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Hintergrund
der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumerzeugungseinheit
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
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Vakuumerzeugungseinheiten
wurden bisher als Mittel für
die Zufuhr von Unterdruck zu einem Saugnapf verwendet. Eine solche
Vakuumerzeugungseinheit weist im allgemeinen beispielsweise einen
Ejektor, der zur Erzeugung des Unterdruckes verwendet wird, einen
Vakuumanschluss, der über eine
Rohrleitung mit einem Saugmittel, beispielsweise einem Saugnapf,
verbunden ist, einen Ventilmechanismusabschnitt, der mit einem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil
und einem solenoidbetätigten
Vakuumunterbrechungsventil für
die Zufuhr und das Absperren von Druckluft zu/von dem Ejektor bzw. dem
Vakuumanschluss versehen ist, und einen Vakuumschalterabschnitt
auf, der zur Feststellung des an dem Vakuumanschluss erzeugten Unterdruckes verwendet
wird.
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Der
Betrieb einer Vakuumerzeugungseinheit gemäß dem Stand der Technik, wie
er oben beschrieben wurde, wird nachfolgend schematisch erläutert.
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Die
Druckluft wird über
den Ventilmechanismusabschnitt dem Ejektor zugeführt, um den Unterdruck zu erzeugen.
Der Unterdruck, der durch den Ejektor erzeugt wird, wird dem Saugnapf über ein
mit dem Vakuumanschluss verbundenes Rohr zugeführt. Ein Werkstück wird
entsprechend der an dem Saugnapf erzeugten Wirkung des Unterdruckes
angezogen. Das von dem Saugnapf angezogene und gehaltene Werkstück wird
entsprechend einer Verschiebung eines Roboterarmes zu einer festgelegten
Position transportiert.
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Anschließend wird
das Werkstück,
das von dem Saugnapf gehalten wird, von diesem freigegeben, wenn
die Druckluft (positiver Druck) über
den mit dem Vakuumanschluss kommunizierenden Durchgang von dem Ventilmechanismusabschnitt dem
Saugnapf zugeführt
wird. Dementsprechend wird der Unterdruckzustand des Saugnapfes
aufgehoben. Als Folge hiervon wird das Werkstück von dem Saugnapf getrennt
und zu einer gewünschten Position
transportiert.
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Allgemein
wird gefordert, dass eine möglichst
geringe Größe und ein
möglichst
geringes Gewicht der Gesamtvorrichtung erreicht werden soll, indem
die Dimension des Grundkörperabschnitts
in Breitenrichtung im Wesentlichen senkrecht zu der Längserstreckung
reduziert wird. Dies hat folgenden Grund: Wenn eine Vielzahl von
Vakuumerzeugungseinheiten miteinander verbunden wird, um einen Verteiler
zu bilden, wird bei Reduzierung der Dimensionen des Grundkörperabschnitts
in Dickenrichtung ermöglicht,
einen solenoidbetätigten
Ventilverteiler mit extrem geringer Größe und niedrigem Gewicht zu
erhalten, wobei der Installationsraum effizient genutzt wird.
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Die
DE 38 18 380 C2 beschreibt
eine Strahlpumpenanordnung mit einem Druckfluidzufuhranschluss,
einem Sauganschluss und einem Ablassanschluss sowie einem Ejektorabschnitt.
Die Vorrichtung besteht aus mehreren Blöcken und weist zahlreiche Fluiddurchgänge auf,
von welchen einige parallel zueinander angeordnet sind. Die einzelnen
Blöcke
sind teilweise nebeneinander und teil weise übereinander angeordnet, wobei
sich die Durchgänge senkrecht
zu der Längsrichtung
der Strahlpumpe erstrecken.
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In
der Druckschrift
DE
42 29 834 A1 wird eine Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten
von Vakuumdruckinformationen für
eine Vakuumeinheit offenbart, wobei diese Einrichtung einen Ventilblock, einen
Ejektor, eine Nachweiseinheit und ein Verbindungsglied aufweist.
