JP2000005997A - ウェーハの加工方法及びその装置 - Google Patents
ウェーハの加工方法及びその装置Info
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- JP2000005997A JP2000005997A JP17645098A JP17645098A JP2000005997A JP 2000005997 A JP2000005997 A JP 2000005997A JP 17645098 A JP17645098 A JP 17645098A JP 17645098 A JP17645098 A JP 17645098A JP 2000005997 A JP2000005997 A JP 2000005997A
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- wafer
- tape
- face
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- processing tape
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】加工テープで表面及び裏面の端部加工が同時に
行える。 【解決手段】ウェーハ１０を保持して回転するテーブル
１１と、ウェーハ１０の端面に対向して配置されて走行
する研磨テープ１２と、研磨テープ１２の両側面部をウ
ェーハの表面及び裏面側に折り曲げるテープ折り曲げ具
２０、２１と、折り曲げられた研磨テープ１２をウェー
ハ１０の表面及び裏面よりそれぞれ該ウェーハ１０の表
面及び裏面の端部に加圧する一対の端部用加圧手段４０
Ａ、４０Ｂとを備えている。
行える。 【解決手段】ウェーハ１０を保持して回転するテーブル
１１と、ウェーハ１０の端面に対向して配置されて走行
する研磨テープ１２と、研磨テープ１２の両側面部をウ
ェーハの表面及び裏面側に折り曲げるテープ折り曲げ具
２０、２１と、折り曲げられた研磨テープ１２をウェー
ハ１０の表面及び裏面よりそれぞれ該ウェーハ１０の表
面及び裏面の端部に加圧する一対の端部用加圧手段４０
Ａ、４０Ｂとを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハの加工方
法及びその装置に関する。
法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウェーハは円盤状よりなるので、一般に
外周部分にはパターンが形成されていない。しかし、ウ
ェーハの表面を研磨する場合、パターン形成部分とパタ
ーン無し部分とでは加工条件が異なるので、全面を均一
に研磨できないという問題があった。そこで最近、全面
にパターンを形成したウェーハが開発された。
外周部分にはパターンが形成されていない。しかし、ウ
ェーハの表面を研磨する場合、パターン形成部分とパタ
ーン無し部分とでは加工条件が異なるので、全面を均一
に研磨できないという問題があった。そこで最近、全面
にパターンを形成したウェーハが開発された。
【０００３】ところで、ウェーハの外周部は、その後の
後工程でチャックされるので、そのチャックによって外
周の配線が脱落することがある。そこで、予め外周端部
の配線を研磨、エッチング等で除去する必要がある。ま
た外周端部の配線を除去した後、その除去部分に異物が
付着していると、チャック時に異物が脱落してウェーハ
の正常なパターン部に付着する。そこで、外周端部をク
リーニングする必要がある。
後工程でチャックされるので、そのチャックによって外
周の配線が脱落することがある。そこで、予め外周端部
の配線を研磨、エッチング等で除去する必要がある。ま
た外周端部の配線を除去した後、その除去部分に異物が
付着していると、チャック時に異物が脱落してウェーハ
の正常なパターン部に付着する。そこで、外周端部をク
リーニングする必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の第１の課題
は、加工テープで表面及び裏面の端部加工が同時に行え
るウェーハの加工方法及びその装置を提供することにあ
る。
は、加工テープで表面及び裏面の端部加工が同時に行え
るウェーハの加工方法及びその装置を提供することにあ
る。
【０００５】本発明の第２の課題は、加工テープで表面
及び裏面の端部加工と端面加工が同時に行えるウェーハ
の加工方法及びその装置を提供することにある。
及び裏面の端部加工と端面加工が同時に行えるウェーハ
の加工方法及びその装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記第１の課題を解決す
るための本発明の第１の方法は、回転駆動されるウェー
ハの端面に対向して配置されて走行する加工テープの両
側面部を、前記ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げ、
この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及
び裏面の端部に加圧して前記ウェーハの表面及び裏面の
端部を同時に加工することを特徴とする。
るための本発明の第１の方法は、回転駆動されるウェー
