DE69615321T2 - Flaches elektromagnetisches betätigungsorgan - Google Patents

Flaches elektromagnetisches betätigungsorgan

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Description

    Technisches Gebiet
  • Die Erfindung betrifft ein elektromagnetisches Betätigungsorgan in Planarbauweise, bei dem eine Miniaturisierung durch die Verwendung von Halbleiterfertigungstechnologie verwirklicht ist, und insbesondere eine Technik zur Reduzierung der Kosten elektromagnetischer Betätigungsorgane in Planarbauweise.
    • Technischer Hintergrund
  • Der Erfinder hat zuvor ein sehr kleines elektromagnetisches Betätigungsorgan in Planarbauweise vorgeschlagen, bei dem Halbleitertechnologie verwendet wird. Diese Vorrichtung ist zum Beispiel für ein Spiegelgalvanometer in Planarbauweise (Japanische Patentanmeldungen Nr. 5-320524 und 6-9824) geeignet.
  • Eine Beschreibung dieses elektromagnetischen Betätigungsorgans in Planarbauweise ist untenstehend angegeben.
  • Das elektromagnetische Betätigungsorgan weist ein Siliziumsubstrat auf, auf dem ein planares bewegbares Teil einstückig ausgebildet ist, und ein in Bauweise eines Torsionssteges ausgebildetes axiales Trägerteil zum axialen Tragen des bewegbaren Teils, so daß dieses an einer Mittenposition des bewegbaren Teils relativ zu dem Siliziumsubstrat in einer zu demselben senkrechten Richtung schwingen kann. An einer oberen Peripheriefläche des bewegbaren Teils ist eine zum Erzeugen eines Magnetfeldes mittels eines Stroms vorgesehene planare Spule aus einem dünnen Kupferfilm vorgesehen. Außerdem sind an der Peripherie des bewegbaren Teils Permanentmagneten, die als miteinander ein Paar bildende Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes dienen, vorgesehen, so daß das dadurch erzeugte statische Magnetfeld auf die an den gegenüberliegenden Seiten des bewegbaren Teils angeordneten, zu der Axialrichtung des axialen Trägerteils parallelen Abschnitte der planaren Spule einwirkt. Bei den oben genannten Patentanmeldungen sind Paare von Permanentmagneten oberhalb bzw. unterhalb der gegenüberliegenden Seitenteile des bewegbaren Teils angeordnet, wobei der Aufbau derart ist, daß die zwischen den Paaren von Permanentmagneten erzeugten statischen Magnetfelder die Antriebsspule in vorbestimmten Richtungen schneiden.
  • Ein solches elektromagnetisches Betätigungsorgan ist dadurch angetrieben, daß durch die planare Spule ein Strom gesendet wird. Das heißt, mittels der Permanentmagneten wird an gegenüberliegenden Seiten des bewegbaren Teils ein statisches Magnetfeld in einer solchen Richtung ausgebildet, daß es die planare Spule, die entlang der planaren Fläche des bewegbaren Teils liegt, schneidet. Wenn in der in diesem statischen Magnetfeld angeordneten Spule ein Strom fließt, wirkt an den gegenüberliegenden Seiten des bewegbaren Teils in eine der Fleming'schen Linke-Hand-Regel für Strom, Magnetflußdichte und Kraft entsprechende Richtung eine magnetische Kraft, die proportional zur Stromdichte und zur Magnetflußdichte der planaren Spule ist, wie durch die folgende Gleichung (1) dargestellt ist, so daß das bewegbare Teil gedreht wird.
  • F = i · B (1)
  • wobei F die magnetische Kraft ist, i der in der Antriebsspule fließende Strom ist und 8 die Magnetflußdichte ist.
  • Andererseits wird bei der Drehung des bewegbaren Teils das axiale Trägerteil verdreht, wodurch eine Feder-Rückstellkraft erzeugt wird, so daß das bewegbare Teil sich in eine Position dreht, in der die magnetische Kraft und die Feder- Rückstellkraft im Gleichgewicht sind. Der Drehwinkel des bewegbaren Teils ist proportional zum durch die planare Spule fließenden Strom, und somit ist der Drehwinkel des bewegbaren Teils durch ein Regeln des durch die planare Spule fließenden Stroms regelbar.
  • Folglich ist, wenn zum Beispiel an einer Mittenfläche des bewegbaren Teils ein Spiegel vorgesehen ist, die Richtung, in die ein in einer zur Achse des axialen Trägerteils senkrechten Ebene auf den Spiegel einfallender Laserstrahl reflektiert wird, frei regelbar. Somit kann die Vorrichtung als Spiegelgalvanometer verwendet werden, mit dem durch einen zyklischen Betrieb, bei dem der Spiegelverlagerungswinkel kontinuierlich geändert wird, ein Laserstrahlscannen durchführbar ist.
  • Ein solches elektromagnetisches Betätigungsorgan hat eine zweiachsige Bauweise mit zwei Trägerteilen im rechten Winkel zueinander.
  • Das heißt, das einstückig mit dem Siliziumsubstrat ausgebildete bewegbare Teil ist aus einer rahmenartigen äußeren bewegbaren Platte und einer innerhalb des Rahmens der äußeren bewegbaren Platte angeordneten planaren inneren bewegbaren Platte aufgebaut. Außerdem weisen die axialen Trägerteile erste Torsionsstege zum axialen Halten der äußeren bewegbaren Platte und zu den ersten Torsionsstegen senkrecht ausgerichtete zweite Torsionsstege zum axialen Halten der inneren bewegbaren Platte relativ zur äußeren bewegbaren Platte auf. Außerdem sind an den oberen Flächen der äußeren und der inneren bewegbaren Platte jeweilige Antriebsspulen vorgesehen.
