JP2000005504A - 膜脱気モジュール及びこれを用いた脱気装置 - Google Patents
膜脱気モジュール及びこれを用いた脱気装置Info
- Publication number
- JP2000005504A JP2000005504A JP17260198A JP17260198A JP2000005504A JP 2000005504 A JP2000005504 A JP 2000005504A JP 17260198 A JP17260198 A JP 17260198A JP 17260198 A JP17260198 A JP 17260198A JP 2000005504 A JP2000005504 A JP 2000005504A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- membrane
- degassing
- housing
- module
- deaerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 膜脱気装置を複数配置する場合、配管等
による脱気に寄与しない部分を小さくし、液ロス量を少
なくできるようにする。 【解決手段】 ハウジング１１の内部には脱気膜１２が
収納されている。脱気膜１２の両側には、圧力調整部１
３、１４が設けられており、一方圧力調整部１３には、
塗工液が流入又は流出する入出ノズル１５が設けられて
いる。ハウジング１１内を真空にするための真空用配管
１６が貫通して設けられている。圧力調整部１３の反対
側のハウジング１１には、接続部１７が形成されてお
り、この接続部１７は、接続部１７同士を互いに接続で
きるようになっている。接続部１７ａ、１７ｂ同士が溶
接により接続されている。
による脱気に寄与しない部分を小さくし、液ロス量を少
なくできるようにする。 【解決手段】 ハウジング１１の内部には脱気膜１２が
収納されている。脱気膜１２の両側には、圧力調整部１
３、１４が設けられており、一方圧力調整部１３には、
塗工液が流入又は流出する入出ノズル１５が設けられて
いる。ハウジング１１内を真空にするための真空用配管
１６が貫通して設けられている。圧力調整部１３の反対
側のハウジング１１には、接続部１７が形成されてお
り、この接続部１７は、接続部１７同士を互いに接続で
きるようになっている。接続部１７ａ、１７ｂ同士が溶
接により接続されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、溶存気体を除去す
る脱気装置に関し、さらに詳しくは、多段に配置した場
合に好適な膜脱気モジュール及びこれを用いた脱気装置
に関するものである。
る脱気装置に関し、さらに詳しくは、多段に配置した場
合に好適な膜脱気モジュール及びこれを用いた脱気装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】溶存気体量の多い塗工液は、塗布中に塗
布機において気泡が発生し易く、発生した気泡は筋やハ
ジキ故障の原因となる。したがって、塗工液を塗布機に
送る前に、塗工液中の溶存気体を除去しておく必要があ
り、この塗工液の溶存気体を除去する手段としては、特
開平６−１５２５４号公報で開示されているように、例
えば、図３に示すような膜脱気装置を使用するものがあ
った。
布機において気泡が発生し易く、発生した気泡は筋やハ
ジキ故障の原因となる。したがって、塗工液を塗布機に
送る前に、塗工液中の溶存気体を除去しておく必要があ
り、この塗工液の溶存気体を除去する手段としては、特
開平６−１５２５４号公報で開示されているように、例
えば、図３に示すような膜脱気装置を使用するものがあ
った。
【０００３】この膜脱気装置２０は、ハウジング２１内
に脱気膜２２が収納されるとともに、脱気膜２２の両側
に圧力調整部２３、２４が設けられ、圧力調整部２３に
は塗工液の流入ノズル２５が、圧力調整部２４には塗工
液の流出ノズル２６が連結されており、さらにハウジン
グ２１内を真空にする真空ポンプ（図示せず）が連結さ
れる配管２７が連結されている。
に脱気膜２２が収納されるとともに、脱気膜２２の両側
に圧力調整部２３、２４が設けられ、圧力調整部２３に
