EP0713235A1 - Mikromechanisches elektrostatisches Relais - Google Patents

Mikromechanisches elektrostatisches Relais Download PDF

Info

Publication number
EP0713235A1
EP0713235A1 EP95115647A EP95115647A EP0713235A1 EP 0713235 A1 EP0713235 A1 EP 0713235A1 EP 95115647 A EP95115647 A EP 95115647A EP 95115647 A EP95115647 A EP 95115647A EP 0713235 A1 EP0713235 A1 EP 0713235A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
spring tongue
armature
contact
spring
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP95115647A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0713235B1 (de
Inventor
Lothar Prof. Dr. Kiesewetter
Joachim Schimkat
Helmut Dr. Schlaak
Hans-Jürgen Prof. Dr. Gevatter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of EP0713235A1 publication Critical patent/EP0713235A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0713235B1 publication Critical patent/EP0713235B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
    • H01H2059/0081—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics with a tapered air-gap between fixed and movable electrodes

Definitions

  • the invention relates to a micromechanical electrostatic relay with a base substrate which carries a base electrode layer and at least one base contact piece, and with an armature substrate lying on the base substrate with at least one machined armature spring tongue which is connected on one side and which carries an armature electrode layer and an armature contact piece at its free end, wherein the spring tongue is bent away from the base substrate by a constant curvature in the state of rest, so that the two electrode layers form a wedge-shaped air gap between them and the spring tongue nestling in the working state when a voltage is applied between the electrode layers to the base substrate and the two contact pieces lie one on top of the other.
  • Such a micromechanical relay is already known from DE 42 05 029 C1.
  • a relay structure can be produced, for example, from a crystalline semiconductor substrate, preferably silicon, the spring tongue serving as an anchor being worked out of the semiconductor substrate by corresponding doping and etching processes.
  • a homogeneous curvature can be created in the spring tongue by means of a multilayer structure, the different layers being braced against one another on account of their different expansion coefficients and deposition temperatures.
  • the curved spring tongue with its correspondingly curved armature electrode thus forms a wedge-shaped air gap with respect to a flat base electrode on a flat base substrate, which can also be made of silicon or glass, for example.
  • the object of the invention is to develop a micromechanical relay of the type mentioned at the outset in such a way that it obtains a switching characteristic with a clear tilting behavior, that is to say the above-mentioned creeping switching behavior is avoided.
  • this object is achieved in that the wedge-shaped air gap between the electrodes has at least one geometric discontinuity.
  • Air gap between the two electrodes is achieved that an abrupt switching operation closes or opens the contact.
  • the spring tongue has a continuously curved section starting in the region of the connection to the armature substrate and then a straight section to its free end, the length of the curved section preferably being approximately 20 to 40% of the total length of the spring tongue can be.
  • the spring tongue initially rolls continuously over its curved section on the base electrode until the transition to the straight section is reached. At this moment, the rest of the straight section of the spring tongue strikes the end of the base electrode in an abrupt switching operation, the armature contact piece abruptly striking the base contact piece.
  • the beginning of the electrode surface has an offset with respect to the connection of the spring tongue to the armature substrate, the length of which can preferably be 20 to 40% of the total length of the spring tongue.
  • the spring tongue can be continuously curved over its entire length, while the discontinuity is now generated by the offset start of the electrode on the spring tongue.
  • an abrupt switching behavior can be generated in that the base electrode has a predetermined gap with respect to the anchor electrode at the connection point of the spring tongue, the height of which is at least 10% of the total deflection of the free spring end compared to the base substrate in the idle state.
  • This height of the gap which can preferably be between 10 and 20% of the spring deflection mentioned, is thus substantially greater than the thickness of an insulating layer which is necessary for the insulation between the two Electrodes at the clamping point is required in every case.
  • a contact spring area on which the armature contact piece is arranged, is formed at the free end of the spring tongue in a manner known per se, which is partially cut free by slots.
  • the distance between the two contact pieces is less than the distance between the two electrodes in the area of the free spring end. If the contact spring area is cut free in the middle, the armature electrode can lie flat on two side tabs next to the contact spring area on the base electrode, while the contact spring area is bent due to the raised contact pieces and thus generates the contact force.
  • FIG. 1 shows schematically the basic structure of a micromechanical electrostatic relay, in which the invention is used.
  • An armature spring tongue 2 is machined on an armature substrate 1, preferably a silicon wafer, within a correspondingly doped silicon layer by selective etching processes.
  • armature substrate 1 preferably a silicon wafer
  • a double layer 4 is generated, which in the example consists of an SiO2 layer, which generates compressive stresses, and an Si3N4 layer, which generates tensile stresses.
  • Spring tongue can be given a desired curvature.
  • the spring tongue has a metallic layer as an anchor electrode 5 on its underside. As can be seen in FIG. 2, this armature electrode 5 is divided into two in order to form a metallic feed line 6 for an armature contact piece 7 in the middle of the spring tongue.
