CH661375A5 - Optisches fokusfehlerdetektorsystem. - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein optisches Fokusfehlerdetektorsystem nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Ein derartiges Fokusfehlerdetektorsystem kann in einer Vorrichtung zum Lesen eines Aufzeichnungsträgers mit einer optisch lesbaren, strahlungsreflektierenden Datenstruktur zum ständigen Fokussieren des Lesebündels auf die Datenstruktur benutzt werden.

Eine derartige Lesevorrichtung ist u.a. aus der US-PS 4 025 949 bekannt. Diese Vorrichtung dient beispielsweise zum Lesen eines Aufzeichnungsträgers, in dem ein Videoprogramm gespeichert ist. Die Datenstruktur besteht dabei aus einer Vielzahl von Datengebieten, die in der Spurrichtung mit Zwischengebieten abwechseln. Die erwähnten Gebiete können beispielsweise entlang einer spiraligen Spur angeordnet sein. Die Datengebiete beeinflussen ein Lesebündel anders als die Zwischengebiete. Die Daten können in der Frequenz der Datengebiete und/oder im Verhältnis der Länge dieser Gebiete zu der der Zwischengebiete codiert sein. Die Daten können auch digital codiert sein. Ausser Video- und Audiodaten können am Aufzeichnungsträger auch Digitaldaten, beispielsweise von und zu einem Rechner, gespeichert sein.

Für eine ausreichende Spieldauer des Aufzeichnungsträgers werden bei beschränkten Abmessungen dieses Trägers die Einzelheiten der Datenstruktur besonders klein sein. So beträgt beispielsweise, wenn ein Videoprogramm von 30 Minuten an einer Seite eines runden, scheibenförmigen Aufzeichnungsträgers in einem ringförmigen Gebiet mit einem Aussenradius von etwa 15 Zentimeter und einem Innenradius von etwa 6 Zentimeter gespeichert ist, die Spurbreite etwa 0,6 Mikrometer und beträgt die mittlere Länge der Datengebiete etwa ein Mikrometer.

Zur Ermöglichung des Lesens dieser kleinen Details ist ein Objektivsystem mit einer verhältnismässig grossen numerischen Öffnung zu verwenden. Die Schärfetiefe eines derartigen Objektivsystems ist jedoch gering. Da in der Lesevorrichtung Schwankungen im Abstand von der Fläche der Datenstruktur zum Objektivsystem auftreten können, die grösser als die Schärfetiefe sind, sind Massnahmen zu treffen, um diese Schwankungen detektieren und damit die Fokussierung nachstellen zu können.

Hierzu kann das vom Aufzeichnungsträger herrührende Lesebündel mit Hilfe beispielsweise einer Zylinderlinse astigmatisch gemacht werden. Zwischen den Brennlinien des astigmatischen Systems, das vom Objektivsystem und von der Zylinderlinse gebildet wird, kann ein aus vier Teildetektoren zusammengesetzter, strahlungsempfindlicher Detektor angeordnet werden. Bei Schwankungen in der Position der Fläche der Datenstruktur gegen das Objektivsystem ändert sich die Form des auf den zusammengesetzten Detektor gebildeten Bildflecks. Diese Formänderung lässt sich durch geeignete Kombination der Ausgangssignale der Teildetektoren detektieren.

Ein derartiges Fokusfehlerdetektorsystem kann nicht nur in Vorrichtungen zum Lesen eines strahlungsreflektierenden Aufzeichnungsträgers, sondern allgemein auch in optischen Systemen benutzt werden, in denen Abweichungen zwischen der gewünschten und der reellen Position einer strahlungsempfindlichen Fläche, auf der die Abbildung erfolgen soll, detektiert werden müssen. Es wird dabei an Mikroskopen, an bei Herstellung von Integrationskreisen benutzte Systeme zum Projezieren einer Maske auf ein Substrat usw. gedacht.