  • Bei dieser Anordnungsweise ist es notwendig, daß die jeweiligen statischen Magnetfelder im rechten Winkel zueinander auf die Antriebsspule an der oberen Fläche der äußeren bewegbaren Platte und die Antriebsspule an der oberen Fläche der inneren bewegbaren Platte wirken.
  • Daher sind im Fall des elektromagnetischen Betätigungsorgans mit einem herkömmlichen zweiachsigen Aufbau die Permanentmagneten zum Antreiben der äußeren bewegbaren Platte und die Permanentmagneten zum Antreiben der inneren bewegbaren Platte voneinander getrennt vorgesehen. Zum Beispiel wirken, wie bei den zuvor genannten Beispielen aus Patentanmeldungen, bei denen jeweils Paare von Permanentmagneten oberhalb und unterhalb der jeweiligen vier Seiten des bewegbaren Teils angeordnet sind oder Permanentmagneten an den vier jeweiligen Seiten angeordnet sind, die einander gegenüberstehenden Permanentmagneten paarweise und erzeugen so bezüglich des bewegbaren Teils zueinander senkrechte Magnetfelder. Das heißt, bei dem herkömmlichen Aufbau sind mindestens vier Permanentmagneten, in anderen Worten zwei Paare von Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes, erforderlich.
  • Die Erfindung berücksichtigt die obige Situation, mit dem Ziel, ein elektromagnetisches Betätigungsorgan zu liefern, wobei der Aufbau vereinfacht ist und die Herstellungskosten reduziert sind, indem es nur ein Paar von Vorrichtungen zum Erzeugen statischer Magnetfelder aufweist, um beiderseitig zu dem bewegbaren Teil senkrechte statische Magnetfelder zu erzeugen.
    • Offenbarung der Erfindung
  • Entsprechend weist der Aufbau auf: einstückig in einem Halbleitersubstrat ausgebildet ein bewegbares Teil, das eine rahmenartige äußere bewegbare Platte und eine innerhalb der äußeren bewegbaren Platte angeordnete innere bewegbare Platte aufweist, und ein axiales Trägerteil, das erste Torsionsstege zum axialen Halten der äußeren bewegbaren Platte aufweist, so daß diese schwingen kann, und das axial im rechten Winkel zu den ersten Torsionsstegen ausgerichtete zweite Torsionsstege zum axialen Halten der inneren bewegbaren Platte aufweist, so daß diese schwingen kann; Antriebsspulen, die an jeweiligen Peripherieabschnitten der äußeren bewegbaren Platte und der inneren bewegbaren Platte vorgesehen sind; und Einrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes zum Anlegen eines statischen Magnetfeldes an die Antriebsspulen, wobei der Aufbau derart ist, daß der bewegbare Teil mittels eines Magnetfeldes angetrieben ist, das dadurch erzeugt ist, daß ein Strom durch die Antriebsspulen gesendet wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein Paar Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes auf einer Diagonallinie des bewegbaren Teils vorgesehen ist, wobei der bewegbare Teil dazwischen angeordnet ist.
  • Bei einem solchen Aufbau schneidet ein von der einen des Paars von Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes zur anderen gerichtetes Magnetfeld das bewegbare Teil in einem Winkel. Analysiert man die Vektorkomponenten des statischen Magnetfeldes, so erhält man für die jeweiligen Seiten des bewegbaren Teils zwei zueinander senkrechte Komponenten des statischen Magnetfeldes. Folglich ist es aufgrund dieser beiden Komponenten des statischen Magnetfeldes möglich, daß auf die äußere und die innere bewegbare Platte jeweils eine magnetische Kraft einwirkt.
  • Außerdem kann der Aufbau derart sein, daß das Paar von Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes an einem Joch befestigt ist, das aus einem Magnetkörper gefertigt ist und den bewegbaren Teil umgebend angeordnet ist.
  • Bei einem solchen Aufbau läßt sich die wirkungslose Komponente des statischen Magnetfeldes, welche nicht die bewegbaren Platten schneidet, sondern statt dessen in den Umgebungsbereich der Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes leckt, reduzieren, so daß die Effizienz der Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes erhöht werden kann.
  • Außerdem können das Paar von Einrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes Permanentmagneten sein, die mit einander gegenüberstehendem Nordpol und Südpol angeordnet sind.
  • Bei einer solchen Anordnungsweise läßt sich der Aufbau im Vergleich zu dem Fall, in dem Elektromagneten oder dergleichen verwendet werden, vereinfachen.
  • Die Permanentmagneten können Seltene-Erd-Magneten sein.
  • Bei einem solchen Aufbau läßt sich bewirken, daß ein größeres Magnetfeld wirkt, was eine Erhöhung der magnetischen Kraft ergibt.
  • Ein Spiegelgalvanometer kann mit einem reflektiven Spiegel an einer Mittenfläche der inneren bewegbaren Platte des bewegbaren Teils ausgebildet sein.
