JP2018060168A - 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ及びヘッドアップディスプレイ - Google Patents
光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ及びヘッドアップディスプレイ Download PDFInfo
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Abstract
【課題】優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナーを提供すること。
【解決手段】光スキャナー3は、光反射部311を備える第1可動部31と、内側に第1可動部31が位置する第2可動部32と、第1可動部31と第2可動部32とを接続し、第1可動部31を第1軸J1まわりに揺動可能に支持する第1軸部33と、第2可動部32に接続し、第2可動部32を第1軸J1と交差する第2軸J2まわりに揺動可能に支持する第2軸部34と、第2軸部34に設けられている弾性部38と、を有し、第2軸部34は、孔345を有し、孔345に弾性部38が配置されている。
【選択図】図2
【解決手段】光スキャナー3は、光反射部311を備える第1可動部31と、内側に第1可動部31が位置する第2可動部32と、第1可動部31と第2可動部32とを接続し、第1可動部31を第1軸J1まわりに揺動可能に支持する第1軸部33と、第2可動部32に接続し、第2可動部32を第1軸J1と交差する第2軸J2まわりに揺動可能に支持する第2軸部34と、第2軸部34に設けられている弾性部38と、を有し、第2軸部34は、孔345を有し、孔345に弾性部38が配置されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ及びヘッドアップディスプレイに関する。
例えば、特許文献1には、ジンバル型の光スキャナーが開示されている。このような光スキャナーは、光反射部を有する第1可動部と、内側に第1可動部が位置する枠状の第2可動部と、第1可動部と第2可動部とを接続し、第1可動部を第1軸まわりに揺動可能に支持する第1軸部と、第2可動部を第1軸と交差する第2軸まわりに揺動可能に支持する第2軸部と、第1軸および第2軸の両軸に対して傾斜するように第2可動部に設けられた永久磁石と、を有している。そして、永久磁石に磁界を作用させると、第2可動部が第2軸まわりに非共振で揺動すると共に、第1可動部が第1軸まわりに共振で揺動し、これにより、第1可動部が第1軸および第2軸の両軸まわりに揺動するようになっている。
しかしながら、このような構成の光スキャナーでは、第2可動部が枠状をなしていて質量が大きい上に、第2可動部に永久磁石が設けられているため、第2可動部の慣性モーメントが大きくなる。慣性モーメントが大きくなると、共振振動のQ値(共振振動の発生のし易さを現す値であり、Q値が大きい程、共振が起き易い)が大きくなるため、非共振で揺動させているはずの第2可動部に共振の振動が重畳してしまうおそれがある。その結果、光スキャナーの揺動特性が低下する可能性がある。
本発明の目的は、優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナーを提供すること、さらには、この光スキャナーを有する信頼性の高い画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイを提供することにある。
このような目的は、下記の発明により達成される。
本発明の光スキャナーは、光反射性を有する光反射部を備える第1可動部と、内側に前記第1可動部が位置する第2可動部と、前記第1可動部と前記第2可動部とを接続し、前記第1可動部を第1軸まわりに揺動可能に支持する第1軸部と、前記第2可動部に接続し、前記第2可動部を前記第1軸と交差する第2軸まわりに揺動可能に支持する第2軸部と、前記第2軸部に設けられている弾性部と、を有し、前記第2軸部は、孔を有し、前記孔に前記弾性部が配置されていることを特徴とする。
これにより、弾性部によって第2可動部の不要な振動を吸収、緩和することができる。そのため、優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナーとなる。
これにより、弾性部によって第2可動部の不要な振動を吸収、緩和することができる。そのため、優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナーとなる。
本発明の光スキャナーでは、前記孔は、貫通孔または有底の孔であることが好ましい。
これにより、弾性部を配置し易くなる。
これにより、弾性部を配置し易くなる。
本発明の光スキャナーでは、前記弾性部のヤング率は、前記第2軸部のヤング率よりも小さいことが好ましい。
これにより、効果的に、弾性部によって第2可動部の不要な振動を吸収、緩和することができる。
これにより、効果的に、弾性部によって第2可動部の不要な振動を吸収、緩和することができる。
本発明の光スキャナーでは、前記弾性部のヤング率は、10MPa以上、100MPa以下であることが好ましい。
これにより、より効果的に、弾性部によって第2可動部の不要な振動を吸収、緩和することができる。
これにより、より効果的に、弾性部によって第2可動部の不要な振動を吸収、緩和することができる。
本発明の光スキャナーでは、前記弾性部の構成材料は、シリコーンを含んでいることが好ましい。
これにより、弾性部の構成が簡単となる。
これにより、弾性部の構成が簡単となる。
本発明の光スキャナーでは、前記第2軸部は、一対の梁部を有し、前記一対の梁部は、それぞれ、前記第2軸に沿って配置されている複数の前記孔を有していることが好ましい。
これにより、1つの孔が大きくなり過ぎることを防止することができる。そのため、第2軸部の機械的強度の低下を抑制することができる。
これにより、1つの孔が大きくなり過ぎることを防止することができる。そのため、第2軸部の機械的強度の低下を抑制することができる。
本発明の光スキャナーでは、前記第1可動部は、前記第1軸まわりに共振で揺動し、前記第2可動部は、前記第2軸まわりに非共振で揺動することが好ましい。
これにより、第1可動部を第1軸まわりに大きな揺動角で揺動させることができると共に、第2軸まわりに所望の波形で揺動させることができる。
これにより、第1可動部を第1軸まわりに大きな揺動角で揺動させることができると共に、第2軸まわりに所望の波形で揺動させることができる。
本発明の画像表示装置は、本発明の光スキャナーを有することを特徴とする。
これにより、本発明の光スキャナーの効果を享受でき、信頼性の高い画像表示装置が得られる。
これにより、本発明の光スキャナーの効果を享受でき、信頼性の高い画像表示装置が得られる。
本発明のヘッドマウントディスプレイは、本発明の光スキャナーと、前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とする。
これにより、本発明の光スキャナーの効果を享受でき、信頼性の高いヘッドマウントディスプレイが得られる。
