DE3917425C2 - - Google Patents

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DE3917425C2
DE3917425C2 DE19893917425 DE3917425A DE3917425C2 DE 3917425 C2 DE3917425 C2 DE 3917425C2 DE 19893917425 DE19893917425 DE 19893917425 DE 3917425 A DE3917425 A DE 3917425A DE 3917425 C2 DE3917425 C2 DE 3917425C2
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Manfred 7920 Heidenheim De Dauner
Rudolf Dr. 8881 Zoeschingen De Feilhauer
Kai-Uwe 7915 Oberelchingen De Hohbach
Guenter 7924 Steinheim De Loecher
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TDK Electronics AG
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G9/00Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
    • H01G9/004Details
    • H01G9/04Electrodes or formation of dielectric layers thereon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25FPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F3/00Electrolytic etching or polishing
    • C25F3/02Etching
    • C25F3/04Etching of light metals

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Elektrodenfolien für insbesondere Hochvolt-Elektrolytkondensatoren, in dem thermisch behandelte Aluminiumfolien elektrolytisch und/oder chemisch aufgerauht werden.
Derartige Verfahren werden zur Erhöhung der Volumenkapazität bei der Herstellung von aufgerauhten Aluminiumfolien für Elektrolytkondensatoren eingesetzt. Als vorteilhafte Rauhstruktur hat sich bei Hochvolt-Anodenfolien die sogenannte Langtunnelstruktur erwiesen. Hierbei werden hohe Aufrauhgrade mit thermisch behandelten (geglühten) Aluminiumfolien der Reinheit 99,99% mit einem hohen Anteil kubischer Textur (= 80% bei 100 µm Folien) erreicht.
Aus der DE 36 19 890 A1 ist ein Verfahren bekannt, bei dem in einer stromlosen Vorbehandlung Zusatzstoffe auf Elektrodenfolien für Elektrolytkondensatoren abgelagert werden.
Weiterhin ist aus der DE 31 27 161 A1 ein Verfahren zum Herstellen einer Elektrodenfolie für Elektrolytkondensatoren bekannt, bei dem als Ausgangsmaterial walzharte und nicht thermisch vorbehandelte Aluminiumfolie einer chemischer und/oder elektrochemischer Vorbehandlung vor dem Aufrauhen unterzogen wird. Dieser Stand der Technik eignet sich nur zur Herstellung von Elektrodenfolien für Niedervolt-Elektrolytkondensatoren.
Die Ätzung erfolgt meist in mehreren Stufen in chloridhaltigen Ätzelektrolyten. Bei manchen Verfahren hat es sich als vorteilhaft erwiesen, die Folienoberfläche in einer ersten Stufe in HCl- oder AlCl3-Elektrolyten chemisch vorzuätzen. Anschließend folgt in einer oder zwei Stufen die eigentliche elektrolytische Tunnelätzung in chloridhaltigen Elektrolyten. Das Aufweiten der gebildeten Tunnel auf den optimalen Durchmesser erfolgt elektrolytisch in chloridhaltigen Elektrolyten oder chemisch in z. B. HNO3-Lösungen. Auch eine Kombination beider Erweiterungsver­ fahren ist bekannt.
Beim Prozeß der Hochvolt-Langtunnelätzung starten die Ätztunnel ausgehend von Ätzkeimen in der Folienoberfläche.
Aufgabe der Erfindung ist es, durch eine geeignete Vorbehandlung der Oberfläche der geglühten Folie die Ätzkeime zu beeinflussen und damit eine höhere Anzahl und eine gleichmäßigere Verteilung der Ätztunnel zu erreichen, so daß eine möglichst hohe Aufrauhung der Aluminiumfolie erreicht wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Folien vor dem Aufrauhen in einem wäßrigen, halogenidfreien Bad mit einer Leitfähigkeit von 1 µs/cm bis 50 mS/cm als Anode geschaltet elektrolytisch vorbehandelt werden und daß Spannung und Strom hier bei derart eingestellt werden, daß sich ein Ladungsumsatz von 0,1 bis 8 mAs je cm² Folienoberfläche ergibt.
Bevorzugterweise werden Lösungen von SiO2 und/oder H3PO4 in entionisiertem Wasser verwendet.
Bei Verwendung eines Bades, das H3PO4 enthält, ist es zweckmäßig bei Konzentration von 0,1 bis 5 mmol/l zu behandeln.
Die Temperatur des Bades beträgt zwischen 20 und 85°C bei einer Behandlungsdauer von 5 bis 60 Sekunden.
Die vorbehandelten Folien können in einem Chloridionen enthaltenden Bad elektrolytisch aufgerauht werden, wobei zweckmäßigerweise in einer ersten Ätzstufe zur Tunnelätzung eine Lösung von HCl und AlCl3 verwendet wird.
Bevorzugterweise sollte der HCl-Ätzelektrolyt entionisiertes Wasser als Lösungsmittel enthalten, da das Verfahren empfindlich auf Verunreinigungen im Wasser reagiert.
Zur Erläuterung des Gegenstandes der Erfindung dienen die folgenden Ausführungsbeispiele.
Als Ausgangsmaterial wurde von zwei verschiedenen Herstellern A und B Aluminiumfolie der Reinheit 99,99% entfettet und geglüht. Die Vorbehandlung erfolgte in 0,002 M H3PO4 bei 60°C mit einer angelegten Spannung von 1,9 V während einer Zeit von 30 Sekunden.
Die Tunnelätzung in einer Lösung von HCl/AlCl3 in entionisiertem Wasser bei 80°C wurde während 35 Sekunden mit einer Stromdichte von 1800 A/m2 durchgeführt, und die Tunnelerweiterungsätzung erfolgte in chloridhaltigem Elektrolyt. Der elektrische Gesamtladungsumsatz betrug 7,4×105 As je m2 Folie.
Vergleichsweise wurden Rohfolien nach dem zuvor beschriebenen Standard-Ätzverfahren geätzt, ohne die anodische Vorbehandlung gemäß der Erfindung vorzunehmen.
In der folgenden Tabelle sind die nach herkömmlicher Spülung und Formierung auf 400 V an den derart hergestellten Aluminiumanodenfolien gemessenen spezifischen Kapazitäten dargestellt.
Der Tabelle ist zu entnehmen, daß durch das Verfahren mit anodischer Vorbehandlung eine Kapazitätssteigerung im Ver­ gleich zum Standard-Ätzverfahren von 11 bis 22% erhalten wird. Auch mit Rohfolie vom Hersteller A, mit der nach dem Standard-HCl-Ätzverfahren nur eine relativ geringe Aufrauhung erzielt wurde, wird mit dem Verfahren nach der Erfindung die annähernd gleiche Aufrauhung wie mit Rohfolie vom Hersteller B erreicht.

