JP3335259B2 - 反射型走査光学装置 - Google Patents

反射型走査光学装置

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JP3335259B2 JP28738794A JP28738794A JP3335259B2 JP 3335259 B2 JP3335259 B2 JP 3335259B2 JP 28738794 A JP28738794 A JP 28738794A JP 28738794 A JP28738794 A JP 28738794A JP 3335259 B2 JP3335259 B2 JP 3335259B2
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    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/124Details of the optical system between the light source and the polygonal mirror

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザープリンター
等の光学系として用いられる反射型走査光学装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】レーザープリンター等の装置の小型化に
伴い、光学系として用いられる走査光学装置にもよりコ
ンパクトな構成が要求されている。この種のコンパクト
な走査光学装置として、例えば特開平6−265810
号公報に開示されるように、ポリゴンミラーで偏向され
たレーザー光を曲面ミラーにより副走査方向に角度をつ
けて再度ポリゴンミラー側に折り返し、これをアナモフ
ィックレンズを介して露光対象面上に導く反射型走査光
学装置が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
公報に記載される反射型走査光学装置は、光源からのレ
ーザー光を直線的にポリゴンミラーに入射させているた
め、この直線方向における装置の大きさを光源とポリゴ
ンミラーとの距離より小さくすることができず、かつ、
アナモフィックレンズが曲面ミラーとポリゴンミラーと
の間に設けられているため、光路長を確保するためにポ
リゴンミラーと曲面ミラーとの距離も大きくなり、更な
る小型化の要求に応じられないという問題がある。
【0004】
【発明の目的】この発明は、上述した従来技術の課題に
鑑みてなされたものであり、各光学素子の配置を工夫す
ることにより、光学系の占めるスペースをより小さくす
ることができる反射型走査光学装置を提供することを目
的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる反射型
走査光学装置は、上記の目的を達成させるため、光源か
ら発したレーザー光を反射させる平面ミラーと、平面ミ
ラーで反射されたレーザー光を副走査方向に第1の分離
角度をもって平面ミラー側に折り返し、偏向させるポリ
ゴンミラーと、平面ミラーよりポリゴンミラーから離れ
た位置に配置され、ポリゴンミラーで反射されたレーザ
ー光を主として主走査方向に収束させつつ副走査方向に
第2の分離角度をもってポリゴンミラー側に折り返す曲
面ミラーと、ポリゴンミラーの偏向点より曲面ミラーか
ら離れた位置に配置され、曲面ミラーで反射されたレー
ザー光を主として副走査方向に収束させるアナモフィッ
クレンズとを備え、光源は、ポリゴンミラーと曲面ミラ
ーとの間の空間を通してレーザー光を平面ミラーに入射
させる位置に設けられていることを特徴とする。
【0006】
【実施例】以下、この発明にかかる反射型走査光学装置
の実施例を説明する。実施例の装置は、レーザープリン
ターに使用される露光ユニットであり、入力される描画
信号にしたがってON/OFF変調されたレーザー光を感光体
ドラム上で走査させ、静電潜像を形成する。
【0007】ここでは、まず図1に基づいて装置内の光
