DE4233933A1 - Ultraschallmotor - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 1
- 101100400378 Mus musculus Marveld2 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 229920001893 acrylonitrile styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000010339 dilation Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- SCUZVMOVTVSBLE-UHFFFAOYSA-N prop-2-enenitrile;styrene Chemical compound C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 SCUZVMOVTVSBLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012945 sealing adhesive Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 description 1
- 229920006305 unsaturated polyester Polymers 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschall-Umlaufmotor mit
piezoelektrischen Transducern, insbesondere einen ringförmigen piezoelek
trischen Motor mit Transducerabschnitten von diskusförmiger Gestalt.
Beim Stand der Technik sind verschiedene Ausführungsarten von solchen
Motoren bekannt, die aus einem ringförmigen oder zylindrischen Stator
gebildet sind, der an einem ringförmigen piezoelektrischen Transducer
angekoppelt ist. Der Rotor, der sich auf die Oberfläche des Stators stützt,
wird durch die elliptischen Bewegungen, die auf der Oberfläche des Stators
erzeugt werden, mitgeführt.
Der piezoelektrische Transducer besteht aus einem Keramikring, der über
eine Vielzahl von einander in gegensätzlichem Sinne abwechselnd polari
sierten Abschnitten verfügt. Eine auf die untere Oberfläche des kerami
schen Ringes aufgesetzte Elektrode gestattet es, eine Wechselspannung
anzulegen, die im Bereich jedes Abschnitts eine Deformation erzeugt,
deren Größe im wesentlichen proportional zur angewandten Spannung ist.
Die Masse wird durch den metallischen Stator gebildet. Diese erste Ab
folge von polarisierten Abschnitten gestattet es, eine stehende Welle zu
erzeugen. Eine zweite Abfolge von polarisierten Abschnitten, deren Phasen
verschoben sind, erzeugen eine zweite stehende Welle. Die Überlagerung
dieser beiden erzwungenen Schwingungen erzeugt eine vorwärts schreiten
de Welle, die die Bewegungen der Oberfläche erzeugt, die mit Hilfe einer
Zwischenschicht zur Mitführung des Rotors führen.
Die Ringe aus Keramikmaterial sind zerbrechlich und erfordern bei der
Herstellung der ringförmigen Transducer und beim Zusammenbau des
Stators ein technisches Wissen, das sich in erhöhten Fabrikationskosten
niederschlägt. Ihre Handhabung zum Zeitpunkt der Polarisation führt zu
einem nicht zu vernachlässigenden Ausschuß. Darüber hinaus wird es für
Motoren kleiner Größe schwierig, die Polarisation der Abschnitte zu
erzeugen. Diese Polarisation wird dadurch erzeugt, daß die verschiedenen
Abschnitte bei einer solchen Temperatur einer hohen Spannung unter
worfen werden, die höher als die Umgebungstemperatur ist. Wenn der
Durchmesser des Keramikringes gering ist, ist es notwendig, die Erzeugung
der spezifischen Polarisation mit großer Genauigkeit durchzuführen.
Es ist im Stand der Technik vorgeschlagen worden, den piezoelektrischen
Transducer in Gestalt von unabhängigen Resonatoren auszugestalten,
deren Gestalt einem ringförmigen Abschnitt eines Ringes entspricht. Eine
solche Ausführungsart ist in der US 47 36 129 beschrieben.
Diese Ausführungsart gestattet es, die Polarisationsprobleme eines Trans
ducers mit kleinem Durchmesser anzugehen. Die Herstellung von solchen
Resonatoren bleibt jedoch schwierig und ihr Zusammenbau ist relativ kom
plex.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe
zugrunde, eine Ausführungsart eines Ultraschallmotors vorzuschlagen, die
es gestattet, die Fabrikationskosten und die Montagekosten des Trans
ducers stark zu senken und die Wirkungsweise des Ultraschallmotors zu
verbessern, bei dem ein solcher Transducer verwendet wird.
Die Erfindung weist insbesondere das Mittel auf, daß der piezoelektrische
Transducer aus kleinen Plättchen zylindrischer Form hergestellt ist, die auf
die Oberfläche des Stators geklebt sind, wobei die besagten Plättchen
rechtwinklig zur Oberfläche des besagten Stators polarisiert sind. Unter
zylindrisch muß jede Form verstanden werden, die durch die Verschiebung
einer Erzeugenden entlang einer geschlossenen Kurve hergestellt wird.
