DE4409007C1 - Verfahren zur Herstellung eines Bauelementes mittels Molekularstrahlepitaxie - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines Bauelementes mittels MolekularstrahlepitaxieInfo
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Description
Mit fortschreitender Miniaturisierung mikroelektronischer Bauele
mente wird die Realisierung von Dotierstoffprofilen im Nanometer
bereich zunehmend erforderlich. In der Siliziumprozeßtechnik kön
nen derartige Dotierstoffprofile neuerdings vertikal mit Hilfe
von Abscheide- oder Wachstumsverfahren wie Molekularstrahlepita
xie hergestellt werden (siehe H. J. Gossmann et al, Crit. Rev.
Solid State Mater. 18 (1991) Seite 1 bis 67). Durch diese Verfah
ren las sen sich in vertikaler Richtung Profile im Nanometerbe
reich einfacher realisieren als durch konventionelle Implantation
bei planaren Strukturen.
Mit Hilfe von Molekularstrahlepitaxie ist es möglich, dotierte
Siliziumschichten mit sehr geringer Dicke im Bereich von einigen
Nanometern herzustellen. Es ist verschiedentlich vorgeschlagen
worden (siehe zum Beispiel H. J. Gossmann et al, Crit. Rev. Solid
State Mater. 18 (1991) Seite 1 bis 67 ) in vertikalen Bauelemen
ten, die durch Molekularstrahlepitaxie dotierter Schichten herge
stellt sind, derartig dünne dotierte Schichten als δ-dotierte
Schicht vorzusehen.
Insbesondere bei MOS-Transistoren mit Kanallängen unter 100 nm
ist vorgeschlagen worden, zur Reduktion von Leckströmen im Ka
nalgebiet eine δ-dotierte Schicht vorzusehen. Die Dotierung ist
dabei lateral homogen. Derartige MOS-Transistoren zeigen zwar ge
ringe Leckströme, führen jedoch zu hohen Einsatzspannungen, die
in Bezug auf die Schaltgeschwindigkeit, Verlustleistung und Ar
beitsspannung unerwünscht sind.
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, ein Verfahren zur Her
stellung eines Bauelementes mittels Molekularstrahlepitaxie anzu
geben, mit dem in einer vertikalen Folge dotierter Gebiete eine
dotierte Schicht herstellbar ist mit einem nicht homogenen lateralen
Dotierstoffprofil.
Dieses Problem wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren
nach Anspruch 1. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus
den übrigen Ansprüchen hervor.
Die Verwendung einer Mikroschattenmaske bei der lokalen Moleku
larstrahlepitaxie zur Herstellung einer Mesastruktur ist an sich
aus E. Hammerl et al, Appl. Phys. Lett. 62 (1993) Seite 2221 ff.
bekannt. Das Problem der Herstellung einer dotierten Schicht mit
einem nicht konstanten lateralen Dotierstoffprofil wird dort je
doch nicht angesprochen.
Die Mikroschattenmaske, die zur lokalen Molekularstrahlepitaxie
auf einer Silizium umfassenden Oberfläche eines Substrats aufge
bracht wird, weist parallel zur Substratoberfläche einen Quer
schnitt auf, der in Abhängigkeit der Entfernung zur Oberfläche
des Substrats variabel ist. An der Oberfläche der Mikroschatten
maske ist der Querschnitt kleiner als zwischen der Oberfläche der
Mikroschattenmaske und der Oberfläche des Substrats. Der Quer
schnitt an der Oberfläche der Mikroschattenmaske bestimmt die la
terale Ausdehnung der durch lokale Molekularstrahlepitaxie auf
der Oberfläche des Substrats erzeugten Mesastruktur. Da der Quer
schnitt unterhalb der Oberfläche der Mikroschattenmaske größer
ist, wächst die Mesastruktur mit freistehenden Flanken, die die
Mikroschattenmaske nicht berühren, auf.
Mikroschattenmasken können durchgehend aus ein und demselben Ma
terial oder aus einer Schichtenfolge aus ein oder mehr Schichten
aus unterschiedlichen Materialien gebildet werden.
