DE3733101A1 - Mikrokanalplatte fuer hoehere frequenzen - Google Patents
Mikrokanalplatte fuer hoehere frequenzenInfo
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
- H01J43/246—Microchannel plates [MCP]
-
- H—ELECTRICITY
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- H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J7/24—Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
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Description
Die Erfindung betrifft eine Mikrokanalplatte (MCP),
insbesondere eine Mikrokanalplatte zum Betrieb bei er
höhter Frequenz.
Mikrokanalplatten als solche sind seit langem bekannt,
sie werden z.B. in den US-Patentschriften 31 28 408 und
33 41 730 beschrieben.
Paarweise winkelig angeordnete Mikrokanalplatten sind
in der US-PS 33 74 380 beschrieben.
Bei den üblichen Mikrokanalplatten nach dem Stand der
Technik beträgt die Erholzeit (aufgrund der Langsamkeit
der Bewegung der Elektronen in den Wänden der Kanäle,
durch die die vorher aus den Wänden emittierten Elektronen
wieder aufgefüllt werden) im allgemeinen einige Milli
sekunden. Dadurch wird die Frequenz für die Verwendung
der Einrichtung auf ungefähr 200 Hz beschränkt.
Eine einteilige Mikrokanalplatte (mit insgesamt zwei
Elektroden) mit einem niedrigeren Widerstand des Ober
flächenzonenmaterials am Verstärkerende des Kanals ist
bereits vorgeschlagen worden.
Durch die Erfindung kann die Erholzeit einer Mikrokanal
platte erheblich verkürzt werden, so daß Frequenzen
größer als 100 kHz erreichbar sind.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird eine Mikrokanal
platte geschaffen, bei welcher der Zonenwiderstand der
Wandoberfläche in einer solchen Zone in Richtung der Ver
stärkung von einer anderen derartigen Zone geringer ist,
und bei der jeder Abschnitt mit Elektroden versehen ist.
Gemäß einem anderen Aspekt der Erfindung ist eine Schal
tung vorgesehen, die ein thermisches "Weglaufen" ver
hindert und eine kontrollierte höhere Betriebstemperatur
erlaubt.
Bei bevorzugten Ausführungsformen
sind zwei Abschnitte vorgesehen, die miteinander in
Kontakt stehen, sich in einer Winkelbeziehung befinden
und zwischen denen eine gemeinsame Elektrode angeordnet
ist;
wird jeder Abschnitt mit einer Konstantstromversorgungs
quelle versorgt, wobei die Widerstände in den Abschnitten
durch eine Kühleinrichtung geregelt werden, die ihrerseits
durch einen Spannungsvergleicher geregelt wird;
sind die Abschnitte aus einem Hochtemperaturglas herge
stellt.
Im folgenden wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der
Erfindung anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Seitenansicht eines bevorzugten Ausführungs
beispiels der Erfindung;
Fig. 2 eine Schnittansicht längs der Linie 2-2 in Fig. 1,
in etwas schematisierter Form;
Fig. 3 eine entsprechende Schnittansicht durch einen der
Kanäle in jedem Abschnitt der Mikrokanalplatte der
Fig. 2;
Fig. 4 eine vergrößerte Schnittansicht, die das Feld zeigt;
Fig. 5 ein abgeändertes Ausführungsbeispiel mit drei Ab
schnitten; und
Fig. 6 ein Schema der Regelungsschaltung.
In den Fig. 1 und 2 ist eine Mikrokanalplatte (20) mit zwei
Abschnitten zu sehen (Details sind nur in der linken
oberen Ecke dargestellt), die ein Eingangsfeld (22) und
ein Ausgangsfeld (24) aufweist, welche jeweils eine
Mehrzahl von Kanalbereichen (23, 25) mit identischen Innen
durchmessern der Kanäle und Mitte-zu-Mitte-Abständen ent
halten. Der Innendurchmesser der Kanäle (31, 33) in den
Kanalbereichen (23, 25) der Felder (22, 24) beträgt 25 µm.
Das Glas, aus dem die Felder (22, 24) hergestellt sind,
hat folgende Zusammensetzung:
Gew.-%
SiO₂34,8
Al₂O₃ 0,2
Rb₂ 3,5
Cs₂O 2,4
PbO54,9
BaO 4,0
As₂O₅ 0,2
Das Glas erlaubt einen Dauerbetrieb bei 125°C. Durch
verschiedene Herstellungsvorgänge, wie sie auf diesem
Gebiet der Technik allgemein bekannt sind, werden bei
demselben Glas verschiedene spezifische Widerstände er
reicht.
Über eine später beschriebene Schaltung, welche Leitungen
(28, 30 und 32) enthält, wird Energie zugeführt, um ein
zunehmendes Potential über die Felder m(22 und 24) zu er
zeugen. Das Feld (22) hat leitfähige Beschichtungen (36
und 38) an den Eingangs- bzw. Ausgangsoberflächen, das
Feld (24) hat entsprechende Beschichtungen (40) bzw. (42).
Vorzugsweise werden die gegenüberliegenden Beschichtungen
(38 und 40) durch Ionenimplantation von Nichrom herge
stellt, und sind voneinander durch eine dünne Schicht (34)
aus Glas beabstandet, das in einer Querströmung aufge
bracht worden ist, so daß die Kanaldurchgänge (31, 33) in
den Kanalbereichen (23, 25) nicht versperrt werden, wobei
die Schicht (34) die Felder (22 und 24) aneinander fixiert.
Die Klebung erfolgt durch bekannte Techniken, wie sie in
den US-Patentschriften 33 97 278 und 34 17 459 beschrie
ben sind.
