DE4106180C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE4106180C2 DE4106180C2 DE19914106180 DE4106180A DE4106180C2 DE 4106180 C2 DE4106180 C2 DE 4106180C2 DE 19914106180 DE19914106180 DE 19914106180 DE 4106180 A DE4106180 A DE 4106180A DE 4106180 C2 DE4106180 C2 DE 4106180C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- control slide
- actuating element
- magnets
- diaphragm pump
- double diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/06—Pumps having fluid drive
- F04B43/073—Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve
- F04B43/0736—Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve with two or more pumping chambers in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01L—CYCLICALLY OPERATING VALVES FOR MACHINES OR ENGINES
- F01L25/00—Drive, or adjustment during the operation, or distribution or expansion valves by non-mechanical means
- F01L25/08—Drive, or adjustment during the operation, or distribution or expansion valves by non-mechanical means by electric or magnetic means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86574—Supply and exhaust
- Y10T137/86622—Motor-operated
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine druckmittelbetriebene Doppel-
Membranpumpe mit durch eine Koppelstange miteinander verbundenen,
zwei Membrankammern teilenden Membranen, einem
in Abhängigkeit von den Membranen verschiebbaren Betätigungselement
sowie einem von dem Betätigungselement abhängigen
Steuerschieber.
Eine derartige Doppelmembranpumpe ist in der deutschen
Offenlegungsschrift 33 10 131 beschrieben. Bei dieser
Doppelmembranpumpe besteht das Betätigungselement aus einer
axial verschiebbaren, aus dem Steuerschiebegehäuse
herausragenden, koaxial im Steuerschieber angeordneten
Betätigungsstange. Diese Betätigungsstange wirkt in beiden
Richtungen über eine Druckfeder auf den Steuerschieber,
der durch federbeaufschlagte Rastkugeln in seinen
Endstellungen so lange festgehalten wird, bis die Kraft
der koaxial auf der Betätigungsstange angeordneten Feder
die Rastkraft übersteigt. Danach schnellt der Steuerschieber,
durch Federkraft getrieben in die entgegengesetzte
Steuerstellung und bewirkt das Umsteuern der Membranbewegung.
Auf diese Weise wird der Steuerschieber
zwischen zwei stabilen Endstellungen hin- und herbewegt.
Da die Bewegung des Steuerschiebers mechanisch von den
starr über eine Koppelstange miteinander verbundenen Membra
nen gesteuert wird und im Wege einer Ausnutzung von
potentieller Federenergie eine Schnappvorrichtung den
Steuerschieber zwischen seinen beiden Endstellungen hin-
und herbewegt, ergibt sich als Nachteil, daß der Steuerschieber
bei sehr geringer Pumpenleistung zum
Hängenbleiben in einer Zwischenstellung neigt und bei
sehr hoher Pumpenleistung infolge Flatterns im Federmechanismus
keine genaue Ventilsteuerung möglich ist. Des
weiteren sind eine Vielzahl
bewegter Einzelteile erforderlich, die aufeinander gleiten
und daher eine entsprechende Schmierung erfordern. Die Fe
der auf der Betätigungsstange ist hoch belastet und muß in
der Regel aus Edelstahl bestehen. Dennoch besitzt sie eine
begrenzte Standzeit, so daß ein verhältnismäßig hoher Repa
raturaufwand gegeben ist. Darüber hinaus ist auch der Mon
tageaufwand verhältnismäßig hoch.
Diesen Nachteilen soll - gemäß der deutschen Offenlegungs
schrift 33 10 131 - dadurch abgeholfen werden, daß die den
Steuerschieber über die Feder direkt beaufschlagende Betäti
gungsstange durch ein Pilotventil ersetzt wird, das durch
die Membranbewegung gesteuert, den als Kolben ausgebildeten
Steuerschieber mit Druckmittel abwechselnd beaufschlagt, so
daß für das Betätigen des Pilotventils nur geringe Kräfte
erforderlich sind, während der Steuerschieber selber mit
tels des Druckmittels verschoben wird.
Dieser Ausführung haftet als Nachteil an, daß eine Vielzahl
von Dichtflächen mit entsprechender Reibung und Leckver
lusten erforderlich sind, und daß auch hier die Gefahr
einer funktionslosen Mittelstellung besteht, die zum Still
stand führen kann. Zum Umschalten des Steuerschiebers ist
zudem ein Mindestdruck des Treibmittels erforderlich, so
daß insbesondere bei kleinen Doppelmembranpumpen ein Be
trieb mit Drücken unter 2 bar nicht möglich ist. Bei dieser
Ausführung ist es erforderlich, einen Kompromiß zwischen
geringen Druckmittelverlusten, aber damit verbundener
Schwergängigkeit oder umgekehrt Leichtgängigkeit und damit
verbundenen Druckmittelverlusten einzugehen. Diese Doppel
membranpumpe stellt zudem hohe Anforderungen an die Ferti
gungsgenauigkeit, erfordert aufgrund der Vielzahl von Ein
zelteilen einen hohen Montageaufwand und muß überwiegend
aus Metall bestehen.
Schließlich ist aus der deutschen Offenlegungsschrift 39
00 718 eine druckluftbetriebene Doppelmembranpumpe mit
einem pneumatisch pilotierten Steuersystem bekannt, bei
dem der Steuerkolben über Pilotventile mit einem Druckmittel
beaufschlagt wird. Um Zwischenstellungen des
Steuerkolbens zu vermeiden, verwendet das Steuersystem
eine elastische magnetische Haltevorrichtung. Diese Haltevorrichtung
besteht aus an den mit Druckluft beaufschlagten
Flächen des Steuerkolbens angeordneten Permanentmagneten,
die mit dem aus einem magnetisierbaren
Werkstoff bestehenden Zylindergehäuse zusammenwirken. Die
Haltevorrichtung arbeitet unabhängig von der Bewegung der
Pumpenmembran und dient dazu, beim Ansteuern des Pilotventils
an der betreffenden Kolbenfläche zunächst einen
die Haltekraft des Magneten überwindenden Druck aufzubauen,
um den Steuerkolben alsdann bei einem die Haltekraft
übersteigenden Druck schlagartig und mit hohem Bewegungsimpuls
in seine andere Endstellung zu bewegen und
dort magnetisch zu arretieren.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine machanisch
pilotierte Doppelmembranpumpe zu schaffen, die aus wenigen
Teilen besteht, keine bedeutenden inneren Reibungskräfte
ergibt, sich problemlos von geringer Leistung bis
zur Höchstleistung betreiben läßt und möglichst geringe
Druckmittelverluste verursacht. Die Lösung dieser Aufgabe
besteht darin, daß bei einer Doppelmembranpumpe der eingangs
erwähnten Art erfindungsgemäß das Betätigungselement
magnetisch mit dem Steuerschieber gekoppelt ist.
