DE4029258A1 - Optische abtasteinrichtung zur erzeugung eines musters auf einer abtastflaeche - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Abtasteinrichtung zur Erzeugung eines Musters auf einer Abtastfläche und insbesondere eine Einrichtung, bei der ein Muster mit hoher Auflösung gefordert wird, wie beispielsweise bei einer Laser-Make-Up-Einrichtung (Platinenherstellvor­ richtung).

Um ein Muster mit hoher Genauigkeit zeichnen zu können, muß der Laserstrahl auf einen Punkt fokussiert werden, der so klein wie möglich ist. Um den Punkt klein machen zu können, muß die F-Zahl des optischen Systems klein sein. Infolgedessen wird die Schärfentiefe klein. Daher muß die Krümmung des Feldes reduziert werden, so daß der vorgegebene Punktdurchmesser in jedem Punkt der Ab­ tastfläche eingehalten werden kann.

Da jedoch im Falle eines allgemeinen optischen Abtast­ systems wie beispielsweise eines Laserstrahldruckers der Laserstrahl auf den polygonen Spiegel aus einer Richtung einfällt, die von der optischen Achse des Ab­ tastobjektivs verschieden ist, verändert sich der Ab­ lenkpunkt auf der reflektierenden Fläche des polygona­ len Spiegels asymmetrisch um die optische Achse. Daher tritt das Problem auf, daß die Krümmung des Feldes asymmetrisch auf der Abtastoberfläche wird und daß eine Korrektur mit einem bezüglich der optischen Achse sym­ metrischen Objektiv nicht durchgeführt werden kann.

Um die Krümmung des Feldes zu reduzieren kann man die Änderung des Ablenkpunktes bezüglich der optischen Achse symmetrisch machen.

Um das vorstehend beschriebene Problem zu lösen, kann man eine Konstruktion wählen, bei welcher der Laser­ strahl längs der optischen Achse des fR-Objektivs auf den polygonalen Spiegel fällt. Da bei diesem Aufbau die Krümmung des Feldes symmetrisch ist, kann eine Korrek­ tur bei Verwendung eines bezüglich der optischen Achse symmetrischen Objektivs durchgeführt werden, wobei der Wert auch sehr klein wird.

Um jedoch eine solche Konstruktion anwenden zu können, muß ein statischer Deflektor zur Abtrennung eines auf den polygonalen Spiegel zu richtenden Strahles von dem auf ein fR-Objektiv einfallenden Strahl in dem opti­ schen Weg angeordnet sein.

Die japanische Offenlegungsschrift SHO 60-2 33 616 zeigt eine Konstruktion, bei der ein Lichtstrahl von einer Lichtquelle auf einen polygonalen Spiegel durch die op­ tische Achse des Abtastobjektivs einfällt unter Verwen­ dung eines Polarisationsstrahlteilers und einer λ/4- Platte.

Es ist zu bemerken, daß bei der Konstruktion gemäß der Japanischen Offenlegungsschrift SHO 60-2 33 616 ein La­ serstrahl zeitweilig auf eine Reflexionsfläche des po­ lygonalen Spiegels in einer Hilfsabtastebene abgebildet wird, um den nachteiligen Effekt zu korrigieren, der durch einen Neigungsfehler der Reflexionsfläche des po­ lygonalen Spiegels bezüglich der Drehachse desselben hervorgerufen wird.

Da jedoch bei der Ausführungsform der oben genannten Druckschrift der Einfallswinkel des Lichtstrahles auf den Polarisationsstrahlteiler entsprechend der Drehung des polygonalen Spiegels sich ändert, wird auch die Durchlässigkeit des Polarisationsstrahlteilers graduell geändert, wenn der Strahl von dem Mittelabschnitt zum Randabschnitt wandert. Infolgedessen tritt eine Unre­ gelmäßigkeit der Lichtmenge auf der Abtastfläche auf.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine optische Abtasteinrichtung der eingangs genannten Art anzugeben, bei der unter Vermeidung der vorstehend beschriebenen Nachteile die asymmetrische Krümmung des Feldes einer Abtastfläche mit einer relativ einfachen Konstruktion vermieden und dank einer größeren Regelmäßigkeit der Lichtmenge auf der Abtastfläche eine Aufzeichnung hoher Genauigkeit erreicht werden kann.

Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst. Vorteilhafte Ausführungen der Erfin­ dung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung, welche in Verbin­ dung mit den beigefügten Zeichnungen anhand eines Aus­ führungsbeispieles erläutert. Es zeigen

Fig. 1 eine Draufsicht auf eine optische Ab­ tasteinrichtung zur Erläuterung einer Ausführunsform der vorliegenden Er­ findung,

Fig. 2 eine Seitenansicht der Lichtquelle aus der Richtung der Linie II-II in Fig. 1,

Fig. 3 eine Seitenansicht der in Fig. 1 dargestellten Einrichtung entlang der Linie III-III in Fig. 1 und

Fig. 4 eine perspektivische Ansicht zur Er­ läuterung der Anordnung der optischen Elemente der in Fig. 1 dargestellten Einrichtung.

Zunächst soll die Anordnung der optischen Elemente der Vorrichtung anhand der Fig. 4 beschrieben werden.

Das dargestellte optische System umfaßt eine Laserdiode 10 als Lichtquelle, eine Kollimatorlinse zur Umwandlung des von der Laserdiode 10 ausgesandten divergenten Lichtes in einen parallelen Strahl, einen Spiegel 12 zur Reflexion eines kollimierten Strahles, eine Zylin­ derlinse 13 als Abbildungslinse zur Formung eines li­ nienförmigen Strahlbildes, einen Prismenblock 20 mit einem Schlitzspiegel 21 als statischer Deflektor, der so angeordnet ist, daß er mit der Linienbildposition des Strahles zusammenfällt, einen polygonalen Spiegel 30 als Abtastdeflektor zum Ablenken eines von dem Schlitzspiegel 21 reflektierten Strahles, und ein fR- Objektiv 40 als Abtastobjektiv zum Konvergieren (Fokussieren) des von der polygonalen Spiegel 30 reflektierten Strahles und zur Bildung eines Punktes auf der Abtastoberfläche.

Eine Fläche, in der der Strahl mit Hilfe des polygonalen Spiegels 30 bewegt wird, wird im folgenden als Hauptab­ tastebene bezeichnet. Eine zur Hauptabtastebene verti­ kale Fläche, welche die optische Achse des fR-Objektivs 40 enthält, wird im folgenden als Hilfsabtastebene be­ zeichnet.

Der Prismenblock 20 hat die Form eines rechteckigen Parallelepipeds und besteht aus einem dreieckigen Pris­ ma 22 und einem trapezförmigen Prisma 23, die miteinan­ der verkittet sind. Die Kittfläche trägt den Schlitz­ spiegel 21 als totalreflektierenden Spiegel. Dieser ist in Vakuumaufdampftechnik hergestellt. Der Winkel des Schlitzspiegels 21 relativ zur Hauptabtastebene beträgt ca. 45°.

Der von der Laserdiode 10 ausgesandte divergierende Lichtstrahl wird von der Kollimatorlinse 11 gesammelt. Der kollimierte Laserstrahl wird auf den Schlitzspiegel 21 durch die Zylinderlinse 13 gebündelt und anschlie­ ßend total von dem Schlitzspiegel 21 in Richtung auf den polygonalen Spiegel 30 reflektiert, wobei er durch die optische Achse des fR-Objektivs 40 verläuft.

Der von dem polygonalen Spiegel 30 reflektierte und ab­ gelenkte Strahl erreicht den Prismablock 20 mit einer vorgegebenen Spreizung. Der größte Teil des Strahles wird durch den den Schlitz 21 umgebenden Bereich hin­ durchgelassen und fällt auf das fR-Objektiv 40. Wie in Fig. 3 dargestellt ist, wird der aus dem fR-Objektiv 40 austretende Strahl unter eine Basis 90 mittels eines links von der Basis 90 angeordneten Spiegels 51 abge­ lenkt und fällt anschließend auf den Spiegel 52, 53, um einen Punkt zu bilden, der mit einer vorgegebenen Ge­ schwindigkeit eine als Abtastfläche dienende Tafel 61 abtastet, die mit Hilfe von Transportrollen 60 zuge­ führt wird.

