DE3841243C2 - - Google Patents
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- G01L1/142—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors
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Description
Die Erfindung betrifft eine Meßanordnung gemäß dem
Oberbegriff des Hauptanspruchs.
Es sind Meßanordnungen bekannt, welche einzelne
Meßzellen aufweisen (DE 25 29 475 A1 und DE
36 42 088 A1). Diese verwandeln einen mechanischen
Druck in ein elektrisches Signal über die Veränderung
der Kapazität jeder Meßzelle, da durch Krafteinwirkung
sich der Abstand von Ober- zur Unterseite jeder
als Kondensator wirkenden Meßzelle sich ändert und
damit die Kapazität des Kondensators. Bei vielen
Meßfällen sind mehrere Sensoren pro cm² erforderlich.
Bei einem Abstand von Ober- zur Unterseite im Bereich
von 1 bis 2 mm ergeben sich bei Krafteinwirkungen
nur minimale Änderungen der Kapazität jeder Meß
zelle im Bereich von Bruchteilen von pF (Picofarad).
Es ist ferner eine gattungsgemäße Meßanordnung gemäß
dem Oberbegriff des Hauptanspruches bekannt (EP-
01 72 784 A2).
Von Nachteil bei dieser bekannten Meßanordnung ist
die Tatsache, daß ein elastisches Dielektrikum ver
wendet wird. Durch Verwendung dieses elastischen
Dielektrikums wird der Abstand der beiden Kondensator
platten voneinander verändert und hierdurch bedingt,
dessen Kapazität. Bei einem Abstand von den beiden
Platten im Bereich von 1 bis 2 mm ergeben sich jedoch
bei Krafteinwirkungen nur minimale Änderungen der
Kapazität jeder Meßzelle im Bereich von Bruchteilen
von pF.
Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde,
eine bekannte Meßanordnung so weiter auszugestalten,
daß jede Meßstelle einen erheblich größeren
Kapazitätsgrundwert und auch eine größere Änderung
der Kapazitätswerte bei Krafteinwirkung aufweist.
Diese Aufgabe wird bei einer gattungsgemäßen Meß
anordnung gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs
erfindungsgemäß durch dessen kennzeichnende Merkmale
gelöst.
Im Gegensatz zum Stand der Technik wird also kein
flexibles und elastisch nachgiebiges Dielektrikum
mit all seinen Nachteilen verwendet, sondern
statt dessen eine im wesentlichen unelastische dünne
Platte oder Beschichtung. Demgegenüber ist bei der
Erfindung der sich verjüngende, vorspringende und
an seiner Oberfläche elektrisch leitfähige Vorsprung
jeder Meßstelle vorgesehen, der bei Krafteinwirkung
in Richtung auf das Dielektrikum gedrückt wird und
dabei abgeflacht wird, wodurch sich die Kondensator
fläche und damit die Kapazität erhöht. Hierbei kann
das Dielektrikum in Praxi praktisch beliebig dünn
gemacht werden, wobei eine erhebliche Steigerung
der Kapazitätswerte und deren Änderung in der Größen
ordnung von einigen nF (Nanofarad) erreicht werden
kann. Die Erhöhung der Kapazitätsänderung ist gegenüber
dem Stand der Technik um den Faktor 100 größer.
Die dadurch bedingte Vergrößerung des Störabstandes
und die Erhöhung des Meßbereichs liegen als Vorteile
auf der Hand.
