FR2518295A1 - Systeme de detection de defauts de focalisation optique - Google Patents
Systeme de detection de defauts de focalisation optique Download PDFInfo
- Publication number
- FR2518295A1 FR2518295A1 FR8220396A FR8220396A FR2518295A1 FR 2518295 A1 FR2518295 A1 FR 2518295A1 FR 8220396 A FR8220396 A FR 8220396A FR 8220396 A FR8220396 A FR 8220396A FR 2518295 A1 FR2518295 A1 FR 2518295A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- reading
- radiation
- lenses
- optical focusing
- defect detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 28
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 25
- 101100181929 Caenorhabditis elegans lin-3 gene Proteins 0.000 claims 1
- 241000219739 Lens Species 0.000 description 60
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- BSFODEXXVBBYOC-UHFFFAOYSA-N 8-[4-(dimethylamino)butan-2-ylamino]quinolin-6-ol Chemical compound C1=CN=C2C(NC(CCN(C)C)C)=CC(O)=CC2=C1 BSFODEXXVBBYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000272814 Anser sp. Species 0.000 description 1
- 235000014647 Lens culinaris subsp culinaris Nutrition 0.000 description 1
- 101100115146 Mus musculus Ctif gene Proteins 0.000 description 1
- 235000012093 Myrtus ugni Nutrition 0.000 description 1
- PVNIIMVLHYAWGP-UHFFFAOYSA-N Niacin Chemical compound OC(=O)C1=CC=CN=C1 PVNIIMVLHYAWGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000061461 Tema Species 0.000 description 1
- 101100115147 Xenopus tropicalis ctif gene Proteins 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000008267 milk Substances 0.000 description 1
- 210000004080 milk Anatomy 0.000 description 1
- 235000013336 milk Nutrition 0.000 description 1
- VOVZXURTCKPRDQ-CQSZACIVSA-N n-[4-[chloro(difluoro)methoxy]phenyl]-6-[(3r)-3-hydroxypyrrolidin-1-yl]-5-(1h-pyrazol-5-yl)pyridine-3-carboxamide Chemical compound C1[C@H](O)CCN1C1=NC=C(C(=O)NC=2C=CC(OC(F)(F)Cl)=CC=2)C=C1C1=CC=NN1 VOVZXURTCKPRDQ-CQSZACIVSA-N 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000009991 scouring Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
- G11B7/0909—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only by astigmatic methods
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Lenses (AREA)
- Focusing (AREA)
Abstract
IL S'AGIT D'UN SYSTEME DE DETECTION DE DEFAUTS DE FOCALISATION OPTIQUE MUNI D'UN DETECTEUR SENSIBLE A RAYONNEMENT 15 COMPOSE DE QUATRE DETECTEURS PARTIELS A, B, C, D ET D'UN SYSTEME DE LENTILLES ASTIGMATIQUES, PREVU ENTRE LE DETECTEUR 15 ET UN SYSTEME D'OBJECTIF 11, DONT LE DEFAUT DE FOCALISATION DOIT ETRE DETECTE. SI LE SYSTEME ASTIGMATIQUE EST CONSTITUE PAR DEUX LENTILLES CYLINDRIQUES 17, 18; 17, 18 PRESENTANT DES AXES PERPENDICULAIRES ENTRE EUX ET DES PUISSANCES DIFFERENTES DISPOSEES DANS UN FAISCEAU NON COLLIMATE, LE SIGNAL DE DEFAUT DE FOCALISATION AINSI OBTENU EST LINEAIRE AUTOUR DU POINT ZERO ET SYMETRIQUE. APPLICATION: DISPOSITIF SERVANT A LA LECTURE ET A L'ENREGISTREMENT D'INFORMATION DANS UN PORTEUR D'ENREGISTREMENT.
Description
"Système de détection de défauts de focalisation optique" L'invention
concerne un système de détection de défauts de focal isation optique servant à dét err'd ner deés écarts se produisant
en-tre 'le plan de représentation d'un syst'celc d'objectif dans un sys-
t-ne optique et unte face rèflectrices de rayonnement dans ledit sys-
OS t face sur laquelle doit étire effectuée la représentation, le syst-re de détectiron de -_If-uts de Afoea I Lsat Jori étant muni d'une
-ou-re de ïvayonoesient, I syo-tème d'objectif, d'un systÈfle ast-igi-ia-
ti i alé, iu par dea ix r 1 a-ItîIles c lin rique disposés dans le
trià -,t 4 i un faïsceau rarl -5-ar la face réfiectrîce et tun dé'tec-
tnîir Serisr Th à r n'-'rn eomposé de quatre détecteurs partiels.
lin i cl <Éeection de défautls dle focalisation peuti Dtr'e 1 It A Iis l L' m v e fïtisceêau dic lectulrecoiuelmn to-s ur 2 a vv 1 'rfra o danis un dispositif conç,u
PUa ' ed 'neot"rw'u itrmn présentant une struc-
i 5 tiure d' iso t Cén Ief eetr Jeîca cde rpayonnement lisible par voie opti-
jn te Id sît f die leture cottnnu, entre autees du bre-
itdes, 4 tt 02 d Aurlue,_)1549(Ce dispositif est uti-
l per exîai r ln etr dun porteur d'enjregistreîaent dans leqcuel est séun pro-graïimie vidéo La structure d'i Lnfrorrma-ttion est c;nsttueepar url ti 3 rand nom D Lbre de domaines d'infoiniatio-n qui, vu dans la directien de la piste, alternent avec des domaines intrméiaies Lesdits dom Faines peiéient ktre arrangés suivant une
pi:nte spiralée LC 3 domaines difr tonexercent une autre influ-
ence sur le faisceau de lecturea que les domaises intermjédiai res.