In dem erfindungsgemäßen Herstellverfahren wird bei der Herstel
lung einer freistehenden Mesastruktur durch lokale Molekular
strahlepitaxie, die im wesentlichen aus Silizium besteht und die
eine vertikale Folge dotierter Gebiete umfaßt, mindestens eine
dotierte Schicht mit einem nicht konstanten lateralen Dotier
stoffprofil erzeugt. Dazu wird der Dotierstoff beim Aufwachsen
der dotierten Schicht unter einem Winkel von weniger als 90° zur
Hauptfläche zugegeben. Durch Abschattung des Dotierstoffes durch
die Mikroschattenmaske entsteht dabei in der dotierten Schicht
nicht konstantes laterales Dotierstoffprofil.
Als Substrat ist sowohl ein monokristallines Siliziumsubstrat als
auch ein SOI-Substrat geeignet. In der Mesastruktur können durch
Zugabe von Germanium Heteroübergänge gebildet werden.
Es ist besonders vorteilhaft, das Substrat während der lokalen
Molekularstrahlepitaxie zur Bildung der dotierten Schicht zu ro
tieren, da damit ein rotationssymmetrisches laterales Dotier
stoffprofil erzeugt werden kann. Je nach Winkel, unter dem der
Dotierstoff zugegeben wird, wird auf diese Weise ein laterales
Dotierstoffprofil erzeugt, das im Inneren der Mesastruktur ein
Maximum bzw. Minimum aufweist.
Durch Einstrahlen des Dotierstoffs unter einem sehr kleinen Win
kel und/oder Verwendung einer verhältnismäßig dicken Mikroschat
tenmaske kann ein Dotierstoffprofil erzeugt werden, das in einem
eng begrenzten Bereich im Inneren der Mesastruktur ein Minimum
aufweist und außerhalb von dem eng begrenzten Bereich einen im
wesentlichen konstanten höheren Wert aufweist. Dotierte Schichten
mit derartigen lateralen Dotierstoffprofilen sind vorteilhaft
einsetzbar in Quanteneffektbauelementen mit SiGe, um die Ladungs
träger in der Mitte des Bauelementes zu konzentrieren.
Durch Zugabe des Dotierstoffs unter einem relativ großen Winkel,
vorzugsweise im Bereich zwischen 80° und 85° gegenüber der Haupt
fläche, wird ein laterales Dotierstoffprofil erzeugt, das im In
neren der Mesastruktur einen Maximalwert aufweist und am Rand der
Mesastruktur ein Minimum aufweist. Eine dotierte Schicht mit ei
nem solchen lateralen Dotierstoffprofil ist vorteilhaft einsetz
bar in einem vertikalen MOS-Transistor als δ-dotierte Schicht im
Kanalbereich. Bei einem vertikalen MOS-Transistor werden Gate
dielektrikum und Gateelektrode an Flanken der Mesastruktur auf
gebracht. Da die dotierte Schicht am Rand der Mesastruktur, das
heißt an der Grenzfläche zum Gatedielektrikum, einen niedrigen
Wert aufweist, hat der auf diese Weise hergestellte MOS-Transi
stor eine geringere Einsatzspannung, als es der Dotierstoffkon
zentration der dotierten Schicht im Inneren der Mesastruktur ent
spricht. Dieser erhöhte Wert der Dotierstoffkonzentration der do
tierten Schicht im Inneren der Mesastruktur gewährleistet gleich
zeitig einen geringen thermionisch induzierten Leckstrom in die
sem Bereich.
Zur Herstellung eines MOS-Transistors nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren wird ein Substrat verwendet, das im Bereich der Haupt
fläche von einem ersten Leitfähigkeitstyp dotiert ist. Zur Bil
dung der Mesastruktur werden auf die Hauptfläche nacheinander ein
erstes vom ersten Leitfähigkeitstyp dotiertes Gebiet, ein zweites
von einem zweiten dem ersten entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp
dotiertes Gebiet, die dotierte Schicht, die vom zweiten Leitfä
higkeitstyp dotiert wird, ein drittes vom zweiten Leitfähig
keitstyp dotiertes Gebiet und ein viertes vom ersten Leitfähig
keitstyp dotiertes Gebiet aufgewachsen. Bei der Molekularstrah
lepitaxie wird der jeweils entsprechende Dotierstoff zugegeben.