これにより、本発明の光スキャナーの効果を享受でき、信頼性の高いヘッドマウントディスプレイが得られる。
本発明のヘッドアップディスプレイは、本発明の光スキャナーを有することを特徴とする。
これにより、本発明の光スキャナーの効果を享受でき、信頼性の高いヘッドアップディスプレイが得られる。
これにより、本発明の光スキャナーの効果を享受でき、信頼性の高いヘッドアップディスプレイが得られる。
本発明の光スキャナーの製造方法は、光反射性を有する光反射部を備える第1可動部と、内側に前記第1可動部が位置する第2可動部と、前記第1可動部と前記第2可動部とを接続し、前記第1可動部を第1軸まわりに揺動可能に支持する第1軸部と、前記第2可動部に接続し、前記第2可動部を前記第1軸と交差する第2軸まわりに揺動可能に支持する第2軸部と、前記第2軸部の有する孔に設けられている弾性部と、を有する光スキャナーの製造方法であって、前記第1可動部、前記第2可動部、前記第1軸部、前記第2軸部及び前記孔を含む構造体を形成する構造体形成工程と、前記光反射部を形成する光反射部形成工程と、前記孔に対応する開口部を有するマスクを介して、前記構造体に前記弾性部の構成材料をスプレーコート法で塗布する塗布工程と、を含むことを特徴とする。
これにより、弾性部によって第2可動部の不要な振動を吸収、緩和することが可能な光スキャナーを製造することができる。
これにより、弾性部によって第2可動部の不要な振動を吸収、緩和することが可能な光スキャナーを製造することができる。
本発明の光スキャナーの製造方法において、前記マスクの前記開口部は、前記第2軸部及び第2可動部の少なくとも一部に対応する開口であり、前記構成材料は、黒色の顔料を含むことが好ましい。
これにより、第2軸部及び第2可動部の少なくとも一部は、反射率の低い黒色の構成材料で覆われる。したがって、第2軸部及び第2可動部に入射した光が、第2軸部及び第2可動部で反射されて迷光となることを抑制する光スキャナーを製造することができる。
これにより、第2軸部及び第2可動部の少なくとも一部は、反射率の低い黒色の構成材料で覆われる。したがって、第2軸部及び第2可動部に入射した光が、第2軸部及び第2可動部で反射されて迷光となることを抑制する光スキャナーを製造することができる。
本発明の光スキャナーの製造方法は、前記塗布工程において前記構造体を加熱することが好ましい。
これにより、構造体に塗布された弾性部の構成材料は、構造体を加熱することより粒状に堆積するので、第2軸部及び第2可動部に入射した光は散乱光として反射され減衰する。したがって、第2軸部及び第2可動部に入射した光が、第2軸部及び第2可動部で反射されて迷光となることをさらに抑制する光スキャナーを製造することができる。
これにより、構造体に塗布された弾性部の構成材料は、構造体を加熱することより粒状に堆積するので、第2軸部及び第2可動部に入射した光は散乱光として反射され減衰する。したがって、第2軸部及び第2可動部に入射した光が、第2軸部及び第2可動部で反射されて迷光となることをさらに抑制する光スキャナーを製造することができる。
以下、本発明の光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る画像表示装置の構成図である。図2は、図1に示す画像表示装置が有する光スキャナーの平面図である。図3は、図2中のA−A線断面図である。図4は、図2に示す光スキャナーが有する第2軸部の平面図である。図5は、図4に示す第2軸部の断面図である。図6は、図2に示す光スキャナーが有する第2軸部の平面図である。図7は、図6に示す第2軸部の断面図である。図8は、図6に示す第2軸部の横断面図である。図9は、図8に示す第2軸部の変形例を示す横断面図である。図10は、図2に示す光スキャナーが有する電圧印加部のブロック図である。図11は、図10に示す電圧印加部で生成される第1電圧の波形を示す図である。図12は、図10に示す電圧印加部で生成される第2電圧の波形を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図2の紙面手前側および図3、図5、図7、図14A〜図14Fの上側を「上」とも言い、図2の紙面奥側、図3、図5、図7、図14A〜図14Fの下側を「下」とも言う。
図1は、本発明の第1実施形態に係る画像表示装置の構成図である。図2は、図1に示す画像表示装置が有する光スキャナーの平面図である。図3は、図2中のA−A線断面図である。図4は、図2に示す光スキャナーが有する第2軸部の平面図である。図5は、図4に示す第2軸部の断面図である。図6は、図2に示す光スキャナーが有する第2軸部の平面図である。図7は、図6に示す第2軸部の断面図である。図8は、図6に示す第2軸部の横断面図である。図9は、図8に示す第2軸部の変形例を示す横断面図である。図10は、図2に示す光スキャナーが有する電圧印加部のブロック図である。図11は、図10に示す電圧印加部で生成される第1電圧の波形を示す図である。図12は、図10に示す電圧印加部で生成される第2電圧の波形を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図2の紙面手前側および図3、図5、図7、図14A〜図14Fの上側を「上」とも言い、図2の紙面奥側、図3、図5、図7、図14A〜図14Fの下側を「下」とも言う。
図1に示すように、画像表示装置1は、スクリーンや壁面等の対象物10に描画用レーザーLLを二次元走査することにより画像(映像)を表示する装置である。このような画像表示装置1は、描画用レーザー(変調光)LLを生成する変調光生成部2と、変調光生成部2で生成された描画用レーザーLLを2次元的に走査する光スキャナー3と、光スキャナー3で走査した描画用レーザーLLを反射させるミラー11とを有している。なお、画像表示装置1の構成としては、光スキャナー3を有していれば、特に限定されず、例えば、ミラー11を省略してもよいし、他の部品(部材)が追加されていてもよい。以下、このような画像表示装置1について詳細に説明する。
≪変調光生成部≫
図1に示すように、変調光生成部2は、波長の異なる複数の光源21R、21G、21Bと、光源21R、21G、21Bを駆動する駆動回路22R、22G、22Bと、光源21R、21G、21Bから出射された光を平行光化するコリメータレンズ24R、24G、24Bと、光合成部23と、集光レンズ26と、を有している。
図1に示すように、変調光生成部2は、波長の異なる複数の光源21R、21G、21Bと、光源21R、21G、21Bを駆動する駆動回路22R、22G、22Bと、光源21R、21G、21Bから出射された光を平行光化するコリメータレンズ24R、24G、24Bと、光合成部23と、集光レンズ26と、を有している。
光源21Rは、赤色光を出射し、光源21Gは、緑色光を出射し、光源21Bは、青色光を出射する。このような3色の光を用いることで、フルカラーの画像を表示することができる。なお、光源21R、21G、21Bとしては、特に限定されず、例えば、レーザーダイオード、LED等を用いることができる。
