DE69125435D1 - Verfahren zum direkten Erhalten von Amplituden und Phaseninformation eines Objekts mittels Bilder aus einem Hochauflösungs- Elektronenmikroskop - Google Patents
Verfahren zum direkten Erhalten von Amplituden und Phaseninformation eines Objekts mittels Bilder aus einem Hochauflösungs- ElektronenmikroskopInfo
- Publication number
- DE69125435D1 DE69125435D1 DE69125435T DE69125435T DE69125435D1 DE 69125435 D1 DE69125435 D1 DE 69125435D1 DE 69125435 T DE69125435 T DE 69125435T DE 69125435 T DE69125435 T DE 69125435T DE 69125435 D1 DE69125435 D1 DE 69125435D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- images
- electron microscope
- phase information
- directly obtaining
- resolution electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL9001800A NL9001800A (nl) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | Methode voor het direct verkrijgen van amplitude- en fase-informatie van een object met behulp van beelden van een hoge-resolutie elektronenmicroscoop. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69125435D1 true DE69125435D1 (de) | 1997-05-07 |
DE69125435T2 DE69125435T2 (de) | 1997-10-23 |
Family
ID=19857536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69125435T Expired - Lifetime DE69125435T2 (de) | 1990-08-10 | 1991-08-06 | Verfahren zum direkten Erhalten von Amplituden und Phaseninformation eines Objekts mittels Bilder aus einem Hochauflösungs- Elektronenmikroskop |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5134288A (de) |
EP (1) | EP0472235B1 (de) |
JP (1) | JP3130584B2 (de) |
DE (1) | DE69125435T2 (de) |
NL (1) | NL9001800A (de) |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5751243A (en) * | 1990-10-29 | 1998-05-12 | Essex Corporation | Image synthesis using time sequential holography |
NL9100076A (nl) * | 1991-01-17 | 1992-08-17 | Philips Nv | Methode voor automatische uitlijning van een elektronenmicroscoop en een elektronenmicroscoop geschikt voor uitvoering van een dergelijke methode. |
JP3287858B2 (ja) * | 1991-05-15 | 2002-06-04 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡装置及び電子顕微方法 |
US5866905A (en) * | 1991-05-15 | 1999-02-02 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
EP0555911B1 (de) * | 1992-02-12 | 1999-01-07 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Verfahren zur Verringerung einer räumlichen energiedispersiven Streuung eines Elektronenstrahlenbündels und eine für den Einsatz eines solchen Verfahrens geeignete Elektronenstrahlvorrichtung |
US5460034A (en) * | 1992-07-21 | 1995-10-24 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Method for measuring and analyzing surface roughness on semiconductor laser etched facets |
EP0597538B1 (de) * | 1992-11-12 | 1997-04-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Bild-Rekonstruktionsverfahren in einem Hochauflösungselektronenmikroskop und zur Anwendung eines solchen Verfahrens fähigen Elektronenmikroskop |
US5432347A (en) * | 1992-11-12 | 1995-07-11 | U.S. Philips Corporation | Method for image reconstruction in a high-resolution electron microscope, and electron microscope suitable for use of such a method |
US5432349A (en) * | 1993-03-15 | 1995-07-11 | The United State Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Fourier transform microscope for x-ray and/or gamma-ray imaging |
EP0628984A1 (de) * | 1993-06-10 | 1994-12-14 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Verfahren zur Untersuchung von Objektstrukturen in einem Elektronenstrahlgerät |
BE1007465A3 (nl) * | 1993-09-03 | 1995-07-04 | Philips Electronics Nv | Additionele samenstelling van defocusseringsbeelden in een elektronenmicroscoop. |
JP3973231B2 (ja) * | 1995-03-16 | 2007-09-12 | エフ イー アイ カンパニ | 粒子−光学機器内における粒子波の再構築方法 |
JP3402868B2 (ja) * | 1995-09-14 | 2003-05-06 | 株式会社東芝 | 荷電粒子光学鏡筒における非点収差の補正及び焦点合わせ方法 |
DE69606517T2 (de) * | 1995-10-03 | 2000-09-14 | Koninklijke Philips Electronics N.V., Eindhoven | Verfahren zum wiederaufbau eines bildes in einem korpuskularoptischen gerät |
US20060060781A1 (en) * | 1997-08-11 | 2006-03-23 | Masahiro Watanabe | Charged-particle beam apparatus and method for automatically correcting astigmatism and for height detection |
US6590209B1 (en) * | 1999-03-03 | 2003-07-08 | The Regents Of The University Of California | Technique to quantitatively measure magnetic properties of thin structures at <10 NM spatial resolution |
JP4069545B2 (ja) * | 1999-05-19 | 2008-04-02 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置 |
JP3813798B2 (ja) * | 2000-07-13 | 2006-08-23 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡 |
JP3942363B2 (ja) * | 2001-02-09 | 2007-07-11 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡の位相板用レンズシステム、および透過電子顕微鏡 |
AUPR672601A0 (en) * | 2001-07-31 | 2001-08-23 | Iatia Imaging Pty Ltd | Apparatus and method of imaging an object |
US20070182844A1 (en) * | 2003-03-09 | 2007-08-09 | Latia Imaging Pty Ltd | Optical system for producing differently focused images |
GB2491199A (en) * | 2011-05-27 | 2012-11-28 | Univ Antwerpen | Methods and systems for material characterization |
GB201302624D0 (en) * | 2013-02-14 | 2013-04-03 | Univ Antwerpen | High-resolution amplitude contrast imaging |