  • a contact spring area 9, which carries the contact piece 7, is cut out at the free end of the spring tongue by two slots 8.
  • This contact spring area 9 can bend elastically when the armature electrode 5 lies flat on a base electrode, as a result of which the contact force is generated.
  • the armature substrate 1 is fastened on a base substrate 10, which in the present example consists of Pyrex glass, but which could also be formed from silicon, for example.
  • the base substrate 10 On its flat surface, the base substrate 10 carries a base electrode 11 and an insulating layer 12 in order to insulate the base electrode 11 from the armature electrode 5.
  • a base contact piece 13 is provided in a manner not shown with a feed line and of course arranged insulated from the base electrode 11.
  • a wedge-shaped air gap 14 is formed between the curved spring tongue 2 with the armature electrode 5 on the one hand and the base electrode 11 on the other hand.
  • FIGS. 1 and 2 The size relationships and layer thicknesses are shown in FIGS. 1 and 2 only from the point of view of clarity and do not correspond to the actual conditions.
  • a structure was chosen that had approximately the following dimensions: Spring tongue length (2) 1300 ⁇ m Spring tongue width (2) 1000 ⁇ m Spring tongue thickness (Si layer) (2) 10 ⁇ m SiO2 layer thickness (4) 500 nm Si3N4 layer thickness (4) 50 nm Length of the slots (8) 500 ⁇ m Deflection of the tongue end to the base electrode approx. 11 ⁇ m
  • FIG. 3 shows the switching characteristics of a structure according to FIG. 1 with a continuously curved spring tongue as a function of the control voltage.
  • the distance A of the spring tongue from the base electrode is shown in FIG. 3a.
  • Curve a24 shows the course of the distance of the contact spring area (at point 24) from the base electrode
  • curve a25 shows the corresponding distance course of the spring tongue in fork point 25 between the contact spring area and armature electrode area (end of the slots 8).
  • the course of the contact force F in FIG. 3b shows a very low contact force of approximately 8 ⁇ N (curve f1) at the response voltage of 8.5 V, which increases further with increasing voltage. Only at approx. 10.5 V does the steeply rising curve change to a characteristic of lower steepness. This characteristic curve is not desirable for relays.
  • a spring tongue 41 is shown schematically in FIG. 4 which, following its clamping point, first has a continuously curved section 42 with the radius R and then up to free end has a straight portion 43. Otherwise, the structure is comparable to that of Figure 1.
  • the armature electrode 5 and the base electrode 11 each extend over the full length of the spring tongue.
  • FIG. 4b shows the spring tongue 41 in the tightened state, the contact pieces lying one on top of the other and the contact force being generated by the deflection of the partially cut contact spring area 9. (A small distance is drawn between the base substrate and the armature substrate in FIGS. 4, 6 and 8, which in reality is only limited to the thickness of an insulating layer?)
  • FIGS. 5a and 5b show the switching characteristics of an arrangement according to FIG. 4. Shown is the movement of point 44 at the end of contact spring area 9 (curve a44) and the movement of fork point 45 when connecting the contact spring area (curve a45) as a function of the control voltage.
  • FIG. 5b also shows the course of the contact force F as a function of the control voltage (curve f4). It shows a switching characteristic with hysteresis and clear tilting processes both when closing and when opening the contact. Up to the response voltage of approximately 12 V, the spring moves in a quadratic dependence on the voltage by approximately 10 to 20% of the initial deflection and switches suddenly when the response voltage is exceeded. The relapse occurs at about 4 V. According to FIG.
  • a contact force of about 0.28 mN is achieved at the response voltage of 12 V. Then the force increases with a reduced gradient.
  • the length of the curved zone 42 should be approximately 20 to 40% of the total spring length of the spring tongue 41.
  • FIG. 6 shows an embodiment of a spring tongue 61 in which the geometric discontinuity consists in an offset of the electrodes.
  • the armature electrode 62 does not begin at the clamping point or connection point of the spring tongue on the armature substrate like the armature electrode 5 shown previously 1, but has an offset L with respect to this connection point. Accordingly, the start of the base electrode 63 can also be offset by the amount L without it being important.
  • FIG. 6a shows the idle state of the arrangement, that is to say without a control voltage
  • FIG. 6b shows the tightened state, that is to say when a control voltage is present between the electrodes 62 and 63.
  • FIG. 7 shows the sequence of movements at contact point 64 at the end of spring tongue 61 (curve a64) and in FIG. 7b the course of the contact force (curve f6).
  • the offset electrode according to FIG. 6 reduces the active electrode area, so that the response voltage is increased compared to FIG. 3; in the example of the simulation, it is approximately 18 V.
  • the offset length L should be selected approximately in the range from 20 to 40% of the length of the spring tongue 61.
  • FIG. 9 Another embodiment of a spring tongue with discontinuity is shown in FIG.
  • a spring tongue 81 is provided with a continuous curvature over its entire length and with an armature electrode 82 extending over its entire length.
  • the geometric discontinuity here is that the base electrode 83 is offset downward by a distance d in the base substrate 10, so that a gap of the thickness d arises in relation to the clamping point of the spring tongue 81.
  • FIGS. 9b and 9b there is also an increase in the response voltage with an arrangement according to FIG. 8 with clear tilting states for opening and closing the contact.
  • the response voltage is 14 V here, with all geometric data being comparable to the previous exemplary embodiments.
  • FIG. 9a shows the course of movement at contact point 84 (curve a84) and at fork point 85 (curve a85), similar to the illustration in FIG. 5.
  • the course of the contact force is shown in FIG. 9b (curve f8).