駆動回路22Rは、光源21Rを駆動し、駆動回路22Gは、光源21Gを駆動し、駆動回路22Bは、光源21Bを駆動する。このような駆動回路22R、22G、22Bにより駆動された光源21R、21G、21Bから出射された3つの光は、それぞれ、対応するコリメータレンズ24R、24G、24Bによって平行光化されて光合成部23に入射する。
光合成部23は、光源21R、21G、21Bからの光を合成する。このような光合成部23は、2つのダイクロイックミラー231、232を有している。ダイクロイックミラー231は、赤色光を透過させるとともに緑色光を反射する機能を有し、ダイクロイックミラー232は、赤色光および緑色光を透過させるとともに青色光を反射する機能を有する。このようなダイクロイックミラー231、232を用いることで、光源21R、21G、21Bからの赤色光、緑色光および青色光の3色の光を合成することができる。そのため、光源21R、21G、21Bからの光の強度をそれぞれ独立して変調することで、所定の色の描画用レーザーLLが生成される。生成された描画用レーザーLLは、集光レンズ26によって所望のNA(開口数)とされた後、光スキャナー3に入射する。
以上、変調光生成部2について説明したが、この変調光生成部2の構成としては、描画用レーザーLLを生成することができれば、本実施形態の構成に限定されない。
≪光スキャナー≫
光スキャナー3は、変調光生成部2で生成された描画用レーザーLLを2次元走査する機能を有する。図2に示すように、このような光スキャナー3は、光反射性を有する光反射部311を備える第1可動部31と、内側に第1可動部31が位置する枠状の第2可動部32と、第1可動部31と第2可動部32とを接続し、第1可動部31を第1軸J1まわりに揺動可能に支持する第1軸部33と、第2可動部32に接続し、第2可動部32を第1軸J1と交差する第2軸J2まわりに揺動可能に支持する第2軸部34と、第2軸部34に設けられている弾性部38と、を有している。また、第2軸部34は、孔345を有し、この孔345に弾性部38が配置されている。このような構成によれば、弾性部38で第2可動部32の不要な振動を吸収、緩和(以下、単に「吸収」とも言う。)することができるため、光スキャナー3の揺動特性の低下を抑制することができる。そのため、優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナー3となる。以下、このような光スキャナー3について詳細に説明する。
光スキャナー3は、変調光生成部2で生成された描画用レーザーLLを2次元走査する機能を有する。図2に示すように、このような光スキャナー3は、光反射性を有する光反射部311を備える第1可動部31と、内側に第1可動部31が位置する枠状の第2可動部32と、第1可動部31と第2可動部32とを接続し、第1可動部31を第1軸J1まわりに揺動可能に支持する第1軸部33と、第2可動部32に接続し、第2可動部32を第1軸J1と交差する第2軸J2まわりに揺動可能に支持する第2軸部34と、第2軸部34に設けられている弾性部38と、を有している。また、第2軸部34は、孔345を有し、この孔345に弾性部38が配置されている。このような構成によれば、弾性部38で第2可動部32の不要な振動を吸収、緩和(以下、単に「吸収」とも言う。)することができるため、光スキャナー3の揺動特性の低下を抑制することができる。そのため、優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナー3となる。以下、このような光スキャナー3について詳細に説明する。
図2および図3に示すように、光スキャナー3は、前述した第1可動部31、第2可動部32、第1軸部33および第2軸部34に加えて、内側に第2可動部32が位置し、第2軸部34を介して第2可動部32と接続されている支持部35を備える構造体30と、第1可動部31および第2可動部32を揺動させる駆動機構39と、を有している。
第1可動部31は、板状をなしている。また、第1可動部31の平面視形状は、円形となっている。ただし、第1可動部31の平面視形状としては、特に限定されず、円形の他にも、楕円形、長円形、三角形、四角形、五角形以上の多角形であってもよい。
このような第1可動部31の上面(一方の主面)には、表面が光反射面となっている光反射部311が設けられており、この光反射部311によって描画用レーザーLLが反射される。このような光反射部311は、例えば、アルミニウム等の金属材料を第1可動部31の上面に成膜することで形成することができる。ただし、光反射部311の構成としては、描画用レーザーLLを反射することができれば、特に限定されない。例えば、第1可動部31の上面が光反射性を有する場合には、第1可動部31の上面が光反射部311として機能してもよい。
第2可動部32は、枠状をなしており、構造体30(静止時の第1可動部31)の厚さ方向から見た平面視(以下、単に「平面視」とも言う)で、第1可動部31を囲んで設けられている。すなわち、第2可動部32の内側に第1可動部31が設けられている。ここで、前記「枠状」には、本実施形態のような環状のものの他、枠の周方向の一部が欠損した構成、例えばC字状のようなものが含まれるものとする。
また、第2可動部32の下面にはリブ321が設けられており、このリブ321の下面には永久磁石391が配置されている。リブ321は、第2可動部32の機械的強度を補強する補強部としての機能と、第1可動部31と永久磁石391との間に、これらの接触を防止するためのスペースを確保するギャップ材としての機能と、を有している。
支持部35は、枠状をなしており、平面視で、第2可動部32を囲んで設けられている。すなわち、支持部35の内側に第2可動部32が設けられている。また、支持部35は、他の部分(第1、第2可動部31、32および第1、第2軸部33、34)よりも厚く形成されている。これにより、支持部35の機械的強度を高めることができ、支持部35の剛性を高めることができる。なお、支持部35の構成としては、第2軸部34を介して第2可動部32を支持することができれば、特に限定されず、例えば、枠状をなしていなくてもよいし、複数に分割されていてもよい。
第1軸部33は、第1可動部31を第2可動部32に対して第1軸J1まわりに揺動可能に支持している。このような第1軸部33は、第1軸J1に沿って、第1可動部31をその両側から支持するように設けられている。具体的には、第1軸部33は、第1可動部31の一方側に位置し、第1軸J1に沿って延在する第1梁部331と、他方側に位置し、第1軸J1に沿って延在する第1梁部332と、を有し、第1梁部331、332で第1可動部31を両持ち支持している。このような第1軸部33は、第1可動部31の第1軸J1まわりの揺動に伴って捩じれ変形する。
第2軸部34は、第2可動部32を支持部35に対して第2軸J2まわりに揺動可能に支持している。このような第2軸部34は、第2軸J2に沿って、第2可動部32をその両側から支持するように設けられている。具体的には、第2軸部34は、一対の梁部として、第2可動部32の一方側(図2中左側)に位置し、第2軸J2に沿って延在する第2梁部341と、他方側(図2中右側)に位置し、第2軸J2に沿って延在する第2梁部342と、を有し、第2梁部341、342で第2可動部32を両持ち支持している。このような第2軸部34は、第2可動部32の第2軸J2まわりの揺動に伴って捩じれ変形する。