Das Fokusfehlerdetektorsystem mit nur einer Zylinderlinse liefert ein Signal, das aus regeltechnischer Sicht nicht ideal ist. Die Kennlinie, die den Verlauf des Fokusfehlersignals als Funktion der Abweichung zwischen der gewünschten und der reellen Fokussierungsfläche darstellt, ist gekrümmt und um den Nullpunkt herum ausserdem asymmetrisch. Der nicht-lineare Verlauf ist eine Folge davon, dass das Bündel in zwei zueinander senkrechten Richtungen verschiedene Konvergenzen aufweist. Der asymmetrische Verlauf der Kennlinie wird durch die nichtsymmetrische Lage der Abbildungen der Pupille des Objektivsystems in bezug auf die Fläche der Teildetektoren verursacht. Diese Asymmmetrie ist insbesondere ernsthaft, wenn der strahlungsempfindliche Detektor in verhältnismässig grossem Abstand vom Objektivsystem angeordnet ist, welche Situation in einer Schreib- oder Lesevorrichtung auftreten kann, in der nur das Objektivsystem bewegbar ist und die übrigen optischen Elemente der Vorrichtung fest angeordnet sind.

In der US-PS 4 025 949 ist eine Verbesserung der Kennlinie des Fokusfehlersignals durch die Verwendung von zwei Zylinderlinsen mit gleicher Stärke beschrieben, deren Zylinderachsen quer zueinander angeordnet sind, welche Linsen in einem parallelen Bündel angeordnet sind. Dadurch entsteht ein Bündel, das in zwei zueinander senkrecht verlaufenden Flächen die gleiche Komvergenz besitzt, wodurch das Fokusfehlersignal einen linearen Verlauf um den Nullpukt besitzt. Jedoch liegen auch jetzt die Abbildungen der Objektivpupille nicht symmetrisch in bezug auf die Detektorfläche, so dass das Signal immer noch asymmetrisch ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Fokusfehlerdetektorsystem zu schaffen, das ein Signal erzeugt, das sowohl linear um den Nullpunkt herum als auch symmetrisch ist, nicht s

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

3

661 375

nur um den Nullpunkt herum, sondern auch im weiteren Bereich.

Zur Lösung dieser Aufgabe weist das erfindungsgemässe optische Fokusfehlerdetektorsystem die im kennzeichnenden Teil des Patenanspruchs 1 angeführten Merkmale auf.

Eine erste bevorzugte Aufführungsform des Fokusfehlerde-tektorssystems ist weiter dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Zylinderlinsen in einem konvergierenden Bündel angeordnet und beide negative Linsen sind.

Eine zweite Ausführungsform des Fokusfehlerdetektorsystems ist dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Zylinderlinsen in einem divergierenden Bündel angeordnet und beide positive Linsen sind.

Das Fokusfehlerdetektorsystem kann mit grossem Vorteil in einer Lesevorrichtung oder in einer kombinierten Schreib/Lesevorrichtung benutzt werden, in der der Detektor des Fokusfehlerdetektorsystems in grossem Abstand vom Objektivsystem angeordnet ist.

Die Erfindung wird jetzt beispielsweise anhand ihrer Verwendung in einer Lesevorrichtung und in einer kombinierten Schreib/Lesevorrichtung anhand der Zeichnung näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine Lesevorrichtung mit dem Fokusfehlerdetektorsystem,

Fig. 2 den in dieser Vorrichtung benutzten strahlungsempfindlichen Detektor,

Fig. 3a und 3b den Verlauf eines Strahlenbündels in einem bekannten Fokusfehlerdetektorsystem mit nur einer Zylinderlinse,

Fig. 4 die Kennlinie des Fokusfehlersignals eines Fokusfehlerdetektorsystems mit nur einer Zylinderlinse,

Fig. 5a und 5b den Verlauf eines Strahlenbündels in einem Fokusfehlerdetektorsystem mit zwei Zylinderlinsen nach der Erfindung,

Fig. 6 die Kennlinie des Fokusfehlersignals dieses Fokusfehlerdetektorsystems, und

Fig. 7 eine kombinierte Schreib/Lesevorrichtung mit zwei erfindungsgemässen Fokusfehlerdetektorsystemen.