学素子の配置について説明し、続いて図2、図3にした
がってこれらの光学素子をケーシングに組み付けて構成
される装置の具体的な構造について説明する。
【0008】なお、この明細書では、感光体ドラム上を
走査するレーザー光の走査方向を主走査方向、光軸を法
線とする面内で主走査方向に直交する方向を副走査方向
として定義する。ただし、光学素子のパワーについて
は、感光体ドラムに達したレーザー光を基準とし、この
レーザー光のドラム上での主走査方向の収束、発散に寄
与するパワーを主走査方向のパワー、副走査方向の収
束、発散に寄与するパワーを副走査方向のパワーとして
定義する。
【0009】実施例にかかる反射型走査光学装置の光学
系は、図1に示されるように、光源である半導体レーザ
ー10から発した発散光をコリメートレンズ11により
平行光束とし、副走査方向にのみパワーを有するシリン
ドリカルレンズ12、平面ミラー13を介してポリゴン
ミラー14に入射させる。ポリゴンミラー14で副走査
方向に第1の分離角度θ1をもって反射、偏向されたレ
ーザー光は、曲面ミラー15により副走査方向に第2の
分離角度θ2をもって再びポリゴンミラー14側へ折り
返され、主として副走査方向のパワーを有するアナモフ
ィックレンズ16を透過する。アナモフィックレンズ1
6を透過したレーザー光は、光路屈折ミラー17により
反射され、感光体ドラム18上にドラムの母線方向であ
る主走査方向に走査するスポットを形成する。
【0010】レーザー光は、副走査方向においてはシリ
ンドリカルレンズ12によりポリゴンミラー14の反射
面14aの近傍で一旦結像し、主としてアナモフィック
レンズ16のパワーにより感光体ドラム18上に再結像
する。この構成により、反射面14aの面倒れ誤差によ
る感光体ドラム18上での走査線のズレが防止される。
【0011】平面ミラー13は、シリンドリカルレンズ
12を射出したレーザー光をほぼ直角に反射させ、光軸
に沿ってポリゴンミラー14の回転軸14bに向けて入
射させる。このように、ポリゴンミラー14の回転軸1
4bに向けてレーザー光を入射させると、ポリゴンミラ
ー14の大きさに対して走査可能な角度範囲を大きく設
定できるため、ポリゴンミラー14の大きさを一定とす
れば広範囲の走査が可能となり、走査範囲を一定とすれ
ばポリゴンミラー14の径を小さくすることができる。
また、像面湾曲が光軸に対して対称に発生するため、そ
の補正も容易となる。
【0012】ここで、説明のため、半導体レーザー10
から発して平面ミラー13に達するレーザー光の中心軸
を含み、かつ、平面ミラー13で反射されてポリゴンミ
ラー14に入射するレーザー光の中心軸を含む面を基準
面として定義する。
【0013】ポリゴンミラー14は、6つの反射面14
aを有して回転軸14bを中心に回転駆動され、レーザ
ー光を偏向、走査させる。ポリゴンミラーの回転軸14
bは、基準面の法線に対してθ1/2の角度傾いて配置
されており、これにより平面ミラー13側からポリゴン
ミラー14に入射するレーザー光とポリゴンミラー14
により反射されるレーザー光とは副走査方向について第
1の分離角度θ1をもつこととなる。
【0014】曲面ミラー15は、少なくとも主走査方向
にパワーを有しており、この例では凹面シリンドリカル
ミラーが用いられている。曲面ミラー15に入射したレ
ーザー光は、副走査方向に第2の分離角度θ2をもって
反射され、アナモフィックレンズ16に入射する。
【0015】第1の分離角度θ1と第2の分離角度θ2と
は、ポリゴンミラー14の回転軸14bの副走査方向に
おける基準面に対する角度と、曲面ミラー15の基準面
に対する角度との2つのパラメータにより決定される。
【0016】第1の分離角度θ1は、ポリゴンミラー1
4から曲面ミラー15に向かうレーザー光が平面ミラー
13と干渉しない範囲でできる限り小さい値に定められ
る。また、分離角度θ2は、曲面ミラー15で反射され
たレーザー光がポリゴンミラー14と干渉しない範囲
で、かつ、ポリゴンミラー14の回転による振動がアナ
モフィックレンズ17に伝達するのを避けるに十分な間