以下、このような第2軸部34について、詳細に説明する。図4ないし図7に示すように、一対の第2梁部341、342は、それぞれ、孔345として、第2軸部34を上下方向に貫通する貫通孔343を有し、貫通孔343に弾性部38が配置されている。そのため、弾性部38で第2可動部32の不要な振動を吸収でき、第2可動部32を精度よく安定して揺動させることができる。さらには、貫通孔343内に弾性部38を配置する際に、弾性部38と第2軸部34との間にボイドが発生し難くなり(すなわち、貫通孔343内の空気の逃げ道が確保され)、弾性部38を配置し易くなる。また、ボイドが発生し難い分、弾性部38によって、より効果的に、第2可動部32の不要な振動を吸収することができる。なお、本実施形態では、貫通孔343は、第2軸部34の厚さ方向を貫通して設けられている。これにより、貫通孔343の形成が容易となる。
弾性部38は、貫通孔343内に隙間なく配置(充填)されていることが好ましい。これにより、より効果的に、第2可動部32の不要な振動を吸収することができる。
貫通孔343の開口形状や断面形状としては、特に限定されない。また、貫通孔343は、第2軸部34の幅方向に貫通して設けられていてもよい。
また、貫通孔343は、第2梁部341、342のそれぞれにおいて、第2軸J2に沿って、間隔を空けて複数並んで配置されている。すなわち、一対の第2梁部341、342は、それぞれ、第2軸J2に沿って配置されている複数の貫通孔343を有している。特に、本実施形態では、第2梁部341、342のそれぞれに2つずつ計4つの貫通孔343を有している。そして、各貫通孔343内に(好ましくは、貫通孔343を埋めるように)、弾性部38が配置されている。このような構成によれば、それぞれの貫通孔343を小さくすることができる。そのため、第2梁部341、342の機械的強度の過度な低下を防止することができる。また、貫通孔343を複数形成することで、第2梁部341、342の途中に、両サイドに延びる部分34a、34bを連結する梁部34cを形成することができるため、言い換えると、第2梁部341、342を、それぞれ、一対の部分34a、34bと、部分34a、34bを連結する梁部34cと、を有する構成とすることができるため、第2梁部341、342の機械的強度の過度な低下を防止することができる。また、梁部34cによって、部分34a、34bを一体的に(1つの弾性体として)変形させることができ、第2可動部32を精度よく安定して揺動させることができる。
特に、本実施形態では、貫通孔343は、各第2梁部341、342のほぼ全長にわたって配置されている。そのため、弾性部38をより多く配置することができ、より効果的に、弾性部38で第2可動部32の不要な振動を吸収することができる。なお、本実施形態では、第2梁部341、342に、それぞれ、2つの貫通孔343が形成されているが、第2梁部341、342に形成される貫通孔343の数としては、特に限定されず、それぞれ、1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。貫通孔343の数は、例えば、第2梁部341、342の長さ等によって、適宜設定すればよい。
なお、本実施形態では、図8に示すように、第2梁部341、342の横断面形状が矩形であり、貫通孔343の横断面形状も矩形であるが、第2梁部341、342および貫通孔343の横断面形状としては特に限定されず、例えば、図9に示すように、第2梁部341、342の横断面形状が、幅が厚さ方向に漸減するテーパー状であり、貫通孔343の横断面形状も、幅が厚さ方向に漸減するテーパー状であってもよい。ただし、図8および図9に示すように、第2梁部341、342の横断面形状と貫通孔343の横断面形状とが対応した形状であることが好ましい。
ここで、弾性部38のヤング率は、第2軸部34(第2梁部341、342)のヤング率よりも小さいことが好ましい。これにより、より効果的に、弾性部38で第2可動部32の不要な振動を吸収でき、第2可動部32を精度よく安定して揺動させることができる。弾性部38のヤング率としては、特に限定されないが、第2軸部34(第2梁部341、342)の弾性率の1/10以下であることが好ましく、1/100以下であることがより好ましく、1/1000以下であることがさらに好ましい。これにより、上述した効果がより顕著となる。具体的には、弾性部38のヤング率は、10MPa以上、100MPa以下であることが好ましい。これにより、十分に柔らかい弾性部38となり、より効果的に、弾性部38で第2可動部32の不要な振動を吸収することができる。特に、このような値のヤング率を有する弾性部38は、後述するように、第2軸部34がシリコンで構成されていている場合に好適である。
このような弾性部38の構成材料としては、特に限定されないが、シリコーンを含んでいることが好ましい。これにより、十分に柔らかい弾性部38を、簡単に得ることができる。また、シリコーンとしては、特に限定されず、シリコーンオイル、シリコーンゴム、シリコーン樹脂等を用いることができる。また、弾性部38は、PDMS(ポリジメチルシロキサン)を主材料とすることが好ましい。これにより、合成時に、PDMSの分子量やMQレジンの添加量を制御することで、より簡単に、目的のヤング率を有する弾性部38を得ることができる。ただし、弾性部38の構成材料としては、シリコーンに限定されず、他の樹脂材料、ゴム材料等を用いることもできる。なお、各貫通孔343に設けられている弾性部38は、ヤング率が等しくてもよいし、ヤング率が異なっていてもよい。また、同じ材料で構成されていてもよいし、異なる材料で構成されていてもよい。
また、例えば、弾性部38としてシリコーンオイルを用いる場合、図示されていないが、内部に弾性部38が配置された貫通孔343の上部開口および下部開口を、例えば、膜状のものにより覆うような構成とすることができる。これにより、弾性部38の貫通孔343からの離脱を抑制することができる。
また、弾性部38は、第2軸部34よりも描画用レーザーLLを反射し難いことが好ましい。すなわち、弾性部38は、描画用レーザーLLの反射率が、第2軸部34よりも低いことが好ましい。これにより、光反射部311からずれて、弾性部38に入射した描画用レーザーLLが、弾性部38で反射されて迷光となってしまうことを抑制することができる。弾性部38での描画用レーザーLLの反射率を低くする方法としては、特に限定されないが、例えば、弾性部38の構成材料に、クロム(Cr)やカーボンブラック等を含有させて、弾性部38を黒色とすることが挙げられる。また、弾性部38の構成材料として、液晶ディスプレイのブラックマトリクスの形成に使用されるブラックレジストを用いてもよい。
次に、駆動機構39について説明する。駆動機構39は、第1可動部31を第1軸J1および第2軸J2の両軸まわりに揺動させる機構であり、図3に示すように、第2可動部32に設けられた永久磁石391と、永久磁石391に作用させる磁界を発生するコイル392と、コイル392に接続された電圧印加部393と、を有している。