In bevorzugter Ausführungsform der Erfindung können
die sich in Richtung auf das Dielektrikum verjüngenden
Vorsprünge nur auf einer Seite angeordnet sein und
sowohl Dielektrikum als auch die andere Seite als
durchgehende Platte ausgebildet sein, welch letztere
insgesamt elektrisch leitend als einzige Gegen
elektrode durchgehend elektrisch leitend beschichtet
ist, wobei dann jeder Vorsprung elektrisch einzeln
bzw. alle Vorsprünge einer Meßzelle einzeln abfrag
bar sein sollte. Es ist aber auch möglich, anstelle
einer durchgehenden Kontaktierung der die Vorsprünge
nicht aufweisenden Seite eine Vielzahl von leitenden,
voneinander aber getrennten, die Meßzelle in ihrer
Geometrie festlegenden Beschichtung vorzusehen,
wobei dann die die Vorsprünge aufweisende Seite
auf ihrer Oberseite elektrisch durchgehend beschichtet
und insgesamt an einem Pol der Spannungsquelle ange
legt werden kann. Natürlich ist es auch möglich,
sowohl auf der Ober- als auch auf der Unterseite
eine gesonderte elektrische Zuleitung für eine Meß
zelle vorzusehen. Von besonderem Vorteil sind die
Vorsprünge kegel- oder pyramidenstumpfförmig ausge
bildet.
In alternativer Ausgestaltung der Erfindung können
aber auch mehrere, zueinander parallel verlaufende,
sich in Richtung des Dielektrikums verjüngende Rippen
auf der einen Seite vorgesehen sein, wobei dann
die andere Seite jeder Meßzelle quer zu den Rippen
der einen Seite, vorzugsweise rechtwinklig dazu
verlaufende Rippen aufweist. Diese Ausbildung läßt
sich in einfacher Weise dadurch erhalten, daß auf
der einen Seite mehrere parallel zueinander
verlaufende, streifenförmige Bereiche mit den Vor
sprüngen vorgesehen ist und die andere ebenfalls
mehrere, zueinander parallel und quer, vorzugsweise
rechtwinklig zu den streifenförmigen Bereichen auf
der anderen Seite des Dielektrikums verlaufende,
auch elektrisch leitende Streifen unter Bildung
in einem Überkreuzungsbereich je einer Meßzelle
in Form des Kondensators aufweist. Bei dieser Aus
führungsform wird dann jeder streifenförmige Bereich
der insgesamt matrixartig angeordneten Meßanordnung
für sich an seiner Oberseite elektrisch leitend
ausgebildet und mit einem gesonderten elektrischen
Anschluß versehen. Dann können bei Auswahl je eines
streifenförmigen Bereichs auf der Oberseite und
eines solchen, jedoch quer dazu verlaufenden Bereichs
auf der Unterseite die im Kreuzungsbereich dieser
beiden streifenförmigen Bereiche jeweils liegenden
Meßzellen angesteuert werden.
Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiter
bildung der Erfindung sind in den Unteransprüchen
gekennzeichnet.
Mehrere bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung
werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung
näher erläutert. In dieser zeigt:
Fig. 1a eine erfindungsgemäße Meßzelle
einer Meßanordnung, mechanisch
unbelastet, im schematischen
Querschnitt;
Fig. 1b die Meßzelle gemäß Fig. 1a, im
mechanisch belasteten Zustand;
Fig. 1c die Berührungsflächen der Ober
seite der Meßzelle auf dem Di
elektrikum in schematischer Drauf
sicht;
Fig. 1d eine gleiche Ansicht wie gemäß
Fig. 1c, jedoch bei dem in Fig.
