DE4422683A1 - Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen für eine Fertigungsstraße - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen für eine FertigungsstraßeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Fertigungsstraße, die ei
ne Reihe von auch als Prozesse bezeichneten Behand
lungs- oder Bearbeitungsstufen umfaßt und in der min
destens ein Partienprozeß vorgesehen ist, bei dem ei
ne Behandlung gleichzeitig an einer Vielzahl von zu
einer Partie zusammengefaßten Losen, nämlich partien
weise ausgeführt wird. Im einzelnen bezieht sich die
Erfindung auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum
automatischen Ordnen von Losen für das automatische
Einordnen und/oder Umordnen von Losen zu Partien
für den Partienprozeß oder die partienweise Behand
lung. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ei
ne Halbleitervorrichtung-Fertigungsstraße, die eine
Vorrichtung zum automatischen Ordnen (oder Umordnen)
von Losen enthält, sowie auf ein Verfahren zum auto
matischen Ordnen oder Umordnen von Losen, die in ei
nem nachfolgenden Prozeß oder in nachfolgenden Pro
zessen einer gleichen partienweisen Behandlung unter
zogen werden.
Zum besseren Verständnis der Erfindung wird deren
technischer Hintergrund in gewissen Einzelheiten un
ter Bezugnahme auf Fig. 11 beschrieben, die eine
schematische Darstellung einer bekannten Halbleiter
plättchen-Fertigungsstraße ist, in der zwischen einem
losweisen Prozeß, bei dem Halbleiterplättchen Los für
Los behandelt werden, und einem Partienprozeß, bei
dem eine Vielzahl von Losen gleichzeitig Partie für
Partie behandelt wird, ein Ordnen oder Umordnen von
Losen vorgenommen wird. In der Figur sind mit A, B, C
und D einzelne Lose bezeichnet, wobei die mit dem
gleichen Bezugszeichen bezeichneten Lose diejenigen
sind, die in dem Partienprozeß der Behandlung unter
gleichen Bedingungen unterzogen werden sollen, wäh
rend die Zahlen die Reihenfolge bzw. Aufeinanderfolge
angeben, in welcher die Lose A, B, C und D einem Pro
zeß zugeführt worden sind, bei dem eine vorbestimmte
Anzahl der Halbleiterplättchen gleichzeitig einer
gleichen Behandlung unterzogen wird.
Es wird nun ein Verfahren zum Ordnen von Losen be
schrieben, das bisher bei einer Halbleiterplättchen-
Fertigungsstraße angewandt wurde. Gemäß Fig. 11 wer
den die Lose A bis D, die bei dem laufenden Prozeß in
der durch die Zahlen 1 bis 10 bezeichneten Aufeinan
derfolge eintreffen, zunächst einmal an vorbestimmten
Stellen zum Abwarten eines partienweisen Ordnens der
Lose und zum Beschicken eines Behandlungsprozesses
(wie beispielsweise für eine Vorbehandlung zum Be
feuchten des Halbleiterplättchens in Vorbereitung ei
nes Diffusionsprozesses, eines Thermo-
Diffusionsprozesses, eines Ätzprozesses, eines foto
lithografischen Prozesses oder dergleichen) abgela
gert, wobei die den Halbleiterplättchen zugeordneten
Prioritäten des Zuführens gemäß den Gegebenheiten ge
ändert werden. Bisher wurde dieser Prozeß des Lagerns
und Umgruppierens der Lose von Hand durch Arbeits
kräfte ausgeführt und die Lose wurden in Gruppen oder
Sätze entsprechend den Bedingungen für die Behandlun
gen eingeteilt, denen die Lose zu unterziehen sind
(wie beispielsweise entsprechend den Behandlungsarten
wie Diffusion usw., den Behandlungstemperaturen, den
für die Behandlungen erforderlichen Zeitabschnitten,
den bei den Behandlungen verwendeten Arten von Gasen
usw.). Somit umfaßt der Prozeß einen sogenannten Lose-Organisations-Prozeß.
Es ist angenommen, daß gemäß Fig. 11 das zehnte Los
A10 und das elfte Los B11 von Hand von einem vorange
henden Prozeß weg, bei dem an den Losen die Behand
lung einzeln, nämlich losweise ausgeführt wird, zu
dem gegenwärtigen Prozeß transportiert werden, bei
dem die Behandlung gleichzeitig für eine vorbestimmte
Anzahl von Losen, nämlich partienweise ausgeführt
wird. Diese Lose A10 und B11 werden an betreffenden
Stellen in einer Lagervorrichtung gelagert, in wel
cher schon die Lose gespeichert sind, die für eine
gleiche Behandlung unter gleichen Bedingungen be
stimmt sind. Auf diese Weise werden die Lose zu Grup
pen oder Sätzen geordnet, die jeweils eine vorbe
stimmte Anzahl von Losen der gleichen Art enthalten.
Im Falle des dargestellten Beispiels ist angenommen,
daß ein Satz vier Lose enthält. Danach werden die
vier Lose A, die zu einem Satz geordnet oder grup
piert sind und denen eine höhere Priorität zugeteilt
ist, bei dem gegenwärtigen Prozeß zuerst behandelt,
um danach zu einem darauffolgenden Prozeß transpor
tiert zu werden, bei dem eine Behandlung gleichzeitig
für die vier Lose oder einzeln für jedes der Lose
ausgeführt wird. Als nächstes wird die vier Lose B
enthaltende Partie der Behandlung anderer Art zuge
führt und dann zu dem darauffolgenden Prozeß trans
portiert, wonach dann die Behandlung der Lose C usw.
folgt, wobei die Behandlungen entsprechend den den
Losen zugeteilten Prioritäten ausgeführt werden.
Im Zusammenhang mit der Automatisierung einer solchen
vorstehend genannten Los-Organisation ist in der un
geprüften japanischen Patentanmeldung JP-A-62-112339
(1987) eine Los-Organisationsvorrichtung für das Ein
ordnen bei Herstellungsprozessen für Halbleitervor
richtungen verwendeten Halbleitersubstraten in Grup
pen oder Sätzen offenbart, die jeweils in einer
Plättchenkassette untergebracht sind. Diese Vorrich
tung ist jedoch eigentlich für die Verwendung bei ei
nem plättchenweisen Prozeß zur Versuchsfertigung oder
Kleinserienfertigung einer großen Vielfalt von Halb
leitersubstraten ausgelegt.
Das in Fig. 11 dargestellte bekannte Schema zur Her
stellung von Halbleiterplättchen, bei dem die Lose
einordnung gestützt auf die Beurteilung von Arbeits
kräften von Hand ausgeführt wird, ist jedoch durch
ein schwerwiegendes Problem insofern beeinträchtigt,
daß Fremdfehler nicht vermieden werden können, wo
durch infolge dessen eine falsche oder fehlerhafte
Loseinordnung sowie ein fehlerhaftes Einfügen der Lo
se in die Beschickungsfolge hervorgerufen wird, was
zu dem unerwünschten Zustand führt, daß einige Lose
über eine längere Zeitdauer gelagert bleiben, ohne in
den Prozeß eingeführt zu werden. Ferner kann das be
kannte Loseinordnungsschema nicht leicht und schnell
Abwandlungen oder Änderungen hinsichtlich der Anzahl
der Bedingungen für die Behandlungen sowie hinsicht
lich Änderungen der Umgebungsbedingungen der betref
fenden Fertigungsstraßen genügen. Im einzelnen wurden
im Falle des bekannten Herstellungsprozesses die op
timalen Bedingungen für die Behandlung durch wieder
holte empirische Erprobung in der Weise ermittelt,
daß bei dem Auftreten eines nicht zufriedenstellenden
Produktes als Ergebnis der Behandlung unter bestimm
ten Bedingungen diese Bedingungen durch andere Bedin
gungen ersetzt wurden. Daher erfordert das Erstellen
der optimalen Bedingungen für die Behandlungen und
damit für die Loseinordnung einen beträchtlichen
Zeitaufwand. Darüber hinaus muß dann, wenn eine der
optimalen Bedingungen geändert werden soll, die Pro
zedur für das Ermitteln der optimalen Bedingungen als
ganze von Anfang an wiederholt werden, wobei die zu
vor einmal aufgestellten optimalen Bedingungen ent
fallen. Es ist offensichtlich, daß die Arbeitskräfte
hinsichtlich der Bestimmung der optimalen Bedingungen
unter Berücksichtigung der Prioritäten der Behandlun
gen, denen die Plättchen zu unterziehen sind, sowie
der Behandlungsbedingungen auf große Schwierigkeiten
stoßen.
