DE4212531C1 - Gas- und Trennmittelzuführungs- und Verteilungssystem für eine Vorrichtung zum Stranggießen - Google Patents

Gas- und Trennmittelzuführungs- und Verteilungssystem für eine Vorrichtung zum Stranggießen

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Manfred Langen
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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Stranggießen von Metall unter Zufuhr eines Trennmittels oder eines Trennmittelgemisches zur Oberfläche des Gußstranges mit Zuführkanälen für zumindest ein Trennmittel oder ein Trennmittelgemisch, deren Austrittsöffnungen in einem Zwischenbereich zwischen einem Heißkopf, durch dessen offenen Querschnitt Metallschmelze zugeführt wird, und einer Kokille, in deren offenem Querschnitt die Metall­ schmelze erstarrt, münden, wobei zwischen dem Heißkopf und der Kokille ein Zwischenelement mit einem zentralen offe­ nen Querschnitt vorgesehen ist, dessen Oberflächen zu­ sammen mit den angrenzenden Oberflächen des Heißkopfes und/ oder der Kokille zumindest die unmittelbar zu den Austrittsöffnungen führenden Endabschnitte der Zuführka­ näle bilden. Zwischen dem Heißkopf und der wassergekühlten Kokille ist hierbei in Gießrichtung gesehen ein Rücksprung im Öffnungsquerschnitt vorgesehen; die im Bereich des Heißkopfes noch flüssige Metallschmelze tritt in diesen Rücksprung ein, so daß der Gießstrang im wesentlichen den Öffnungsquerschnitt der Kokille annimmt. Es hat sich als notwendig erwiesen, in diesem Bereich ein Trennmittel oder ein Trennmittelgemisch zum Gießstrang zuzuführen, damit ein unmittelbarer Kontakt mit der Oberfläche der Kokille vermieden wird. Dies ist Voraussetzung, daß der Strang eine gute Oberflächenqualität erhält. Dies ist besonders dann erforderlich, wenn die Stranggußerzeugnisse in der Weiterverarbeitung plastisch umgeformt werden sollen, ohne daß zuvor Oberflächenschichten mechanisch entfernt werden sollen. Bei unzureichender oder nicht gleichmäßig geregel­ ter Trennmittelzuführung können je nach Randbedingungen Oberflächen- und Randgefügefehler des Gießstranges ent­ stehen. Dazu gehören insbesondere auch Oberflächensteige­ rungen, d. h. eine Inhomogenität in der Gefügestruktur in Oberflächennähe. Als geeignetes Trennmittel haben sich Trennöle, insbesondere bei Zumischung von Gasen - nämlich Luft oder Inertgas - herausgestellt, die jeweils unter Druck zugeführt werden, wobei aufgrund der in der Kokille herrschenden Druck- und Temperaturbedingungen sich ein Gas-Öl-Gemisch bildet.
Die grundlegenden Probleme sind bekannt. Ebenso ist es bekannt, daß eine genaue Ölmengen- und Gasmengendosierung erfolgen muß, d. h. die Zufuhr ist während des Prozesses zu regeln, wobei die entsprechenden Förderdrücke bzw. Förder­ geschwindigkeiten beeinflußbar sein müssen.
Aus der DE 33 38 184 C2 ist es bekannt, in die Kokillen­ wand im Übergangsbereich zwischen Heißkopf und Kokille einen porösen Ringkörper einzusetzen, auf dessen Rückseite Ringkanäle für die Zufuhr von Trennöl und Gas liegen. Die Trennmittel sollen sich im porösen Ringkörper vermischen und dosiert zum Gußstrang hinzutreten.
Das hierbei vorgesehene System von Bohrungen und Ringka­ nälen in der Kokille ist kompliziert. Der entsprechende Ringkörper, der rückseitig radiale Bohrungen und ggfs. Umfangsnuten hat, ist teuer, kompliziert und im Betrieb nicht zuverlässig, da ein Zusetzen seiner porösen Struktur durch verdicktes Trennöl nicht ausgeschlossen werden kann.
