
が延ばされて捕足部29がワーク11の上側に配置さ
れ、下側のバキュームパッド31がワーク11に当接さ
れ真空吸着が行われる。その後、ロボットハンド27が
所定位置(ワーク11が吸着動作される位置から好まし
くは5〜20mm上方の位置)に持ち上げられ、真空セ
ンサ35によりワーク11の保持が確認される。ロボッ
トハンド27が持ち上げられた後にワーク11の吸着に
よる保持を確認するのは、ワーク11の裏面に研削屑や
クーラント等が付着していて負荷となり、真空吸着をし
たが実際にキャリアテーブル14からワーク11を持ち
上げられなかった場合等を想定したためである。
【0025】ワーク11が確認されなかった場合には、
真空吸着を再度行う。真空吸着を10回行ってもワーク
11が吸着されない場合には、アラームが報知され、研
削盤が自動停止される。このとき、吸着エラーであるワ
ーク11に対応する棚板25の番地が、制御盤20のメ
モリ内に履歴として記憶される。そして、オペレータに
より、吸着されなかったワーク11がキャリアテーブル
14内から取り除かれる。その後、オペレータにより研
削盤が再起動される。
真空吸着を再度行う。真空吸着を10回行ってもワーク
11が吸着されない場合には、アラームが報知され、研
削盤が自動停止される。このとき、吸着エラーであるワ
ーク11に対応する棚板25の番地が、制御盤20のメ
モリ内に履歴として記憶される。そして、オペレータに
より、吸着されなかったワーク11がキャリアテーブル
14内から取り除かれる。その後、オペレータにより研
削盤が再起動される。
【0026】これに対し、キャリアテーブル14上でロ
ボットハンド27が持ち上げられた状態でワーク11が
確認された場合には、ワーク11は洗浄機19に搬送さ
れ、洗浄機19にて研削屑等が洗浄される。その後、ロ
ボットハンド27により加工済みワーク格納装置23内
のワークカセット24まで搬送され、ワークカセット2
4内に格納される。ここでのワーク11の格納は、上記
ブランクとなった番地の棚はそのままブランクとなり、
実際に格納されていた番地と対応していた番地の部分に
ある棚に格納される。
ボットハンド27が持ち上げられた状態でワーク11が
確認された場合には、ワーク11は洗浄機19に搬送さ
れ、洗浄機19にて研削屑等が洗浄される。その後、ロ
ボットハンド27により加工済みワーク格納装置23内
のワークカセット24まで搬送され、ワークカセット2
4内に格納される。ここでのワーク11の格納は、上記
ブランクとなった番地の棚はそのままブランクとなり、
実際に格納されていた番地と対応していた番地の部分に
ある棚に格納される。
【0027】また、搬入または搬出ロボット15,16
がワーク11を搬送している途中の状態において、停電
があった後に電源を復帰したときは、現在の真空吸着の
状態が真空センサ35によりオンか否かが確認され、オ
ンを確認したときは、停電になる直前の動作が実行され
る。
がワーク11を搬送している途中の状態において、停電
があった後に電源を復帰したときは、現在の真空吸着の
状態が真空センサ35によりオンか否かが確認され、オ
ンを確認したときは、停電になる直前の動作が実行され
る。
【0028】次に、本実施形態から見い出せる効果を以
下に記載する。 ・キャリアテーブル14上で加工済みワーク11の保持
を確認するタイミングとして、ロボットハンド27が所
定位置に上昇した後に、ワーク11の保持を確認するよ
うにしている。このため、持ち上げられなかったワーク
11を確実に確認することができるので、ワーク11を
確実に搬送することができる。
下に記載する。 ・キャリアテーブル14上で加工済みワーク11の保持
を確認するタイミングとして、ロボットハンド27が所
定位置に上昇した後に、ワーク11の保持を確認するよ
うにしている。このため、持ち上げられなかったワーク
11を確実に確認することができるので、ワーク11を
確実に搬送することができる。
【0029】・未加工ワークをロボットハンド27で吸
着保持して持ち上げるので、ワーク11を次工程に確実
に搬送することができる。 ・未加工ワーク格納装置22におけるワークカセット2
4の各棚板25の番地と、加工済みワーク格納装置23
におけるワークカセット24の棚板25とを対応させて
いる。そして、吸着エラーのワーク11に対応する加工
済みワーク格納装置23の棚板25は、ブランクにした
ままの状態にしているので履歴が残り、ワーク11の管
理を容易に行うことができる。
着保持して持ち上げるので、ワーク11を次工程に確実
に搬送することができる。 ・未加工ワーク格納装置22におけるワークカセット2