In Fig. 1 ist ein runder, scheibenförmiger Aufzeichnungsträger 1 im Radialschnitt dargestellt. Die Datenstruktur ist durch die Datenspuren 2 angegeben. Der Aufzeichnungsträger wird von einem Lesebündel 6 aus der Strahlungsquelle 5 angestrahlt, die beispielsweise durch einen Gaslaser, wie einen He-Ne-Laser, oder durch einen Halbleiterdiodenlaser, wie einen AlGaAs-Laser, gebildet werden kann. Ein Objektivsystem, das der Einfachheit halber mit einer einzigen Linse 11 angegeben ist, fokussiert das Lesebündel zu einem Lesefleck 12 in der Ebene der Datenspuren 2. Der Brennpunktabstand einer gegebenenfalls vorhandenen Hilfslinse 9 ist derart gewählt, dass die Pupille des Objektivsystems entsprechend aufgefüllt wird, sodass der Lesefleck die der numerischen Apertur des Objektivsystems zugeordnete beugungsbegrenzte Abmessung besitzt. Dieses Bündel wird vom Aufzeichnungsträger reflektiert und, wenn der Aufzeichnungsträger mit Hilfe des vom Motor 4 getriebenen Drehtellers 3 gedreht wird, entsprechend den in einem zu lesenden Spurteil gespeicherten Daten moduliert.

Das modulierte Bündel wird von einem Bündeltrennelement 13 auf ein strahlungsempfindliches Detektorsystem 15 reflektiert, das dieses Bündel in ein elektronisches Signal umwandelt. Das Trennelement kann von einem halbdurchlässigen Spiegel, aber auch von einem polarisationsempfindlichen Teilprisma gebildet werden. Im letzten Fall ist in den Strahlungsweg eine X/4-Platte 14 aufgenommen, worin X die Wellenlänge des Lesebündels ist.

Zur Ermöglichung der Detektion von Abweichungen zwischen der Fokussierungsfläche des Objektivsystems und der Da-tenstrukturfläche, oder Fokusfehlern, ist im Strahlungsweg hinter dem Bündelverteiler ein astigmatisches System 16 angeordnet, und wird als Detektorsystem ein aus vier Teildetektoren zusammengesetzter Detektor benutzt.

Dieser Detektor ist in Fig. 2 dargestellt. Die astigmatische, vom Objektivsystem 11 und vom System 16 gebildete Optik bildet den Lesefleck 12 in zwei astigmatischen Brennlinien 19 und 20 ab, von denen eine, 20, in der Zeichenebene und die zweite, 19, quer zu dieser Ebene liegt. Der Detektor 15 ist in einer Ebene angeordnet, die entlang der optischen Achse gesehen, zwischen den Brennlinien 19 und 20 liegt. Die Trennlinien zwischen den Teildetektoren A, B, C und D schliessen einen Winkel von 45° mit den astigmatischen Brennlinien 19 und 20 ein und verlaufen vorzugsweise parallel bzw. senkrecht zur Spurrichtung an der Stelle des Leseflecks.

Die Form des am Detektor 15 gebildeten Strahlungsflecks 12' wird durch das Mass der Fokussierung des Bündels 6 auf der Datenfläche bestimmt. Bei einer korrekten Fokussierung ist dieser Strahlungsfleck rund, wie er in Fig. 2 mit einem ausgezogenen Kreis dargestellt ist. Tritt eine Entfokussierung auf, besitzt der Strahlungsfleck 12' eine langgezogene Form, wie sie mit den gestrichelten Kurven dargestellt ist, wobei die Längsrichtung des Flecks durch das Zeichen der Entfokussierung bestimmt wird. Wenn die Signale der Teildetektoren mit Sa, Sb, Sc und So bezeichnet werden, sieht das Fokusfehlersignal Sf wie folgt aus:

Sf = (Sa + Sb)-(Sc + Sd).