An der Oberseite dieser Einheiten sind ein erstes und ein zweites
elektromagnetisches Ventil nebeneinander angeordnet. Das erste elektromagnetische
Ventil dient als Druckluftzufuhrventil, während das zweite elektromagnetische
Ventil der Vakuumunterbrechung dient. Der Ejektor ist neben dem
Ventilblock angeordnet, wobei dieser senkrecht zur Längsrichtung
der Blöcke
verläuft.
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Die
Druckschrift
US 5,320,497 zeigt
ebenfalls eine Vakuumeinrichtung bestehend aus mehreren hintereinander
angeordneten Blöcken.
An der Oberseite der Blöcke
sind drei solenoidbetätigte Steuerventile
nebeneinander angeordnet.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Es
ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vakuumerzeugungseinheit
vorzuschlagen, die es ermöglicht,
eine geringe Größe und ein
niedriges Gewicht zu erreichen. Diese Aufgabe wird mit der Erfindung
durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
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Vorteilhafte
Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
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Weitere
Vorteile und Ziele der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der
nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels und der Zeichnung.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnung
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1 zeigt
einen schematischen Längsschnitt
in einer Axialrichtung einer Vakuumerzeugungseinheit gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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2 zeigt
eine Ansicht in Richtung eines Pfeiles A in 1;
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3 zeigt
eine Ansicht in Richtung eines Pfeiles B in 1;
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4 zeigt
einen vergrößerten Längsschnitt, der
ein erstes Schaltventil für
die in 1 gezeigte Vakuumerzeugungseinheit darstellt;
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5 zeigt
die durchzuführende
Operation, wenn ein Ventilkörper
des ersten Schaltventiles gemäß 4 nach
rechts verschoben wird, um einen Durchfluss-Zustand (ON-Zustand)
zu erhalten;
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6 zeigt
eine perspektivische Explosionsdarstellung, die Befestigungsmittel
für ein
erstes Gehäuse
und ein zweites Gehäuse
für einen
Vakuumdruckschalter darstellt, und
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7 zeigt
ein Schaltkreisdiagramm der in 1 gezeigten
Vakuumerzeugungseinheit.
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Beschreibung
der bevorzugten Ausführungsformen
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Die
Vakuumerzeugungseinheit 10 weist einen Grundkörperabschnitt 20 mit
einem ersten Blockelement 12, einem zweiten Blockelement 14, einem
dritten Blockelement 16 und einem vierten Blockelement 18,
die in Längsrichtung
in Reihe miteinander verbunden sind, einen solenoidbetätigten Ventilabschnitt 26,
der aus einem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil 22 und
einem solenoidbetätigten
Vakuumunterbrechungsventil 24 besteht, die an oberen Oberflächenabschnitten
des Grundkörperabschnitts 20 angeordnet
sind, einen Ejektorabschnitt 32, der im Inneren des Grundkörperabschnitts 20 angeordnet
ist und eine Düse 28 und
einen Diffusor 30 aufweist, und eine Drucksensoreinheit
(Feststellabschnitt) 34 auf, die an dem vierten Blockelement 18 angebracht
ist, um einen Anziehungszustand eines Werkstücks zu bestätigen. Die Düse 28 kann
einstückig
mit dem zweiten Blockelement 14 ausgebildet sein. Das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 und
das solenoidbetätigte
Vakuumunterbrechungsventil 24 bestehen jeweils aus den
gleichen Aufbauelementen. Sie sind jeweils als normalerweise geschlossene
Ausführungsformen
ausgestaltet. Das solenoidbetätigte
Druckfluidzufuhrventil 22 und das solenoidbetätigte Vakuumunterbrechungsventil 24 sind
jedoch nicht auf die normalerweise geschlossene Ausführungsform
beschränkt.
Vielmehr kann auch vorgesehen sein, dass sie ein nicht dargestelltes, normalerweise
offenes solenoidbetätigtes
Ventil, ein selbsthaltendes solenoidbetätigtes Ventil oder ein mit einem
Timer ausgestattetes solenoidbetätigtes
Ventil sind.
