JP3501896B2 - ウェハ製造装置 - Google Patents

ウェハ製造装置

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JP3501896B2
JP3501896B2 JP06464496A JP6464496A JP3501896B2 JP 3501896 B2 JP3501896 B2 JP 3501896B2 JP 06464496 A JP06464496 A JP 06464496A JP 6464496 A JP6464496 A JP 6464496A JP 3501896 B2 JP3501896 B2 JP 3501896B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体インゴット
等からウェハを切り出して面取り加工等の後処理を行
い、所定のウェハ収納部に収納するウェハ製造装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の一般的なウェハ製造装置の例を図
６に示す。図において、スライシング装置９０は、セッ
トされた半導体インゴット等のワークを順次切断し、ウ
ェハを切り出す。ウェハ処理装置９２は、スライシング
装置９０で切り出されたウェハを洗浄し、このウェハに
付着しているスライスベースを剥離した後、ウェハを乾
燥させる。面取り加工装置９４は、ウェハ処理装置９２
で処理されたウェハを面取り加工する。洗浄・乾燥装置
９６は、面取り加工されたウェハの再洗浄・乾燥を行
い、ウェハ収納カセット９８に搬入する。このウェハ収
納カセット９８は、各ワークごとに用意されており、１
本のワークから全ウェハが切り出され、これらのウェハ
が上記ウェハ収納カセット９８に収納された時点で、次
のワークのセットとともにウェハ収納カセット９８の交
換が行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、上記面取り加
工装置９４が単位時間当りに加工できるウェハの枚数に
比べ、スライシング装置９０が単位時間当りに切り出す
ことのできるウェハの枚数は非常に少ない。従って、面
取り加工装置９４が１枚のウェハを加工し終わってか
ら、次のウェハがスライシング装置９０及びウェハ処理
装置９２より面取り加工装置９４へ搬入されてくるまで
には長いインターバルが生じる。このため、面取り加工
装置９４を効率良く運転できず、これがウェハ生産能率
向上の大きな妨げとなっている。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑み、ワーク
からウェハを切り出す加工手段の加工速度と、上記ウェ
ハの面取り加工をする仕上げ手段の加工速度との差が大
きい場合にも、仕上げ手段を効率よく運転でき、かつ、
この仕上げ手段で加工したウェハをそれに対応した適正
なウェハ収納部に正確に収納できるウェハ製造装置を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、本発明は、ワークから順次ウェハを切り
出す複数の加工手段と、これらの加工手段よりも少ない
個数だけ設けられ、切り出されたウェハを面取り加工す
る仕上げ手段と、いずれかの加工手段により加工された
ウェハを上記仕上げ手段まで搬送する搬送手段と、各加
工手段に対応して設けられた複数のウェハ収納部と、各
加工手段に設けられ、その加工動作を制御するととも
に、その加工手段から上記搬送手段にウェハが渡される
際にこのウェハを加工した加工手段を判別するための判
別信号を出力する加工制御手段と、この加工制御手段か
ら出力される判別信号を取り込んで記憶し、この判別信
号に対応するウェハが上記搬送手段から上記仕上げ手段
に渡される際にその判別信号を出力する判別信号記憶手
段と、上記搬送手段の搬送動作を制御する搬送制御手段
と、上記搬送手段から上記仕上げ手段にウェハが渡され
る際に上記判別信号記憶手段から出力される判別信号を