永久磁石391は、リブ321の下面に設けられている。また、永久磁石391は、一端側がS極であり、他端側がN極である棒状(長手形状)をなしており、両端部が第2可動部32の中心を介して反対側に位置するように配置されている。また、永久磁石391は、第1軸J1および第2軸J2の両軸に対して傾斜して配置されている。なお、特に限定されないが、永久磁石391の磁化の方向(図2中の鎖線aで示す方向)は、例えば、第1軸J1に対して10°以上、60°以下の範囲内で傾斜していることが好ましく、30°以上、45°以下の範囲内で傾斜していることがより好ましい。すなわち、図2中のθが、10°≦θ≦60°であることが好ましく、30°≦θ≦45°であることがより好ましい。これにより、より確実に、第1可動部31および第2可動部32をそれぞれの軸まわりに揺動させることができる。
以上のような永久磁石391としては、特に限定されず、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等を好適に用いることができる。
図3に示すように、コイル392は、永久磁石391の直下に位置し、永久磁石391と対向して配置されている。そして、コイル392は、電圧印加部393に電気的に接続されており、電圧印加部393からコイル392に電圧が印加されることで、コイル392から磁界が発生し、この磁界が永久磁石391に作用するようになっている。なお、コイル392は、磁心を有していてもよい。
電圧印加部393は、第1可動部31を第1軸J1まわりに揺動させるための第1電圧と、第2可動部32を第2軸J2まわりに揺動させるための第2電圧と、を重畳させた駆動電圧をコイル392に印加するように構成されている。これにより、第1可動部31を第1軸J1まわりに揺動させつつ、第2可動部32を第2軸J2まわりに揺動させることができ、その結果、第1可動部31を第1軸J1および第2軸J2の両軸まわりに揺動させることができる。
電圧印加部393は、図10に示すように、第1可動部31を第1軸J1まわりに揺動させるための第1電圧V1を発生する第1電圧発生部393a(主走査ドライバー)と、第2可動部32を第2軸J2まわりに揺動させるための第2電圧V2を発生する第2電圧発生部393b(副走査ドライバー)と、第1電圧V1と第2電圧V2とを重畳する電圧重畳部393cと、を備え、電圧重畳部393cで重畳した電圧をコイル392に印加する。
第1電圧発生部393aは、周期T1で周期的に変化する第1電圧V1(主走査用電圧)を発生する。図11に示すように、第1電圧V1は、例えば、正弦波である。また、第1電圧V1の周波数は、例えば、10〜40kHzであるのが好ましい。また、第1電圧V1の周波数は、第1可動部31および第1軸部33を主とする第1揺動系のねじり共振周波数と等しくなるように設定されている。これにより、第1可動部31を第1軸J1まわりに共振で揺動させることができるため、第1可動部31の揺動角を大きくすることができる。
一方、第2電圧発生部393bは、周期T1と異なる周期T2で周期的に変化する第2電圧V2(副走査用電圧)を発生する。第2電圧V2は、図12に示すように、例えば、鋸波である。また、第2電圧V2の周波数は、例えば、30〜120Hz(特に、60Hz程度)であるのが好ましい。また、第2電圧V2の周波数は、第1可動部31、第1軸部33、第2可動部32および第2軸部34を主とする第2揺動系のねじり共振周波数と異なるように設定されている。これにより、第2可動部32を第2軸J2まわりに非共振で揺動させることができるため、第2可動部32の揺動の波形を第2電圧V2の波形に対応したものとすることができる(すなわち、一方側へはゆっくり揺動させ、他方側へは素早く揺動させることができる)。
なお、第1揺動系のねじり共振周波数をf1[Hz]とし、第2揺動系のねじり共振周波数をf2[Hz]としたとき、f2<f1の関係を満たすことが好ましく、f2≦f1/10の関係を満たすことがより好ましい。このように、f1とf2を十分に離すことで、第1電圧V1によって第2可動部32が共振で揺動してしまうことを効果的に抑制することができる。
電圧重畳部393cは、コイル392に電圧を印加するための加算器393dを備えている。加算器393dは、第1電圧発生部393aから第1電圧V1を受けると共に、第2電圧発生部393bから第2電圧V2を受け、これらの電圧を重畳しコイル392に印加する。
第1電圧V1と第2電圧V2とを重畳した重畳電圧Vをコイル392に印加すると、重畳電圧Vに応じた磁界がコイル392から発生し、この磁界が永久磁石391に作用する。すると、第1可動部31が第1軸J1まわりに揺動すると共に、第2可動部32が第2軸J2まわりに揺動し、その結果、第1可動部31が第1軸J1および第2軸J2の両軸まわりに2次元的に揺動する。上述したように、第1可動部31は、第1軸J1まわりに共振で揺動し、第2可動部32は、第2軸J2まわりに非共振で揺動する。そのため、第1可動部31を第1軸J1まわりに大きな揺動角で揺動させることができると共に、第2軸J2まわりに所望の波形で揺動させることができる。そのため、例えば、第1可動部31の2次元的な揺動が画像描画に適したものとなり、より鮮明な画像を表示できるようになる。
ここで、光スキャナー3では、第2可動部32に永久磁石391が設けられているため、第2可動部32の質量が大きくなり、それに伴って、第2可動部32の慣性モーメントが大きくなる。慣性モーメントが大きくなる程、共振振動のQ値(共振の発生のし易さを現す値であり、Q値が大きい程、共振が起き易い)が大きくなるため、共振の振動が発生し易くなる。そのため、非共振で振動する第2可動部32に、共振の振動(周期が短く、細かい振動)が不要な振動として混じってしまい、第2可動部32の振動特性が悪化してしまうおそれがある。このような問題に鑑み、本実施形態では、第2軸部34に弾性部38を設け、この弾性部38によって、上述した共振の振動(不要振動)を吸収できるようになっている。そのため、第2可動部32を精度よく安定して揺動させることができる。このように、共振のQ値が大きいにも関わらず、非共振で揺動させる第2可動部32を有する構成において、弾性部38の効果がより顕著に発揮される。
以上のような光スキャナー3を有する画像表示装置1は、光スキャナー3の効果を享受することができるため、信頼性の高い画像表示装置となる。
≪製造方法≫
図13は、光スキャナーの製造工程を説明するフローチャート図である。図14A〜図14Fは、各工程における第2軸での断面図である。次に、光スキャナー3の製造方法について図13、図14A〜図14Fを参照して説明する。
図13は、光スキャナーの製造工程を説明するフローチャート図である。図14A〜図14Fは、各工程における第2軸での断面図である。次に、光スキャナー3の製造方法について図13、図14A〜図14Fを参照して説明する。