Landscapes

  • Micromachines (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

Das mikromechanische elektrostatische Relais besitzt einerseits ein Basissubstrat (10) mit einer Basiselektrode (11) und einem Basis-Kontaktstück (13), andererseits ein Ankersubstrat (1) mit einer freigeätzten, vom Basissubstrat weg gekrümmten Anker-Federzunge (2) mit einer Ankerelektrode (5) und einem Anker-Kontaktstück (7). Bei Anlegen einer Steuerspannung zwischen den beiden Elektroden (5,11) rollt die Federzunge auf dem Basissubstrat ab, bis sie gestreckt ist und die beiden Kontaktstücke (7,13) zur Berührung bringt. Um dabei eine schleichende Kontaktgabe zu verhindern und das Schließen und Öffnen des Kontaktes abrupt zu gestalten, ist im keilförmigen Luftspalt zwischen den beiden Elektroden (5,11) eine geometrische Diskontinuität vorgesehen, welche durch eine teilweise gekrümmte, teilweise gerade Formgebung der Federzunge, durch einen Versatz des Elektrodenbeginns gegenüber der Federeinspannung und/oder durch einen Luftspalt zwischen der Federeinspannung und der Basiselektrode gebildet wird. Das Ergebnis ist eine eindeutige Schalthysterese mit Kippvorgängen beim Schließen und Öffnen des Kontaktes. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches elektrostatisches Relais mit einem Basissubstrat, das eine Basis-Elektrodenschicht und mindestens ein Basis-Kontaktstück trägt, und mit
    einem auf dem Basissubstrat liegenden Ankersubstrat mit mindestens einer freigearbeiteten, einseitig angebundenen Anker-Federzunge, welche eine Anker-Elektrodenschicht und an ihrem freien Ende ein Anker-Kontaktstück trägt,
    wobei die Federzunge im Ruhezustand durch eine stetige Krümmung vom Basissubstrat weg gebogen ist, so daß die beiden Elektrodenschichten einen keilförmigen Luftspalt zwischen einander bilden und
    wobei sich die Federzunge im Arbeitszustand bei Anliegen einer Spannung zwischen den Elektrodenschichten an das Basissubstrat anschmiegt und die beiden Kontaktstücke aufeinanderliegen.
  • Ein derartiges mikromechanisches Relais ist bereits aus der DE 42 05 029 C1 bekannt. Wie dort ausgeführt ist, läßt sich ein solcher Relaisaufbau beispielsweise aus einem kristallinen Halbleitersubstrat, vorzugsweise Silizium, herstellen, wobei die als Anker dienende Federzunge durch entsprechende Dotierungs- und Ätzvorgänge aus dem Halbleitersubstrat herausgearbeitet wird. Grundsätzlich ist dort auch bereits beschrieben, wie man in der Federzunge durch eine Mehrschichtstruktur eine homogene Krümmung erzeugen kann, wobei die verschiedenen Schichten aufgrund ihrer unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten und Abscheidetemperaturen gegeneinander verspannt werden. Die gekrümmte Federzunge mit ihrer entsprechend gekrümmten Ankerelektrode bildet somit einen keilförmigen Luftspalt gegenüber einer ebenen Basiselektrode auf einem ebenen Basissubstrat, welches beispielsweise ebenfalls aus Silizium oder auch aus Glas bestehen kann. Durch Anlegen einer Steuerspannung zwischen der Ankerelektrode der Federzunge und der ebenen Basiselektrode rollt die gekrümmte Federzunge auf der Basiselektrode ab und bildet damit einen sogenannten Wanderkeil. Während dieses Abrollens wird die Federzunge gestreckt, bis das freie Federende mit dem Ankerkontaktstück das Basiskontaktstück auf dem Basissubstrat berührt.
  • Dieser geschilderte Schaltvorgang mit dem Wanderkeil, bei dem die stetig gekrümmte Ankerelektrode stetig abrollt, bringt es mit sich, daß auch das eigentliche Schließen und Öffnen des Kontaktes in einer kontinuierlichen Bewegung erfolgt, wodurch sich eine sogenannte schleichende Kontaktgabe ergibt. In der Übergangsphase, bei der sich die Kontaktstücke nur mit geringer Kontaktkraft und dabei mit hohem Übergangswiderstand berühren, entsteht ein Lichtbogen bzw. eine unerwünschte Erwärmung der Kontaktstücke, wobei die Kontaktoberflächen Schaden nehmen. Generell ist deshalb für Relais ein abrupter Schaltvorgang erwünscht, wobei die Federzunge bzw. das Ankerkontaktstück bei Erreichen der Ansprechspannung vollständig auf der Basiselektrode bzw. dem Basiskontaktstück aufschlägt und somit beim ersten Berühren des Arbeitskontakts eine definierte Kontaktkraft entsteht. Entsprechendes gilt für den Haltevorgang beim Absenken der Steuerspannung. Die Öffnung der Kontakte und damit das Abfallen der Federzunge sollen ebenfalls als Kippvorgang bei Unterschreitung der Haltespannung erfolgen.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein mikromechanisches Relais der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß es eine Schaltcharakteristik mit eindeutigem Kippverhalten erhält, daß also das oben erwähnte schleichende Schaltverhalten vermieden wird.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der keilförmige Luftspalt zwischen den Elektroden mindestens eine geometrische Diskontinuität aufweist. Durch diese erfindungsgemäß vorgesehene Unterbrechung des durchgehend keilförmigen Luftspaltes zwischen den beiden Elektroden wird erreicht, daß jeweils ein abrupter Schaltvorgang den Kontakt schließt bzw. öffnet.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Federzunge einen im Bereich der Anbindung am Ankersubstrat beginnenden, stetig gekrümmten Abschnitt und daran anschließend zu ihrem freien Ende hin einen geraden Abschnitt auf, wobei die Länge des gekrümmten Abschnittes vorzugsweise etwa 20 bis 40 % der Gesamtlänge der Federzunge betragen kann. Bei dieser Ausgestaltung rollt also die Federzunge zunächst über ihren gekrümmten Abschnitt stetig auf der Basiselektrode ab, bis der Übergang zum geraden Abschnitt erreicht wird. In diesem Augenblick schlägt der restliche, gerade Abschnitt der Federzunge in einem abrupten Schaltvorgang auf das Ende der Basiselektrode, wobei das Ankerkontaktstück abrupt auf das Basiskontaktstück schlägt.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist vorgesehen, daß der Beginn der Elektrodenfläche einen Versatz gegenüber der Anbindung der Federzunge am Ankersubstrat aufweist, dessen Länge vorzugsweise 20 bis 40 % der Gesamtlänge der Federzunge betragen kann. Bei dieser Ausführungsform kann also die Federzunge über ihre gesamte Länge kontinuierlich gekrümmt sein, während die Diskontinuität nunmehr durch den versetzten Beginn der Elektrode auf der Federzunge erzeugt wird.