4の各棚板25の番地と、加工済みワーク格納装置23
におけるワークカセット24の棚板25とを対応させて
いる。そして、吸着エラーのワーク11に対応する加工
済みワーク格納装置23の棚板25は、ブランクにした
ままの状態にしているので履歴が残り、ワーク11の管
理を容易に行うことができる。
【0030】・未加工ワーク格納装置22において、ワ
ークカセット24内にワーク11が有るにもかかわらず
ロボットハンド27が取出しに失敗したときには、機械
が自動停止し、アラームが報知されるため、ロボットハ
ンド27の取出し状況を容易に把握することができる。
ークカセット24内にワーク11が有るにもかかわらず
ロボットハンド27が取出しに失敗したときには、機械
が自動停止し、アラームが報知されるため、ロボットハ
ンド27の取出し状況を容易に把握することができる。
【0031】・ロボットハンド27が取出しに失敗した
ワーク11を、オペレータが未加工ワーク格納装置22
のワークカセット24から除去し、研削盤を再起動した
際に、取出しに失敗したワーク11に対応する棚板25
はブランクになり、その次の番地の棚板25のワーク1
1を取り出すようにしているので履歴が残り、ワーク1
1の管理を容易に行うことができる。
ワーク11を、オペレータが未加工ワーク格納装置22
のワークカセット24から除去し、研削盤を再起動した
際に、取出しに失敗したワーク11に対応する棚板25
はブランクになり、その次の番地の棚板25のワーク1
1を取り出すようにしているので履歴が残り、ワーク1
1の管理を容易に行うことができる。
【0032】・未加工ワーク格納装置22において、ワ
ークカセット24内にワーク11を取りに行ってもワー
ク11が無かった場合は、機械を止めずに次の番地のワ
ーク11を取りに行って加工を継続するので、研削盤の
稼働効率が低下することがない。
ークカセット24内にワーク11を取りに行ってもワー
ク11が無かった場合は、機械を止めずに次の番地のワ
ーク11を取りに行って加工を継続するので、研削盤の
稼働効率が低下することがない。
【0033】・搬入または搬出ロボット15,16がワ
ーク11を搬送している途中の状態において、何らかの
原因で停電があり、その後電源を復帰したときは、現在
の真空吸着の状態がオンかどうかを確認し、オンを確認
したときは、停電になる直前の動作を実行させるので、
研削盤の可動効率が低下することがない。
ーク11を搬送している途中の状態において、何らかの
原因で停電があり、その後電源を復帰したときは、現在
の真空吸着の状態がオンかどうかを確認し、オンを確認
したときは、停電になる直前の動作を実行させるので、
研削盤の可動効率が低下することがない。
【0034】・搬入ロボット15のロボットハンド27
は、未加工ワーク格納装置22の近傍で、その捕足部2
9が未加工ワーク11をすぐに取りに行ける状態に待機
されている。また、搬出ロボット16のロボットハンド
27は、キャリアテーブル14の近傍で、その捕足部2
9が加工済みワーク11をすぐに取りに行ける状態に待
機されている。従って、最短距離でワーク11の受け渡
しが可能になるので、サイクルタイムの短縮が可能にな
り、加工効率を向上させることができる。
は、未加工ワーク格納装置22の近傍で、その捕足部2
9が未加工ワーク11をすぐに取りに行ける状態に待機
されている。また、搬出ロボット16のロボットハンド
27は、キャリアテーブル14の近傍で、その捕足部2
9が加工済みワーク11をすぐに取りに行ける状態に待
機されている。従って、最短距離でワーク11の受け渡
しが可能になるので、サイクルタイムの短縮が可能にな
り、加工効率を向上させることができる。
【0035】なお、前記実施形態は次のように構成して
具体化することも可能である。 ・ワーク検出センサ33をロボットハンド27に配置す
るのではなく、例えばロボット15,16の上部円筒体
41に配置すること。この場合には、ワーク検出センサ
33をレーザ測長センサとする。
具体化することも可能である。 ・ワーク検出センサ33をロボットハンド27に配置す
るのではなく、例えばロボット15,16の上部円筒体
41に配置すること。この場合には、ワーク検出センサ
33をレーザ測長センサとする。
【0036】・真空吸着によるワーク11の持ち上げに
変えて、磁気吸着、または機械的な挟持であってもよ
い。 ・未加工ワーク格納装置22におけるワークカセット2
4内でワーク11を取出す際に、捕足部29をワーク1
1の上側に配置し、下側のバキュームパッド31でワー
ク11を吸着すること。
変えて、磁気吸着、または機械的な挟持であってもよ