1b dargestellten Belastungszustand;
Fig. 2 eine Meßzelle in alternativer
Ausführungsform;
Fig. 3 eine weitere Ausführungsform
einer Meßanordnung mit einer
Vielzahl von Meßzellen als Spreng
bild;
Fig. 4 eine noch andere Ausführungsform
einer Meßzelle als Sprengbild;
Fig. 5 eine noch weitere Ausführungsform
einer Meßzelle, als Sprengbild;
Fig. 6 eine weitere Ausführungsform
einer Meßanordnung mit sich matrix
artig kreuzenden streifenförmigen
Bereichen in schematischer
perspektivischer Darstellung;
Fig. 7 eine weitere Ausführungsform
für eine Meßanordnung mit einer
Vielzahl von Meßzellen, in
schematischer Darstellung;
Fig. 8 eine zu jener gemäß Fig. 6 dar
gestellten Meßanordnung alternative
Ausführungsform in matrixartiger
Anordnung, aber mit zueinander
parallel verlaufenden Rippen
als Vorsprünge, in schematischer
perspektivischer Ansicht,
Fig. 9 eine erste Ausführungsform der
Rippen der Meßanordnung gemäß
Fig. 8, in perspektivischer
Darstellung;
Fig. 10 eine zweite Ausführungsform der
rippenförmigen Vorsprünge der
Meßanordnung gemäß Fig. 8 in
perspektivischer Darstellung
und
Fig. 11 einen Querschnitt durch die An
ordnung gemäß Fig. 9.
Die Meßanordnung 20 (Fig. 3) weist eine Vielzahl
von Meßzellen 21 (Fig. 1) auf, die auf ihrer Ober
fläche 22 mechanische Drücke aufnimmt und durch
jede Meßzelle 21 in ein elektrisches Signal
umgewandelt wird. Hierbei wird die Oberfläche 22
durch die insgesamt mit 23 bezeichnete Oberseite
der Meßanordnung gebildet.
Die prinzipielle Wirkungsweise wird an der Meß
zelle gemäß Fig. 1 erklärt. Deren Oberseite 23 weist
eine Vielzahl sich in Richtung auf das Dielektrikum
24 sich hin verjüngende Vorsprünge 25 auf, die an
ihrer Oberseite elektrisch leitend ausgebildet sind
und sich bei Krafteinwirkung elastisch verformen.
Die Unterseite 26 ist beim wiedergegebenen Aus
führungsbeispiel als ebene Platte ausgebildet, die
insgesamt und deren zumindest an dem Dielektrikum
24 anliegende Fläche elektrisch leitend ausgebildet
ist. Die Ober- und Unterseite werden über elektrische
Anschlüsse 27 an eine - nicht gezeigte - Spannungs
quelle angeschlossen. Fig. 1a sowie 1c zeigen den
unbelasteten Zustand der Oberfläche 22 der Oberseite
23, die Fig. 1b sowie 1d den belasteten Zustand,
wobei ersichtlich ist, daß im belasteten Zustand
die Vorsprünge 25 elastisch verformt sind und auf
dem Dielektrikum 24 größere Berührungsflächen 28
als die kleine Berühungsfläche 29 (Fig. 1c) bilden.
Hierdurch wird die wirksame Fläche der Meßzelle und
damit die Kapazität des dadurch gebildeten
Kondensators vergrößert. Die Kapazitätsänderung ist
problemlos meßbar.
Fig. 2 zeigt eine alternative Ausführungsform. Hier
sind die Vorsprünge nicht kegel- oder pyramidenförmig
oder -stumpfförmig, sondern noppenförmig ausgebildet.
Vorzugsweise bestehen die Vorsprünge aus einem leit
fähigen Silikonkautschuk.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 3 ist ersichtlich,
daß die Oberseite 23 zumindest im Bereich der Vor
sprünge 25 insgesamt an einen elektrischen Anschluß
27 geführt ist. Demgegenüber ist auf der Unterseite
26 mit die Geometrie einer jeden Meßzelle 21 fest
legenden, etwa rechteckförmigen Beschichtung ver
sehen, die über einen gesonderten Anschluß 31 und
schematisch mit 32 bezeichnete elektronische Schalter
an den zweiten Anschluß 27 geführt sind, um somit
jede Meßzelle einzeln abfragen zu können.