Aus der EP 0 218 855 B1 ist eine Vorrichtung der eingangs genannten Art bekannt, bei der Ringkanäle durch Ringnuten in einem Zwischenelement und/oder in einer Fläche der Kokille vorgesehen sind, die über Bohrungen im Heißkopf bzw. in der Kokille mit Trennöl bzw. gasförmigen Trennme­ dium versorgt werden, und von denen aus Ringspalte zu dem Übergangsbereich zwischen dem Heißkopf und der Kokille führen, die hinter dem genannten Rücksprung in Gießrich­ tung münden und die von ringförmigen Oberflächen des Heiß­ kopfes des Zwischenelementes und der Kokille gebildet werden. Die hiermit angegebene Vorrichtung erfordert einen sehr hohen Fertigungsaufwand, da an allen drei Teilen Passungsflächen sehr genau gefertigt werden müssen, um die Austrittsbreite der Ringspalte genau einzuhalten. Genauso müssen die Oberflächenteile, die unmittelbar die Spalte bilden, sehr genau gefertigt werden, wobei geringe Unge­ nauigkeiten, z. B. bei der Zentrierung des Heißkopfes, des Zwischenelementes und der Kokille zueinander ungleichmäßi­ ge Spaltbreiten verursachen, so daß ganz unbrauchbare Ergebnisse aufgrund ungleicher Trennmittelzufuhr am Guß­ strang entstehen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, daß eine erhöhte Genauigkeit bei der Erzeugung der Kanalquerschnitte der Zuführkanäle mit einfachen, kostengünstigen Mitteln erzielt werden kann. Die Lösung hierfür besteht darin, daß das Zwischenelement ein Blech­ teil ist und daß zumindest bis zur Öffnungskante verlau­ fende Endabschnitte der Zuführkanäle in die Oberfläche des Zwischenelementes und/oder der Kokillenoberseite mit konstanter Tiefe eingearbeitet sind. Hierfür wird erfin­ dungsgemäß ein photochemisches Ätzverfahren und alternativ ein Laserschnittverfahren vorgeschlagen. Auf diese Weise können Kanäle konstanter Tiefe und damit genau einzuhal­ tenden Kanalquerschnittes mit einfachen Mitteln mit größe­ rer Genauigkeit hergestellt werden. In bevorzugter Weise wird sich das Ätzen bzw. das Laserschneiden der Kanäle auf die Oberflächen des Zwischenelementes beziehen. Der Gegen­ stand der Erfindung schließt in gleicher Weise jedoch auch das Ätzen und das Laserschneiden entsprechender Kanäle in der Oberseite der ebenfalls aus Metall bestehenden Kokille ein. Durch die relativ nachgiebige Ausführung des Zwischenelementes als dünnwandiges Blechteil sind Unge­ nauigkeiten in den jeweiligen Gegenflächen des Heißkopfes und der Kokille auszugleichen, ohne daß hierbei die Kanal­ tiefen wesentlich verändert werden. Üblicherweise wird die Kanalbreite konstant sein, so daß bei konstantem Kanal­ querschnitt der Strömungswiderstand optimiert ist. Es ist jedoch auch möglich, daß die Endabschnitte düsenartig verjüngt sind, so daß eine erhöhte Austrittsgeschwindig­ keit erzielt wird. Als bevorzugtes, für das Ätzen und Laserschneiden der Zuführkanäle geeignetes Material wird Edelstahl oder Kupferlegierungen für das Zwischenelement vorgeschlagen. Die bevorzugte Dicke des Zwischenelements beträgt zwischen 0,1 und 5 mm, insbesondere zwischen 0,5 und 2 mm. Hierbei ist eine gute Bearbeitbarkeit gegeben.
In bevorzugter Ausgestaltung ist das Zwischenelement ein­ stückig und ring- oder rechteckförmig ausgebildet. Bei vom runden Querschnitt abweichenden Formen der zentralen Quer­ schnittsöffnung des Heißkopfes und der Kokille ist es jedoch auch möglich, mehrteilige Zwischenelemente zu ver­ wenden, die jeweils aus den freien Öffnungsquerschnitt begrenzenden einzelnen Streifen bestehen.