隔が確保できる範囲でできる限り小さい値に定められ
る。
【0017】アナモフィックレンズ16の入射側の端面
は、入射側に凸となるほぼパワーを持たない光軸回りに
回転対称な非球面であり、射出側の端面は、非円弧を主
走査方向の軸回りに回転させて得られた光軸回りに回転
非対象な曲面である。この射出側の端面は、主走査方向
には殆どパワーを持たない凹面形状であり、副走査方向
についてはそのパワーが主走査方向の周辺から中心に向
かうほど大きくなるよう設定されている。また、アナモ
フィックレンズ16は、副走査方向において、その光軸
が光学系の光軸に対してポリゴンミラー14側に偏心す
るよう配置されている。
【0018】アナモフィックレンズ16を副走査方向に
偏心させることにより、レーザー光がポリゴンミラー1
4の反射面に対して副走査方向に角度をもって入射する
ことによって生じるスキュー歪みを相殺することができ
る。すなわち、レーザー光はアナモフィックレンズ16
の母線とは異なる軌跡で走査するため、アナモフィック
レンズ16はレーザー光に対して副走査方向に関しては
光軸非対称に屈折作用を与える。この作用を利用するこ
とにより、レーザー光のスキュー歪みを補正することが
できる。
【0019】また、レーザー光は、ポリゴンミラー1
4、曲面ミラー15に対して共に斜めに入射するため、
それぞれが走査線の湾曲の原因となるが、ポリゴンミラ
ー14で発生する湾曲と逆方向の湾曲を曲面ミラー15
で発生させることにより、これらの湾曲を打ち消し合わ
せ、走査対象面上での走査線の湾曲の発生をほぼ抑える
ことができる。
【0020】なお、曲面ミラー15で反射されたレーザ
ー光が走査範囲外の所定位置に達すると、レーザー光は
曲面ミラー15に対向してアナモフィックレンズの手前
側に設けられた平面ミラー40により反射され、副走査
方向にのみ正のパワーを持つシリンドリカルレンズ41
を介して同期信号検出用の受光素子42に達する。
【0021】曲面ミラー15で反射されたレーザー光
は、主走査方向には収束しているが副走査方向には発散
しているため、副走査方向にのみパワーを持つシリンド
リカルレンズ41により副走査方向にも収束させて受光
素子42上にスポットを形成する。なお、レーザー光が
副走査方向にずれた場合にも、シリンドリカルレンズ4
1の補正効果によりレーザー光は受光素子42に導かれ
る。受光素子42の出力信号は、1走査毎の書き込み開
始タイミングを得るために利用される。
【0022】次に、図2および図3にしたがって、実施
例の装置の具体的な組み付け構成例を説明する。なお、
上記の光学部品のうち、非球面を有する素子、すなわち
シリンドリカルレンズ12,41、曲面ミラー15、ア
ナモフィックレンズ16は樹脂により成形されており、
平面状のミラー、すなわち平面ミラー13、40、光路
屈折ミラー17は平面ガラスの一面に金属膜を塗布する
ことにより形成されている。
【0023】上述した各光学部品は、樹脂製のケーシン
グ20にそれぞれ固定されている。半導体レーザー10
とコリメートレンズ11とは、金属製の枠体10a内に
一体に保持されており、この枠体10aがケーシング2
0に対してネジ止めされている。枠体10aが取り付け
られたケーシング20の外側には、半導体レーザー駆動
用の回路基板10bが取り付けられている。
【0024】シリンドリカルレンズ12は、シリンドリ
カル面を半導体レーザー10側に向けて配置され、平面
側をケーシング20に形成されたレンズ固定部21に当
てつけた状態でケーシング20に接着されている。
【0025】平面ミラー13は、背面に位置決め用の2
条のビードが形成されたミラー取り付け部22に配置さ
れ、ミラーと取り付け部22との間に圧入された金属製
の板ばね23により背面に押しつけられるようにして固
定されている。
【0026】金属製のポリゴンミラー14は、スキャナ
モータ14cの回転軸に取り付けられており、スキャナ
モータ14cは、駆動回路と共にモータ基板14dに取
り付けられている。モータ基板14dは、図3中の下側
からケーシング20にネジ止めされている。ケーシング