Da sich das Durchlaßvermögen des Schlitzspiegels 21 nicht in Abhängigkeit des Drehwinkels des polygonalen Spiegels 30 verändert, ergibt sich auch keine Änderung in der Lichtmenge aufgrund der Bildhöhe der Abtastflä­ che. Wenn anstelle des Prismenblockes 20 ein Polarisa­ tionsstrahlteiler verwendet wird, verändert sich die Lichtmenge auf der Abtastfläche mit der Bildhöhe. Dabei bezeichnet der Ausdruck "Bildhöhe" im vorliegenden Fall den Abstand von der optischen Achse.

Um eine Lichtmenge auf der Abtastoberfläche zu erhal­ ten, ist es vorteilhaft, wenn die Abschwächung oder Ab­ dunklung des von dem polygonalen Spiegel zum Abtast­ objektiv verlaufenden Strahles vermindert wird. Für diesen Zweck ist es vorteilhaft, wenn die Schlitzfläche des Schlitzspiegels so schmal wie möglich gemacht wird.

Im folgenden wird eine tatsächliche Ausführungsform der entsprechenden optischen Elemente anhand der Fig. 1 bis 3 beschrieben. Gleichzeitig wird die Justierrich­ tung jedes optischen Elementes anhand der Fig. 4 er­ läutert.

Die in der Fig. 4 angegebenen Koordinaten sind bezüg­ lich der Ausbreitungsrichtung des Strahles angegeben, wobei die Austrittsrichtung des Strahles von der Laser­ diode 10 und die Richtung der optischen Achse des fR- Objektivs 40 als X-Achse definiert sind. Die Richtung der Drehachse 31 des polygonalen Spiegels 30 bezeichnet die Z-Achse und die zur X- und Z-Achse senkrechte Achse ist als Y-Achse definiert.

Die verschiedenen optischen Elemente sind in einigen Einheiten zusammengefaßt. Jede dieser Einheiten ist auf der Basisplatte 90 (Fig. 2) befestigt. Eine polygonale Einheit 100 mit dem Polygonspiegel 30 und einem Motor zum Antrieb desselben sind unbeweglich fest auf der Ba­ sisplatte 90 befestigt.

Eine Lichtquelleneinheit 200 mit der Laserdiode 10, der Kollimatorlinse 11, dem Spiegel 12, der Zylinderlinse 13 und dem Prismenblock 20 umfaßt eine untere Platte 201, die in Richtung der X-Achse relativ zur Basisplat­ te 90 verschiebbar ist, und eine obere Platte 202, die mittels einer Schwenkbewegung auf der X- und der Y- Achse relativ zur unteren Platte 201 einstellbar ist.

Die untere Platte 201 ist entsprechend der Darstellung in Fig. 2 in Richtung der Y-Achse durch zwei Anschlag­ stifte 203 auf der Basis 90 festgelegt. Sie ist an der Basis mittels vier Bolzen 204 an ihren vier Ecken befe­ stigt. Die vier Bolzen 204 greifen mit einem Gewinde durch die untere Platte 201 hindurch in die Basisplatte 90 ein. Da die Durchtrittslöcher für die Bolzen 204 in der unteren Platte 201 größer sind als die Bolzendurch­ messer, kann die untere Platte 201 nach dem Lockern der Bolzen 204 in Richtung der X-Achse entlang den An­ schlagzapfen 203 verschoben werden.

Die Einstellung der Lichtquelleneinheit 200 durch Ver­ schieben in der X-Richtung dient dazu, den Laserstrahl auf die Abtastfläche in der Hilfsabtastrichtung zu fo­ kussieren wenn der Fokus des Laserstrahls infolge von Fehlern in der Linsenkrümmung, dem Abstand zwischen Linsenflächen und dergleichen nicht auf der Abtastflä­ che liegt.