Das erste dotierte Gebiet und das vierte dotierte Gebiet bilden
dabei jeweils Source- bzw. Draingebiet des MOS-Transistors. Das
zweite dotierte Gebiet und das dritte dotierte Gebiet bilden den
Kanalbereich des MOS-Transistors, der vorzugsweise in der Mitte
eine Ö-dotierte Schicht aufweist, die durch eine wenige Nanometer
dicke dotierte Schicht realisiert wird. Mindestens im Innern der
Mesastruktur ist die Dotierstoffkonzentration in der dotierten
Schicht dabei höher als in dem zweiten dotierten Gebiet und in
dem dritten dotierten Gebiet.
Nach Entfernen der Mikroschattenmaske wird mindestens an einer
Flanke der Mesastruktur, die das Minimum der Dotierstoffkonzen
tration in der dotierten Schicht umfaßt, ein Gatedielektrikum und
darauf eine Gateelektrode erzeugt. Vorzugsweise wird das Substrat
beim Aufwachsen der dotierten Schicht rotiert, so daß sich das
Minimum der Dotierstoffkonzentration als Ring am Rand der Me
sastruktur ergibt. In diesem Fall werden das Gatedielektrikum und
die Gateelektrode ebenfalls ringförmig an den Flanken der Me
sastruktur erzeugt.
Abschließend wird eine Passivierungsschicht erzeugt, in der Kon
taktlöcher zu der Gateelektrode und zu dem vierten Gebiet geöff
net und mit Metallisierungen versehen werden. Zum Anschluß des
ersten dotierten Gebietes liegt es im Rahmen der Erfindung, ein
Kontaktloch auf die Hauptfläche des Substrats zu öffnen und mit
einer Metallisierung zu versehen.
Es liegt im Rahmen der Erfindung, beim Aufwachsen der dotierten
Gebiete, die Source- bzw. Drainbereiche des MOS-Transistors bil
den, den Dotierstoff unter einem Winkel von weniger als 90° zur
Hauptfläche des Substrats zuzugeben. Dadurch entsteht auch in
diesen dotierten Gebieten ein lateral nicht konstant es Dotier
stoffprofil, das sich im Betrieb des MOS-Transistors ähnlich ei
nem LDD-Profil verhält.
Vorzugsweise werden das erste dotierte Gebiet und das vierte do
tierte Gebiet jeweils in eine Dicke senkrecht zur Hauptfläche von
50 bis 200 nm, das zweite dotierte Gebiet und das dritte dotierte
Gebiet jeweils in einer Dicke senkrecht zur Hauptfläche von 10
bis 100 nm und die dotierte Schicht in einer Dicke senkrecht zur
Hauptfläche von 1 bis 10 nm aufgewachsen. Die Mikroschattenmaske
wird vorzugsweise auf der Basis einer Doppelschicht mit einer
Siliziumoxidschicht und einer Siliziumnitridschicht hergestellt.
Dabei wird in der Siliziumnitridschicht mindestens eine Öffnung
erzeugt. Unter Verwendung der strukturierten Silizium
nitridschicht als Maske wird die Siliziumoxidschicht so struktu
riert, daß im Bereich der Öffnung die Hauptfläche des Substrats
freigelegt wird und daß eine Unterätzung der Siliziumoxidschicht
unter die Siliziumnitridschicht entsteht. Die Verwendung der
Doppelschicht zur Bildung der Mikroschattenmaske ist vorteilhaft,
da in der Siliziumprozeßtechnik übliche Materialien verwendet
werden und da zum Entfernen der Maske ein Lift-off-Prozeß ver
wendet werden kann, in dem die Siliziumoxidschicht naßchemisch
geätzt wird.
Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels
und der Figuren näher erläutert.
Fig. 1 zeigt ein Siliziumsubstrat mit einer Siliziumoxidschicht
und einer strukturierten Siliziumnitridschicht.
Fig. 2 zeigt das Siliziumsubstrat nach Herstellung einer Mikro
schattenmaske.
Fig. 3 zeigt das Siliziumsubstrat beim Aufwachsen einer dotier
ten Schicht mit einem lateralen nicht konstanten Dotier
stoffprofil.
Fig. 4 zeigt das Siliziumsubstrat nach dem Aufwachsen einer Me
sastruktur.
Fig. 5 zeigt das Siliziumsubstrat nach Fertigstellung eines MOS-
Transistors.
