DE4137533C2 - Positioniertischanordnung - Google Patents
PositioniertischanordnungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Positionier
tischanordnung, inbesondere eine Positioniertischanordnung zur
Positionierung eines Tisches an einen gewünschten Ort mit
hoher Genauigkeit.
In einer typischen Positioniertischanordnung nach dem Stand
der Technik enthält ein mit einem Tisch starr verbundener
Motor eine Welle, die mit einer Kugelumlaufspindel derart ver
bunden ist, daß der Tisch in eine von der Drehrichtung des
Motors abhängige gewünschte Richtung bewegt werden kann. Ein
derartiger Aufbau ist jedoch im allgemeinen sperrig und der am
Tisch montierte Motor neigt dazu, aufgrund seines großen Ge
wichts eine akkurate Steuerung der Positionierung zu behin
dern. Damit ist die Notwendigkeit entstanden, eine neuartige
und in ihren Ausmaßen kompakte Positioniertischanordnung hoher
Genauigkeit zu entwickeln.
Aus US 4 378 709 ist ein Positioniertisch mit Reibradantrieb
bekannt. US 4 887 804 beschreibt einen Positioniertisch mit
einem äußeren Rahmen, in dem sich ein über Stege befestigter
innerer Teil befindet, der relativ zum Rahmen mit einem piezo
elektrischen Antrieb beweglich ist. DE-OS 30 27 461 beschreibt
einen Reibradantrieb eines Verschiebetisches, der über eine
Exzenterbewegung aus- bzw. eingekoppelt werden kann.
Durch die vorliegende Erfindung wird eine verbesserte Posi
tioniertischanordnung geschaffen, welche für gewöhnlich ein
Paar von zueinander parallel verlaufenden voneinander beab
standeten Führungsschienen, einen zwischen dem Paar von Füh
rungsschienen angeordneten Tisch und eine Vielzahl von roll
fähigen oder Wälzlagerelementen enthält, die zwischen den
Tisch und jede der Führungsschienen angeordnet ist, um einen
rollenden Kontakt zwischen dem Tisch und jeder der Führungs
schienen herzustellen. Der Tisch besteht im wesentlichen aus
zwei Bereichen, nämlich einem äußeren (oder Rahmen-)Bereich
und einem in dem äußeren Bereich befindlichen mittleren (oder
Kern-)Bereich, wobei der Tisch einen einstückigen Aufbau
haben kann.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Tisch mit einer
Vielzahl von äußeren Schlitzen an und entlang seiner vier
Seiten ausgebildet, womit der Tisch in den äußeren Bereich
und den mittleren Bereich unterteilt wird. Durch die Anbrin
gung dieser äußeren Schlitze kann der mittlere Bereich relativ
zu dem äußeren Bereich ausgelenkt werden, obwohl der mittlere
Bereich einstückig mit dem äußeren Bereich verbunden ist. In
mindestens einer dieser äußeren Schlitze ist mindestens eine
Verstelleinrichtung, vorzugsweise ein piezoelektrisches Bau
element, derart angeordnet, daß der mittlere Bereich relativ
zu dem äußeren Bereich ausgelenkt werden kann, wenn das
piezoelektrische Element aktiviert wird.
Der Tisch ist zusätzlich mit einem mittleren Schlitz ausge
bildet, der sich in einer gewünschten Orientierung erstreckt.
Eine Antriebseinrichtung, typischerweise eine Motorwelle eines
Antriebsmotors erstreckt sich durch den mittleren Schlitz.
Normalerweise besteht kein Kontakt, zwischen der Antriebsein
richtung und irgendeiner Wandfläche des mittleren Schlitzes
des Tisches. Wenn die Verstelleinrichtung zur Auslenkung des
mittleren Bereichs relativ zu dem äußeren Bereich aktiviert
wird, so kommt die Wandfläche des mittleren Schlitzes in Rei
bungskontakt mit der Antriebseinrichtung, die sich norma
lerweise in Drehbewegung befindet, so daß der Tisch infolge
einer durch den Reibungskontakt zwischen der Antriebsein
richtung und dem Tisch übertragenen Antriebskraft in eine
Bewegung entlang der Führungsschienen versetzt wird.