ステップS1は、第1可動部31、第2可動部32、第1軸部33、第2軸部34及び孔345を含む構造体30を形成する構造体形成工程である。図14Aに示すように、基板4を用意する。基板4は、第1シリコン層(デバイス層)41と、酸化シリコン層(ボックス層)42と、第2シリコン層(ハンドル層)43とがこの順に積層したSOI基板である。構造体30は、基板4をフォトリソグラフィー技法およびエッチング技法(ドライエッチング、ウェットエッチング等)を用いてパターニングすることで形成する。これにより、基板4には、図14Bに示すように、第1可動部31、第2可動部32、第1軸部33、第2軸部34、支持部35及び貫通孔343(孔345)が形成される。このように、エッチング技法を用いることで、基板4を容易に、かつ精度よくパターニングすることができる。なお、第1可動部31、第2可動部32、第1軸部33、及び第2軸部34は第1シリコン層41から形成され、支持部35は第1シリコン層41、酸化シリコン層42および第2シリコン層43から形成され、リブ321は酸化シリコン層42および第2シリコン層43から形成されている。なお、構造体30は、SOI基板から形成されていなくてもよいし、シリコン以外の材料で形成されてもよい。
ステップS2は、光反射部311を形成する光反射部形成工程である。光反射部311は、第1可動部31の上面(第1シリコン層41側)にアルミニウム膜を成膜することで形成する。アルミニウム膜は、第1可動部31に対応する上面を開口させたマスク(図示せず)を構造体30に重ね合わせた状態で蒸着やスパッタリングを行うことで成膜できる。これにより、図14Cに示すように、第1可動部31の上面に光反射部311が形成される。
ステップS3は、孔345に対応する開口部51を有するマスク50を介して、構造体30に弾性部38の構成材料381をスプレーコート法で塗布する塗布工程である。弾性部38は、孔345(貫通孔343)に構成材料381を充填することで形成する。図14Dに示すように、まず、孔345に対応する上面を開口させた開口部51を有するマスク50を構造体30の上面に重ね合わせる。そして、構造体30の上方に設置したノズル61から微細な液滴を噴出するスプレーコート法によって構成材料381を構造体30に向かって吐出する。これにより、図14Eに示すように、狭小の孔345上に着弾した構成材料381の液滴が孔345内に引き込まれて堆積することにより弾性部38が形成される。なお、開口部51は、マスク50と構造体30との重ね合せ精度を考慮して、孔345よりも大きめに開口されていてもよい。また、構成材料381は、ノズル61と構造体30との間に電圧を印加し、帯電した構成材料381の液滴を静電気力により構造体30上に捕集する静電スプレーコート法によって塗布させてもよい。
ステップS4は、光スキャナー3を組み立てる組立工程である。組立工程では、第2可動部32の下面に永久磁石391を設け、永久磁石391と対向する位置にコイル392を設置する。これにより、図14Fに示すように、光スキャナー3が得られる。
上述した製造方法により、弾性部38によって第2可動部32の不要な振動を吸収、緩和することが可能な光スキャナー3を製造することができる。
上述した製造方法により、弾性部38によって第2可動部32の不要な振動を吸収、緩和することが可能な光スキャナー3を製造することができる。
<第2実施形態>
図15は、第2実施形態における光スキャナーの製造工程を説明するフローチャート図である。図16A及び図16Bは、各工程における第2軸での断面図である。図17は、図16Bの平面図である。図18は、図16Bの2軸部の拡大断面図である。次に、本発明の第2実施形態に係る光スキャナー3の製造方法について図15、図16A、図16B、図17及び図18を参照して説明する。なお、第1実施形態と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。また、ステップS11、ステップS12及びステップS14は、第1実施形態で説明したステップS1、ステップS2及びステップS4と同じであるので、その説明は省略する。本実施形態の光スキャナー3は、第2軸部34、第2可動部32の上面に、黒色の顔料を含む構成材料381が塗布されている。
図15は、第2実施形態における光スキャナーの製造工程を説明するフローチャート図である。図16A及び図16Bは、各工程における第2軸での断面図である。図17は、図16Bの平面図である。図18は、図16Bの2軸部の拡大断面図である。次に、本発明の第2実施形態に係る光スキャナー3の製造方法について図15、図16A、図16B、図17及び図18を参照して説明する。なお、第1実施形態と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。また、ステップS11、ステップS12及びステップS14は、第1実施形態で説明したステップS1、ステップS2及びステップS4と同じであるので、その説明は省略する。本実施形態の光スキャナー3は、第2軸部34、第2可動部32の上面に、黒色の顔料を含む構成材料381が塗布されている。
ステップS13は、構造体30に弾性部38の構成材料381をスプレーコート法で塗布する塗布工程である。本工程で用いるマスク50の開口部51は、第2軸部34及び第2可動部32の少なくとも一部にも対応する開口である。本実施形態で使用するマスク50は、第2軸部34及び第2可動部32に対応する上面が全面開口されている。また、本実施形態で塗布する構成材料381には、黒色の顔料が含まれている。黒色の顔料としてはブラックカーボンなどを用いることができる。
図16Aに示すように、まず、構造体30をヒーター62で100℃程度に加熱させ、第2軸部34及び第2可動部32に対応する上面を全面開口させた開口部511を有するマスク50を構造体30の上面に重ね合わせる。そして、構造体30の上方に設置したノズル61から微細な液滴を噴出するスプレーコート法によって構成材料381を構造体30に向かって吐出する。これにより、図16Bに示すように、構成材料381が孔345内に堆積し弾性部38を形成するので、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。さらに、図17に示すように、構成材料381が第2軸部34及び第2可動部32の上面に塗布される。これにより、第2軸部34及び第2可動部32は、光の反射率の低い黒色の構成材料381で覆われる。したがって、光反射部311からずれて第2軸部34及び第2可動部32に入射した描画用レーザーLLが、第2軸部34及び第2可動部32で反射されて迷光となることを抑制することができる。
また、図18に示すように、本実施形態では構造体30を加熱しているため、構造体30(第2軸部34及び第2可動部32)に着弾した構成材料381の液滴は、構成材料381に含まれる溶媒が蒸発することにより粒状に堆積する。これにより、光反射部311からずれて第2軸部34及び第2可動部32に入射した描画用レーザーLLは、第2軸部34及び第2可動部32に粒状に堆積した構成材料381で散乱光として反射され減衰する。したがって、第2軸部34及び第2可動部32に入射した描画用レーザーLLが、第2軸部34及び第2可動部32で反射されて迷光となることを、さらに抑制することができる。
<第3実施形態>
次に、本発明の第3実施形態に係る光スキャナーについて説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る光スキャナーについて説明する。
図19は、本発明の第3実施形態に係る光スキャナーの平面図である。図20および図21は、それぞれ、図19に示す光スキャナーが有する第2軸部の断面図である。図22および図23は、それぞれ、第2軸部に形成された凹部の横断面形状を示す断面図である。
以下、第3実施形態の光スキャナーについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第3実施形態に係る光スキャナーは、第2軸部の構成が異なること以外は、前述した第1実施形態とほぼ同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。
図19ないし図21に示すように、第2軸部34(第2梁部341、342)は、孔345として有底の孔である凹部344を有し、この凹部344に弾性部38が配置されている。このような構成によれば、前述した第1実施形態と同様に、弾性部38で第2可動部32の不要な振動を吸収することができるため、光スキャナー3の揺動特性の低下を抑制することができる。そのため、優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナー3となる。
なお、本実施形態では、凹部344は、第2軸部34の上面に開口して設けられている。これにより、凹部344の形成が容易となる。ただし、凹部344は、第2軸部34の側面に開口して設けられていてもよいし、下面に開口して設けられていてもよい。また、本実施形態では、図22に示すように、第2軸部34(第2梁部341、342)の横断面形状が矩形であり、凹部344の横断面形状が矩形であるが、第2軸部34(第2梁部341、342)および凹部344の横断面形状としては特に限定されず、例えば、図23に示すように、第2軸部34(第2梁部341、342)の横断面形状がV字であり、凹部344の横断面形状が三角形であってもよい。
また、一対の第2梁部341、342は、それぞれ、第2軸J2に沿って配置されている複数の凹部344を有している。そして、各凹部344内に、弾性部38が設けられている。このような構成によれば、1つの凹部344が大きくなり過ぎることを防止することができる。そのため、第2梁部341、342の機械的強度の過度な低下を防止することができる。
特に、本実施形態では、複数の凹部344が、第2梁部341、342のそれぞれにおいて、ほぼ全長にわたって配置されている。そのため、弾性部38をより多く配置することができ、より効果的に、弾性部38で第2可動部32の不要な振動を吸収することができる。なお、本実施形態では、第2梁部341、342に、それぞれ、2つの凹部344が形成されているが、第2梁部341、342に形成される凹部344の数としては、特に限定されず、それぞれ、1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。凹部344の数は、例えば、第2梁部341、342の長さ等によって、適宜設定すればよい。
以上のような第3実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第4実施形態>
次に、本発明の第4実施形態に係る光スキャナーについて説明する。
次に、本発明の第4実施形態に係る光スキャナーについて説明する。
図24は、本発明の第4実施形態に係る光スキャナーの平面図である。図25は、図24中のB−B線断面図である。図26は、図24に示す光スキャナーの変形例を示す平面図である。
以下、第4実施形態の光スキャナーについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第4実施形態に係る光スキャナーは、第1可動部の構成が異なること以外は、前述した第1実施形態とほぼ同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。
図24および図25に示すように、第1可動部31は、第1軸部33が接続された基部31Aと、基部31Aに対して板厚方向に離間して配置された板状のミラー保持部31Bと、基部31Aとミラー保持部31Bとの間に位置し、これらを連結する柱状の連結部31Cと、を有している。また、ミラー保持部31Bは、平面視で、基部31A、第1軸部33、第2可動部32および第2軸部34と重なって設けられている。そして、基部31Aの下面に永久磁石391が設けられており、ミラー保持部31Bの上面に光反射部311が設けられている。
このような構成によれば、例えば、次の効果を発揮することができる。すなわち、光反射部311を設けなくてよい分、基部31Aを、前述した第1実施形態の第1可動部31に対して小さくすることができ、その分、構造体30の平面サイズを小さくすることができる。また、ミラー保持部31Bが第2可動部32に対して板厚方向に離間しているため、第2可動部32の揺動を阻害することなく、ミラー保持部31Bを大きくすることができ、その分、光反射部311を大きくすることができる。このように、本実施形態によれば、光反射部311を大きくしつつ、光スキャナー3の小型化を図ることができる。
以上のような第4実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
なお、本実施形態では、平面視で、ミラー保持部31Bが第2軸部34の全域と重なって設けられているが、例えば、図26に示すように、平面視で、ミラー保持部31Bが第2軸部34の一部と重なっており、弾性部38がミラー保持部31Bの外側に露出した構成となっていてもよい。この場合、少なくとも、ミラー保持部31Bの外側に露出した弾性部38については、例えば、クロム(Cr)やカーボンブラック等を含有させて黒色とすることで、描画用レーザーLLを反射し難くしておくことが好ましい。
<第5実施形態>
次に、本発明のヘッドアップディスプレイについて説明する。
次に、本発明のヘッドアップディスプレイについて説明する。
図27は、第5実施形態に係るヘッドアップディスプレイを示す斜視図である。
図27に示すように、ヘッドアップディスプレイシステム1000では、画像表示装置1が、自動車のダッシュボードに、ヘッドアップディスプレイ1100を構成するよう搭載されている。このヘッドアップディスプレイ1100により、フロントガラス1200に、例えば、目的地までの案内表示等の所定の画像を表示することができる。なお、ヘッドアップディスプレイシステム1000は、自動車に限らず、例えば、航空機、船舶等にも適用することができる。
このようなヘッドアップディスプレイ1100は、画像表示装置1(光スキャナー3)を有している。そのため、上述した光スキャナー3の効果を享受でき、信頼性の高いヘッドアップディスプレイ1100が得られる。
<第6実施形態>
次に、本発明のヘッドマウントディスプレイについて説明する。
次に、本発明のヘッドマウントディスプレイについて説明する。
図28は、第6実施形態に係るヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。