ハの端面に対向して配置されて走行する加工テープの両
側面部を、前記ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げ、
この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及
び裏面の端部に加圧して前記ウェーハの表面及び裏面の
端部を同時に加工することを特徴とする。
【０００７】上記第１及び第２の課題を解決するための
本発明の第２の方法は、回転駆動されるウェーハの端面
に対向して配置されて走行する加工テープを、前記ウェ
ーハの端面に加圧して該ウェーハの端面を加工すると共
に、このウェーハの端面加工位置と別の位置で、前記加
工テープを前記ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げ、
この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及
び裏面の端部に加圧して前記ウェーハの表面及び裏面の
端部を同時に加工することを特徴とする。
本発明の第２の方法は、回転駆動されるウェーハの端面
に対向して配置されて走行する加工テープを、前記ウェ
ーハの端面に加圧して該ウェーハの端面を加工すると共
に、このウェーハの端面加工位置と別の位置で、前記加
工テープを前記ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げ、
この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及
び裏面の端部に加圧して前記ウェーハの表面及び裏面の
端部を同時に加工することを特徴とする。
【０００８】上記第１の課題を解決するための本発明の
第１の装置は、ウェーハを保持して回転するテーブル
と、前記ウェーハの端面に対向して配置されて走行する
加工テープと、この加工テープの両側面部を前記ウェー
ハの表面及び裏面側に折り曲げるテープ折り曲げ具と、
この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及
び裏面よりそれぞれ該ウェーハの表面及び裏面の端部に
加圧する一対の端部用加圧手段とを備え、ウェーハの表
面及び裏面の端部を同時に加工することを特徴とする。
第１の装置は、ウェーハを保持して回転するテーブル
と、前記ウェーハの端面に対向して配置されて走行する
加工テープと、この加工テープの両側面部を前記ウェー
ハの表面及び裏面側に折り曲げるテープ折り曲げ具と、
この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及
び裏面よりそれぞれ該ウェーハの表面及び裏面の端部に
加圧する一対の端部用加圧手段とを備え、ウェーハの表
面及び裏面の端部を同時に加工することを特徴とする。
【０００９】上記第１及び第２の課題を解決するための
本発明の第２の装置は、ウェーハを保持して回転するテ
ーブルと、前記ウェーハの端面に対向して配置されて走
行する加工テープと、この加工テープの両側面部を前記
ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げるテープ折り曲げ
具と、この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの
表面及び裏面よりそれぞれ該ウェーハの表面及び裏面の
端部に加圧する一対の端部用加圧手段と、前記テープ折
り曲げ具より離れた位置に配設され、前記加工テープを
前記ウェーハの端面に加圧する端面用加圧手段とを備
え、ウェーハの表面及び裏面の端部を同時に加工すると
共に、ウェーハの端面も同時に加工することを特徴とす
る。
本発明の第２の装置は、ウェーハを保持して回転するテ
ーブルと、前記ウェーハの端面に対向して配置されて走
行する加工テープと、この加工テープの両側面部を前記
ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げるテープ折り曲げ
具と、この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの
表面及び裏面よりそれぞれ該ウェーハの表面及び裏面の
端部に加圧する一対の端部用加圧手段と、前記テープ折
り曲げ具より離れた位置に配設され、前記加工テープを
前記ウェーハの端面に加圧する端面用加圧手段とを備
え、ウェーハの表面及び裏面の端部を同時に加工すると
共に、ウェーハの端面も同時に加工することを特徴とす
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１乃至
図６により説明する。図１に示すように、ウェーハ１０
を真空吸着保持するテーブル１１は、後記するモータに
よって回転させられる。ウェーハ１０の端面側には、研
磨テープ１２をウェーハ１０の端面に加圧する端面用加
圧手段１３が配設されている。端面用加圧手段１３は、
ローラホルダ１４に回転自在に支承された加圧ローラ１
５を有し、ローラホルダ１４はスライダー１６に固定さ
れている。スライダー１６は、ウェーハ１０の径方向に
移動可能にユニット保持板１７上に設けられ、シリンダ
ー１８によって駆動される。