In den Fig. 4 und 5 sind verschiedene Möglichkeiten
der Kontaktierung der Oberseite 23 der Ausführungs
form gemäß Fig. 1 gezeigt. So kann entweder ein
auf das Dielektrikum 24 auf der Seite angebrachtes,
sich kreuzendes Netz 33 einer elektrischen Be
schichtung oder die einzelnen Meßzellen 21 ein
grenzenden rechteckförmig umlaufende Beschichtungen
34 vorgesehen sein, an die elektrische Anschlüsse
27 hingeführt ist, bei einer Meßanordnung, wie sie
in Fig. 3 dargestellt und beschrieben ist. Selbst
verständlich kann die Meßzelle 21, wie in den Fig.
4 und 5 gezeigt, auch in der Ausführungsform gemäß
Fig. 7 Einsatz finden.
Die Ausführungsform gemäß Fig. 6 weist auf einer
Seite, z.B. der Oberseite mehrere parallel zueinander
verlaufende, streifenförmige Bereiche 35 mit den
Vorsprüngen auf. Die andere Seite ist mit mehreren,
ebenfalls parallel zueinander, jedoch quer, vorzugs
weise rechtwinklig zu den streifenförmigen Bereichen
35 verlaufende streifenförmige Bereiche 36 auf der
anderen Seite des Dielektrikums 24 vorgesehen, wobei
die dem Dielektrikum 24 zugewandten Flächen zumindest
an ihrer Oberseite elektrisch leitend ausgebildet
sind und an jedem Kreuzungspunkt der Bereiche 35,
36 je eine Meßzelle in Form eines Kondensators ge
bildet wird. Selbstverständlich ist es auch möglich,
anstelle des Dielektrikums 24 zumindest eine
elektrisch leitende Oberfläche eines streifenförmigen
Bereichs 35 oder 36 mit einer elektrischen Isolations
schicht als Dielektrikum zu versehen.
Anstelle der in den Fig. 1 bis 7 dargestellten,
einzelnen pyramiden- oder kegelstumpfförmig ausge
bildeten Vorsprünge ist es bei einer Anordnung von
streifenförmigen Bereichen wie bei der Ausführungs
form gemäß Fig. 6 auch möglich, die Bereiche mit
einer Vielzahl von sich in Richtung auf das Di
elektrikum verjüngenden, zueinander parallel
verlaufenden Rippen zu versehen. Selbstverständlich kann auch
statt mehreren eine einzige Rippe vorhanden sein.
Die Bereiche auf der Oberseite sind in Fig. 8 dabei
mit 40 bezeichnet, die Bereiche auf der Unterseite
mit 41. Die Bereiche 40 mit verschiedenen Ausbildungen
von Rippen sind in den Fig. 9 und 10 in
perspektivischer Darstellung gezeigt. Es ist ersicht
lich, daß der streifenförmige Bereich 40 auf der
Oberseite mit einer Vielzahl, in Längserstreckung
der Streifen verlaufende, im Querschnitt dreieck-
oder halbkreisförmige Rippen 41 (Fig. 9) bzw. 42
(Fig. 10) aufweist. Hierbei kann, ebenso wie bei
der Ausführungsform gemäß Fig. 6 entweder das Di
elektrikum 24 vorgesehen sein, oder aber ohne Di
elektrikum zumindest eine Oberfläche der oberen
streifenförmigen Bereiche 40 oder der unteren
streifenförmigen Bereiche 41 mit einer als Di
elektrikum wirkenden elektrischen Isolationsbe
schichtung 43 versehen sein. In jedem Fall ergibt
sich auch an den Kreuzungsstellen je eine Meßzelle
in Form eines elektrischen Kondensators.