Erfindungsgemäss besteht das astigmatische System 16 aus zwei Zylinderlinsen 17 und 18 mit verschiedenen Stärken und mit zueinander senkrecht verlaufenden Zylinderachsen. In der in Fig. 1 dargestellten Lage, in der die Linsen 17 und 18 in einem konvergierenden Bündel angeordnet sind, sind diese Linsen negative Linsen. Wären diese Linsen in einem divergierenden Bündel angeordnet, müssten die Linsen positive Linsen sein. Im letzten Fall, in dem ein divergierendes Bündel in ein konvergierendes Bündel umgewandelt werden muss, müssen die Linsen 17 und 18 eine grössere Stärke haben, als im Falle das Bündel bereits konvergierend ist. Deshalb wird die Ausführung mit einem konvergierenden Bündel 6' und mit zwei divergierenden Linsen 17 und 18 bevorzugt. Die Zylinderlinsen 17 und 18 haben derartige Stärken, dass die mittels dieser Linsen geformten Abbildungen der Pupille des Objektivsystems in bezug auf die Detektorfläche 15 symmetrisch liegen.

Der Vorteil der Verwendung der zwei Zylinderlinsen lässt sich am besten damit erläutern, indem von einem Fokusfehlerdetektorsystem ausgegangen wird, in dem nur eine positive Zylinderlinse 23 benutzt wird, beispielweise in der Position der Linse 17 in Fig. 1. In Fig. 3a und 3b ist der Teil des Strahlungswegs von der Linse 23 dargestellt, wobei Fig. 3a einen Schnitt entlang der Zeichenebene in Fig. 1 und Fig. 3b einen Schnitt in einer Ebene quer zur Zeichenebene der Fig. 1 darstellen. Die astigmatischen Brennlinien sind mit 24 und 25 und die Position des Detektors 15 mit P15 bezeichnet.

Da die Linse 23 nur in einer Ebene, der Zeichenebene in Fig. 3b, eine Linsenwirkung hat, ist die Konvergenz des Bündels im zwei zueinander senkrechten Ebenen ungleich. Infolgedessen weist das Fokusfehlersignal einen nicht-linearen Verlauf um den Nullpunkt herum auf. In Fig. 4 ist der Verlauf dieses Signals Sf als Funktion der Entfokussierung Af dargestellt. Das Signal Sr zeigt ausser einem gekrümmten Verlauf um den Nullpunkt noch einen asymmetrischen Verlauf. Dies ist eine Folge davon, dass in den zwei Querschnittebenen nach Fig. 3a und 3b die Abbildungen der Pupille des Objektivsystems nicht symmetrisch in bezug auf die Ebene P15 des Detektors liegen. Die betreffenden Pupillenabbildungen liegen in den Positionen Pv und Ph- Ein Verlauf des Signals Sf gemäss Fig. 4 ist jedoch für das Servosystem mit dem die Fokussierung nachzuregeln ist,

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

661 375

4

unvorteilhaft. Die Fokussierung kann beispielsweise durch Verschieben des Objektivsystems nachgeregelt werden.

Wenn nun, wie die Erfindung beschreibt, zwei Zylinderlinsen in einem konvergierenden oder einem divergierenden Bündel angebracht werden, verfügt man über ein erstes einstellbares Parameter, und zwar die Position dieser Linsen in bezug auf das Objektivsystem. Ein zweites einstellbares Parameter ist dabei die Stärke der Zylinderlinse. Durch geeignete Wahl dieser zwei Parameter wird erreicht, dass sowohl die Konvergenzen des Bündels in den zwei zueinander senkrechten Ebenen gleich sind, als die Pupillenabbildungen in bezug auf die Detektorebene symmetrisch liegen. Die ist eine Folge davon, dass das Signal Sf um den Nullpunkt einen linearen Verlauf aufweist und dieses Signal einen symmetrischen Verlauf hat, nicht nur um den Nullpunkt, sondern auch im weiteren Bereich, wie in Fig. 6 dargestellt.