  • Weiterhin kann ein abruptes Schaltverhalten dadurch erzeugt werden, daß die Basiselektrode gegenüber der Ankerelektrode an der Anbindungsstelle der Federzunge einen vorgegebenen Spalt aufweist, dessen Höhe mindestens 10 % der Gesamtauslenkung des freien Federendes gegenüber dem Basissubstrat im Ruhezustand beträgt. Diese Höhe des Spaltes, die vorzugsweise zwischen 10 und 20 % der genannten Federauslenkung betragen kann, ist somit wesentlich größer als die Dicke einer Isolierschicht, die zur notwendigen Isolierung zwischen den beiden Elektroden an der Einspannstelle in jedem Fall erforderlich ist.
  • Ergänzend sei noch erwähnt, daß die genannten Maßnahmen zur Erzeugung einer Diskontinuität sowohl einzeln als auch in Kombination angewendet werden können.
  • Zur Erzeugung der Kontaktkraft ist am freien Ende der Federzunge in an sich bekannter Weise ein durch Schlitze teilweise freigeschnittener Kontaktfederbereich gebildet, auf dem das Ankerkontaktstück angeordnet ist. Dabei ist der Abstand zwischen den beiden Kontaktstücken geringer als der Abstand zwischen den beiden Elektroden im Bereich des freien Federendes. Wenn der Kontaktfederbereich mittig freigeschnitten ist, kann also die Ankerelektrode an zwei Seitenlappen neben dem Kontaktfederbereich flach auf der Basiselektrode aufliegen, während der Kontaktfederbereich aufgrund der erhöhten Kontaktstücke durchgebogen wird und damit die Kontaktkraft erzeugt.
  • Die Erfindung wird nachfolgend an Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung naher erläutert. Es zeigen
    • Figur 1 eine schematische Darstellung für den grundsätzlichen Aufbau eines mikromechanischen Relais mit stetig gekrümmter Anker-Federzunge im Schnitt,
    • Figur 2 eine Ansicht von unten auf das Ankersubstrat von Figur 1,
    • Figuren 3a und 3b Diagramme mit Darstellungen des Verlaufs des Abstandes der Federzunge von der Basiselektrode und der Kontaktkraft, jeweils in Abhängigkeit von der Steuerspannung an den Elektroden, bei einem kontinuierlich keilförmigen Luftspalt zwischen den Elektroden gemäß Figur 1,
    • Figuren 4a und 4b eine schematische Darstellung einer nur teilweise gekrümmten Anker-Federzunge im Ruhe- und Arbeitszustand,
    • Figuren 5a und 5b Diagramme für den Verlauf des Abstandes zwischen Federzunge und Basiselektrode sowie der Kontaktkraft in Abhängigkeit von der Steuerspannung für die Federzunge gemäß Figur 4,
    • Figuren 6a und 6b die schematische Darstellung einer Federzunge mit versetztem Elektrodenbeginn im Ruhezustand und im Arbeitszustand,
    • Figuren 7a und 7b den Verlauf des Kontaktabstandes und der Kontaktkraft in Abhängigkeit von der Steuerspannung bei einer Federzunge gemäß Figur 6,
    • Figur 8 die schematische Darstellung einer Federzunge mit einem zusätzlichen Luftspalt zwischen Ankerelektrode und Basiselektrode im Ruhezustand und im Arbeitszustand, und
    • Figuren 9a und 9b Diagramme für den Verlauf des Abstandes zwischen den Kontaktstücken bzw. zwischen der Federzunge und der Basiselektrode sowie den Verlauf der Kontaktkraft in Abhängigkeit von der Steuerspannung bei einer Federzunge gemäß Figur 8.
  • Figur 1 zeigt schematisch den grundsätzlichen Aufbau eines mikromechanischen elektrostatischen Relais, bei dem die Erfindung zur Anwendung kommt. Dabei ist an einem Ankersubstrat 1, vorzugsweise einem Silizium-Wafer, eine Anker-Federzunge 2 innerhalb einer entsprechend dotierten Siliziumschicht durch selektive Ätzverfahren freigearbeitet. An der Unterseite der Federzunge ist eine Doppelschicht 4 erzeugt, die in dem Beispiel aus einer SiO₂-Schicht, welche Druckspannungen erzeugt, und einer Si₃N₄-Schicht, welche Zugspannungen erzeugt, besteht. Durch entsprechende Wahl der Schichtdicken kann der Federzunge eine gewünschte Krümmung verliehen werden. Schließlich trägt die Federzunge eine metallische Schicht als Ankerelektrode 5 an ihrer Unterseite. Diese Ankerelektrode 5 ist, wie in Figur 2 zu sehen, zweigeteilt, um in der Mitte der Federzunge eine metallische Zuleitung 6 für ein Anker-Kontaktstück 7 zu bilden.
  • Wie aus Figur 2 weiter ersichtlich ist, ist am freien Ende der Federzunge durch zwei Schlitze 8 ein Kontaktfederbereich 9 freigeschnitten, der das Kontaktstück 7 trägt. Dieser Kontaktfederbereich 9 kann sich beim flachen Aufliegen der Ankerelektrode 5 auf einer Basiselektrode elastisch durchbiegen, wodurch die Kontaktkraft erzeugt wird.
  • Wie in Figur 1 weiter zu sehen ist, ist das Ankersubstrat 1 auf einem Basissubstrat 10 befestigt, welches im vorliegenden Beispiel aus Pyrex-Glas besteht, das aber beispielsweise auch aus Silizium gebildet sein könnte. Auf seiner ebenen Oberfläche trägt das Basissubstrat 10 eine Basiselektrode 11 und eine Isolierschicht 12, um die Basiselektrode 11 gegenüber der Ankerelektrode 5 zu isolieren. Ein Basis-Kontaktstück 13 ist in nicht weiter dargestellter Weise mit einer Zuleitung versehen und natürlich gegenüber der Basiselektrode 11 isoliert angeordnet. Zwischen der gekrümmten Federzunge 2 mit der Ankerelektrode 5 einerseits und der Basiselektrode 11 andererseits ist ein keilförmiger Luftspalt 14 ausgebildet. Bei Anliegen einer Spannung von einer Spannungsquelle 15 zwischen den beiden Elektroden 5 und 11 rollt die Federzunge auf der Basiselektrode 11 ab, wodurch das Ankerkontaktstück 7 mit dem Basiskontaktstück 13 verbunden wird.
  • Die Größenverhältnisse und Schichtdicken sind in den Figuren 1 und 2 lediglich unter dem Gesichtspunkt der Anschaulichkeit dargestellt und entsprechen nicht den tatsächlichen Verhältnissen. Für die nachfolgend beschriebenen Untersuchungen (mit Hilfe einer Computer-Simulation) wurde ein Aufbau gewählt, der etwa die folgenden Dimensionen hatte:
    Länge der Federzunge (2) 1300 µm
    Breite der Federzunge (2) 1000 µm
    Dicke der Federzunge (Si-Schicht) (2) 10 µm
    SiO₂-Schichtdicke (4) 500 nm
    Si₃N₄-Schichtdicke(4) 50 nm
    Länge der Schlitze (8) 500 µm
    Auslenkung Zungenende zur Basiselektrode ca. 11 µm
