DE4414237A1 - Mikromechanischer Schwinger eines Schwingungsgyrometers - Google Patents
Mikromechanischer Schwinger eines SchwingungsgyrometersInfo
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Description
Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Schwinger ei
nes Schwingungsgyrometers zur Erfassung der Drehrate (absolute
Winkelgeschwindigkeit) nach der Gattung des Hauptanspruchs. Aus
der DE-OS 40 22 495 ist schon ein Schwingungsgyrometer bekannt,
bei dem zwei Schwingmassen aus einem Silizi
um-Halbleiter-Kristall herausstrukturiert sind. Bei dem bekann
ten Schwingungsgyrometer tritt das Problem auf, daß die gegen
phasige Schwingung der beiden Schwingmassen des Schwingungsgyro
meters beispielsweise bei Temperaturwechsel nicht phasenstabil
bleibt. Die bei einem Drehimpuls auftretende Coriolis-Kraft kann
dabei nicht immer mit hinreichender Genauigkeit gemessen werden,
so daß die Zuverlässigkeit dieses Sensors bei Anwendungen mit
hohen Zuverlässigkeitsforderungen, beispielsweise im Kraft
fahrzeug, nicht erfüllt werden kann.
Ein weiteres Schwingungsgyrometer ist aus der Veröffentlichung
"A micromichined comb-drive tuninng fork rate gyroscope", IEEE,
Feb. 93, Seiten 143 bis 148 bekannt. Zwei in der Substratebene
gegeneinander schwingende Schwingmassen sind so aufgehängt, daß
sie sich unter dem Einfluß von Coriolis-Kräften in senkrechter
Richtung zum Substrat bewegen können. Diese Bewegungen werden
mit Hilfe von auf dem Substrat befindlichen festen Gegenelek
troden elektrostatisch detektiert. Allerdings ist die Verwendung
dieses Gyrometers in vibrationsreicher Umgebung, beispielsweise
im Kraftfahrzeug weniger geeignet, da die Schwingerstruktur
nicht nur die Anregungsschwingung der Schwingstruktur ausführt,
sondern auch eingekoppelte Bewegungen der verbleibenden Frei
heitsgrade aufnimmt. Das Meßergebnis kann dadurch verfälscht
werden.
Der erfindungsgemäße mikromechanische Schwinger eines Schwin
gungsgyrometers mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptan
spruchs hat demgegenüber den Vorteil, daß durch die Ausbildung
der Aufhängefedern die beiden Schwingmassen, die über den Kop
pelbereich mechanisch gekoppelt werden und sich somit gegensei
tig anregen, absolut gegenphasig schwingen. Dadurch ergeben sich
stabile Phasenverhältnisse, da Parameteränderungen wie Tempera
turschwankungen oder unterschiedliche Massen der beiden
Schwingmassen sich nicht störend auswirken dadurch ergibt sich
der Vorteil, daß der mikromechanische Schwinger des Schwingungs
gyrometers mit separaten, exakt spezifizierten Sensoren, bei
spielsweise zur Messung der Coriolis-Kräfte bestückt werden
kann. Bei der Herstellung des Schwingers ergibt sich der weitere
Vorteil, daß die Fertigungstoleranzen relativ groß sein können
und ein spezieller Abgleich nicht erforderlich ist. Die Herstel
lung des erfindungsgemäßen mikromechanischen Schwingers ist da
her besonders kostengünstig.
Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen
sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im
Hauptanspruch angegebenen mikromechanischen Schwingers möglich.
Eine besonders günstige konstruktive Lösung ist dadurch erreich
bar, daß sowohl der Koppelbereich mit der Koppelmasse und den
Schwingfedern als auch die Schwingmassen über wenigstens jeweils
eine Aufhängefeder mit dem Substrat verbunden sind. Eine derar
tige Anordnung ist mechanisch relativ stabil, insbesondere bei
hohen Beschleunigungen, wie sie beispielsweise bei Verwendung in
einem Kraftfahrzeug auftreten können.
Um die Beeinflussung der Aufhängefeder möglichst gering zu hal
ten, ist deren Federsteifigkeit sehr weich im Vergleich zu der
der Schwingfedern.
Eine konstruktiv einfache Lösung ergibt sich, wenn um die
Schwingmassen herum oder wenigstens teilweise ein Rahmen gebil
det wird, der gleichzeitig als Koppelmasse ausgebildet ist und
an den die beiden Schwingmassen über Schwingfedern mechanisch
gekoppelt sind. Eine derartige Struktur läßt sich einfach mit
bekannten Verfahren, beispielsweise aus einem Silizium-Wafer
herausätzen.