Vorzugsweise sind die Plättchen Scheiben.
Solche Plättchen sind besonders einfach herzustellen und zu polarisieren,
und dies sowohl in kleinen als auch in großen Größen.
Der Zusammenbau ist ebenfalls viel einfacher geworden, dadurch, daß die
Plättchen identisch und axial symmetrisch aufgebaut sind.
Die ursprüngliche Polarisation der Plättchen wird in der außerhalb der
Ebene liegenden Richtung durchgeführt. Die Ankopplung der Plättchen an
die metallische Struktur wird durch das Mittel einer Klebeverbindung
bewirkt und ist von dem piezoelektrischen Koeffizienten d31 abhängig.
Somit werden nacheinander die Kontraktionen und die Dilatationen der
aufeinanderfolgend auf dem Stator aufgeklebten Plättchen in radialer
Richtung ausgenutzt. Die Isotropie der Plättchen wird beim Stator durch
die Erregung von umkreisförmigen Vibrationsmoden einerseits und von
parasitären radialen Moden andererseits umgesetzt. Die Geometrie des
Stators ist dergestalt, daß die Resonanzfrequenzen in radialer Richtung und
die in umfänglicher Richtung klar zu unterscheiden sind. Daher verschlech
tert die Abwesenheit einer Koppelung zwischen zwei nebeneinander
angeordneten Plättchen nicht die Qualität der Erregung, selbst wenn die
besagten nebeneinander liegenden Plättchen in einem Abstand vonein
ander auseinander liegen, um ihre Positionierung bei der Herstellung zu
vereinfachen. Vorteilhafterweise sind zwei nebeneinander angeordnete
Scheiden durch einen Abstand zwischen 0,7·D und 0,9·D getrennt, wobei
mit D der Durchmesser der Plättchen 4 bis 19 bezeichnet wird, wobei der
Durchmesser der Plättchen 4 bis 19 zwischen dem 0,7- und dem 0,9fachen
des Viertels der Wellenlänge der Einheit liegt, die durch den Stator und
den ihm zugeordneten Elementen, insbesondere den piezoelektrischen
Plättchen, erzeugt wird.
Gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel sind die piezoelektrischen
Plättchen nebeneinander und mit jeweils inversen Polaritäten auf der
unteren Oberfläche des Stators aufgeklebt. Die Plättchen sind in zwei Ab
folgen angeordnet, die jeweils durch außerhalb der Phase in einem Phasen
abstand von einer Viertel Wellenlänge liegende Signale beaufschlagt
werden. Der Winkelabstand zwischen zwei aufeinander folgenden Plättchen
liegt bei einer halben Wellenlänge.
Gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel, das insbesondere bei Statoren
kleinen Durchmessers benutzt wird (die gemäß einer kleinen Vibrations
mode des Ranges n angeregt werden), sind die piezoelektrische Plättchen
auf der unteren Oberfläche des Stators in einer Weise aufgeklebt, daß zwei
nebeneinander liegende Plättchen einer ersten Polarität an zwei nebenein
ander liegenden Plättchen einer zweiten Polarität und entsprechend
fortlaufend angeordnet sind. Der Winkelabstand zwischen zwei aufeinander
folgenden Plättchen liegt bei einem Viertel der Wellenlänge.
Dieses Ausführungsbeispiel gestattet es, die aktive Oberfläche des Trans
ducers zu erhöhen und die globale axiale Symmetrie des Stators aufrecht
zuerhalten.
Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Herstellungsverfahren für einen
Ultraschallmotor. Das Verfahren besteht insbesondere daraus, auf der
unteren Oberfläche des Stators eine Maske aufzubringen, die Ausschnitte
aufweist, deren Ausmaße im wesentlichen den Ausmaßen der piezoelek
trischen Plättchen entsprechen. Diese Maske ist mit einer nicht-haftenden
Beschichtung versehen. Diese gestattet die genaue Anordnung der Plätt
chen und ihrer Klebung auf der unteren Oberfläche des Stators. Nach dem
Kleben der Plättchen wird die Maske entfernt.