  • In Figur 3 sind die Schaltkennlinien eines Aufbaus gemäß Figur 1 mit stetig gekrümmter Federzunge in Abhängigkeit von der Steuerspannung gezeigt. Dabei ist in Figur 3a der Abstand A der Federzunge von der Basiselektrode gezeigt. Die Kurve a24 zeigt den Verlauf des Abstandes des Kontaktfederbereiches (am Punkt 24) von der Basiselektrode, während die Kurve a25 den entsprechenden Abstandsverlauf der Federzunge im Gabelpunkt 25 zwischen Kontaktfederbereich und Ankerelektrodenbereich (Ende der Schlitze 8) zeigt. Aus Figur 3a ist deutlich zu ersehen, daß sich die Federzunge stetig an das Basissubstrat bzw. die Basiselektrode annähert, bis bei etwa 8,5 V der Kontakt geschlossen wird; der Kontaktfederbereich der Federzunge ist dann um die Höhe der Kontaktstücke von der Basiselektrode entfernt (etwa 4 µm). Der Verlauf der Kontaktkraft F in Figur 3b zeigt bei der Ansprechspannung von 8,5 V eine sehr geringe Kontaktkraft von ca. 8 µN (Kurve f1), die mit steigender Spannung weiter ansteigt. Erst bei ca. 10,5 V geht die steil ansteigende Kurve in eine Charakteristik geringerer Steilheit über. Dieser Kennlinienverlauf ist für Relais nicht erwünscht.
  • Um dieses unerwünschte schleichende Kontaktverhalten zu vermeiden, werden erfindungsgemäß verschiedene Maßnahmen zur Erzeugung einer geometrischen Diskontinuität vorgeschlagen, mit denen ein abruptes Schaltverhalten erzeugt wird. In Figur 4 ist schematisch eine Federzunge 41 gezeigt, die im Anschluß an ihre Einspannstelle zunächst einen stetig gekrümmten Abschnitt 42 mit dem Radius R und daran anschließend bis zum freien Ende einen geraden Abschnitt 43 aufweist. Ansonsten ist der Aufbau mit dem von Figur 1 vergleichbar. Die Ankerelektrode 5 und die Basiselektrode 11 erstrecken sich jeweils über die volle Länge der Federzunge. Figur 4b zeigt die Federzunge 41 in angezogenem Zustand, wobei die Kontaktstücke aufeinanderliegen und durch die Durchbiegung des teilweise freigeschnittenen Kontaktfederbereiches 9 die Kontaktkraft erzeugt wird. (Zwischen Basissubstrat und Ankersubstrat ist in den Figuren 4, 6 und 8 jeweils ein kleiner Abstand gezeichnet, der in Wirklichkeit lediglich auf die Dicke einer Isolierschicht beschränkt ist!)
  • Die Schaltcharakteristik einer Anordnung gemäß Figur 4 ist in Figur 5a und 5b zu erkennen. Gezeigt ist die Bewegung des Punktes 44 am Ende des Kontaktfederbereiches 9 (Kurve a44) und die Bewegung des Gabelungspunktes 45 bei der Anbindung des Kontaktfederbereiches (Kurve a45) in Abhängigkeit von der Steuerspannung. Außerdem zeigt Figur 5b den Verlauf der Kontaktkraft F in Abhängigkeit von der Steuerspannung (Kurve f4). Es zeigt sich eine Schaltcharakteristik mit Hysterese und eindeutigen Kippvorgängen sowohl beim Schließen als auch beim Öffnen des Kontaktes. Bis zur Ansprechspannung von etwa 12 V bewegt sich die Feder in einer quadratischen Abhängigkeit von der Spannung um etwa 10 bis 20 % der Anfangsauslenkung und schaltet nach Überschreiten der Ansprechspannung schlagartig durch. Das Rückfallen erfolgt bei etwa 4 V. Gemäß Figur 5b wird bei der Ansprechspannung von 12 V eine Kontaktkraft von etwa 0,28 mN erreicht. Danach steigt die Kraft mit verminderter Steigung an. Als grobe Dimensionierung sollte die Länge der gekrümmten Zone 42 etwa 20 bis 40 % der Gesamtfederlänge der Federzunge 41 betragen.
  • Figur 6 zeigt eine Ausführungsform einer Federzunge 61, bei der die geometrische Diskontinuität in einem Versatz der Elektroden besteht. Die Ankerelektrode 62 beginnt in diesem Fall nicht wie die vorher gezeigte Ankerelektrode 5 an der Einspannstelle oder Anbindungsstelle der Federzunge am Ankersubstrat 1, sondern weist einen Versatz L gegenüber dieser Anbindungsstelle auf. Entsprechend kann auch der Beginn der Basiselektrode 63 um den Betrag L versetzt sein, ohne daß es darauf ankommt. Figur 6a zeigt den Ruhezustand der Anordnung, also ohne Steuerspannung, während Figur 6b den angezogenen Zustand, also bei Anliegen einer Steuerspannung zwischen den Elektroden 62 und 63, zeigt.
  • Figur 7 zeigt den Bewegungsablauf am Kontaktpunkt 64 am Ende der Federzunge 61 (Kurve a64) sowie in Figur 7b den Verlauf der Kontaktkraft (Kurve f6). Durch die versetzte Elektrode nach Figur 6 wird die aktive Elektrodenfläche reduziert, so daß die Ansprechspannung gegenüber Figur 3 vergrößert ist; sie liegt bei dem Beispiel der Simulation bei etwa 18 V. Wie man aus den Figuren 7a und 7b ersieht, erzielt man auch bei der Gestaltung von Figur 6 eindeutige Kippzustände. Die Versatzlänge L sollte etwa im Bereich von 20 bis 40 % der Länge der Federzunge 61 gewählt werden.
  • Eine weitere Ausführungsform einer Federzunge mit Diskontinuität ist in Figur 8 gezeigt. In diesem Fall ist eine Federzunge 81 mit einer kontinuierlichen Krümmung über ihre gesamte Länge und mit einer über ihre gesamte Länge verlaufenden Ankerelektrode 82 vorgesehen. Die geometrische Diskontinuität besteht hier darin, daß die Basiselektrode 83 um einen Abstand d im Basissubstrat 10 nach unten versetzt ist, so daß gegenüber der Einspannstelle der Federzunge 81 ein Spalt von der Dicke d entsteht. Wie am Kurvenverlauf in den Figuren 9b und 9b zu erkennen ist, ergibt sich auch bei einer Anordnung gemäß Figur 8 eine Erhöhung der Ansprechspannung mit eindeutigen Kippzuständen für Öffnen und Schließen des Kontaktes. Dargestellt sind typische Schaltverläufe bei einer Luftspaltbreite von d = 2 µm. Die Ansprechspannung beträgt hier 14 V, wobei alle geometrischen Daten gegenüber den vorherigen Ausführungsbeispielen vergleichbar sind. Zur Dimensionierung bietet sich eine Spaltbreite von d = 1 bis 2 µm an, was etwa 10 bis 20 % der Auslenkung des Federendes im Ruhezustand ist.
  • Dargestellt ist in Figur 9a der Bewegungsverlauf am Kontaktpunkt 84 (Kurve a84) und am Gabelpunkt 85 (Kurve a85), ähnlich der Darstellung in Figur 5. Außerdem ist in Figur 9b der Verlauf der Kontaktkraft gezeigt (Kurve f8).
  • Wie aus den Kurvenverläufen in den Figuren 7 und 9 zu erkennen ist, führen die Lösungen gemäß den Figuren 6 und 8 zu erhöhten Ansprechspannungen, da das elektrostatische Feld insgesamt verringert wird. Unter diesem Gesichtspunkt bietet die Lösung gemäß Figur 4 mit den Kurvenverläufen gemäß Figur 5 die optimale Ausnutzung der elektrostatischen Felder. Allerdings ist diese Lösung mit einer nur teilweise gekrümmten Feder schwieriger herzustellen als die homogen gekrümmten Federn von Figur 6 und 8. Welche Lösung im Endeffekt zu bevorzugen ist, hängt also unter anderem von den zur Verfügung stehenden Herstellverfahren und Materialien ab. Wie eingangs bereits erwähnt wurde, könnten natürlich Kombinationen der verschiedenen Ausführungsformen gemäß den Figuren 4, 6 und 8 in Betracht kommen und gegebenenfalls zu einer optimalen Lösung führen.