Wenn das piezoelektrische Bauelement deaktiviert wird, kehrt
der mittlere Bereich relativ zu dem äußeren Bereich durch eine
als Rückfederung wirkende und zwischen dem mittleren und dem
äußeren Bereich angebrachte Verbindung in seine Ausgangsposi
tion zurück, so daß die Antriebseinrichtung von der Wandfläche
des mittleren Schlitzes getrennt wird. Damit wird der Tisch
relativ zu den Führungsschienen zum Halten gebracht.
Ein erstes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, die
oben beschriebenen Nachteile des Standes der Technik zu um
gehen und eine verbesserte Positioniertischanordnung zu
schaffen.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine ver
besserte, in ihren Ausmaßen kompakte Positioniertischanord
nung hoher Genauigkeit zu schaffen.
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine
verbesserte Positioniertischanordnung anzugeben, die sich
durch Einfachheit in Aufbau und Herstellung auszeichnet, und
damit kostengünstig ist.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter
Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Dabei werden
noch weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung zur Sprache
kommen. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Draufsicht einer
Positioniertischanordnung gemäß einer ersten Ausfüh
rungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 eine schematische Darstellung einer teilweisen Quer
schnittsansicht der relativen Beziehung zwischen einem
Tisch und einem Antriebsmotor in der Anordnung von
Fig. 1;
Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Draufsicht eines
Tisches gemäß einer anderen Ausführungsform der Er
findung;
Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Draufsicht der
Struktur eines Tisches in etwas vergrößertem Maßstab
gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung an einer mit der gestrichelten Linie in
Fig. 1 bezeichneten Ecke; und
Fig. 5 eine schematische Darstellung einer auseinanderge
zogenen perspektivischen Ansicht einer X-Y-Positionier
tischanordnung gemäß einer anderen Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung.
In Fig. 1 ist eine Positioniertischanordnung gemäß einer Aus
führungsform der vorliegenden Erfindung schematisch darge
stellt. Die vorliegende Positioniertischanordnung enthält ge
wöhnlich ein Paar von zueinander parallel verlaufenden und
voneinander beabstandeten Führungsschienen 1 und 2, einen
zwischen das Paar von Führungsschienen 1 und 2 angeordneten
Tisch 5, und eine Vielzahl von zwischen den Tisch 5 und jede
der Führungsschienen 1 und 2 angeordneten rollfähigen oder
Wälzlagerelementen 4. Der Tisch 5 ist damit relativ zu den
Führungsschienen 1 und 2 in einer Richtung parallel zu der
longitudinalen Richtung der Schienen 1 und 2 beweglich.
Wie am besten in Fig. 5 zu sehen ist, besitzen die Führungs
schienen 1 und 2 eine längliche Struktur und sind jeweils mit
einer äußeren Führungsrille 1a und 2a an ihrer inneren Ober
fläche ausgebildet. Eine Vielzahl von Rollelementen 4 (4 1-4 n)
als rollfähige oder Wälzlagerelemente sind in den äußeren
Führungsrillen 1a und 2a angeordnet und werden in ihrer
Position durch eine Halteplatte 3 gehalten. In der darge
stellten Ausführungsform ist die Halteplatte 3 mit einer
Vielzahl von Fenstern 3a (3a1-3an) in einem vorbestimmten
Teilungsabstand versehen und diese Fenster 3 sind derart aus
gebildet, daß die Rollelemente 4 teilweise freigelegt sind,
wobei die Drehachsen jeder zwei benachbarten Rollelemente 4
von einer longitudinalen Achse einer der Schienen 1 oder 2
aus betrachtet senkrecht zueinander verlaufen. Eine End
schraube 7 oder 8 ist in jedes Ende der Führungsschienen 1
und 2 geschraubt, um als Anschlag für die Halteplatte 3 zu
dienen.
Der Tisch 5 hat andererseits im allgemeinen eine rechteckige
Form und seine gegenüberliegenden seitlichen Oberflächen sind
jeweils mit inneren Führungsrillen 5a und 5b ausgebildet, so
daß jene Bereiche der Rollelemente 4, die durch die Fenster 3
freigelegt werden, durch die entsprechenden inneren Führungs
rillen 5a und 5b des Tisches 5 aufgenommen werden können.
Damit wird ein rollender Kontakt zwischen dem Tisch 5 und den
Führungsschienen 1 und 2 geschaffen, so daß der Tisch 5 sich
relativ zu und entlang der Führungsschienen 1 und 2 in jeder
Richtung bewegen kann.