Auf eine Hauptfläche eines Substrates 1 aus zum Beispiel monokri
stallinem Silizium mit einer (100-)Oberfläche wird durch thermi
sche Oxidation bei zum Beispiel 1050°C eine 1 µm dicke Siliziu
moxidschicht 2 aufgebracht (siehe Fig. 1). Auf die Siliziumoxid
schicht 2 wird in einem LPCVD-Prozeß bei 700°C eine 50 bis 100 nm
dicke Si₃N₄-Schicht aufgebracht. Unter Verwendung einer Maske
(nicht dargestellt), die mittels konventioneller Photolithogra
phie oder mit anderen Lithographieverfahren hergestellt wird,
wird die Siliziumnitridschicht 3 durch anisotropes Atzen in einem
CF₄-Plasma strukturiert, so daß eine Öffnung 4 entsteht, in der
die Oberfläche der Siliziumoxidschicht 2 freigelegt ist.
Unter Verwendung der strukturierten Siliziumnitridschicht 3 als
Maske wird die Siliziumoxidschicht 2 selektiv zur Siliziumnitrid
schicht 3 zum Beispiel mit gepufferter Flußsäure geätzt. Dabei
wird die Hauptfläche des Substrats 1 freigelegt. Gleichzeitig
entstehen Unterätzungen 4a der Siliziumoxidschicht 2 unter die
strukturierte Siliziumnitridschicht 3 (siehe Fig. 2).
Unter Verwendung der aus Siliziumoxidschicht 2 und Siliziumni
tridschicht 3 gebildeten Mikroschattenmasken wird durch Moleku
larstrahlepitaxie ein erstes dotiertes Gebiet 7 auf der Haupt
fläche des Substrats 1 aufgewachsen. Das erste dotierte Gebiet 7
wird durch Aufwachsen von Silizium unter Zugabe von Antimon er
zeugt. Auf das erste dotierte Gebiet 7 wird ein zweites dotiertes
Gebiet 8a aus Silizium aufgewachsen, das durch Zugabe von Bor p-
dotiert wird. Dabei wird eine Dotierstoffkonzentration von 10¹⁶
bis 10¹⁷ cm- 3 eingestellt. Während der Molekularstrahlepitaxie
wird das Substrat um eine Achse senkrecht zur Hauptfläche ge
dreht.
Auf das zweite dotierte Gebiet 8a wird eine dotierte Schicht 9a,
9b aufgewachsen. Beim Aufwachsen der dotierten Schicht 9a, 9b
wird Silizium aus einer ersten Quelle 5, deren Teilchenstrahl im
wesentlichen senkrecht auf die Hauptfläche des Substrats 1 ge
richtet ist und Bor aus einer zweiten Quelle 6, deren Teilchen
strahl unter einem Winkel kleiner 90°, zum Beispiel 83°, auf die
Hauptfläche des Substrats 1 gerichtet ist, verwendet. Durch das
schräge Einstrahlen des Dotierstoffes Bor bildet sich in der do
tierten Schicht 9a, 9b ein nicht konstantes laterales Dotier
stoffprofil aus. Während die Dotierstoffkonzentration in der
Mitte der dotierten Schicht 9a einen maximalen Wert annimmt,
zeigt die Dotierstoffkonzentration am Rand der dotierten Schicht
9b ein Minimum. Da das Substrat 1 während der Molekularstrah
lepitaxie um eine Achse senkrecht zur Hauptfläche rotiert wird,
bildet sich ein rotationssymmetrisches Dotierstoffprofil in der
dotierten Schicht 9a, 9b (siehe Fig. 3).
Während der Molekularstrahlepitaxie schlägt sich auf der Oberflä
che der Siliziumnitridschicht 3 Silizium nieder und bildet, ab
hängig von der Temperatur bei der die Molekularstrahlepitaxie
durchgeführt wird, amorphe oder polykristalline Siliziumschichten
7a.