Claims (9)

  1. Mikromechanisches elektrostatisches Relais mit einem Basissubstrat (10), das eine Basis-Elektrodenschicht (11; 63, 83) und mindestens ein Basis-Kontaktstuck (13) trägt, und mit einem auf dem Basissubstrat liegenden Ankersubstrat (1) mit mindestens einer freigearbeiteten, einseitig angebundenen Anker-Federzunge(2; 41, 61, 81), welche eine Anker-Elektrodenschicht (5; 62, 82) und an ihrem freien Ende ein Anker-Kontaktstuck (7) trägt,
    wobei die Federzunge (2; 41; 61; 81) im Ruhezustand durch eine stetige Krümmung vom Basissubstrat (10) weg gebogen ist, so daß die beiden Elektroden (5, 11; 62, 63; 82, 83) einen keilförmigen Luftspalt (14) zwischen einander bilden und wobei sich die Federzunge (2; 41; 61; 81) im Arbeitszustand bei Anliegen einer Spannung zwischen den Elektroden an das Basissubstrat (10) anschmiegt und die beiden Kontaktstücke (7, 13) aufeinanderliegen, dadurch gekennzeichnet daß der keilförmige Luftspalt (14) zwischen den Elektroden mindestens eine geometrische Diskontinuität aufweist.
  2. Relais nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Federzunge (41) einen im Bereich der Anbindung am Ankersubstrat beginnenden, stetig gekrümmten Abschnitt (42) und daran anschließend zu ihrem freien Ende hin einen geraden Abschnitt (43) aufweist.
  3. Relais nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge des gekrümmten Abschnittes (42) etwa 20 bis 40 % der Gesamtlänge der Federzunge (41) beträgt.
  4. Relais nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Beginn der Elektrodenfläche (62) einen Versatz (L) gegenüber der Anbindung der Federzunge (61) am Ankersubstrat (1) aufweist.
  5. Relais nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge des Versatzes (L) der Elektrode (62) etwa 20 bis 40 % der Gesamtlänge der Federzunge (61) beträgt.
  6. Relais nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Basiselektrode (83) gegenüber der Ankerelektrode (82) an der Anbindungsstelle der Federzunge einen vorgegebenen Spalt (d) aufweist, dessen Höhe mindestens 10 % der Gesamtauslenkung des freien Federendes gegenüber dem Basissubstrat im Ruhezustand beträgt.
  7. Relais nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe des Spaltes (d) zwischen 10 und 20 % der Gesamtauslenkung des freien Federendes gegenüber dem Basissubstrat (10) im Ruhezustand beträgt.
  8. Relais nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Federzunge (2; 41; 61; 81) an ihrem freien Ende einen durch Schlitze (8) teilweise freigeschnittenen Kontaktfederbereich (9) bildet, auf dem das Ankerkontaktstück (7) angeordnet ist, und daß der Abstand zwischen den beiden Kontaktstücken (7, 13) geringer ist als der Abstand zwischen den beiden Elektroden (5, 11) im Bereich des freien Federendes.
  9. Relais nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktfederbereich (9) mittig der Kontaktfederbreite durch zwei vom freien Ende her parallel zu den Seitenkanten der Federzunge verlaufende Schlitze (8) gebildet ist, deren Länge etwa 20 % bis 50 % der Gesamtlänge der Federzunge (2) beträgt.
EP95115647A 1994-10-18 1995-10-04 Mikromechanisches elektrostatisches Relais Expired - Lifetime EP0713235B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4437261 1994-10-18
DE4437261A DE4437261C1 (de) 1994-10-18 1994-10-18 Mikromechanisches elektrostatisches Relais

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0713235A1 true EP0713235A1 (de) 1996-05-22
EP0713235B1 EP0713235B1 (de) 1998-02-25