Die obere Platte 202 wird in Richtung der X-Achse und der Y-Achse durch Anschlagzapfen 205 positioniert, die an drei Stellen der unteren Platte 201 befestigt sind. Ferner ist die obere Platte 202 an der unteren Platte 201 mit Hilfe von an vier Ecken der oberen Platte 202 angeordneten Befestigungsbolzen 207 befestigt. Die Spitzen von Einstellbolzen 206, die nahe den Befesti­ gungsbolzen 207 angeordnet sind, liegen auf der unteren Platte 201 auf, wie dies Fig. 1 zeigt. Infolgedessen kann nach dem Lösen der Befestigungsbolzen 207 durch Betätigung der Einstellbolzen 206 die obere Platte 207 bezüglich der X- und Y-Achsen relativ zur unteren Plat­ te 201 verschwenkt werden.

Die Justierung der Lichtquelleneinheit 200 einschließ­ lich des Prismenblockes um die X-Achse wird zur Korrek­ tur einer Deformation der Punktform auf der Abtastflä­ che und zur Korrektur einer Verschlechterung der Bild­ qualität durchgeführt. Sie dient dazu, den Wirkungsgrad des gesamten Systems zu verbessern, nachdem der Pris­ menblock 20 in der X- und der Y-Richtung eingestellt wurde.

Der Prismenblock 20, der in der Mitte der oberen Platte befestigt ist, kann in Y-Richtung relativ zur oberen Platte 202 verschoben werden. Wenn eine Schwächung oder Verdunklung des Strahles durch den Prismenblock 20 be­ rücksichtigt wird, ist es wünschenswert, wenn die Ab­ messungen des Schlitzspiegels 21 so klein wie möglich sind. Die Justierung des Prismenblockes 20 durch Ver­ schiebung in der Y-Richtung ist notwendig, um den Schlitzspiegel 21 mit dem linienförmigen Strahlbild, das von der Zylinderlinse 13 gebildet wird, zur Deckung zu bringen. Dies ist insbesondere erforderlich, wenn die Größe des Schlitzspiegels etwa genau so groß ist wie die des Linienbildes.

Beiderseits des Prismenblockes 20 sind zwei Beine 210 mit der oberen Platte 202 verschraubt, wobei die Befe­ stigung mit Hilfe von Befestigungsschrauben 210a in der in der Fig. 1 dargestellten Weise erfolgt. Eine hori­ zontale Platte 211 überbrückt den Abstand zwischen den oberen Enden der Beine 210. Unter der horizontalen Platte 211 sind die beiden Beine 210 durch eine verti­ kale Platte 212 miteinander verbunden.

Auf der horizontalen Platte 211 sind ein zylindrischer Linsentubus 220, in den die Laserdiode 10 und die aus vier Linsen 11a bis 11d bestehende Kollimatorlinse 11 eingebaut sind, und ein Spiegelträgerabschnitt 230 zur Halterung des Spiegels 12 befestigt.

Da die genaue Lichtaussendeposition der Laserdiode 10 von Produkt zu Produkt verschieden sein kann, ist die Anordnung so getroffen, daß die Laserdiode 10 in Y- und Z-Richtung verstellbar ist, um den Strahl auf die ge­ wünschte optische Achse ausrichten zu können.

Die Kollimatorlinse 11 kann in Y-Richtung verschoben werden, um eine Justierung bezüglich der Laserdiode 10 vornehmen zu können. Die Einstellung erfolgt durch Fo­ kussierung des Laserstrahls auf der Abtastfläche in der Haupttastrichtung, wenn der Fokus des Laserstrahls auf­ grund von Fehlern in der Krümmung des Linsensystems, in den Abständen zwischen den Linsenflächen und derglei­ chen nicht auf der Abtastfläche liegt.

Der Spiegel 12 kann um die X-Achse und die Y-Achse ver­ stellt werden.

Die vertikale Platte 212 trägt eine Zylinderlinse 13, die aus der Kombination einer positiven Linse 13a und einer negativen Linse 13b besteht, die mittels eines Halters 240 an der vertikalen Platte 212 befestigt sind.