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Die
ersten bis vierten Blockelemente 12, 14, 16, 18 weisen
im Wesentlichen jeweils die gleiche Breitendimension auf und sind
jeweils in einer flachen, dünnwandigen
Gestalt ausgebildet (vgl. 2 und 3).
Ein Druckluftzufuhranschluss (Druckfluidzufuhranschluss) 36,
der für
die Zufuhr der unter Druck stehenden Luft zu dem Ejektorabschnitt 32 verwendet
wird, ist an einer ersten Seitenfläche des ersten Blockelements 12 ausgebildet.
Eine Luftablassöffnung 38 für das solenoidbetätigte Ventil
ist an einem oberen Seitenabschnitt ausgebildet, der nahe dem Druckluftzufuhranschluss 36 angeordnet
ist. Ein erstes Schaltventil (ON/OFF-Ventil) 42, das entsprechend
der Zufuhr des Steuerdruckes (Pilotdruckes) von dem Sperr-Zustand
(OFF-Zustand) zu dem Durchfluss-Zustand (ON-Zustand) umgeschaltet wird,
ist in einer Kammer 40 des ersten Blockelements 12 angeordnet.
Ein zweites Schaltventil (ON/OFF-Ventil) 46, das gemäß der Zufuhr
des Steuerdruckes von dem Sperr-Zustand zu dem Durchfluss-Zustand umgeschaltet
wird, ist in einer Kammer 44 des zweiten Blockelements 14 angeordnet.
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Der
Druckluftzufuhranschluss 36 steht mit einem ersten Durchgang 48 in
Verbindung, der sich um eine festgelegte Länge zusammen mit im Wesentlichen
zentralen Abschnitten der ersten und zweiten Blockelemente 12, 14 erstreckt.
Ein zweiter Durchgang 50, der mit dem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil 22 in
Verbindung steht, und ein dritter Durchgang 52, der mit
dem solenoidbetätigten
Vakuumunterbrechungsventil 24 in Verbindung steht, zweigen
jeweils in im Wesentlichen senkrechter Richtung von dem ersten Durchgang 48 ab.
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Ein
vierter Durchgang 54, der mit dem ersten Schaltventil 42 in
Verbindung steht, und ein fünfter Durchgang 56,
der mit dem zweiten Schaltventil 46 in Verbindung steht,
zweigen in im Wesentlichen senkrechter Richtung von dem ersten Durchgang 48 ab. Die
unter Druck stehende Luft wird dem ersten Schaltventil 42 und
dem zweiten Schaltventil 46 über den vierten Durchgang 54 bzw.
den fünften
Durchgang 56 zugeführt.
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Ein
erster Steuerluftdurchgang (Pilotdurchgang) 58, der für die Zufuhr
des Steuerdruckes zu dem ersten Schaltventil 42 verwendet
wird, indem das solenoidbetätigte
Druckfluidzufuhrventil 22 auf Durchfluss geschaltet wird,
ist zwischen dem solenoidbetätigten
Druckfluidzufuhrventil 22 und dem ersten Schaltventil 42 ausgebildet.
Ein zweiter Steuerluftdurchgang 60, der für die Zufuhr
des Steuerdruckes zu dem zweiten Schaltventil 46 verwendet
wird, indem das solenoidbetätigte
Vakuumunterbrechungsventil 24 auf Durchfluss geschaltet
wird, ist zwischen dem solenoidbetätigten Vakuumunterbrechungsventil 24 und
dem zweiten Schaltventil 46 ausgebildet.
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Ein
sechster Durchgang 64, der mit einem Vakuumanschluss 62 in
Verbindung steht und sich im Wesentlichen parallel zu dem ersten
Durchgang 48 erstreckt, ist zwischen dem Diffusor 30 und
der Düse 28 des
Ejektorabschnitts 32 ausgebildet. Der Unterdruck, der in
dem Ejektorabschnitt 32 erzeugt wird, wird einem nicht
dargestellten Saugmittel, beispielsweise einem über ein Rohr oder dergleichen
angeschlossenen Saugnapf, zugeführt.