Family

ID=6531106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP95115647A Expired - Lifetime EP0713235B1 (de) 1994-10-18 1995-10-04 Mikromechanisches elektrostatisches Relais

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5629565A (de)
EP (1) EP0713235B1 (de)
JP (1) JPH08255546A (de)
DE (2) DE4437261C1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100339185B1 (ko) * 1998-10-30 2002-05-31 포만 제프리 엘 공핍 스트랩 반도체 메모리 디바이스

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6043563A (en) * 1997-05-06 2000-03-28 Formfactor, Inc. Electronic components with terminals and spring contact elements extending from areas which are remote from the terminals
DE29613790U1 (de) * 1996-08-09 1996-09-26 Festo Kg, 73734 Esslingen Mikroschalter
DE19646667C2 (de) * 1996-11-12 1998-11-12 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Relais
DE19730715C1 (de) * 1996-11-12 1998-11-26 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Relais
DE19736674C1 (de) * 1997-08-22 1998-11-26 Siemens Ag Mikromechanisches elektrostatisches Relais und Verfahren zu dessen Herstellung
JP3493974B2 (ja) * 1997-10-01 2004-02-03 オムロン株式会社 静電マイクロリレー
US6115231A (en) * 1997-11-25 2000-09-05 Tdk Corporation Electrostatic relay
US6054659A (en) * 1998-03-09 2000-04-25 General Motors Corporation Integrated electrostatically-actuated micromachined all-metal micro-relays
US6320145B1 (en) * 1998-03-31 2001-11-20 California Institute Of Technology Fabricating and using a micromachined magnetostatic relay or switch
US6046659A (en) 1998-05-15 2000-04-04 Hughes Electronics Corporation Design and fabrication of broadband surface-micromachined micro-electro-mechanical switches for microwave and millimeter-wave applications
DE19823690C1 (de) * 1998-05-27 2000-01-05 Siemens Ag Mikromechanisches elektrostatisches Relais
US6535722B1 (en) 1998-07-09 2003-03-18 Sarnoff Corporation Television tuner employing micro-electro-mechanically-switched tuning matrix
DE69938511T2 (de) 1999-02-04 2009-05-07 Institute Of Microelectronics Mikro-relais
US6236491B1 (en) 1999-05-27 2001-05-22 Mcnc Micromachined electrostatic actuator with air gap
US6229683B1 (en) * 1999-06-30 2001-05-08 Mcnc High voltage micromachined electrostatic switch
US6057520A (en) * 1999-06-30 2000-05-02 Mcnc Arc resistant high voltage micromachined electrostatic switch
DE19935819B4 (de) * 1999-07-29 2004-08-05 Tyco Electronics Logistics Ag Relais und Verfahren zu dessen Herstellung
US6275320B1 (en) 1999-09-27 2001-08-14 Jds Uniphase, Inc. MEMS variable optical attenuator
US6373682B1 (en) 1999-12-15 2002-04-16 Mcnc Electrostatically controlled variable capacitor
US6388359B1 (en) * 2000-03-03 2002-05-14 Optical Coating Laboratory, Inc. Method of actuating MEMS switches
US6396677B1 (en) * 2000-05-17 2002-05-28 Xerox Corporation Photolithographically-patterned variable capacitor structures and method of making
US6407478B1 (en) * 2000-08-21 2002-06-18 Jds Uniphase Corporation Switches and switching arrays that use microelectromechanical devices having one or more beam members that are responsive to temperature
JP2002075156A (ja) 2000-09-01 2002-03-15 Nec Corp マイクロスイッチおよびその製造方法
US6485273B1 (en) 2000-09-01 2002-11-26 Mcnc Distributed MEMS electrostatic pumping devices
US6590267B1 (en) 2000-09-14 2003-07-08 Mcnc Microelectromechanical flexible membrane electrostatic valve device and related fabrication methods
US6377438B1 (en) 2000-10-23 2002-04-23 Mcnc Hybrid microelectromechanical system tunable capacitor and associated fabrication methods
US6396620B1 (en) 2000-10-30 2002-05-28 Mcnc Electrostatically actuated electromagnetic radiation shutter
WO2002061781A1 (fr) * 2001-01-30 2002-08-08 Advantest Corporation Commutateur et dispositif de circuit integre
US6768403B2 (en) * 2002-03-12 2004-07-27 Hrl Laboratories, Llc Torsion spring for electro-mechanical switches and a cantilever-type RF micro-electromechanical switch incorporating the torsion spring
US6771001B2 (en) 2001-03-16 2004-08-03 Optical Coating Laboratory, Inc. Bi-stable electrostatic comb drive with automatic braking
US6646215B1 (en) 2001-06-29 2003-11-11 Teravicin Technologies, Inc. Device adapted to pull a cantilever away from a contact structure
US6707355B1 (en) 2001-06-29 2004-03-16 Teravicta Technologies, Inc. Gradually-actuating micromechanical device
WO2003028059A1 (en) 2001-09-21 2003-04-03 Hrl Laboratories, Llc Mems switches and methods of making same
US6787438B1 (en) 2001-10-16 2004-09-07 Teravieta Technologies, Inc. Device having one or more contact structures interposed between a pair of electrodes
ITTO20011142A1 (it) * 2001-12-07 2003-06-09 C R F Societa Con Sortile Per ,,micro-specchio con micro-otturatore a controllo elettrostatico, matrice di micro-specchi e spettrofotometro infrarosso comprendente tale m
EP1573894B1 (de) * 2002-12-10 2011-07-13 Epcos Ag Ansteuern eines arrays von elementen eines mikroelektromechanischen systems (mems)
US6842055B1 (en) * 2003-08-13 2005-01-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Clock adjustment
US20050062565A1 (en) * 2003-09-18 2005-03-24 Chia-Shing Chou Method of using a metal platform for making a highly reliable and reproducible metal contact micro-relay MEMS switch
US6962832B2 (en) * 2004-02-02 2005-11-08 Wireless Mems, Inc. Fabrication method for making a planar cantilever, low surface leakage, reproducible and reliable metal dimple contact micro-relay MEMS switch
US7101724B2 (en) * 2004-02-20 2006-09-05 Wireless Mems, Inc. Method of fabricating semiconductor devices employing at least one modulation doped quantum well structure and one or more etch stop layers for accurate contact formation
FR2868591B1 (fr) * 2004-04-06 2006-06-09 Commissariat Energie Atomique Microcommutateur a faible tension d'actionnement et faible consommation
JP4754557B2 (ja) * 2004-04-23 2011-08-24 リサーチ・トライアングル・インスティチュート フレキシブル静電アクチュエータ
EP1792088A1 (de) * 2004-07-23 2007-06-06 AFA Controls, LLC Mikroventilanordnungen und verwandte verfahren
US7230513B2 (en) * 2004-11-20 2007-06-12 Wireless Mems, Inc. Planarized structure for a reliable metal-to-metal contact micro-relay MEMS switch
DE102005033801B4 (de) * 2005-07-13 2010-06-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Torsionsfeder für mikromechanische Anwendungen
US20070046214A1 (en) * 2005-08-26 2007-03-01 Pasch Nicholas F Apparatus comprising an array of switches and display
US8450902B2 (en) * 2006-08-28 2013-05-28 Xerox Corporation Electrostatic actuator device having multiple gap heights
US8120133B2 (en) * 2006-09-11 2012-02-21 Alcatel Lucent Micro-actuator and locking switch
JP4855233B2 (ja) * 2006-12-07 2012-01-18 富士通株式会社 マイクロスイッチング素子およびマイクロスイッチング素子製造方法
US20100013033A1 (en) * 2008-07-18 2010-01-21 Chia-Shing Chou Enablement of IC devices during assembly