取込み、このウェハについての仕上げ手段の面取り加工
動作を制御するとともに、その面取り加工終了後、この
ウェハについて取り込んだ上記判別信号に対応するウェ
ハ収納部に当該ウェハを収納させる仕上げ制御手段とを
備えたものである。
【０００６】この構成によれば、複数の加工手段で切り
出されたウェハは、搬送手段により、上記加工手段より
も少数の仕上げ手段へ搬送されてここで面取り加工され
る。従って、加工手段による加工速度が仕上げ手段の加
工速度より低い場合でも、仕上げ手段を効率良く運転す
ることが可能である。しかも、上記加工手段から搬送手
段にウェハが渡される際、このウェハがどの加工手段で
切り出されたものかを判別するための判別信号が加工制
御手段から判別信号記憶手段に入力されてこれを判別信
号記憶手段が記憶し、上記ウェハが搬送手段から仕上げ
手段に渡される際に上記判別信号記憶手段から上記仕上
げ制御手段に上記判別信号が入力され、この仕上げ手段
で面取り加工したウェハを上記判別信号に対応するウェ
ハ収納部に収納させるように仕上げ制御手段が構成され
ているので、各ウェハはこのウェハを切り出した加工手
段に対応するウェハ収納部に確実に収納される。すなわ
ち、加工手段と仕上げ手段とが一対一で対応していなく
ても、同一の加工手段によって同一のワークから切り出
されたウェハは必ず共通のウェハ収納部に収納すること
ができる。
【０００７】上記判別信号記憶手段は、それ専用のもの
を設置してもよいが、この判別信号記憶手段に判別信号
が入力されるのは加工制御手段から搬送手段にウェハが
渡される際であり、また、判別信号記憶手段から仕上げ
制御手段に判別信号が入力されるのは、搬送手段から仕
上げ手段にウェハが渡される際であるので、このような
ウェハの受渡し時期を把握している上記搬送制御手段を
上記判別信号記憶手段として兼用すれば、非常に合理的
である。
【０００８】上記判別信号は、少なくともウェハを切り
出した加工手段を判別するためのものであればよいが、
上記ウェハが切り出されたワークを判別するワーク判別
信号を用いれば、仕上げ制御手段へのワーク加工条件の
伝達もより正確にできるようになる。例えば、各ワーク
ごとにその加工条件を記憶する加工条件記憶手段と、各
加工手段に導入されるワークの判別をするワーク判別手
段とを備え、このワーク判別手段で判別されたワークに
対応する加工条件を上記加工条件記憶手段から呼び出し
てその加工条件に基づいて加工手段に加工動作を行わせ
るとともに、このワークを判別するためのワーク判別信
号を上記判別信号記憶手段に入力するように上記加工制
御手段を構成し、搬送手段から仕上げ手段にワークが渡
される際にこのワークについて記憶したワーク判別信号
を上記仕上げ制御手段に入力するように上記判別信号記
憶手段を構成し、この判別信号記憶手段から入力される
ワーク判別信号に対応するワークの加工条件を上記加工
条件記憶手段から呼び出してその加工条件で仕上げ手段
に面取り加工動作を行わせるように上記仕上げ制御手段
を構成すれば、上記加工制御手段及び仕上げ制御手段
は、加工条件記憶手段から現在のワークに適応した加工
条件を正確に呼出すことができ、この加工条件に基づい
て適正な制御ができるようになる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態を図
１〜図５に基づいて説明する。
【００１０】図１に示すウェハ製造装置は、３つのスラ
イシング装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと、各スライシン
グ装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃに付設されたウェハ処理
装置１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃと、搬送装置１４と、単一
の仕上げ装置１６と、各スライシング装置１０Ａ，１０
Ｂ，１０Ｃに対応してセットされるウェハ収納カセット