Diese Koppelung läßt sich berührungslos gestalten, so daß
in diesem Bereich keine Reibung auftritt und keine Dichtflächen
erforderlich sind, außer dort, wo das
Betätigungselement in den Bereich der Membranen geführt
ist.
Das Betätigungselement kann mit dem Steuerschieber durch
sich gegenseitig abstoßende gleichpolige Magnete gekoppelt
sein. Ebenso kann das Betätigungselement aber
auch mit dem Steuerschieber durch entgegengesetzt gepolte
Magnete oder einen Magneten und ein ferromagnetisches
Teil, die sich gegenseitig anziehen, gekoppelt sein.
Des weiteren kann je ein Magnet oder ferromagnetisches
Teil an je einer Membran und mindestens ein Magnet oder
ein ferromagnetisches Teil im Steuerschieber angeordnet
sein.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn am Betätigungselement
und am Steuerschieber mindestens je ein Magnet so angeordnet
ist, daß sich in den entgegengesetzten Endstellungen
gleiche Pole gegenüberliegen und sich abstoßen.
Die Magnete können vorteilhafterweise als Ringmagnete ausge
bildet sein.
Vorzugsweise werden Dauermagnete verwendet, die stark genug
sind, um die Betätigungskräfte aufzubringen, und die kei
nerlei Verbindung nach außen bedürfen.
Das Betätigungselement kann aus einer in koaxial im Steuer
schieber angeordneten Stange bestehen. Diese Stange kann
die Koppelstange selbst sein oder aber aus einer axial
verschiebbaren und abgedichtet aus dem Steuerschieber her
ausragenden, parallel zur Koppelstange verlaufenden Betäti
gungsstange bestehen.
Des weiteren können jeweils zwei Magnete mit Abstand vonein
ander auf dem Betätigungselement und im Steuerschieber mit
einander zugekehrten ungleichnamigen Polen angeordnet sein,
wenn die einander zugekehrten ungleichnamigen Pole auf dem
Betätigungselement und im Steuerschieber jeweils gleich ge
polt sind. Diese Tandemanordnung der Magnetpaare ergibt
einen genauen, lastunabhängigen Schaltpunkt mit doppelter
Umschaltkraft und stabilen Endlagen des Steuerschiebers,
basierend auf einer axialen Magnetisierungsrichtung.
Diese Ausführung eignet sich insbesondere für relativ klei
ne Umsteuerventile. Ist jedoch mehr Platz für größere Magne
te vorhanden und somit eine radiale Magnetisierung möglich,
so ist dies günstiger, da die Betätigungskräft in diesem
Fall größer sind. Die Außenflächen der Magnete auf dem
Betätigungselement sind gleich gepolt mit den Innenflächen
der Magnete im Steuerschieber.
Die erfindungsgemäße Doppelmembranpumpe läßt sich besonders
einfach herstellen, wenn die Abstände der Magnete auf dem
Betätigungselement und im Steuerschieber gleich und bezüg
lich ihrer Abstände zu Gehäuseanschlägen so bemessen sind,
daß das Betätigungselement und der Steuerschieber an entge
gengesetzten Gehäuseanschlägen anschlagen sowie bei einem
Betätigen des Betätigungselements nach einem vorgegebenen
Betätigungsweg in die entgegengesetzte Stellung gegenläufig
umspringen.
Die Umschaltkräfte im Punkte größter Näherung lassen sich
wesentlich erhöhen, wenn jeweils drei Magnete mit Abstand
voneinander auf dem Betätigungselement und im Steuerschie
ber mit einander zugekehrten gleichnamigen Polen angeordnet
sind und die in den Endstellungen einander zugewandten Pole
auf den Betätigungselement und im Steuerschieber jeweils
ungleichnamig sind. Dabei können die Abstände der Magnete
auf dem Betätigungselement und im Steuerschieber gleich
sein. Bezüglich ihres Abstandes zu Gehäuseanschlägen können
die Magnete so angeordnet sein, daß das Betätigungselement
und der Steuerschieber an entgegengesetzten Gehäuseanschlä
gen anliegen und dabei jeweils zwei Magnetpaare in einer
zur Achse des Betätigungselements senkrechten Ebene liegen,
so daß sie bei einem Betätigen des Betätigungselements nach
einem vorgegebenen Betätigungsweg in die entgegengesetzte
Endlage gegenläufig umspringen. Mit dieser Anordnung ergibt
sich eine bessere Kraftverteilung auf dem gesamten Schalt
weg des Steuerschiebers und eine Kraftreserve auch bei ver
schmutzter Antriebsluft. Durch das anziehende Zusammenwir
ken der mittleren Magnete auf dem Betätigungselement und im
Steuerschieber jeweils mit äußeren Magneten in den End
stellungen ergibt sich eine sehr stabile, erschütterungs
feste Endlage des Steuerschiebers und des Betätigungsele
ments.