  • Der Grundaufbau des Spiegelgalvanometers kann aufweisen:
  • angeordnet auf einem Isolations-Substrat: einen bewegbaren Teil mit dem reflektiven Spiegel, einen mit einem axialen Halteteil und einer Antriebsspule versehenen Scannerkörper, ein Joch mit einem den Scannerkörper umgebenden rahmenförmigen Magnetkörper, sowie Permanentmagneten, die an dem Joch befestigt sind und zu einer Diagonalrichtung des Scannerkörpers ausgerichtet sind, wobei der Scannerkörper dazwischen angeordnet ist; und eine Mehrzahl von mit der Antriebsspule elektrisch verbundenen und an dem Isolations-Substrat angeordneten elektrischen Anschlußstiften.
    • Kurzbeschreibung der Figuren
  • Fig. 1 zeigt ein schematisches Diagramm einer ersten Ausführungsform eines elektromagnetischen Betätigungsorgans gemäß der Erfindung;
  • Fig. 2 zeigt ein vergrößertes Diagramm eines Scannerkörpers der Ausführungsform;
  • Fig. 3 zeigt ein Diagramm zur Erklärung des Betriebs der Ausführungsform; und
  • Fig. 4 zeigt ein Diagramm zur Erklärung der Auswirkung eines Jochs; Fig. 4(A) veranschaulicht die Magnetfeldbedingungen, wenn kein Joch vorgesehen ist, und Fig. 4(B) veranschaulicht die Magnetfeldbedingungen, wenn ein Joch vorgesehen ist.
    • Beste Ausführungsmöglichkeit der Erfindung
  • Nun wird in Bezug auf die Zeichnungen eine Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
  • Fig. 1 zeigt den Aufbau einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen elektromagnetischen Betätigungsorgans, das auf ein Spiegelgalvanometer angewandt ist.
  • Das in Fig. 1 gezeigte Spiegelgalvanometer 1, welches das elektromagnetische Betätigungsorgans gemäß dieser Ausführungsform ist, weist einen Scannerkörper 10 mit einem bewegbaren Teil und einem axialen Trägerteil auf, die auf einem Halbleitersubstrat wie zum Beispiel einem Siliziumsubstrat einstückig ausgebildet sind, das, wie in der Figur gezeigt ist, mittig auf einer Isolationsplatte 2 angeordnet und bezüglich der Isolationsplatte 2 um 45 Grad geneigt ist. An einer oberen Peripheriefläche der Isolationsplatte 2 ist ein rahmenartiges Joch 3 vorgesehen, das zum Beispiel aus einem Magnetkörper wie zum Beispiel reinem Eisen gefertigt ist. An der Innenseite der beiden einander gegenüberstehenden Seiten des Jochs 3 sind ein Paar von Permanentmagneten 4, 5 vorgesehen, die als Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes dienen. Bei den Permanentmagneten 4, 5 stehen der Süd- und der Nordpol einander gegenüber, so daß von einem Permanentmagneten 4 (oder 5) zum anderen Permanentmagneten 5 (oder 4) hin ein statisches Magnetfeld erzeugt wird, das den Scannerkörper 10 kreuzt. Bei dieser Ausführungsform wird das statische Magnetfeld vom Permanentmagneten 4 zum Permanentmagneten 5 hin erzeugt.
  • An der Isolationsplatte 2 sind vier Steckerstifte 6a-6d angeordnet, die als elektrische Anschlußstifte dienen. Die Steckerstifte 6a-6d sind jeweils mit auf der Isolationsplatte 2 ausgebildeten Bondpads 7a-7d elektrisch verbunden. Planare Spulen 15A, 15B des Scannerkörpers 10 (die später noch genauer beschrieben werden sollen) sind jeweils über Zuleitungen 8a- 8d mit den Bondpads 7a-7d verbunden. Der Aufbau ist derart, daß zum Beispiel die Steckerstifte 6a, 6b, 6c und 6d mit jeweils einem als positivem Pol und dem anderen als negativem Pol paarweise angeordnet sind, und Strom über die Steckerstifte 6a, 6b an die planare Spule 15A der äußeren bewegbaren Platte 12A geleitet wird (wird später beschrieben) und über die Steckerstifte 6c, 6d an die planare Spule 15B der inneren bewegbaren Platte 12B geleitet wird (wird später beschrieben).
  • Nun wird unter Bezugnahme auf Fig. 2 eine Beschreibung des Aufbaus des Scannerkörpers 10 gegeben.
  • Bei dem Scannerkörper 10 werden ein bewegbares Teil mit einer rahmenartigen äußeren bewegbaren Platte 12A und einer planaren inneren bewegbaren Platte 12B und ein axiales Trägerteil mit ersten Torsionsstegen 13A, 13A zum axialen Halten der äußeren bewegbaren Platte 12A und zweiten Torsionsstege 13B, 13B zum axialen Halten der inneren bewegbaren Platte 12B bezüglich der äußeren bewegbaren Platte 12A, die mit ihren Achsen im rechten Winkel zueinander ausgebildet sind, durch anisotropes Ätzen einstückig auf einem Siliziumsubstrat 11 ausgebildet. Die Dicke des bewegbaren Teils wird verglichen mit der Dicke des Siliziumsubstrats dünn gemacht, so daß das bewegbare Teil um das axiale Trägerteil schwingen kann.