Auf die dotierte Schicht 9a, 9b wird durch Molekularstrahlepita
xie von Silizium unter Zugabe von Bor ein drittes dotiertes Ge
biet 8b aufgewachsen. In dem dritten dotierten Gebiet wird eine
Dotierstoffkonzentration von 10¹⁶ bis 10¹⁷ cm-3 eingestellt. Auf
das dritte dotierte Gebiet 8b wird ein viert es dotiertes Gebiet
10 aus n⁺-dotiertem Silizium aufgewachsen, wobei während der Mo
lekularstrahlepitaxie als Dotierstoff Antimon zugegeben wird. Es
wird eine Dotierstoffkonzentration von < 10¹⁹cm-3 eingestellt
(siehe Fig. 4). Bei der molekularen Epitaxie zur Bildung des
dritten dotierten Gebietes 8b und des vierten dotierten Gebietes
10 schlägt sich Silizium auf der amorphen oder polykristallinen
Siliziumschicht 7a nieder, so daß eine dickere amorphe oder poly
kristalline Siliziumschicht 7a′ gebildet wird.
Bei der Molekularstrahlepitaxie wird das Substrat auf eine Tempe
ratur von 500 bis 700°C erhitzt. Silizium wird aus einem Elektro
nenstrahlverdampfer, der Dotierstoff aus einer Knudsen-Quelle
verwendet. Der Restgasdruck in einem Reaktor, in dem die Moleku
larstrahlepitaxie erfolgt, beträgt 3 × 10-10 mbar. Während der
Molekularstrahlepitaxie steigt der Druck auf 2 × 10-9 mbar.
In einem Lift-off-Prozeß, in dem die Siliziumoxidschicht 2 selek
tiv geätzt wird zum Beispiel mit Flußsäure, wird die Mikroschat
tenmaske und die darauf niedergeschlagene dickere amorphe oder
polykristalline Siliziumschicht 7a′ entfernt.
Das erste dotierte Gebiet 7, das zweite dotierte Gebiet 8a, die
dotierte Schicht 9a, 9b, das dritte dotierte Gebiet 8b und das
vierte dotierte Gebiet 10 bilden eine Mesastruktur. Zur Fertig
stellung eines MOS-Transistors werden mindestens die Flanken der
Mesastruktur mit einem Gatedielektrikum 11 versehen. Das Gatedie
lektrikum 11 wird aus SiO₂ bei einer Niedertemperaturoxidation im
Temperaturbereich 800°C gebildet. Auf dem Gatedielektrikum wird
eine Gateelektrode 12 aus zum Beispiel dotiertem Polysilizium
gebildet. Die Gateelektrode 12 wird so strukturiert, daß sie auf
der Mesastruktur eine Öffnung aufweist, durch die später ein Kon
takt zur vierten dotierten Schicht 10 gebildet werden kann (siehe
Fig. 5). Es wird ganzflächig eine Passivierungsschicht 13 aus
Siliziumoxid abgeschieden. In der Passivierungsschicht 13 werden
Kontaktlöcher zu dem vierten dotierten Gebiet 10 sowie zu der
Gateelektrode 12 geöffnet. Das Kontaktloch zur Gateelektrode wird
mit einer Metallisierung 14 aus zum Beispiel Aluminium und das
Kontaktloch zum vierten dotierten Gebiet 10 mit einer Metal
lisierung 15 aus zum Beispiel Aluminium versehen.
Seitlich des in Fig. 5 gezeigten Ausschnittes wird in der Passi
vierungsschicht 13 aus Siliziumoxid ein Kontaktloch auf die
Hauptfläche des Substrats 1 geöffnet und mit einer Metallisierung
versehen. Über diese Metallisierung wird das erste dotierte Ge
biet 7 angeschlossen.
Das erste dotierte Gebiet 7 und das vierte dotierte Gebiet 10
bilden Source- und Draingebiete, das zweite dotierte Gebiet 8a
und das dritte dotierte Gebiet 8b mit der dotierten Schicht 9a,
9b bilden einen Kanalbereich für den MOS-Transistor. Im Innern
der dotierten Schicht 9a wird eine Dotierstoffkonzentration von
10¹⁸ bis 10¹⁹ cm-3 eingestellt, die einen geringen Leckstrom ge
währleistet. An der Grenzfläche zum Gatedielektrikum 12 dagegen
wird in der dotierten Schicht 9b eine Dotierstoffkonzentration
von 10¹⁷ bis 10¹⁸ cm-3 eingestellt, die eine niedrige Einsatz
spannung des MOS-Transistors bestimmt.