Wenn die zwei Zylinderlinsen in einem parallelen Bündel angeordnet sind, wie in der US-PS 4 025 949 beschrieben wird, üben die Positionen dieser Linsen keinen Einfluss auf den Strahlengang aus. Dabei können nur die Konvergenzen des Bündels in den zwei Ebenen angeglichen werden, und zwar durch die Verwendung von Zylinderlinsen mit gleichen Stärken.

In Fig. 5a und 5b ist der Strahlungsweg in einem erfin-dungsgemässen Fokusfehlerdetektorsystem dargestellt. Die zwei negativen Zylinderlinsen sind mit 17 und 18 bezeichnet. Wären diese Linsen nicht vorhanden, würde das Bündel 6' im Punkt 12' fokussiert und die Pupille des Objektivsystems an der Position P0 abgebildetet werden. Bei Aufstellung der Zylinderlinsen 17 und 18 entstehen zwei astigmatische Brennlinien 19 und 20. Die Zylinderlinse 17 bildet die Pupille des Objektivsystems in einer Ebene Pv ab, die in verhältnismässig grossem Abstand von der Detektorebene P15 liegt. Die Zylinderlinse 18, die stärker negativ als die Linse 17 ist, bildet die Pupille in einer Ebene Ph ab, die links von der Detektorebene P15 im gleichen Abstand zu dieser Ebene wie Pv liegt. 27 ist eine konvergierende Linse, die im Strahlungsweg angeordnet ist, wenn das vom Objektivsystem herrührende Bündel ein kollimiertes Bündel ist.

In einer verwirklichten Ausführung des Fokusfehlerdetektorsystems nach Fig. 5a und 5b, die in einer Vorrichtung zum Lesen eines optischen Aufzeichnungsträgers benutzt wurde, betrug der Brennpunktabstand der Linse 17 etwa -80 mm, der der Linse 18 etwa -25 mm und der der Linse 27 etwa 100 mm. Der Abstand zwischen den Linsen 27 und 17 betrug etwa 51 mm und der zwischen den Linsen 17 und 18 etwa 33 mm. Der Abstand zwischen P15 und der Linse 18 betrug etwa 64 mm.

Ausser in einer Vorrichtung zum Lesen eines eingeschriebenen Aufzeichnungsträgers Iässt sich die Erfindung auch in einer Vorrichtung zum Einschreiben eines Aufzeichnungsträgers und in einer kombinierten Schreib/Lesevorrichtung benutzen. In Fig. 7 ist eine Ausführung letztgenannter Vorrichtung schematisch dargestellt. Darin werden zwei Strahlungsflecke auf der Datenfläche gebildet,, die in Richtung der Spuren 2 gesehen, in kurzem Abstand, beispielsweise 10 (xm auseinander liegen. Die Anordnung enthält eine erste Strahlungsquelle 5 in Form eines Diodenlasers, der ein Lesebündel 6 erzeugt. Dieser Diodenlaser ist ein Teil eines sogenannten Lichtgriffels 30, in den weiter noch ein Kollimatorobjekt 31, das das Bündel parallel macht, und eine Zylinderlinse 32 zum Korrigieren des Astigmatismus des Diodenlaserbündels aufgenommen sind. Im Weg des parallelen Bündels ist ein zusammengesetztes Prisma 33 angeordnet, das einen ersten, neutralen Bündelverteiler 34 und einen zweiten, polarisationsempfindlichen Bündelverteiler 36 enthält. Ein Teil des Bündels 6 wird vom Prisma 34 auf einen reflektierenden Prisma 37 gerichtet zurückgeworfen, das das Bündel zum Objektivsystem 11 reflektiert, das das Bündel zu einem Lesefleck in der Datenebene fokussiert. Die Polarisationsrichtung des Bündels 6 ist derart gewählt, dass es vom polarisationsempfindlichen Prisma 35 durchgelassen wird . Vorzugsweise sind das Objektivsystem 11 und das Prisma 37 auf einem in radialer Richtung bewegbaren Schlitten 38 angeornet und sind die anderen Elemente fest angeordnet. Letztgenannte Elemente können sich in verhältnismässig grossem Abstand vom Objektivsystem befinden.