Es können auch jeweils drei radial magnetisierte Magnete
mit Abstand voneinander auf dem Betätigungselement und im
Steuerschieber angeordnet sein. In diesem Fall sind die
äußeren Magnete jeweils gleich gepolt und mit gleichen
Polen einander zugewandt, während die mittleren Magnete
dazu entgegengesetzt gepolt aber auch mit gleichen Polen
einander zugewandt sind. In den Endstellungen sind dann
benachbarte Magnete auf dem Betätigungselement und im Steu
erschieber jeweils entgegengesetzt gepolt und ziehen sich
an, während sich die Magnete auf dem Betätigungselement und
im Steuerschieber, die keinem entsprechenden Magneten gegen
überliegen, abstoßen. In der Mittelstellung, in der sich
alle drei radial magnetisierte Magnetpaare gegenüberstehen,
sind bei jedem Magnetpaar gleichnamige Pole einander zuge
wandt, so daß in dieser Position ein augenblickliches Um
springen des Betätigungselements und des Steuerschiebers in
die jeweils entgegengesetzte Endlage eintritt.
Die auf der von den Membranen bewegten Betätigungsstange
angeordneten ringförmigen Dauermagnete unterfahren die im
konzentrischen Steuerschieber angeordneten, ebenfalls ring
förmigen Dauermagneten und stoßen diese nach Überschreiten
des Punktes größter Näherung in die entgegengesetzte Rich
tung ab, so daß sich der Steuerschieber sprungartig in
seine entgegengesetzte Arbeitsstellung bewegt. Der Steuer
schieber und die Betätigungsstange benötigen jeweils nur
zwei bewegte Dichtflächen und nur eine eng tolerierte Gegen
lauffläche für den Steuerschieber. Reibung tritt somit nur
noch an diesen vier Dichtflächen auf. Außer dem Steuerschie
ber und der Betätigungsstange gibt es keine bewegten Teile;
außerdem gibt es zwischen der Betätigungsstange und dem
Steuerschieber keine Reibung, da diese berührungslos inein
ander gleiten. Des weiteren treten keine Druckmittelver
luste und kein Druckmittelverlauf wie bei einem durch ein
Pilotventil angesteuerten Steuerschieber auf, und die Um
schaltkraft besitzt eine konstante, vom Druck des Druckmit
tels unabhängige Größe.
Für den Betrieb der Doppelmembranpumpe genügt ein Druck bis
herunter zu 0,3 bar, wenn das Druckmittel aus Druckluft
besteht. Die Doppelmembranpumpe läuft sehr leicht an und
weist einen gegenüber pilotventilgesteuerten Doppelmembran
pumpen erheblich höheren Wirkungsgrad, insbesondere im wich
tigen Teillastbereich auf.
Die erfindungsgemäße Doppelmembranpumpe ist zudem wenig an
fällig gegen Verschmutzungen, kann schmierungs- und ermü
dungsfrei arbeiten und weist dementsprechend einen vermin
derten Verschleiß auf.
Da den Endstellungen des Steuerschiebers stabile Endstellun
gen der Magnete entsprechen, ergibt sich beim Umschalten
eine magnetische Endlagendämpfung mit einer entsprechenden
Verminderung der Umschaltgeräusche.
Die Verwendung von sich gegenseitig abstoßenden Dauermagne
ten gewährleistet eine absolut sichere Totpunktfreiheit und
ein ständiges Selbstzentrieren des Steuerschiebers bei sehr
geringen Radialkräften. Der Steuerschieber schwimmt sozusa
gen auf seinen beiden Dichtungen.
Der Steuerschieber und die Betätigungsstange lassen sich in
besonders einfacher Weise herstellen, wenn sie aus Kunst
stoff bestehen und die Magnete sowie andere Metallteile mit
Kunststoff umspritzt werden. Diese Herstellungsweise erfor
dert praktisch keine Nachbearbeitung. Auch das Steuerschie
bergehäuse läßt sich als Kunststoff-Spritzgußteil fertigen,
so daß die erfindungsgemäße Doppelmembranpumpe in ihren
wesentlichen, insbesondere den bewegten Teilen aus Kunst
stoff besteht und insoweit metallfrei ist, was besonders
wichtig für den Einsatz in der Halbleiterindustrie ist.
Die Erfindung wird nachstehend anhand zweier in der Zeich
nung dargestellter Ausführungsbeispiele des näheren erläu
tert. In der Zeichnung zeigen:.
Fig. 1 eine ausschnittsweise, schnittbildliche Darstel
lung einer Doppelmembranpumpe mit Koppelstange
und Betätigungselement für den Steuerschieber,
Fig. 2 eine entsprechende ausschnittsweise, schnittbildli
che Darstellung mit einer Koppelstange als Betäti
gungselement,
Fig. 3 den Steuerschieber nach Fig. 1, jedoch mit anders
magnetisierten Magneten,
Fig. 4 eine Ventilsteuerung mit Stirnmagneten am Steuer
schieber,
Fig. 5 eine Doppelmembranpumpe entsprechend Fig. 1, je
doch mit je drei Magneten auf dem Betätigungsele
ment und dem Steuerschieber.
Von einer Doppelmembranpumpe ist in Fig. 1 ein Steuerschie
bergehäuse 1 mit Steuerkanälen 2, 3, 4, 5, 6 dargestellt.
Diese Steuerkanäle führen in einen Umsteuerblock 9. Der
Steuerkanal 2 ist mit einer Druckquelle verbunden, der
Steuerkanal 3 mit einer nicht dargestellten Treibmittelkam
mer, der Steuerkanal 5 mit der anderen nicht dargestellten
Treibmittelkammer, der Steuerkanal 4 mit einem Treibmittel
auslaß und der Steuerkanal 6 ebenfalls mit einem Treibmit
telauslaß. Als Treibmittel dient in der Regel Druckluft.
Die Steuerkanäle 2, 3, 4, 5, 6 sind untereinander und nach
außen mittels O-Ring-Dichtungen abgedichtet und im Umsteuer
block 9 mittels Sprengringen 8 festgelegt. Des weiteren
befinden sich in Deckelbereichen des Steuerschiebergehäuses
1 weiterer O-Ring, der als Dämpfungselement für den hin-
und hergehenden Steuerschieber 12 wirkt. Die O-Ringe 10 und
die Stirnflächen 21 bilden jeweils Anschlagflächen.