図６により説明する。図１に示すように、ウェーハ１０
を真空吸着保持するテーブル１１は、後記するモータに
よって回転させられる。ウェーハ１０の端面側には、研
磨テープ１２をウェーハ１０の端面に加圧する端面用加
圧手段１３が配設されている。端面用加圧手段１３は、
ローラホルダ１４に回転自在に支承された加圧ローラ１
５を有し、ローラホルダ１４はスライダー１６に固定さ
れている。スライダー１６は、ウェーハ１０の径方向に
移動可能にユニット保持板１７上に設けられ、シリンダ
ー１８によって駆動される。
【００１１】またウェーハ１０の端面側には、前記端面
用加圧手段１３より約９０度離れた位置を中心として一
定距離離れてテープ折り曲げ具２０、２１がユニット保
持板１７上に固定されている。テープ折り曲げ具２０、
２１は、図２に示すように、Ｖ字状のテープ折り曲げ部
２０ａ、２１ａが形成されている。
用加圧手段１３より約９０度離れた位置を中心として一
定距離離れてテープ折り曲げ具２０、２１がユニット保
持板１７上に固定されている。テープ折り曲げ具２０、
２１は、図２に示すように、Ｖ字状のテープ折り曲げ部
２０ａ、２１ａが形成されている。
【００１２】再び図１において、ユニット保持板１７
は、テープ折り曲げ具２０、２１がウェーハ１０に接近
及び離反する方向にシリンダー２２により駆動される。
前記端面用加圧手段１３の両側には、研磨テープ１２を
端面用加圧手段１３の加圧ローラ１５に導くガイドロー
ラ２３、２４が回転自在に配設されている。またテープ
折り曲げ具２０、２１の外側にも、研磨テープ１２をテ
ープ折り曲げ具２０、２１に導くガイドローラ２５、２
６が回転自在に配設されている。端面用加圧手段１３側
には研磨テープ１２を巻回した供給リール２７が配設さ
れ、テープ折り曲げ具２１側には図示しないモータで回
転させられる巻取りリール２８が配設されている。
は、テープ折り曲げ具２０、２１がウェーハ１０に接近
及び離反する方向にシリンダー２２により駆動される。
前記端面用加圧手段１３の両側には、研磨テープ１２を
端面用加圧手段１３の加圧ローラ１５に導くガイドロー
ラ２３、２４が回転自在に配設されている。またテープ
折り曲げ具２０、２１の外側にも、研磨テープ１２をテ
ープ折り曲げ具２０、２１に導くガイドローラ２５、２
６が回転自在に配設されている。端面用加圧手段１３側
には研磨テープ１２を巻回した供給リール２７が配設さ
れ、テープ折り曲げ具２１側には図示しないモータで回
転させられる巻取りリール２８が配設されている。
【００１３】ガイドローラ２４、２５側には、テンショ
ンローラ３０が配設されており、テンションローラ３０
は、スライダー３１に回転自在に設けられている。スラ
イダー３１はユニット保持板１７に固定されたガイドレ
ール３２に沿って移動可能に設けられており、シリンダ
ー３３によって移動させられる。そこで、研磨テープ１
２は、供給リール２７からガイドローラ３４、２３、加
圧ローラ１５、ガイドローラ２４、３５、テンションロ
ーラ３０、ガイドローラ２５、テープ折り曲げ具２０、
２１、ガイドローラ２６、３６を経て巻取りリール２８
に巻き取られる。
ンローラ３０が配設されており、テンションローラ３０
は、スライダー３１に回転自在に設けられている。スラ
イダー３１はユニット保持板１７に固定されたガイドレ
ール３２に沿って移動可能に設けられており、シリンダ
ー３３によって移動させられる。そこで、研磨テープ１
２は、供給リール２７からガイドローラ３４、２３、加
圧ローラ１５、ガイドローラ２４、３５、テンションロ
ーラ３０、ガイドローラ２５、テープ折り曲げ具２０、
２１、ガイドローラ２６、３６を経て巻取りリール２８
に巻き取られる。
【００１４】テープ折り曲げ具２０、２１間の上下に
は、研磨テープ１２をウェーハ１０の端部の上面及び下
面に加圧する一対の端部用加圧手段４０Ａ、４０Ｂが配
設されている。端部用加圧手段４０Ａと４０Ｂは全く同
じ構成で、上下対称に配設されている。また端部用加圧
手段４０Ａ、４０Ｂを上下駆動する上下駆動手段５５
Ａ、５５Ｂもほぼ同じ構成よりなっている。そこで、以
下、端部用加圧手段４０Ａと４０Ｂの構成及び上下駆動
手段５５Ａと５５Ｂの構成は、同じ番号を付し、一方に
その番号の後に符号Ａを他方に符号Ｂを付して区別す
る。そして、上方の端部用加圧手段４０Ａ及び上下駆動
手段５５Ａの構成について説明し、下方の端部用加圧手
段４０Ｂ及び上下駆動手段５５Ｂの構成の説明は省略す
る。
は、研磨テープ１２をウェーハ１０の端部の上面及び下
面に加圧する一対の端部用加圧手段４０Ａ、４０Ｂが配
設されている。端部用加圧手段４０Ａと４０Ｂは全く同
じ構成で、上下対称に配設されている。また端部用加圧
手段４０Ａ、４０Ｂを上下駆動する上下駆動手段５５
Ａ、５５Ｂもほぼ同じ構成よりなっている。そこで、以
下、端部用加圧手段４０Ａと４０Ｂの構成及び上下駆動
手段５５Ａと５５Ｂの構成は、同じ番号を付し、一方に
その番号の後に符号Ａを他方に符号Ｂを付して区別す
る。そして、上方の端部用加圧手段４０Ａ及び上下駆動
手段５５Ａの構成について説明し、下方の端部用加圧手
段４０Ｂ及び上下駆動手段５５Ｂの構成の説明は省略す
る。
【００１５】まず端部用加圧手段４０Ａの構成を図３及
び図４により説明する。揺動ブロック４１Ａの下面側に