Da die Eigenschaften der Zylinderlinse 13 von Produkt zu Produkt aufgrund von Fertigungsfehlern variieren können, ist eine Vorkehrung getroffen, daß die Linsen­ anordnung durch eine Verschiebung in Richtung der opti­ schen Achse (X-Achse) und durch eine Drehung um die op­ tische Achse eingestellt werden kann. Die erstere Ein­ stellung wird durchgeführt, um durch eine Bewegung des Linienbildes entlang der optischen Achse eine geeignete Fokussierung auf den Schlitzspiegel zu erreichen. Die letztere Einstellung wird durchgeführt, um die Richtung des Linienbildes mit der Richtung des Schlitzspiegels 21 in Übereinstimmung zu bringen.

Die Teile von der Laserdiode bis zum Prismenblock 20 sind in einer Einheit zusammengefaßt, die von den übri­ gen Teilen unabhängig ist. Durch diese Anordnung kann die Genauigkeit des Gerätes verbessert und eine Ver­ schiebung zwischen den das Linienbild des Strahles bil­ denden Teilen und dem Schlitzspiegel 21 verhindert wer­ den.

Die Linseneinheit 300 umfaßt ein fR-Objektiv 40 be­ stehend aus drei anamorphotischen Linsen 41, 42 und 43 und einem Linsenträger 301, auf dem diese Linsen befe­ stigt sind. Der Linsenträger 301 liegt an Anschlagzap­ fen 302 an, die an zwei Stellen der Basisplatte 90 be­ festigt sind. Dadurch ist der Linsenträger 301 in X- Richtung positioniert. Ferner ist er an der Basisplatte 90 mit Hilfe von Bolzen 303 an seinen vier Ecken befe­ stigt.

Infolgedessen kann durch Lockern der Befestigungsbolzen 303 der Linsenträger 301 in der Y-Achse unter Verwen­ dung eines Anschlagzapfens 302 als Führung verschoben werden.

Die drei anamorphotischen Linsen 41, 42 und 43 sind in Z-Richtung relativ zum Linsenträger 301 durch Andrücken einer Federplatte 311 festgelegt, die wiederum durch eine Druckplatte 310 angedrückt wird, welche die mitt­ lere Linse 42 überdeckt. Die mittlere Linse ist dabei durch Verschwenken um die X- und Y-Achse einstellbar gelagert.

Eine Einstellung des fR-Objektivs 40 erfolgt, um eine Kippung eines Bildes infolge von Verschiebungsfehlern und eine Verschlechterung der Bildqualität zu korrigie­ ren.

An dem Linsenträger 301 sind an den Stellen, welche den vier Ecken der Druckplatte 310 entsprechen, mit Hilfe von Schrauben Trägerstifte 312 befestigt, welche ge­ ringfügig länger als die Höhe des Objektivs sind, wie man in Fig. 3 erkennen kann. Die Druckplatte 310 ist an den Trägerstiften 312 mit Hilfe von Befestigungsbol­ zen 313 befestigt.

Die einzelnen Linsen sind durch Positionierungszapfen 320, 320 und L-förmige Fixierungsplatten 321, 321 posi­ tioniert, die an dem Linsenträger 301 jeweils durch zwei Bolzen befestigt sind. Infolgedessen sind die Lin­ sen in der X- und der Y-Richtung relativ zum Linsenträ­ ger 301 festgelegt.

Eine Position für den Anschlag- oder Positionierungs­ zapfen 203 zur Positionierung der Lichtquelleneinheit 200 und eine Position für den Anschlagzapfen 302 zur Po­ sitionierung der Linseneinheit 300 werden bezüglich der Drehachse des polygonalen Spiegels 30 festgelegt.

Ein Monitorsystem zur Erfassung der Drehstellung des polygonalen Spiegels 30 ist auf der Basis 90 angeord­ net, wie dies Fig. 2 zeigt. Das Monitorsystem besteht aus einer Monitorlichtquelleneinheit 400 zur Aussendung eines Monitorstrahles, und einer Monitorstrahl-Empfang­ einheit 500 zum Empfang eines Monitorstrahles, der von dem polygonalen Spiegel 30 reflektiert wird. Das Moni­ torsystem verwendet eine andere Reflexionsfläche des polygonalen Spiegels 30 als für die Reflexion des von der Laserdiode 10 ausgesandten Laserlichtes verwendet wird.