Die Erfindung wird nun beispielhaft und erläuternd an Hand der beigefüg
ten Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine Explosionsansicht des Motors,
Fig. 2 eine Schnittansicht des Motors,
Fig. 3 eine Vorderansicht des Stators,
Fig. 4 eine Unteransicht des Stators gemäß einem zweiten Ausführungsbei
spiel, und
Fig. 5 eine Maske zum Zusammenbau des Stators.
Der im Zusammenhang mit der Fig. 1 beschriebene Ultraschallmotor
besteht aus einem Stator 1 und einem koaxialen Rotor 2.
Der Stator 1 besteht aus einem metallischen Teil in Ringform, welche eine
gezahnte Krone 3 aufweist.
Auf der unteren Oberfläche des Stators 1 sind piezoelektrische Plättchen 4
bis 19 aufgeklebt, wobei die sich dabei ergebende Geometrie aus der
folgenden Beschreibung hervorgehen wird. Diese piezoelektrische Plätt
chen 4 bis 19 mit einer zylindrischen Form sind mit einem Klebstoff des
Typs Zyanolith aufgeklebt und bilden mit dem Stator 1 einen Resonanz
körper. Die Erregung dieses Resonanzkörpers wird durch die Ausnützung
des inversen piezoelektrischen Effekts bewirkt. Die Anwendung einer
elektrischen Spannung auf die metallischen Flächen 16 bis 27 der piezo
elektrischen Plättchen 4 bis 19 erzeugt eine mechanische Deformation. Die
Verbindung des inversen piezoelektrischen Effekts und der Eigenschaften
der mechanischen Resonanz der durch den Stator 1 einerseits und den
piezoelektrischen Plättchen 4 bis 19 anderseits gebildeten Gesamtstruktur
gestattet es, mechanische Vibrationen zu erzeugen, die ursächlich die
Bewegung des Rotors 2 bewirken.
Die piezoelektrischen Plättchen 4 bis 19 bestehen aus einem piezoelek
trischen Material wie Bariumtitanat (BaTiO3).
Der Rotor 2 wird durch das Mittel eines nicht-haftenden Materials 28
angetrieben, wie z. B. Naturgummi, ein thermoplastisches Material wie Sty
ren-Harz, ein acrylisches Harz wie Polyäthylen oder ein Epoxy-Harz, ein
ungesättigter Polyester oder ein Kopolymer-Harz wie Acrylonitril-Styren-
Harz, welches mit einem Additiv versehen ist, wie z. B. Kohlenstoffpulver,
Silizium oder Talkum.
Der Rotor 2 besteht aus einem verformbaren Teil in Konusform, welches
eine Federfunktion aufweist, um den Andruck des Rotors 2 auf den Stator
1 mit der nötigen Kraft zu gewährleisten.
Die Fig. 3 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel der piezoelektrischen
Plättchen. Die Plättchen sind in der Weise aufgeklebt, um alternierende
Polaritäten aufzuzeigen.
Gemäß dieses Ausführungsbeispiels entspricht die Zahl P der Plättchen:
P=2(n-1),
wobei n den Vibrationsmodus bezeichnet.
Die unten dargestellte Tabelle zeigt, im Winkelmaß, die Winkelposition Pi
der Plättchen von einer Referenzachse in Abhängigkeit vom Rang n des
gewählten Vibrationsmodus.
Der Winkelabstand zwischen zwei aufeinander folgenden Plättchen und
damit von gegenüber liegender Polaritäten entspricht einer halben Wellen
länge. Unter dem Begriff der halben Wellenlänge versteht man jenen Ab
stand, der zwei aufeinander folgende Vibrationsknoten des Stators vonein
ander getrennt.
Die Plättchen sind in zwei Abfolgen, jeweils mit 4 bis 11 und 12 bis 19
bezeichnet, verteilt. Zwischen diesen beiden Abfolgen von Plättchen
befindet sich ein erster toter Bereich 20 mit einer Winkelöffnung, die drei
Viertel der Wellenlänge entspricht, und ein zweiter toter Bereich 21 mit
einer Winkelöffnung von einer Viertel Wellenlänge. Unter einem toten
Bereich versteht man den Oberflächenbereich des Stators 1, auf dem keine
erregende Kraft piezoelektrischen Ursprungs angewandt werden kann.
Die erste Abfolge von Plättchen 4 bis 11 wird durch eine leitende Elektrode
22 erregt, die es gestattet, auf jeder der Plättchen 4 bis 11 ein
elektrisches Feld wirken zu lassen. Der Stator 1 bildet die Masse und damit
die andere Elektrode.
Eine sinusförmige Spannung des Typs U · sin(t) wird auf diese Elektrode
angewandt.
Die zweite Abfolge von piezoelektrischen Plättchen 12 bis 19 wird durch
eine zweite metallische Elektrode 23 erregt, die durch eine Spannung
U · cos(t) angeregt wird und die zu der ersten um eine Viertel Wellenlänge
außer Phase ist. Die sinusförmigen Spannungen, die jede Elektrode 22,
23 beaufschlagen, bewirken Vibrationen in der Tiefe (d. h. entsprechend
einer Achse, die senkrecht auf der aktiven Oberfläche steht) von jedem
der Keramikteile 4 bis 19 durch Vibrationsresonanzen in den zu erzeugenden
Eigenphasen zur Biegung des Stators 1 und um zwei stehende Wellen
zu erzeugen, deren Resultierende zu einer fortschreitenden Welle führt, die
sich in Oberflächenbewegungen übersetzt, die geeignet sind, den Stator 1
zu bewegen.
Die Fig. 4 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel von piezoelektrischen
Plättchen.
Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel sind die Plättchen in einer solchen
Weise angeordnet, um aufeinanderfolgend zwei polarisierte Elemente in
einem ersten Sinne und dann zwei in entgegengesetztem Sinne polarisierte
Elemente zu erzeugen. Gemäß diesem zweiten Ausführungsbeispiel entspricht
die Anzahl P der Plättchen:
P=4n,
wobei n den Rang des Vibrationsmodus bezeichnet.
Entgegen der Anordnungsart nach Fig. 3, wo jede Elektrodenabfolge durch
eine Elektrode 22, 23 angeregt wird, die im wesentlichen einen Halbkreis
überdeckt, sind die piezoelektrischen Plättchen beim zweiten Ausführungs
beispiel einzeln angeregt. Jedes der Plättchen trägt auf der dem Stator 1
gegenüber liegenden Oberfläche ein leitendes Plättchen, das mit einer
sinusförmigen Spannung beaufschlagt wird.
Die Anordnung der Plättchen auf der Oberfläche des Stators 1 entspricht
einer Abfolge, bei denen:
- - das erste Plättchen der Abfolge ist in einer ersten Richtung polari siert und ist mit einer Spannung des Typs U·sin(ωt) beaufschlagt.
- - das zweite Plättchen der Abfolge ist in derselben ersten Richtung polarisiert und ist mit einer Spannung des Typs U·cos(ωt) beaufschlagt.
- - das dritte Plättchen der Abfolge ist in der zweiten, der ersten Richtung entgegengesetzten Richtung polarisiert und ist mit einer Span nung des Typ U·sin(ωt) beaufschlagt.
- - das vierte Plättchen der Abfolge ist in der zweiten Richtung polari siert und ist mit einer Spannung des Typ U·cos(ωt) beaufschlagt.
Dieses Anordnungsmotiv wiederholt sich n-mal, wobei n den Vibrations
modus bezeichnet. Zwei aufeinanderfolgende Plättchen sind somit im
Winkelabstand von einer Viertel Wellenlänge angeordnet.
Wie oben beschrieben erzeugt man zwei stehende Vibrationswellen, deren
Überlagerung eine fortschreitende Welle erzeugt, die Oberflächenbewe
gungen erzeugt, die den Stator 1 mitziehen und bewegen. Dieses zweite
Ausführungsbeispiel der Anordnung der Plättchen hat den Vorteil einer
größeren Symmetrie, was es gestattet, den Anteil der parasitären Harmo
nischen zu verringern.