Claims (8)

1. Verfahren zum Herstellen von Elektrodenfolien für insbesondere Hochvolt-Elektrolytkondensatoren, indem thermisch behandelte Aluminiumfolien elektrolytisch und/oder chemisch aufgerauht werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien vor dem Aufrauhen in einem wäßrigen, halogenidfreien Bad mit einer Leitfähigkeit von 1 µS/cm bis 50 mS/cm als Anode geschaltet elektrolytisch vorbehandelt werden, und daß Spannung und Strom hierbei derart eingestellt werden, daß sich ein Ladungsumsatz von 0,1 bis 8 mAs je cm² Folienoberfläche ergibt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Bades mit Lösungen von SiO₂ und/oder H₃PO₄ in entionisiertem Wasser.
3. Verfahren nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Bades, das H₃PO₄ in einer Konzentration von 0,1 bis 5 mmol/l enthält.
4. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Bades mit einer Temperatur zwischen 20 und 85°C.
5. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine Behandlungsdauer von 5 bis 60 Sekunden.
6. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die vorbehandelten Folien in einem Chloridionen enthaltenden Bad elektrolytisch aufgerauht werden.
7. Verfahren nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Aufrauhbades, das in einer oder in mehreren Ätzstufen zur Tunnelbildung eine Lösung von HCl und AlCl3 enthält.
8. Verfahren nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch die Verwendung von entionisiertem Wasser als Lösungsmittel für den HCl/AlCl3-Elektrolyt.
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