Der Diffusor 30 steht mit einer Luftablassöffnung 66 in
Verbindung, die in dem dritten Blockelement 16 ausgebildet
ist. Die unter Druck stehene Luft, die dem Ejektorabschnitt 32 zugeführt wird,
wird über
einen Schalldämpfer 68 (vgl. 7),
der mit der Luftablassöffnung
(Ablassöffnung) 66 in
Verbindung steht, abgeführt.
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Ein
siebter Durchgang 70, der mit dem sechsten Durchgang 64 in
Verbindung steht und sich im Wesentlichen parallel hierzu erstreckt,
ist mit dem zweiten Schaltventil 46 verbunden. Wenn das
zweite Schaltventil 46 in dem Durchfluss-Zustand ist, wird die
unter Druck stehende Luft über
den siebten Durchgang 70 zugeführt. Daher wird der Unterdruckzustand
durch Zufuhr der Druckluft (positiver Druck) zu dem sechsten Durchgang 64,
der mit dem Vakuumanschluss 62 in Verbindung steht, aufgehoben.
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Das
erste Schaltventil 42 und das zweite Schaltventil 46 bestehen
jeweils aus den gleichen Aufbauelementen. Wie in 4 dargestellt
ist, ist ein Ventilkörper 72 vorgesehen,
der in im Wesentlichen horizontaler Richtung um eine fest gelegte
Strecke verschieblich angeordnet ist, und ein Rückhalter 74, der eine
zylindrische Gestalt aufweist, um den Ventilkörper 72 zu umgeben,
und in der Kammer 40 befestigt ist. Ein erstes Ringelement 78,
das auf einem Sitzabschnitt 76 des Rückhalters 74 aufsitzt,
um die Kammer 40 zu schließen, ist an der äußeren Umfangsfläche des
Ventilkörpers 72 an
einer ersten Seite angebracht. Ein zweites Ringelement 80,
das entlang der inneren Wandfläche
des Rückhalters 74 gleiten
kann, ist an der äußeren Umfangsfläche des Ventilkörpers 72 an
einer zweiten Seite angebracht. Jedes der ersten und zweiten Ringelemente 78, 80 besteht
aus einem elastischen Material, wie natürlichem oder synthetischem
Gummi.
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Eine
abgestufte, ringförmige
Nut 82, die sich von einem im Wesentlichen zentralen Abschnitt
des Ventilkörpers 72 zu
dem ersten Ringelement 78 erstreckt, ist für den Ventilkörper 72 ausgebildet.
Außerdem
ist ein Stopperabschnitt 86, der gegen einen Stufenabschnitt 84 des
Rückhalters 74 anliegt,
um den rechtsgerichteten Verschiebungsweg des Ventilkörpers 72 zu
regulieren, vorgesehen. Eine Öffnung 88,
die mit der abgestuften Ringnut 82 in Verbindung steht,
ist für
den Rückhalter 74 vorgesehen.
Das Bezugszeichen 90 kennzeichnet eine Dichtung, während das
Bezugszeichen 92 einen O-Ring bezeichnet.
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Der
Ventilkörper 72 wird,
wie in 4 gezeigt, entsprechend der durch den vierten
Durchgang 54 zugeführten
Druckluft nach links verschoben. Das erste Ringelement 78 wird
auf den Sitzabschnitt 76 des Rückhalters 74 aufgesetzt,
so dass die Kammer 40 geschlossen ist. Als Folge hiervon
ist das erste Schaltventil 42 in dem Sperr-Zustand. Andererseits wird
der Ventilkörper 42 mit
Hilfe des von dem ersten Steuerluftdurchgang 58 entsprechend
der Betätigungswirkung
des solenoidbetätigten
Druckfluidzufuhrventils 22 zugeführten Steuerdruckes nach rechts
verschoben, wie in 5 gezeigt. Das erste Ringelement 78 wird
von dem Sitzabschnitt 72 abgehoben, so dass das erste Schaltventil 42 in
dem Durchfluss-Zustand ist. Bei dieser Anordnung wird die Druckluft,
die über den
vierten Durchgang 54 zugeführt wird, über die abgestufte, ringförmige Nut 82 und
den Raum zwischen dem ersten Ringelement 78 und dem Sitzabschnitt 76 zu
dem Ejektorabschnitt 32 geleitet, wie es durch Pfeile in 5 dargestellt
ist.
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Daher
wird, wenn das erste Schaltventil 42 in dem Sperr-Zustand
ist, die Zufuhr von Druckluft zu dem Ejektorabschnitt 32 gestoppt.
Wenn das erste Schaltventil 42 im Durchfluss-Zustand ist,
wird die Druckluft dem Ejektorabschnitt 32 zugeführt.
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Wie
in 1 gezeigt ist, umfasst die Drucksensoreinheit 34 einen
Saugfilter 94, der dazu verwendet wird, Staub oder dergleichen,
der in der von dem Vakuumanschluss 62 unter der Wirkung
des Unterdruckes angesaugten Luft enthalten ist, zu entfernen, und
einen Vakuumdruckschalter 96, der einen nicht dargestellten
Halbleiterdrucksensor im Inneren aufweist, um beim Erreichen eines
voreingestellten Schwellenwertes ein Feststellsignal abzuleiten.
Der Saugfilter 94 und der Vakuumdruckschalter 96 sind jeweils
luftdicht mit dem vierten Blockelement 18 verbunden.
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Der
Vakuumdruckschalter 96 dient der Bestätigung des Anziehungszustandes
des Werkstückes
durch Einführen
des dem Saugnapf über
einen Durchgang 98, der mit dem sechsten Durchgang 64 in
Verbindung steht, zugeführten
Unterdruckes, und Feststellen des eingeführten Unterdruckes des Druckfluides
mit Hilfe des nicht dargestellten Halbleiterdrucksensors. Es wird
bevorzugt, dass ein Filter (nicht dargestellt) zum Schutz des nicht
dargestellten Drucksensors in dem Durchgang 98 vorgesehen
ist. Die Betätigungsmittel
für den
Vakuumdruckschalter 96 können entweder vom Trimmer-Typ
(nicht dargestellt) oder vom Druck-Typ (nicht dargestellt) mit einem
Auf-Knopf und einem Ab-Knopf sein.
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Wie
in 6 dargestellt ist, weist der Vakuumdruckschalter 96 ein
erstes Gehäuse 102 und
ein zweites Gehäuse 104,
die mit Hilfe eines Befestigungsmittels 100 einstückig miteinander
verbunden sind, eine Schaltplatine 106, die in einem durch
das erste Gehäuse 102 und
das zweite Gehäuse 104 gebildeten
Innenraum angeordnet ist, und eine Abdeckplatte 108 auf.
Die Befestigungsmittel 100 weisen eine Vielzahl von Vorsprüngen 110 auf,
die an einer Seitenwandfläche
des ersten Gehäuses 102 in
der Nähe
der Öffnung
ausgebildet sind, und Befestigungslöcher 112, die an einer
Seitenwandfläche
des zweiten Gehäuses 104 ausgebildet
sind, und in die die Vorsprünge 110 eingesetzt
sind.
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In 1 bezeichnet
das Bezugszeichen 114 eine Durchflussrateneinstellschraube
zum Einstellen der Durchflussrate des Druckfluids zum Unterbrechen
des Vakuums, dem durch den siebten Durchgang 70 fließenden Druckfluids,
wenn das zweite Schaltventil 46 in dem Durchfluss-Zustand
ist. Das Bezugszeichen 116 bezeichnet einen achten Durchgang
zur Herstellung einer Verbindung zwischen der Luftablassöffnung 38 für das solenoidbetätigte Ventil und
dem solenoidbetätigten
Druckfluidzufuhrventil 22 bzw. dem solenoidbetätigten Vakuumunterbrechungsventil 24.
Der achte Durchgang 116 ist so angeordnet, dass er im Wesentlichen
parallel zu dem ersten Durchgang 48 verläuft.
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Die
Vakuumerzeugungseinheit 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung ist im Wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend
werden ihre Betriebs-, Funktions- und Wirkungsweise auf der Basis
eines Schaltkreisdiagramms, wie es in 7 gezeigt
ist, erläutert.