L 'infojrmat ion peut être codée_ oui vant la fréquence des domaines drinformation et/ou dans le rapport, de la longueur de ces domaines par rapport a celles des domaines intermédiaires L 'information peuti également être codée sous forme noexérique Outre l'information vidéo et audio, de l'information numérique, par exemple celle provenant d'une calculeuse ou destinée à cette dernière peut être emmagasinée
dans le porteur d'enregistremient.
Pour que la durée de reproduction du porteur d'enregistrement -2- soit suffisamment longue pour des dimensions limitées de ce porteur,
les détails de la structure d'information doivent être très petits.
C'est ainsi que lorsqu'un programme vidéo de trente minutes est em-
magasiné dans une face d'un porteur d'enregistrement en forme de disque circulaire dans une région annulaire d'un rayon extérieur d'environ 15 cm et d'un rayon intérieur d'environ 6 cm, la largeur
des pistes est d'environ 0,6 micron et la longueur moyenne des do-
maines d'information se situe dans la proximité de 1 micron.
Afin de pouvoir lire ces petits détails, il faut utiliser un
système d'objectif présentant une assez grande ouverture numérique.
Toutefois, la profondeur de netteté d'un tel système d'objectif est
petite Du fait que dans le dispositif de lecture il peut se produi-
re des variations, supérieures à la profondeur de netteté, dans la distance comprise entre à face de la strcture d'information et le systeme d'objectif, il faut prendre des précautions afin de pouvoir détecter ces variations et de cdrriger la focalisation à l'aide de
ces dernières.
A cet effet, le faiseeau de lecture provenant du porteur d'enregistrement peut tre rendu astigmatique, par exemple à l'aide
d'une lentille cylindrique Entre les lignes focales du système as-
tigmatique, formé par le système d'objectif et la lentille cylindri que peut être appliqué un détecteur sensible à rayonnement composé de quatre détecteurs partiels Dans le cas d'une variation de la position de la face de la strueture d'information par rapport au
système d'objectif, la forme de la tache d'image formée sur le dé-
tecteur composé subit des variations Cette variation de forme peut être détectée par combinaison convenable des signaux de sortie des
détecteurs partiels.
Un tel système de détection de défauts de focalisation peut être utilisé non seulement dans le dispositif servant à la lecture d'un porteur d'enregistrement réflecteur de rayonnement mais, d'une façon générale, dans des systèmes optiques dans lesquels doivent être détectés des écarts se produisant entre la position requise et la position réelle d'une face réflectrice des rayonnements destinée
à la représentation A ce sujet, on pense aux microscopes, aux sys-
tèmes utilisés pour la réalisation de circuits integrés, aux systè-
mes destinés à la projection d'un masque sur un substrat etc. -3- Le système de détection de défauts de focalisation muni d'une seule lentille cylindrique délivre un signal qui n'est pas idéal du point de vue technique de réglage La caractéristique donnant les
variations du signal de défaut de foealisation en fonction de l'é-
cart se produisant entre le plan de focalisation requis et le plan de focalisation réel est courbée et, en outre, asymétrique autour du point zéro Les variations non-linéaires résultent du fait que le faisceau présente deux convergences différentes dans des directions perpendiculaires entre elles L'asymétrie de la caractéristique est provoquée par les positions non-symétriques, par rapport au plan
des détecteurs partiels, des représentations de l'ouverture du sys-
tème d'objectif Cette asymétrie est surtout grave lorsque le détec-
teur sensible à rayonnenent est appliqué à une assez grande distance
du systkme d'objectif, situation qui peut se produire dans un dispo-
sitif d'enregistrement ou de lecture dans lequel seul un système
d'objectif est déplacé de faton mobile et les autres éléments opti-
* ques du dispositif sont disposes de façon fixe.
Le brevet des Etats-Unis d'Afmrique N 4 025 949 propose i'3 méliorer la earacteristique du signal des défauts de focalisation par utilisation de deux lentilles cylindriques de puissances égales,
dont les axes cylindriques Sont perpendiculaires entre eux, lentil-
les qui sont disposées dans unm faisceau parallèle Ainsi, on obtient
un faisceau qui présente la même convergence dans deux plans perpen-
diculaires entre eux, de sorte que le signal de défaut de foealisa-
tion présente une variation linéaire autour du point zéro Ainsi, les représentations de l'ouverture d'objectif ne se situent pas non plus de façon symétrique par rapport au plan du détecteur, de sorte
que le signal est toujours asymétrique.
La présente invention vise à fournir un système de détection de défauts de foealisation délivrant un signal qui est tant linéaire autour du point zéro que symétrique, non seulement autour du point zéro mais également plus loin Le système conforme à l'invention est caractérisé en ce que les deux lentilles cylindriques sont disposées
dans un faisceau non collimaté et présentent des puissances diffé-
rentes de façon que la représentation de l'ouverture du systèmne d'objectif formée à l'aide de ces lentilles soient symétriques par rapport au plan du détecteur, et que le faisceau provenant de ces -4-
lentilles présente des convergences égales dans deux plans perpendi-
culaires entre eux.