Im Gehäuse 1 ist ein Steuerschieber 12 axial verschiebbar
angeordnet. In den Endbereichen des Steuerschiebers 12 sind
radial vorstehende Verschlußorgane 13 mit Gleitdichtungen
14 angeordnet.
In der in Fig. 1 dargestellten Stellung ergibt sich für die
eine Treibmittelkammer eine Verbindung zur Druckmittelzu
fuhr über die Kanäle 5, 2 sowie für die andere Treibmittel
kammer eine Verbindung zu einer Druckmittelentlastung über
die Kanäle 3, 4. Bewegt sich der Steuerschieber 12 nach
links, werden die Treibmittelkammern umgekehrt beaufschlagt
bzw. entlastet. Der Steuerschieber 12 besteht aus Kunst
stoff und besitzt ringförmige Dauermagnete 15, die mit
Kunststoff umspritzt sind. Die Ringmagnete 15 sind mit
Abstand voneinander so angeordnet, daß ihre ungleichnamigen
Pole benachbart sind, beispielsweise Nordpole links und
Südpole rechts.
Im Steuerschiebergehäuse 1 ist des weiteren eine Betäti
gungsstange 16 mit Endzapfen 17 kleineren Durchmessers
axial verschiebbar und mittels Gleitdichtungen 11 abgedich
tet geführt. Absätze 19 an der Betätigungsstange 16 bilden
in Verbindung mit entsprechenden Stirnflächen 20 im Deckel
bereich des Steuerschiebergehäuses 1 Anschlagflächen für
die Bewegung der Betätigungsstange 16.
Die Betätigungsstange 16 besteht aus einem Kunststoff-
Spritzgußteil, in das ebenfalls Ringmagnete 18 eingebettet
sind. Diese Ringmagnete 18 sind im selben Abstand wie die
Ringmagnete 15 angeordnet und ebenfalls einander mit un
gleichnamigen Polen zugekehrt, und zwar in gleicher Weise
wie die Ringmagnete 15, d. h. Nordpole links und Südpole
rechts.
In der dargestellten Lage ziehen sich alle Magnete gleich
stark an. Dies hat zur Folge, daß der Steuerschieber 12
sich in einer stabilen Endlage befindet.
Durch Verändern des axialen Abstands der beiden Ringmagnet
paare unter Beibehaltung der Wege für den Steuerschieber
sowie der Betätigungsstange läßt sich die axiale Restkraft
in den Endlagen beeinflussen. Bei Verringerung des Abstan
des ergibt sich eine anziehende resultierende Kraft zwi
schen Steuerschieber und Betätigungsstange und bei Vergröße
rung eine abstoßende Kraft. Diese können entweder zur Siche
rung der Endlagen (abstoßend) oder als Bremskraft für die
Umsteuerung (anziehend) genutzt werden.
In der stabilen Endlage verbleiben der Steuerschieber 12
und die Betätigungsstange 16 so lange, bis die Betätigungs
stange 16 nach rechts verschoben wird und die Ringmagnete
15, 18 zur Deckung kommen. Eine geringfügige Weiterbewegung
der Betätigungsstange nach rechts genügt dann, um die
gleichgerichteten Pole der Ringmagnete 15, 16 in der Weise
zur Wirkung zu bringen, daß der Steuerschieber 12 schlagar
tig nach links und die Betätigungsstange 16 nach rechts
schnellen, um in die entgegengesetzte stabile Endstellung
zu gelangen.
Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel, sind
das Steuerschiebergehäuse 1 mit dem Steuerschieber 12 in
gleicher Weise aufgebaut wie nach Fig. 1, so daß insoweit
dieselben Bezugsziffern gelten. Die Koppelstange 22 dient
hier jedoch als Betätigungsstange. Dementsprechend sind das
Steuerschiebergehäuse 1 und der Steuerschieber 12 koaxial
zur Koppelstange 22 angeordnet. Die Koppelstange 22 besteht
ebenfalls aus Kunststoff. Ringmagnete 18 sind dementspre
chend wie nach Fig. 1 mit Kunststoff umspritzt.
In den Endbereichen der Koppelstange 22 sind umspritzte
Hülsen 28 angeordnet, die zur Befestigung je einer Membrane
25 mittels eines eingelagerten Membrankerns 24 dienen. In
diesem Fall bilden die Außenflächen 26 des Steuerschieberge
häuses 1 Anschlagflächen für Innenflächen 27 der Membranen
25; sie dienen somit als Hubbegrenzung. Bewegt sich die
linke Membrane 25 mit der Koppelstange 22 nach rechts, so
bleibt der Steuerschieber 12 so lange in der dargestellten
Lage, bis die Ringmagnete 18 in den Bereich der Ringmagnete
15 gelangen. In diesem Moment bewirkt die abstoßende Wir
kung der Ringmagnete 15 und 18, daß der Steuerschieber 12
schlagartig nach links springt. Hierdurch wird, wie bereits
beschrieben eine Bewegungsumkehr eingeleitet. Somit wieder
holt sich der Vorgang jeweils am Ende des Weges der Kop
pelstange 22.
Reicht ein berührungsloses Mitnehmen des Steuerschiebers 12
durch die Betätigungsstange 16 oder die Koppelstange 22
aus, läßt sich eine gegensinnige Bewegung des Steuerschie
bers 12 und der Betätigungsstange 16 bzw. der Koppelstange
22 durch die Anordnung eines Ringmagneten im Steuerschieber
12 und eines ferromagnetischen Teils in der Betätigungsstan
ge 16 bzw. der Koppelstange 22 erreichen. Ebenso kann ein
weiterer Ringmagnet in der Betätigungsstange 16 oder der
Koppelstange 22 angeordnet sein, wenn dessen Polarität zu
der des Ringmagneten im Steuerschieber 12 entgegengesetzt
gerichtet ist.
Der Steuerschieber gemäß Fig. 3 entspricht dem Ausführungs
beispiel der Fig. 1, jedoch mit radial magnetisierten inne
ren und äußeren Magneten. Diese Version eignet sich beson
ders für größere Steuerventile, da, bezogen auf die gleiche
Magnetmasse, die Betätigungskraft hier höher als bei axia
ler Magnetisierung ist.