Es wird angenommen, dass das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 und
das solenoidbetätigte
Vakuumunterbrechungsventil 24 im Ursprungszustand jeweils
in dem Sperr-Zustand sind.
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Die
Druckluft, die von einer nicht dargestellten Druckluftzufuhrquelle
zugeführt
wird, wird über den
Druckluftzufuhranschluss 36 in den ersten Durchgang 48 eingeführt. Die
Druckluft, die in den ersten Durchgang 48 eingeführt wird,
wird der Kammer 40 des ersten Schaltventils 42,
die mit dem ersten Durchgang 48 in Verbindung steht, zugeführt. Der Ventilkörper 72 wird
entsprechend der Wirkung der Druckluft nach links verschoben, wie
es in 4 gezeigt ist. Das erste Schaltventil 42 ist
im Sperr-Zustand.
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In
einer solchen Situation ist das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 in
dem Durchfluss-Zustand entsprechend dem Durchfluss-Signal (ON-Signal),
das von einem nicht dargestellten Steuergerät (Controller, Steuerung) ausgegeben
wird. Zu dieser Zeit ist das solenoidbetätigte Vakuumunterbrechungsventil 24 immer
noch in dem Sperr-Zustand. Wenn das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 in
dem Durchfluss-Zustand ist, wird der Steuerdruck über den
ersten Steuerluftdurchgang 58 dem ersten Schaltventil 42 zugeführt. Der
Ventilkörper 72 wird
entsprechend der Druckwirkung des Steuerdruckes nach rechts verschoben,
so dass das erste Schaltventil 42 in dem Durchfluss-Zustand
ist. Wenn das erste Schaltventil 42 in dem Durchfluss-Zustand ist,
tritt die Druckluft, die in den ersten Durchgang 48 eingeführt wird,
durch das erste Schaltventil 42 hindurch und wird dem Ejektorabschnitt 32 zugeführt.
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In
dem Ejektorabschnitt 32 wird die Druckluft von der Düsenöffnung der
Düse 28 zu
dem Diffusor 30 ausgestoßen, so dass der Unterdruck
erzeugt wird. Der Unterdruck wird über den sechsten Durchgang 64 und
das mit dem Vakuumanschluss 62 verbundene Rohr dem nicht
dargestellten Saugnapf zugeführt.
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Dadurch
tritt der nicht dargestellte Saugnapf mit dem Werkstück in Kontakt,
indem ein nicht dargestellter Roboterarm betätigt wird. Wenn der Saugnapf das
Werkstück
entsprechend der Wirkung des Unterdruckes anzieht, wird der Unterdruck
weiter erhöht. Der
Unterdruck wird durch den nicht dargestellten Halbleiterdrucksensor
des Vakuumdruckschalters 96 festgestellt. Das Bestätigungssignal
für die
Anziehung, das von dem Halbleiterdrucksensor festgestellt wird, wird
dem nicht dargestellten Steuergerät zugeführt. Wenn das Steuergerät ein Anziehungsbestätigungssignal
empfängt,
wird bestätigt,
dass das Werkstück
zuverlässig
von dem Saugnapf angezogen wird.
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Nachfolgend
wird eine Erläuterung
eines Prozesses gegeben, bei dem der Unterdruck des Saugnapfes aufgehoben
wird, um das Werkstück
an einer festgelegten Position freizugeben, nachdem das Werkstück um eine
festgelegte Strecke bewegt wurde.
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Das
nicht dargestellte Steuergerät
leitet das Sperr-Signal (OFF-Signal) zu dem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil 22.
Als Folge hiervon ist das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 in dem
Sperr-Zustand, und damit ist das erste Schaltventil 42 in
dem Sperr-Zustand. Die Zufuhr der Druckluft zu dem Ejektorabschnitt 32 wird
gestoppt, und die Zufuhr des Unterdruckes von dem Vakuumanschluss 62 zu
dem Saugnapf wird gestoppt.