In der dargestellten Ausführungsform hat der Tisch 5 die Form
einer Platte und ist im wesentlichen in zwei Bereiche geteilt,
nämlich einen mittleren oder Kernbereich 5i und einen äußeren
Bereich 5p, welcher den mittleren Bereich 5i umgibt. In dem
in Fig. 1 gezeigten Aufbau ist die Platte 5 durch die Ausbil
dung einer Vielzahl von äußeren Schlitzen, wie 5d und 5h in
den mittleren und äußeren Bereich 5i und 5p geteilt. Im ein
zelnen ist der Tisch 5 in Fig. 1 mit einem Paar von relativ
breiten äußeren Schlitzen 5d1 und 5d2 und einem Paar von
relativ schmalen äußeren Schlitzen 5h1 und 5h2 versehen. Der
relativ breite äußere Schlitz 5d1 ist an seinen beiden Enden
mit kreisförmigen Löchern 5f1 und 5f2 jeweils durch relativ
schmale Schlitze 5e1 und 5e2 verbunden. Entsprechend ist der
relativ breite Schlitz 5d2 an seinen beiden Enden mit kreis
förmigen Löchern 5f3 und 5f4 jeweils über relativ schmale
Schlitze 5e3 und 5e4 verbunden. Andererseits ist der relativ
schmale äußere Schlitz 5h1 direkt mit kreisförmigen Löchern
5g1 und 5g3 an seinen beiden Enden verbunden. Entsprechend
ist der relativ schmale äußere Schlitz 5h2 direkt mit kreis
förmigen Löchern 5g2 und 5g4 an seinen beiden Enden verbun
den. Damit ist die Platte 5 funktionell in zwei Bereiche ge
teilt, den mittleren Bereich 5i und den äußeren Bereich 5p,
die nach wie vor über vier Verbindungsbereiche mit den Brei
ten 11-14 miteinander verbunden sind, die als elastische,
rückfedernde Verbindungen dienen. Mit diesem Aufbau kann der
mittlere Bereich 5i relativ zu dem äußeren Bereich 5p ver
schoben werden und der mittlere Bereich 5i kann infolge der
federnden Eigenschaft der Verbindungsbereiche in seine Aus
gangsposition zurückkehren.
Der mittlere Bereich 5i des Tisches 5 ist zusätzlich mit einem
mittleren Schlitz 5c ausgebildet, der sich in der vorliegen
den Ausführungsform parallel zu den relativ breiten Schlitzen
5d1 und 5d2 erstreckt. Wie gezeigt in Fig. 1, erstreckt sich
eine Mitnahmewelle 6a eines Antriebsmotors 6 in das mittlere
Loch 5c in eine Richtung senkrecht zu der Ebene des Tisches 5.
Die Breite des mittleren Schlitzes 5c ist derart bemessen,
daß sie ein wenig größer als der Durchmesser der Mitnahmewel
le 6a ist. In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Wand
fläche des mittleren Schlitzes 5c mit einem Antigleitmittel
beschichtet oder bedeckt, um einen optimalen Reibungskontakt
zwischen der Mitnahmewelle 6a und dem Tisch 5 herzustellen.
Ein solches Antigleitmittel kann entweder an beiden oder nur
an einem der Elemente der Mitnahmewelle 6a und Wandfläche des
mittleren Schlitzes 5c angebracht werden. Wenn ein optimaler
Reibungskontakt zwischen der Mitnahmewelle 6a und der Wand
fläche des mittleren Schlitzes 5c erzielt werden kann, be
steht keine Notwendigkeit für den Einsatz eines solchen Anti
gleitmittels. Wie weiter unten im Detail beschrieben wird,
ist die Mitnahmewelle 6a unter Normalbedinungen nicht in Kon
takt mit der Wandfläche des mittleren Schlitzes 5c und ist
somit von dem Tisch 5 getrennt. Wenn jedoch der mittlere Be
reich 5i relativ zu dem äußeren Bereich 5p verstellt wird, so
wird die Wandfläche des mittleren Schlitzes 5c in Reibungs
kontakt mit der Mitnahmewelle 6a gebracht, so daß eine An
triebskraft von dem Motor 6 an den Tisch 5 übertragen wird.