  • Unter Verwendung eines Elektroplastik-Verfahrens oder dergleichen wird auf der oberen Fläche der äußeren bewegbaren Platte 12A eine als Antriebsspule dienende planare Spule 15A (die in Fig. 2 typischerweise als eine einzelne Linie dargestellt ist) aus zum Beispiel einem dünnen Kupferfilm ausgebildet und mittels eines der ersten Torsionsstege 13A, 13A mit einem Paar von äußeren Elektrodenanschlüssen 14A, 14A auf dem Siliziumsubstrat 11 elektrisch verbunden. Außerdem wird mittels des gleichen Verfahrens wie für die planare Spule 15A auf dem Peripherieabschnitt der oberen Fläche der inneren bewegbaren Platte 12B eine als Antriebsspule dienende planare Spule 15B (die in Fig. 2 typischerweise als eine einzelne Linie dargestellt ist) ausgebildet und mittels des anderen der ersten Torsionsstege 13A, 13A, ausgehend von einem der zweiten Torsionsstege 13B, 13B über den Abschnitt der äußeren bewegbaren Platte 12A mit einem Paar von inneren Elektrodenanschlüssen 14B, 14B auf dem Siliziumsubstrat 11 elektrisch verbunden. Außerdem wird auf dem Mittenabschnitt der oberen Fläche der inneren bewegbaren Platte 12B ein zum Beispiel aus aufgedampftem Aluminium gefertigter Totalreflexionsspiegel 16 ausgebildet. Das Paar von äußeren Elektrodenanschlüssen 14A, 14A und inneren Elektrodenanschlüssen 14B, 14B werden ähnlich ausgebildet wie die planaren Spulen 15A, 15B, also mittels eines Elektroplastik-Verfahrens oder dergleichen.
  • Nun wird eine Beschreibung des Betriebs des elektromagnetischen Betätigungsorgans mit diesem Aufbau gegeben.
  • Das von dem Permanentmagneten 4 erzeugte Magnetfeld ist zum Permanentmagneten 5 hin gerichtet, wobei es den Scannerkörper 10 auf dem Isolationssubstrat 2 schneidet. Analysiert man die Vektorkomponenten des Magnetfeldes, so hat, wie in Fig. 3 gezeigt ist, das Magnetfeld H eine transversale Magnetfeldkomponente H&sub1; und eine longitudinale Magnetfeldkomponente H&sub2;, die sich in der Ebene des Scannerkörpers 10 im gegenseitig rechten Winkel schneiden. Im Fall der Ausführungsform ist die transversale Magnetfeldkomponente H&sub1; im rechten Winkel zur Axialrichtung der ersten Torsionsstege 13A, 13A zum axialen Halten der äußeren bewegbaren Platte 12A ausgerichtet, während die longitudinale Magnetfeldkomponente H&sub2; im rechten Winkel zur Axialrichtung der zweiten Torsionsstege 13B, 13B zum axialen Halten der inneren bewegbaren Platte 12B ausgerichtet ist.
  • Folglich wird, wenn über die Steckerstifte 6a, 6b ein Strom durch die planare Spule 15A der äußeren bewegbaren Platte 12A gesendet wird, durch die Auswirkung des Stroms und der transversalen Magnetfeldkomponente H&sub1; eine magnetische Kraft F gemäß Gleichung (1) erzeugt, wodurch die äußere bewegbare Platte 12A angetrieben wird. Außerdem wird auf ähnliche Weise, wenn über die Steckerstifte 6c, 6d ein Strom durch die planare Spule 15B der inneren bewegbaren Platte 12B gesendet wird, durch die Auswirkung des Stroms und der transversalen Magnetfeldkomponente H&sub2; eine magnetische Kraft F gemäß Gleichung (1) erzeugt, wodurch die innere bewegbare Platte 12B angetrieben wird.
  • Folglich können die äußere bewegbare Platte 12A und die innere bewegbare Platte 12B mit nur einem Paar von Permanentmagneten 4, 5 angetrieben werden, und somit brauchen keine gesonderten Permanentmagneten vorgesehen zu sein, um die äußere bewegbare Platte bzw. die innere bewegbare Platte anzutreiben, wie bei der herkömmlichen Anordnungsweise. Daher ist die Anzahl von Komponenten für das elektromagnetische Betätigungsorgan reduzierbar, und der Aufbau läßt sich vereinfachen, und somit lassen sich die Herstellungskosten für das elektromagnetische Betätigungsorgan verringern.
  • Außerdem läßt sich, da das Joch 3 vorgesehen ist, die Effizienz des von den Permanentmagneten 4, 5 erzeugten Magnetfeldes erhöhen, so daß sich eine große magnetische Kraft erzielen läßt.
  • Das heißt, wie in Fig. 4(A) gezeigt ist, gibt es an der Peripherie der Permanentmagneten 4 und 5, wie durch die gepunktete Linie dargestellt ist, jeweils ein wirkungsloses Magnetfeld, welches den Scannerkörper 10 nicht schneidet und deshalb keinen Bezug zur Bewegung des bewegbaren Teils hat. Jedoch läßt sich dadurch, daß das Joch 3 vorgesehen ist, das wirkungslose Magnetfeld, wie in Fig. 4(B) gezeigt ist, als wirksames Magnetfeld H zum anderen Permanentmagneten lenken. Daher läßt sich die Menge des wirkungslosen Magnetfeldes verringern, und das in den Figuren durch die vollen Linien dargestellte wirksame Magnetfeld, das den Scannerkörper 10 schneidet und somit zum Antreiben des bewegbaren Teils beiträgt, läßt sich erhöhen. Folglich läßt sich in dem Fall, in dem Permanentmagneten mit gleichen Eigenschaften verwendet werden, dadurch, daß das Joch 3 vorgesehen wird, die Effizienz der Permanentmagneten im Vergleich dazu, wenn das Joch nicht vorgesehen ist, erhöhen, so daß eine große magnetische Kraft erzielt werden kann.