Bei Verwendung des Rahmens als Koppelmasse wird die effektive
Koppelmasse um so kleiner, je kleiner die Teile des Rahmens aus
gebildet sind. Bei sehr kleinen Rahmenteilen ist die Masse der
Koppelmasse nahezu null, so daß die Phasenbeziehung der beiden
Schwingmassen durch die Koppelmasse nicht beeinflußt wird.
Bei Ausbildung des Drehratensensors aus Silizium-Material kann
über entsprechende metallisierte Leitungen ein Strom über die
Schwingmassen geführt werden. Befinden sich die Schwingmassen in
einem elektromagnetischen Feld, das senkrecht zur Schwingebene
wirkt, kann über den Strom die Schwingung der Schwingmassen an
geregt werden.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung darge
stellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es
zeigen Fig. 1 ein erstes mechanisches Ersatzschaltbild, Fig. 2
ein zweites mechanisches Ersatzschaltbild, Fig. 3 ein drittes
Ersatzschaltbild, Fig. 4 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel,
Fig. 5 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel, Fig. 6 zeigt ein
drittes Ausführungsbeispiel und Fig. 7 zeigt ein viertes Aus
führungsbeispiel.
Eine weitere kontaktlose Antriebsmöglichkeit ist durch die Ver
wendung einer Kammstruktur (elektrostatisch, Reluktanzantrieb)
gegeben.
Der Schwinger kann in Verbindung mit entsprechenden Beschleuni
gungssensoren universell verwendet werden, beispielsweise zur
Drehratenmessung in Kraftfahrzeugen, Schiffen, Flugzeugen, Ro
botern oder zur Messung von Turbulenzen in Flüssigkeiten oder
Gasen.
Fig. 1 zeigt ein mechanisches Ersatzschaltbild, bei dem zwei
Schwingmassen 1, 2 dargestellt sind, die über zwei Schwingfedern
4, 5 verbunden sind. Zwischen den Schwingfedern 4, 5 ist ein
Koppelbereich 3 mit einer Koppelmasse und Schwingfedern ange
ordnet. Die Koppelmasse 3 ist mittels einer Aufhängefeder 6 mit
einem äußeren Rahmen und dem Substrat 10 verbunden. Als Material
für diesen Drehratensensor wird ein Halbleitermaterial, bevor
zugt Silizium oder Siliziumverbindungen verwendet. Das Silizium
wird dabei mit mikromechanischen Techniken so strukturiert, daß
es sowohl die Massen als auch die Federn bildet. In diesem
Blockschaltbild sind aus Übersichtlichkeitsgründen elektrische,
metallisierte Zuleitungen weggelassen, mit denen die Massen in
einem elektrostatischen oder elektromagnetischen Feld zur
Schwingung erregt werden. Parallel zu den Federn 4, 5, 6 sind
Dämpfungsglieder 7 angeordnet, die bei der Berechnung zur Ausle
gung des Schwingungssystems zu berücksichtigen sind.
Fig. 2 zeigt ein zweites Ersatzschaltbild, das einen ähnlichen
Aufbau zwischen den beiden Schwingmassen 1, 2 und der Koppel
masse 3 hat. In diesem Ersatzschaltbild sind jedoch die beiden
Schwingmassen 1, 2 direkt über die Aufhängefedern 6 mit dem
Substrat 10 verbunden.
Fig. 3 zeigt ein drittes Ersatzschaltbild, das eine Kombination
der beiden zuvor genannten Schaltbilder darstellt. Hier sind so
wohl die beiden Schwingmassen 1, 2 als auch der Koppelbereich
mit den Koppelmassen 3 über die Aufhängefedern 6 mit dem
Substrat 10 verbunden.
Im folgenden wird anhand von mehreren Ausführungsbeispielen die
Funktionsweise dieser Anordnung erläutert. Der mikromechanische
Schwinger wird auch als mechanisches Schwingungsgyrometer be
zeichnet, wobei auf seinen Schwingmassen 1, 2 entsprechende Sen
soren, z. B. Beschleunigungssensoren aufgebracht sind. Die aufge
brachten Beschleunigungssensoren enthalten u. a. elektrische
Schaltungen, deren Stromversorgung über Leiterbahnen erfolgt,
die über die Aufhängefedern nach außen hin verlegt sein können.
Ein Schwingungsgyrometer nutzt den Effekt aus, daß schwingende
träge Massen, die einer Drehung ausgesetzt sind, bedingt durch
die Coriolis-Kräfte senkrecht zu ihrer Schwingungsebene ausge
lenkt werden. Die Coriolis-Kräfte können dabei auf vielfältige
Weise durch elektro-mechanische Wandlungsprozesse detektiert
werden. Ein entsprechender Sensor kann auf der Schwingmasse an
geordnet sein oder indirekt die Auslenkung der Schwingmassen
messen. Man erhält ein mit der Schwingfrequenz f moduliertes Si
gnal, welches durch anschließende Demodulation das gewünschte,
zur Drehrate f proportionales Meßsignal ergibt. Lineare Störbe
schleunigungen (Querbeschleunigung des Sensors), die die gleiche
Richtung wie die Coriolis-Kräfte haben, rufen ein Beschleuni
gungs-Störsignal hervor, welches durch die gegenphasig schwin
genden Schwingmassen unterdrückt werden. Durch das gegenphasige
Schwingen der Schwingmassen 1, 2 heben sich die Trägheitskräfte
auf. Zum anderen wirken die Coriolis-Kräfte auf die beiden
Schwingmassen 1, 2 in entgegengesetzter Richtung, die Stör-Be
schleunigungskräfte wirken jedoch in gleicher Richtung. Durch
Differenzbildung der Signale zweier identischer, idealer elek
tromechanischer Wandler kann somit die Störbeschleunigung kom
pensiert werden.
Ein derartiger Sensor kann beispielsweise in einem Kraftfahrzeug
zur Steuerung insbesondere von Sicherheitseinrichtungen oder zur
Regelung der Fahrdynamik verwendet werden.
In der Praxis hat sich jedoch gezeigt, daß beide Wandler weder
vollkommen identisch noch vollkommen richtungsselektiv sind. Sie
liefern auch dann ein Signal, wenn sie nicht in Hauptdetektions
richtung ausgelenkt werden, insbesondere auch in Antriebsrich
tung. Dieses Signal liegt mit der jeweiligen Antriebsgeschwin
digkeit moduliert vor, es erzeugt nach der Demodulation einen
Ausgangsoffset und kann nur dann kompensiert werden, wenn es we
nigstens phasenstabil ist. Zum Antrieb muß daher die Anregungs
geschwindigkeit jeder Schwingungsmasse 1, 2 und damit das Corio
lis-Nutzsignal gegenphasig vorliegen. Erfindungsgemäß wird daher
vorgeschlagen, durch konstruktive Maßnahmen den Störeinfluß
klein zu halten, der das gegenphasige Schwingverhalten beein
flußt. Dieses wird im wesentlichen dadurch erreicht, daß die
Koppelmasse 3 sehr viel kleiner ist als die der Schwingmassen
1, 2, wobei die Schwingmassen 1, 2 nicht unbedingt identisch
sein müssen. Die Vorteile einer kleinen Koppelmasse werden noch
dadurch verstärkt, wenn die Aufhängefedern sehr weich in
Schwingrichtung sind. Senkrecht in Schwingebene sind die Auf
hängefedern 6 wegen des entsprechenden Querschnittsverhältnisses
relativ steif ausgebildet. Bei mehreren parallel geführten Teil
federn können auch entsprechend viele Leiterbahnen nach außen
geführt werden. Durch die weichen Aufhängefedern 6 wird er
reicht, daß selbst große Temperatureinflüsse keine Amplituden-
und Phasenveränderungen zwischen den beiden Schwingmassen 1, 2
herbeiführen, so daß das Schwingsystem unempfindlich ist gegen
Störeinflüsse.
Da man bestrebt ist, die Arbeitsfrequenz des Drehratensensors im
Interesse einer hohen Empfindlichkeit niedrig zu wählen, werden
bei einer gegebenen minimalen Sensorfläche die Schwingmassen 1,
2 so groß wie möglich gewählt, die Federlängen so lang wie mög
lich und die Federbreiten so schmal wie möglich gestaltet.
Ein erstes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 4 dargestellt. Der
Koppelbereich mit der Koppelmasse 3 besteht aus einem Rahmen 3,
der sich geschlossen um die Schwingmassen 1, 2 befindet. Jede
Schwingmasse 1, 2 ist über Schwingfedern 4, 5 mit dem Rahmen 3
verbunden. Der Rahmen 3 ist über die Aufhängefedern 6 mit dem
Substrat 10 verbunden. Sowohl die Schwingfedern 4, 5 als auch
die Aufhängefedern 6 sind gefaltet ausgeführt, um deren Länge zu
vergrößern. Sie können in zwei oder mehr parallelen Teilfedern
ausgeführt sein.