１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃとを備えている。
【００１１】各スライシング装置１０Ａ〜１０Ｃは、半
導体インゴット２０を保持するインゴット保持部２２
と、このインゴット保持部２２に保持されたインゴット
２０からウェハを順次切り出すインゴット切断部２４と
を備えている。
【００１２】各ウェハ処理装置１２Ａ〜１２Ｃは、各ス
ライシング装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃとで加工手段を
構成するものであり、ウェハ洗浄装置２６、スライスベ
ース剥離装置２７、及びウェハ乾燥装置２８を備えてい
る。
【００１３】ウェハ洗浄装置２６は、前記スライシング
装置で切り出されたウェハを水槽内に入れ、水中で超音
波洗浄を行うものである。スライスベース剥離装置２７
は、ウェハ洗浄装置２６で洗浄されたウェハからこのウ
ェハに接着されているカーボン等からなるスライスベー
スを剥ぎ取るものである。具体的には、上記ウェハを熱
水槽内に入れてスライスベースの接着剤を軟化させ、剥
離しやすい状態にしてから、このスライスベースをウェ
ハから剥離する。乾燥装置２８は、上記熱水槽から引き
上げられたウェハにエアを吹き付けてこのウェハを乾燥
させるものである。
【００１４】搬送装置１４は、搬送レール３０と、この
搬送レール３０に沿って走行する搬送台車３２とを備え
ている。搬送レール３０は、各ウェハ処理装置１２Ａ，
１２Ｂ，１２Ｃと仕上げ装置１６とを結ぶ形状に敷設さ
れている。搬送台車３２は、適当なウェハ処理装置１２
Ａ（もしくは１２Ｂもしくは１２Ｃ）に到達した位置
（図１の各二点鎖線位置）で、上記乾燥装置２８により
乾燥されたウェハを１枚だけ取込み、このウェハを仕上
げ装置１６まで搬送する動作を繰り返すものである。
【００１５】仕上げ装置１６は、面取り加工装置３４及
び洗浄・乾燥装置３６を備え、この洗浄・乾燥装置３６
の下流側に前記ウェハ収納カセット１８Ａ，１８Ｂ，１
８Ｃがセットされている。面取り加工装置３４は、搬送
台車３２により搬送されてきたウェハを取込み、その周
縁部を面取り加工するものである。洗浄・乾燥装置３６
は、面取り加工されたウェハを再洗浄・乾燥し、３つの
ウェハ収納カセット１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃのうちの所
定のウェハ収納カセットに収納するものである。このウ
ェハ収納カセットの選択については、後に詳述する。
【００１６】このウェハ製造装置は、制御系として、図
２に示すような中央制御装置４０、インゴット判別装置
４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ、加工制御装置４２Ａ，４２
Ｂ，４２Ｃ、搬送制御装置４４、及び仕上げ制御装置４
６を備えている。
【００１７】中央制御装置（加工条件記憶手段）４０
は、いわゆるホストコンピュータであり、各インゴット
についての切断加工条件（例えばインゴット径やウェハ
の厚み）及び面取り加工条件（例えばインゴット径等）
を記憶し、いずれかの装置から加工条件について問い合
わせがあった場合にその回答を行う。
【００１８】インゴット判別装置４１Ａ〜４１Ｃ及び加
工制御装置４２Ａ〜４２Ｃは、各スライシング装置１０
Ａ〜１０Ｃ及びウェハ処理装置１２Ａ〜１２Ｃにそれぞ
れ付設されている。各インゴット２０にはその判別を行
うためのインゴット番号を示すバーコードが付されてお
り、インゴット判別装置４１Ａ〜４１Ｃは、対応するス
ライシング装置（例えばインゴット判別装置４１Ａの場
合にはスライシング装置１０Ａ）にセットされたインゴ
ット２０のバーコードからそのインゴット２０のインゴ
ット番号を読取り、このインゴット番号に関する情報信
号であるインゴット判別信号を対応する加工制御装置
（例えばインゴット判別装置４１Ａの場合には加工制御