Die in der vorstehend genannten Veröffentlichung JP-
A-62-112339 offenbarte Loseinordnungsvorrichtung ist
sicherlich wirkungsvoll, solange die Anzahl der durch
eine Folge von Prozessen behandelten Lose konstant
bleibt. Die bekannte Vorrichtung ist jedoch nicht für
die Herstellung einer Vielfalt von Vorrichtungen un
ter Ändern des Durchsatzes in dem Fall geeignet, bei
dem zwischen einem vorangehenden und einem nachfol
genden Prozeß die Anzahl von Losen geändert werden
muß (wie dies beispielsweise bei dem Diffusionsprozeß
bei der Herstellung der Halbleitervorrichtungen der
Fall ist). Das heißt, für den Diffusionsprozeß, z. B.
den Oxidationsprozeß, den chemischen Niederdruck-
Bedampfungsprozeß (LPCVD) und dergleichen, bei dem
ein hohes relatives Prozeßverhältnis, nämlich ein ho
hes Verhältnis der für einen bestimmten Prozeß benö
tigten Zeit zu der Gesamtzeit für die Herstellung er
forderlich ist, entsteht ein beträchtlicher Zeitauf
wand einschließlich der Zeit für das Anheben der Tem
peratur von Plättchen und deren Kühlung (z. B. 10
Stunden oder mehr). Daher ist es zum Erhöhen der Fer
tigungsleistung wünschenswert, die Halbleiterplätt
chen durch Zusammenfassen oder Einordnen der der
gleichen Behandlung zu unterziehenden Lose in gleiche
Sätze oder Gruppen partienweise zu behandeln. In man
chen Fällen ändert sich jedoch die Anzahl der in ei
nen Satz zusammengefaßten oder eingeordneten Lose in
Abhängigkeit von den Arten der Behandlungsbedingun
gen, so daß ein Zustand entsteht, der mit der in der
vorstehend genannten Veröffentlichung beschriebenen
Vorrichtung nicht zufriedenstellend bewältigt werden
kann.
Im Hinblick auf den vorstehend beschriebenen Stand
der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde,
für das Ordnen von Losen ein Verfahren und eine Vor
richtung zu schaffen, mit denen die vorangehend ge
nannten Probleme richtig gelöst werden können und auf
wirkungsvolle Weise irgendwelchen Änderungen der An
zahl von durch eine Reihe von Prozessen behandelten
Losen genügt werden kann, während verhindert ist, daß
die Lose über eine längere Zeitdauer gelagert blei
ben.
Ferner sollen mit der Erfindung ein Verfahren und ei
ne Vorrichtung geschaffen werden, mit denen Fehler
nicht nur hinsichtlich der Loseinordnung, sondern
auch hinsichtlich der Reihenfolge oder Aufeinander
folge der Beschickung mit den Losen zuverlässig aus
geschlossen werden können.
Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsge
mäße Vorrichtung sollen vorteilhaft bei einer Ferti
gungsstraße für Halbleitervorrichtungen Anwendung
finden.
Im Hinblick auf diese Aufgabe und andere, aus der
nachfolgenden Beschreibung ersichtlichen Ziele ist
die Erfindung im breitesten Sinne auf ein System für
das Herstellen von Produkten durch eine Reihe von
aufeinanderfolgenden Prozessen gerichtet, von denen
sich mindestens zwei aufeinanderfolgende Prozesse
voneinander hinsichtlich der Anzahl von Losen unter
scheiden, welche in den beiden Prozessen partienweise
behandelt werden können. Gemäß einem allgemeinen
Aspekt der Erfindung ist in diesem System zwischen
die beiden Prozesse eine Vorrichtung zum automati
schen Ordnen der Lose bei der Übertragung derselben
von dem vorangehenden Prozeß zu dem nachfolgenden
Prozeß eingefügt, wobei die Vorrichtung eine Ablage
station zur Aufnahme der von dem vorangehenden Prozeß
weg zugeführten Lose und zum vorübergehenden Lagern
der aufgenommenen Lose, eine in Verbindung mit der
Ablagestation angebrachte Loserkennungsvorrichtung
zum Identifizieren der von dem vorangehenden Prozeß
weg zugeführten Lose, eine Lageranordnung für die An
ordnung der Lose mit einer Vielzahl von Fächern für
das Lagern der aus der Ablagestation aufgenommenen
Lose, einen bewegbar zwischen der Ablagestation und
der Lageranordnung angeordneten Übertragungsroboter
bzw. Übertragungsautomaten zum wechselweisen Trans
portieren der Lose zwischen der Ablagestation und der
Lageranordnung sowie eine Steuereinheit aufweist, die
aus der Loserkennungsvorrichtung Loskenninformationen
aufnimmt, um die Lageranordnung und/oder den Übertra
gungsroboter gemäß den Loskenninformationen derart zu
steuern, daß zu einem Satz diejenigen der in den Fä
chern gelagerten Lose zusammengefaßt werden, die in
dem nachfolgenden Prozeß partienweise der gleichen
Behandlung zu unterziehen sind.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der vorstehend
beschriebenen Vorrichtung kann die Vielzahl der Fä
cher der Lageranordnung in einer geraden Reihe ange
ordnet sein und jeweils an beiden Seiten der geraden
Reihe offene Zugrifföffnungen haben, wobei in der
Steuereinheit im voraus Positionsinformationen für
die Fächer gespeichert sind und wobei jeweils an den
beiden Seiten der geraden Reihe zumindest ein erster
und ein zweiter Übertragungsroboter angebracht sind,
die zwischen der Ablagestation und der Lageranordnung
unter Steuerung durch die Steuereinheit gemäß den
Loskenninformationen, den Fachpositionsinformationen
und Bedingungsinformationen für die Behandlung, der
die Lose zu unterziehen sind, entlang der geraden
Reihe derart bewegbar sind, daß diejenigen der an der
Ablagestation abgelegten Lose, die bei dem nachfol
genden Prozeß einer partienweisen gleichen Behandlung
unterzogen werden sollen, zunächst einmal in ein
gleiches Fach der Lageranordnung abgelegt und aus
diesem Fach für das Zuführen zu dem nachfolgenden
Prozeß als Satz von Losen entnommen werden, die bei
dem nachfolgenden Prozeß partienweise zu behandeln
sind.
Bei einer anderen vorteilhaften Ausführungsform der
Erfindung kann ein dritter Übertragungsroboter für
das Aufnehmen der von dem vorangehenden Prozeß weg
zugeführten Lose vorgesehen werden, um die Lose an
der Ablagestation an einer Stelle anzubringen, an der
durch die Loserkennungsvorrichtung die Loskenninfor
mationen der Lose gelesen werden können, wobei der
dritte Übertragungsroboter außerdem für das Übertra
gen der Lose zwischen der Ablagestation und dem er
sten Übertragungsroboter sowie zwischen dem zweiten
Übertragungsroboter und der Ablagestation unter
Steuerung durch die Steuereinheit eingesetzt werden
kann.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung kann der erste Übertragungsroboter durch
die Steuereinheit gemäß den Fachpositionsinformatio
nen derart gesteuert werden, daß beliebig gewählte
der aus der Ablagestation übertragenen Lose in belie
big gewählte Fächer abgelegt werden, während der
zweite Roboter durch die Steuereinheit gemäß den Los
kenninformationen, den Fachpositionsinformationen und
den Behandlungsbedingungsinformationen derart gesteu
ert wird, daß von den in den Fächern abgelegten Losen
diejenigen, die bei dem nachfolgenden Prozeß der
gleichen partienweisen Behandlung zu unterziehen
sind, aus den Fächern der Lageranordnung zum Zusam
mensetzen zu einem Satz von Losen entnommen werden,
welche bei dem nachfolgenden Prozeß als eine Partie
behandelt werden können.