Die Monitorlichtquelle sendet einen Laserstrahl in Richtung auf die Drehachse des polygonalen Spiegels 30 aus. Das von dem polygonalen Spiegel reflektierte Licht läuft über eine nicht dargestellte lichtdurchlässige Skala der Empfangseinheit 500. Die Empfangseinheit 500 hat einen Lichtsammelabschnitt zur Sammlung des die Skala durchsetzenden Lichtes und ein Lichtempfangsele­ ment zum Empfang des gesammelten Lichtes und zur Aus­ sendung eines die Drehung des polygonalen Spiegels an­ zeigenden Signales.

Claims (12)

1. Optische Abtasteinrichtung umfassend eine Laser­ strahlquelle (10) zur Aussendung eines Laser­ strahls, eine die Abtastbewegung erzeugende Ablenk­ einrichtung (30) zum Ablenken des Laserstrahles und zum Bewegen desselben in einer Hauptabtastebene und ein Abtastobjektiv (40) zur Abbildung des abgelenk­ ten Laserstrahles in Form eines Punktes auf einer Abtastfläche, gekennzeichnet durch eine Abbildungs­ linse (13), welche den von der Laserstrahlquelle (10) ausgesandten Laserstrahl auf einer zur Haupt­ abtastebene senkrechten Hilfsabtastebene vor dem Einfall des Laserstrahls auf die Ablenkeinrichtung zu einem linienförmigen Strahlbild formt, und einen statischen Deflektor (21), der am Ort des Li­ nienbildes angeordnet ist und geeignet ist den re­ flektierten Strahl von der Lichtquelle (10) zur Ab­ lenkeinrichtung (30) und von dieser zum Abtastob­ jektiv (40) zu leiten.

2. Abtasteinrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Halteeinrichtung, um mindestens die La­ serstrahlquelle (10), die Abbildungslinse (13) und den statischen Deflektor (21) als Einheit getrennt von den anderen optischen Elementen zu halten.

3. Abtasteinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkeinrichtung ein poly­ gonaler Spiegel (30) ist.

4. Abtasteinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungslinse eine Zylinderlinse (13) ist.

5. Abtasteinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der statische Deflektor (21) in der Weise angeordnet ist, daß er mit dem von der Abbildungslinse (13) aus dem Laserstrahl erzeugten Linienbild zusammenfällt, und der einen schlitzförmigen Spiegel (21) umfaßt, der entlang der Abtastrichtung des Laserstrahles angeordnet ist und geeignet ist, den Laserstrahl von der Laser­ strahlquelle (10) in Richtung auf die Ablenkein­ richtung (30) zu reflektieren.

6. Abtasteinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflexion des La­ serstrahls von dem statischen Deflektor (21) in Richtung auf die Ablenkeinrichtung (30) entlang der optischen Achse des Abtastobjektivs (40) erfolgt.

7. Abtasteinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch Mittel zur Justierung der Hal­ teeinrichtung.

8. Abtasteinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Justiermittel einen Verschiebeme­ chanismus zum Verschieben der Halteeinrichtung in Richtung der optischen Achse des Abtastobjektivs (40) umfassen.

9. Abtasteinrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Justiermittel einen Schie­ bemechanismus zum Verschieben der Halteeinrichtung in einer Richtung im wesentlichen senkrecht zur op­ tischen Achse des Abtastobjektivs (40) umfassen.

10. Abtasteinrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Justiermittel einen Schwenkmechanismus zum Verschwenken der Halteein­ richtung um eine Schwenkachse umfassen, die paral­ lel zur optischen Achse des Abtastobjektivs (40) gerichtet ist.

11. Abtasteinrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Justiermittel einen Schwenkmechanismus zum Verschwenken der Hal­ teeinrichtung um eine Schwenkachse umfassen, die im wesentlichen senkrecht zur optischen Achse des Ab­ tastobjektivs (40) in der Hauptabtastebene liegt.

12. Abtasteinrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Justiermittel einen Schwenkmechanismus zum Verschwenken der Hal­ tereinrichtung um eine Schwenkachse umfassen, die im wesentlichen senkrecht zur optischen Achse des Abtastobjektivs in der Hilfsabtastebene liegt.