は塗工液の流入ノズル２５が、圧力調整部２４には塗工
液の流出ノズル２６が連結されており、さらにハウジン
グ２１内を真空にする真空ポンプ（図示せず）が連結さ
れる配管２７が連結されている。
【０００４】そして、脱気能力の向上を目的としてスケ
ールアップする場合、特開平５−８４４７４号公報、特
開平９−２５３４５９号公報等で開示されているよう
に、多数多段の膜脱気装置を並列及び直列に接続配管を
用いて配置して脱気することが行われており、例えば、
図４に示すように、２台の膜脱気装置２０の流出ノズル
２６同士を接続配管３１で接続するとともに、流入ノズ
ル２５同士を接続配管３２で接続している。
ールアップする場合、特開平５−８４４７４号公報、特
開平９−２５３４５９号公報等で開示されているよう
に、多数多段の膜脱気装置を並列及び直列に接続配管を
用いて配置して脱気することが行われており、例えば、
図４に示すように、２台の膜脱気装置２０の流出ノズル
２６同士を接続配管３１で接続するとともに、流入ノズ
ル２５同士を接続配管３２で接続している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た膜脱気装置を多数多段に配置した場合においては、膜
脱気装置を接続配管を用いて接続しているので、接続配
管の容積及び膜脱気装置内の脱気に寄与していないスペ
ースが大きくなり、液ロス量が増加するものであった。
た膜脱気装置を多数多段に配置した場合においては、膜
脱気装置を接続配管を用いて接続しているので、接続配
管の容積及び膜脱気装置内の脱気に寄与していないスペ
ースが大きくなり、液ロス量が増加するものであった。
【０００６】本発明は、以上の問題点を解決し、膜脱気
装置を複数配置する場合、配管等による脱気に寄与しな
い部分を小さくし、液ロス量を少なくすることができる
膜脱気モジュール及びこれを用いた脱気装置を提供する
ことを目的とする。
装置を複数配置する場合、配管等による脱気に寄与しな
い部分を小さくし、液ロス量を少なくすることができる
膜脱気モジュール及びこれを用いた脱気装置を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の膜脱気モジュー
ルは、塗工液中の溶存気体を除去する脱気膜と、この脱
気膜を収納するハウジングと、前記ハウジングの一方の
端部に互いに接続できるように形成された接続部とを有
することを特徴として構成されている。
ルは、塗工液中の溶存気体を除去する脱気膜と、この脱
気膜を収納するハウジングと、前記ハウジングの一方の
端部に互いに接続できるように形成された接続部とを有
することを特徴として構成されている。
【０００８】本発明の膜脱気モジュールにおいては、従
来用いられている膜脱気装置の塗工液の排出側を加工す
るだけで製作することができ、また、２台の膜脱気モジ
ュールの接続部を互いに接続することで、２台の膜脱気
モジュールを直列に接続することができる。
来用いられている膜脱気装置の塗工液の排出側を加工す
るだけで製作することができ、また、２台の膜脱気モジ
ュールの接続部を互いに接続することで、２台の膜脱気
モジュールを直列に接続することができる。
【０００９】本発明の脱気装置は、請求項１記載の膜脱
気モジュールを２台用い、互いの接続部同士が接続され
ていることを特徴として構成されており、すなわち、塗
工液中の溶存気体を除去する脱気膜と、この脱気膜を収
納するハウジングと、このハウジング内を真空にする真
空手段と、前記ハウジングの一方の端部に互いに接続で
きるように形成された接続部とを有する膜脱気モジュー
ルを２台用い、互いの接続部同士が接続されていること
を特徴として構成されている。
気モジュールを２台用い、互いの接続部同士が接続され
ていることを特徴として構成されており、すなわち、塗
工液中の溶存気体を除去する脱気膜と、この脱気膜を収
納するハウジングと、このハウジング内を真空にする真
空手段と、前記ハウジングの一方の端部に互いに接続で
きるように形成された接続部とを有する膜脱気モジュー
ルを２台用い、互いの接続部同士が接続されていること
を特徴として構成されている。
【００１０】本発明の脱気装置においては、膜脱気モジ
ュールの接続部同士が直接接続されている。したがっ