はローラ支持ブロック４２Ａが固定されており、ローラ
支持ブロック４２Ａには加圧用ローラ４３Ａが回転自在
に支承されている。揺動ブロック４１Ａの上面側には揺
動軸４４Ａが固定されており、揺動軸４４Ａには球軸受
４５Ａの内輪がナット４６Ａにより固定されている。球
軸受４５Ａの外輪は支持板４７Ａに挿入され、支持板４
７Ａに固定された固定用リング４８Ａで支持板４７Ａに
押さえ付けられている。これにより、揺動軸４４Ａは支
持板４７Ａに対して任意の方向に揺動可能である。
び図４により説明する。揺動ブロック４１Ａの下面側に
はローラ支持ブロック４２Ａが固定されており、ローラ
支持ブロック４２Ａには加圧用ローラ４３Ａが回転自在
に支承されている。揺動ブロック４１Ａの上面側には揺
動軸４４Ａが固定されており、揺動軸４４Ａには球軸受
４５Ａの内輪がナット４６Ａにより固定されている。球
軸受４５Ａの外輪は支持板４７Ａに挿入され、支持板４
７Ａに固定された固定用リング４８Ａで支持板４７Ａに
押さえ付けられている。これにより、揺動軸４４Ａは支
持板４７Ａに対して任意の方向に揺動可能である。
【００１６】支持板４７Ａの下面には揺動ブロックホル
ダ４９Ａが固定され、揺動ブロックホルダ４９Ａの内面
に形成された突出部４９ａは、揺動ブロック４１Ａの外
周に形成された溝部４１ａに挿入されている。支持板４
７Ａには４個のエアシリンダー５０Ａが固定されてお
り、エアシリンダー５０Ａの作動部先端は、揺動ブロッ
ク４１Ａの上面を押圧するようになっている。
ダ４９Ａが固定され、揺動ブロックホルダ４９Ａの内面
に形成された突出部４９ａは、揺動ブロック４１Ａの外
周に形成された溝部４１ａに挿入されている。支持板４
７Ａには４個のエアシリンダー５０Ａが固定されてお
り、エアシリンダー５０Ａの作動部先端は、揺動ブロッ
ク４１Ａの上面を押圧するようになっている。
【００１７】次に端部用加圧手段４０Ａの上下駆動手段
５５Ａの構成を図１及び図５により説明する。支持板４
７Ａは、揺動アーム５６Ａの一端に固定されており、揺
動アーム５６Ａの他端は揺動ブロック５７Ａに固定され
ている。揺動ブロック５７Ａは、支持ブロック５８Ａに
固定された揺動中心軸５９Ａに揺動可能に支承されてい
る。
５５Ａの構成を図１及び図５により説明する。支持板４
７Ａは、揺動アーム５６Ａの一端に固定されており、揺
動アーム５６Ａの他端は揺動ブロック５７Ａに固定され
ている。揺動ブロック５７Ａは、支持ブロック５８Ａに
固定された揺動中心軸５９Ａに揺動可能に支承されてい
る。
【００１８】揺動アーム５６Ａの下面には、揺動中心軸
５９Ａの中心よりずれた手前側にストッパー６０Ａが下
方に伸びて固定されている。支持ブロック５８Ａにはス
トッパー６０Ａに対向してストッパー受け６１Ａが固定
されており、ストッパー６０Ａがストッパー受け６１Ａ
に当接した状態では、揺動アーム５６Ａは水平を保つよ
うになっている。そこで、ストッパー６０Ａがストッパ
ー受け６１Ａに圧接するように、揺動アーム５６Ａと支
持ブロック５８Ａにはばね６２Ａが掛けられている。ま
た揺動アーム５６Ａの下面には、ストッパー６０Ａ側に
ピン６３Ａが固定され、ユニット保持板１７にはピン６
３Ａに対向してローラ６４Ａが設けられている。
５９Ａの中心よりずれた手前側にストッパー６０Ａが下
方に伸びて固定されている。支持ブロック５８Ａにはス
トッパー６０Ａに対向してストッパー受け６１Ａが固定
されており、ストッパー６０Ａがストッパー受け６１Ａ
に当接した状態では、揺動アーム５６Ａは水平を保つよ
うになっている。そこで、ストッパー６０Ａがストッパ
ー受け６１Ａに圧接するように、揺動アーム５６Ａと支
持ブロック５８Ａにはばね６２Ａが掛けられている。ま
た揺動アーム５６Ａの下面には、ストッパー６０Ａ側に
ピン６３Ａが固定され、ユニット保持板１７にはピン６
３Ａに対向してローラ６４Ａが設けられている。
【００１９】支持ブロック５８Ａは上下動ブロック６５
Ａに固定されており、上下動ブロック６５Ａには垂直に
ガイド部を有するスライダー６６Ａが固定されている。
スライダー６６Ａは、垂直に配設されたガイドレール６
７Ａに摺動自在に設けられ、ガイドレール６７Ａは前記
ユニット保持板１７に垂直に固定された垂直板６８に固
定されている。上下動ブロック６５Ａには雄ねじ６９Ａ
が螺合しており、雄ねじ６９Ａの上下端は垂直板６８に
固定された軸受７０Ａ、７１Ａ（なお、軸受７１Ａは図
示されていないので、軸受７１Ｂを参照）に回転自在に
支承されている。雄ねじ６９Ａに対応したユニット保持
板１７の下面にはモータ７２Ａ（なお、モータ７２Ａは
図示されていないので、モータ７２Ｂを参照）が固定さ
れており、モータ７２Ａの出力軸は雄ねじ６９Ａに連結
されている。
Ａに固定されており、上下動ブロック６５Ａには垂直に
ガイド部を有するスライダー６６Ａが固定されている。
スライダー６６Ａは、垂直に配設されたガイドレール６
７Ａに摺動自在に設けられ、ガイドレール６７Ａは前記
ユニット保持板１７に垂直に固定された垂直板６８に固
定されている。上下動ブロック６５Ａには雄ねじ６９Ａ
が螺合しており、雄ねじ６９Ａの上下端は垂直板６８に
固定された軸受７０Ａ、７１Ａ（なお、軸受７１Ａは図
示されていないので、軸受７１Ｂを参照）に回転自在に
支承されている。雄ねじ６９Ａに対応したユニット保持