Der Prozeßablauf zur Fertigstellung des MOS-Transistors muß so
geführt werden, daß eine Verbreiterung des Dotierstoffprofiles in
der Mesastruktur durch die Temperaturbelastung vermieden wird.
Vorzugsweise werden neue Prozeßschritte mit Temperaturen unter
800°C eingesetzt.
Claims (9)
1. Verfahren zur Herstellung eines Bauelementes mittels Moleku
larstrahlepitaxie,
- - bei dem auf einer Hauptfläche eines Substrates (1), das minde stens im Bereich der Hauptfläche monokristallines Silizium um faßt, eine Mikroschattenmaske (2, 3) erzeugt wird,
- - bei dem durch lokale Molekularstrahlepitaxie auf der freilie genden Hauptfläche des Substrates (1) eine freistehende Me sastruktur (7, 8a, 9a, 9b, 8b, 10) im wesentlichen aus Silizium erzeugt wird, die eine vertikale Folge dotierter Gebiete um faßt,
- - bei dem durch Zugabe von Dotierstoff während der lokalen Mole kularstrahlepitaxie in der Mesastruktur mindestens eine dotier te Schicht (9a, 9b) erzeugt wird,
- - bei dem der Dotierstoff beim Aufwachsen der dotierten Schicht unter einem Winkel von weniger als 90° zur Hauptfläche zugege ben wird, so daß durch Abschattung durch die Mikroschattenmaske (2, 3) in der dotierten Schicht (9a, 9b) ein laterales Dotier stoffprofil entsteht,
- - bei dem nach Entfernen der Mikroschattenmaske (2, 3) die Me sastruktur (7, 8a, 9a, 9b, 8b, 10) mit Anschlüssen (14, 15) versehen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
bei dem das Substrat (1) während der lokalen Molekularstrahlepi taxie zur Bildung der dotierten Schicht (9a, 9b) rotiert wird, so daß das laterale Dotierstoffprofil rotationssymmetrisch wird.
bei dem das Substrat (1) während der lokalen Molekularstrahlepi taxie zur Bildung der dotierten Schicht (9a, 9b) rotiert wird, so daß das laterale Dotierstoffprofil rotationssymmetrisch wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
- - bei dem das Substrat (1) mindestens im Bereich der Hauptfläche von einem ersten Leitfähigkeitstyp dotiert ist,
- - bei dem zur Bildung der Mesastruktur auf die Hauptfläche ein erstes vom ersten Leitfähigkeitstyp dotiertes Gebiet (7), dar auf ein zweites, von einem zweiten vom ersten entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp dotiertes Gebiet (8a), darauf die dotierte Schicht (9a, 9b), die vom zweiten Leitfähigkeitstyp dotiert wird, darauf ein drittes vom zweiten Leitfähigkeitstyp dotier tes Gebiet (8b) und darauf ein viertes vom ersten Leitfähig keitstyp dotiertes Gebiet (10) aufgewachsen werden, wobei bei der Molekularstrahlepitaxie jeweils entsprechender Dotierstoff zugegeben wird,
- - bei dem die Dotierstoffkonzentration in der dotierten Schicht (9a, 9b) am Rand der Mesastruktur mindestens ein Minimum auf weist und im Inneren der Mesastruktur größer als in dem zweiten dotierten Gebiet (8a) und dem dritten dotierten Gebiet (8b) ist,
- - bei dem nach Entfernen der Mikroschattenmaske (2, 3) mindestens an einer Flanke der Mesastruktur, die das Minimum der Dotier stoffkonzentration in der dotierten Schicht (9b) umfaßt, ein Gatedielektrikum (11) und darauf eine Gateelektrode (12) er zeugt werden,
- - bei dem eine Passivierungsschicht (13) aufgebracht wird, in der Kontaktlöcher zu der Gateelektrode und zu dem vierten dotierten Gebiet (10) geöffnet und mit Metallisierungen (14, 15) versehen werden.