Ein zweiter Lichtgriffel 30', der einen Diodenlaser 5' und ein Kollimatorobjektiv 31' und eine Zylinderlinse 32' enthält, erzeugt ein kollimiertes Schreibbündel 6'. Die Polarisationsrichtung dieses Bündels ist derart, dass es vom Prisma 36 nahezu vollständig reflektiert wird. Dieses Bündel durchläuft den gleichen Weg wie das Lesebündel 6. Das Schreibbündel 6' kann ausser zum Schreiben selbst, dazu verwendet werden, in zuvor angebrachten Servospuren vorhandene Servodaten zu lesen, so dass die Position des Strahlungsflecks in radialer und tangentialer Richtung nachgestellt werden kann.

Die vom Aufzeichnungsträger reflektierten Schreibbündel und Lesebündel müssen von gesonderten Detektoren 15' und

15 aufgefangen werden, wobei zu vermeiden ist, dass Strahlung des Schreibbündels bzw. des Lesebündels den Detektor 15 bzw. den Detektor 15' erreicht. Dazu werden Bündel mit verschiedenen Polarisationsrichtungen und polarisationsempfindlichen Elementen im Strahlungsweg benutzt. Zur Reduzierung des möglich restlichen Übersprechens werden vorzugsweise Diodenlaser verwendet, die verschiedene Wellenlängen, beispielsweise 840 nm für den Schreiblaser und 780 nm für den Leselaser, aussenden und sind den Detektoren 15 und 15' wellenlängenselektive Filter 46 und 46' vorgeschaltet.

Im Strahlungsweg ist eine kräftig selektive X/4-Platte 39 angeordnet, die nur die Polarisationsrichtung des Schreibbündels 6' dreht. Diese Platte wird zweimal durchsetzt, so dass die Polarisationsrichtung des Bündels 6' insgesamt über 90° gedreht wird, wodurch das vom Aufzeichnungsträger reflektierte Schreibbündel vom Prisma 36 durchgelassen wird. Nach dem Durchgang durch das zusammengesetzte Prisma 33 erreichen die Bündel 6 und 6' mit gleicher Polarisationsrichtung ein zweites zusammengesetztes Prisma 41, das einen polarisationsempfindlichen Bündelverteiler 44 und ein reflektierendes Prisma 42 enthält. Dem zusammengesetzten Prisma 41 ist eine kräftig selektive A./2-Platte 40 vorgeschaltet, die die Polarisationsrichtung des Schreibbündels 6' allein über 90° dreht.

Dieses Bündel wird vom Prisma 33 zum Detektor 15' reflektiert. Das Lesebündel 6 wird vom Prisma 44 durchgelassen und anschliessend vom Prisma 42 auf den Detektor 15 reflektiert.

Im Weg des Bündels 6 ist eine konvergierende Linse angeordnet, die aus dem parallelen Bündel ein konvergierendes Bündel herstellt. Zur Ermöglichung der Ableitung eines Fokusfehlersignals ist erfindungsgemäss ein astigmatisches Linsensystem

16 aus zwei plankonkaven Zylinderlinsen 17 und 18 ungleicher Stärke und zueinander senkrecht verlaufenden Zylinderachsen angeordnet und besteht der Detektor 15 aus vier Teildetektoren, wie in Fig. 2 dargestellt. Diese Detektoren werden, ausser zum Detektieren von Fokusfehlern, weiter noch zum Lesen der eingeschriebenen Daten und zum Detektieren von Spurnachfüh-rungsfehlern benutzt.

