DE69615321T2 - Flaches elektromagnetisches betätigungsorgan - Google Patents
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Description
- Die Erfindung betrifft ein elektromagnetisches Betätigungsorgan in Planarbauweise, bei dem eine Miniaturisierung durch die Verwendung von Halbleiterfertigungstechnologie verwirklicht ist, und insbesondere eine Technik zur Reduzierung der Kosten elektromagnetischer Betätigungsorgane in Planarbauweise.
- Der Erfinder hat zuvor ein sehr kleines elektromagnetisches Betätigungsorgan in Planarbauweise vorgeschlagen, bei dem Halbleitertechnologie verwendet wird. Diese Vorrichtung ist zum Beispiel für ein Spiegelgalvanometer in Planarbauweise (Japanische Patentanmeldungen Nr. 5-320524 und 6-9824) geeignet.
- Eine Beschreibung dieses elektromagnetischen Betätigungsorgans in Planarbauweise ist untenstehend angegeben.
- Das elektromagnetische Betätigungsorgan weist ein Siliziumsubstrat auf, auf dem ein planares bewegbares Teil einstückig ausgebildet ist, und ein in Bauweise eines Torsionssteges ausgebildetes axiales Trägerteil zum axialen Tragen des bewegbaren Teils, so daß dieses an einer Mittenposition des bewegbaren Teils relativ zu dem Siliziumsubstrat in einer zu demselben senkrechten Richtung schwingen kann. An einer oberen Peripheriefläche des bewegbaren Teils ist eine zum Erzeugen eines Magnetfeldes mittels eines Stroms vorgesehene planare Spule aus einem dünnen Kupferfilm vorgesehen. Außerdem sind an der Peripherie des bewegbaren Teils Permanentmagneten, die als miteinander ein Paar bildende Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes dienen, vorgesehen, so daß das dadurch erzeugte statische Magnetfeld auf die an den gegenüberliegenden Seiten des bewegbaren Teils angeordneten, zu der Axialrichtung des axialen Trägerteils parallelen Abschnitte der planaren Spule einwirkt. Bei den oben genannten Patentanmeldungen sind Paare von Permanentmagneten oberhalb bzw. unterhalb der gegenüberliegenden Seitenteile des bewegbaren Teils angeordnet, wobei der Aufbau derart ist, daß die zwischen den Paaren von Permanentmagneten erzeugten statischen Magnetfelder die Antriebsspule in vorbestimmten Richtungen schneiden.
- Ein solches elektromagnetisches Betätigungsorgan ist dadurch angetrieben, daß durch die planare Spule ein Strom gesendet wird. Das heißt, mittels der Permanentmagneten wird an gegenüberliegenden Seiten des bewegbaren Teils ein statisches Magnetfeld in einer solchen Richtung ausgebildet, daß es die planare Spule, die entlang der planaren Fläche des bewegbaren Teils liegt, schneidet. Wenn in der in diesem statischen Magnetfeld angeordneten Spule ein Strom fließt, wirkt an den gegenüberliegenden Seiten des bewegbaren Teils in eine der Fleming'schen Linke-Hand-Regel für Strom, Magnetflußdichte und Kraft entsprechende Richtung eine magnetische Kraft, die proportional zur Stromdichte und zur Magnetflußdichte der planaren Spule ist, wie durch die folgende Gleichung (1) dargestellt ist, so daß das bewegbare Teil gedreht wird.
- F = i · B (1)
- wobei F die magnetische Kraft ist, i der in der Antriebsspule fließende Strom ist und 8 die Magnetflußdichte ist.
- Andererseits wird bei der Drehung des bewegbaren Teils das axiale Trägerteil verdreht, wodurch eine Feder-Rückstellkraft erzeugt wird, so daß das bewegbare Teil sich in eine Position dreht, in der die magnetische Kraft und die Feder- Rückstellkraft im Gleichgewicht sind. Der Drehwinkel des bewegbaren Teils ist proportional zum durch die planare Spule fließenden Strom, und somit ist der Drehwinkel des bewegbaren Teils durch ein Regeln des durch die planare Spule fließenden Stroms regelbar.