Wie gezeigt in Fig. 1, ist ein Paar von piezoelektrischen Bau
elementen A1 und A2 am Tisch 5 montiert, indem sie von dem
länglichen, relativ breiten Schlitz 5d1 in einem Abstand von
einander aufgenommen werden. Entsprechend wird ein anderes
Paar von piezoelektrischen Bauelementen B1 und B2 am Tisch 5
befestigt, indem diese von dem länglichen, relativ breiten
Schlitz 5d2 aufgenommen werden. Diese piezoelektrischen Bau
elemente A und B dehnen sich aus und ziehen sich zusammen,
abhängig davon, ob sie von einer Steuerschaltung wie einen
Mikroprozessor (nicht gezeigt) aktiviert oder deaktiviert
werden, und damit fungieren diese Bauelemente A und B als
Auslenkeinrichtung zur Auslenkung des mittleren Bereichs 5i
relativ zu dem äußeren Bereich 5p. In der dargestellten
Ausführungsform sind alle piezoelektrischen Bauelemente A
und B identisch im Aufbau.
Wenn also die piezoelektrischen Bauelemente A1 und A2 akti
viert werden, dehnen sie sich aus, so daß der mittlere Be
reich 5i relativ zu dem äußeren Bereich 5p in die durch den
Pfeil P in Fig. 1 angezeigte Richtung ausgelenkt wird, wo
durch die Verbindungsbereiche l1 und l2 verbogen werden. Dem
zufolge wird eine obere innere Wandfläche 5ca des mittleren
Schlitzes 5c in Reibungskontakt mit der Mitnahmewelle 6a ge
bracht, die sich in einer Drehbewegung mit einer durch den
Pfeil angezeigten Drehrichtung befindet. Damit wird die An
triebskraft von der Mitnahmewelle 6a zu dem Tisch 5 übertra
gen, der dadurch eine Translationsbewegung in einer durch den
Pfeil A angezeigten und durch die Führungsschienen 1 und 2
vorgegebene Richtung ausführt. Wenn umgekehrt die piezoelek
trischen Bauelemente B1 und B2 aktiviert werden, wird der
mittlere Bereich 5i dazu veranlaßt, sich in eine durch den
Pfeil -P angezeigte Richtung auszulenken. Demzufolge wird
eine untere innere Wandfläche 5cb des mittleren Schlitzes 5c
in Reibungskontakt mit der sich drehenden Mitnahmewelle 6a
gebracht, so daß der Tisch 5 als Ganzes sich in eine durch
den Pfeil B angezeigte und durch die Führungsschienen 1 und 2
vorgegebene Richtung bewegt.
Wenn andererseits die piezoelektrischen Bauelemente A und B
gleichzeitig aktiviert werden, werden sowohl die obere als
auch die untere Wandfläche 5ca und 5cb gleichzeitig in Rei
bungskontakt mit der Mitnahmewelle 6a gebracht, so daß der
Tisch 5 zum Halten gebracht wird. In diesem Sinne ist der
mittlere Bereich 5i ebenso funktionell unterteilt in zwei
Unterbereiche, die sich unabhängig voneinander verformen kön
nen. Um diese Aufgabe erfüllen zu können, sollte der mittlere
Schlitz 5c eine ausreichende Länge aufweisen, so daß eine
Hälfte des mittleren Bereiches 5i sich unabhängig von der
anderen Hälfte verbiegen kann. Auf diese Art wird der Tisch 5
durch Steuerung der Aktivierung der piezoelektrischen Bau
elemente A und B in jede gewünschte Richtung entlang der Füh
rungsschienen 1 und 2 bewegt oder an einer gewünschten Posi
tion zum Halten gebracht.
In der Fachwelt bekannt und daher nicht besonders hervorge
hoben ist ein lichtemittierendes Bauelement und ein licht
empfangendes Bauelement, die zwischen den Führungsschienen 1
und 2 und dem Tisch 5 angebracht sind, um die Position des
Tisches 5 relativ zu den Führungsschienen 1 und 2 zu erfassen.
Ein Signal eines Photosensors, der das lichtempfangende Bau
element enthält, wird einer Steuerschaltung zur Bestimmung
der momentanen Position des Tisches 5 relativ zu den Füh
rungsschienen 1 und 2 zugeführt.