Vorzugsweise sind auch im Weg des vom Prisma 44 reflektierten Schreibbündels 6' eine konvergierende Linse 45' und zwei plankonkave Zylinderlinsen 17' und 18' angebracht und besteht auch der Detektor 15' aus vier Teildetektoren. Diese Detektoren werden zum Lesen eines in zuvor angeordneten Servospuren vorhandenen Taktsignals, zum Detektieren von Spurnachführungfehlern des Schreibflecks und zum Detektieren von Fokusfehlern des Schreibbündels benutzt. Dadurch ist es möglich, einen Unterschied in den Brennpunkten des Schreibbündels und des Leserbündels zu korrigieren.

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

5

661 375

Wie aus obiger Beschreibung hervorgeht, werden im Fokusfehlerdetektorsystem keine besonderen Eigenschaften der Datenstruktur, des Aufzeichnungsträgers oder der Schreib/-Lese-vorrichtung benutzt. Die einzige Anforderung besteht darin, dass die Datenflächen reflektierend ist. Deshalb kann die Erfindung in vielerlei Systemen benutzt werden, wobei ein Strahlungsfleck auf einer reflektierenden Fläche gebildet werden muss. Es kann dabei an ein abtastendes Mikroskop und an ein System zum Projizieren von Maskenmustern auf ein Substrat für die 5 Herstellung von Integrationskreisen usw. gedacht werden.

v

2 Blätter Zeichnungen

Claims (5)

1. 661 375

   2

   PATENTENANSPRÜCHE

   1. Optisches Fokusfehlerdetektorsystem zur Feststellung von Abweichungen zwischen der Abbildungsfläche eines Obje-tivs in einer optischen Vorrichtung und einer strahlungsreflek-tierenden Fläche in dieser Vorrichtung, auf welcher Fläche abgebildet werden muss, welches Fokusfehlerdetektorsystem eine Strahlungsquelle, das Objektiv, eine astigmatische Einrichtung aus zwei Zylinderlinsen, die im Weg eines von der strahlungsre-flektierenden Fläche herrührenden Bündels angeordnet sind, und einen aus vier in einer Detektorfläche angeordneten Teildetektoren zusamengesetzten, strahlungsempfindlichen Detektor enthält, dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Zylinderlinsen in einem nicht kollimierten Bündel angeordnet sind und verschiedene Linsenstärken besitzen, derart, dass die mit diesen Linsen geformten Abbildungen der Pupille des Objektivs in be-zug auf die Detektorfläche symmetrisch liegen und dass das aus diesen Linsen herrührende Bündel gleiche Konvergenzen in zwei zueinander senkrechten Ebenen besitzt.
2. 2. Fokusfehlerdetektorsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Zylinderlinsen in einem konvergierenden Bündel angeordnet und beide negative Linsen sind.
3. 3. Fokusfehlerdetektorsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Zylinderlinsen in einem divergierenden Bündel angeordnet und beide positive Linsen sind.
4. 4. Vorrichtung zum Lesen eines Aufzeichnungsträgers mit einer optisch lesbaren, strahlungsreflektierenden Datenstruktur, welche Vorrichtung eine ein Lesebündel erzeugende Strahlungsquelle, ein Leseobjektivsystem und einen strahlungsempfindlichen Datendetektor enthält, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung mit einem optischen Fokusfehlerdetektorsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3 ausgerüstet ist, und dass der strahlungsempfindliche Detektor des Fokusfehlerdetektorsystems auch den Datendetektor der Vorrichtung bildet.
5. 5. Vorrichtung zum Schreiben und Lesen von Daten in einem Aufzeichnungsträger, welche Vorrichtung eine erste Strahlungsquelle und eine zweite Strahlungsquelle enthält, die ein Schreibbündel bzw. ein Lesebündel erzeugen, dadurch gekennzeichnet, dass in einem jeden der Wege des von dem Aufzeichnungsträger herrührenden und voneinander getrennten Schreibbündels und Lesebündels ein optisches Fokusfehlerdetektorsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3 angeordnet ist.