- Folglich ist, wenn zum Beispiel an einer Mittenfläche des bewegbaren Teils ein Spiegel vorgesehen ist, die Richtung, in die ein in einer zur Achse des axialen Trägerteils senkrechten Ebene auf den Spiegel einfallender Laserstrahl reflektiert wird, frei regelbar. Somit kann die Vorrichtung als Spiegelgalvanometer verwendet werden, mit dem durch einen zyklischen Betrieb, bei dem der Spiegelverlagerungswinkel kontinuierlich geändert wird, ein Laserstrahlscannen durchführbar ist.
- Ein solches elektromagnetisches Betätigungsorgan hat eine zweiachsige Bauweise mit zwei Trägerteilen im rechten Winkel zueinander.
- Das heißt, das einstückig mit dem Siliziumsubstrat ausgebildete bewegbare Teil ist aus einer rahmenartigen äußeren bewegbaren Platte und einer innerhalb des Rahmens der äußeren bewegbaren Platte angeordneten planaren inneren bewegbaren Platte aufgebaut. Außerdem weisen die axialen Trägerteile erste Torsionsstege zum axialen Halten der äußeren bewegbaren Platte und zu den ersten Torsionsstegen senkrecht ausgerichtete zweite Torsionsstege zum axialen Halten der inneren bewegbaren Platte relativ zur äußeren bewegbaren Platte auf. Außerdem sind an den oberen Flächen der äußeren und der inneren bewegbaren Platte jeweilige Antriebsspulen vorgesehen.
- Bei dieser Anordnungsweise ist es notwendig, daß die jeweiligen statischen Magnetfelder im rechten Winkel zueinander auf die Antriebsspule an der oberen Fläche der äußeren bewegbaren Platte und die Antriebsspule an der oberen Fläche der inneren bewegbaren Platte wirken.
- Daher sind im Fall des elektromagnetischen Betätigungsorgans mit einem herkömmlichen zweiachsigen Aufbau die Permanentmagneten zum Antreiben der äußeren bewegbaren Platte und die Permanentmagneten zum Antreiben der inneren bewegbaren Platte voneinander getrennt vorgesehen. Zum Beispiel wirken, wie bei den zuvor genannten Beispielen aus Patentanmeldungen, bei denen jeweils Paare von Permanentmagneten oberhalb und unterhalb der jeweiligen vier Seiten des bewegbaren Teils angeordnet sind oder Permanentmagneten an den vier jeweiligen Seiten angeordnet sind, die einander gegenüberstehenden Permanentmagneten paarweise und erzeugen so bezüglich des bewegbaren Teils zueinander senkrechte Magnetfelder. Das heißt, bei dem herkömmlichen Aufbau sind mindestens vier Permanentmagneten, in anderen Worten zwei Paare von Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes, erforderlich.
- Die Erfindung berücksichtigt die obige Situation, mit dem Ziel, ein elektromagnetisches Betätigungsorgan zu liefern, wobei der Aufbau vereinfacht ist und die Herstellungskosten reduziert sind, indem es nur ein Paar von Vorrichtungen zum Erzeugen statischer Magnetfelder aufweist, um beiderseitig zu dem bewegbaren Teil senkrechte statische Magnetfelder zu erzeugen.