図28に示すように、ヘッドマウントディスプレイ2000は、画像表示装置1(光スキャナー3)と、画像表示装置1(光スキャナー3)を搭載し、観察者の頭部に装着されるフレーム2100と、を有している。そして、画像表示装置1によって、フレーム2100の本来レンズである部位に設けられた表示部(光反射層材)2200に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。
表示部2200は、透明であってもよく、また、不透明であってもよい。表示部2200が透明な場合は、現実世界からの情報に画像表示装置1からの情報を重ねて使用することができる。また、表示部2200は、入射した光の少なくとも一部を反射すればよく、例えば、ハーフミラーなどを用いることができる。
このようなヘッドマウントディスプレイ2000は、画像表示装置1(光スキャナー3)を有している。そのため、上述した光スキャナー3の効果を享受でき、信頼性の高いヘッドマウントディスプレイ2000が得られる。なお、ヘッドマウントディスプレイ2000の構成としては、特に限定されず、例えば、ヘッドマウントディスプレイ2000に、2つ画像表示装置1を設け、両方の目で視認される画像を、2つの表示部2200に表示するようにしてもよい。
以上、本発明の光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した各実施形態を適宜組み合わせてもよい。例えば、第2軸部が、弾性部が配置された貫通孔と弾性部が配置された凹部の両方を有していてもよい。
また、前述した実施形態では、駆動機構が永久磁石と、コイルと、を有し、永久磁石が第2可動部に設けられ、コイルが永久磁石に対向するように設けられている構成について説明したが、これとは、反対に、コイルが第2可動部に設けられ、永久磁石がコイルに対向するように設けられていてもよい。
また、前述した実施形態では、第2軸部の各第2梁部に複数の孔(貫通孔または有底の孔)が設けられており、全ての孔に弾性部が配置(充填)されている構成について説明したが、少なくとも1つの孔に弾性部が配置されていれば、弾性部が配置されていない孔があってもよい。また、孔の全域を埋めるように弾性部が配置されていてもよいし、孔の一部を埋めるように弾性部が配置されていてもよい。すなわち、孔内に弾性部が存在しない空隙(領域)があってもよい。
1…画像表示装置、10…対象物、11…ミラー、2…変調光生成部、21B,21G,21R…光源、22B,22G,22R…駆動回路、23…光合成部、231,232…ダイクロイックミラー、24B,24G,24R…コリメータレンズ、26…集光レンズ、3…光スキャナー、30…構造体、31…第1可動部、31A…基部、31B…ミラー保持部、31C…連結部、311…光反射部、32…第2可動部、321…リブ、33…第1軸部、331,332…第1梁部、34…第2軸部、34a,34b…部分、34c…梁部、341,342…第2梁部、343…貫通孔、344…凹部、345…孔、35…支持部、38…弾性部、381…構成材料、39…駆動機構、391…永久磁石、392…コイル、393…電圧印加部、393a…第1電圧発生部、393b…第2電圧発生部、393c…電圧重畳部、393d…加算器、4…基板、41…第1シリコン層、42…酸化シリコン層、43…第2シリコン層、50…マスク、51,511…開口部、61…ノズル、62…ヒーター、1000…ヘッドアップディスプレイシステム、1100…ヘッドアップディスプレイ、1200…フロントガラス、2000…ヘッドマウントディスプレイ、2100…フレーム、2200…表示部、J1…第1軸、J2…第2軸、LL…描画用レーザー、T1、T2…周期、V…重畳電圧、V1…第1電圧、V2…第2電圧、a…鎖線。
Claims (13)
- 光反射性を有する光反射部を備える第1可動部と、
内側に前記第1可動部が位置する第2可動部と、
前記第1可動部と前記第2可動部とを接続し、前記第1可動部を第1軸まわりに揺動可能に支持する第1軸部と、
前記第2可動部に接続し、前記第2可動部を前記第1軸と交差する第2軸まわりに揺動可能に支持する第2軸部と、
前記第2軸部に設けられている弾性部と、を有し、
前記第2軸部は、孔を有し、前記孔に前記弾性部が配置されていることを特徴とする光スキャナー。 - 前記孔は、貫通孔または有底の孔であることを特徴とする請求項1に記載の光スキャナー。
- 前記弾性部のヤング率は、前記第2軸部のヤング率よりも小さいことを特徴とする請求項1または2に記載の光スキャナー。
- 前記弾性部のヤング率は、10MPa以上、100MPa以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記弾性部の構成材料は、シリコーンを含んでいることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の光スキャナー。
- 前記第2軸部は、一対の梁部を有し、
前記一対の梁部は、それぞれ、前記第2軸に沿って配置されている複数の前記孔を有していることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の光スキャナー。 - 前記第1可動部は、前記第1軸まわりに共振で揺動し、
前記第2可動部は、前記第2軸まわりに非共振で揺動することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の光スキャナー。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の光スキャナーを有することを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載の光スキャナーと、
前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の光スキャナーを有することを特徴とするヘッドアップディスプレイ。
- 光反射性を有する光反射部を備える第1可動部と、内側に前記第1可動部が位置する第2可動部と、前記第1可動部と前記第2可動部とを接続し、前記第1可動部を第1軸まわりに揺動可能に支持する第1軸部と、前記第2可動部に接続し、前記第2可動部を前記第1軸と交差する第2軸まわりに揺動可能に支持する第2軸部と、前記第2軸部の有する孔に設けられている弾性部と、を有する光スキャナーの製造方法であって、
前記第1可動部、前記第2可動部、前記第1軸部、前記第2軸部及び前記孔を含む構造体を形成する構造体形成工程と、
前記光反射部を形成する光反射部形成工程と、
前記孔に対応する開口部を有するマスクを介して、前記構造体に前記弾性部の構成材料をスプレーコート法で塗布する塗布工程と、
を含むことを特徴とする光スキャナーの製造方法。 - 前記マスクの前記開口部は、前記第2軸部及び前記第2可動部の少なくとも一部に対応する開口であり、
前記構成材料は、黒色の顔料を含むことを特徴とする請求項11に記載の光スキャナーの製造方法。 - 前記塗布工程において前記構造体を加熱することを特徴とする請求項12に記載の光スキャナーの製造方法。
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