い。 ・未加工ワーク格納装置22におけるワークカセット2
4内でワーク11を取出す際に、捕足部29をワーク1
1の上側に配置し、下側のバキュームパッド31でワー
ク11を吸着すること。
【0037】・研削盤本体12のキャリアテーブル14
に対応してワーク11の搬入及び搬出を行う単一のロボ
ットにすること。この場合には、ロボットを搬入ロボッ
ト15と搬出ロボット16との間に配置する。なお、単
一のロボットにした場合においても、上下両バキューム
パッド31は同時に吸着動作しないという構成となって
いる。
に対応してワーク11の搬入及び搬出を行う単一のロボ
ットにすること。この場合には、ロボットを搬入ロボッ
ト15と搬出ロボット16との間に配置する。なお、単
一のロボットにした場合においても、上下両バキューム
パッド31は同時に吸着動作しないという構成となって
いる。
【0038】次に、前記実施形態から把握できる請求項
以外の技術的思想について、それらの効果とともに記載
する。 ・未加工ワーク格納装置に収容されたワークをアンロー
ド位置まで搬入し、加工されたワークを加工済みワーク
格納装置に搬出可能なロボットを備え、ロボットにはワ
ークを持ち上げるロボットハンドを設け、未加工ワーク
格納装置からワークを取り出す際、または加工済みワー
ク格納装置にワークを格納する際に、各ロボットのロボ
ットハンドを各格納装置に予め近接した状態に待機させ
るようにした研削盤。
以外の技術的思想について、それらの効果とともに記載
する。 ・未加工ワーク格納装置に収容されたワークをアンロー
ド位置まで搬入し、加工されたワークを加工済みワーク
格納装置に搬出可能なロボットを備え、ロボットにはワ
ークを持ち上げるロボットハンドを設け、未加工ワーク
格納装置からワークを取り出す際、または加工済みワー
ク格納装置にワークを格納する際に、各ロボットのロボ
ットハンドを各格納装置に予め近接した状態に待機させ
るようにした研削盤。
【0039】この構成によれば、サイクルタイムの短縮
が可能になり、加工効率を向上させることができる。 ・ワーク格納装置(未加工ワーク格納装置22)におけ
るワークカセットに複数の棚板を設け、各棚板間に格納
されているワークをアンロード位置まで搬入可能なロボ
ットを備え、ロボットにはワークを持ち上げるロボット
ハンドを設け、ロボットハンドがワークの取出しに失敗
した際には、失敗したワークに対応する棚板以外の棚板
に次のワークを収容するように制御する制御手段(制御
盤20)を備えた研削盤。
が可能になり、加工効率を向上させることができる。 ・ワーク格納装置(未加工ワーク格納装置22)におけ
るワークカセットに複数の棚板を設け、各棚板間に格納
されているワークをアンロード位置まで搬入可能なロボ
ットを備え、ロボットにはワークを持ち上げるロボット
ハンドを設け、ロボットハンドがワークの取出しに失敗
した際には、失敗したワークに対応する棚板以外の棚板
に次のワークを収容するように制御する制御手段(制御
盤20)を備えた研削盤。
【0040】この構成によれば、取出しに失敗したワー
クに対応する棚板は、ブランク状態になるので、ワーク
の管理を容易に行うことができる。 ・ワーク格納装置(未加工ワーク格納装置22)に収容
された複数のワークを一つずつ加工位置まで搬入可能な
ロボットを備え、ロボットがワークの取出しに失敗した
際には、ロボットの搬送作業を継続させる制御手段(制
御盤20)を設けた。
クに対応する棚板は、ブランク状態になるので、ワーク
の管理を容易に行うことができる。 ・ワーク格納装置(未加工ワーク格納装置22)に収容
された複数のワークを一つずつ加工位置まで搬入可能な
ロボットを備え、ロボットがワークの取出しに失敗した
際には、ロボットの搬送作業を継続させる制御手段(制
御盤20)を設けた。
【0041】この構成によれば、加工効率を向上させる
ことができる。
ことができる。
【0042】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ので、以下に示す効果を奏する。請求項1又は請求項2
に記載の発明によれば、ロボットハンドを所定位置に上
げた状態で、ワークの保持を確認することにより、ワー
クの保持を確実に確認でき、ワークを確実にしかもスム
ーズに搬送することができる。
ので、以下に示す効果を奏する。請求項1又は請求項2
に記載の発明によれば、ロボットハンドを所定位置に上
げた状態で、ワークの保持を確認することにより、ワー
クの保持を確実に確認でき、ワークを確実にしかもスム
ーズに搬送することができる。
【0043】請求項3に記載の発明によれば、ワークの