  • Für die Vorrichtung zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes kann auch ein Elektromagnet verwendet werden. Jedoch ist bei einem Elektromagneten eine elektrische Verdrahtung erforderlich. Daher ist der Aufbau, bei dem, wie bei der Ausführungsform, die Permanentmagneten verwendet werden, einfacher und daher erwünschter. Zudem läßt sich insbesondere dadurch, daß Seltene-Erd-Magneten verwendet werden, ein großes Magnetfeld H erzielen, und somit ist die magnetische Kraft erhöht.
  • Das für die Ausführungsform angegebene Beispiel war für ein elektromagnetisches Betätigungsorgan, das bei einem Spiegelgalvanometer in Planarbauweise verwendet wird. Jedoch ist die Erfindung nicht darauf beschränkt.
  • Da bei der oben beschriebenen Ausführungsform das Paar von Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes so vorgesehen ist, daß es bezüglich der Diagonalrichtung des beweglichen Teils, das zwei im rechten Winkel zueinander axial gehaltene bewegbare Platten hat, ausgerichtet ist, können die beiden bewegbaren Platten mit nur einem Paar von Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes angetrieben werden. Die Anzahl von Komponenten für das elektromagnetische Betätigungsorgan läßt sich daher reduzieren, und der Aufbau läßt sich vereinfachen, und somit lassen sich die Herstellungskosten für das elektromagnetische Betätigungsorgan stark verringern. Außerdem läßt sich, da ein Joch vorgesehen ist, die Effizienz der Vorrichtungen zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes erhöhen, und somit läßt sich die Antriebskraft für das bewegbare Teil erhöhen.
    • Industrielle Anwendbarkeit
  • Die Erfindung ermöglicht eine Vereinfachung und eine Kostenreduzierung bei Instrumenten, die sehr kleine elektromagnetische Betätigungsorgane in Planarbauweise aufweisen, und somit ist die industrielle Anwendbarkeit beträchtlich.

Claims (6)

1. Elektromagnetisches Betätigungsorgan in Planarbauweise, mit, einstückig in einem Halbleitersubstrat (11) ausgebildet, einem bewegbaren Teil, das eine rahmenartige äußere bewegbare Platte (12A) und eine innerhalb der äußeren bewegbaren Platte (12A) angeordnete innere bewegbare Platte (12B) aufweist, und einem axialen Trägerteil, das erste Torsionsstege (13A) zum axialen Halten der äußeren bewegbaren Platte (12A) aufweist, so daß diese schwingen kann, und das axial im rechten Winkel zu den ersten Torsionsstegen ausgerichtete zweite Torsionsstege (13B) zum axialen Halten der inneren bewegbaren Platte (12B) aufweist, so daß diese schwingen kann, und mit Antriebsspulen (15A, 15B), die an jeweiligen Peripherieabschnitten der äußeren bewegbaren Platte (12A) und der inneren bewegbaren Platte (12B) vorgesehen sind, und mit Einrichtungen (4, 5) zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes zum Anlegen eines statischen Magnetfeldes an die Antriebsspulen (15A, 15B), wobei der Aufbau derart ist, daß der bewegbare Teil mittels eines Magnetfeldes angetrieben ist, das dadurch erzeugt ist, daß ein Strom durch die Antriebsspulen gesendet wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein Paar Einrichtungen (4, 5) zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes auf einer Diagonallinie des bewegbaren Teils vorgesehen ist, wobei der bewegbare Teil dazwischen angeordnet ist.
2. Elektromagnetisches Betätigungsorgan nach Anspruch 1, wobei das Paar Einrichtungen (4, 5) zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes an einem Joch (3) angebracht ist, das aus einem Magnetkörper ist und das den bewegbaren Teil umgebend angeordnet ist.
3. Elektromagnetisches Betätigungsorgan nach Anspruch 1, wobei das Paar Einrichtungen (4, 5) zum Erzeugen eines statischen Magnetfeldes Permanentmagneten sind, die mit einander gegenüberliegendem Nordpol und Südpol angeordnet sind.
wobei die Permanentmagneten Seltene-Erd-Magneten sind.
5. Elektromagnetisches Betätigungsorgan nach Anspruch 1, in Form eines Spiegelgalvanometers (1) mit einem reflektiven Spiegel, der an einer Mittenfläche der inneren bewegbaren Platte (12B) des bewegbaren Teils vorgesehen ist.
6. Elektromagnetisches Betätigungsorgan nach Anspruch 5, wobei das Spiegelgalvanometer (1) angeordnet auf einem Isolations-Substrat (2) aufweist: einen bewegbaren Teil mit dem reflektiven Spiegel, einen mit einem axialen Halteteil und einer Antriebsspule (15A, 15B) versehenen Scannerkörper (10), ein Joch (3) mit einem den Scannerkörper (10) umgebenden rahmenförmigen Magnetkörper, sowie Permanentmagneten (4, 5), die an dem Joch (3) befestigt sind und bezüglich einer Diagonalrichtung des Scannerkörpers ausgerichtet sind, wobei der Scannerkörper dazwischen angeordnet ist, und wobei an dem Isolations-Substrat (2) eine Mehrzahl von mit der Antriebsspule elektrisch verbundenen elektrischen Anschlußstiften (6a-6d) angeordnet sind.