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Andererseits
leitet das nicht dargestellte Steuergerät das Durchfluss-Signal (ON-Signal)
zu dem solenoidbetätigten
Vakuumunterbrechungsventil 24, so dass das solenoidbetätigte Vakuumunterbrechungsventil 24 in
dem Durchfluss-Zustand
ist. Wenn das solenoidbetätigte
Vakuumunterbrechungsventil 24 in dem Durchfluss-Zustand
ist, wird der Steuerdruck über
den zweiten Steuerluftdurchgang (Pilotdurchgang) 60 dem
zweiten Schaltventil 46 zugeführt. Der Ventilkörper 42 wird
entsprechend der Druckwirkung des Steuerdruckes nach rechts verschoben,
und das zweite Schaltventil 46 ist in dem Durchfluss-Zustand.
Wenn das zweite Schaltventil 46 in dem Durchfluss-Zustand
ist, tritt die Druckluft, die in den ersten Durchgang 48 eingeführt wird,
durch das zweite Schaltventil 46 hindurch und wird über den
zweiten Durchgang 70 und den sechsten Durchgang 64 dem
Vakuumanschluss 62 zugeführt. Als Folge hiervon wird
die Druckluft (positiver Druck) der von dem Druckluftzufuhranschluss 36 zugeführt wird, über den
Vakuumanschluss 62 dem Saugnapf zugeführt. Der Anziehungszustand
des Saugnapfes relativ zu dem Werkstück wird aufgehoben.
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Wenn
das Werkstück
von dem Saugnapf freigegeben wird, wird der Zustand von dem Unterdruckzustand
zu dem Atmosphärendruckzustand
geändert.
Der Atmosphärendruck
wird durch den nicht dargestellten Halbleiterdrucksensor festgestellt.
Der Halbleiterdrucksensor gibt das Werkstückfreigabesignal an das nicht
dargestellte Steuergerät
weiter. Wenn das Steuergerät
das Werkstückfreigabesignal erhält, wird
bestätigt,
dass das Werkstück
von dem Saugnapf freigegeben ist. Auf diese Weise ist es möglich, das
Werkstück
zuverlässig
von dem Saugnapf freizugeben.
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Bei
der Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung sind der erste Durchgang 48,
der mit dem Druckluftzufuhranschluss 36 in Verbindung steht,
der sechste Durchgang 64, der mit dem Vakuumanschluss 62 in
Verbindung steht, und der achte Durchgang 116, der mit
der Luftablassöffnung 38 des solenoidbetätigten Ventiles
in Verbindung steht, im Wesentlichen parallel zueinander angeordnet.
Außerdem
sind das erste Schaltventil 42, das an der Unterseite des
Grundkörperabschnitts 20 angeordnet
ist, und das zweite Schaltventil 46, das an dessen Oberseite
angeordnet ist, im Wesentlichen parallel zu dem ersten Durchgang 48 angeordnet.
Außerdem werden
bei der Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22,
das solenoidbetätigte
Vakuumunterbrechungsventil 24, die Durchflussrateneinstellschraube 114, der
Saugfilter 94 und der Vakuumdruckschalter 96 nacheinander
in Reihe an den oberen Abschnitten des Grundkörperabschnitts 20 getragen.
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Die
Anordnung, wie sie oben für
die Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung beschrieben wurde, ermöglicht es,
die Dimensionen des Grundkörperabschnitts 20 in
Breitenrichtung im Wesentlichen senkrecht zu der Axialrichtung zu
verringern und eine geringe Größe und ein
niedriges Gewicht zu realisieren.
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Daher
ist es möglich,
den Raum, in dem die Vakuumerzeugungseinheit 10 installiert
wird, effizient zu nutzen.
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Außerdem ist
die Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung dahingehend vorteilhaft, dass die Montage
einfach durchgeführt
werden kann, indem das erste Gehäuse 102 und
das zweite Gehäuse 104 des
Vakuumdruckschalters 96 mit Hilfe der Befestigungsmittel,
die aus einer Vielzahl von Vorsprüngen 110 und den Befestigungslöchern 112 bestehen,
einstückig
miteinander verbunden werden.
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Es
versteht sich, dass eine Vielzahl von einzelnen Vakuumerzeugungseinheiten 10 gemäß der Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung miteinander zu einem Verteiler verbunden
werden kann.