Nach einer ersten Alternative kann die Öffnungskante des Zwischenelementes bündig mit der Wandung der Kokille ab­ schließen und zur Querschnittsöffnung der Kokille freilie­ gen. Hierbei münden die Endabschnitte der Zuführkanäle für das Trennmittel im wesentlichen radial zur Gießrichtung des Stranges.
Nach einer zweiten Alternative kann die Öffnungskante des Zwischenelementes von einem Überhang des Heißkopfes ver­ deckt sein und die Endabschnitte der Zuführkanäle in Nuten in der Öffnungskante des Zwischenelementes münden. Bei gegenüber der Öffnungskante etwas zurückgenommener Quer­ schnittsöffnung der Kokille ist hierbei im wesentlichen eine gleichgerichtete Zuströmung des Trennmittels in bezug auf die Herstellrichtung des Gußstranges möglich.
Die Zuführkanäle, d. h. die sich öffnenden Endabschnitte bestehen aus einzelnen im wesentlichen senkrecht zur Öff­ nungskante des Zwischenelementes verlaufenden Vertiefun­ gen, die zur gleichmäßigen Verteilung des Trennmittels bevorzugt voneinander gleichmäßigen Abstand haben. Zur konstruktiven Vereinfachung sind in weiterhin bevorzugter Ausführung mit Abstand zur Öffnungskante parallel verlau­ fende Verbindungsabschnitte und zwar ebenfalls in Form von vertieften Kanälen oder in Form von vollständigen Schlitzen im Zwischenelement vorgesehen, die mit Anschluß­ kanälen in der Kokille oder im Heißkopf zur Versorgung mit Trennmittel verbunden sind.
Wenn zwei verschiedene Trennmittel oder Trennmittelge­ mische, insbesondere Trennöl und gasförmiges Trennmedium zugeführt werden, ist es günstig, zwei vollkommen ge­ trennte Systeme von Zuführkanälen vorzusehen, wobei eines davon mit einer Versorgungsquelle für ein gasförmiges Medium und das andere mit einer Versorgungsquelle für ein Trennöl verbunden ist. Dies erlaubt eine konstruktiv ein­ fache Ausgestaltung von Zuführkanälen auf der Oberseite und der Unterseite des Zwischenelementes. Darüber hinaus ist es für die Förderung und Zumessung günstig, wenn sich der Öl-Gas-Gemisch erst im Bereich der Kokille bildet. Um eine intensive Vermischung und Nebelbildung sicherzu­ stellen, ist es weiterhin vorteilhaft, Zuführkanäle auf beiden Seiten des Zwischenelementes in unmittelbarer Zu­ ordnung zueinander, d. h. mit untereinander gleichen seit­ lichen Abständen und jeweils paarweise unmittelbar übereinander auf der Oberseite und der Unterseite des Zwischenelementes auszuführen. Hierbei ist es weiterhin günstig, daß die Austrittsöffnung für das gasförmige Trennmedium in Richtung des Gießstranges vor bzw. über den Austrittsöffnungen für das Trennöl liegen. Zwischen den einzelnen Zuführkanälen und/oder zwischen den mit Abstand von der Öffnungskante verlaufenden Verbindungskanälen können in weiterhin günstiger konstruktiver Ausgestaltung Dichtungen vorgesehen sein, die insbesondere in Nuten in der Oberfläche des Heißkopfes und/oder der Kokille einge­ lassen sind.
Die Erfindung wird anhand der folgenden Zeichnungen näher erläutert, die bevorzugte Ausführungsbeispiele darstellen.
Fig. 1 Fig. 1 zeigt ein Prinzipbild einer Stranggußan­ lage, auf die der Gegenstand der Erfindung bevor­ zugt anwendbar ist;
Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht einer erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung im abgestuften Längs­ schnitt;
Fig. 2a zeigt eine perspektivische Ansicht einer erfindungs­ gemäßen Vorrichtung ähnlich Fig. 2 mit einem Überhand des Heißkopfes;
Fig. 3 zeigt ein Zwischenelement gemäß Fig. 2 in Drauf­ sicht;
Fig. 4 zeigt einen Abschnitt eines Zwischenelementes nach Fig. 2 in perspektivischer Ansicht;
Fig. 5 zeigt ein Zwischenelement in runder Ausführung in Draufsicht;
Fig. 6 zeigt einen Abschnitt eines Zwischenelementes ähnlich Fig. 2 in perspektivischer Ansicht.