Claims (15)
1. Meßanordnung, vorzugsweise in Form einer Plattform (20)
flexibler Meßmatten oder einzelner Meßzellen, auf deren
Oberfläche (22) einwirkende mechanische Drücke von einzelnen
(21) und insbesondere, matrixartig in Zeilen und Spalten
angeordneten, einzeln abfragbaren Meßzellen (21) ortsaufgelöst
aufgenommen und in ein elektrisches Signal gewandelt werden,
wobei jede Meßzelle (21) als seine Kapazität bei Einwirken
von mechanischen Drücken ändernder und an eine
Spannungsquelle anschließbarer Kondensator mit einer Oberseite
(22) zur Aufnahme der Drücke, mit einer Unterseite (26)
und mit einem dazwischen angeordneten Dielektrikum (24)
ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Dielektrikum
(24) als elektrisch nicht-leitende dünne Platte oder
Beschichtung (43) ausgebildet ist, daß die Unter- (26)
und/oder die Oberseite (22) jeder Meßzelle (21) zumindest
einen sich in Richtung auf das Dielektrikum (24) verjüngenden
Vorsprung (25) aufweist, der zumindest auf seiner Oberfläche
elektrisch leitend ausgebildet ist und bei Krafteinwirkung
unter Anlage an dem Dielektrikum (24) elastisch verformbar
ist und dabei die kapazitiv wirksame Fläche der Meßzelle
(21) ändert.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
jede Meßzelle (21) eine Vielzahl von Vorsprüngen (25) aufweist.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorsprünge (25) kegel- oder pyramidenförmig oder
-stumpfförmig oder noppenförmig ausgebildet sind.
4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die die Vorsprünge (25) aufweisende
Unterseite (26) und/oder Oberseite (23) aus leitfähigem
Silikonkautschuk besteht.
5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die Unter- und/oder Oberseite in der
von dem Dielektrikum entfernten Schicht zur Erhöhung der
elektrischen Leitfähigkeit ein Gewebe aus Metallfäden aufweist.
6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß nur die Unter- oder die Oberseite mit
Vorsprüngen (25) versehen ist und die jeweils andere Ober-
bzw. Unterseite als ebene Platte ausgebildet ist, die zumindest
teilweise elektrisch leitend ist.
7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
die ebene Platte auf einer ihrer Oberflächen eine elektrisch
leitende, die Meßzelle in ihrer Geometrie festlegende
Beschichtung (26, Fig. 3) aufweist.
8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
die elektrisch leitende Beschichtung rechteckförmig ist.
9. Anordnung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrisch leitende Beschichtung über eine gesonderte
Leitung (31) an die Spannungsquelle anschließbar ist.
10. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß die gesamte, mit Vorsprüngen (25)
versehene Ober- und Unterseite (23 bzw. 26) elektrisch leitend
ausgebildet ist.
11. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, daß die eine Seite (z. B. Oberseite 23) mehrere
parallel zueinander verlaufende, streifenförmige Bereiche
(35) mit Vorsprüngen (25) und die andere Seite (z. B. Unterseite
26) mehrere, ebenfalls parallel zueinander und quer,
vorzugsweise rechtwinklig zu den streifenförmigen Bereichen
auf der anderen Seite des Dielektrikums (24) verlaufende
elektrisch leitende Streifen (36) unter Bildung je einer Meßzelle
in Form eines Kondensators an der Kreuzungsstelle aufweist
(Fig. 6).
12. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß die Vorsprünge (25) der einen Seite (z. B.
Oberseite) als zumindest eine oder mehrere zueinander parallel
verlaufende, sich in Richtung des Dielektrikums (24)
verjüngende Rippen (41, 42) aufweist.
13. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß
jede Meßzelle (21) auch auf der anderen Seite (z. B. Unterseite)
zumindest eine oder mehrere zueinander parallel verlaufende,
sich auch in Richtung des Dielektrikums (24) verjüngende
Rippen (41, 42) aufweist.
14. Anordnung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet,
daß die Rippen im Querschnitt dreieck- oder halbkreisförmig
ausgebildet sind.
15. Anordnung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch
gekennzeichnet, daß die Rippen der Ober- oder Unterseite
(23 bzw. 26) im streifenförmigen Bereich (40 bzw. 41) an
geordnet sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19883841243 DE3841243A1 (de) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | Messanordnung, vorzugsweise in form einer messplattform |
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