て、従来のように接続に配管を使用していないので、配
管部分の脱気に寄与しないスペースを無くすことがで
き、また、ハウジング内の脱気に寄与しない部分も小さ
くすることができるので、液ロス量を削減することがで
きる。
ュールの接続部同士が直接接続されている。したがっ
て、従来のように接続に配管を使用していないので、配
管部分の脱気に寄与しないスペースを無くすことがで
き、また、ハウジング内の脱気に寄与しない部分も小さ
くすることができるので、液ロス量を削減することがで
きる。
【００１１】
【発明の実施の形態】ハウジングの接続部同士を接続す
る手段は、溶接、フランジによる接続、融着等、気密に
接続できる手段であれば特に限定されることはなく、各
種接続手段を用いることができる。また、接続部にシー
ル材を設けてもよく、このシール材としては、Ｏリン
グ、テフロンシート等を用いることができ、特に限定さ
れることはない。さらに、ハウジングの材質、形状等
は、特に限定されない。
る手段は、溶接、フランジによる接続、融着等、気密に
接続できる手段であれば特に限定されることはなく、各
種接続手段を用いることができる。また、接続部にシー
ル材を設けてもよく、このシール材としては、Ｏリン
グ、テフロンシート等を用いることができ、特に限定さ
れることはない。さらに、ハウジングの材質、形状等
は、特に限定されない。
【００１２】脱気膜は、中空糸型、平膜型、スパイラル
型等、各種形式のものを使用することができ、また、非
多孔質であっても、多孔質であってもよい。
型等、各種形式のものを使用することができ、また、非
多孔質であっても、多孔質であってもよい。
【００１３】脱気装置においては、ハウジング内を真空
にするためハウジングに真空ポンプ連結することが必要
であるが、この真空ポンプの連結は、２台の膜脱気モジ
ュールのそれぞれに設けてもよく、１台の真空ポンプを
２台の膜脱気モジュールに連結してもよい。
にするためハウジングに真空ポンプ連結することが必要
であるが、この真空ポンプの連結は、２台の膜脱気モジ
ュールのそれぞれに設けてもよく、１台の真空ポンプを
２台の膜脱気モジュールに連結してもよい。
【００１４】本発明による脱気膜モジュール及びこの脱
気モジュールを用いた脱気装置の一実施形態を図面を参
照して説明する。
気モジュールを用いた脱気装置の一実施形態を図面を参
照して説明する。
【００１５】図１は脱気膜モジュール１の斜視図、図２
は図１の膜脱気モジュールを用いて作製された脱気装置
の斜視図である。
は図１の膜脱気モジュールを用いて作製された脱気装置
の斜視図である。
【００１６】図１において、１１は円筒状に形成された
ハウジングで、このハウジング１１の内部には脱気膜１
２が収納されている。この脱気膜１２の両側には、圧力
調整部１３、１４が設けられており、一方の圧力調整部
１３には、塗工液が流入又は流出する入出ノズル１５が
設けられている。また、ハウジング１１内を真空にする
ための真空用配管１６が貫通して設けられており、この
真空用配管６は真空ポンプ（図示せず）に連結されてい
る。
ハウジングで、このハウジング１１の内部には脱気膜１
２が収納されている。この脱気膜１２の両側には、圧力
調整部１３、１４が設けられており、一方の圧力調整部
１３には、塗工液が流入又は流出する入出ノズル１５が
設けられている。また、ハウジング１１内を真空にする
ための真空用配管１６が貫通して設けられており、この
真空用配管６は真空ポンプ（図示せず）に連結されてい
る。
【００１７】また、圧力調整部１３の反対側のハウジン
グ１１には、接続部１７が形成されており、この接続部
１７は、接続部１７同士を互いに接続できるようになっ
ている。すなわち、２台の脱気膜モジュールの接続部１
７同士を接続できるものである。また、圧力調整部１４
には、塗工液が流入又は流出する入出孔１８が形成され
ている。
グ１１には、接続部１７が形成されており、この接続部
１７は、接続部１７同士を互いに接続できるようになっ
ている。すなわち、２台の脱気膜モジュールの接続部１
７同士を接続できるものである。また、圧力調整部１４
には、塗工液が流入又は流出する入出孔１８が形成され
ている。
【００１８】以上のような脱気膜モジュール１を２台組