20には、ポリゴンミラー14を一部ケーシング上側の
空間に露出させるための開口24が形成されており、入
射するレーザー光はこの開口24を介してポリゴンミラ
ー14に入射し、ポリゴンミラーで反射されたレーザー
光も開口24を介して曲面ミラー15に向かう。
【0027】なお、この例では、前述した半導体レーザ
ー10からポリゴンミラー14に至る光束の中心軸を含
む基準面が、図3に示すケーシング20の底面20aに
対して1°右上がりとなるよう平面ミラー13の角度が
定められている。
【0028】ここでポリゴンミラー14の回転軸14b
のケーシング底面20aに対する傾斜について説明す
る。実施例では、基準面と底面20aとの角度を小さく
し、ポリゴンミラーの回転軸14bを底面20aに対し
て傾斜させることにより第1の分離角度θ1を設定して
いる。これにより、ケーシング20の副走査方向の厚さ
を小さく抑えることが可能となる。
【0029】回転軸14bが底面20aに対して垂直に
近くなると、第1の分離角度θ1を一定に保つためには
基準面と底面20aとのなす角度も次第に大きくなり、
基準面に沿って設けられた半導体レーザー10から平面
ミラー13までの光学素子を実施例より図3中下側に移
動しなければならず、これらをカバーするために底面2
0aの位置を実施例より下側にシフトさせる必要が生ず
る。
【0030】一方、ポリゴンミラー14とアナモフィッ
クレンズ16との距離は、ポリゴンミラー14の振動を
避けるためには実施例と同程度確保する必要があるた
め、アナモフィックレンズ16を実施例よりポリゴンミ
ラー14に接近させることはできず、回転軸14bの傾
斜角度が変化してもケーシング20の上面20bは実施
例と同一の位置に設定しなければならない。
【0031】したがって、回転軸14bが底面20aに
対して垂直に近くなると、第1の分離角度θ1を一定に
保つためには第2の分離角度θ2が大きくなり、ケーシ
ング20の副走査方向の厚さが大きくなって装置全体を
小型化することが困難となる。
【0032】実施例のようにポリゴンミラー14の回転
軸14bを傾けた場合には、基準面と底面20aのなす
角が小さい場合にも、第1の分離角度θ1に必要な角度
を確保しつつ、第2の分離角度θ2も小さく抑えること
ができ、光学系の副走査方向の厚さを小さく抑えること
ができる。
【0033】曲面ミラー15は、樹脂により周囲の枠と
一体に成形され、ミラー面に金属膜を塗布して形成され
ており、ケーシング20の曲面ミラー固定部25に接着
されている。
【0034】アナモフィックレンズ16は、樹脂により
周囲の枠と一体に成形されており、ケーシング20に形
成されたレンズ保持部26に当てつけられた状態でケー
シング20に接着されている。
【0035】光路屈折ミラー17は、ミラーファスナー
30によりケーシング20のミラー取り付け部27に固
定されている。ミラー取り付け部27には、主走査方向
の一端側に光路屈折ミラー17の角度を調整するための
調整部28が設けられている。調整部28は、図中上方
に突出して形成された段部28aと、この段部28aか
らさらに上方に突出するようケーシング20の低面20
a側から螺合された調整ネジ28bとから構成される。
調整ネジ28bを回動させることによってネジ先端部の
高さが変化し、この先端に当接する光路屈折ミラー17
の角度を微調整することができる。
【0036】ミラーファスナー30は、図4に示される
ように、光路屈折ミラー17の背面に位置する背面壁部
31と、ミラーの上端側に位置する上面壁部32とが断
面L字形に形成され、主走査方向となる長手方向の両端
部には、光路屈折ミラー17のミラー面を保持する腕部
33が形成されている。また、背面壁部31には、長手
方向の中央部と両端部とにミラーファスナー30をケー
シング20に固定するための係止部34が形成されてい
る。
【0037】腕部33は、図5(A)に示されるように背
面壁部31から断面V字形で光路屈曲ミラー17のミラ
ー面側に延出するよう形成され、その先端側の内面には
ミラー面と点接触する半球状の突起33aが形成されて
いる。