Im Betrieb, wenn keine der piezoelektrischen Bauelemente A
und B aktiviert sind, besteht kein Reibungskontakt zwischen
der Mitnahmewelle 6a und der Wandfläche des inneren Schlitzes
5c, so daß der Tisch 5 sich nicht in Bewegung befindet. Wenn
der Tisch 5 zu einer gewünschten Position entlang der Führungs
schienen 1 und 2 bewegt werden soll, werden z. B. die piezo
elektrischen Bauelemente A aktiviert, so daß der mittlere
Bereich 5i des Tisches 5 sich in eine durch P angezeigte
Richtung auslenkt, wodurch wiederum die obere innere Wand
fläche 5ca des mittleren Schlitzes 5c in Reibungskontakt mit
der sich drehenden Mitnahmewelle 6a gerät und dadurch der
Tisch 5 dazu veranlaßt wird, sich in eine durch den Pfeil A
angezeigte Richtung zu bewegen. Wenn andererseits eine Be
wegung des Tisches 5 in eine durch den Pfeil B angezeigte
Richtung gewünscht wird, werden die piezoelektrischen Bauele
mente B aktiviert, so daß der mittlere Bereich 5i dazu veran
laßt wird, sich in eine durch den Pfeil -P angezeigte Rich
tung auszulenken. Wenn der Tisch zum Halten gebracht werden
soll, werden, nachdem dem Motor 6 von der Steuerschaltung ein
Stopp-Signal zugeführt wird, beide piezoelektrischen Bauele
mente A und B aktiviert, um sowohl die obere als auch die
untere Wandfläche 5ca und 5cb in Kontakt mit der Mitnahmewel
le 6a zu bringen.
In Fig. 3 ist eine andere Ausführungsform des Tisches 5 dar
gestellt, die in vielerlei Hinsicht mit der vorher beschrie
benen ähnlich ist. In der vorliegenden Ausführungsform ist
der mittlere Schlitz 5c an beiden Enden mit kreisförmigen
Löchern 5c1 und 5c2 jeweils durch relativ schmale Schlitze
verbunden. Demzufolge ist der mittlere Schlitz 5c den oberen
und unteren äußeren Schlitzen ähnlich im Aufbau. Ein Paar von
kreisförmigen Löchern 5j1 bis 5j4, jeweils verbunden durch
einen relativ schmalen Schlitz, ist zwischen zwei benachbar
ten kreisförmigen Löchern angebracht. In dieser Struktur sind
acht schmale Verbindungsbereiche 15 bis 112 zwischen dem
mittleren Bereich 5i und dem äußeren Bereich 5p geschaffen
und dadurch ist die funktionelle Unterteilung des mittleren
Bereichs 5i in eine obere und eine untere Hälfte stärker aus
geprägt.
In der in Fig. 3 gezeigten Struktur wird der mittlere Bereich
5i, oder genauer seine obere Hälfte, in eine durch den Pfeil
P angezeigte Richtung relativ zu dem äußeren Bereich 5p aus
gelenkt, wenn die piezoelektrischen Bauelemente A aktiviert
werden, um einen Reibungskontakt zwischen der Mitnahmewelle
6a (nicht gezeigt in Fig. 3) und einer oberen Wandfläche des
inneren Schlitzes 5c herzustellen. Andererseits, wenn die
piezoelektrischen Bauelemente B aktiviert werden, wird der
mittlere Bereich 5i, oder genauer seine untere Hälfte, in
eine durch den Pfeil -P angezeigte Richtung relativ zu dem
äußeren Bereich 5p ausgelenkt.
In der Fig. 4 ist eine weitere Ausführungsform des Tisches 5
dargestellt. Diese Ausführungsform enthält im wesentlichen
die gleiche Struktur wie die in Fig. 1 gezeigte Ausführungs
form, ausgenommen die in Fig. 4 gezeigte Struktur. Der in
Fig. 4 gezeigte Kreis entspricht dem durch die gestrichelte
Linie in Fig. 1 bezeichneten Kreis. In der in Fig. 4 gezeig
ten Struktur werden jeweils anstelle der kreisförmigen Löcher
5f1 und 5g1 profilierte Löcher 5k1 und 5l1 eingeformt. Jede
der profilierten Löcher 5k1 und 5l1 hat einen herzförmigen
Teil und damit hat der von diesen zwei profilierten Löchern
5k1 und 5l1 definierte Verbindungsbereich zwei eingeschnürte
Bereiche. Eine solche Struktur gestattet die Herbeiführung
einer verbesserten Auslenkbarkeit des mittleren Bereichs 5i.