み合わせて図２に示すような脱気装置を作製する。この
図に示す脱気装置は、２台の脱気膜モジュール１ａ、１
ｂを組み合わせたもので、脱気膜モジュール１ａ、１ｂ
の接続部１７ａ、１７ｂ同士を溶接により接続したもの
である。そして、一方（図中下側）の脱気膜モジュール
１ａを塗工液の流入側とするとともに、他方（図中上
側）の脱気膜モジュール１ｂを塗工液の流出側とし、入
出ノズル１７ａに塗工液が流入し、入出ノズル１７ｂか
ら塗工液が流出するようになっている。
み合わせて図２に示すような脱気装置を作製する。この
図に示す脱気装置は、２台の脱気膜モジュール１ａ、１
ｂを組み合わせたもので、脱気膜モジュール１ａ、１ｂ
の接続部１７ａ、１７ｂ同士を溶接により接続したもの
である。そして、一方（図中下側）の脱気膜モジュール
１ａを塗工液の流入側とするとともに、他方（図中上
側）の脱気膜モジュール１ｂを塗工液の流出側とし、入
出ノズル１７ａに塗工液が流入し、入出ノズル１７ｂか
ら塗工液が流出するようになっている。
【００１９】
【実施例】［実施例１］図２に示す脱気装置を用いて塗
工液の脱気を行った。
工液の脱気を行った。
【００２０】〈脱気条件〉 塗 工 液 ：有機溶剤系塗工液 減 圧 弁 ：１０ｔｏｒｒ 送液ポンプ ：プランジャーポンプ 塗工液加熱温度：４０℃ 送 液 量 ：１ｌ／ｍｉｎ
【００２１】［従来例１］図４に示す膜脱気装置を２台
並列に設けた脱気装置を用いて塗工液の脱気を行った。
その他の条件は、実施例１と同一である。
並列に設けた脱気装置を用いて塗工液の脱気を行った。
その他の条件は、実施例１と同一である。
【００２２】〈結果〉脱気に関わる液量を比較した結果
を表１に示す。
を表１に示す。
【表１】
【００２３】表１に示す通り、実施例１は従来例１より
脱気に関わる液量が(３.６−２.５)１．１１少なくて済
むものであった。この１．１１は接続配管及びデッドス
ペースに関わるものである。以上のように、実施例１で
は液ロス量を約３０％削減することができた。
脱気に関わる液量が(３.６−２.５)１．１１少なくて済
むものであった。この１．１１は接続配管及びデッドス
ペースに関わるものである。以上のように、実施例１で
は液ロス量を約３０％削減することができた。
【００２４】溶存酸素残存率を比較した結果を表２に示
す。
す。
【表２】
【００２５】溶存酸素残存率（％）＝（脱気液溶存酸素
量／未脱気液溶存酸素量）×１００
量／未脱気液溶存酸素量）×１００
【００２６】表２に示す通り、実施例１は溶存酸素残存
率が低下しており、脱気能力も向上させることができ
た。
率が低下しており、脱気能力も向上させることができ
た。
【００２７】
【発明の効果】本発明は、膜脱気モジュールを連結して
使用する際、配管等により脱気に寄与した部分を可能な
限り少なくすることにより、液ロス量を大幅に削減する
ことができ、従来に比して３０％以上削減できるもので
あった。
使用する際、配管等により脱気に寄与した部分を可能な
限り少なくすることにより、液ロス量を大幅に削減する
ことができ、従来に比して３０％以上削減できるもので
あった。
【図１】 本発明による脱気膜モジュールの一例の斜視
図である。
図である。
【図２】 本発明による脱気装置の一例の斜視図であ
る。
る。
【図３】 従来の膜脱気装置の斜視図である。
【図４】 従来の膜脱気装置を２台連結した状態の脱気
装置のブロック図である。
装置のブロック図である。
１ 膜脱気モジュール １１ ハウジング １２ 脱気膜 １３ 圧力調整部 １４ 圧力調整部 １５ 入出ノズル １６ 真空用配管 １７ 接続部
Claims (2)
- 【請求項１】 塗工液中の溶存気体を除去する脱気膜
と、この脱気膜を収納するハウジングと、前記ハウジン
グの一方の端部に互いに接続できるように形成された接
続部とを有することを特徴とする膜脱気モジュール。 - 【請求項２】 請求項１記載の膜脱気モジュールを２台
用い、互いの接続部同士が接続されていることを特徴と
する脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17260198A JP2000005504A (ja) | 1998-06-19 | 1998-06-19 | 膜脱気モジュール及びこれを用いた脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17260198A JP2000005504A (ja) | 1998-06-19 | 1998-06-19 | 膜脱気モジュール及びこれを用いた脱気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000005504A true JP2000005504A (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=15944891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17260198A Pending JP2000005504A (ja) | 1998-06-19 | 1998-06-19 | 膜脱気モジュール及びこれを用いた脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000005504A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007262583A (ja) * | 1998-11-09 | 2007-10-11 | Ebara Corp | めっき方法及び装置 |
-
1998
- 1998-06-19 JP JP17260198A patent/JP2000005504A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007262583A (ja) * | 1998-11-09 | 2007-10-11 | Ebara Corp | めっき方法及び装置 |
| JP4611341B2 (ja) * | 1998-11-09 | 2011-01-12 | 株式会社荏原製作所 | めっき方法及び装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4729773A (en) | Unit for degassing liquids | |
| KR100379648B1 (ko) | 레지스트처리방법및레지스트처리장치 | |
| KR20150091891A (ko) | 비결정질 불소수지 중공사튜브를 이용한 탈기장치 및 그 제조법 | |
| JP2000005504A (ja) | 膜脱気モジュール及びこれを用いた脱気装置 | |
| JP2780331B2 (ja) | 液体の脱気方法 | |
| JP2000275229A (ja) | 脱気装置 | |
| JP2001070707A (ja) | 脱気装置 | |
| JP2004022572A (ja) | 基板処理装置および不活性ガス濃度制御方法 | |
| JP3847909B2 (ja) | 脱気装置及び脱気方法 | |
| JPH11333206A (ja) | 脱気装置 | |
| JPH03286902A (ja) | ボイラー用脱気システム | |
| JP2001087601A (ja) | 真空脱気装置 | |
| JPH06254304A (ja) | 感光性塗布液の脱気方法及び装置 | |
| TWI724641B (zh) | 基板處理裝置 | |
| CN220834251U (zh) | 试剂处理装置及检测设备 | |
| JPH1147670A (ja) | 送液方法 | |
| KR20180131060A (ko) | 액체용 탈기 장치 | |
| JPH1199382A (ja) | 純水供給システム及び洗浄装置 | |
| JPH0630673U (ja) | ガストラップ差圧設定装置 | |
| JPH11333229A (ja) | 基板処理装置のフィルタ | |
| SU1204573A1 (ru) | Деаэратор | |
| JP2008086984A (ja) | 脱気水の連続製造供給装置 | |
| JPH05289036A (ja) | 脱気装置を組込んだ液晶供給装置とその運転方法 | |
| JPH07231Y2 (ja) | ２段式脱酸素装置 | |
| JP3973064B2 (ja) | 脱気装置 |