Fig. 5 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel, bei dem jedoch
der Rahmen 3 nur an zwei gegenüberliegenden Seiten ausgebildet
ist. Der Rahmen als Koppelmasse 3 ist damit kleiner ausgebildet
als beim ersten Ausführungsbeispiel. Hier sind an zwei gegen
überliegenden Seiten die Schwingmassen 1, 2 über die Schwingfe
dern 4, 5 an die Rahmenteile 3 angekoppelt. Die Rahmenteile 3
sind wiederum über Aufhängefedern 6 mit dem Substrat 10 verbun
den. Der Vorteil des zweiteiligen Rahmens ist die Verringerung
der Gefahr von nichtlinearen Schwingungen, eine verringerte Sen
sorfläche und ein größerer Abstand der Moden in z-Richtung bzw.
um die y-Achse. Diese Anordnung erhält dadurch eine größere
Steifigkeit in Coriolis-Richtung.
Bei dem dritten Ausführungsbeispiel entsprechend der Fig. 6 und
dem vierten Ausführungsbeispiel entsprechend der Fig. 7 ist die
Koppelmasse 3 weiter verringert worden. Anstelle der Rahmenteile
ist nun zwischen den beiden Schwingmassen 1, 2 ein Steg 3 (Fig.
6) bzw. zwei Stege 3 (Fig. 7) ausgebildet. Diese Stege 3 sind
einerseits über die Schwingfedern 4, 5 mit der Schwingmasse 1, 2
verbunden. Andererseits sind sie über die Aufhängefedern 6 mit
dem Substrat 10 verbunden. Die Schwingmassen 1, 2 sind noch über
weitere Aufhängefedern 6 mit dem Substrat 10 verbunden. Zusätz
lich ist bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 6 eine Struktur
11 vorgesehen, die als Fingerstruktur ausgebildet ist und die
für einen kapazitiven Antrieb oder ein Referenzsignal geeignet
ist. Durch die zusätzlichen Aufhängefedern 6 wird bewirkt, daß
die Eigenfrequenzen der Moden in z-Richtung bzw. um die y-Achse
(Moden in Coriolis-Richtung) hoch liegen, was bei reiner Mitten-
Aufhängung nicht möglich wäre. Die Koppelmasse 3 ist dabei so
klein, daß deren Masse vernachlässigt werden kann.
Claims (10)
1. Mikromechanischer Schwinger eines Schwingungsgyrometers zur
Erfassung der Drehrate (absolute Winkelgeschwindigkeit) unter
Ausnutzung von Coriolis-Kräften, mit einem Substrat und mit zwei
Schwingmassen, die über einen Koppelbereich, bestehend aus einer
möglichst kleinen Koppelmasse und Schwingfedern, mechanisch der
art verbunden sind, daß die Schwingmassen in einer Ebene gegen
phasig schwingen, und mit wenigstens einer Aufhängefeder, die
mit ihrem einen Ende mit dem Substrat verbunden ist, dadurch ge
kennzeichnet, daß das andere Ende der wenigstens einen Aufhänge
feder (6) mit dem Koppelbereich (3, 4, 5) und/oder den beiden
Schwingmassen (1, 2) verbunden ist und daß die wenigstens eine
Aufhängefeder (6) derart ausgebildet ist, daß sie in Schwing
richtung der Schwingmassen (1, 2) weich und in allen anderen
Freiheitsgraden wesentlich härter ist und dabei das Drehmoment
der Drehrate auf die Schwingmassen (1, 2) überträgt.
2. Schwinger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehre
re Aufhängefedern (6) vorgesehen sind, wobei jeweils das andere
Ende einer Aufhängefeder (6) mit den beiden Schwingmassen (1, 2)
und dem Koppelbereich (3) verbunden ist (Fig. 3).
3. Schwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch ge
kennzeichnet, daß in Schwingrichtung die wenigstens eine Auf
hängefeder (6) weicher ist als die Schwingfeder (4, 5).
4. Schwinger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die wenigstens eine Aufhängefeder (6) aus
mehreren parallel geführten Teilfedern ausgebildet ist.
5. Schwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Koppelmasse (3) als Rahmen ausgebildet
ist, daß die beiden Schwingmassen (1, 2) über Schwingfedern (4,
5) mit dem Rahmen verbunden sind und daß der Rahmen (3) über
möglichst weit außen angreifende Aufhängefedern (6) mit dem
Substrat (10) verbunden ist (Fig. 4, 5).
6. Schwinger nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der
Rahmen (3) die Schwingmassen (1, 2) vollständig umschließt (Fig. 4).
7. Schwinger nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der
Rahmen (3) an zwei gegenüberliegenden Seiten der Schwingmassen
(1, 2) angeordnet ist (Fig. 5).
8. Schwinger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der Schwinger aus Silizium oder Siliziumver
bindungen hergestellt ist.
9. Schwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Schwinger einen elektrostatischen oder
elektromagnetischen Antrieb aufweist.
10. Schwinger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der Schwinger in einem Fahrzeug oder in ei
nem Roboter verwendet wird.
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