- Entsprechend weist der Aufbau auf: einstückig in einem Halbleitersubstrat ausgebildet ein bewegbares Teil, das eine rahmenartige äußere bewegbare Platte und eine innerhalb der äußeren bewegbaren Platte angeordnete innere bewegbare Platte aufweist, und ein axiales Trägerteil, das erste Torsionsstege zum axialen Halten der äußeren bewegbaren Platte aufweist, so daß diese schwingen kann, und das axial im rechten Winkel zu den ersten Torsionsstegen ausgerichtete zweite Torsionsstege zum axialen Halten der inneren bewegbaren Platte aufweist, so daß diese schwingen kann; Antriebsspulen, die an jeweiligen Peripherieabschnitten der äußeren bewegbaren Platte und der inneren bewegbaren Platte vorgesehen sind; und Einrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes zum Anlegen eines statischen Magnetfeldes an die Antriebsspulen, wobei der Aufbau derart ist, daß der bewegbare Teil mittels eines Magnetfeldes angetrieben ist, das dadurch erzeugt ist, daß ein Strom durch die Antriebsspulen gesendet wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein Paar Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes auf einer Diagonallinie des bewegbaren Teils vorgesehen ist, wobei der bewegbare Teil dazwischen angeordnet ist.
- Bei einem solchen Aufbau schneidet ein von der einen des Paars von Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes zur anderen gerichtetes Magnetfeld das bewegbare Teil in einem Winkel. Analysiert man die Vektorkomponenten des statischen Magnetfeldes, so erhält man für die jeweiligen Seiten des bewegbaren Teils zwei zueinander senkrechte Komponenten des statischen Magnetfeldes. Folglich ist es aufgrund dieser beiden Komponenten des statischen Magnetfeldes möglich, daß auf die äußere und die innere bewegbare Platte jeweils eine magnetische Kraft einwirkt.
- Außerdem kann der Aufbau derart sein, daß das Paar von Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes an einem Joch befestigt ist, das aus einem Magnetkörper gefertigt ist und den bewegbaren Teil umgebend angeordnet ist.
- Bei einem solchen Aufbau läßt sich die wirkungslose Komponente des statischen Magnetfeldes, welche nicht die bewegbaren Platten schneidet, sondern statt dessen in den Umgebungsbereich der Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes leckt, reduzieren, so daß die Effizienz der Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes erhöht werden kann.
- Außerdem können das Paar von Einrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes Permanentmagneten sein, die mit einander gegenüberstehendem Nordpol und Südpol angeordnet sind.
- Bei einer solchen Anordnungsweise läßt sich der Aufbau im Vergleich zu dem Fall, in dem Elektromagneten oder dergleichen verwendet werden, vereinfachen.
- Die Permanentmagneten können Seltene-Erd-Magneten sein.
- Bei einem solchen Aufbau läßt sich bewirken, daß ein größeres Magnetfeld wirkt, was eine Erhöhung der magnetischen Kraft ergibt.
- Ein Spiegelgalvanometer kann mit einem reflektiven Spiegel an einer Mittenfläche der inneren bewegbaren Platte des bewegbaren Teils ausgebildet sein.
- Der Grundaufbau des Spiegelgalvanometers kann aufweisen:
- angeordnet auf einem Isolations-Substrat: einen bewegbaren Teil mit dem reflektiven Spiegel, einen mit einem axialen Halteteil und einer Antriebsspule versehenen Scannerkörper, ein Joch mit einem den Scannerkörper umgebenden rahmenförmigen Magnetkörper, sowie Permanentmagneten, die an dem Joch befestigt sind und zu einer Diagonalrichtung des Scannerkörpers ausgerichtet sind, wobei der Scannerkörper dazwischen angeordnet ist; und eine Mehrzahl von mit der Antriebsspule elektrisch verbundenen und an dem Isolations-Substrat angeordneten elektrischen Anschlußstiften.
- Fig. 1 zeigt ein schematisches Diagramm einer ersten Ausführungsform eines elektromagnetischen Betätigungsorgans gemäß der Erfindung;
- Fig. 2 zeigt ein vergrößertes Diagramm eines Scannerkörpers der Ausführungsform;
- Fig. 3 zeigt ein Diagramm zur Erklärung des Betriebs der Ausführungsform; und
- Fig. 4 zeigt ein Diagramm zur Erklärung der Auswirkung eines Jochs; Fig. 4(A) veranschaulicht die Magnetfeldbedingungen, wenn kein Joch vorgesehen ist, und Fig. 4(B) veranschaulicht die Magnetfeldbedingungen, wenn ein Joch vorgesehen ist.
