DE4437261C1

DE4437261C1 - Mikromechanisches elektrostatisches Relais

Info

Publication number: DE4437261C1
Application number: DE4437261A
Authority: DE
Inventors: Lothar Kiesewetter; Joachim Dipl Phys Schimkat; Helmut Dr Ing Schlaak; Hans-Juergen Gevatter
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1994-10-18
Filing date: 1994-10-18
Publication date: 1995-10-19
Anticipated expiration: 2014-10-19
Also published as: JPH08255546A; US5629565A; EP0713235B1; DE59501491D1; EP0713235A1

Description

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches elektrostati sches Relais mit einem Basissubstrat, das eine Basis-Elektro denschicht und mindestens ein Basis-Kontaktstück trägt, und mit
einem auf dem Basissubstrat liegenden Ankersubstrat mit min destens einer freigearbeiteten, einseitig angebundenen Anker- Federzunge, welche eine Anker-Elektrodenschicht und an ihrem freien Ende ein Anker-Kontaktstück trägt,
wobei die Federzunge im Ruhezustand durch eine stetige Krüm mung vom Basissubstrat weg gebogen ist, so daß die beiden Elektrodenschichten einen keilförmigen Luftspalt zwischen einander bilden und
wobei sich die Federzunge im Arbeitszustand bei Anliegen ei ner Spannung zwischen den Elektrodenschichten an das Basis substrat anschmiegt und die beiden Kontaktstücke aufeinander liegen.

Ein derartiges mikromechanisches Relais ist bereits aus der DE 42 05 029 C1 bekannt. Wie dort ausgeführt ist, läßt sich ein solcher Relaisaufbau beispielsweise aus einem kristalli nen Halbleitersubstrat, vorzugsweise Silizium, herstellen, wobei die als Anker dienende Federzunge durch entsprechende Dotierungs- und Ätzvorgänge aus dem Halbleitersubstrat her ausgearbeitet wird. Grundsätzlich ist dort auch bereits be schrieben, wie man in der Federzunge durch eine Mehrschicht struktur eine homogene Krümmung erzeugen kann, wobei die ver schiedenen Schichten aufgrund ihrer unterschiedlichen Ausdeh nungskoeffizienten und Abscheidetemperaturen gegeneinander verspannt werden. Die gekrümmte Federzunge mit ihrer entspre chend gekrümmten Ankerelektrode bildet somit einen keilförmi gen Luftspalt gegenüber einer ebenen Basiselektrode auf einem ebenen Basissubstrat, welches beispielsweise ebenfalls aus Silizium oder auch aus Glas bestehen kann. Durch Anlegen ei ner Steuerspannung zwischen der Ankerelektrode der Federzunge und der ebenen Basiselektrode rollt die gekrümmte Federzunge auf der Basiselektrode ab und bildet damit einen sogenannten Wanderkeil. Während dieses Abrollens wird die Federzunge ge streckt, bis das freie Federende mit dem Ankerkontaktstück das Basiskontaktstück auf dem Basissubstrat berührt.

Dieser geschilderte Schaltvorgang mit dem Wanderkeil, bei dem die stetig gekrümmte Ankerelektrode stetig abrollt, bringt es mit sich, daß auch das eigentliche Schließen und Öffnen des Kontaktes in einer kontinuierlichen Bewegung erfolgt, wodurch sich eine sogenannte schleichende Kontaktgabe ergibt. In der Übergangsphase, bei der sich die Kontaktstücke nur mit gerin ger Kontaktkraft und dabei mit hohem Übergangswiderstand be rühren, entsteht ein Lichtbogen bzw. eine unerwünschte Erwär mung der Kontaktstücke, wobei die Kontaktoberflächen Schaden nehmen. Generell ist deshalb für Relais ein abrupter Schalt vorgang erwünscht, wobei die Federzunge bzw. das Ankerkon taktstück bei Erreichen der Ansprechspannung vollständig auf der Basiselektrode bzw. dem Basiskontaktstück aufschlägt und somit beim ersten Berühren des Arbeitskontakts eine defi nierte Kontaktkraft entsteht. Entsprechendes gilt für den Haltevorgang beim Absenken der Steuerspannung. Die Öffnung der Kontakte und damit das Abfallen der Federzunge sollen ebenfalls als Kippvorgang bei Unterschreitung der Haltespan nung erfolgen.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein mikromechanisches Relais der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß es eine Schaltcharakteristik mit eindeutigem Kippverhalten erhält, daß also das oben erwähnte schleichende Schaltverhalten ver mieden wird.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der keilförmige Luftspalt zwischen den Elektroden mindestens eine geometrische Diskontinuität aufweist. Durch diese erfindungs gemäß vorgesehene Unterbrechung des durchgehend keilförmigen Luftspaltes zwischen den beiden Elektroden wird erreicht, daß jeweils ein abrupter Schaltvorgang den Kontakt schließt bzw. öffnet.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Federzunge einen im Bereich der Anbindung am Ankersubstrat beginnenden, stetig gekrümmten Abschnitt und daran anschlie ßend zu ihrem freien Ende hin einen geraden Abschnitt auf, wobei die Länge des gekrümmten Abschnittes vorzugsweise etwa 20 bis 40% der Gesamtlänge der Federzunge betragen kann. Bei dieser Ausgestaltung rollt also die Federzunge zunächst über ihren gekrümmten Abschnitt stetig auf der Basiselektrode ab, bis der Übergang zum geraden Abschnitt erreicht wird. In die sem Augenblick schlägt der restliche, gerade Abschnitt der Feder Zunge in einem abrupten Schaltvorgang auf das Ende der Basiselektrode, wobei das Ankerkontaktstück abrupt auf das Basiskontaktstück schlägt.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist vorgesehen, daß der Beginn der Elektrodenfläche einen Versatz gegenüber der Anbindung der Federzunge am Ankersubstrat aufweist, des sen Länge vorzugsweise 20 bis 40% der Gesamtlänge der Feder zunge betragen kann. Bei dieser Ausführungsform kann also die Federzunge über ihre gesamte Länge kontinuierlich gekrümmt sein, während die Diskontinuität nunmehr durch den versetzten Beginn der Elektrode auf der Federzunge erzeugt wird.

Weiterhin kann ein abrupt es Schaltverhalten dadurch erzeugt werden, daß die Basiselektrode gegenüber der Ankerelektrode an der Anbindungsstelle der Federzunge einen vorgegebenen Spalt aufweist, dessen Höhe mindestens 10% der Gesamtauslen kung des freien Federendes gegenüber dem Basissubstrat im Ru hezustand betragt. Diese Höhe des Spaltes, die vorzugsweise zwischen 10 und 20% der genannten Federauslenkung betragen kann, ist somit wesentlich größer als die Dicke einer Iso lierschicht, die zur notwendigen Isolierung zwischen den bei den Elektroden an der Einspannstelle in jedem Fall erforder lich ist.

Ergänzend sei noch erwähnt, daß die genannten Maßnahmen zur Erzeugung einer Diskontinuität sowohl einzeln als auch in Kombination angewendet werden können.

Zur Erzeugung der Kontaktkraft ist am freien Ende der Feder zunge in an sich bekannter Weise ein durch Schlitze teilweise freigeschnittener Kontaktfederbereich gebildet, auf dem das Ankerkontaktstück angeordnet ist. Dabei ist der Abstand zwi schen den beiden Kontaktstücken geringer als der Abstand zwi schen den beiden Elektroden im Bereich des freien Federendes. Wenn der Kontaktfederbereich mittig freigeschnitten ist, kann also die Ankerelektrode an zwei Seitenlappen neben dem Kon taktfederbereich flach auf der Basiselektrode aufliegen, wäh rend der Kontaktfederbereich aufgrund der erhöhten Kontaktstücke durchgebogen wird und damit die Kontaktkraft erzeugt.

Die Erfindung wird nachfolgend an Ausführungsbeispielen an hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 eine schematische Darstellung für den grundsätzlichen Aufbau eines mikromechanischen Relais mit stetig gekrümmter Anker-Federzunge im Schnitt,

Fig. 2 eine Ansicht von unten auf das Ankersubstrat von Fig. 1,

Fig. 3a und 3b Diagramme mit Darstellungen des Verlaufs des Abstandes der Federzunge von der Basiselektrode und der Kontaktkraft, jeweils in Abhängigkeit von der Steuerspannung an den Elektroden, bei einem kontinuierlich keilförmigen Luftspalt zwischen den Elektroden gemäß Fig. 1,

Fig. 4a und 4b eine schematische Darstellung einer nur teilweise gekrümmten Anker-Federzunge im Ruhe- und Arbeitszu stand,

Fig. 5a und 5b Diagramme für den Verlauf des Abstandes zwischen Federzunge und Basiselektrode sowie der Kontaktkraft in Abhängigkeit von der Steuerspannung für die Federzunge ge mäß Fig. 4,

Fig. 6a und 6b die schematische Darstellung einer Feder zunge mit versetztem Elektrodenbeginn im Ruhezustand und im Arbeitszustand,

Fig. 7a und 7b den Verlauf des Kontaktabstandes und der Kontaktkraft in Abhängigkeit von der Steuerspannung bei einer Federzunge gemäß Fig. 6,

Fig. 8 die schematische Darstellung einer Federzunge mit ei nem zusätzlichen Luftspalt zwischen Ankerelektrode und Basis elektrode im Ruhezustand und im Arbeitszustand, und

Fig. 9a und 9b Diagramme für den Verlauf des Abstandes zwischen den Kontaktstücken bzw. zwischen der Federzunge und der Basiselektrode sowie den Verlauf der Kontaktkraft in Ab hängigkeit von der Steuerspannung bei einer Federzunge gemäß Fig. 8.

Fig. 1 zeigt schematisch den grundsätzlichen Aufbau eines mikromechanischen elektrostatischen Relais, bei dem die Er findung zur Anwendung kommt. Dabei ist an einem Ankersubstrat 1, vorzugsweise einem Silizium-Wafer, eine Anker-Federzunge 2 innerhalb einer entsprechend dotierten Siliziumschicht durch selektive Ätzverfahren freigearbeitet. An der Unterseite der Federzunge ist eine Doppelschicht 4 erzeugt, die in dem Bei spiel aus einer SiO₂-Schicht, welche Druckspannungen erzeugt, und einer Si₃N₄-Schicht, welche Zugspannungen erzeugt, be steht. Durch entsprechende Wahl der Schichtdicken kann der Federzunge eine gewünschte Krümmung verliehen werden. Schließlich trägt die Federzunge eine metallische Schicht als Ankerelektrode 5 an ihrer Unterseite. Diese Ankerelektrode 5 ist, wie in Fig. 2 zu sehen, zweigeteilt, um in der Mitte der Federzunge eine metallische Zuleitung 6 für ein Anker- Kontaktstück 7 zu bilden.

Wie aus Fig. 2 weiter ersichtlich ist, ist am freien Ende der Federzunge durch zwei Schlitze 8 ein Kontaktfederbereich 9 freigeschnitten, der das Kontaktstück 7 trägt. Dieser Kon taktfederbereich 9 kann sich beim flachen Aufliegen der An kerelektrode 5 auf einer Basiselektrode elastisch durchbie gen, wodurch die Kontaktkraft erzeugt wird.

Wie in Fig. 1 weiter zu sehen ist, ist das Ankersubstrat 1 auf einem Basissubstrat 10 befestigt, welches im vorliegenden Beispiel aus Pyrex-Glas besteht, das aber beispielsweise auch aus Silizium gebildet sein könnte. Auf seiner ebenen Oberflä che trägt das Basissubstrat 10 eine Basiselektrode 11 und ei ne Isolierschicht 12, um die Basiselektrode 11 gegenüber der Ankerelektrode 5 zu isolieren. Ein Basis-Kontaktstück 13 ist in nicht weiter dargestellter Weise mit einer Zuleitung ver sehen und natürlich gegenüber der Basiselektrode 11 isoliert angeordnet. Zwischen der gekrümmten Federzunge 2 mit der An kerelektrode 5 einerseits und der Basiselektrode 11 anderer seits ist ein keilförmiger Luftspalt 14 ausgebildet. Bei An liegen einer Spannung von einer Spannungsquelle 15 zwischen den beiden Elektroden 5 und 11 rollt die Federzunge auf der Basiselektrode 11 ab, wodurch das Ankerkontaktstück 7 mit dem Basiskontaktstück 13 verbunden wird.

Die Größenverhältnisse und Schichtdicken sind in den Fig. 1 und 2 lediglich unter dem Gesichtspunkt der Anschaulichkeit dargestellt und entsprechen nicht den tatsächlichen Verhält nissen. Für die nachfolgend beschriebenen Untersuchungen (mit Hilfe einer Computer-Simulation) wurde ein Aufbau gewählt, der etwa die folgenden Dimensionen hatte:

Länge der Federzunge (2)\|1300 µm
Breite der Federzunge (2)	1000 µm
Dicke der Federzunge (Si-Schicht) (2)	10 µm
SiO₂-Schichtdicke (4)	500 µm
Si₃N₄-Schichtdicke (4)	50 µm
Länge der Schlitze (8)	500 µm
Auslenkung Zungenende zur Basiselektrode ca.	11 µm

In Fig. 3 sind die Schaltkennlinien eines Aufbaus gemäß Fig. 1 mit stetig gekrümmt er Federzunge in Abhängigkeit von der Steuerspannung gezeigt. Dabei ist in Fig. 3a der Abstand A der Federzunge von der Basiselektrode gezeigt. Die Kurve a24 zeigt den Verlauf des Abstandes des Kontaktfederbereiches (am Punkt 24) von der Basiselektrode, während die Kurve a25 den entsprechenden Abstandsverlauf der Federzunge im Gabel punkt 25 zwischen Kontaktfederbereich und Ankerelektrodenbe reich (Ende der Schlitze 8) zeigt. Aus Fig. 3a ist deutlich zu ersehen, daß sich die Federzunge stetig an das Basis substrat bzw. die Basiselektrode annähert, bis bei etwa 8,5 V der Kontakt geschlossen wird; der Kontaktfederbereich der Fe derzunge ist dann um die Höhe der Kontaktstücke von der Ba siselektrode entfernt (etwa 4 µm). Der Verlauf der Kontakt kraft F in Fig. 3b zeigt bei der Ansprechspannung von 8,5 V eine sehr geringe Kontaktkraft von ca. 8 µN (Kurve f1), die mit steigender Spannung weiter ansteigt. Erst bei ca. 10,5 V geht die steil ansteigende Kurve in eine Charakteristik ge ringerer Steilheit über. Dieser Kennlinienverlauf ist für Re lais nicht erwünscht.

Um dieses unerwünschte schleichende Kontaktverhalten zu ver meiden, werden erfindungsgemäß verschiedene Maßnahmen zur Er zeugung einer geometrischen Diskontinuität vorgeschlagen, mit denen ein abruptes Schaltverhalten erzeugt wird. In Fig. 4 ist schematisch eine Federzunge 41 gezeigt, die im Anschluß an ihre Einspannstelle zunächst einen stetig gekrümmten Ab schnitt 42 mit dem Radius R und daran anschließend bis zum freien Ende einen geraden Abschnitt 43 aufweist. Ansonsten ist der Aufbau mit dem von Fig. 1 vergleichbar. Die Anker elektrode 5 und die Basiselektrode 11 erstrecken sich jeweils über die volle Länge der Federzunge. Fig. 4b zeigt die Fe derzunge 41 in angezogenem Zustand, wobei die Kontaktstücke aufeinanderliegen und durch die Durchbiegung des teilweise freigeschnittenen Kontaktfederbereiches 9 die Kontaktkraft erzeugt wird. (Zwischen Basissubstrat und Ankersubstrat ist in den Fig. 4, 6 und 8 jeweils ein kleiner Abstand ge zeichnet, der in Wirklichkeit lediglich auf die Dicke einer Isolierschicht beschränkt ist!)

Die Schaltcharakteristik einer Anordnung gemäß Fig. 4 ist in Fig. 5a und 5b zu erkennen. Gezeigt ist die Bewegung des Punktes 44 am Ende des Kontaktfederbereiches 9 (Kurve a44) und die Bewegung des Gabelungspunktes 45 bei der Anbindung des Kontaktfederbereiches (Kurve a45) in Abhängigkeit von der Steuerspannung. Außerdem zeigt Fig. 5b den Verlauf der Kon taktkraft F in Abhängigkeit von der Steuerspannung (Kurve f4). Es zeigt sich eine Schaltcharakteristik mit Hysterese und eindeutigen Kippvorgängen sowohl beim Schließen als auch beim Öffnen des Kontaktes. Bis zur Ansprechspannung von etwa 12 V bewegt sich die Feder in einer quadratischen Abhängig keit von der Spannung um etwa 10 bis 20% der Anfangsauslen kung und schaltet nach Überschreiten der Ansprechspannung schlagartig durch. Das Rückfallen erfolgt bei etwa 4 V. Gemäß Fig. 5b wird bei der Ansprechspannung von 12 V eine Kontakt kraft von etwa 0,28 µN erreicht. Danach steigt die Kraft mit verminderter Steigung an. Als grobe Dimensionierung sollte die Länge der gekrümmten Zone 42 etwa 20 bis 40% der Gesamt federlänge der Federzunge 41 betragen.

Fig. 6 zeigt eine Ausführungsform einer Federzunge 61, bei der die geometrische Diskontinuität in einem Versatz der Elektroden besteht. Die Ankerelektrode 62 beginnt in diesem Fall nicht wie die vorher gezeigte Ankerelektrode 5 an der Einspannstelle oder Anbindungsstelle der Federzunge am Anker substrat 1, sondern weist einen Versatz L gegenüber dieser Anbindungsstelle auf. Entsprechend kann auch der Beginn der Basiselektrode 63 um den Betrag L versetzt sein, ohne daß es darauf ankommt. Fig. 6a zeigt den Ruhezustand der Anordnung, also ohne Steuerspannung, während Fig. 6b den angezogenen Zustand, also bei Anliegen einer Steuerspannung zwischen den Elektroden 62 und 63, zeigt.

Fig. 7 zeigt den Bewegungsablauf am Kontaktpunkt 64 am Ende der Federzunge 61 (Kurve a64) sowie in Fig. 7b den Verlauf der Kontaktkraft (Kurve f6). Durch die versetzte Elektrode nach Fig. 6 wird die aktive Elektrodenfläche reduziert, so daß die Ansprechspannung gegenüber Fig. 3 vergrößert ist; sie liegt bei dem Beispiel der Simulation bei etwa 18 V. Wie man aus den Fig. 7a und 7b ersieht, erzielt man auch bei der Gestaltung von Fig. 6 eindeutige Kippzustände. Die Ver satzlänge L sollte etwa im Bereich von 20 bis 40% der Länge der Federzunge 61 gewählt werden.

Eine weitere Ausführungsform einer Federzunge mit Diskonti nuität ist in Fig. 8 gezeigt. In diesem Fall ist eine Feder zunge 81 mit einer kontinuierlichen Krümmung über ihre gesam te Länge und mit einer über ihre gesamte Länge verlaufenden Ankerelektrode 82 vorgesehen. Die geometrische Diskontinuität besteht hier darin, daß die Basiselektrode 83 um einen Ab stand d im Basissubstrat 10 nach unten versetzt ist, so daß gegenüber der Einspannstelle der Federzunge 81 ein Spalt von der Dicke d entsteht. Wie am Kurvenverlauf in den Fig. 9a und 9b zu erkennen ist, ergibt sich auch bei einer Anordnung gemäß Fig. 8 eine Erhöhung der Ansprechspannung mit eindeu tigen Kippzuständen für Öffnen und Schließen des Kontaktes. Dargestellt sind typische Schaltverläufe bei einer Luftspalt breite von d = 2 µm. Die Ansprechspannung beträgt hier 14 V, wobei alle geometrischen Daten gegenüber den vorherigen Aus führungsbeispielen vergleichbar sind. Zur Dimensionierung bietet sich eine Spaltbreite von d = 1 bis 2 µm an, was etwa 10 bis 20% der Auslenkung des Federendes im Ruhezustand ist.

Dargestellt ist in Fig. 9a der Bewegungsverlauf am Kontakt punkt 84 (Kurve a84) und am Gabelpunkt 85 (Kurve a85), ähn lich der Darstellung in Fig. 5. Außerdem ist in Fig. 9b der Verlauf der Kontaktkraft gezeigt (Kurve f8).

Wie aus den Kurvenverläufen in den Fig. 7 und 9 zu erken nen ist, führen die Lösungen gemäß den Fig. 6 und 8 zu er höhten Ansprechspannungen, da das elektrostatische Feld ins gesamt verringert wird. Unter diesem Gesichtspunkt bietet die Lösung gemäß Fig. 4 mit den Kurvenverläufen gemäß Fig. 5 die optimale Ausnutzung der elektrostatischen Felder. Aller dings ist diese Lösung mit einer nur teilweise gekrümmten Fe der schwieriger herzustellen als die homogen gekrümmten Fe dern von Fig. 6 und 8. Welche Lösung im Endeffekt zu bevor zugen ist, hängt also unter anderem von den zur Verfügung stehenden Herstellverfahren und Materialien ab. Wie eingangs bereits erwähnt wurde, könnten natürlich Kombinationen der verschiedenen Ausführungsformen gemäß den Fig. 4, 6 und 8 in Betracht kommen und gegebenenfalls zu einer optimalen Lö sung führen.

Claims

1. Mikromechanisches elektrostatisches Relais mit einem Ba sissubstrat (10), das eine Basis-Elektrodenschicht (11; 63, 83) und mindestens ein Basis-Kontaktstück (13) trägt, und mit einem auf dem Basissubstrat liegenden Ankersubstrat (1) mit mindestens einer freigearbeiteten, einseitig angebundenen An ker-Federzunge (2; 41, 61, 81), welche eine Anker-Elektroden schicht (5; 62, 82) und an ihrem freien Ende ein Anker-Kon taktstück (7) trägt, wobei die Federzunge (2; 41; 61; 81) im Ruhezustand durch ei ne stetige Krümmung vom Basissubstrat (10) weg gebogen ist, so daß die beiden Elektroden (5, 11; 62, 63; 82, 83) einen keilförmigen Luftspalt (14) zwischen einander bilden und wobei sich die Federzunge (2; 41; 61; 81) im Arbeitszustand bei Anliegen einer Spannung zwischen den Elektroden an das Basissubstrat (10) anschmiegt und die beiden Kontaktstücke (7, 13) aufeinanderliegen, dadurch gekennzeichnet daß der keilförmige Luftspalt (14) zwischen den Elektroden mindestens eine geometrische Diskontinuität aufweist.

2. Relais nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß die Federzunge (41) einen im Bereich der Anbindung am An kersubstrat beginnenden, stetig gekrümmten Abschnitt (42) und daran anschließend zu ihrem freien Ende hin einen geraden Ab schnitt (43) aufweist.

3. Relais nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge des gekrümmten Abschnittes (42) etwa 20 bis 40% der Gesamtlänge der Federzunge (41) beträgt.

4. Relais nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge kennzeichnet, daß der Beginn der Elektrodenfläche (62) einen Versatz (L) gegenüber der Anbindung der Federzunge (61) am Ankersubstrat (1) aufweist.

5. Relais nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge des Versatzes (L) der Elektrode (62) etwa 20 bis 40% der Gesamtlänge der Federzunge (61) beträgt.

6. Relais nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge kennzeichnet, daß die Basiselektrode (83) gegenüber der Ankerelektrode (82) an der Anbindungsstelle der Federzunge einen vorgegebenen Spalt (d) aufweist, dessen Höhe mindestens 10% der Gesamtauslenkung des freien Federendes gegenüber dem Basissubstrat im Ruhezustand beträgt.

7. Relais nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe des Spaltes (d) zwischen 10 und 20% der Gesamt auslenkung des freien Federendes gegenüber dem Basissubstrat (10) im Ruhezustand beträgt.

8. Relais nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge kennzeichnet, daß die Federzunge (2; 41; 61; 81) an ih rem freien Ende einen durch Schlitze (8) teilweise freige schnittenen Kontaktfederbereich (9) bildet, auf dem das An kerkontaktstück (7) angeordnet ist, und daß der Abstand zwi schen den beiden Kontaktstücken (7, 13) geringer ist als der Abstand zwischen den beiden Elektroden (5, 11) im Bereich des freien Federendes.

9. Relais nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet daß der Kontaktfederbereich (9) mittig der Kontaktfederbreite durch zwei vom freien Ende her parallel zu den Seitenkanten der Federzunge verlaufende Schlitze (8) gebildet ist, deren Länge etwa 20% bis 50% der Gesamtlänge der Federzunge (2) beträgt.