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4205029C1 (en) 1992-02-19 1993-02-11 Siemens Ag, 8000 Muenchen, De Micro-mechanical electrostatic relay - has tongue-shaped armature etched from surface of silicon@ substrate

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU601771A1 (ru) * 1976-02-05 1978-04-05 Предприятие П/Я В-8754 Электростатическое реле
FR2376548A1 (fr) * 1977-01-04 1978-07-28 Thomson Csf Dispositif bistable electrostatique
GB2095911B (en) * 1981-03-17 1985-02-13 Standard Telephones Cables Ltd Electrical switch device
JPS6046636U (ja) * 1983-09-05 1985-04-02 オムロン株式会社 多極リレ−
US4959515A (en) * 1984-05-01 1990-09-25 The Foxboro Company Micromechanical electric shunt and encoding devices made therefrom
CA1249620A (en) * 1985-01-21 1989-01-31 Takashi Oota Piezoelectric latching actuator having an impact receiving projectile
US4742263A (en) * 1986-08-15 1988-05-03 Pacific Bell Piezoelectric switch
US5258591A (en) * 1991-10-18 1993-11-02 Westinghouse Electric Corp. Low inductance cantilever switch
JP3402642B2 (ja) * 1993-01-26 2003-05-06 松下電工株式会社 静電駆動型リレー
US5367136A (en) * 1993-07-26 1994-11-22 Westinghouse Electric Corp. Non-contact two position microeletronic cantilever switch

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4205029C1 (en) 1992-02-19 1993-02-11 Siemens Ag, 8000 Muenchen, De Micro-mechanical electrostatic relay - has tongue-shaped armature etched from surface of silicon@ substrate

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100339185B1 (ko) * 1998-10-30 2002-05-31 포만 제프리 엘 공핍 스트랩 반도체 메모리 디바이스

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08255546A (ja) 1996-10-01
US5629565A (en) 1997-05-13
DE4437261C1 (de) 1995-10-19
EP0713235B1 (de) 1998-02-25
DE59501491D1 (de) 1998-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0713235B1 (de) Mikromechanisches elektrostatisches Relais
DE4437260C1 (de) Mikromechanisches Relais
EP0685109B1 (de) Mikromechanisches relais mit hybridantrieb
EP0710971B1 (de) Mikromechanisches Relais
DE60215642T2 (de) Membran für einen elektromechanischen Mikroschalter und Verfahren zu deren Herstellung und Verwendung
DE19806296B4 (de) NTC-Thermistorelemente
DE10302618B4 (de) Elektrostatische Betätigungsvorrichtung
EP1021815A1 (de) Mikromechanisches elektrostatisches relais und verfahren zu dessen herstellung
DE19823690C1 (de) Mikromechanisches elektrostatisches Relais
DE9305074U1 (de) Mikroschalter
DE4305033A1 (de) Mikromechanisches Relais mit Hybridantrieb
WO2008125636A1 (de) Elektrischer schalter
DE19935819B4 (de) Relais und Verfahren zu dessen Herstellung
WO1999043013A1 (de) Mikromechanisches elektrostatisches relais
DE10015598C2 (de) Mikroaktoranordnung
DE19920066B4 (de) Sensor aus einem mehrschichtigen Substrat mit einem aus einer Halbleiterschicht herausstrukturierten Federelement
EP0013991B2 (de) Kontaktfederanordnung für gepolte elektromagnetische Relais
DE10103814A1 (de) Elektrischer Schaltkontakt und Verfahren zu dessen Herstellung
DE3421806C2 (de)
DE19950964A1 (de) Mikromechanisches Relais und Verfahren zur Herstellung
EP1156504A2 (de) Mikromechanisches Relais mit verbessertem Schaltverhalten
DE4327142C2 (de) Mikromechanisches elektrostatisches Relais
WO2000031767A1 (de) Mikromechanisches elektrostatisches relais
EP0170958B1 (de) Piezoelektrisches Relais
DE10040867A1 (de) Mikroschalter

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE FR GB IT

17P Request for examination filed

Effective date: 19960604

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

17Q First examination report despatched

Effective date: 19970806

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE FR GB IT

REF Corresponds to:

Ref document number: 59501491

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19980402

ET Fr: translation filed
ITF It: translation for a ep patent filed

Owner name: STUDIO JAUMANN P. & C. S.N.C.

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 19980428

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: 732E

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: IF02

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20020913

Year of fee payment: 8

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20021003

Year of fee payment: 8

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20021031

Year of fee payment: 8

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20031004

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040501

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20031004

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040630

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.

Effective date: 20051004