【0038】一方、それぞれの係止部34は、図5(B)
に示されるように、背面壁部31の一部を切り欠いて背
面壁部31に対して揺動可能に形成されており、その先
端部には背面側に突出するフック34aが形成されてい
る。フック34aは、ケーシング20のミラー取り付け
部27背面に形成された係止孔29に係合し、ケーシン
グ20からのミラーファスナー30の抜け落ちを防止す
る。
【0039】光路屈折ミラー17は、裏面を調整ネジ2
8bの先端に当接させた状態でミラー取り付け部27に
セットされた後、ミラーファスナー30を上側から圧入
してフック34aをケーシング20の係止孔29に係合
させることにより、上面、及びミラー面側から抑えられ
てケーシング20に固定される。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、光源からのレーザー光を一旦平面ミラーにより折り
返してからポリゴンミラーに入射させる構成とし、か
つ、曲面ミラーとアナモフィックレンズとの間に光源、
平面ミラー、ポリゴンミラーの偏向点が位置するよう構
成したため、レーザー光の進む方向における装置の大き
さをより小さくすることができ、光学系の配置スペース
を小さく抑え、装置全体のコンパクト化をより促進する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施例にかかる反射型走査光学
装置の光学系を示す斜視図である。
【図2】 図1に示した光学系の具体的な組み付け例を
示す平面図である。
【図3】 図2のIII-III線に沿う断面図である。
【図4】 図1に示した装置のミラーファスナーを示す
斜視図である。
【図5】 図4に示したミラーファスナーの一部を示す
断面図である。
【符号の説明】
10 半導体レーザー 11 コリメートレンズ 12 シリンドリカルレンズ 13 平面ミラー 14 ポリゴンミラー 15 曲面ミラー 16 アナモフィックレンズ 17 光路屈折ミラー 18 感光体ドラム

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源から発したレーザー光を反射させる
    平面ミラーと、 該平面ミラーで反射されたレーザー光を副走査方向に第
    1の分離角度をもって前記平面ミラー側に折り返し、偏
    向させるポリゴンミラーと、 前記平面ミラーより前記ポリゴンミラーから離れた位置
    に配置され、前記ポリゴンミラーで反射されたレーザー
    光を主として主走査方向に収束させつつ副走査方向に前
    記第1の分離角度より大きい第2の分離角度をもって前
    記ポリゴンミラー側に折り返す曲面ミラーと、 前記ポリゴンミラーの偏向点より前記曲面ミラーから離
    れた位置に配置され、前記曲面ミラーで反射されたレー
    ザー光を主として副走査方向に収束させるアナモフィッ
    クレンズとを備え、 前記光源は、前記ポリゴンミラーと前記曲面ミラーとの
    間の空間を通してレーザー光を前記平面ミラーに入射さ
    せる位置に設けられていることを特徴とする反射型走査
    光学装置。
  2. 【請求項2】 前記アナモフィックレンズを透過したレ
    ーザー光を走査対象面に向けて反射させる光路屈折ミラ
    ーを備えることを特徴とする請求項1に記載の反射型走
    査光学装置。
  3. 【請求項3】 前記平面ミラーは、前記光源からのレー
    ザー光を前記ポリゴンミラーの回転軸に向けて入射させ
    るよう配置されていることを特徴とする請求項1に記載
    の反射型走査光学装置。
  4. 【請求項4】 前記平面ミラーは、前記光源からのレー
    ザー光を、副走査方向に前記第1の分離角度の半分の入
    射角で、かつ、主走査方向の光軸に沿って前記ポリゴン
    ミラーの回転軸に向けて入射させるよう配置されている
    ことを特徴とする請求項1に記載の反射型走査光学装
    置。
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