In Fig. 1 ist eine Gießrinne 1 dargestellt, die einen gemeinsamen offenen Füssigkeitsspiegel mit einem Heißkopf 12 aufweist, unterhalb dessen eine wassergekühlte Kokille 2 erkennbar ist. Die flüssige Schmelze erstarrt im Bereich der Kokille, wobei sich ein nach unten ausgebildeter Me­ niskus bildet und erstarrt zum Barren 3, der unten auf einem Angußstein 4 aufsitzt, der von einem Tisch 5 nach unten weggezogen wird. Zu Beginn des Gießvorganges sitzt der Angußstein 4 im wesentlichen dicht in der Kokille 2 ein, so daß zunächst flüssiges Metall eingefüllt werden kann. Abfließendes Trennöl ist mit 13 bezeichnet. Im Zwischenbereich zwischen dem Heißkopf 12 und der Kokille 2 wird ein gasförmiges Trennmedium und ein Trennöl zuge­ führt. Hierfür sind entsprechende Zuführvorrichtungen dargestellt. Mit 6 ist eine Schnittstelle zu einem Gasver­ sorgungssystem, insbesondere dem Druckluftsystem einer Betriebsanlage gezeigt. Im weiteren Strang liegt ein Re­ duzierventil 7, ein Mengendurchflußgerät 8 und ein Druck­ meßgerät 9. Für das Trennöl ist ein Reservoir 14, eine Pumpe 11 und ein Durchflußmeßinstrument 10 dargestellt. Es ist erkennbar, daß die Kokille in Gießrichtung einen Rück­ sprung gegenüber dem Heißkopf hat.
In Fig. 2 ist ein Heißkopf 21, eine Kokille 22 und ein dazwischenliegendes blechförmiges Zwischenelement 23 er­ kennbar. Gegenüber der zum freien Öffnungsquerschnitt liegenden Oberfläche 26 des Heißkopfes tritt die ent­ sprechende Oberfläche 27 der Kokille zurück, die Öffnungs­ kante 28 des Zwischenelementes 23 schließt bündig mit der Oberfläche 27 der Kokille ab. Außerhalb des Heißkopfes liegt ein Spannelement 24. Die Kokille 22 weist in üb­ licher Weise einen Kühlwasserraum 25 auf. Mit dem Kühl­ wasserraum 25 sind interne Bohrungen 29 verbunden, die in die Nähe der Oberfläche 27 der Kokille führen.
Auf der Oberseite des Zwischenelementes sind einzelne senkrecht zur Öffnungskante 28 liegende Zuführkanäle 30 im gleichen Abstand voneinander eingeätzt und/oder laserge­ schnitten, die rückseitig durch zumindest einen Verbin­ dungskanal 31, der als Schlitz ausgeführt ist, untereinan­ der verbunden sind. Der schlitzförmige Verbindungskanal 31 liegt über einem als offene Nut in der Kokille ausgeführ­ ten Versorgungskanal 32, der über zumindest eine Bohrung 33 an eine erste Gas- oder Trennmittelversorgungsquelle anschließbar ist. Mit Abstand zum Versorgungskanal 32 sind in Nuten eingesetzte Dichtungen 34, 35 parallelverlaufend vorgesehen.
Auf der Unterseite des Zwischenelementes 23 sind zweite Zuführkanäle 36 in die Oberfläche eingeätzt oder laserge­ schnitten, die mittels eines als offne Nut in der Kokille ausgeführten Verbindungskanals 37 untereinander verbunden sind. Hierbei ist es auch möglich, einen querverlaufenden Verbindungskanal teilweise oder ausschließlich in der Oberfläche des Zwischenelementes auszubilden. Ein Zuführ­ kanal zum Verbindungskanal 37 liegt in einer anderen Schnittebene und ist hier nicht dargestellt. Dieser Zu­ führkanal verbindet den Kanal 37 mit dem Versorgungskanal 38 und ist zumindest mit einer Bohrung an ein Gas- oder Trennmittelreservoir angeschlossen.