Une première forme de réalisation préférentielle du système de détection de défauts de focalisation est caractérisée en ce que les
deux lentilles cylindriques sont disposées dans un faisceau conver-
gent et présentent toutes les deux des lentilles négatives.
Une deuxième forme de réalisation d'un système de détection de
défauts de focalisation est caractérisée en ce que les deux lentil-
les cylindriques sont disposées dans un faisceau divergent et les
deux lentilles sont positives.
Le système de détection de défauts de focalisation peut très avantageusement être appliqué à un dispositif de lecture ou à un dispositif d'enregistrement et de lecture combiné, dans lequel le détecteur du système de détection de défauts de focalisation est
disposé à grande distance du système d'objectif.
La description ci-après, en se référant aux dessins annexés,
le tout donné à titre d'exemple non limitatif, fera bien comprendre
comment l'invention peut être réalisée.
La figure 1 montre un dispositif de lecture muni d'un systèe
de détection de défauts de focalisation.
La figure 2 montre le détecteur sensible à rayonnement utilisé
dans ce dispositif.
Les figures 3 a et 3 b illustrent les variations d'un faisceau
de rayonnement dans un système de détection de défauts de focalisa-
tion connu muni d'une seule lentille cylindrique.
La figure 4 représente la caractéristique d'un signal de dé-
faut de focalisation d'un système de détection muni d'une seule len-
tille cylindrique.
Les figures 5 a et 5 b montrent les variations d'un faisceau de rayonnement dans un système de détection de défauts de focalisation
muni de deux lentilles cylindriques conformes à l'invention.
La figure 6 représente la caractéristique du signal de défaut
de focalisation de ce système de détection de défauts de focalisa-
tion, et
La figure 7 montre un dispositif d'enregistrement et de lec-
ture combiné muni de deux systèmes de détetion de défauts de focali-
sation conformes à l'invention.
-5-
La figure i montre en coupe ra-diale un porteur d'enregistre-
ment en forme de disque ciruaire 1 La structure d'information est indiquée par les pistes dlf atio 21 Le porteur d enregistremient est expose a un faisvceau Lie le 6 provenant de la source de
rayoinn-rioeet 5, qui rqeil fte Ioror Ale Dar un laser à gaz, Coriú,e un la-
ser du genre fie-Nc, rou un la d diode serdiconductrice, comme un laser, U Iaa N syitked -1 oîbjectl qui pour la clartcé du dessin, est in 4 ' N par une sele 1 1 I ci as-ure la focalisati on du f iua de lectu re, er de- 1 -t '12 l dans le plai des C it 2 rao dlmoun ri lentille au;rili iaire
eventuelîric-rt iî_ nen Lo N 9) de Ca Co; ai assurer le remrplis-
sage e bleUc i ' " t'es d'objectif de laçon que la (t tj par diffraction coi-r r -' '--ne a îi Sti d'objecto-if Le foi 't '1 'rite ef l Zc h Jar 'e o u 'neitmn et <'L a tc V 1 Que table pivotante 3 i t ' c'''ur il ses one N con ordiance avec 1
j,-, le, l A-ist' lirîe.
o * 7,,u eli'w't qefflt diviseur die f-il -n t I o; nnust oie arayonnement -15
Ainsi f l -;r ue ltélcnent divi -
pereutta tii'-e r iiarsn'asaetais grs 1 crent p;r -it t W -î r Sensible la polarisation Dans le deener a, r ' \ 4 ' nd 14 est inserse dains le trajlet, de rycanemct \' 's t ritlaongueur d'onde du failsceau de afinri t t' '*-'-trde a se produisant entre le plan de %c k'I 1 i i' ec f l plaki de la l Struc i'- rnk 1, c'U td'f <b Pe e ' fc 'a'isaci ion, un sys L tème 2 Qastg SmîA' e b(,,,t-t "-Fiir l -arayonnement derrière le dlv' 'rlr'e ra 1 eeeau et -n "-e-i o Ys de quatre détecteurs Partiels e 3 t ut-ilz 6 'jrx'1 'j D Syïst 11 c -de dc''ec-i;on Ce détecteur est représert 6, sur la figure 2 L'opticiue astigmtique fioryanle par le système d'objectif il et le sjstcfine 16 assure la représentation de la tache de lecture 12 ci eux lignes f'ocales asthratiques 19 et 20,
dont l'une, 20, se situe dians le plan du dessin et la seconde, 19,.
est perpendiculaire à ce plan Le détecteur 15 est disposé dans un -6-
plan qui, vu suivant l'axe optique, se situe entre les lignes foca-
les 19 et 20 Les lignes séparatrices entre les détecteurs partiels
A, B, C et D font un angle de 45 avec les lignes focales astigmati-
ques 19 et 20 et sont de préférence respectivement parallèles et perpendiculaires à la direction de la piste à l'endroit de la tache
de lecture.
La forme de la tache de rayonnement 12 ' formée sur le détec-
teur 15 est déterminée par le degré de focalisation du faisceau 6 sur la face d'information Dans le cas d'une focalisation requise, cette tache de rayonnement est circulaire, comme l'indique la figure
2 par un cercle en traits pleins Lorsqu'il se produit une défocali-
sation, la tache de rayonnement 12 ' présente uine forme allongée, comme il a été indique par des courbes interrompues, la direction
longitudinale de la tache étant déterminee par le signe de la défo-
calisation Si les signaux des détecteurs partiels sont représentes par SA, SB, SC et È, le signal de défaut de focalisation Sf est donné par: sf = + SE (s C+s D) Conforménent à l'invention, le système astigmatique 16 est constitué par deux lentilles cylindriques 17 et 18 présentant des puissances différentes et des axes perpendiecuxlaires entre eux Dans la situation représentée sur la figure 1 o les lentilles 18 et 19 sont disposées dans un faisceau convergent, ces lentilles sont des lentilles négatives Si les lentilles étaient disposées dans En faisceau divergent, elles devraient tre positives Dans le dernier cas, o un faisceau divergent doit être converti en un faiseeau
convergent, il faut que les lentilles 17 et 18 présentent une puis-
sance plus élevée que dans le cas o le falsceau est déjà conver-
gent C'est pour cette raison qu'une forme de réalisation présentant un faisceau convergent 6 ' et deux lentilles divergentes 17 et 18 mérite la préférence Les lentilles cylindriques 17 et 18 présentent
des puissances telles que les représentations de l'ouverture du sys-
têne d'objectif formées à l'aide de ces lentilles se situent de fa-
çon symétrique par rapport au plan du détecteur 15.
L'avantage de l'utilisation des deux lentilles cylindriques s'explique le mieux en partant d'un systéme de détection de défaut de focalisation o l'on utilise qu'une seule lentille cylindrique -7-
positive 23, par exemple à la position de la lentille 17 sur la fi-
gure 1 Les figures 3 a et 3 b représentent la partie de la voie de rayonnement à partir de la lentille 23, la figure 3 a représentant une section suivant le plan du dessin de la figure 1 et la figure 3 b une section suivant un plan perpendiculaire au plan du dessin de la figure 1 Les lignes focales astigmatiques sont désignees par 24 et
et la position du détecteur 15 par P 15.
Du fait que la lentille 23 n'exerce qu'un effet de lentille dans iun seul plan, ie plan du dessin de la figure 3 b, la convergence 13 Adu faisceau n'est pas égale dans les deux sections De ce fait, le signal de defaut le o cal-sation presente une allure non lineaire autour du point zéro Sur la figure 4, l'allure de ce signal Sf est represen Cée en fion: on le la dêfoealisation t f De ce Lait, le signal Sf prsast e o N f e ceourbée autour du point zéro, égaiement us, ? omc as-jrtrinue Ceia est da au fait que dans
lc eux plan e,, scon l es fi Jgures 3 a et 3 b, les represen-
r,;i_ns de 'uver,,u jsysteme d'objectif ne se situent pas de façoni ' y":tr e rap x;au plan -15 du détecteuro Lesdites re= prtése-aticns d I Io u Lx se situent aux positions PV et Po H' 2 C L'ol ure d, s igjl fa seion la figure 4 est très désavantageuse
peur Je ser-t,syste,l:? perme;tbtant de corriger la Localisation La fo-
calisation peut;tre corrigée, par exemple par déplacement du systè-
tc di te Ctif.
Or, l'aplieation eonforame à l'invention de deux lentilles cylindriques dans unl faiseeau convergent ou un faisceau divergent permet de disposer d'un premier para ritre réglable, notamment la
position de ees le it 1 les par rapport au système d'objectif Un deu-
xieme paraetire regable consiste dans la puissance des lentilles
cylindriques Un choix app Jopri de ees paramètres permet d'attein-
dre que les eonvergenes du faisceau dans les deux sections soient égales et que le représentation d'ouvertures se situe symétriquement
par rapport au plan du détecteur De ee fait, le signal Sf pré-
sente une allure iinéaire autour du point zéro, et une allure symé-
trique non seulement autour du point zéro mais également plus loin,
comme le montre la figure 6.
Si les deux lentilles cylindriques sont disposées dans un faisceau parallèle, comme le représente le brevet des Etats-Unis -8- d'Amérique No 4 025 949, leurs positions n'influent nullement sur
le trajet des rayons Dans ce cas, seules les convergences du fais-
ceau dans les deux sections peuvent être rendues égales, notamment
par utilisation de lentilles cylindriques à puissance égale.
Les figures 5 a et 5 b représentent le trajet de rayonnement dans un système de détection de défauts de focalisation conforme à
l'invention Les deux lentilles cylindriques négatives sont dési-
gnées par 17 et 18 En l'absence de ces lentilles, le faisceau 6 ' serait focalisé au point 12 ' et l'ouverture du système d'objectif serait représentée à la position P O En présence des lentilles cylindriques 17 et 18, il se forme deux lignes focales as-tigmatiques
19 et 20 La lentille cylindrique 17 représente l'ouverture du sys-
tkme d'objectif dans un plan Pv, qui est éloigne d'une assez gran-
de distance du plan de détection P 15 La lentille cylindrique 18,
qui est plus fortement négative que la lentille 17, représente l'ou-
verture dans un plan PH, qui se situe à gauche du plan de détec-
tion P 15 et est notamment éloigné d'une même distance dudit plan que
Pv Le chiffre 27 désigne une lentille convergente qui est dispo-
sée dans le trajet de rayonnement si le faisceau provenant du systè-
me d'objectif est un faisceau collimaté.
Dans une forme de réalisation pratique du système de détec-
tion de défauts de focalisation selon les figures 5 a et 5 b, qui fut
utilisée dans un dispositif servant à la lecture d'un porteur d'en-
registrement optique, la distance focale de la lentille 17 était d'environ -80 mm, celle de la lentille 18 environ -25 mm et celle de
la lentille 27 environ 100 mm La distance comprise entre les len-
tilles 27 et 18 était d'environ 51 mm et celle comprise entre les lentilles 17 et 19 environ 33 mm La distance comprise entre P 15 et
la lentille 18 était d'environ 64 mm.
Outre dans un dispositif servant à la lecture d'un porteur
d'enregistrement enregistré, l'invention peut également être appli-
quee à un dispositif conçu pour l'enregistrement d'un porteur d'en-
registrement et à un dispositif d'enregistrement et de lecture com-
biné La figure 7 représente schématiquement une forme de réalisa-
tion du dispositif mentionné en dernier lieu Deux taches de rayon-
nement sont formées sur la face d'information qui, vu dans la direc-
tion des pistes 2, sont écartées d'une courte distance, par exemple -9/izn, les unes des Le dj'spositif comporte une première source de rayonnement 5, souc forme d 1 uri laser à diode, délivrant un faisceau de lecture 6 Ce i faiî, partie d'un ensemble dit "broche lwineusc-? i En outre un objectif collimateur )i-î 31 'iii r* j le fai 8 cen-u i 1 e cune len"Ile cylindrique 32
assurant la du î'àisceau de lasser à di-
ode Dans le du pîr Ulêle 6 est disposé un Prisime agir;,é un de faisceau n,:Du Lîe 3 P, et un V Une 6 LUI -Pr I O cur ç, Il qui Alibi (Bainsla Dê j lieîe La C (C _n lieu est _r;_ _ tà S Brève Ilz, -,j Pî*î,-Xls sen sible
ule b e C, 11 e, le pris-
n' l; 101 AleC 1-nnsici 3 ic 'r, C-H abri -ê(i ciez Dnçon-PixeLes j O Se S U' 20 ls F 2 cle le 1 -u < aille alliedui C;
(P 321,
o Le d-, -_î oej CI 8 POI,'-i'lation du:;liele t'ai Ecee_;u est;peu près 56 Aïnsi, es parcourt
triliet i u, le 1,a 6 Outre pour lenregis-
peur, Ure vl'-ilisé pour la
1 eU;re de Preoeilbe d,-iïjs dès préala-
bletlent appiiqiije ',3, ïVi que IL, die la tache de rayomis-
nient peut în% C î-zi C Ureeij Ai 1 radiale C- la direction
tangenti elle.
Le fa J3 Ceéiu lo des lecture f' 'Bois parle " 3 tre captes ar
tirs spy 7 aix 151 et 11-55, de façon à éviter que le rayonne-
ment du faisceau d 1 enregistremen, respectivement du faisceau de
lecture, ne parvenne sui, le dé'i,;ecteur, 15, respectivement sur le dé-
tecteur 15 ' A cet effflelp il faut utiliser des faisceaux présentant -10des directions de polarisation différentes et des éléments sensibles à polarisation dans le trajet des rayons Pour réduire l'éventuelle
diaphotie résiduelle, on préfèere utiliser des lasers à diode émet-
tant des longueurs d'onde différentes, par exemple 840 nm pour le laser d'écriture et 780 n pour le laser de lecture et des filtres à sélectivité de longueurs d'onde 46 et 46 ' sont disposés devant les
détecteurs 15 et 15 '.
Dans le trajet de rayonnement est insérée une lame %/4 d'on-
de fortement sélective 39 assurant la rotation de la direction de polarisation de seul le faisceau d'enregistrement 6 ' Cette lme est traversée deux fois, de sorte que la direction de polaisaton du faisceau 6 ' est tournée en totalité de 90 ', de sorte que le faisceau
d'enregistrement réflécehi par le porteur d'enregistrement est trans-
mis par le prisme 36 Apres passage d'un prisme composé 33, les faisceaux 6 et 6 ' dont la direction de polarisation est identique, atteignet un second prince composé 41 contenant un diviseur de faisceau sensible a polarisation 44 et un prisme reflecteur 42 De vant le prisme eo<-pose 41 est disposee uie la 1 me /2 forteóent s&t lective 40, afin d'assirer u-ne rotation de 90 de la direction de polarisation du se<l faiseeau d'enregistrement 6 ' Ce faisceau est
rfl'fehi par le lj O isx 44 vers le détecteur 15 ' Le faisceau de leè-
tture b est trans is par le pri me 44 et réfléchi ensuite par le
prisme 42 vers le dét-ecteur 15.
Dans le tra Jet du faisceau 6 est disposese lme ientille con-
vergente 45 qui transforme le faiseeau parallèle en un faisceau con-
vergent Confore'/ent a l'invention, afin de déduire un signal de
défaut de focelisation, on a prévu un systeme de ientille stimat-
que 16, constitué par deux lentilles cylindriques p 7 an-eoneces 17 et 18 de puissances ingales préesentant des axes perpendiculaires entre eux et le détecteur 15 est constitué par quatre détecteurs partiels, eomme le montre la figure 2 Outre pour la détection des défauts de focalisation, ces détecteurs peuvent être utilisés pour la lecture de l'information inscrite et pour la détection de défauts
de suite de piste.
De préférence, une lentille 45 ' et deux lentilles cylindri-
ques plan-concaves 17 ' et 18 ' sont prévues dans le trajet du fais-
ceau d'enregistrement b' réfléchi par le prisme 44 et le détecteur -11- ' est constitué par quatre détecteurs partiels Ces détecteurs sont utilisés pour la lecture d'un signal d'horloge present dans des servopistes préalablement appliquées, pour la détection de défauts de suite de piste de la tache d'enregistrement et pour la détection de défauts de focalisation du faisceau d'enregistrement Ainsi, il
est possible de corriger un différence en foyer du faisceau d'enre-
gistrement et du faisceau de lecture.
Comme il ressort de ce qui précède, le système de détec-
tion de défauts de focalisation ne met pas à profit les propriétés spéciales de la structure d'information, du porteur d'enregistrement
ou du dispositif d'enregistrnemnt et/ou de lecture Il ne faut sa-
tisfaire qu'à la seule exigence que la face d'information soit ré-
flectrice C'est pour cette raison que l'invention peut être appli-
quée à toutes sortes de systèmes o tune tache de rayonnement doit être formée sur une face réflectrice On peut songer à un microscope explorateur et un syst'ie co otu pour la projection de configuration de masque sur un substrat pour la réalisation de circuits intégrés etc. -12-
Claims (4)
1 Système de détection de défauts de focalisation optique ser-
vant à déterminer des écarts se produisant entre le plan de repré-
sentation d'un systnème d'objectif dans un système optique et-une
face réflectrice de rayonnement dans ledit système, face sur laquel-
le doit être effectuée la représentation, le système de détection de défauts de focalisation étant muni d'une source de rayonnement, le système d'objectif, d'un système astigmatique constitué par deux
lentilles cylindriques disposés dans le trajet d'un faisceau réflé-
chi par la face réflectrice et un détecteur sensible à rayonnement composé des quatre détecteurs partiels, caractérisé en ce que les deux lentilles cylindriques ( 17, 18; 17 ', 18 ') sont disposées dans un faisceau non collimaté et presentent des puissances de lentille différentes de façon que la représentation de l'ouverture du système d'objectif ( 11) formée à l'aide de ces lentilles soient symétriques par rapport au plan du détecteur (P 15), et que le faisceau provenant de ces lentilles présente des convergences égales dans deux plans
perpendiculaires entre eux.
2 Système de détection de défauts de focalisation optique selon
la revendication 1, caractérisé en ce que les deux lentilles cylin-
driques ( 17, 18; 17 ', 18 ') sont disposés dans un faisceau conver-
gent et elles sont toutes les deux de puissance négative.
3 Système de détection de défauts de focalisation optique selon
la revendication 1, caractérisé en ce que les deux lentilles cylin-
driques ( 17, 18) sont disposées dans un faisceau divergent et elles
sont toutes les deux de puissance positive.
4 Dispositif conçu pour la lecture d'un porteur d'enregistre-
ment ( 1) présentant une structure d'information réflectrice de rayonnement lisible par voie optique, dispositif qui est muni d'une source de rayonnement ( 5) fournissant un faisceau de lecture ( 6),
d'un système d'objectif de lecture ( 11) et d'un déteeteur d'informa-
tion ( 15) sensible à rayonnement, caractérisé en ce qu'il est muni de systèmes de détection de défauts de focalisation optique selon
l'une des revendications précédentes et que le détecteur sensible à
rayonnement ( 15) de ce système constitue simultanément le détecteur d'information.
-1 '3-
Dispositif servant à l'enregistrement et la lecture d'infor- mation dans un porteur d'enregistrciment ( 1), muni d'une prernière source de rayonnement ( 5 ') et d'une seconde source de rayonnement ( 5) fourissant un faisceau d I Gnregistriment ( 6 ') respectivement et un faisreau -e lecture (i S), ccraeî- risé en ce que dans chacun des traiets du ficeudeegsrm t(')et dru faisceau de lecture ( 6) sépar'5 S pi' ent lu porteur d enregistrement ( 1) est inseré Lin 3 seed tcide edatsde; focalisation optique selon liune des rv er i 1 c;aàtio N S I ou S
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8105579A NL8105579A (nl) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | Optisch fokusfoutdetektiestelsel. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2518295A1 true FR2518295A1 (fr) | 1983-06-17 |
| FR2518295B1 FR2518295B1 (fr) | 1988-11-18 |
Family
ID=19838522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR8220396A Expired FR2518295B1 (fr) | 1981-12-11 | 1982-12-06 | Systeme de detection de defauts de focalisation optique |
Country Status (15)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4464741A (fr) |
| JP (1) | JPS58105439A (fr) |
| AT (1) | AT375481B (fr) |
| AU (1) | AU551546B2 (fr) |
| BE (1) | BE895301A (fr) |
| CA (1) | CA1189618A (fr) |
| CH (1) | CH661375A5 (fr) |
| DE (1) | DE3245075A1 (fr) |
| ES (1) | ES8501914A1 (fr) |
| FR (1) | FR2518295B1 (fr) |
| GB (1) | GB2112243B (fr) |
| IT (1) | IT1191117B (fr) |
| NL (1) | NL8105579A (fr) |
| SE (1) | SE8207002L (fr) |
| ZA (1) | ZA828250B (fr) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58141434U (ja) * | 1982-03-19 | 1983-09-22 | パイオニア株式会社 | フオ−カスエラ−検出装置 |
| GB2122835B (en) * | 1982-06-30 | 1986-08-06 | Eastman Kodak Co | Rangefinder |
| JPS59162514A (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 画像走査記録装置における焦点調整方法 |