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Families Citing this family (120)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6201629B1 (en) 1997-08-27 2001-03-13 Microoptical Corporation Torsional micro-mechanical mirror system
JP4414498B2 (ja) * 1997-12-09 2010-02-10 オリンパス株式会社 光偏向器
US7170665B2 (en) 2002-07-24 2007-01-30 Olympus Corporation Optical unit provided with an actuator
US6303986B1 (en) 1998-07-29 2001-10-16 Silicon Light Machines Method of and apparatus for sealing an hermetic lid to a semiconductor die
US6014257A (en) * 1998-10-14 2000-01-11 Eastman Kodak Company Light modulator
US5991079A (en) * 1998-10-14 1999-11-23 Eastman Kodak Company Method of making a light modulator
US6088148A (en) * 1998-10-30 2000-07-11 Eastman Kodak Company Micromagnetic light modulator
JP4111619B2 (ja) * 1999-02-26 2008-07-02 日本信号株式会社 プレーナ型光走査装置の実装構造
EP1037009B1 (de) * 1999-03-09 2005-01-19 Nanosurf AG Positionierkopf für ein Rastersondenmikroskop
AU3756300A (en) * 1999-03-18 2000-10-04 Trustees Of Boston University Very large angle integrated optical scanner made with an array of piezoelectric monomorphs
US6201631B1 (en) * 1999-10-08 2001-03-13 Lucent Technologies Inc. Process for fabricating an optical mirror array
US6753638B2 (en) 2000-02-03 2004-06-22 Calient Networks, Inc. Electrostatic actuator for micromechanical systems
US7064879B1 (en) * 2000-04-07 2006-06-20 Microsoft Corporation Magnetically actuated microelectrochemical systems actuator
NL1015131C1 (nl) * 2000-04-16 2001-10-19 Tmp Total Micro Products B V Inrichting en werkwijze voor het schakelen van elektromagnetische signalen of bundels.
US6628041B2 (en) 2000-05-16 2003-09-30 Calient Networks, Inc. Micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device having large angle out of plane motion using shaped combed finger actuators and method for fabricating the same
US6585383B2 (en) 2000-05-18 2003-07-01 Calient Networks, Inc. Micromachined apparatus for improved reflection of light
US6560384B1 (en) 2000-06-01 2003-05-06 Calient Networks, Inc. Optical switch having mirrors arranged to accommodate freedom of movement
US6728016B1 (en) 2000-06-05 2004-04-27 Calient Networks, Inc. Safe procedure for moving mirrors in an optical cross-connect switch
US6587611B1 (en) 2000-06-06 2003-07-01 Calient Networks, Inc. Maintaining path integrity in an optical switch
GB2384060B (en) * 2000-08-27 2004-12-15 Corning Intellisense Corp Magnetically actuated micro-electro-mechanical apparatus
US6388789B1 (en) * 2000-09-19 2002-05-14 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Multi-axis magnetically actuated device
US6825967B1 (en) 2000-09-29 2004-11-30 Calient Networks, Inc. Shaped electrodes for micro-electro-mechanical-system (MEMS) devices to improve actuator performance and methods for fabricating the same
JP3926552B2 (ja) * 2000-10-25 2007-06-06 日本信号株式会社 アクチュエ−タ
US6775048B1 (en) 2000-10-31 2004-08-10 Microsoft Corporation Microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system
JP4674017B2 (ja) 2000-11-20 2011-04-20 オリンパス株式会社 光偏向器
JP4544734B2 (ja) * 2000-12-21 2010-09-15 シチズンファインテックミヨタ株式会社 プレーナー型ガルバノミラー
US6792177B2 (en) 2001-03-12 2004-09-14 Calient Networks, Inc. Optical switch with internal monitoring
US6912078B2 (en) 2001-03-16 2005-06-28 Corning Incorporated Electrostatically actuated micro-electro-mechanical devices and method of manufacture
US6707591B2 (en) 2001-04-10 2004-03-16 Silicon Light Machines Angled illumination for a single order light modulator based projection system
JP2002307396A (ja) * 2001-04-13 2002-10-23 Olympus Optical Co Ltd アクチュエータ
WO2002097478A2 (en) * 2001-05-30 2002-12-05 Fiberyard, Inc. Optical beam steering device
US6782205B2 (en) 2001-06-25 2004-08-24 Silicon Light Machines Method and apparatus for dynamic equalization in wavelength division multiplexing
US6747781B2 (en) 2001-06-25 2004-06-08 Silicon Light Machines, Inc. Method, apparatus, and diffuser for reducing laser speckle
US7110633B1 (en) 2001-08-13 2006-09-19 Calient Networks, Inc. Method and apparatus to provide alternative paths for optical protection path switch arrays
US6829092B2 (en) 2001-08-15 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Blazed grating light valve
JP2003066362A (ja) 2001-08-23 2003-03-05 Olympus Optical Co Ltd 光偏向器
US7190509B2 (en) * 2001-11-07 2007-03-13 Trex Enterprises Corp. Optically addressed MEMS
US6804959B2 (en) 2001-12-31 2004-10-19 Microsoft Corporation Unilateral thermal buckle-beam actuator
US6800238B1 (en) 2002-01-15 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. Method for domain patterning in low coercive field ferroelectrics