In Fig. 2a sind im wesentlichen die gleichen Einzelheiten wie in Fig. 2 erkennbar. Diese sind mit den gleichen Bezugsziffern bezeichnet. Abweichend hiervon weist der Heißkopf 21 einen Überhang 41 auf, der die Austritts- Öffnungen der Zuführkanäle 30, 36 mit Abstand verdeckt, so daß diese in einen nach unten offenen Ringspalt 42 münden. Das Zwischenelement 23 ist mit einem Ausbruch dargestellt. Hierdurch ist erkennbar, wie der Versorgungskanal 38 über Überströmschlitze 39 in der Oberfläche der Kokille 22 mit dem Verbindungskanal 37 für die unteren Zuführungskanäle 36 verbunden sind. Die übrigen Einzelheiten entsprechen vollkommen denen in Fig. 2.
In der Fig. 3 ist ein Beispiel für ein Zwischenelement 23 in Draufsicht gezeigt. Es ist die zuvor nicht bezeichnete zentrale Querschnittsöffnung 40 erkennbar, die in diesem Fall im wesentlichen rechteckigen Querschnitt hat. Senk­ recht zur Öffnungskante 28 enden umfangsverteilt mit im wesentlichen gleichen Abständen eingeätzte und laserge­ schnittene Zuführkanäle 30, die über einzelne rückwärtige schlitzförmige Verbindungskanäle 31 miteinander verbunden sind. Jeder der Verbindungskanäle 31 bedarf einer geson­ derten Zuführbohrung in der Kokille oder im Heißkopf.
In der Fig. 4 sind nochmals Einzelheiten des Zwischenele­ mentes 23 gezeigt, wobei auf die Beschreibung der Fig. 2 Bezug genommen wird.
In Fig. 5 ist ein Zwischenelement 23′ gezeigt, das insge­ samt rund ist und somit eine zentrale Querschnittsöffnung 40′ bildet. Senkrecht zur Öffnungskante 28′ enden umfangs­ verteilt mit im wesentlichen gleichen Abständen eingeätzte oder lasergeschnittene Zuführkanäle 30′. Diese sind über einzelne schlitzförmige teilkreisförmige Verbindungs­ kanäle 31′ miteinander verbunden. Jeder der Verbindungs­ kanäle 31′ bedarf einer gesonderten Zuführungsbohrung in der Kokille oder im Heißkopf. In der Funktion entsprechen die hier gezeigten Einzelheiten denen in Fig. 3.
In Fig. 6 sind nochmals Einzelheiten eines Zwischenele­ mentes 23′′ mit gerader Öffnungskante 28′′ erkennbar, auf die Zuführkanäle 30′′ und 36′′ zulaufen, von denen die erstgenannten über einen Verbindungskanal 31′′ untereinan­ der kommunizieren. Die Zuführkanäle 30′′ und 36′′ sind zur Öffnungskante 28′′ hin düsenförmig verjüngt, so daß die zugeführten Medien mit erhöhter Geschwindigkeit bzw. er­ höhtem Druck austreten.