板１７の下面にはモータ７２Ａ（なお、モータ７２Ａは
図示されていないので、モータ７２Ｂを参照）が固定さ
れており、モータ７２Ａの出力軸は雄ねじ６９Ａに連結
されている。
【００２０】図１に示すテーブル１１の部分は図６に示
すような構造となっている。テーブル１１は回転軸７５
の上端に固定されており、回転軸７５は軸受７６を介し
て回転軸支持筒７７に回転自在に支承されている。回転
軸支持筒７７はベース板７８に固定されている。更に回
転軸７５の下端は、軸受７９を介して支持ブロック８０
に回転自在に支承されている。
すような構造となっている。テーブル１１は回転軸７５
の上端に固定されており、回転軸７５は軸受７６を介し
て回転軸支持筒７７に回転自在に支承されている。回転
軸支持筒７７はベース板７８に固定されている。更に回
転軸７５の下端は、軸受７９を介して支持ブロック８０
に回転自在に支承されている。
【００２１】回転軸７５の中心軸には貫通孔７５ａが形
成され、テーブル１１には貫通孔７５ａに連通するよう
に吸着用穴１１ａが形成されている。支持ブロック８０
にも貫通孔７５ａに連通するように穴８０ａが形成さ
れ、穴８０ａには図示しない真空源に接続されたパイプ
８１が接続されている。また回転軸７５にはプーリ８２
が固定されている。ベース板７８の下面にはブラケット
８３を介してモータ８４が固定され、モータ８４の出力
軸に固定されたプーリ８５と前記プーリ８２にはベルト
８６が掛けられている。
成され、テーブル１１には貫通孔７５ａに連通するよう
に吸着用穴１１ａが形成されている。支持ブロック８０
にも貫通孔７５ａに連通するように穴８０ａが形成さ
れ、穴８０ａには図示しない真空源に接続されたパイプ
８１が接続されている。また回転軸７５にはプーリ８２
が固定されている。ベース板７８の下面にはブラケット
８３を介してモータ８４が固定され、モータ８４の出力
軸に固定されたプーリ８５と前記プーリ８２にはベルト
８６が掛けられている。
【００２２】回転軸支持筒７７の外周にはガス導入用下
カバー支持筒９０が固定されており、ガス導入用下カバ
ー支持筒９０にはテーブル１１の下面に沿ってガス導入
用下カバー９１が固定されている。ガス導入用下カバー
９１の内周側には、テーブル１１とガス導入用下カバー
９１間に窒素ガスを供給するパイプ９２の一端が接続さ
れており、パイプ９２の他端は図示しない窒素ガス供給
源に接続されている。テーブル１１の上方にはガス導入
用上カバー９３が配設されており、ガス導入用上カバー
９３はガス供給穴９４ａを有するガス供給部材９４に固
定されている。
カバー支持筒９０が固定されており、ガス導入用下カバ
ー支持筒９０にはテーブル１１の下面に沿ってガス導入
用下カバー９１が固定されている。ガス導入用下カバー
９１の内周側には、テーブル１１とガス導入用下カバー
９１間に窒素ガスを供給するパイプ９２の一端が接続さ
れており、パイプ９２の他端は図示しない窒素ガス供給
源に接続されている。テーブル１１の上方にはガス導入
用上カバー９３が配設されており、ガス導入用上カバー
９３はガス供給穴９４ａを有するガス供給部材９４に固
定されている。
【００２３】ガス供給部材９４には、パイプ９５の一端
が接続され、パイプ９５の他端は図示しない窒素ガス供
給源に接続されている。ガス供給部材９４は、ベース板
７８に垂直に固定されたガイドレール９６に上下動可能
に設けられており、図示しない駆動源で上下動させられ
る。ベース板７８には複数個の排気継手９７が取付けら
れており、排気継手９７は図示しないパイプを通して図
示しない吸引源に接続されている。またガス導入用下カ
バー支持筒９０、ガス導入用下カバー９１、ガス導入用
上カバー９３は、前記端部用加圧手段４０Ａ、４０Ｂの
部分を除いてカバー９８で覆われている。
が接続され、パイプ９５の他端は図示しない窒素ガス供
給源に接続されている。ガス供給部材９４は、ベース板
７８に垂直に固定されたガイドレール９６に上下動可能
に設けられており、図示しない駆動源で上下動させられ
る。ベース板７８には複数個の排気継手９７が取付けら
れており、排気継手９７は図示しないパイプを通して図
示しない吸引源に接続されている。またガス導入用下カ
バー支持筒９０、ガス導入用下カバー９１、ガス導入用
上カバー９３は、前記端部用加圧手段４０Ａ、４０Ｂの
部分を除いてカバー９８で覆われている。
【００２４】次に作用について説明する。図１及び図６
に示すように、ウェーハ１０は、テーブル１１に真空吸
着される。そして、図６に示すモータ８４が回転する
と、プーリ８５、ベルト８６、プーリ８２を介して回転
軸７５及びテーブル１１が回転し、ウェーハ１０が回転
する。モータ８４が回転すると同時に、図１に示す巻取
りリール２８が回転し、供給リール２７に巻回された研
磨テープ１２は、端面用加圧手段１３の加圧ローラ１５
の前方、テンションローラ３０、テープ折り曲げ具２
０、２１を通って巻取りリール２８に巻き取られるよう
に走行する。この走行により、テープ折り曲げ具２０、
２１間の研磨テープ１２部分は、図２に示すようにテー
プ折り曲げ具２０、２１のテープ折り曲げ部２０ａ、２
１ａによってＶ字状に折り曲げられる。
に示すように、ウェーハ１０は、テーブル１１に真空吸
着される。そして、図６に示すモータ８４が回転する