In der Fig. 5 ist eine X-Y-Positioniertischanordnung darge
stellt gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung, in der eine Positionierung entlang zweier Achsen
durchgeführt werden kann. Die in Fig. 5 gezeigte Struktur
kann einfach durch Zusammensetzen eines Satzes von Tisch und
zugehörigen Führungsschienen auf einen anderen Satz aufge
baut werden, wobei sich die Richtungen der Bewegung der
Tische von dem ersten Satz in Bezug auf den anderen unter
scheiden, vorzugsweise senkrecht aufeinanderstehen. Da sowohl
der obere als auch der untere Satz von Tisch und dazugehöri
gen Schienen im Aufbau identisch zu der in Fig. 1 gezeigten
Ausführungsform ist, davon abgesehen, daß der Antriebsmotor 6
gemeinsam benutzt wird, wird zur Vermeidung von Wiederholun
gen im folgenden keine detaillierte Erklärung zum Aufbau ge
geben.
Wenn im Betrieb eine Bewegung des X-Tisches gewünscht wird,
werden entsprechend einem Steuerbefehl von einem Steuer
schaltkreis (nicht gezeigt) die piezoelektrischen Bauelemente
A aktiviert, so daß der mittlere Bereich 5i in eine durch den
Pfeil P angezeigte Richtung ausgelenkt wird, um einen Rei
bungskontakt zwischen der sich drehenden Mitnahmewelle 6a und
dem mittleren Bereich 5i herzustellen, womit der Tisch 5 in
eine durch den Pfeil A angezeigte Richtung bewegt wird. Ande
rerseits, wenn eine Bewegung des Tisches 5 in eine durch den
Pfeil B angezeigte Richtung gewünscht wird, werden die piezo
elektrischen Bauelemente B aktiviert, um den mittleren Bereich
5i in eine durch den Pfeil -P angezeigte Richtung auszulenken,
so daß ein Reibungskontakt zwischen der sich drehenden Mit
nahmewelle 6a und dem mittleren Bereich 5i hergestellt wird.
Wenn der X-Tisch zum Halten gebracht werden soll, wird dem
Antriebsmotor 6 ein Haltebefehl zugeführt und dann werden die
piezoelektrischen Bauelemente A und B aktiviert, um die gegen
überliegenden Wandflächen des mittleren Schlitzes 5c von bei
den Seiten in Kontakt mit der Mitnahmewelle 6a zu bringen.
Auf ähnliche Weise wie oben beschrieben, kann der Y-Tisch,
der unterhalb des X-Tisches in Fig. 5 gesetzt ist, an einen
gewünschten Ort bewegt und an jedem gewünschten Ort zum Hal
ten gebracht werden. Auf diese Art kann nach dem in Fig. 5
gezeigten Aufbau eine Positionierung nicht nur in einer Rich
tung, in diesem Beispiel X, sondern auch in einer anderen
Richtung, in diesem Beispiel Y, durchgeführt werden.
Während die vorstehenden Erläuterungen die bevorzugten Aus
führungsformen der vorliegenden Erfindung vollständig offen
baren, können auch alternative Konzepte, verschiedene Ab
wandlungen und Äquivalente verwendet werden, ohne dabei von
dem wahren Erfindungsgedanken und dem Schutzbereich der Er
findung wegzugehen. Z. B. wurden in den oben beschriebenen
Ausführungsformen piezoelektrische Bauelemente als Einrich
tungen zur Auslenkung des mittleren Bereichs relativ zu dem
äußeren Bereich eingesetzt; zu diesem Zweck können jedoch
auch andere Einrichtungen, wie magnetostriktive Materialien,
eingesetzt werden. Im übrigen wurden in den oben beschriebe
nen Ausführungsformen Schlitze und Löcher zur Unterteilung
des Tisches 5 in den mittleren und den äußeren Bereich ver
wendet; der mittlere und der äußere Bereich können jedoch
auch einzeln gefertigt werden und durch Verbindungseinrich
tungen, wie Federn, miteinander verbunden werden. Darüber
hinaus kann der Mechanismus der Relativbewegung zwischen dem
Tisch und den dazugehörigen Führungsschienen auch durch einen
anderen Aufbau, wie einen Mechanismus einer endlosen Umlauf
verbindung mit Rollenkontakten oder einen Schleifkontakt
mechanismus, herbeigeführt werden.
Daher sollte die obige Beschreibung und Erläuterung nicht
als den Schutzumfang der Erfindung begrenzend aufgefaßt wer
den, der durch die beigefügten Ansprüche festgelegt ist.