Bezugszeichenliste
 1 Gießrinne
 2 Kokille
 3 Barren
 4 Angußstein
 5 Tisch
 6 Schnittstelle
 7 Reduzierventil
 8 Mengendurchflußgerät
 9 Druckmeßgerät
10 Durchflußmeßinstrument
11 Pumpe
12 Heißkopf
13 Trennöl
14 Reservoir
21 Heißkopf
22 Kokille
23 Zwischenelement
24 Spannelement
25 Kühlwasserraum
26 Oberfläche
27 Oberfläche
28 Öffnungskante
29 Bohrungen
30 Zuführkanäle
31 Verbindungskanal
32 Versorgungskanal
33 Bohrung
34 Dichtung
35 Dichtung
36 Zuführkanal
37 Verbindungskanal
38 Versorgungskanal
39 Überströmschlitze
40 Querschnittsöffnung
41 Überhang
42 Ringspalt

Claims (14)

1. Vorrichtung zum Stranggießen von Metall unter Zufuhr eines Trennmittels oder eines Trennmittelgemisches zur Oberfläche des Gußstranges mit Zuführkanälen für zu­ mindest ein Trennmittel oder ein Trennmittelgemisch, deren Austrittsöffnungen in einem Zwischenbereich zwischen einem Heißkopf, durch dessen offenen Quer­ schnitt Metallschmelze zugeführt wird, und einer Ko­ kille, in deren offenem Querschnitt die Metallschmelze erstarrt, münden, wobei zwischen dem Heißkopf und der Kokille ein Zwischenelement mit einer zentralen Quer­ schnittsöffnung vorgesehen ist, dessen Oberflächen zusammen mit den angrenzenden Oberflächen des Heiß­ kopfes und/oder der Kokille zumindest die unmittelbar zu den Austrittsöffnungen führenden Endabschnitte der Zuführkanäle bilden, dadurch gekennzeichnet, daß das Zwischenelement (23) ein Blechteil ist und daß zumindest bis zur Öffnungskante (28) verlaufenden Endabschnitte der Zuführkanäle (30, 36) in die Ober­ fläche des Zwischenelementes und/oder in die Oberseite der Kokille (22) mit konstanter Tiefe eingearbeitet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnungskante (28) des Zwischenelementes (23) bündig mit der Wandung (27) der Kokille (22) ist und zur Querschnittsöffnung der Kokiile freiliegt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnungskante (28) des Zwischenelementes (23) von einem Überhang des Heißkopfes (21) verdeckt ist und daß die Endabschnitte der Zuführkanäle (30) in Nuten in der Öffnungskante (28) des Zwischenelemen­ tes münden.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuführkanäle (30, 36) einzelne senkrecht zur Öffnungskante (28) der Querschnittsöffnung (40) ver­ laufende Endabschnitte aufweisen, die insbesondere düsenartig zulaufend ausgebildet sein können.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuführkanäle (30) durch mit Abstand zur Öff­ nungskante (28) parallel verlaufende Verbindungskanäle (31) in Form von Schlitzen oder Ausnehmungen im Zwischenelement (23) verbunden sind, die mit Versor­ gungskanälen (32) im Heißkopf (21) oder in der Kokille (22) verbunden sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß Zuführkanäle (36) durch mit Abstand zur Öffnungs­ kante verlaufende Verbindungskanäle (37) verbunden sind, die als Nuten in den Oberflächen des Zwischen­ elements (23) und/oder der Kokille (22) gebildet sind, die ihrerseits mit Versorgungskanälen (38) in der Kokille (22) verbunden sind.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwei getrennte Systeme von Zuführkanälen (30, 36) vorgesehen sind, von denen eines mit einer Versor­ gungsquelle für ein gasförmiges Trennmedium und das andere mit einer Versorgungsquelle für Trennöl verbun­ den ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnungen der beiden Systeme in Rich­ tung des Gießstranges hintereinander bzw. übereinander liegen.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnungen für das gasförmige Trennme­ dium in Richtung des Gießstranges über den Austritts­ öffnungen für das Trennöl liegen.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest zwischen den Versorgungskanälen (32, 38) der Zuführkanäle (30, 36) der beiden Systeme parallel zu diesen verlaufende Dichtungen (34, 35) in die Ober­ fläche der Kokille (22) eingelassen sind.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Zwischenelement (23) rund oder rechteckförmig und ggfs. mehrteilig ist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des Zwischenelements 0,1 bis 5 mm, be­ vorzugt 0,5 bis 2 mm beträgt.
13. Verfahren zur Herstellung eines Zwischenelementes nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Endabschnitte der Zuführkanäle (30, 36) als Vertiefungen in die Oberfläche des Zwischen­ elementes (23) ein- oder beidseitig photochemisch eingeätzt werden.
14. Verfahren zur Herstellung eines Zwischenelementes nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Endabschnitte der Zuführkanäle (30, 36) als Vertiefungen in die Oberfläche des Zwischen­ elementes (23) ein- oder beidseitig lasergeschnitten werden.
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