と、プーリ８５、ベルト８６、プーリ８２を介して回転
軸７５及びテーブル１１が回転し、ウェーハ１０が回転
する。モータ８４が回転すると同時に、図１に示す巻取
りリール２８が回転し、供給リール２７に巻回された研
磨テープ１２は、端面用加圧手段１３の加圧ローラ１５
の前方、テンションローラ３０、テープ折り曲げ具２
０、２１を通って巻取りリール２８に巻き取られるよう
に走行する。この走行により、テープ折り曲げ具２０、
２１間の研磨テープ１２部分は、図２に示すようにテー
プ折り曲げ具２０、２１のテープ折り曲げ部２０ａ、２
１ａによってＶ字状に折り曲げられる。
【００２５】続いて図１に示すシリンダー２２が作動し
てユニット保持板１７がウェーハ１０の方に移動し、テ
ープ折り曲げ具２０、２１間の研磨テープ１２はウェー
ハ１０の端面に位置する。その後、端面用加圧手段１３
のシリンダー１８及び端部用加圧手段４０Ａ、４０Ｂの
モータ７２Ａ、７２Ｂが作動する。端面用加圧手段１３
のシリンダー１８が作動すると、加圧ローラ１５が研磨
テープ１２をウェーハ１０の端面に押し付け、ウェーハ
１０の端面は研磨される。
てユニット保持板１７がウェーハ１０の方に移動し、テ
ープ折り曲げ具２０、２１間の研磨テープ１２はウェー
ハ１０の端面に位置する。その後、端面用加圧手段１３
のシリンダー１８及び端部用加圧手段４０Ａ、４０Ｂの
モータ７２Ａ、７２Ｂが作動する。端面用加圧手段１３
のシリンダー１８が作動すると、加圧ローラ１５が研磨
テープ１２をウェーハ１０の端面に押し付け、ウェーハ
１０の端面は研磨される。
【００２６】端部用加圧手段４０Ａ、４０Ｂのモータ７
２Ａ、７２Ｂが作動すると、上下動ブロック６５Ａはガ
イドレール６７Ａにガイドされて下降し、上下動ブロッ
ク６５Ｂはガイドレール６７Ｂにガイドされて上昇す
る。上下動ブロック６５Ａが下降すると、ピン６３Ａが
ローラ６４Ａに当接し、揺動アーム５６Ａ及び支持ブロ
ック５８Ａは図５に示す揺動中心軸５９Ａを中心として
矢印Ａ方向に回動する。揺動アーム５６Ａが一定角度回
動すると、モータ７２Ａは停止する。上下動ブロック６
５Ｂが上昇すると同様に、ピン６３Ｂがローラ６４Ｂに
当接し、揺動アーム５６Ｂ及び揺動ブロック５７Ｂは揺
動中心軸５９Ｂを中心として前記と逆に矢印Ａ’方向に
回動する。揺動アーム５６Ｂが一定角度回動すると、モ
ータ７２Ｂは停止する。即ち、図４に示す加圧用ローラ
４３Ａ、４３Ｂは、一定角度傾斜した状態で研磨テープ
１２をウェーハ１０の外周部の上下端面に押し付ける。
これにより、ウェーハ１０の外周部の上下端面及び面取
り部が研磨される。
２Ａ、７２Ｂが作動すると、上下動ブロック６５Ａはガ
イドレール６７Ａにガイドされて下降し、上下動ブロッ
ク６５Ｂはガイドレール６７Ｂにガイドされて上昇す
る。上下動ブロック６５Ａが下降すると、ピン６３Ａが
ローラ６４Ａに当接し、揺動アーム５６Ａ及び支持ブロ
ック５８Ａは図５に示す揺動中心軸５９Ａを中心として
矢印Ａ方向に回動する。揺動アーム５６Ａが一定角度回
動すると、モータ７２Ａは停止する。上下動ブロック６
５Ｂが上昇すると同様に、ピン６３Ｂがローラ６４Ｂに
当接し、揺動アーム５６Ｂ及び揺動ブロック５７Ｂは揺
動中心軸５９Ｂを中心として前記と逆に矢印Ａ’方向に
回動する。揺動アーム５６Ｂが一定角度回動すると、モ
ータ７２Ｂは停止する。即ち、図４に示す加圧用ローラ
４３Ａ、４３Ｂは、一定角度傾斜した状態で研磨テープ
１２をウェーハ１０の外周部の上下端面に押し付ける。
これにより、ウェーハ１０の外周部の上下端面及び面取
り部が研磨される。
【００２７】この場合、端部用加圧手段４０Ａ、４０Ｂ
の加圧用ローラ４３Ａ、４３Ｂが取付けられた揺動ブロ
ック４１Ａ、４１Ｂは、エアシリンダー５０Ａ、５０Ｂ
によって一定圧力で押し付けられ、また揺動軸４４Ａ、
４４Ｂは球軸受４５Ａ、４５Ｂにより自在に動くことが
できるので、加圧用ローラ４３Ａ、４３Ｂはウェーハ１
０のうねりや面振れの影響を受けずに絶えず一定圧力を
研磨テープ１２に与える。
の加圧用ローラ４３Ａ、４３Ｂが取付けられた揺動ブロ
ック４１Ａ、４１Ｂは、エアシリンダー５０Ａ、５０Ｂ
によって一定圧力で押し付けられ、また揺動軸４４Ａ、
４４Ｂは球軸受４５Ａ、４５Ｂにより自在に動くことが
できるので、加圧用ローラ４３Ａ、４３Ｂはウェーハ１
０のうねりや面振れの影響を受けずに絶えず一定圧力を
研磨テープ１２に与える。
【００２８】このように、１本の研磨テープ１２を端部
用加圧手段４０Ａ、４０Ｂでウェーハ１０の外周部の端
部に押し付けて表面及び裏面を同時に研磨できるので、
研磨テープ１２の使用量が少なく製品コストの低減が図
れる。また前記した端部用加圧手段４０Ａ、４０Ｂによ
る研磨と同時に、同じ１本の研磨テープ１２を端面用加
圧手段１３でウェーハ１０の端面も同時に研磨でき、こ
の場合は更に製品コストの低減が図れる。
用加圧手段４０Ａ、４０Ｂでウェーハ１０の外周部の端
部に押し付けて表面及び裏面を同時に研磨できるので、
研磨テープ１２の使用量が少なく製品コストの低減が図
れる。また前記した端部用加圧手段４０Ａ、４０Ｂによ
る研磨と同時に、同じ１本の研磨テープ１２を端面用加
圧手段１３でウェーハ１０の端面も同時に研磨でき、こ
の場合は更に製品コストの低減が図れる。