Claims (6)
1. Positioniertischanordnung, gekennzeichnet durch
ein Paar von parallel zueinander verlaufenden und voneinander
beabstandeten Führungsschienen (1, 2);
einen zwischen das Paar von Führungsschienen (1, 2) angeordne ten Tisch (5), wobei der Tisch (5) einen mittleren Bereich (5i) und einen äußeren Bereich (5p) enthält, welcher den mitt leren Bereich (5i) umgibt und mit dem mittleren Bereich (5i) durch mindestens einen Verbindungsbereich (li) derart verbunden ist, daß der mittlere Bereich (5i) relativ zu dem äußeren Be reich (5p) auslenkbar ist, und der mittlere Bereich (5i) mit einem sich in einer Richtung parallel zu einer longitudinalen Achse einer der Führungsschienen (1, 2) erstreckenden mittle ren Schlitz (5c) ausgebildet ist;
eine Vielzahl von rollfähigen oder Wälzlagerelementen (4), welche zwischen das Paar von Führungsschienen (1, 2) und den Tisch (5) angeordnet ist, um einen Rollkontakt zwischen den Führungsschienen (1, 2) und dem Tisch (5) herzustellen;
eine Antriebseinrichtung mit einem sich drehenden Bereich (6), der sich in den mittleren Schlitz (5c) erstreckt, und eine Auslenkeinrichtung (A1, A2; B1, B2) zum Ankoppeln des Tisches (5) an die Antriebseinrichtung, wobei die Auslenkein richtung (A1, A2; B1, B2) an dem Tisch (5) zur Auslenkung des mittleren Bereichs (5i) relativ zu dem äußeren Bereich (5p) montiert ist.
einen zwischen das Paar von Führungsschienen (1, 2) angeordne ten Tisch (5), wobei der Tisch (5) einen mittleren Bereich (5i) und einen äußeren Bereich (5p) enthält, welcher den mitt leren Bereich (5i) umgibt und mit dem mittleren Bereich (5i) durch mindestens einen Verbindungsbereich (li) derart verbunden ist, daß der mittlere Bereich (5i) relativ zu dem äußeren Be reich (5p) auslenkbar ist, und der mittlere Bereich (5i) mit einem sich in einer Richtung parallel zu einer longitudinalen Achse einer der Führungsschienen (1, 2) erstreckenden mittle ren Schlitz (5c) ausgebildet ist;
eine Vielzahl von rollfähigen oder Wälzlagerelementen (4), welche zwischen das Paar von Führungsschienen (1, 2) und den Tisch (5) angeordnet ist, um einen Rollkontakt zwischen den Führungsschienen (1, 2) und dem Tisch (5) herzustellen;
eine Antriebseinrichtung mit einem sich drehenden Bereich (6), der sich in den mittleren Schlitz (5c) erstreckt, und eine Auslenkeinrichtung (A1, A2; B1, B2) zum Ankoppeln des Tisches (5) an die Antriebseinrichtung, wobei die Auslenkein richtung (A1, A2; B1, B2) an dem Tisch (5) zur Auslenkung des mittleren Bereichs (5i) relativ zu dem äußeren Bereich (5p) montiert ist.
2. Positioniertischanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Tisch (5) in Form einer Platte mit vier Sei
ten und einer Vielzahl von äußeren Schlitzen entlang den und
in der Nähe der vier Seiten des plattenförmigen Tisches (5)
ausgebildet ist, wodurch der Tisch (5) in den mittleren Be
reich (5i) und den äußeren Bereich (5p) unterteilt wird.
3. Positioniertischanordnung nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Auslenkeinrichtung (A1, A2; B1, B2) in
mindestens einigen dieser äußeren Schlitze angeordnet ist,
welche sich parallel zu den longitudinalen Achsen jeder der
beiden Führungsschienen (1, 2) erstrecken.
4. Positioniertischanordnung nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß der mittlere Schlitz (5c) sich ebenso
parallel zu der longitudinalen Achse von jeder der Führungs
schienen (1, 2) erstreckt.
5. Positioniertischanordnung nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die Auslenkeinrichtung (A1, A2; B1, B2)
mindestens ein piezoelektrisches Bauelement enthält.
6. Positioniertischanordnung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Antriebseinrichtung (6) einen An
triebsmotor mit einer Mitnahmewelle, (6a) enthält, welche den
sich drehenden Bereich bildet.
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