Jedes der vorstehend genannten Fächer kann eine Viel
zahl von Regalen enthalten, die längs einer geschlos
senen Schleife bewegbar sind, um die Zugrifföffnungen
für den Zugriff des ersten und des zweiten Roboters
zu den auf den Regalen abgelegten Losen freizulegen.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ferner
eine in eine Fertigungsstraße für Halbleitervorrich
tungen eingegliederte Vorrichtung zum automatischen
Ordnen von Losen geschaffen, die eine Lageranordnung
mit einer Vielzahl von Lagervorrichtungen, die in ei
ner geraden Reihe angeordnet sind und die jeweils zur
Aufnahme einer Vielzahl von Losen geeignet sind, ei
nen an einer Seite der Lagervorrichtungsreihe ange
ordneten ersten Übertragungsroboter für das Einlegen
bzw. Entnehmen der Lose in bzw. aus den Lagervorrich
tungen, einen an der anderen Seite der Lagervorrich
tungsreihe angeordneten zweiten Übertragungsroboter
für das Einlegen bzw. Entnehmen der Lose in bzw. aus
dem Lagervorrichtungen an deren Rückseite, eine Abla
gestation für das Auflegen einer Vielzahl von durch
den ersten und den zweiten Roboter gehandhabten Lo
sen, eine Loserkennungsvorrichtung für das Lesen von
Kenninformationen der an der Ablagestation aufgeleg
ten Lose, einen dritten Übertragungsroboter für das
jeweilige Versetzen der mit dem ersten und dem zwei
ten Übertragungsroboter an der Ablagestation aufge
legten Lose und eine Steuereinheit aufweist, die au
tomatisch die Lageranordnung, die Ablagestation und
den ersten, den zweiten und den dritten Übertragungs
roboter auf koordinierte Weise derart steuert, daß
die an der Ablagestation abgelegten Lose entsprechend
der Loskenninformation an vorbestimmten Stellen in
der Lageranordnung untergebracht werden, um dadurch
die Lose entsprechend Loseinordnungsbedingungen wie
den Bedingungen, unter denen die Lose zu behandeln
sind, der Auslastungsverteilung in der Fertigungs
straße und den den Prozessen zugeordneten Prioritäten
in eine Gruppe einzuordnen.
Mit den vorstehend beschriebenen Gestaltungen der
Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen können
die Lose auf automatische Weise entsprechend den Los
kenninformationen unter Berücksichtigung der Bedin
gungen für die Behandlungen in den nachfolgenden Pro
zessen, der Auslastungsverteilung in der Fertigungs
straße, der Prioritäten der Behandlungen und anderer,
in der Steuereinheit gespeicherter Informationen je
weils in Sätze zusammengefaßt werden, die in nachfol
genden Prozessen der gleichen Behandlung zu unterzie
hen sind, wobei dadurch die Leistungsfähigkeit der
Fertigungsstraße beträchtlich gesteigert werden kann,
während zugleich das Auftreten einer Stockung in der
Fertigungsstraße verhindert ist.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird für
eine Produktfertigungsstraße, die eine Vielzahl von
Prozessen für das Behandeln einer Vielzahl von Losen
im Ganzen auf Partienbasis umfaßt, ein Verfahren zum
automatischen Ordnen der Lose geschaffen, welches ei
nen Schritt zum automatischen Einordnen der Lose in
eine Partie entsprechend den Bedingungen wie den Be
handlungsbedingungen bei einem nachfolgenden Prozeß,
dem herrschenden Auslastungszustand der Fertigungs
straße, den den Behandlungen zugeordneten Prioritäten
und so weiter umfaßt.
Bei einer bevorzugten Ausführungsart dieses Verfah
rens werden die der Behandlung unter gleichen Bedin
gungen zu unterziehenden Lose als ein Satz oder eine
Gruppe auf einem vorbestimmten gleichen Fach einer
vorbestimmten Lagervorrichtung gelagert.
Bei einer anderen bevorzugten Ausführungsart des Ver
fahrens werden die der gleichen Behandlung zu unter
ziehenden Lose aus der Lagervorrichtung oder den La
gervorrichtungen entnommen und zu einem Satz zusam
mengefaßt, der einem nachfolgenden Prozeß zuzuführen
ist.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausfüh
rungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung
näher erläutert.
Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die auf
allgemeine Weise eine Vorrichtung zum automatischen
Ordnen von Losen gemäß einem ersten Ausführungsbei
spiel der Erfindung darstellt.
Fig. 2 ist eine schematische Draufsicht auf die
Vorrichtung.
Fig. 3 ist eine der Fig. 2 gleichartige Ansicht,
die die allgemeine Funktion der Vorrichtung veran
schaulicht.
Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die
schematisch als Beispiel eine von Lagervorrichtungen
zeigt, die eine Lageranordnung bilden.
Fig. 5 ist eine Seitenansicht der Lagervorrich
tung.
Fig. 6 ist eine schematische Darstellung, die
eine Gestaltung der Vorrichtung gemäß dem ersten Aus
führungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht.
Fig. 7 ist ein Flußdiagramm, das eine Ferti
gungsstraße für Halbleiterplättchen veranschaulicht,
in der eine erfindungsgemäße Vorrichtung für das au
tomatische Ordnen von Losen eingebaut ist.
Fig. 8 und 9 sind Ablaufdiagramme, die ein Ver
fahren zum automatischen Ordnen von Losen gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschau
lichen.
Fig. 10 ist ein Ablaufdiagramm, das in Verbin
dung mit Fig. 8 ein Verfahren zum automatischen Ord
nen von Losen gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel
der Erfindung veranschaulicht.
Fig. 11 ist eine schematische Darstellung eines
bekannten Prozesses zur Fertigung von Halbleiter
plättchen.
Die Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die die
allgemeine Gestaltung einer automatischen Loseinord
nungsvorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbei
spiel der Erfindung zeigt, die Fig. 2 ist eine Drauf
sicht, die die Vorrichtung schematisch darstellt, und
die Fig. 3 ist eine der Fig. 2 gleichartige Ansicht,
die die Funktion der Vorrichtung veranschaulicht.
Gemäß Fig. 1 weist die Vorrichtung zum automatischen
Ordnen von Losen gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung eine nachfolgend als Lageranordnung 20
bezeichnete Vielzahl von Lagervorrichtungen 2 auf,
die in einer geraden Reihe nebeneinander gesetzt
sind, wobei jede Lagervorrichtung ein Fach bildet,
das zum Lagern einer Vielzahl von Losen 1 dient. An
der Vorderseite der Lageranordnung 20 ist ein erster
Übertragungsroboter bzw. Übertragungsautomat 3 für
das Einlegen und das Entnehmen der Lose 1 in bzw. aus
den einzelnen Speichervorrichtungen 2 angebracht. An
der Rückseite der Lageranordnung 20 ist ein zweiter
Übertragungsroboter 4 für das Handhaben der Lose 1
auf gleiche Weise wie der erste Übertragungsroboter 3
angebracht. Zum Auflegen einer Vielzahl von durch den
ersten und den zweiten Übertragungsroboter 3 und 4
gehandhabten Losen 1 dient eine Ablagestation 5. In
Verbindung mit der Ablagestation 5 ist eine Loserken
nungsvorrichtung 6 für das Lesen von Loskenninforma
tionen der an der Ablagestation 5 abgelegten Lose 1
angebracht. Ferner dient ein dritter Übertragungsro
boter 7 zum Transportieren der Lose 1 zwischen der
Ablagestation 5 und dem ersten und zweiten Übertra
gungsroboter 3 und 4. Die Lagervorrichtungen 2, die
Ablagestation 5 und der erste bis dritte Übertra
gungsroboter 3, 4 und 7 werden durch eine Steuerein
heit 8 auf koordinierte Weise gesteuert, was nachfol
gend in größeren Einzelheiten beschrieben wird.
Die Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die
schematisch als Beispiel eine Gestaltung einer der
Lagervorrichtungen bzw. eines der Fächer zeigt, und
die Fig. 5 ist eine schematische Seitenansicht der
Lagervorrichtung. Gemäß Fig. 4 und 5 enthält die La
gervorrichtung (das Fach) 2 ein Paar endloser Förder
ketten 11a und 11b, die synchron miteinander entlang
jeweiliger geschlossener Schleifen aufwärts und ab
wärts bewegbar sind, sowie eine Vielzahl von Regalen
12a bis 12g, die mit einem vorbestimmten Abstand zwi
schen den Regalen horizontal zwischen den beiden För
derketten 11a und 11b angebracht sind. Die Förderket
ten 11a und 11b werden durch einen von der Steuerein
heit 8 abgegebenen Befehl mittels einer geeigneten
(nicht gezeigten) Motorvorrichtung derart angetrie
ben, daß sich die einzelnen Regale 12a bis 12g ent
lang einer durch die Förderketten 11a und 11b be
stimmten, im wesentlichen elliptischen Bahn bewegen,
während die horizontale Lage beibehalten wird. Auf
diese Weise kann ein gewünschtes der Regale 12a bis
12g durch den Befehl aus der Steuereinheit 8 in eine
Lage gebracht werden, die für das Übertragen des Lo
ses bzw. der Lose 1 mittels des ersten oder zweiten
Übertragungsroboters 3 oder 4 geeignet ist. In diesem
Zusammenhang ist anzumerken, daß jedes der Regale 12a
bis 12g für das Aufnehmen und Ablegen einer vorbe
stimmten Anzahl von Losen 1 ausgelegt ist, beispiels
weise von vier Losen im Falle des dargestellten Aus
führungsbeispiels. Ferner sei allein als Beispiel an
genommen, daß jedes der Lose 1 eine Plättchenkassette
aufweist, die ihrerseits eine vorbestimmte Anzahl von
Halbleiterplättchen enthält.
Der erste Übertragungsroboter 3 ist längs einer
Schiene 9 bewegbar, die an der Vorderseite der La
geranordnung 20 angebracht ist, während der zweite
Übertragungsroboter 4 längs einer Schiene 10 bewegbar
ist, die an der Rückseite der Lageranordnung 20 ange
bracht ist, wobei die beiden Roboter 3 und 4 unter
Steuerung durch die Steuereinheit 8 zwischen den La
gervorrichtungen 2 und der Ablagestation 5 hin- und
herbewegbar sind.
Die Loserkennungsvorrichtung 6 kann beispielsweise
die Form eines Balkencodelesers für das Lesen einer
an dem jeweiligen Los 1 in Form eines Balkencodes an
gebrachten Kennzahl haben, welche durch den Balken
codeleser 6 gelesen und der Steuereinheit 8 zugeführt
wird.
Die Fig. 6 stellt allgemein die Systemgestaltung die
ser Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen
dar. Aus dieser Figur ist ersichtlich, daß die Steu
ereinheit 8, die durch einen Computer oder derglei
chen gebildet sein kann, mit einer Vielzahl von Be
handlungs- bzw. Prozeßeinheiten 21a, 21b, 21c usw.,
welche in einer Fertigungsstraße eingegliedert sind,
der Ablagestation 5, der Loserkennungsvorrichtung
bzw. dem Balkencodeleser 6, dem ersten bis dritten
Übertragungsroboter 3, 4 und 7, den Lagervorrichtun
gen 2 und einem Endgerät 22 verbunden ist, wobei die
Steuereinheit 8 die Funktionen der vorstehend genann
ten verschiedenen Bauteile entsprechend Anweisungen
leitet und steuert, welche die Bedingungen für das
Einordnen der Lose gemäß der Eingabe über das Endge
rät 22 enthalten.
Allgemein kann in einer Fertigungsstraße für Halblei
tervorrichtungen, in welcher eine Vielzahl von Losen
1 in einen Satz eingeordnet oder eingruppiert ist,
der eine Folge von Verarbeitungen oder Behandlungen
auf Partienbasis, nämlich partienweisen Verarbeitun
gen oder Behandlungen zu unterziehen ist, eine derar
tige Situation entstehen, daß sich die Anzahl der zu
einem Satz gehörigen Lose von einem zum anderen Pro
zeß unterscheidet. Als Beispiel sei eine Fertigungs
straße angenommen, in welcher ein Los in einem Prozeß
behandelt wird, auf den ein anderer Prozeß folgt, bei
dem vier Lose gleichzeitig behandelt werden. In die
sem Fall ist es erforderlich, zwischen diesen Prozes
sen den Satz von Losen umzuordnen oder umzugestalten.
In dieser Beziehung gibt die Erfindung die Lehre, daß
zwischen den Prozessen, die sich voneinander hin
sichtlich der Anzahl der auf Partienbasis den Behand
lungen zu unterziehenden Lose unterscheiden, ein Pro
zeß bzw. ein Schritt für das Ordnen, nämlich das
Umordnen oder Umgruppieren der Lose ohne eine Behand
lung im eigentlichen Sinne vorgesehen wird, wobei da
durch die Lose in dem Satz (der Partie) in Abhängig
keit von den Bedingungen für die Behandlung bei dem
nachfolgenden Prozeß sowie von der Auslastung der
Fertigungsstraße, den Prioritätswerten der Behandlun
gen und/oder anderen Bedingungen gemäß den Erforder
nissen geordnet, nämlich umgeordnet oder umgruppiert
werden.
Die Fig. 7 veranschaulicht als Beispiel die Funktion
in einer Fertigungsstraße für Halbleitervorrichtun
gen, die eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum auto
matischen Ordnen von Losen enthält. In dieser Figur
sind mit A bis D Lose bezeichnet, welche jeweils Be
handlungen unter gleichen Bedingungen zu unterziehen
sind, während mit Zahlen die Reihenfolge angegeben
ist, in welcher die Lose von dem vorangehenden Prozeß
weg bei der Stufe zum Ordnen der Lose eintreffen.
In der Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen
mit dem vorstehend beschriebenen Aufbau nimmt die
Steuereinheit 8 aus der Loserkennungsvorrichtung 6
die Loskenninformation auf, um die Lageranordnung und
die Übertragungsroboter gemäß der Loskenninformation
auf koordinierte Weise derart zu steuern, daß dieje
nigen in den Lagervorrichtungen gelagerten Lose, wel
che für die gleiche Behandlung auf Partienbasis bei
dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, zu einem Satz
zusammengefaßt werden. In diesem Fall können durch
die Steuereinheit 8 aufgrund der Loskenninformation,
der Lagervorrichtung-Positionsinformation und den Be
dingungen für die Behandlung, der die Lose zu unter
ziehen sind, der erste und der zweite Übertragungsro
boter 3 und 4 in der Weise gesteuert werden, daß die
jenigen an der Ablagestation 5 abgelegten Lose, die
für die gleiche Behandlung in dem nachfolgenden Pro
zeß auf Partienbasis bestimmt sind, zunächst einmal
in ein gleiches Fach oder eine gleiche Lagervorrich
tung der Lageranordnung eingelegt werden und aus die
sem Fach bzw. dieser Lagervorrichtung für das Zufüh
ren zu dem nachfolgenden Prozeß als ein Satz von Lo
sen entnommen werden, die partienweise bei dem nach
folgenden Prozeß zu behandeln sind. Der dritte Über
tragungsroboter 7 nimmt andererseits die von dem vor
angehenden Prozeß her gelieferten Lose auf, um diese
an der Ablagestation 5 auf eine Stelle abzulegen, an
der durch die Loserkennungsvorrichtung 6 die Losken
ninformation der Lose gelesen werden kann, wobei der
dritte Übertragungsroboter 7 außerdem dazu eingesetzt
werden kann, die Lose zwischen der Ablagestation 5
und dem ersten Übertragungsroboter 3 sowie zwischen
dem zweiten Übertragungsroboter 4 und der Ablagesta
tion 5 unter Steuerung durch die Steuereinheit zu
transportieren.
Verfahren zum automatischen Ordnen von Losen werden
nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 8 bis 10 in
größeren Einzelheiten erläutert.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 7 bis 9 wird in Verbin
dung mit einer Fertigungsstraße für Halbleitervor
richtungen ein Verfahren zum automatischen Ordnen von
Losen als zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung
beschrieben.
Gemäß Fig. 8 werden die Lose 1, die mittels eines
(nicht gezeigten) bemannten oder unbemannten Karrens
oder Wagens von einer vorangehenden Prozeßstufe weg,
bei der die Lose einzeln für sich behandelt werden,
gemäß der Darstellung durch gestrichelte Linien zu
der Station 5 der automatischen Loseinordnungsvor
richtung transportiert sind, zuerst bei einem Schritt
S1 (nach Fig. 8) an der Station 5 abgelegt, woraufhin
die Lose durch den dritten Übertragungsroboter 7 an
der Station 5 zu einer Stelle versetzt werden, an der
durch die Loserkennungsvorrichtung 6 die Lose identi
fiziert werden (Schritt S2).
In einem Schritt S3 werden von der Loserkennungsvor
richtung 6 die Kennzahlen der einzelnen Lose 1 gele
sen und die Kenninformationen der Steuereinheit 8 zu
geführt. Die Steuereinheit 8 bestimmt dann unter Be
zugnahme auf die über das Endgerät 22 eingegebenen
Loseinordnungsbedingungen sowie auf die im voraus in
einem in der Steuereinheit 8 enthaltenen Speicher ge
speicherten Losinformationen die Einlagerung der Lose
in die Lagervorrichtungen 2, woraufhin in einem
Schritt Anweisungen für die Betriebsvorgänge des er
sten, des zweiten und/oder des dritten Übertragungs
roboters 3, 4 und 7 abgegeben werden.
In einem Schritt S5 wird das Los 1, dem gemäß der Er
kennung die Loskennummer zugeteilt ist, durch den
dritten Übertragungsroboter 7 zu der Stelle für die
Übertragung mit dem ersten oder zweiten Roboter 3
oder 4 versetzt.
Darauffolgend wird in einem Schritt S6 das Los durch
den ersten Übertragungsroboter 3 unter Steuerung
durch die Steuereinheit 8 in einem der Regale 12 ei
ner bestimmten Lagervorrichtung 2 gelagert. In diesem
Zusammenhang wäre anzumerken, daß die Anordnung der
Lose während der Zeit ausgeführt werden kann, während
der das Los in der Lagervorrichtung 2 abgelegt wird,
oder während der Zeit, während der das Los aus der
Lagervorrichtung 2 entnommen wird. Das zweite Ausfüh
rungsbeispiel ist auf das Einordnen der Lose bei de
ren Ablagerung in der Lagervorrichtung bzw. in dem
Fach 2 gerichtet.
Im einzelnen wird gemäß Fig. 9 dann, wenn von der
Steuereinheit 8 entschieden wird, daß an einem Regal
oder an Regalen 12 einer der Lagervorrichtungen 2
schon einige Lose 1 gelagert wurden, die der gleichen
Behandlung, z. B. der gleichen Art von Diffusions-
oder Wärmebehandlung bei gleicher Temperatur über
gleiche Zeitdauer in gleicher Gasatmosphäre oder der
gleichen zu unterziehen sind, von dem ersten Übertra
gungsroboter 3, der aus der Station 5 über den drit
ten Roboter 7 ein nächstes Los 1 empfängt, dieses zu
der bestimmten Lagervorrichtung (dem bestimmten Fach)
2 mit dem Fach 12 befördert, in welchem die Lose 1
untergebracht sind, die der gleichen Behandlung zu
unterziehen sind (Schritt S7). Wenn andererseits kei
ne Lagervorrichtung 2 zu finden ist, in welcher Lose
gelagert sind, die der Behandlung unter gleichen Be
dingungen zu unterziehen sind, wird in einem Schritt
S8 das von der Station 5 her aufgenommene Los in ei
ner beliebig gewählten Lagervorrichtung 2 gelagert.
Dabei wird das Regal 12 der Lagervorrichtung 2, wel
che die unter gleichen Bedingungen zu behandelnden
Lose 1 enthält, oder ein leeres Regal einer bestimm
ten Lagervorrichtung 2 bei einem Schritt 9 in die
Stellung für die Aufnahme des Loses von dem ersten
Übertragungsroboter 3 gedreht, wodurch das Los 1
durch den ersten Übertragungsroboter 3 an einer be
stimmten Stelle des Regals 12 abgelegt wird (Schritt
S10). Zum Ausführen der Loseinordnung wird der vor
stehend beschriebene Vorgang für jedes Los wiederholt
(viermalig im Falle des dargestellten Beispiels).
Wenn die Übertragung- bzw. Handhabungsfähigkeit al
lein des ersten Übertragungsroboters 3 unzureichend
ist, kann die Einlagerung der Lose in die Speicher
vorrichtung 2 dadurch ausgeführt werden, daß auch der
zweite Übertragungsroboter 4 eingesetzt wird. In die
sem Fall sollten vorzugsweise die Lose in einem
Schritt S11 durch den ersten Übertragungsroboter zu
einer der Station 5 nächstgelegenen Lagervorrichtung
2a gemäß Fig. 3 transportiert werden und in einem
Schritt S12 sollte ein leeres der Regale 12 dieser
Lagervorrichtung 2a in die Stellung für die Aufnahme
des Loses von dem ersten Übertragungsroboter 3 ge
bracht werden. Auf diese Weise wird bei einem Schritt
S13 durch den ersten Übertragungsroboter 3 auf das
leere Regal 12 eine vorbestimmte Anzahl von Losen 1
als Gruppe oder Satz abgelegt, wonach unter Steuerung
durch die Steuereinheit 8 das Regal 12 bei einem
Schritt S14 durch Antrieb der Förderkette 11 in die
Stellung für das Umladen der Lose zu dem zweiten
Übertragungsroboter 4 bewegt wird. Darauffolgend wer
den in einem Schritt S15 die Lose 1 durch den zweiten
Übertragungsroboter 4 zu der Lagervorrichtung 2
transportiert, in der die der gleichen Behandlung zu
unterziehenden Lose untergebracht sind. Falls kein
Lagerraum zur Aufnahme der unter gleichen Bedingungen
zu behandelnden Lose vorhanden ist, werden die von
dem zweiten Übertragungsroboter 4 transportierten Lo
se 1 in eine leere Lagervorrichtung 2 eingelagert
(Schritt S16). Danach werden durch Vorgänge, die den
jenigen bei den Schritten S9 und S10 gleichartig
sind, die Lose 1 an vorbestimmten Stellen auf dem Re
gal 12, das die unter gleichen Bedingungen zu behan
delnden Lose trägt, oder an vorbestimmten Stellen auf
dem leeren Regal 12 abgelegt (Schritte S17 und S18).
Wenn unter den zuvor über das Endgerät 22 in die
Steuereinheit 8 eingegebenen Bedingungen das Einord
nen oder Eingruppieren der Lose abgeschlossen ist,
wird mittels des ersten Übertragungsroboters 3 eine
vorbestimmte Anzahl von Losen 1 von einem vorbestimm
ten Regal 12 abgenommen und zu der Station 5 trans
portiert (Schritt S19).
Als nächstes wird als drittes Ausführungsbeispiel der
Erfindung ein Verfahren zum Ordnen von Losen be
schrieben, das ausgeführt wird, wenn die Lose 1 aus
der Lagervorrichtung oder den Lagervorrichtungen 2
entnommen werden. Zuerst werden bei dem Lagern der
Lose 1 aus der Station 5 die Lose an einer unbelegten
Stelle eines bestimmten Regals 12 in einer bestimmten
Lagervorrichtung 2 abgelegt (Schritt S20). In diesem
Fall wird die Lagervorrichtung 2 derart gewählt, daß
die für das Lagern der Lose erforderliche Belastung
des ersten und des zweiten Übertragungsroboters 3 und
4 auf ein Mindestmaß verringert werden kann. Im ein
zelnen werden dann, wenn eine Vielzahl von Losen 1
als ein Satz gehandhabt wird, die Lose möglichst auf
einem einzigen leeren Regal 12 einer einzigen Lager
vorrichtung 2 abgelegt und nicht auf mehrere Regale
12 verteilt.
Nach beendetem Einlagern der Lose aus der Station 5
in die Lagervorrichtung 2 werden aus dem Regal oder
den Regalen 12 der Lagervorrichtung 2, welche die Lo
se 1 enthält, die den über das Endgerät 22 eingegebe
nen Bedingungen zum Ordnen der Lose genügen, die Lose
1 in einer vorbestimmten Anzahl, nämlich vier Lose im
Falle des dargestellten Ausführungsbeispiels entnom
men und zu der Station 5 befördert (Schritt S21).
Falls die betreffenden Lose 1 auf eine Vielzahl von
Regalen 12 verteilt gelagert sind, werden die Lose 1,
die der gleichen Behandlung zu unterziehen sind, in
einer entsprechenden Anzahl von Arbeitsvorgängen aus
den entsprechenden Regalen 12 entnommen und zu der
Station 5 transportiert, um dadurch eine Gruppe oder
einen Satz zu bilden, die bzw. der eine vorbestimmte
Anzahl von Losen enthält (Schritt S22). Die zu der
Station 5 transportierte vorbestimmte Anzahl von Lo
sen 1 wird zu einer Stelle versetzt, von der weg die
Lose 1 mittels eines unbemannten oder bemannten Wa
gens oder Karrens zu einem nachfolgenden Prozeß
transportiert werden können.
Die Bedingungen für das Einordnen der Lose können im
voraus in der Steuereinheit 8 gespeichert werden, so
daß die Bedingungen mittels des Endgerätes 22 nach
Belieben abgeändert werden können.
Die Erfindung ist nicht auf die genaue Gestaltung und
Funktion gemäß der Darstellung und Beschreibung be
schränkt, so daß vielmehr mancherlei Abwandlungen und
Kombinationen in den Rahmen der Erfindung fallen.
Beispielsweise wurden die dargestellten Ausführungs
beispiele der Erfindung im Zusammenhang mit der Ein
ordnung der Lose unter der Annahme beschrieben, daß
in dem Prozeß vor dem Einordnen die Lose auf Los-
Basis behandelt werden, während die Lose bei dem
nachfolgenden Prozeß als eine Partie aus vier Losen
behandelt werden. Es ist jedoch offensichtlich, daß
die Erfindung nicht auf eine derartige Anordnung be
schränkt ist. Allgemein kann die Erfindung bei dem
Umordnen einer bestimmten Anzahl N von Losen auf eine
andere bestimmte Anzahl M von Losen Anwendung finden,
wobei N kleiner oder größer als M sein kann. Ferner
werden in einer Fertigungsstraße für Halbleitervor
richtungen verschiedenerlei Prozesse wie das Befeuch
ten von Halbleiterplättchen, die Fotolithografie, die
Ionenimplantation, das Ätzen usw. wiederholt ausge
führt. Infolgedessen kann ein Fall entstehen, daß ei
nem einzigen Prozeß mehrere Behandlungen zugewiesen
sind. In diesem Fall ist die durch eine Anzahl von
Losen ausgedrückte Auslastung dieses Prozesses gegen
über den anderen Prozessen beträchtlich erhöht, was
eine entsprechende Verlängerung der Verweilzeit des
Loses in der Fertigungsstraße ergibt. Zur Lösung die
ses Problems sollte das erfindungsgemäße Ordnen der
Lose vorzugsweise vor demjenigen Prozeß vorgesehen
werden, in welchem eine große Anzahl von Behandlungen
konzentriert ist, und zwar derart, daß durch entspre
chendes Einstellen der an dem Endgerät 22 eingegebe
nen Daten den diesem Prozeß zu unterziehenden Losen
eine höhere Priorität erteilt wird, um dadurch die
Zeiten zu vergleichmäßigen, die für das Behandeln der
Lose in allen Prozessen benötigt werden.
Außerdem ist darauf hinzuweisen, daß die Erfindung
zwar im Zusammenhang mit der Herstellung mit Halblei
tervorrichtungen beschrieben wurde, die Erfindung
aber keineswegs hierauf beschränkt ist, sondern bei
mancherlei anderen Fällen Anwendung finden kann, bei
denen Produkte im breitesten Sinne in einer Folge von
Prozessen unter Bedingungen hergestellt werden, die
den vorstehend beschriebenen gleichartig sind.
Ferner kann die Lageranordnung zylindrischen Aufbau
mit einer Vielzahl von entlang eines Kreises aufge
reihten Lagervorrichtungen oder Fächern haben, so daß
die Lageranordnung für das Übertragen von Losen mit
dem ersten und dem zweiten Roboter in vorbestimmte
Stellungen geschwenkt werden kann, um dadurch die Ar
beitsbelastung der Roboter zu verringern.
Für das automatische Einordnen einer veränderbaren
Anzahl von Losen in eine Partie, die in einer Ferti
gungsstraße für Halbleiterplättchen mit hohem Wir
kungsgrad behandelt werden kann, wird zwischen einem
vorangehenden und einem nachfolgenden Prozeß eine
Vorrichtung eingesetzt, welche die Anzahl von zu ei
ner Partie zusammengefaßten Losen ändert, wenn eine
solche Änderung erforderlich ist. Die Vorrichtung
enthält eine Lageranordnung mit einer Vielzahl von in
einer geraden Reihe angeordneten Lagervorrichtungen,
in denen jeweils eine Vielzahl von Losen aufgenommen
werden kann, einen an einer Seite der Lageranordnung
angebrachten ersten Übertragungsroboter für das Ein
legen und Entnehmen der Lose in bzw. aus den Lager
vorrichtungen, einen an der anderen Seite der La
geranordnung angebrachten zweiten Übertragungsroboter
für das Einlegen und Entnehmen der Lose in bzw. aus
den Lagervorrichtungen an deren Rückseite, eine Sta
tion für das Ablegen einer Vielzahl von durch den er
sten und den zweiten Roboter gehandhabten Losen, eine
Loserkennungsvorrichtung für das Lesen von Kenninfor
mationen der an der Station abgelegten Lose, einen
dritten Übertragungsroboter für das Übertragen der an
der Station abgelegten Lose mit dem ersten und dem
zweiten Roboter und eine Steuereinheit, die automa
tisch die Lagervorrichtungen, die Station und den er
sten, den zweiten und den dritten Übertragungsroboter
auf koordinierte Weise derart steuert, daß die an der
Station abgelegten Lose entsprechend den Loskennin
formationen an vorbestimmten Stellen in der Lageran
ordnung untergebracht werden, um dadurch die Lose
entsprechend Loseinordnungsbedingungen wie Bedingun
gen, unter denen die Lose zu behandeln sind, der Aus
lastungsverteilung in der Fertigungsstraße und den
Prozessen erteilten Prioritäten in eine Gruppe einzu
ordnen.
Claims (15)
1. Vorrichtung, die in einem System für das Her
stellen eines Produktes durch eine Reihe von aufein
anderfolgenden Prozessen, von denen mindestens zwei
aufeinanderfolgende Prozesse sich hinsichtlich einer
Anzahl von Losen unterscheiden, welche in den beiden
Prozessen partienweise behandelt werden können, zwi
schen diese beiden Prozesse eingefügt ist, um automa
tisch die Lose bei deren Übertragung von dem vorange
henden Prozeß zu dem nachfolgenden Prozeß zu ordnen,
gekennzeichnet durch
eine Ablagestationsvorrichtung (5) zum Aufnehmen der von dem vorangehenden Prozeß weg zugeführten Lose (1) und zum vorübergehenden Lagern der aufgenommenen Lose,
eine in Verbindung mit der Ablagestationsvor richtung angebrachte Loserkennungsvorrichtung (6) zum Erkennen der von dem vorangehenden Prozeß weg zuge führten Lose,
eine Lagervorrichtung (2) mit einer Vielzahl von Fächern für das Lagern der von der Ablagestationsvor richtung her empfangenen Lose,
eine zwischen der Ablagestationsvorrichtung und der Lagervorrichtung bewegbar angeordnete Übertra gungsrobotervorrichtung (3, 4, 7) zum Hin- und Her übertragen der Lose zwischen der Ablagestationsvor richtung und der Lagervorrichtung und
eine Steuereinrichtung (8), die aus der Loser kennungsvorrichtung Loskenninformationen empfängt, um die Lagervorrichtung und die Übertragungsrobotervor richtung gemäß den Loskenninformationen derart zu steuern, daß diejenigen der in den Fächern gelagerten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, in einen Satz eingeordnet werden.
gekennzeichnet durch
eine Ablagestationsvorrichtung (5) zum Aufnehmen der von dem vorangehenden Prozeß weg zugeführten Lose (1) und zum vorübergehenden Lagern der aufgenommenen Lose,
eine in Verbindung mit der Ablagestationsvor richtung angebrachte Loserkennungsvorrichtung (6) zum Erkennen der von dem vorangehenden Prozeß weg zuge führten Lose,
eine Lagervorrichtung (2) mit einer Vielzahl von Fächern für das Lagern der von der Ablagestationsvor richtung her empfangenen Lose,
eine zwischen der Ablagestationsvorrichtung und der Lagervorrichtung bewegbar angeordnete Übertra gungsrobotervorrichtung (3, 4, 7) zum Hin- und Her übertragen der Lose zwischen der Ablagestationsvor richtung und der Lagervorrichtung und
eine Steuereinrichtung (8), die aus der Loser kennungsvorrichtung Loskenninformationen empfängt, um die Lagervorrichtung und die Übertragungsrobotervor richtung gemäß den Loskenninformationen derart zu steuern, daß diejenigen der in den Fächern gelagerten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, in einen Satz eingeordnet werden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Produkt ein Halbleiterplättchen
ist, jedes der Lose (1) eine vorbestimmte Anzahl der
Halbleiterplättchen enthält und jeder der Sätze eine
vorbestimmte Anzahl der Lose enthält.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß
die Fächer der Lagervorrichtung (2) in einer ge raden Reihe angeordnet sind und an beiden Seiten der geraden Reihe offene jeweilige Zugrifföffnungen ha ben, wobei in der Steuereinrichtung (8) Positionsin formationen für die Fächer gespeichert sind und
die Übertragungsrobotervorrichtung (3, 4, 7) ei nen ersten und einen zweiten Übertragungsroboter (3, 4) enthält, welche jeweils an den beiden Seiten der geraden Reihe entlang der geraden Reihe zwischen der Ablagestationsvorrichtung (5) und der Lagervorrich tung bewegbar sind, wobei der erste und der zweiten Übertragungsroboter durch die Steuereinrichtung auf grund der Loskenninformationen und der Fachpositi onsinformationen derart gesteuert werden, daß dieje nigen der an der Ablagestationsvorrichtung abgelegten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, zunächst in einem gleichen Fach der Lagervorrichtung gesammelt werden und danach für das Zuführen zu dem nachfolgen den Prozeß als ein Satz von partienweise zu behan delnden Losen aus diesem Fach entnommen und der Abla gestationsvorrichtung zugeführt werden.
die Fächer der Lagervorrichtung (2) in einer ge raden Reihe angeordnet sind und an beiden Seiten der geraden Reihe offene jeweilige Zugrifföffnungen ha ben, wobei in der Steuereinrichtung (8) Positionsin formationen für die Fächer gespeichert sind und
die Übertragungsrobotervorrichtung (3, 4, 7) ei nen ersten und einen zweiten Übertragungsroboter (3, 4) enthält, welche jeweils an den beiden Seiten der geraden Reihe entlang der geraden Reihe zwischen der Ablagestationsvorrichtung (5) und der Lagervorrich tung bewegbar sind, wobei der erste und der zweiten Übertragungsroboter durch die Steuereinrichtung auf grund der Loskenninformationen und der Fachpositi onsinformationen derart gesteuert werden, daß dieje nigen der an der Ablagestationsvorrichtung abgelegten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, zunächst in einem gleichen Fach der Lagervorrichtung gesammelt werden und danach für das Zuführen zu dem nachfolgen den Prozeß als ein Satz von partienweise zu behan delnden Losen aus diesem Fach entnommen und der Abla gestationsvorrichtung zugeführt werden.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet
durch einen dritten Übertragungsroboter (7), der die
von dem vorangehenden Prozeß her zugeführten Lose (1)
aufnimmt und diese an der Ablagestationsvorrichtung
(5) an einer Stelle ablegt, an der durch die Loser
kennungsvorrichtung (6) die Loskenninformationen der
Lose gelesen werden können, und der unter Steuerung
durch die Steuereinrichtung (8) dazu dient, die Lose
zwischen der Ablagestationsvorrichtung und dem ersten
Übertragungsroboter (3) sowie zwischen dem zweiten
Übertragungsroboter (4) und der Ablagestationsvor
richtung zu übertragen.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß
die Fächer der Lagervorrichtung (2) in einer ge raden Reihe angeordnet sind und an beiden Seiten der geraden Reihe offene jeweilige Zugrifföffnungen ha ben, wobei in der Steuereinrichtung (8) Positionsin formationen für die Fächer gespeichert sind und
die Übertragungsrobotervorrichtung (3; 4, 7) ei nen ersten und einen zweiten Übertragungsroboter (3, 4) enthält, die jeweils an den beiden Seiten der ge raden Reihe entlang der geraden Reihe zwischen der Ablagestationsvorrichtung (5) und der Lagervorrich tung bewegbar sind, wobei der erste und der zweite Übertragungsroboter durch die Steuereinrichtung auf grund der Fachpositionsinformationen derart gesteuert werden, daß beliebig gewählte der Lose aus der Abla gestationsvorrichtung in beliebig gewählte der Fächer abgelegt werden, und dann der erste und der zweite Übertragungsroboter durch die Steuereinrichtung auf grund der Loskenninformationen und der Fachpositi onsinformationen derart gesteuert werden, daß dieje nigen der in die Fächer abgelegten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, aus diesen Fächern der Spei chervorrichtung unter Einordnung in einen Satz von Losen entnommen werden, die bei dem nachfolgenden Prozeß partienweise behandelt werden können.
die Fächer der Lagervorrichtung (2) in einer ge raden Reihe angeordnet sind und an beiden Seiten der geraden Reihe offene jeweilige Zugrifföffnungen ha ben, wobei in der Steuereinrichtung (8) Positionsin formationen für die Fächer gespeichert sind und
die Übertragungsrobotervorrichtung (3; 4, 7) ei nen ersten und einen zweiten Übertragungsroboter (3, 4) enthält, die jeweils an den beiden Seiten der ge raden Reihe entlang der geraden Reihe zwischen der Ablagestationsvorrichtung (5) und der Lagervorrich tung bewegbar sind, wobei der erste und der zweite Übertragungsroboter durch die Steuereinrichtung auf grund der Fachpositionsinformationen derart gesteuert werden, daß beliebig gewählte der Lose aus der Abla gestationsvorrichtung in beliebig gewählte der Fächer abgelegt werden, und dann der erste und der zweite Übertragungsroboter durch die Steuereinrichtung auf grund der Loskenninformationen und der Fachpositi onsinformationen derart gesteuert werden, daß dieje nigen der in die Fächer abgelegten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, aus diesen Fächern der Spei chervorrichtung unter Einordnung in einen Satz von Losen entnommen werden, die bei dem nachfolgenden Prozeß partienweise behandelt werden können.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet
durch einen dritten Übertragungsroboter (7), der die
von dem vorangehenden Prozeß her zugeführten Lose (1)
aufnimmt und diese an der Ablagestationsvorrichtung
(5) an einer Stelle ablegt, an der durch die Loser
kennungsvorrichtung (6) die Loskenninformationen der
Lose gelesen werden können, und der unter Steuerung
durch die Steuereinrichtung (8) dazu dient, die Lose
zwischen der Ablagestationsvorrichtung und dem ersten
Übertragungsroboter (3) sowie zwischen dem zweiten
Übertragungsroboter (4) und der Ablagestationsvor
richtung zu übertragen.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung (8)
Informationen bezüglich Bedingungen speichert, unter
denen die Folge von Prozessen ausgeführt wird, und
entsprechend diesen Informationen eine zu einem Satz
zusammenzufassende Anzahl von Losen bestimmt, wobei
die Übertragungsrobotervorrichtung (3, 4, 7) außer
gemäß den Loskenninformationen entsprechend der Lo
sanzahlinformationen gesteuert wird.
8. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß jedes der Fächer eine Vielzahl von Re
galen (12) aufweist, die entlang einer geschlossenen
Schleife bewegbar sind, um die Zugrifföffnungen für
den Zugriff des ersten und des zweiten Übertragungs
roboters (3, 4) zu den Regalen bzw. den auf die Rega
le aufgelegten Lose (1) freizulegen.
9. Verfahren zum automatischen Ordnen von Losen
bei deren Übertragung von einem vorangehenden Prozeß
zu einem nachfolgenden Prozeß in einem System für das
Herstellen eines Produktes durch eine Reihe von auf
einander folgenden Prozessen, von denen sich minde
stens zwei aufeinanderfolgende Prozesse voneinander
hinsichtlich der Anzahl von Losen unterscheiden, die
in den beiden Prozessen auf Partienbasis behandelt
werden können, dadurch gekennzeichnet,
daß die von dem vorangehenden Prozeß her zugeführten Lose aufgenommen und die aufgenommenen Lose vorüber gehend gelagert werden,
daß die Lose in eine Lagervorrichtung eingela gert werden und
daß diejenigen der gelagerten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, in einen Satz eingeordnet und aus der Lagervorrichtung als Satz entnommen werden, der dem nachfolgenden Prozeß zuzuführen ist.
daß die von dem vorangehenden Prozeß her zugeführten Lose aufgenommen und die aufgenommenen Lose vorüber gehend gelagert werden,
daß die Lose in eine Lagervorrichtung eingela gert werden und
daß diejenigen der gelagerten Lose, die für eine gleiche partienweise Behandlung bei dem nachfolgenden Prozeß bestimmt sind, in einen Satz eingeordnet und aus der Lagervorrichtung als Satz entnommen werden, der dem nachfolgenden Prozeß zuzuführen ist.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Einordnen der Lose bei dem Ablagern
der Lose in die Lagervorrichtung erfolgt.
11. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Einordnen der Lose bei der Entnahme
der Lose aus der Lagervorrichtung erfolgt.
12. Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Lo
sen in einer Fertigungsstraße, gekennzeichnet durch
eine Lageranordnung mit einer Vielzahl von La gervorrichtungen (2), die in einer geraden Reihe an geordnet sind und die jeweils zur Aufnahme einer Vielzahl von Losen (1) ausgelegt sind,
eine an einer Seite der Lageranordnung ange brachte erste Übertragungsrobotervorrichtung (3) für das Einbringen und Entnehmen der Lose in bzw. als den Speichervorrichtungen,
eine an der anderen Seite der Lageranordnung an gebrachte zweite Übertragungsrobotervorrichtung (4) für das Einbringen und Entnehmen der Lose in bzw. aus den Speichervorrichtungen an deren Rückseiten,
eine Stationsvorrichtung (5) für das Ablegen ei ner Vielzahl mittels der ersten und der zweiten Robo tervorrichtung gehandhabten Losen,
eine Loserkennungsvorrichtung (6) für das Lesen von Kenninformationen der auf der Stationsvorrichtung abgelegten Lose,
eine dritte Übertragungsrobotervorrichtung (7) für die Übertragung der auf der Stationsvorrichtung abgelegten Lose mit der ersten bzw. zweiten Übertra gungsrobotervorrichtung und
eine Steuereinrichtung (8), die automatisch die Lagervorrichtungen, die Stationsvorrichtung und die erste, die zweite und die dritte Übertragungsroboter vorrichtung auf koordinierte Weise derart steuert, daß die an der Stationsvorrichtung abgelegten Lose entsprechend den Loskenninformationen an vorbestimm ten Stellen in der Lageranordnung untergebracht wer den können, um dadurch die Lose in eine Gruppe ent sprechend Loseinordnungsbedingungen wie Bedingungen, unter denen die Lose zu behandeln sind, der Ausla stungsverteilung in der Fertigungsstraße und den Pro zessen erteilten Prioritäten einzuordnen.
eine Lageranordnung mit einer Vielzahl von La gervorrichtungen (2), die in einer geraden Reihe an geordnet sind und die jeweils zur Aufnahme einer Vielzahl von Losen (1) ausgelegt sind,
eine an einer Seite der Lageranordnung ange brachte erste Übertragungsrobotervorrichtung (3) für das Einbringen und Entnehmen der Lose in bzw. als den Speichervorrichtungen,
eine an der anderen Seite der Lageranordnung an gebrachte zweite Übertragungsrobotervorrichtung (4) für das Einbringen und Entnehmen der Lose in bzw. aus den Speichervorrichtungen an deren Rückseiten,
eine Stationsvorrichtung (5) für das Ablegen ei ner Vielzahl mittels der ersten und der zweiten Robo tervorrichtung gehandhabten Losen,
eine Loserkennungsvorrichtung (6) für das Lesen von Kenninformationen der auf der Stationsvorrichtung abgelegten Lose,
eine dritte Übertragungsrobotervorrichtung (7) für die Übertragung der auf der Stationsvorrichtung abgelegten Lose mit der ersten bzw. zweiten Übertra gungsrobotervorrichtung und
eine Steuereinrichtung (8), die automatisch die Lagervorrichtungen, die Stationsvorrichtung und die erste, die zweite und die dritte Übertragungsroboter vorrichtung auf koordinierte Weise derart steuert, daß die an der Stationsvorrichtung abgelegten Lose entsprechend den Loskenninformationen an vorbestimm ten Stellen in der Lageranordnung untergebracht wer den können, um dadurch die Lose in eine Gruppe ent sprechend Loseinordnungsbedingungen wie Bedingungen, unter denen die Lose zu behandeln sind, der Ausla stungsverteilung in der Fertigungsstraße und den Pro zessen erteilten Prioritäten einzuordnen.
13. Verfahren zum automatischen Ordnen von Losen
in einer Fertigungsstraße für Halbleitervorrichtun
gen, die eine Vielzahl von Prozessen für das block
weise Behandeln einer Vielzahl von Losen auf Partien
basis umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Lose
automatisch in eine Partie gemäß Eingruppierungsbe
dingungen wie Bedingungen für die Behandlung in einem
nachfolgenden Prozeß, dem Auslastungszustand in der
Fertigungsstraße, den Behandlungen erteilten Priori
täten und dergleichen eingeordnet werden.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Lose, die einer Behandlung unter
gleichen Bedingungen zu unterziehen sind, in einem
vorbestimmten Fach in einer vorbestimmten Lagervor
richtung gelagert werden.
15. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Lose, die einer gleichen Behandlung
zu unterziehen sind, aus mindestens einer Lagervor
richtung zu einer Partie zusammengefaßt entnommen
werden.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5162832A JPH0722490A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | ロット自動編成装置及び方法 |
Publications (2)
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---|---|
DE4422683A1 true DE4422683A1 (de) | 1995-01-19 |
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ID=15762095
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE4422683A Expired - Fee Related DE4422683C2 (de) | 1993-06-30 | 1994-06-28 | Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Ordnen von Losen für eine Fertigungsstraße |
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Country | Link |
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US (2) | US5551830A (de) |
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