装置４２Ａ）に入力するものである。
【００１９】加工制御装置４２Ａ〜４２Ｃは、上記イン
ゴット番号に相当する切断加工条件を中央制御装置４０
から呼出し、この加工条件に基づいて、対応するスライ
シング装置及びウェハ処理装置（例えば加工制御装置４
２Ａの場合にはスライシング装置１０Ａ及びウェハ処理
装置１２Ａ）の加工・処理動作を制御した後、ウェハを
搬送台車３２に渡す際に上記インゴット番号、ウェハ番
号（インゴット２０から何枚目に切り出されたウェハで
あるかを示す番号）、及び装置番号（ウェハがスライシ
ング装置１０Ａ〜１０Ｃのうちのどのスライシングで切
り出されたものであるかを示す番号）を搬送制御装置４
４に入力するものである。
【００２０】搬送制御装置４４は、上記中央制御装置４
０からの指令信号に基づき、搬送台車３２の作動を制御
するとともに、この搬送台車３２にウェハが渡される際
に入力される各種番号（判別信号）を記憶し、このウェ
ハを搬送台車３２から仕上げ装置１６に渡す際に記憶番
号を仕上げ制御装置４６に入力するものである。
【００２１】仕上げ制御装置４６は、入力されたインゴ
ット番号に相当する面取り加工条件を中央制御装置４０
から呼出し、この加工条件に基づいて面取り加工装置３
４及び洗浄・乾燥装置３６を作動させた後、処理済のウ
ェハをこのウェハについて入力された装置番号に対応す
るウェハ収納カセット（例えば装置番号がスライシング
装置１０Ａを示すものであればウェハ収納カセット１８
Ａ）に収納させる制御を行う。
【００２２】次に、上記各装置により行われる具体的な
制御動作を図３〜図６のフローチャートに基づいて説明
する。
【００２３】１）インゴット読取り装置４１Ａ〜４１Ｃ
及び加工制御装置４２Ａ〜４２Ｃの制御動作（図３） ステップＳ１：自己の担当するスライシング装置にセッ
トされたインゴット２０に付されたバーコードからイン
ゴット番号を読取り、これを記憶する。
【００２４】ステップＳ２：上記インゴット番号に対応
する加工条件を中央制御装置４０に問い合わせる。これ
に対応して中央制御装置４０は上記インゴット番号に対
応する加工条件を検索し、この加工条件に関する情報信
号を上記問合せのあった加工制御装置に出力する。
【００２５】ステップＳ３：上記加工条件に基づき、ス
ライシング装置にインゴット２０の切断動作を行わせ
る。
【００２６】ステップＳ４：上記スライシング装置から
切り出されたウェハの洗浄と、このウェハからのスライ
スベースの剥離と、ウェハの乾燥とをウェハ処理装置に
行わせる。
【００２７】ステップＳ５：ウェハ処理終了後、加工結
果を中央制御装置４０に送信する。この送信により、中
央制御装置４０は、どのウェハ処理装置１２に搬送台車
３２を派遣しなければならないかを把握する。
【００２８】ステップＳ６：中央制御装置４０による指
令、及び搬送制御装置４４による制御により派遣されて
きた搬送台車３２にウェハを搭載させるとともに、現在
記憶しているインゴット番号と、搭載したウェハについ
てのウェハ番号と、装置番号とを搬送制御装置３２に送
信する。
【００２９】ステップＳ７，Ｓ８：インゴット２０から
全ウェハを切り出すまで上記ステップＳ１〜Ｓ６の動作
を繰り返し（ステップＳ７でＮＯ）、全ウェハの切り出
しを終了した時点、すなわちインゴット２０がなくなっ
た時点で（ステップＳ７でＹＥＳ）、それまで記憶して
いたインゴット番号をクリアする（ステップＳ８）。
【００３０】２）搬送制御装置４４の制御動作（図４） ステップＳ１１：ウェハ処理装置１２Ａ〜１２Ｃのう
ち、中央制御装置４０から指示があったウェハ処理装
置、すなわちウェハ処理が終了したウェハ処理装置へ搬
送台車３２を移動させる。
【００３１】ステップＳ１２：搬送台車３２に設けられ
た図略のアーム等の作動により処理済みのウェハをピッ
クアップさせ、この搬送台車３２に搭載させる。その
際、加工制御装置（例えばウェハ処理装置１２Ａからウ
ェハを受け取る場合には加工制御装置４２Ａ）から入力
された各種番号（インゴット番号、ウェハ番号、及び装