【００２９】一定時間研磨後、シリンダー１８は前記と
逆方向に作動し、端面用加圧手段１３の加圧ローラ１５
は研磨テープ１２より離れる。またモータ７２Ａ、７２
Ｂは逆回転し、端部用加圧手段４０Ａは上昇、端部用加
圧手段４０Ｂは下降して研磨テープ１２より離れる。続
いてシリンダー２２が前記と逆方向に作動してテープ折
り曲げ具２０、２１はウェーハ１０より離れる。
逆方向に作動し、端面用加圧手段１３の加圧ローラ１５
は研磨テープ１２より離れる。またモータ７２Ａ、７２
Ｂは逆回転し、端部用加圧手段４０Ａは上昇、端部用加
圧手段４０Ｂは下降して研磨テープ１２より離れる。続
いてシリンダー２２が前記と逆方向に作動してテープ折
り曲げ具２０、２１はウェーハ１０より離れる。
【００３０】前記したウェーハ１０への研磨時には、図
６に示すように、パイプ９２、９５より窒素ガスが供給
され、また排気継手９７より吸引されている。これによ
り、窒素ガスはウェーハ１０の内周より外周に流れ、研
磨屑によるウェーハ１０の汚染を防止し、かつ装置外部
の空気汚染を防止している。
６に示すように、パイプ９２、９５より窒素ガスが供給
され、また排気継手９７より吸引されている。これによ
り、窒素ガスはウェーハ１０の内周より外周に流れ、研
磨屑によるウェーハ１０の汚染を防止し、かつ装置外部
の空気汚染を防止している。
【００３１】なお、上記実施の形態においては、加工テ
ープと研磨テープ１２を用い、ウェーハ１０の端部及び
端面を研磨する場合について説明した。本実施の形態は
研磨に限らなく、ウェーハ１０の端部及び端面をクリー
ニングする場合にも適用できる。この場合には、加工テ
ープとして、研磨テープ１２に代えて布テープ等のクリ
ーニング用テープを用いることは言うまでもない。
ープと研磨テープ１２を用い、ウェーハ１０の端部及び
端面を研磨する場合について説明した。本実施の形態は
研磨に限らなく、ウェーハ１０の端部及び端面をクリー
ニングする場合にも適用できる。この場合には、加工テ
ープとして、研磨テープ１２に代えて布テープ等のクリ
ーニング用テープを用いることは言うまでもない。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、回転駆動されるウェー
ハの端面に対向して配置されて走行する加工テープの両
側面部を、前記ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げ、
この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及
び裏面の端部に加圧するので、加工テープで表面及び裏
面の端部加工が同時に行える。
ハの端面に対向して配置されて走行する加工テープの両
側面部を、前記ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げ、
この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及
び裏面の端部に加圧するので、加工テープで表面及び裏
面の端部加工が同時に行える。
【００３３】また回転駆動されるウェーハの端面に対向
して配置されて走行する加工テープを、前記ウェーハの
端面に加圧して該ウェーハの端面を加工すると共に、こ
のウェーハの端面加工位置と別の位置で、前記加工テー
プを前記ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げ、この折
り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及び裏面
の端部に加圧して前記ウェーハの表面及び裏面の端部を
同時に加工するので、加工テープで表面及び裏面の端部
加工と端面加工が同時に行える。
して配置されて走行する加工テープを、前記ウェーハの
端面に加圧して該ウェーハの端面を加工すると共に、こ
のウェーハの端面加工位置と別の位置で、前記加工テー
プを前記ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げ、この折
り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及び裏面
の端部に加圧して前記ウェーハの表面及び裏面の端部を
同時に加工するので、加工テープで表面及び裏面の端部
加工と端面加工が同時に行える。
【図１】本発明のウェーハの研磨装置の一実施の形態を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２】テープ折り曲げ具部分を示す斜視説明図であ
る。
る。
【図３】端部用加圧手段を示す斜視図である。
【図４】図４の断面図である。
【図５】端部用加圧手段の揺動機構部の斜視説明図であ
る。
る。
【図６】テーブル部分の断面図である。
１０ ウェーハ １１ テーブル １２ 研磨テープ １３ 端面用加圧手段 ２０、２１ テープ折り曲げ具 ２７ 供給リール ２８ 巻取りリール ４０Ａ、４０Ｂ 端部用加圧手段
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C049 AA05 AA12 AA13 AA14 CA05 CB03 3C058 AA05 AA12 AA13 AA14 CB03 DA17