JP3970066B2 (ja) * 2002-03-18 2007-09-05 オリンパス株式会社 光偏向器及び電磁型アクチュエータ
US7053519B2 (en) 2002-03-29 2006-05-30 Microsoft Corporation Electrostatic bimorph actuator
US6894823B2 (en) * 2002-04-26 2005-05-17 Corning Intellisense Llc Magnetically actuated microelectromechanical devices and method of manufacture
US6767751B2 (en) 2002-05-28 2004-07-27 Silicon Light Machines, Inc. Integrated driver process flow
US6728023B1 (en) 2002-05-28 2004-04-27 Silicon Light Machines Optical device arrays with optimized image resolution
US7142743B2 (en) * 2002-05-30 2006-11-28 Corning Incorporated Latching mechanism for magnetically actuated micro-electro-mechanical devices
US6822797B1 (en) 2002-05-31 2004-11-23 Silicon Light Machines, Inc. Light modulator structure for producing high-contrast operation using zero-order light
US6984917B2 (en) * 2002-06-06 2006-01-10 Lucent Technologies Inc. Optical element having two axes of rotation for use in tightly spaced mirror arrays
US6829258B1 (en) 2002-06-26 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Rapidly tunable external cavity laser
US6714337B1 (en) 2002-06-28 2004-03-30 Silicon Light Machines Method and device for modulating a light beam and having an improved gamma response
US6813059B2 (en) 2002-06-28 2004-11-02 Silicon Light Machines, Inc. Reduced formation of asperities in contact micro-structures
US6801354B1 (en) 2002-08-20 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. 2-D diffraction grating for substantially eliminating polarization dependent losses
US6712480B1 (en) 2002-09-27 2004-03-30 Silicon Light Machines Controlled curvature of stressed micro-structures
KR100451409B1 (ko) * 2002-10-15 2004-10-06 한국전자통신연구원 마이크로 광스위치 및 그 제조방법
US7071594B1 (en) 2002-11-04 2006-07-04 Microvision, Inc. MEMS scanner with dual magnetic and capacitive drive
US7446911B2 (en) * 2002-11-26 2008-11-04 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Optical scanning apparatus and image forming apparatus
JP3677604B2 (ja) * 2002-12-17 2005-08-03 日本航空電子工業株式会社 磁気アクチュエータ
JP2010172190A (ja) * 2002-12-27 2010-08-05 Nippon Signal Co Ltd:The プレーナ型電磁アクチュエータ
US6760145B1 (en) 2003-01-23 2004-07-06 Corning Incorporated Actuator for dual-axis rotation micromirror
US6829077B1 (en) 2003-02-28 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Diffractive light modulator with dynamically rotatable diffraction plane
US6806997B1 (en) 2003-02-28 2004-10-19 Silicon Light Machines, Inc. Patterned diffractive light modulator ribbon for PDL reduction
JP2005165276A (ja) * 2003-11-10 2005-06-23 Olympus Corp 光偏向器
US7485485B2 (en) * 2004-02-09 2009-02-03 Microvision, Inc. Method and apparatus for making a MEMS scanner
WO2005086858A2 (en) * 2004-03-08 2005-09-22 Board Of Regents Of The University And Community College System Of Nevada On Behalf Of The University Of Nevada, Reno Method and apparatus for two-axis, high-speed beam-steering
US7442918B2 (en) * 2004-05-14 2008-10-28 Microvision, Inc. MEMS device having simplified drive
US7636101B2 (en) 2005-02-09 2009-12-22 Microvision, Inc. MEMS scanner adapted to a laser printer
KR100707133B1 (ko) * 2006-05-16 2007-04-13 삼성전자주식회사 미러구조 및 이를 포함하는 광스캐너
TWI304394B (en) * 2006-07-03 2008-12-21 Nat Univ Tsing Hua Magnetic element and manufacturing process, driving structure and driving method therefor
TW200835646A (en) * 2007-02-16 2008-09-01 Nat Univ Tsing Hua Driving method for magnetic element
JP4928301B2 (ja) * 2007-02-20 2012-05-09 キヤノン株式会社 揺動体装置、その駆動方法、光偏向器、及び光偏向器を用いた画像表示装置
JP4232834B2 (ja) 2007-03-07 2009-03-04 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP4232835B2 (ja) 2007-03-07 2009-03-04 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP4329831B2 (ja) 2007-03-12 2009-09-09 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
KR100911144B1 (ko) * 2007-03-27 2009-08-06 삼성전자주식회사 2축구동 전자기 액추에이터
TWI341602B (en) * 2007-08-15 2011-05-01 Nat Univ Tsing Hua Magnetic element and manufacturing method therefor
KR101345288B1 (ko) * 2007-09-21 2013-12-27 삼성전자주식회사 2축 구동 전자기 스캐너
DE102008001056A1 (de) 2008-04-08 2009-10-15 Robert Bosch Gmbh Umlenkeinrichtung für einen Strahl einer elektromagnetischen Welle
DE102008001896B4 (de) * 2008-05-21 2023-02-02 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil
DE102008001893A1 (de) 2008-05-21 2009-11-26 Robert Bosch Gmbh Umlenkeinrichtung für elektromagnetische Strahlen
KR100973979B1 (ko) * 2008-08-22 2010-08-05 한국과학기술원 전자기력을 이용한 다축 구동기
JP5206610B2 (ja) 2008-08-25 2013-06-12 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