置番号）を記憶する。
【００３２】ステップＳ１３：搬送台車３２を走行さ
せ、これに搭載したウェハを仕上げ装置１６まで搬送さ
せる。
【００３３】ステップＳ１４：搬送台車３２から面取り
加工装置３４へウェハを渡すとともに、記憶している各
種番号を仕上げ制御装置３６に送信する。すなわち、こ
の搬送制御装置４４は、各種番号に関する情報信号（判
別信号）を加工制御装置４２Ａ〜４２Ｃから仕上げ制御
装置３６へ伝えるメッセンジャーとしての役割をする。
【００３４】ステップＳ１５：各種番号の記憶を解除
し、次の搬送時の記憶に備える。このように、１枚のウ
ェハの搬送の度に新しい記憶及び記憶解除がなされるこ
とにより、搬送ウェハについての情報が正確に仕上げ制
御装置３６へ伝えられることになる。
【００３５】３）仕上げ制御装置４６の制御動作（図
５） ステップＳ２１：搬送台車３２からウェハを受け取り、
その際に搬送制御装置４４から入力される各種番号を記
憶する。
【００３６】ステップＳ２２：入力されたインゴット番
号に対応する加工条件（面取り加工条件）を中央制御装
置４０に問合せる。これを受けた中央制御装置４０は、
上記加工条件を検索し、その情報信号を仕上げ制御装置
４６に入力する。
【００３７】ステップＳ２３：上記面取り加工条件に基
づいて面取り加工装置３４にウェハの面取りを行わせ、
洗浄・乾燥装置３６に面取り加工後のウェハの再洗浄・
乾燥を行わせる。
【００３８】ステップＳ２４：３つのウェハ収納カセッ
ト１８Ａ〜１８Ｃの中から装置番号に対応したウェハ収
納カセットを選択し、このカセットにウェハを収納させ
る。例えば、装置番号がスライシング装置１０Ａ及びウ
ェハ処理装置１２Ａを示すものである場合には、ウェハ
収納カセット１８Ａにウェハを収納させる。
【００３９】ステップＳ２５：ウェハ収納後、このウェ
ハについて記憶した各種番号を解除する。
【００４０】ステップＳ２６〜ステップＳ２８：いずれ
かのウェハ収納カセットが満杯になった時点、すなわち
このウェハ収納カセットに対応するインゴットからのウ
ェハの切り出しが全て終了した時点で（ステップＳ２６
でＹＥＳ）、この満杯カセットに収納されたウェハの加
工結果を中央制御装置４０に送信する（ステップＳ２
７）。そして、カセット満杯の事実を外部に報知し、カ
セット交換を促す（ステップＳ２８）。例えば、ウェハ
収納カセット１８Ａが満杯になった場合には、その旨を
外部に報知する。これにより、ウェハ収納カセット１８
Ａの交換が行われるが、ウェハ収納カセット１８Ａが満
杯になったということはスライシング装置１０Ａにセッ
トされていたインゴットがなくなったことを意味するの
で、このウェハ収納カセット１８Ａの交換とともに、ス
ライシング装置１０Ａへの新しいインゴットのセットが
行われる。
【００４１】このようなウェハ製造装置によれば、３台
のスライシング装置１０Ａ〜１０Ｃで切り出されたウェ
ハが共通の仕上げ装置１６へ搬送されるので、この仕上
げ装置１６におけるウェハの面取り加工速度に比べて各
スライシング装置１０Ａ〜１０Ｃでのウェハ切り出し速
度が非常に遅い場合でも、全装置を効率良く運転するこ
とができ、ウェハの製造能率を飛躍的に高めることがで
きる。
【００４２】しかも、ウェハ処理装置１２Ａ〜１２Ｃか
ら搬送台車３２にウェハが渡される際に、そのウェハ処
理装置に対応する加工制御装置から搬送制御装置４４に
上記ウェハについての各種番号が伝達され、搬送台車３
２から仕上げ装置１６へウェハが渡される際に搬送制御
装置４４から仕上げ制御装置４６に上記各種番号が伝達
されるので、仕上げ装置１６においては、仕上げ後のウ
ェハをこのウェハを切り出したスライシング装置に対応
するウェハ収納カセットに正確に収納することができ
る。すなわち、３つのスライシング装置１０Ａ〜１０Ｃ
で切り出したウェハを全て同一の仕上げ装置１６に搬入
しているにもかかわらず、この仕上げ装置１６において
は、同じスライシング装置で同じインゴットから切り出
されたウェハを必ず同じウェハ収納カセットに収納させ
ることができる。
【００４３】特に、この装置では、上記各種番号とし
て、ウェハを切り出したスライシング装置を判別するた
めの装置番号だけでなく、ウェハが切り出されたインゴ
ットを判別するためのインゴット番号も加工制御装置４
２Ａ〜４２Ｃから仕上げ制御装置４６に伝達されるた
め、仕上げ装置１６ではこれに搬入されたワークに適合
した面取り加工が確実に行われることになる。
【００４４】なお、本発明の実施形態は上記のものに限
定されず、次のようなものであってもよい。
【００４５】(1) 本発明における「加工手段」は、少な
くともウェハの切り出し機能を備えていれば良く、前記
図１に示したウェハ処理装置１２を省略して仕上げ装置
１６側に適当な処理手段を設置することも可能である。
また、ウェハを切り出すための手段も特に問わず、例え
ば上記スライシング装置１０Ａ〜１０Ｃとしてワイヤソ
ーを用いるようにしてもよい。
【００４６】(2) 本発明において、加工手段と仕上げ手
段の個数の比率は、両手段の加工速度の比率に応じて適
宜設定すればよい。例えば、前記図１に示した装置にお
いて、スライシング装置１０Ａ〜１０Ｃでの加工速度が
面取り加工装置３４での加工速度の１／２である場合に
は、２つのスライシング装置１０Ａ，１０Ｂと１つの仕
上げ装置１６とを備えるようにすればよい。また、本発
明における仕上げ手段はその個数が加工手段よりも少な
ければ複数であってもよく、例えば３つの加工手段でそ
れぞれ切り出されたウェハを２つの仕上げ手段に分配す
るようにしてもよい。
【００４７】(3) 本発明では、判別信号記憶手段として
前記搬送制御装置４４とは別の新たな記憶装置を設置す
るようにしてもよい。ただし、この判別信号記憶手段に
判別信号が入力される時点、及び判別信号記憶手段から
仕上げ制御手段に判別信号が伝達される時点は、それぞ
れ、加工手段から搬送手段にウェハが渡される時点、及
び搬送手段から仕上げ手段にウェハが渡される時点であ
るので、前記実施形態のように搬送制御手段（搬送制御
装置４４）を判別信号記憶手段として兼用すれば、装置
の簡略化及び低廉化を図れるだけでなく、加工制御手段
から仕上げ制御手段へ判別信号を確実に伝達できる利点
がある。
【００４８】ただし、加工手段から搬送手段にウェハが
渡される時点と、判別信号記憶手段に判別信号が入力さ
れる時点とは必ずしも正確に同時でなくても良く、ウェ
ハの搬送とこのウェハについての判別信号との対応が正
確にできる範囲で多少の時間ずれがあってもよい。
【００４９】(4) 上記実施形態では、１回の搬送台車３
２の走行で１枚だけウェハを搬送するものを示したが、
各ウェハ処理装置１２Ａ〜１２Ｃで複数枚のウェハを容
器等に入れてストックしておき、複数枚のウェハを一度
に搬送台車３２に渡してその搬送を行わせるようにして
もよい。ただし、この場合も、搬送台車３２に同時に搭
載するウェハは必ず共通のスライシング装置及びウェハ
処理装置で加工されたウェハとすることが肝要である。
複数のスライシング装置及びウェハ処理装置で加工され
たウェハを混ぜて搬送台車３２に載せると、各ウェハが
どのスライシング装置及びウェハ処理装置で加工された
ウェハであるかを判別することが困難となるからであ
る。
【００５０】(5) 本発明では、加工手段と仕上げ手段の
具体的な配列は特に問わず、例えば仕上げ手段の周囲に
加工手段を配し、上記仕上げ手段を中心として各加工手
段に搬送路を放射状に延ばすようにしてもよい。
【００５１】(6) 上記実施形態では、加工条件記憶手段
として、ウェハ製造装置１台について１台の中央制御装
置４０を使用しているが、上記加工条件を、より上位の
工場ホストコンピュータ、すなわち他工程の加工を受け
持つ製造装置の加工条件をも記憶するホストコンピュー
タに併せて記憶させておき、本ウェハ製造装置の中央制
御装置４０をいわゆるセルコンピュータとして、上記工
場ホストコンピュータに加工条件を問合せ、これを記憶
し、いずれかの装置から加工条件について問合せがあっ