| US4724533A (en) * | 1984-06-15 | 1988-02-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical head |
| US4742218A (en) * | 1985-03-11 | 1988-05-03 | Hitachi, Ltd. | Focus error detection apparatus utilizing focusing an front and rear sides of focal planes |
| US4732485A (en) * | 1985-04-17 | 1988-03-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical surface profile measuring device |
| US5189651A (en) * | 1986-05-12 | 1993-02-23 | Pioneer Electronic Corporation | Optical system in magneto-optical recording and reproducing device |
| US4799210A (en) * | 1986-11-05 | 1989-01-17 | Unisys Corporation | Fiber optic read/write head for an optical disk memory system |
| DE3802538A1 (de) * | 1987-01-28 | 1988-08-11 | Olympus Optical Co | Vorrichtung zum erfassen von fotomagnetischen signalen |
| US4879706A (en) * | 1987-07-29 | 1989-11-07 | Laser Magnetic Storage International Company | Method and apparatus for focus and tracking in an optical disk system |
| US5195081A (en) * | 1988-04-22 | 1993-03-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical apparatus for effecting recording and/or reproducing of information on/from and optical information recording medium |
| JPH03130940A (ja) * | 1989-05-24 | 1991-06-04 | Kyocera Corp | 光スポット制御方法および制御装置 |
| US5293569A (en) * | 1990-09-13 | 1994-03-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording/reproducing apparatus including an optical head with an optical element having a plurality of prisms |
| US5216562A (en) * | 1990-09-25 | 1993-06-01 | International Business Machines Corporation | Multi-beam optical recording system and method |
| JPH06282861A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-10-07 | Philips Electron Nv | フォーカス最適化方法及び装置 |
| US6064529A (en) * | 1998-07-02 | 2000-05-16 | Optiteck, Inc. | Spherical aberration correction using flying lens and method |
| US6563779B1 (en) | 1999-06-16 | 2003-05-13 | Siros Technologies, Inc. | Tracking error signal generation using confocally filtered detection |
| DE19930628A1 (de) * | 1999-07-02 | 2001-02-01 | Graul Renate | Topographiemeßgerät |
| US6967908B2 (en) * | 2000-09-07 | 2005-11-22 | Pioneer Corporation | Optical pickup device with focus error detecting optical element and method for focus error detection |
| JP5173656B2 (ja) * | 2008-07-31 | 2013-04-03 | 三洋電機株式会社 | 光ピックアップ装置 |
| JP5173659B2 (ja) * | 2008-08-01 | 2013-04-03 | 三洋電機株式会社 | 光ピックアップ装置および光ディスク装置 |
| JP5173953B2 (ja) * | 2008-08-01 | 2013-04-03 | 三洋電機株式会社 | 光ピックアップ装置および光ディスク装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2209460A5 (fr) * | 1972-12-01 | 1974-06-28 | Philips Nv | |
| FR2311326A2 (fr) * | 1974-01-15 | 1976-12-10 | Thomson Brandt | Dispositif de focalisation et lecteur optique comportant un tel dispositif |
| FR2330027A1 (fr) * | 1975-10-28 | 1977-05-27 | Thomson Brandt | Dispositif de focalisation a vergence variable et lecteur optique comportant un tel dispositif |
| JPS5317705A (en) * | 1976-08-02 | 1978-02-18 | Hitachi Ltd | Automatic focusing system |
| JPS5532245A (en) * | 1978-08-25 | 1980-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical recorder and reproducing device |
| US4272651A (en) * | 1978-04-28 | 1981-06-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical system having diode laser light source |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2271590B1 (fr) * | 1974-01-15 | 1978-12-01 | Thomson Brandt | |
| NL182990C (nl) * | 1975-07-07 | 1988-06-16 | Philips Nv | Inrichting voor het uitlezen van een stralingsreflekterende registratiedrager. |
| US4025949A (en) * | 1975-12-31 | 1977-05-24 | Zenith Radio Corporation | Symmetrical astigmatic focus sensing system |
| NL7703077A (nl) * | 1977-03-22 | 1978-09-26 | Philips Nv | Inrichting voor het uitlezen van een stralings- reflekterende registratiedrager. |
| FR2462758A1 (fr) * | 1979-08-03 | 1981-02-13 | Thomson Csf | Dispositif optique d'acces a une piste portee par un support d'information et systeme de memoire optique comportant un tel dispositif |
-
1981
- 1981-12-11 NL NL8105579A patent/NL8105579A/nl not_active Application Discontinuation
-
1982
- 1982-03-03 US US06/354,324 patent/US4464741A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-11-10 ZA ZA828250A patent/ZA828250B/xx unknown
- 1982-12-06 FR FR8220396A patent/FR2518295B1/fr not_active Expired
- 1982-12-06 DE DE19823245075 patent/DE3245075A1/de active Granted
- 1982-12-06 IT IT24630/82A patent/IT1191117B/it active
- 1982-12-08 GB GB08234963A patent/GB2112243B/en not_active Expired
- 1982-12-08 CH CH7168/82A patent/CH661375A5/de not_active IP Right Cessation
- 1982-12-08 SE SE8207002A patent/SE8207002L/ not_active Application Discontinuation
- 1982-12-09 ES ES518027A patent/ES8501914A1/es not_active Expired