DE102008042346A1 (de) 2008-09-25 2010-04-01 Robert Bosch Gmbh Magnetjoch, mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein Magnetjoch und ein mikromechanisches Bauteil
US8349611B2 (en) * 2009-02-17 2013-01-08 Leversense Llc Resonant sensors and methods of use thereof for the determination of analytes
JP5705857B2 (ja) 2009-09-16 2015-04-22 マラディン テクノロジーズ リミテッドＭａｒａｄｉｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｌｔｄ． 微小コイル装置およびその製作方法
JP5577742B2 (ja) 2010-02-23 2014-08-27 セイコーエプソン株式会社 光スキャナーおよび画像形成装置
JP5333286B2 (ja) 2010-02-23 2013-11-06 セイコーエプソン株式会社 光スキャナーおよび画像形成装置
JP5381801B2 (ja) 2010-02-23 2014-01-08 セイコーエプソン株式会社 画像形成装置
EP2372452A1 (de) 2010-03-24 2011-10-05 Iee International Electronics & Engineering S.A. Stereoskopischer Bildgeber
LU91714B1 (en) 2010-07-29 2012-01-30 Iee Sarl Active illumination scanning imager
JP5447283B2 (ja) 2010-08-12 2014-03-19 セイコーエプソン株式会社 光スキャナーおよび画像形成装置
JP5659672B2 (ja) 2010-10-06 2015-01-28 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、ミラーチップ、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置
DE102010062591A1 (de) 2010-12-08 2012-06-14 Robert Bosch Gmbh Magnetischer Aktor
JP5598296B2 (ja) 2010-12-08 2014-10-01 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
FR2977668B1 (fr) 2011-07-04 2013-07-12 Univ Paris Curie Dispositif piezoelectrique
DE102011113147B3 (de) * 2011-09-14 2013-01-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur optischen Abstandsmessung
JP6044943B2 (ja) * 2011-10-25 2016-12-14 インテル・コーポレーション アクチュエータ
WO2013065126A1 (ja) * 2011-11-01 2013-05-10 パイオニア株式会社 アクチュエータ
WO2013168273A1 (ja) * 2012-05-10 2013-11-14 パイオニア株式会社 駆動装置
WO2013168266A1 (ja) * 2012-05-10 2013-11-14 パイオニア株式会社 駆動装置
JP5942576B2 (ja) 2012-05-11 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置
JP6111532B2 (ja) 2012-05-11 2017-04-12 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置
JP6094105B2 (ja) 2012-09-13 2017-03-15 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ
US9819253B2 (en) * 2012-10-25 2017-11-14 Intel Corporation MEMS device
JP6075062B2 (ja) 2012-12-27 2017-02-08 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
EP2944998B1 (de) * 2013-01-11 2018-10-03 Intel Corporation Spiegelansteuerungsvorrichtung
WO2014192123A1 (ja) * 2013-05-30 2014-12-04 パイオニア株式会社 剛体構造体
TWI557061B (zh) * 2013-07-26 2016-11-11 Globalmems Taiwan Corp Ltd Movable vehicle structure for microelectromechanical systems
US9815689B2 (en) 2013-07-26 2017-11-14 GlobalMEMS TAIWAN CORPORATION LIMITED Micro-electromechanical system (MEMS) carrier
JP2015087443A (ja) 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
JP6550207B2 (ja) 2013-10-29 2019-07-24 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
JP2015087444A (ja) 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
US20160124214A1 (en) * 2014-10-31 2016-05-05 Intel Corporation Electromagnetic mems device
US20160124215A1 (en) * 2014-10-31 2016-05-05 Intel Corporation Electromagnetic mems device
US9854226B2 (en) * 2014-12-22 2017-12-26 Google Inc. Illuminator for camera system having three dimensional time-of-flight capture with movable mirror element
US9664897B1 (en) * 2015-10-14 2017-05-30 Intel Corporation Apparatus with a rotatable MEMS device
JP2017181715A (ja) 2016-03-30 2017-10-05 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー用部材、光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP2018060168A (ja) 2016-09-30 2018-04-12 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ及びヘッドアップディスプレイ
CN107907993A (zh) * 2017-12-08 2018-04-13 上海禾赛光电科技有限公司 谐振式扫描镜、扫描方法、角度的测量方法及加工方法
EP3954028A1 (de) * 2019-04-09 2022-02-16 Tomorrow's Motion GmbH Magnetantrieb mit äusserem magnetfeld
CN214503997U (zh) * 2020-03-06 2021-10-26 台湾东电化股份有限公司 光学元件驱动机构
KR20240002347A (ko) 2022-06-29 2024-01-05 (주) 피케이씨 능동형 비상 유도등

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4421381A (en) * 1980-04-04 1983-12-20 Yokogawa Hokushin Electric Corp. Mechanical vibrating element
JPS60107017A (ja) * 1983-11-16 1985-06-12 Hitachi Ltd 光偏向素子
JPS63241905A (ja) * 1987-03-27 1988-10-07 Sumitomo Special Metals Co Ltd 磁界発生装置
JP3003429B2 (ja) * 1992-10-08 2000-01-31 富士電機株式会社 ねじり振動子および光偏向子
JPH07175505A (ja) * 1993-08-30 1995-07-14 Matsushita Joho Syst Kk 機器制御システム
JP2657769B2 (ja) * 1994-01-31 1997-09-24 正喜 江刺 変位検出機能を備えたプレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US5912608A (en) 1999-06-15
DE69615321D1 (de) 2001-10-25
JP2987750B2 (ja) 1999-12-06
EP0778657B1 (de) 2001-09-19
JPH08322227A (ja) 1996-12-03
EP0778657A4 (de) 1998-02-04
KR100402264B1 (ko) 2004-02-05
EP0778657A1 (de) 1997-06-11
KR970705220A (ko) 1997-09-06
WO1996037943A1 (fr) 1996-11-28

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