た場合にその回答を行うようにしてもよい。
【００５２】
【発明の効果】以上のように本発明は、ワークから順次
ウェハを切り出す加工手段を、これらの加工手段で切り
出されたウェハを面取り加工する仕上げ手段よりも多く
備え、これら加工手段と仕上げ手段との間でウェハを搬
送する搬送手段と、上記加工手段を制御する加工制御手
段と、上記仕上げ手段を制御する仕上げ手段とを備える
とともに、上記加工手段から上記搬送手段にウェハが渡
される際にこのウェハを加工した加工手段を判別するた
めの判別信号を上記加工制御手段から取込んで記憶し、
上記搬送手段から上記仕上げ手段にウェハが渡される際
にその判別信号を上記仕上げ制御手段に出力する判別信
号記憶手段を備え、面取り加工終了後、このウェハにつ
いて取り込んだ上記判別信号に対応するウェハ収納部に
当該ウェハを収納させるように上記仕上げ制御手段を構
成したものであるので、加工手段による加工速度が仕上
げ手段の加工速度より低い場合でも、仕上げ手段を効率
良く運転でき、これによりウェハの生産能率を向上させ
ることができるとともに、上記加工手段と仕上げ手段と
が一対一で対応していないにもかかわらず、面取り加工
後のウェハを収納すべきウェハ収納部に正確に収納でき
る効果がある。
【００５３】ここで、上記搬送制御手段を上記判別信号
記憶手段として兼用すれば、装置全体を簡略化及び低廉
化でき、かつ、上記判別信号の伝達を適正なタイミング
で確実に行うことができる効果が得られる。
【００５４】また、仕上げ制御手段へのワーク加工条件
の伝達もより正確にできるようになる。例えば、各ワー
クごとにその加工条件を記憶する加工条件記憶手段と、
各加工手段に導入されるワークの判別をするワーク判別
手段とを備え、このワーク判別手段で判別されたワーク
に対応する加工条件を上記加工条件記憶手段から呼び出
してその加工条件に基づいて加工手段に加工動作を行わ
せるとともに、このワークを判別するためのワーク判別
信号を上記判別信号記憶手段に入力するように上記加工
制御手段を構成し、搬送手段から仕上げ手段にワークが
渡される際にこのワークについて記憶したワーク判別信
号を上記仕上げ制御手段に入力するように上記判別信号
記憶手段を構成し、この判別信号記憶手段から入力され
るワーク判別信号に対応するワークの加工条件を上記加
工条件記憶手段から呼び出してその加工条件で仕上げ手
段に面取り加工動作を行わせるように上記仕上げ制御手
段を構成したものによれば、加工手段と仕上げ手段とが
一対一で対応していないにもかかわらず、仕上げ手段に
おいてこれに搬入されるワークに適応した加工条件を確
実に把握することができ、これに基づいて各ワークの適
正な面取り加工を確実に行うことができる効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかるウェハ製造装置の
全体平面図である。
【図２】上記ウェハ製造装置における制御系を示すブロ
ック図である。
【図３】上記ウェハ製造装置に設けられる加工制御装置
が行う制御動作を示すフローチャートである。
【図４】上記ウェハ製造装置に設けられる搬送制御装置
が行う制御動作を示すフローチャートである。
【図５】上記ウェハ製造装置に設けられる仕上げ制御装
置が行う制御動作を示すフローチャートである。
【図６】従来のウェハ製造装置の全体構成を示すブロッ
ク図である。
【符号の説明】
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ スライシング装置（加工手
段） １２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ ウェハ処理装置（加工手段） １４ 搬送装置（搬送手段） １６ 仕上げ装置（仕上げ手段） １８ ウェハ収納カセット（ウェハ収納部） ２０ インゴット（ワーク） ４０ 中央制御装置（中央制御手段） ４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ インゴット判別装置（ワーク