Die Umsteuerung des Steuerschiebers kann entsprechend Fig.
4 auch durch entsprechend starke axial wirkende Stirnmagne
te 30 an den Enden des Steuerschiebers 12 geschehen, die
mit einem ferromagnetischen Membrankern oder Membranteller
25 direkt zusammenwirken und die Umsteuerung bei Annäherung
einer Membrane durch Anziehen auslösen. Hierbei entfällt
dann auch noch die Betätigungsstange. Die Seitenwand des
Steuerschiebergehäuses ist dann möglichst dünnwandig.
Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 4 ist zudem die Koppel
stange 22 beiderseits des Steuerkanals 2 mit zwei Dichtun
gen 29 versehen. Der Verlauf des Steuerkanals 2 erlaubt
dabei ein Kühlen der vorzugsweise in einem Kunststoffblock 9
geführten Koppelstange.
Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 5 sind jeweils drei
Magnete 15, 31; 18, 32 mit Abstand voneinander auf dem Betä
tigungselement 16, 17 und im Steuerschieber 12 angeordnet.
Die Magnete 15, 31 im Steuerschieber 12 und die Magnete 18,
32 auf dem Betätigungselement 16, 17 sind so angeordnet,
daß gleichnamige Pole einander zugekehrt sind.
Die Abstände der Magnete 15, 31 im Steuerschieber 12 und
der Magnete 18, 32 auf dem Betätigungselement 16, 17 sind
jeweils gleich. Die Magnete 15, 31 sind bezüglich ihrer
Abstände zu den Gehäuseanschlägen 10 so angeordnet, daß das
Betätigungselement 16, 17 und der Steuerschieber 12 an
entgegengesetzten Gehäuseanschlägen 10 anliegen, dabei je
weils zwei Magnetpaare 15, 32; 31, 18 in einer zur Achse
des Betätigungselements 16, 17 senkrechten Ebene liegen und
bei einem Betätigen des Betätigungselements 16, 17 nach
einem vorgegebenen Betätigungsweg in die entgegengesetzte
Endlage gegenläufig umspringen.
Die Magnete 15, 31; 18, 32 können auch radial magnetisiert
sein, wie dies in Fig. 3 dargestellt ist. In diesem Fall
sind die mittleren Magnete 31, 32 jeweils entgegengesetzt
gepolt zu den äußeren Magneten 15, 18, so daß sich in den
Endlagen jeweils entgegengesetzt gepolte Magnete 15, 32 und
31, 18 gegenüberliegen und dadurch eine stabile Endstellung
definieren, während sich beim Umschalten in der mittleren
Position die Magnete 15, 18, 31, 32 und nochmals 15, 18
gegenüberliegen, gleichnamige Pole einander zugekehrt sind
und ein sofortiges Umspringen in die entgegengesetzte End
stellung bewirken.
Claims (19)
1. Druckmittelbetriebene Doppelmembranpumpe mit durch eine
Koppelstange miteinander verbundenen, zwei Membrankammern
teilenden Membranen, einem in Abhängigkeit von
den Membranen verschiebbaren Betätigungselement sowie
einem von dem Betätigungselement abhängigen Steuerschieber,
dadurch gekennzeichnet, daß das Betätigungselement
(16, 17; 22, 28) magnetisch mit dem Steuerschieber
(12) gekoppelt ist.
2. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Betätigungselement (16, 17; 22, 28)
mit dem Steuerschieber (12) durch sich gegenseitig
abstoßende, gleichpolige Magnete (15, 18) gekoppelt
ist.
3. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Betätigungselement (16, 17; 22, 28)
mit dem Steuerschieber (12) durch sich gegenseitig
anziehende, entgegengesetzt gepolte Magnete (15, 18)
oder einen Magneten und ein ferromagnetisches Teil
gekoppelt ist.
4. Doppelmembranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
gekennzeichnet durch die Verwendung von Dauermagneten
(15, 18).
5. Doppelmembranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß das Betätigungselement aus
einer koaxial im Steuerschieber (12) angeordneten
Stange (16, 22) besteht.
6. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Koppelstange (22) koaxial im Steuer
schieber (12) angeordnet ist.
7. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Steuerschieber (12) parallel zur
Koppelstange (22) angeordnet ist und das Betätigungs
element (16, 17) axial verschiebbar aus dem Steuer
schiebergehäuse (1) herausragt.
8. Doppelmembranpumpe nach einem der Ansprüche 5 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß am Betätigungselement (16,
17; 22, 28) und am Steuerschieber (12) mindestens je
ein Magnet (15, 18) angeordnet ist, deren gleichnamige
Pole in den beiden Endstellungen zueinander zeigen.
9. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 8, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Magnete (15, 18) als Ringmagnete
ausgebildet sind.
10. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 8 oder 9, dadurch
gekennzeichnet, daß jeweils zwei Magnete (15, 18) mit
Abstand voneinander auf dem Betätigungselement (16,
17; 22, 28) und im Steuerschieber (12) miteinander
zugekehrten ungleichnamigen Polen angeordnet sind so
wie in den beiden Endstellungen die einander zuge
wandten ungleichnamigen Pole zwischen dem Betätigungs
element (16, 17; 22, 28) und dem Steuerschieber (12)
entgegengesetzt gepolt sind.
11. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 10, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Abstände der Magnete (15, 18) auf
dem Betätigungselement (16, 17; 22, 28) und im Steuer
schieber (12) gleich sind und bezüglich ihrer Abstände
zu Gehäuseanschlägen (10, 20, 26) so bemessen sind,
daß das Betätigungselement (16, 17; 22, 28) und der
Steuerschieber (12) an entgegengesetzten Gehäusean
schlägen (10, 20, 26) anliegen und bei einem Betätigen
des Betätigungselements (16, 17; 22, 28) nach einem
vorgegebenen Betätigungsweg in die entgegengesetzte
Stellung gegenläufig umspringen.
12. Doppelmembranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß der Steuerschieber (12)
und/oder das Betätigungselement (16, 17; 22, 28) aus
Kunststoff bestehen.
13. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 12, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Magnete (15, 18) und/oder das ferro
magnetische Material mit Kunststoff umspritzt sind.
14. Doppelmembranpumpe mit nach Anspruch 8 oder 9, dadurch
gekennzeichnet, daß jeweils drei axial magnetisierte
Magnete (15, 31; 18, 32) mit Abstand voneinander auf
dem Betätigungselement (16, 17) und im Steuerschieber
(12) mit einander zugekehrten gleichnamigen Polen ange
ordnet und die in den Endstellungen einander zuge
wandten Pole zwischen dem Betätigungselement und dem
Steuerschieber ungleichnamig sind.
15. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 8 oder 9, dadurch
gekennzeichnet, daß jeweils drei axial magnetisierte
Magnete (15, 31; 18, 32) mit Abstand voneinander auf
dem Betätigungselement (16, 17) und im Steuerschieber
(12) angeordnet sind, die äußeren Magnete (15; 18)
jeweils gleichnamig und mit gleichen Polen einander
zugewandt sind, während die mittleren Magnete (31; 32)
dazu entgegengesetzt gepolt aber auch mit gleichen
Polen einander zugewandt sind und die in den Endstellungen
benachbarten Magnete (15, 32 bzw. 31, 18) auf
dem Betätigungselement und im Steuerschieber jeweils
entgegengesetzt gepolt sind.
16. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 14 oder 15, dadurch
gekennzeichnet, daß die Abstände der Magnete (15, 31;
18, 32) auf dem Betätigungselement (16, 17) und im
Steuerschieber (12) gleich sind, die Magnete bezüglich
ihrer Abstände zu Gehäuseanschlägen (10) so angeordnet
sind, daß das Betätigungselement und der Steuerschie
ber an entgegengesetzten Gehäuseanschlägen (10) anlie
gen, dabei jeweils zwei Magnetpaare (15, 32; 31, 18)
in einer zur Achse des Betätigungselements senkrechten
Ebene liegen und das Betätigungselement sowie die Steuerschieber
bei einem Betätigen des Betätigungselements
nach einem vorgegebenen Betätigungsweg in die entgegengesetzte
Endlage gegenläufig umspringen.
17. Druckmittelbetriebene Doppelmembranpumpe mit durch eine
Koppelstange mit einander verbundenen, zwei Membrankammern
teilenden Membranen und einem in Abhängigkeit
von den Membranen verschiebbaren Steuerschieber, dadurch
gekennzeichnet, daß der Steuerschieber (12) magnetisch
mit den Membranen (24) oder Membrantellern
(25) gekoppelt ist.
18. Doppelmembranpumpe nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet,
daß der Steuerschieber (12) mit Stirnmagneten
(30) und die Membranen (24) mit einem ferromagnetischen
Kern versehen sind.
19. Doppelmembranpumpe nach einem der Ansprüche 7 oder
18, dadurch gekennzeichnet, daß je ein Magnet oder
ein ferromagnetisches Teil an je einer Membrane (24)
und mindestens ein Magnet (30) oder ferromagnetisches
Teil am Steuerschieber (12) angeordnet ist.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19914106180 DE4106180A1 (de) | 1990-10-08 | 1991-02-27 | Doppel-membranpumpe |
ES91115450T ES2056543T3 (es) | 1990-10-08 | 1991-09-12 | Bomba de doble membrana. |
AT91115450T ATE108518T1 (de) | 1990-10-08 | 1991-09-12 | Doppel-membranpumpe. |
DK91115450T DK0480192T3 (da) | 1990-10-08 | 1991-09-12 | Dobbeltmembranpumpe |
EP19910115450 EP0480192B1 (de) | 1990-10-08 | 1991-09-12 | Doppel-Membranpumpe |
US07/768,814 US5222876A (en) | 1990-10-08 | 1991-09-30 | Double diaphragm pump |
JP26022891A JPH086693B2 (ja) | 1990-10-08 | 1991-10-08 | 複式膜ポンプ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4031872 | 1990-10-08 | ||
DE19914106180 DE4106180A1 (de) | 1990-10-08 | 1991-02-27 | Doppel-membranpumpe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4106180A1 DE4106180A1 (de) | 1992-04-09 |
DE4106180C2 true DE4106180C2 (de) | 1992-09-10 |
Family
ID=25897542
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19914106180 Granted DE4106180A1 (de) | 1990-10-08 | 1991-02-27 | Doppel-membranpumpe |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5222876A (de) |
EP (1) | EP0480192B1 (de) |
JP (1) | JPH086693B2 (de) |
AT (1) | ATE108518T1 (de) |
DE (1) | DE4106180A1 (de) |
DK (1) | DK0480192T3 (de) |
ES (1) | ES2056543T3 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202010004957U1 (de) * | 2010-04-12 | 2011-08-26 | Timmer-Pneumatik Gmbh | Fluid-Steuerventilsystem für eine Pumpensteuerung |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5325762A (en) * | 1992-10-29 | 1994-07-05 | Nordson Corporation | Fluid pressure operated piston engine assembly |
DE4427981C1 (de) * | 1994-08-08 | 1995-12-07 | Huewel Ralf | Hydraulisch oder pneumatisch betriebene Kolben- und/oder Membran-Pumpe |
US5611678A (en) * | 1995-04-20 | 1997-03-18 | Wilden Pump & Engineering Co. | Shaft seal arrangement for air driven diaphragm pumping systems |
NL1001954C2 (nl) | 1995-12-21 | 1997-06-24 | Verder Holding B V | Stuurklep en pomp voorzien van stuurklep. |
TW539918B (en) * | 1997-05-27 | 2003-07-01 | Tokyo Electron Ltd | Removal of photoresist and photoresist residue from semiconductors using supercritical carbon dioxide process |