Claims (4)
- 【請求項１】 回転駆動されるウェーハの端面に対向し
て配置されて走行する加工テープの両側面部を、前記ウ
ェーハの表面及び裏面側に折り曲げ、この折り曲げられ
た加工テープを前記ウェーハの表面及び裏面の端部に加
圧して前記ウェーハの表面及び裏面の端部を同時に加工
することを特徴とするウェーハの加工方法。 - 【請求項２】 回転駆動されるウェーハの端面に対向し
て配置されて走行する加工テープを、前記ウェーハの端
面に加圧して該ウェーハの端面を加工すると共に、この
ウェーハの端面加工位置と別の位置で、前記加工テープ
を前記ウェーハの表面及び裏面側に折り曲げ、この折り
曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及び裏面の
端部に加圧して前記ウェーハの表面及び裏面の端部を同
時に加工することを特徴とするウェーハの加工方法。 - 【請求項３】 ウェーハを保持して回転するテーブル
と、前記ウェーハの端面に対向して配置されて走行する
加工テープと、この加工テープの両側面部を前記ウェー
ハの表面及び裏面側に折り曲げるテープ折り曲げ具と、
この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及
び裏面よりそれぞれ該ウェーハの表面及び裏面の端部に
加圧する一対の端部用加圧手段とを備え、ウェーハの表
面及び裏面の端部を同時に加工することを特徴とするウ
ェーハの加工装置。 - 【請求項４】 ウェーハを保持して回転するテーブル
と、前記ウェーハの端面に対向して配置されて走行する
加工テープと、この加工テープの両側面部を前記ウェー
ハの表面及び裏面側に折り曲げるテープ折り曲げ具と、
この折り曲げられた加工テープを前記ウェーハの表面及
び裏面よりそれぞれ該ウェーハの表面及び裏面の端部に
加圧する一対の端部用加圧手段と、前記テープ折り曲げ
具より離れた位置に配設され、前記加工テープを前記ウ
ェーハの端面に加圧する端面用加圧手段とを備え、ウェ
ーハの表面及び裏面の端部を同時に加工すると共に、ウ
ェーハの端面も同時に加工することを特徴とするウェー
ハの加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17645098A JP2000005997A (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | ウェーハの加工方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17645098A JP2000005997A (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | ウェーハの加工方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000005997A true JP2000005997A (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=16013927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17645098A Pending JP2000005997A (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | ウェーハの加工方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000005997A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008518792A (ja) * | 2004-10-15 | 2008-06-05 | 株式会社東芝 | 研磨装置及び研磨方法 |
-
1998
- 1998-06-23 JP JP17645098A patent/JP2000005997A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008518792A (ja) * | 2004-10-15 | 2008-06-05 | 株式会社東芝 | 研磨装置及び研磨方法 |
| US7744445B2 (en) | 2004-10-15 | 2010-06-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Polishing apparatus and polishing method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040929 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041026 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041220 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050322 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |