DE951882C - Einrichtung zur Verstellung der Objekthalterung bei Elektronenmikroskopen - Google Patents

Einrichtung zur Verstellung der Objekthalterung bei Elektronenmikroskopen

Info

Publication number
DE951882C
DE951882C DES40906A DES0040906A DE951882C DE 951882 C DE951882 C DE 951882C DE S40906 A DES40906 A DE S40906A DE S0040906 A DES0040906 A DE S0040906A DE 951882 C DE951882 C DE 951882C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
adjusting
adjustment
object holder
electron microscopes
cross
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DES40906A
Other languages
English (en)
Inventor
Alexander Asmus
Henry Burmester
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DES40906A priority Critical patent/DE951882C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE951882C publication Critical patent/DE951882C/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

  • Einrichtung zur Verstellung der Objekthalterung bei Elektronenmikroskopen Bei Elektronenmikroskopen ist es allgemein üblich, zum Absuchen des Objekts eine Verstellung der Objekthalterung, in zwoi zueinander gekreuzten Richtungen vorzusehen. Meist wird diese Kreuzbewegung von einem Tisch ausgeführt, in den eine Objektpatrone relativ zum Tisch .unbeweglich eingesetzt ist. Es gibt aber auch Anordnungen, bei denen die Objekthalterung relativ zum Kreuztisch bewegt werden soll. Es handelt sich hierbei vor allem um eine Stereoaufnahmeeinrichtung, bei der das Objekt nacheinander mit einem geringen Winkelunterschied. aufgenommen wird, so daß ein stereoskopisches Bildpaar entsteht. Eine andere Einrichtung .mit relativ zum Kreuztisch beweglicher Objekthalterung ist durch die sogenannte Spreizpatrone gegeben, bei der es möglich ist, elastische Objekte während der Beobachtung .in einer Richtung zu strecken. Bisher hat man diese Einrichtungen durch Verstellorgane betätigt, bei denen das Verstellgewinde der äußerem Mikroskopwand zugeordnet war. Das hatte zur Folge, daß .die Verstellgröße (Stereowinkel bzw. Spreizungsbetrag) sich bei einer Bewegung des Kreuztisches veränderte.
  • Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Verstellung der Objekthalterung, insbesondere bei Stereopatronen relativ zum Objekttisch, bei der dieser Nachteil vermieden ist, und sie besteht erfindungsgemäß,darin, daß sieh das Verstellgewinde im Tisch selbst oder in einem Teil befindet, das an den Einstellbewegungen des Tisches teilnimmt. Bei dieser Einrichtung wird also der eingestellte Winkel bzw. Spreizbetrag nicht geändert, wenn der Tisch zum Absuchen des Objekts bewegt wird. Da die vorliegende Verste@lleinrichtung mit dem Tisch relativ zur äußeren Mikroskopwand beweglich ist, muß eine ebenfalls beweglicheVerbindung zwischen dem äußeren Betätigungsorgan und der Verstellschraube vorgesehen werden. Zu diesem Zweck kann etwa eine biegsame Welle gewählt werden; eine größere Präzision wird jedoch zweckmäß.igerweise dadurch erreicht, daß der Schaft der Verstellschraube durch eine Kreuzscheibenkupplung mit ihrem außerhalb des Mikroskops liegenden Betätigungsorgan verbunden ist. Es gibt Konstruktionen des Objekttisches, bei .denen es unmöglich äst, eine Verstellschraube geradlinig durch den Tisch hindurch bis zur Objektpatrone zu führen; das ist etwa der Fall, wenn feststehende Verste@llstangen oder Schienen anderer Art innerhalb des Tisches verlaufen. Bei derartigen Tischen kann die vorliegende Einrichtung derart ausgebildet werden, daß Idas Gewinde sich in einem jochartigen Teil befindet, das relativ zum Tisch radial beweglich und durch Zugfedern mit dem Tisch verbunden ,ist, so daß das Ende der Verstellschraube gegen den Tisch stößt und beire Drehen der Schraube die Verstellbewegung durch das bewegliche Joch auf die Objektpatrone übertragen wird. Bei dieser Anordnung nimmt .also das jochartige Teil, in dem sich das Verstellgewinde befindet, an den Einstellbewegungen des Tischeis teil. Bei allen Ausführungsformen der Erfindung kann der Betrag der Verstellgröße auf einer dem äußeren Betätigungsorgan zugeordneten Skala ablesbar sein.
  • Die Fng. i und 2 -zeigen Ausführungsbeispiele der Erfindung. In Fig. i ist 1 der Kreuztisch, in dessen Zentrum sich eine Stereopatrone :2 befindet. Die Verstellschraube 3 für die Stereoverstellung ist hier durch den Tisch geführt; ihr Gewinde 4 befindet sich ebenfalls im Tisch. Das relativ zur Mikroskopwand feste Betätigungsorgan 5 ist durch eine Kreuzscheibenkupplung 6 mit der Verstellschraube verbunden. Wird der äußere Rändelgriff 7 gedreht, so wird die Drehung durch die Kupplung 6 auf die Schraub 3 übertragen. Die Sehraube 3 stößt ihrerseits gegen die gefederte Schwenkeinrichtung 8 innerhalb der Objektpatrone, wodurch das bei 9 befindliche Objekt um eine. in seiner Ebene liegende Achse geschwenkt wird. Der Betrag der Verstel-lgröße ist auf den Skalen 5" und 5b ablesbar.
  • Fig. 2 zeigt eine ähnliche Einrichtung, ebenfalls insbesondere für Stereopatronen, bei der jedoch eine direkte Durchführung infolge im Tisch -verlaufender (nicht eingezeichneter) ortsfester Schienen unmöglich ist. DieStereopatrone selbst ist derübersacht wegen aus der konischen Bohrung io des Tisches i i herausgenommen. Das Verstellgewinde befindet sich bei dieser Anordnung in einem Joch 12, das mit Federn 13 an dem Tisch befestigt ist. Das Joch ist radial in Richtung auf die Objektpatrone beweglich. An seinem inneren Ende besitzt es einen Stößel 14, der die Patrone verstellt. Die Verstellschraube 15 arbeitet gegen einen Riegel 16, der mit dem Tisch i i fest verbunden ist. Die Verbindung mit dem äußeren, hier nicht gezeigten Betätigungsorgan .ist in gleicher Weise wie bei Fig. i durch eine Kreuzscheibenkupplung, von der nur eine Gabel 17 dargestellt ist, hergestellt.
  • Die Ausbildung der Kreuzscheibenkupplung im *einzelnen zeigt Fig. 2 a. Das Mittelstück 18 wird. mit :den äußeren Stücken 17 durch Stifte ig verbunden, wobei die Scheiben des Mittelstücks .Bohrungen besitzen, deren Durchmesser größer ist als der der Stifte i9. Die Kupplung hat auf diese Weise ausreichende Bewegungsmöglichkeiten nach allen Seiten.
  • Die beschriebenen Anordnungen können sinngemäß bei Spreizpatronen verwendet werden. PATENTANSPRÜCHE: i. Einrichtung bei Elektronenmikroskopen zur Verstellung der Objekthalterung; insbesondere bei Stereopatronen, relativ zum Objekttisch, dadurch gekennzeichnet, daß sich das. Verstellgewinde im Tisch selbst oder in einem Teil befindet, das an den Einstellbewegungen des Tisches teilnimmt.
  • 2. Verstelleinrichtung nach Anspruch i, da,-durch gekennzeichnet, daß der Schaft der Verstellschraube durch eine Kreuzscheibenkupplung mit ihrem außerhalb des Mikroskops .liegenden Betätigungsorgan verbunden ist.
  • 3. Verstelleinriehtung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ,das Gewinde sich in einem jochartigen Teil befindet, das relativ zum Tisch radial beweglich und durch Zugfedern mit dem Tisch verbunden ist, so daß das Ende der Verstellschraube gegen den Tisch stößt und beim Drehen der Schraube sich die Verstellbewegung durch das bewegliche Joch auf die Objektpatrone überträgt.
  • 4. Verstelleinrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, .dadurch gekennzeichnet, daß der Betrag der Verstellgröße auf einer dem äußeren Betätigungsorgan zugeordneten Skala ablesbar ist.