- Nun wird in Bezug auf die Zeichnungen eine Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
- Fig. 1 zeigt den Aufbau einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen elektromagnetischen Betätigungsorgans, das auf ein Spiegelgalvanometer angewandt ist.
- Das in Fig. 1 gezeigte Spiegelgalvanometer 1, welches das elektromagnetische Betätigungsorgans gemäß dieser Ausführungsform ist, weist einen Scannerkörper 10 mit einem bewegbaren Teil und einem axialen Trägerteil auf, die auf einem Halbleitersubstrat wie zum Beispiel einem Siliziumsubstrat einstückig ausgebildet sind, das, wie in der Figur gezeigt ist, mittig auf einer Isolationsplatte 2 angeordnet und bezüglich der Isolationsplatte 2 um 45 Grad geneigt ist. An einer oberen Peripheriefläche der Isolationsplatte 2 ist ein rahmenartiges Joch 3 vorgesehen, das zum Beispiel aus einem Magnetkörper wie zum Beispiel reinem Eisen gefertigt ist. An der Innenseite der beiden einander gegenüberstehenden Seiten des Jochs 3 sind ein Paar von Permanentmagneten 4, 5 vorgesehen, die als Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes dienen. Bei den Permanentmagneten 4, 5 stehen der Süd- und der Nordpol einander gegenüber, so daß von einem Permanentmagneten 4 (oder 5) zum anderen Permanentmagneten 5 (oder 4) hin ein statisches Magnetfeld erzeugt wird, das den Scannerkörper 10 kreuzt. Bei dieser Ausführungsform wird das statische Magnetfeld vom Permanentmagneten 4 zum Permanentmagneten 5 hin erzeugt.
- An der Isolationsplatte 2 sind vier Steckerstifte 6a-6d angeordnet, die als elektrische Anschlußstifte dienen. Die Steckerstifte 6a-6d sind jeweils mit auf der Isolationsplatte 2 ausgebildeten Bondpads 7a-7d elektrisch verbunden. Planare Spulen 15A, 15B des Scannerkörpers 10 (die später noch genauer beschrieben werden sollen) sind jeweils über Zuleitungen 8a- 8d mit den Bondpads 7a-7d verbunden. Der Aufbau ist derart, daß zum Beispiel die Steckerstifte 6a, 6b, 6c und 6d mit jeweils einem als positivem Pol und dem anderen als negativem Pol paarweise angeordnet sind, und Strom über die Steckerstifte 6a, 6b an die planare Spule 15A der äußeren bewegbaren Platte 12A geleitet wird (wird später beschrieben) und über die Steckerstifte 6c, 6d an die planare Spule 15B der inneren bewegbaren Platte 12B geleitet wird (wird später beschrieben).
- Nun wird unter Bezugnahme auf Fig. 2 eine Beschreibung des Aufbaus des Scannerkörpers 10 gegeben.
- Bei dem Scannerkörper 10 werden ein bewegbares Teil mit einer rahmenartigen äußeren bewegbaren Platte 12A und einer planaren inneren bewegbaren Platte 12B und ein axiales Trägerteil mit ersten Torsionsstegen 13A, 13A zum axialen Halten der äußeren bewegbaren Platte 12A und zweiten Torsionsstege 13B, 13B zum axialen Halten der inneren bewegbaren Platte 12B bezüglich der äußeren bewegbaren Platte 12A, die mit ihren Achsen im rechten Winkel zueinander ausgebildet sind, durch anisotropes Ätzen einstückig auf einem Siliziumsubstrat 11 ausgebildet. Die Dicke des bewegbaren Teils wird verglichen mit der Dicke des Siliziumsubstrats dünn gemacht, so daß das bewegbare Teil um das axiale Trägerteil schwingen kann.