DE19738779C2 (de) * | 1997-09-04 | 2003-06-12 | Almatec Maschb Gmbh | Umsteuersystem für eine druckgetriebene Membranpumpe |
KR100744888B1 (ko) * | 1999-11-02 | 2007-08-01 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 소재를 초임계 처리하기 위한 장치 및 방법 |
US6748960B1 (en) | 1999-11-02 | 2004-06-15 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for supercritical processing of multiple workpieces |
TW499548B (en) | 2000-06-02 | 2002-08-21 | Tokyo Electron Ltd | Dual diaphragm pump |
EP1303870A2 (de) * | 2000-07-26 | 2003-04-23 | Tokyo Electron Limited | Hochdrucksbehandlungskammer für halbleiterscheiben |
US7001468B1 (en) | 2002-02-15 | 2006-02-21 | Tokyo Electron Limited | Pressure energized pressure vessel opening and closing device and method of providing therefor |
WO2003071173A1 (en) * | 2002-02-15 | 2003-08-28 | Supercritical Systems Inc. | Pressure enchanced diaphragm valve |
US7387868B2 (en) | 2002-03-04 | 2008-06-17 | Tokyo Electron Limited | Treatment of a dielectric layer using supercritical CO2 |
US6722642B1 (en) | 2002-11-06 | 2004-04-20 | Tokyo Electron Limited | High pressure compatible vacuum chuck for semiconductor wafer including lift mechanism |
US7021635B2 (en) * | 2003-02-06 | 2006-04-04 | Tokyo Electron Limited | Vacuum chuck utilizing sintered material and method of providing thereof |
US7077917B2 (en) * | 2003-02-10 | 2006-07-18 | Tokyo Electric Limited | High-pressure processing chamber for a semiconductor wafer |
US7225820B2 (en) * | 2003-02-10 | 2007-06-05 | Tokyo Electron Limited | High-pressure processing chamber for a semiconductor wafer |
US7163380B2 (en) | 2003-07-29 | 2007-01-16 | Tokyo Electron Limited | Control of fluid flow in the processing of an object with a fluid |
US20050034660A1 (en) * | 2003-08-11 | 2005-02-17 | Supercritical Systems, Inc. | Alignment means for chamber closure to reduce wear on surfaces |
US20050035514A1 (en) * | 2003-08-11 | 2005-02-17 | Supercritical Systems, Inc. | Vacuum chuck apparatus and method for holding a wafer during high pressure processing |
US20050067002A1 (en) * | 2003-09-25 | 2005-03-31 | Supercritical Systems, Inc. | Processing chamber including a circulation loop integrally formed in a chamber housing |
US7186093B2 (en) * | 2004-10-05 | 2007-03-06 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for cooling motor bearings of a high pressure pump |
US7250374B2 (en) | 2004-06-30 | 2007-07-31 | Tokyo Electron Limited | System and method for processing a substrate using supercritical carbon dioxide processing |
US7307019B2 (en) | 2004-09-29 | 2007-12-11 | Tokyo Electron Limited | Method for supercritical carbon dioxide processing of fluoro-carbon films |
US7491036B2 (en) | 2004-11-12 | 2009-02-17 | Tokyo Electron Limited | Method and system for cooling a pump |
US20060135047A1 (en) * | 2004-12-22 | 2006-06-22 | Alexei Sheydayi | Method and apparatus for clamping a substrate in a high pressure processing system |
US7434590B2 (en) | 2004-12-22 | 2008-10-14 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for clamping a substrate in a high pressure processing system |
US7140393B2 (en) | 2004-12-22 | 2006-11-28 | Tokyo Electron Limited | Non-contact shuttle valve for flow diversion in high pressure systems |
US20060134332A1 (en) * | 2004-12-22 | 2006-06-22 | Darko Babic | Precompressed coating of internal members in a supercritical fluid processing system |
US7291565B2 (en) | 2005-02-15 | 2007-11-06 | Tokyo Electron Limited | Method and system for treating a substrate with a high pressure fluid using fluorosilicic acid |
US7435447B2 (en) | 2005-02-15 | 2008-10-14 | Tokyo Electron Limited | Method and system for determining flow conditions in a high pressure processing system |
US7767145B2 (en) | 2005-03-28 | 2010-08-03 | Toyko Electron Limited | High pressure fourier transform infrared cell |
US7380984B2 (en) * | 2005-03-28 | 2008-06-03 | Tokyo Electron Limited | Process flow thermocouple |
US7494107B2 (en) | 2005-03-30 | 2009-02-24 | Supercritical Systems, Inc. | Gate valve for plus-atmospheric pressure semiconductor process vessels |
US7789971B2 (en) | 2005-05-13 | 2010-09-07 | Tokyo Electron Limited | Treatment of substrate using functionalizing agent in supercritical carbon dioxide |
US7524383B2 (en) | 2005-05-25 | 2009-04-28 | Tokyo Electron Limited | Method and system for passivating a processing chamber |
US8622720B2 (en) * | 2010-09-09 | 2014-01-07 | Tom M. Simmons | Reciprocating fluid pumps including magnets and related methods |
IT201800004121A1 (it) * | 2018-03-30 | 2019-09-30 | Miro Capitanio | Sistema valvolare antistallo bistabile |
EP3921639A4 (de) * | 2019-02-06 | 2022-03-16 | Siemens Healthcare Diagnostics, Inc. | Flüssigkeitssensoranordnung, -vorrichtung und -verfahren |
EP3730786B1 (de) * | 2019-04-19 | 2022-12-28 | White Knight Fluid Handling Inc. | Hubkolbenfluidpumpen mit magneten sowie zugehörige anordnungen, systeme und verfahren |
DE102021104548A1 (de) | 2021-02-25 | 2022-08-25 | Lutz Pumpen Gmbh | Mehrfachmembranpumpe |