Der Zusammenbau wird durch die Benutzung einer Maske 69 vereinfacht,
wie sie in der Fig. 5 dargestellt ist. Diese Maske verfügt über Ausschnitte
50 bis 66, die es gestatten, die Plättchen exakt auf der Oberfläche des
Rotors zu positionieren. Diese Maske 69 ist aus einem Blatt eines steifen
Materials hergestellt, welches mit einer nicht-haftenden Beschichtung wie
Teflon versehen ist. Sie ist während des Klebens der Plättchen auf der
Oberfläche des Rotors angeordnet. Nach dem Trocknen des Klebstoffs
wird die Maske entfernt. Die Fertigung wird vorteilhafterweise in einem
Träger 67 realisiert, der einen Hohlraum 68 aufweist, dessen Durchmesser
dem äußeren Durchmesser des Stators 1 entspricht. Ein komplementäres
ringförmiges Teil gestattet es, während der Klebung einen Druck auf die
piezoelektrischen Plättchen auszuüben. Dieses ringförmige Teil gestattet es
ebenfalls, eine abdichtende Klebeverbindung auszugestalten, welche den
Raum ausfüllt, der sich zwischen zwei benachbarten Plättchen befindet.
Der Fachmann kann natürlich eine Vielzahl von Abwandlungen des
vorgenannten Ausführungsbeispiels realisieren, ohne den Rahmen der
Erfindung zu verlassen.
Claims (7)
1. Ultraschallmotor des fortschreitende Wellen umfassenden Typs, mit
einem metallischen Stator, der durch einen piezoelektrischen Transducer
angeregt wird, und mit einem Rotor, der durch die Reibung mit Hilfe eines
Zwischenmaterials mitbewegt wird, dadurch gekennzeich
net, daß der piezoelektrische Transducer aus Plättchen (4 bis 19) zylindri
scher Form besteht, die auf der Oberfläche des Stators aufgeklebt sind,
wobei die besagten Plättchen rechtwinklig zur Oberfläche des besagten
Stators (1) polarisiert sind.
2. Ultraschallmotor nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die
piezoelektrischen Plättchen (4 bis 19) in einem Modus entsprechend der
Anordnung in der Dicke polarisiert sind.
3. Ultraschallmotor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die auf dem Stator aufgeklebten Plättchen (4 bis 19)
abwechselnd in entgegengesetztem Sinne polarisiert sind und in einem
Winkelabstand von einer halben Wellenlänge voneinander angeordnet sind.
4. Ultraschallmotor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Plättchen (4 bis 19) auf dem Stator in Paaren
gleicher Polarität aufgeklebt sind, wobei die besagten Paare jeweils ab
wechselnd in entgegengesetztem Sinne unterschiedlich polarisiert sind,
wobei zwei aufeinander folgende Plättchen in einem Winkelabstand von
einer Viertel Wellenlänge angeordnet sind.
5. Ultraschallmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die Plättchen (4 bis 19) voneinander getrennt sind,
wobei zwei aufeinander folgende Plättchen durch einen Abstand getrennt
sind, der zwischen 0,7 und 0,9 mal D liegt, wobei mit D der Durchmesser
der Plättchen (4 bis 19) bezeichnet ist.
6. Ultraschallmotor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der Durchmesser der Plättchen (4 bis 19) zwischen
dem 0,7- und dem 0,9fachen des Viertels der Wellenlänge der Resonanz
des mit den Plättchen (4 bis 19) versehenen Stators (1) entspricht.
7. Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallmotors, der einen Stator
umfaßt, der an seiner unteren Oberfläche aufgeklebte piezoelektrische
Resonatoren aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die
Anordnung der Plättchen durch eine Maske (69) gewährleistet wird, die
mit einer nicht-haftenden Schicht bedeckt ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9112486A FR2682544B1 (fr) | 1991-10-10 | 1991-10-10 | Moteur piezoelectrique annulaire a transducteurs segmentes de forme discouidale. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4233933A1 true DE4233933A1 (de) | 1993-04-29 |
Family
ID=9417778
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19924233933 Withdrawn DE4233933A1 (de) | 1991-10-10 | 1992-10-10 | Ultraschallmotor |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4233933A1 (de) |
FR (1) | FR2682544B1 (de) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008024071A1 (de) * | 2008-05-17 | 2009-12-17 | Festo Ag & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von Piezobiegewandlern sowie Piezonutzen zur Durchführung des Verfahrens |
US7806119B2 (en) | 2003-08-14 | 2010-10-05 | Intersurgical Uab | Airway device |
US8215307B2 (en) | 2002-08-14 | 2012-07-10 | Intersurgical Uab | Airway device |
USD665254S1 (en) | 2011-06-08 | 2012-08-14 | Intersurgical Ag | Airway device packaging |
USD688787S1 (en) | 2011-06-08 | 2013-08-27 | Intersurgical Ag | Airway device cap and strap holder |
USD712244S1 (en) | 2011-09-23 | 2014-09-02 | Intersurgical Ag | Medical device package |
US9265905B2 (en) | 2010-06-24 | 2016-02-23 | Ashkal Developments Limited | Stopper device |
USD761952S1 (en) | 2012-07-27 | 2016-07-19 | Docsinnovent Limited | Airway device |
US9937311B2 (en) | 2012-01-27 | 2018-04-10 | Ashkal Developments Limited | Stopper device |
USD842456S1 (en) | 2015-12-15 | 2019-03-05 | Intersurgical Ag | Airway device |
US11701484B2 (en) | 2017-12-13 | 2023-07-18 | Ashkal Developments Limited | Airway device |
USD1025348S1 (en) | 2020-04-16 | 2024-04-30 | Intersurgical Ag | Airway device |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2638856B2 (ja) * | 1987-11-11 | 1997-08-06 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ |
DE69030827T2 (de) * | 1989-02-14 | 1998-01-15 | Canon Kk | Vibrationswellenmotor |
-
1991
- 1991-10-10 FR FR9112486A patent/FR2682544B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-10-10 DE DE19924233933 patent/DE4233933A1/de not_active Withdrawn
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8778248B2 (en) | 2002-08-14 | 2014-07-15 | Muhammed Aslam Nasir | Method of manufacturing an airway device |
US10040231B2 (en) | 2002-08-14 | 2018-08-07 | Muhammed Aslam Nasir | Airway device |
US9475223B2 (en) | 2002-08-14 | 2016-10-25 | Muhammed Aslam Nasir | Method of manufacturing an airway device |
US8215307B2 (en) | 2002-08-14 | 2012-07-10 | Intersurgical Uab | Airway device |
US9266268B2 (en) | 2002-08-14 | 2016-02-23 | Muhammed Aslam Nasir | Method of manufacturing an airway device |
US8485188B2 (en) | 2003-08-14 | 2013-07-16 | Muhammed Aslam Nasir | Airway device |
US7806119B2 (en) | 2003-08-14 | 2010-10-05 | Intersurgical Uab | Airway device |
DE102008024071A1 (de) * | 2008-05-17 | 2009-12-17 | Festo Ag & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von Piezobiegewandlern sowie Piezonutzen zur Durchführung des Verfahrens |
DE102008024071B4 (de) * | 2008-05-17 | 2010-04-22 | Festo Ag & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von Piezobiegewandlern sowie Piezonutzen zur Durchführung des Verfahrens |
US9265905B2 (en) | 2010-06-24 | 2016-02-23 | Ashkal Developments Limited | Stopper device |
USD665254S1 (en) | 2011-06-08 | 2012-08-14 | Intersurgical Ag | Airway device packaging |
USD688787S1 (en) | 2011-06-08 | 2013-08-27 | Intersurgical Ag | Airway device cap and strap holder |
USD712244S1 (en) | 2011-09-23 | 2014-09-02 | Intersurgical Ag | Medical device package |
USD768846S1 (en) | 2012-01-27 | 2016-10-11 | Ashkal Developments Limited | Airway device |
USD769442S1 (en) | 2012-01-27 | 2016-10-18 | Ashkal Developments Limited | Airway device |
US9937311B2 (en) | 2012-01-27 | 2018-04-10 | Ashkal Developments Limited | Stopper device |
USD761952S1 (en) | 2012-07-27 | 2016-07-19 | Docsinnovent Limited | Airway device |
USD842456S1 (en) | 2015-12-15 | 2019-03-05 | Intersurgical Ag | Airway device |
USD877888S1 (en) | 2015-12-15 | 2020-03-10 | Intersurgical Ag | Airway device |
US11701484B2 (en) | 2017-12-13 | 2023-07-18 | Ashkal Developments Limited | Airway device |
USD1025348S1 (en) | 2020-04-16 | 2024-04-30 | Intersurgical Ag | Airway device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2682544A1 (fr) | 1993-04-16 |
FR2682544B1 (fr) | 1994-01-14 |
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