- Unter Verwendung eines Elektroplastik-Verfahrens oder dergleichen wird auf der oberen Fläche der äußeren bewegbaren Platte 12A eine als Antriebsspule dienende planare Spule 15A (die in Fig. 2 typischerweise als eine einzelne Linie dargestellt ist) aus zum Beispiel einem dünnen Kupferfilm ausgebildet und mittels eines der ersten Torsionsstege 13A, 13A mit einem Paar von äußeren Elektrodenanschlüssen 14A, 14A auf dem Siliziumsubstrat 11 elektrisch verbunden. Außerdem wird mittels des gleichen Verfahrens wie für die planare Spule 15A auf dem Peripherieabschnitt der oberen Fläche der inneren bewegbaren Platte 12B eine als Antriebsspule dienende planare Spule 15B (die in Fig. 2 typischerweise als eine einzelne Linie dargestellt ist) ausgebildet und mittels des anderen der ersten Torsionsstege 13A, 13A, ausgehend von einem der zweiten Torsionsstege 13B, 13B über den Abschnitt der äußeren bewegbaren Platte 12A mit einem Paar von inneren Elektrodenanschlüssen 14B, 14B auf dem Siliziumsubstrat 11 elektrisch verbunden. Außerdem wird auf dem Mittenabschnitt der oberen Fläche der inneren bewegbaren Platte 12B ein zum Beispiel aus aufgedampftem Aluminium gefertigter Totalreflexionsspiegel 16 ausgebildet. Das Paar von äußeren Elektrodenanschlüssen 14A, 14A und inneren Elektrodenanschlüssen 14B, 14B werden ähnlich ausgebildet wie die planaren Spulen 15A, 15B, also mittels eines Elektroplastik-Verfahrens oder dergleichen.
- Nun wird eine Beschreibung des Betriebs des elektromagnetischen Betätigungsorgans mit diesem Aufbau gegeben.
- Das von dem Permanentmagneten 4 erzeugte Magnetfeld ist zum Permanentmagneten 5 hin gerichtet, wobei es den Scannerkörper 10 auf dem Isolationssubstrat 2 schneidet. Analysiert man die Vektorkomponenten des Magnetfeldes, so hat, wie in Fig. 3 gezeigt ist, das Magnetfeld H eine transversale Magnetfeldkomponente H&sub1; und eine longitudinale Magnetfeldkomponente H&sub2;, die sich in der Ebene des Scannerkörpers 10 im gegenseitig rechten Winkel schneiden. Im Fall der Ausführungsform ist die transversale Magnetfeldkomponente H&sub1; im rechten Winkel zur Axialrichtung der ersten Torsionsstege 13A, 13A zum axialen Halten der äußeren bewegbaren Platte 12A ausgerichtet, während die longitudinale Magnetfeldkomponente H&sub2; im rechten Winkel zur Axialrichtung der zweiten Torsionsstege 13B, 13B zum axialen Halten der inneren bewegbaren Platte 12B ausgerichtet ist.
- Folglich wird, wenn über die Steckerstifte 6a, 6b ein Strom durch die planare Spule 15A der äußeren bewegbaren Platte 12A gesendet wird, durch die Auswirkung des Stroms und der transversalen Magnetfeldkomponente H&sub1; eine magnetische Kraft F gemäß Gleichung (1) erzeugt, wodurch die äußere bewegbare Platte 12A angetrieben wird. Außerdem wird auf ähnliche Weise, wenn über die Steckerstifte 6c, 6d ein Strom durch die planare Spule 15B der inneren bewegbaren Platte 12B gesendet wird, durch die Auswirkung des Stroms und der transversalen Magnetfeldkomponente H&sub2; eine magnetische Kraft F gemäß Gleichung (1) erzeugt, wodurch die innere bewegbare Platte 12B angetrieben wird.