Claims (1)

  1. Das Patent 951 882 ist durch rechtskräftiges Urteil des Bdegn patentgerirhts vom 23. 1 1 . 1 966 dadurch teilweise für ni chtIg erklärt worden, da£ a) der Patentanspruch 1 gestrichen wird, b)) der %tentanspra4h 2 aWf Anspruch 3 akbez ügen wird, i. Patentanspruch 3 de Rekbez:Lehauf 2 : @-strioh®n@@rd e l lmatest,x@spr@@@ 4 die @kb@ a.mspruch stxicheziL wLrd"
DES40906A 1954-09-21 1954-09-21 Einrichtung zur Verstellung der Objekthalterung bei Elektronenmikroskopen Expired DE951882C (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES40906A DE951882C (de) 1954-09-21 1954-09-21 Einrichtung zur Verstellung der Objekthalterung bei Elektronenmikroskopen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES40906A DE951882C (de) 1954-09-21 1954-09-21 Einrichtung zur Verstellung der Objekthalterung bei Elektronenmikroskopen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE951882C true DE951882C (de) 1956-11-08

Family

ID=7483793

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DES40906A Expired DE951882C (de) 1954-09-21 1954-09-21 Einrichtung zur Verstellung der Objekthalterung bei Elektronenmikroskopen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE951882C (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE951882C (de) Einrichtung zur Verstellung der Objekthalterung bei Elektronenmikroskopen
DE2538048C3 (de) Binokulartubus
DE864184C (de) Evanslenker mit Vorrichtung zur Erzeugung einer Schwenk- oder zu sich selbst parallel bleibenden Bewegung
DE2127676A1 (de) Einrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Schichtdicke einer von einer Veränderung der Oberflächenstruktur betroffenen Schicht eines Körpers
DE966345C (de) Einrichtung zur Okulareinstellung binokularer Instrumente
DE944914C (de) Einrichtung zur Umwandlung einer Drehbewegung in eine axiale Bewegung, insbesondere Abstimmeinrichtung fuer ein Klystron
DE1101793B (de) Photographisches Objektiv mit kontinuierlich veraenderlicher Brennweite
DES0040906MA (de)
DE426653C (de) Vorrichtung zum Justieren von Kristallen
DE761339C (de) Multiplikations- und Divisionsgetriebe, insbesondere fuer Feuerleitrechner
AT215695B (de) Photographisches Objektiv mit kontinuierlich veränderlicher Brennweite
DE438162C (de) Vorrichtung zur zwanglaeufigen Einstellung von Ding-, Bild- und Objektivtraeger zueinander bei photographischen Wiedergabekameras
DE375354C (de) Ausloesevorrichtung fuer Objektivverschluesse
DE1024721B (de) Geraet zum Pruefen der Evolventenform von Zahnflanken bei Zahnraedern
DE714279C (de) Optisches System fuer Spektralapparate mit fester Ablenkung
DE508852C (de) Spiegelsteuerung fuer den optischen Ausgleich der Bildwanderung bei Kinematographen
DE928375C (de) Mikromanipulator
DE496123C (de) Kinematographische Vorrichtung mit gleichmaessig bewegtem Film
DE1093581B (de) Doppelfernglas
DE854854C (de) Zeichengeraet
DE1110905B (de) Einstellvorrichtung fuer ein Objektiv mit veraenderlicher Brennweite
DE379908C (de) Winkelmessgeraet (Richtkreis, Rundblickfernrohr o. dgl.)
DE600371C (de) Gelenkverbindung fuer die Schalldose und den Tonarm bei Tonaufnahme- und -wiedergabemaschinen
CH220776A (de) Bewegungsübertragungsanordnung, insbesondere für Messapparate.
DE569885C (de) Vorrichtung zur Feineinstellung von Mikroskopen