- 1982-12-09 BE BE0/209696A patent/BE895301A/fr not_active IP Right Cessation
- 1982-12-09 AT AT0448782A patent/AT375481B/de active
- 1982-12-09 AU AU91359/82A patent/AU551546B2/en not_active Ceased
- 1982-12-09 JP JP57214762A patent/JPS58105439A/ja active Pending
- 1982-12-09 CA CA000417320A patent/CA1189618A/fr not_active Expired
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2209460A5 (fr) * | 1972-12-01 | 1974-06-28 | Philips Nv | |
| FR2311326A2 (fr) * | 1974-01-15 | 1976-12-10 | Thomson Brandt | Dispositif de focalisation et lecteur optique comportant un tel dispositif |
| FR2330027A1 (fr) * | 1975-10-28 | 1977-05-27 | Thomson Brandt | Dispositif de focalisation a vergence variable et lecteur optique comportant un tel dispositif |
| JPS5317705A (en) * | 1976-08-02 | 1978-02-18 | Hitachi Ltd | Automatic focusing system |
| US4272651A (en) * | 1978-04-28 | 1981-06-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical system having diode laser light source |
| JPS5532245A (en) * | 1978-08-25 | 1980-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical recorder and reproducing device |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| PATENTS ABSTRACTS OF JAPAN, vol. 2, no. 55, 21 avril 1978, page 1184 E 78; & JP - A - 53 17705 (HITACHI SEISAKUSHO K.K.) 18-02-1978 * |
| PATENTS ABSTRACTS OF JAPAN, vol. 4, no. 62 (P-10)(544), 9 mai 1980; & JP - A - 55 32245 (MATSUSHITA DENKI SANGYO K.K.) 06-03-1980 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IT1191117B (it) | 1988-02-24 |
| US4464741A (en) | 1984-08-07 |
| CH661375A5 (de) | 1987-07-15 |
| SE8207002L (sv) | 1983-06-12 |
| ATA448782A (de) | 1983-12-15 |
| GB2112243B (en) | 1985-06-19 |
| NL8105579A (nl) | 1983-07-01 |
| FR2518295B1 (fr) | 1988-11-18 |
| JPS58105439A (ja) | 1983-06-23 |
| DE3245075A1 (de) | 1983-06-16 |
| BE895301A (fr) | 1983-06-09 |
| IT8224630A0 (it) | 1982-12-06 |
| DE3245075C2 (fr) | 1991-05-02 |
| SE8207002D0 (sv) | 1982-12-08 |
| GB2112243A (en) | 1983-07-13 |
| AU551546B2 (en) | 1986-05-01 |
| IT8224630A1 (it) | 1984-06-06 |
| AU9135982A (en) | 1983-06-16 |
| ES518027A0 (es) | 1984-12-01 |
| AT375481B (de) | 1984-08-10 |
| ES8501914A1 (es) | 1984-12-01 |
| ZA828250B (en) | 1984-06-27 |
| CA1189618A (fr) | 1985-06-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FR2518295A1 (fr) | Systeme de detection de defauts de focalisation optique | |
| EP0040995B1 (fr) | Dispositif optique d'enregistrement-lecture sur un support d'informations | |
| EP0088671B1 (fr) | Tête optique dans un dispositif d'enregistrement-lecture d'un support d'information | |
| EP0029755B1 (fr) | Dispositif optique stigmatique d'émission-réception de rayonnements cohérents et tête optique d'enregistrement-lecture comprenant un tel dispositif | |
| JP3452113B2 (ja) | 光情報記録装置および方法、光情報再生装置および方法ならびに光情報記録媒体 | |
| FR2466787A1 (fr) | Systeme optique pour la detection de defauts de focalisation | |
| FR2504300A1 (fr) | Dispositif d'enregistrement et de lecture d'information dans des pistes d'information d'un porteur d'enregistrement optique | |
| FR2497990A1 (fr) | Porteur d'information presentant une structure d'information lisible par voie optique | |
| FR2718556A1 (fr) | Appareil formant tête opto-magnétique. | |
| FR2613866A1 (fr) | Appareil d'enregistrement et de reproduction optique d'information | |
| FR2619241A1 (fr) | Procede et dispositif de controle de la mise au point, notamment pour le lecteur de disque optique numerique | |
| JPH10134408A (ja) | 光学記録媒体からの読み出し又は該媒体への書き込み用の装置 | |
| FR2649239A1 (fr) | Systeme de detection d'erreur de focalisation pour tete optique | |
| FR2601173A1 (fr) | Tete de lecture optique pour disques numeriques. | |
| EP0022682B1 (fr) | Tête de lecture optique à source laser à semi-conducteur, et dispositif de lecture par réflexion d'un support d'information comportant une telle tête optique | |
| EP0423295A1 (fr) | Dispositif de lecture optique pour support d'enregistrement optique. | |
| EP0056920A1 (fr) | Dispositif optique d'enregistrement lecture d'un support d'information comportant deux sources laser de longueurs d'onde différentes | |
| US6256271B1 (en) | Focus error signal generation using two polarizers in confocal configuration | |
| US3956582A (en) | Apparatus for reading a record carrier on which information is recorded in at least one track | |
| FR2714512A1 (fr) | Appareil de détection d'un signal d'asservissement d'une tête optique. | |
| JP3626003B2 (ja) | 光学的情報記憶装置 | |
| FR2510292A1 (fr) | Dispositif servant a explorer point par point un objet | |
| US7518973B2 (en) | Holographic optical information reproducing apparatus | |
| JP3956101B2 (ja) | ホログラム用光学ユニット及びその光軸調整方法 | |
| NL8401136A (nl) | Optische kop. |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ST | Notification of lapse |