- Folglich können die äußere bewegbare Platte 12A und die innere bewegbare Platte 12B mit nur einem Paar von Permanentmagneten 4, 5 angetrieben werden, und somit brauchen keine gesonderten Permanentmagneten vorgesehen zu sein, um die äußere bewegbare Platte bzw. die innere bewegbare Platte anzutreiben, wie bei der herkömmlichen Anordnungsweise. Daher ist die Anzahl von Komponenten für das elektromagnetische Betätigungsorgan reduzierbar, und der Aufbau läßt sich vereinfachen, und somit lassen sich die Herstellungskosten für das elektromagnetische Betätigungsorgan verringern.
- Außerdem läßt sich, da das Joch 3 vorgesehen ist, die Effizienz des von den Permanentmagneten 4, 5 erzeugten Magnetfeldes erhöhen, so daß sich eine große magnetische Kraft erzielen läßt.
- Das heißt, wie in Fig. 4(A) gezeigt ist, gibt es an der Peripherie der Permanentmagneten 4 und 5, wie durch die gepunktete Linie dargestellt ist, jeweils ein wirkungsloses Magnetfeld, welches den Scannerkörper 10 nicht schneidet und deshalb keinen Bezug zur Bewegung des bewegbaren Teils hat. Jedoch läßt sich dadurch, daß das Joch 3 vorgesehen ist, das wirkungslose Magnetfeld, wie in Fig. 4(B) gezeigt ist, als wirksames Magnetfeld H zum anderen Permanentmagneten lenken. Daher läßt sich die Menge des wirkungslosen Magnetfeldes verringern, und das in den Figuren durch die vollen Linien dargestellte wirksame Magnetfeld, das den Scannerkörper 10 schneidet und somit zum Antreiben des bewegbaren Teils beiträgt, läßt sich erhöhen. Folglich läßt sich in dem Fall, in dem Permanentmagneten mit gleichen Eigenschaften verwendet werden, dadurch, daß das Joch 3 vorgesehen wird, die Effizienz der Permanentmagneten im Vergleich dazu, wenn das Joch nicht vorgesehen ist, erhöhen, so daß eine große magnetische Kraft erzielt werden kann.
- Für die Vorrichtung zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes kann auch ein Elektromagnet verwendet werden. Jedoch ist bei einem Elektromagneten eine elektrische Verdrahtung erforderlich. Daher ist der Aufbau, bei dem, wie bei der Ausführungsform, die Permanentmagneten verwendet werden, einfacher und daher erwünschter. Zudem läßt sich insbesondere dadurch, daß Seltene-Erd-Magneten verwendet werden, ein großes Magnetfeld H erzielen, und somit ist die magnetische Kraft erhöht.
- Das für die Ausführungsform angegebene Beispiel war für ein elektromagnetisches Betätigungsorgan, das bei einem Spiegelgalvanometer in Planarbauweise verwendet wird. Jedoch ist die Erfindung nicht darauf beschränkt.
- Da bei der oben beschriebenen Ausführungsform das Paar von Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes so vorgesehen ist, daß es bezüglich der Diagonalrichtung des beweglichen Teils, das zwei im rechten Winkel zueinander axial gehaltene bewegbare Platten hat, ausgerichtet ist, können die beiden bewegbaren Platten mit nur einem Paar von Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes angetrieben werden. Die Anzahl von Komponenten für das elektromagnetische Betätigungsorgan läßt sich daher reduzieren, und der Aufbau läßt sich vereinfachen, und somit lassen sich die Herstellungskosten für das elektromagnetische Betätigungsorgan stark verringern. Außerdem läßt sich, da ein Joch vorgesehen ist, die Effizienz der Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes erhöhen, und somit läßt sich die Antriebskraft für das bewegbare Teil erhöhen.