保持をよりいっそう的確に確認することができる。
保持をよりいっそう的確に確認することができる。
【図1】 研削盤の外観斜視図。
【図2】 研削盤内部の概略構成配置図。
【図3】 ロボットハンドの平面図。
【図4】 ロボットハンドの側面図。
【図5】 ワークカセットの正面図。
【図6】 ワークカセットの平断面図。
【図7】 搬入及び搬出ロボットを示す斜視図。
11…ワーク、12…研削盤本体、14…キャリアテー
ブル、15…搬入ロボット、16…搬出ロボット、22
…未加工ワーク格納装置、23…加工済みワーク格納装
置、35…真空センサ(ワーク検出手段)、P1…アン
ロード位置(ワーク搬入搬出位置)
ブル、15…搬入ロボット、16…搬出ロボット、22
…未加工ワーク格納装置、23…加工済みワーク格納装
置、35…真空センサ(ワーク検出手段)、P1…アン
ロード位置(ワーク搬入搬出位置)
フロントページの続き Fターム(参考) 3C034 AA13 AA17 AA19 BB81 BB94 CA30 CB11 CB13 DD20 3F061 AA03 CA01 CB03 CB05 CC01 CC13 DB04 DD03
Claims (3)
- 【請求項1】 未加工ワーク格納装置に格納されたワー
クを研削盤本体のワーク搬入搬出位置のキャリアテーブ
ルに搬入し、加工されたワークを加工済みワーク格納装
置に搬出するロボットを備え、ロボットにはワークを持
ち上げるロボットハンドを設け、該ロボットハンドを所
定位置に上げた状態でワークの保持を確認するワーク検
出手段を設けた研削盤。 - 【請求項2】前記ロボットは、未加工ワーク格納装置に
格納されたワークを研削盤本体のワーク搬入出位置のキ
ャリアテーブルに搬入する搬入ロボットと、加工された
ワークを加工済みワーク格納装置に搬出する搬出ロボッ
トとから構成されている請求項1に記載の研削盤。 - 【請求項3】 前記ワーク検出手段はワークと対向配置
されている請求項1又は請求項2に記載の研削盤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17341298A JP2000006016A (ja) | 1998-06-19 | 1998-06-19 | 研削盤 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17341298A JP2000006016A (ja) | 1998-06-19 | 1998-06-19 | 研削盤 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000006016A true JP2000006016A (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=15959964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17341298A Pending JP2000006016A (ja) | 1998-06-19 | 1998-06-19 | 研削盤 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000006016A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016203294A (ja) * | 2015-04-21 | 2016-12-08 | 株式会社アマダホールディングス | ワークピースの搬出方法及び装置並びに吸着パッド装置 |
CN109202592A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-01-15 | 北京奇步自动化控制设备有限公司 | 连杆去毛刺设备 |
-
1998
- 1998-06-19 JP JP17341298A patent/JP2000006016A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016203294A (ja) * | 2015-04-21 | 2016-12-08 | 株式会社アマダホールディングス | ワークピースの搬出方法及び装置並びに吸着パッド装置 |
CN109202592A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-01-15 | 北京奇步自动化控制设备有限公司 | 连杆去毛刺设备 |
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