判別手段） ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ 加工制御装置（加工制御手
段） ４４ 搬送制御装置（搬送制御手段） ４６ 仕上げ制御装置（仕上げ制御手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−260545（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−208979（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−182703（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−33091（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−8080（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワークから順次ウェハを切り出す複数の
    加工手段と、これらの加工手段よりも少ない個数だけ設
    けられ、切り出されたウェハを面取り加工する仕上げ手
    段と、いずれかの加工手段により加工されたウェハを上
    記仕上げ手段まで搬送する搬送手段と、各加工手段に対
    応して設けられた複数のウェハ収納部と、各加工手段に
    設けられ、その加工動作を制御するとともに、その加工
    手段から上記搬送手段にウェハが渡される際にこのウェ
    ハを加工した加工手段を判別するための判別信号を出力
    する加工制御手段と、この加工制御手段から出力される
    判別信号を取り込んで記憶し、この判別信号に対応する
    ウェハが上記搬送手段から上記仕上げ手段に渡される際
    にその判別信号を出力する判別信号記憶手段と、上記搬
    送手段の搬送動作を制御する搬送制御手段と、上記搬送
    手段から上記仕上げ手段にウェハが渡される際に上記判
    別信号記憶手段から出力される判別信号を取込み、この
    ウェハについての仕上げ手段の面取り加工動作を制御す
    るとともに、その面取り加工終了後、このウェハについ
    て取り込んだ上記判別信号に対応するウェハ収納部に当
    該ウェハを収納させる仕上げ制御手段とを備えたことを
    特徴とするウェハ製造装置。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のウェハ製造装置におい
    て、上記搬送制御手段を上記判別信号記憶手段として兼
    用したことを特徴とするウェハ製造装置。
  3. 【請求項３】 請求項１または２記載のウェハ製造装置
    において、各ワークごとにその加工条件を記憶する加工
    条件記憶手段と、各加工手段に導入されるワークの判別
    をするワーク判別手段とを備え、このワーク判別手段で
    判別されたワークに対応する加工条件を上記加工条件記
    憶手段から呼び出してその加工条件に基づいて加工手段
    に加工動作を行わせるとともに、このワークを判別する
    ためのワーク判別信号を上記判別信号記憶手段に入力す
    るように上記加工制御手段を構成し、搬送手段から仕上
    げ手段にワークが渡される際にこのワークについて記憶
    したワーク判別信号を上記仕上げ制御手段に入力するよ
    うに上記判別信号記憶手段を構成し、この判別信号記憶
    手段から入力されるワーク判別信号に対応するワークの
    加工条件を上記加工条件記憶手段から呼び出してその加
    工条件で仕上げ手段に面取り加工動作を行わせるように
    上記仕上げ制御手段を構成したことを特徴とするウェハ
    製造装置。
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