- Die Erfindung ermöglicht eine Vereinfachung und eine Kostenreduzierung bei Instrumenten, die sehr kleine elektromagnetische Betätigungsorgane in Planarbauweise aufweisen, und somit ist die industrielle Anwendbarkeit beträchtlich.
Claims (6)
1. Elektromagnetisches Betätigungsorgan in Planarbauweise,
mit, einstückig in einem Halbleitersubstrat (11) ausgebildet,
einem bewegbaren Teil, das eine rahmenartige äußere bewegbare
Platte (12A) und eine innerhalb der äußeren bewegbaren Platte
(12A) angeordnete innere bewegbare Platte (12B) aufweist, und
einem axialen Trägerteil, das erste Torsionsstege (13A) zum
axialen Halten der äußeren bewegbaren Platte (12A) aufweist, so
daß diese schwingen kann, und das axial im rechten Winkel zu
den ersten Torsionsstegen ausgerichtete zweite Torsionsstege
(13B) zum axialen Halten der inneren bewegbaren Platte (12B)
aufweist, so daß diese schwingen kann, und mit Antriebsspulen
(15A, 15B), die an jeweiligen Peripherieabschnitten der äußeren
bewegbaren Platte (12A) und der inneren bewegbaren Platte (12B)
vorgesehen sind, und mit Einrichtungen (4, 5) zum Erzeugen
eines statischen Magnetfeldes zum Anlegen eines statischen
Magnetfeldes an die Antriebsspulen (15A, 15B), wobei der Aufbau
derart ist, daß der bewegbare Teil mittels eines Magnetfeldes
angetrieben ist, das dadurch erzeugt ist, daß ein Strom durch
die Antriebsspulen gesendet wird, dadurch gekennzeichnet, daß
ein Paar Einrichtungen (4, 5) zum Erzeugen eines statischen
Magnetfeldes auf einer Diagonallinie des bewegbaren Teils
vorgesehen ist, wobei der bewegbare Teil dazwischen angeordnet
ist.
2. Elektromagnetisches Betätigungsorgan nach Anspruch 1,
wobei das Paar Einrichtungen (4, 5) zum Erzeugen eines
statischen Magnetfeldes an einem Joch (3) angebracht ist, das
aus einem Magnetkörper ist und das den bewegbaren Teil umgebend
angeordnet ist.
3. Elektromagnetisches Betätigungsorgan nach Anspruch 1,
wobei das Paar Einrichtungen (4, 5) zum Erzeugen eines
statischen Magnetfeldes Permanentmagneten sind, die mit
einander gegenüberliegendem Nordpol und Südpol angeordnet sind.
wobei die Permanentmagneten Seltene-Erd-Magneten sind.
5. Elektromagnetisches Betätigungsorgan nach Anspruch 1,
in
Form eines Spiegelgalvanometers (1) mit einem reflektiven
Spiegel, der an einer Mittenfläche der inneren bewegbaren
Platte (12B) des bewegbaren Teils vorgesehen ist.
6. Elektromagnetisches Betätigungsorgan nach Anspruch 5,
wobei das Spiegelgalvanometer (1) angeordnet auf einem
Isolations-Substrat (2) aufweist: einen bewegbaren Teil mit dem
reflektiven Spiegel, einen mit einem axialen Halteteil und
einer Antriebsspule (15A, 15B) versehenen Scannerkörper (10),
ein Joch (3) mit einem den Scannerkörper (10) umgebenden
rahmenförmigen Magnetkörper, sowie Permanentmagneten (4, 5),
die an dem Joch (3) befestigt sind und bezüglich einer
Diagonalrichtung des Scannerkörpers ausgerichtet sind, wobei
der Scannerkörper dazwischen angeordnet ist, und wobei an dem
Isolations-Substrat (2) eine Mehrzahl von mit der Antriebsspule
elektrisch verbundenen elektrischen Anschlußstiften (6a-6d)
angeordnet sind.
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