KR20140106053A (ko) * | 2013-02-25 | 2014-09-03 | 도시바삼성스토리지테크놀러지코리아 주식회사 | 빔 제어 방법 및 이를 적용하는 광 픽업 장치 |
US9076462B2 (en) * | 2013-12-03 | 2015-07-07 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic head having a short yoke with a tapered coil structure |
DE112014006444B4 (de) * | 2014-04-04 | 2020-03-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung und Verfahren zum Korrigieren der sphärischen Aberration |
US9159350B1 (en) * | 2014-07-02 | 2015-10-13 | WD Media, LLC | High damping cap layer for magnetic recording media |
US9886977B1 (en) | 2016-12-22 | 2018-02-06 | Western Digital Technologies, Inc. | Dual cap layers for heat-assisted magnetic recording media |
DE102019204575B3 (de) | 2019-04-01 | 2020-08-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren, Vorrichtung und Computerprogramm zum Bestimmen einer Wellenfront eines massebehafteten Teilchenstrahls |
CN114624006B (zh) * | 2022-03-03 | 2022-11-08 | 湖南大学 | 一种利用样品下表面出射波函数测量电镜残余像差的方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5769654A (en) * | 1980-10-16 | 1982-04-28 | Jeol Ltd | Picture image processing method for electron microscope image |
JPS59163548A (ja) * | 1983-03-09 | 1984-09-14 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 電子線回折像の自動分析方法 |
-
1990
- 1990-08-10 NL NL9001800A patent/NL9001800A/nl not_active Application Discontinuation
-
1991
- 1991-07-17 US US07/731,676 patent/US5134288A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-06 DE DE69125435T patent/DE69125435T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-06 EP EP91202017A patent/EP0472235B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-07 JP JP03221143A patent/JP3130584B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5134288A (en) | 1992-07-28 |
EP0472235B1 (de) | 1997-04-02 |
DE69125435T2 (de) | 1997-10-23 |
EP0472235A1 (de) | 1992-02-26 |
JPH04233150A (ja) | 1992-08-21 |
NL9001800A (nl) | 1992-03-02 |
JP3130584B2 (ja) | 2001-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69125435D1 (de) | Verfahren zum direkten Erhalten von Amplituden und Phaseninformation eines Objekts mittels Bilder aus einem Hochauflösungs- Elektronenmikroskop | |
DE69322316D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Lesen von Bildern eines Bildabtasters | |
DE69426070D1 (de) | Verfahren zur topographischen oberflächenmessung durch raumfrequenzanalyse eines interferogrammes | |
DE69427567D1 (de) | Verfahren zum Auffinden eines Histogrammgebietes von Interesse zur verbesserten Grauskalawiedergabe von Röntgenbildern | |
DE69121640D1 (de) | Bilderzeugungsgerät und Verfahren zur Bilderzeugung unter Verwendung eines Aufzeichnungskopfes und eines Testbildes | |
DE69934044D1 (de) | System und Verfahren zur verbesserten Trennung von Wasser und Fett mittels eines Satzes von Magnetresonazbildern mit niedriger Auflösung | |
DE59304829D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von dünnschnitten mittels eines mikrotoms | |
DE69314714D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Lesen eines Bildes | |
DE69322095D1 (de) | Verfahren und gerät zur identifizierung eines objekts mittels eine geordneten folge von grenz-pixel-parametern | |
DE69124469D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Aufzeichnung eines Bildsignals | |
DE69130438D1 (de) | Graphischer Computer und Verfahren zum Darstellen von Bewegung eines Multi-Gelenkobjekts | |
DE69032588D1 (de) | Verfahren und Gerät zur Bewegungserkennung eines sich bewegenden Bildes | |
DE59712753D1 (de) | Verfahren zum Messen von elektronischen Messobjekten mittels eines Netzwerkanalysators | |
DE69033269D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Position und Stellung eines Gegenstandes | |
DE69321316D1 (de) | Verfahren und Gerät zum Erhalten drei-dimensionaler Information von Proben | |
DE69507726D1 (de) | Verfahren zur Aufzeichnung eines Bildes auf einem Gegenstand | |
DE68920281D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Lithographie mittels eines Strahls geladener Teilchen. | |
DE69327354D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen von Konturen eines Bildes | |
DE69225184D1 (de) | Rastermikroskop und Verfahren zur Bedienung eines solchen Rastermikroskops | |
ATE16143T1 (de) | Verfahren und einrichtung zur reproduktion eines bildes mit groeberer aufloesung als bei der bildabtastung. | |
DE69229979D1 (de) | Verfahren und Gerät zum Erfassen von vollständigen Radondaten zur exakten Erstellung eines dreidimensionalen CT-Bildes eines Teiles von einem mit Strahlung eines konischen Quelle belegten Objekt | |
DE69527122D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bilderzeugung mittels magnetischer resonanz | |
DE69323572D1 (de) | Anordnung zum bewegungsausgeglichenen Interpolieren eines Bildsignals | |
DE69013755D1 (de) | Verfahren zur Bestimmung eines Bildwiedergabeparameters einer Bildröhre mit Rasterablenkung und Verfahren der Behandlung einer solchen Bildröhre zur Verbesserung der Bildwiedergabe. | |
DE69326857D1 (de) | Verfahren zur Bilderzeugung eines Objektes durch Strahlung einer konischen Quelle und einer zweidimensionalen Detektoranordnung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, N |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: FEI CO., HILLSBORO, OREG., US |