4. Verfahren nach Anspruch 3,
bei dem beim Aufwachsen der dotierten Schicht (9a, 9b) der Do
tierstoff unter einem Winkel im Bereich zwischen 80° und 85° ge
gen die Hauptfläche zugegeben wird, wobei der Abstand zwischen
Substrat (1) und Dotierstoffquelle (6) 30 cm bis 1 m beträgt und
die Dicke der Mikroschattenmaske (2, 3) zwischen 0,5 µm und 1,5 µm
liegt.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4,
bei dem beim Aufwachsen des ersten dotierten Gebietes (7) und des
vierten dotierten Gebietes (10) der Dotierstoff unter einem Win
kel von weniger als 90° zur Hauptfläche des Substrats (1) zugege
ben wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 5,
bei dem das erste dotierte Gebiet (7) und das vierte dotierte Ge
biet (10) jeweils in einer Dicke senkrecht zur Hauptfläche von 50
bis 200 nm, das zweite dotierte Gebiet und das dritte dotierte
Gebiet (8a, 8b) jeweils in einer Dicke senkrecht zur Hauptfläche
von 10 bis 50 nm und die dotierte Schicht (9a, 9b) in einer Dicke
senkrecht zur Hauptfläche von 1 bis 10 nm aufgewachsen werden.
7. Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 2,
- - bei dem das Substrat (1) mindestens im Bereich der Hauptfläche von einem ersten Leitfähigkeitstyp dotiert ist,
- - bei dem zur Bildung der Mesastruktur auf die Hauptfläche ein erstes vom ersten Leitfähigkeitstyp dotiertes Gebiet, darauf die dotierte Schicht, die von einem zweiten zum ersten entge gengesetzten Leitfähigkeitstyp dotiert wird, und darauf ein zweites, vom ersten Leitfähigkeitstyp dotiertes Gebiet aufge wachsen wird, wobei bei der Molekularstrahlepitaxie jeweils entsprechender Dotierstoff zugegeben wird,
- - bei dem die Dotierstoffkonzentration in der dotierten Schicht im Inneren der Mesastruktur in einem lateral begrenzten Gebiet mindestens ein Minimum aufweist und außerhalb des lateral be grenzten Gebietes einen im wesentlichen konstanten höheren Wert annimmt.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
- - bei dem zur Herstellung der Mikroschattenmaske auf die Haupt fläche eine Siliziumoxidschicht (2) und eine Siliziumnitrid schicht (3) aufgebracht werden,
- - bei dem in der Siliziumnitridschicht (3) mindestens eine Öff nung (4) erzeugt wird,
- - bei dem unter Verwendung der strukturierten Siliziumnitrid schicht (3) als Maske die Siliziumoxidschicht (2) so struktu riert wird, daß im Bereich der Öffnung (4) die Hauptfläche des Substrats (1) freigelegt wird und daß eine Unterätzung der Si liziumoxidschicht (2) unter die Siliziumnitridschicht (3) ent steht,
- - bei dem das Entfernen der Mikroschattenmaske in einem Lift-off- Prozeß erfolgt, in dem die Siliziumoxidschicht (2) naßchemisch geätzt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8,
bei dem die Siliziumnitridschicht (3) in einer Dicke von 50 bis
100 nm und die Siliziumoxidschicht (2) in einer Dicke im Bereich
(1 µm ± 0,5 µm) aufgebracht werden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944409007 DE4409007C1 (de) | 1994-03-16 | 1994-03-16 | Verfahren zur Herstellung eines Bauelementes mittels Molekularstrahlepitaxie |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944409007 DE4409007C1 (de) | 1994-03-16 | 1994-03-16 | Verfahren zur Herstellung eines Bauelementes mittels Molekularstrahlepitaxie |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4409007C1 true DE4409007C1 (de) | 1995-03-30 |
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ID=6512989
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19944409007 Expired - Fee Related DE4409007C1 (de) | 1994-03-16 | 1994-03-16 | Verfahren zur Herstellung eines Bauelementes mittels Molekularstrahlepitaxie |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4409007C1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19746901A1 (de) * | 1997-10-23 | 1999-05-06 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung eines vertikalen MOS-Transistors |
-
1994
- 1994-03-16 DE DE19944409007 patent/DE4409007C1/de not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Appl.Phys.Lett. 62 (1993), pp 2221-2228 * |
Brit.Rev. Solid State Mat. 18 (1991), pp 1-67 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19746901A1 (de) * | 1997-10-23 | 1999-05-06 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung eines vertikalen MOS-Transistors |
DE19746901C2 (de) * | 1997-10-23 | 1999-08-12 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung eines vertikalen MOS-Transistors |
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