US11746771B2 (en) * | 2021-04-16 | 2023-09-05 | Teryair Equipment Pvt. Ltd. | Actuator valve of an air operated double diaphragm pump |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2811979A (en) * | 1955-02-24 | 1957-11-05 | Frank G Presnell | Shuttle valve |
US3001360A (en) * | 1959-06-08 | 1961-09-26 | New York Air Brake Co | Engine starting system |
US3203439A (en) * | 1962-10-09 | 1965-08-31 | Beckett Harcum Co | Spool valve with magnetic hold |
US3192865A (en) * | 1963-09-10 | 1965-07-06 | Francis J Klempay | Hydraulically actuated pump |
US3304126A (en) * | 1965-02-15 | 1967-02-14 | Gorman Rupp Co | Material handling apparatus and methods |
SE412939B (sv) * | 1977-09-09 | 1980-03-24 | Kaelle Eur Control | Hydrauldriven deplacementpump serskilt for pumpning av tjocka och slitande medier |
DE2925144A1 (de) * | 1979-06-22 | 1981-01-22 | Bruss Foerdertechnik Kg | Doppelt wirkende membranpumpe |
DE3112434A1 (de) * | 1981-03-28 | 1982-10-07 | Depa GmbH, 4000 Düsseldorf | Druckluftgetriebene doppelmembran-pumpe |
DE3150976A1 (de) * | 1981-12-23 | 1983-06-30 | DEPA Gesellschaft für Verfahrenstechnik mbH, 4000 Düsseldorf | Druckluftgetriebene doppelmembranpumpe |
DE3310131A1 (de) * | 1983-03-21 | 1984-09-27 | DEPA Gesellschaft für Verfahrenstechnik mbH, 4000 Düsseldorf | Umsteuerventileinsatz fuer eine druckluftgetriebene doppelmembranpumpe |
US4509402A (en) * | 1983-06-08 | 1985-04-09 | Economics Laboratory, Inc. | Magnetic reversing mechanism |
FR2553149B1 (fr) * | 1983-10-07 | 1985-12-27 | Lagrandiere Marc De | Moteur a piston actionne hydrauliquement ou pneumatiquement et applications |
US4889035A (en) * | 1985-07-16 | 1989-12-26 | Thermo Electron Web Systems, Inc. | Magnetically actuated valve for cyclically operating piston-cylinder actuator |
SE8801423D0 (sv) * | 1988-04-18 | 1988-04-18 | Dominator Ab | Pneumatisk ventil for styrning av i synnerhet tryckluftdrivna membranpumpar |
DE3900718A1 (de) * | 1989-01-12 | 1990-07-26 | Depa Ges Fuer Verfahrenstechni | Verfahren und vorrichtung zur steuerung einer druckluftbetriebenen doppelmembranpumpe |
-
1991
- 1991-02-27 DE DE19914106180 patent/DE4106180A1/de active Granted
- 1991-09-12 ES ES91115450T patent/ES2056543T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1991-09-12 AT AT91115450T patent/ATE108518T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-09-12 DK DK91115450T patent/DK0480192T3/da active
- 1991-09-12 EP EP19910115450 patent/EP0480192B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-09-30 US US07/768,814 patent/US5222876A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-10-08 JP JP26022891A patent/JPH086693B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202010004957U1 (de) * | 2010-04-12 | 2011-08-26 | Timmer-Pneumatik Gmbh | Fluid-Steuerventilsystem für eine Pumpensteuerung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATE108518T1 (de) | 1994-07-15 |
ES2056543T3 (es) | 1994-10-01 |
US5222876A (en) | 1993-06-29 |
EP0480192B1 (de) | 1994-07-13 |
JPH04234582A (ja) | 1992-08-24 |
EP0480192A1 (de) | 1992-04-15 |
JPH086693B2 (ja) | 1996-01-29 |
DK0480192T3 (da) | 1994-08-15 |
DE4106180A1 (de) | 1992-04-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4106180C2 (de) | ||
EP0264682B2 (de) | Kolben-Zylinder-Aggregat | |
EP0381835B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung einer druckluftbetriebenen Doppelmembranpumpe | |
EP1657452B1 (de) | Pneumatische Oszillatorvorrichtung | |
DE69432594T2 (de) | Sich hin und herbewegendes gerät | |
EP1171711A1 (de) | Schwingkolbenantrieb | |
DE19806720A1 (de) | Bistabiler Magnetantrieb mit permanentmagnetischem Hubanker | |
DE69302656T2 (de) | Anordnung für Druckmittelmotor mit Kolben | |
EP0380754B1 (de) | Kraftausgeglichenes Hubventil | |
DE102009014817B4 (de) | Fluidbetätigter Linearantrieb | |
DE2435256C3 (de) | Servogesteuertes Ventil | |
DE1750358A1 (de) | Elektrohydraulische Steuereinrichtung | |
WO1993019301A1 (de) | Hydraulische antriebsvorrichtung mit einem zylinder | |
DE3027351A1 (de) | Magnetischer antriebsmechanismus und magnetisch betaetigte durchflussventile | |
EP0904495B1 (de) | Ventileinrichtung, insbesondere kombinierte proportional-wegeventileinrichtung | |
DE3202145A1 (de) | Mehrwegeventil, insbesondere zur verwendung in dialyse-geraeten | |
EP3240966B1 (de) | Ventilvorrichtung | |
DE4326447A1 (de) | Hydraulikventil für eine Stabilisatorsteuerung an einem Kraftfahrzeug | |
DE4214661A1 (de) | Elektrohydraulische stelleinrichtung | |
DE2240716A1 (de) | Pneumatisches zustandsspeicherelement | |
DE4314581A1 (de) | Schieberventil, insbesondere Stetigventil | |
DE4128389A1 (de) | Doppelt wirkender betaetigungszylinder | |
EP4050213B1 (de) | Mehrfachmembranpumpe | |
EP0528103B2 (de) | Elektrohydraulische Stelleinheit | |
DE3335469A1 (de) | Hydraulisches, selbsttaetig steuerndes wegeventil |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: ALMATEC TECHNISCHE INNOVATIONEN GMBH, 4100 DUISBUR |
|
8181 | Inventor (new situation) |
Free format text: BUDDE, DIRK, DIPL.-ING., 4018 LANGENFELD, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: ALMATEC MASCHINENBAU GMBH, 47475 KAMP-LINTFORT, DE |
|
R071 | Expiry of right |