Ein Ring aus Nichrom ist um die Glasschicht (34) angeord
net, so daß diese Schichten schließlich eine gemeinsame
Elektrode (84) bilden. Die Schichten (36 und 42) bilden
die Elektroden (86 bzw. 88).
Obwohl schematisch mit gleicher Dicke dargestellt, ist
das Feld (24) (in Richtung des Elektronenstroms) tatsäch
lich sehr viel dünner als das Feld (22), es wird mit dem
Feld (22) zusammengesetzt und dann auf die gewünschte
endgültige Dicke abgeschliffen. Bei diesem bevorzugten
Ausführungsbeispiel hat das Feld (22) eine Dicke von
1000 µm, das Feld (24) eine Dicke von 200 µm.
Das in dem Feld (22) herrschende elektrische Feld ist in
Fig. 4 dargestellt, wo die Feldlinien (44) parallel zu
den Wänden der Kanäle in dem Mikrokanalplattenfeld dar
gestellt sind, jedoch sind sie nach dem Verlassen der
Kanäle gebogen, so daß sie eine Richtung einnehmen, die
im wesentlichen senkrecht steht auf die Äquipotential
flächen (36 und 38) im Falle des Mikrokanalplattenfeldes
(22).
Die Regelschaltung ist in Fig. 6 dargestellt. R i und R 0
beziehen sich auf die Widerstände der Abschnitte oder
Felder (22 und 24). Eine Stromversorgung (70) liefert
einen konstanten Strom (nicht Spannung I i von 50 µA pro
Quadratzentimeter) der Querschnittsfläche des Feldes (22),
d.h. in eine Richtung senkrecht zu den Richtungen des
Nettoelektronenstromes, während eine Stromversorgung (72)
einen Konstantstrom I i von 250 µA pro Quadratzentimeter
(der Querschnittsfläche des Feldes (24)) liefert, jeweils
durch die beiden Felder oder Abschnitte. Ein Spannungs
komparator (74) überwacht über eine Leitung (76) die dort
herrschende Spannung, und variiert über eine Steuer
schleife (78) die Kühlleistung eines thermoelektrischen
Kühlungselementes (80), das die beiden Felder (22 und 24)
kühlt. Die Pfeile (82) bezeichnen die die Felder verlas
sende Wärme. Die Einstellspannung des Komparators (74)
wird so gewählt, daß der Spannungsabfall über die Felder
(22 und 24) 1000 V bzw. 200 V beträgt. (Die spezifischen
Widerstände der beiden Felder betragen 20 MOhm pro
Quadratzentimeter bzw. 0,8 MOhm pro Quadratzentimeter.)
In Fig. 5 ist ein abgeändertes Ausführungsbeispiel mit
drei Abschnitten oder Feldern (62, 64 und 66) mit zwei
Leitungen von gemeinsamen Elektroden dargestellt.
Da die Leitfähigkeit des Feldes (24) fünfmal so groß ist wie die
des Feldes (22), ist auch der Strom fünfmal so groß. Da
die Dicke des Feldes (24) nur ein Fünftel der Dicke des
Feldes (22) aufweist, wird in beiden Feldern die gleiche
Wärme freigesetzt. Der Wärmestrom durch die gesamte
Mikrokanalplatte beträgt daher nur einen Bruchteil der
jenigen, wenn beide Abschnitte (22 und 24) den geringeren
Widerstand des Abschnittes (24) hätten.
Da mit zunehmendem Weg längs des Kanals in Verstärkungs
richtung eine zunehmende Menge von Elektronen aus den
Kanalwänden entfernt wird, ist die Elektronenverarmung
der Wände zunehmend stark in dieser Richtung. (Tatsächlich
sind bei diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel die
Dicken der Felder so gewählt, daß die Nettoanzahl der
von jeder Kanalwand abgegebenen Elektronen die gleiche
ist in jedem Kanal (31, 33)).
Dementsprechend kann der spezifische Widerstand in dem
Feld (22) größer sein ohne die Erholzeit unangemessen zu
beeinflussen, die Bedingungen für das Einströmen der
Elektronen in dieses Feld zur Erholung sind weniger
streng.
Die Verwendung von konstanten Stromversorgungen zusammen
mit den Ausgangsströmen der beiden Felder führt zu einer
thermischen Stabilität, da eine ansteigende Temperatur
der Mikrokanalplatte einen Rückgang der Wärmeerzeugung
bewirkt (wegen des negativen Temperaturkoeffizienten des
spezifischen Widerstandes der Wandzonen) und da die
Strahlungsverluste ansteigen, bis ein Gleichgewicht er
reicht ist.
Die Verwendung der erfindungsgemäßen Anordnung mit zwei
Feldern erlaubt eine fünffache Erhöhung der Frequenz,
wodurch eine weitere Anwendbarkeit der Mikrokanalplatte
ermöglicht ist.
Die Verwendung eines Glases, das bei höherer Temperatur
anwendbar ist und eine Regelschaltung, um ein "Weglaufen"
zu verhindern, erlaubt eine weitere Erhöhung der
Frequenz um einen Faktor 100, so daß durch die Erfindung
eine Mikrokanalplatte geschaffen wird, bei der die Be
triebsfrequenz 500mal größer ist als nach dem Stand der
Technik.
Bei weiteren Ausführungsformen kann anstatt der zentralen
Elektrode zwischen den Feldern eine getrennte Elektrode
an den benachbarten Enden von zwei (oder mehreren) Feldern
verwendet werden, oder sie können voneinander beabstandet
sein, wie in den oben angegebenen Patentschriften er
läutert. Die Kanäle in den Feldern können parallele Kanal
achsen haben, anstatt daß sie mit einem stumpfen Winkel
aneinander anstoßen.
Claims (10)
1. Mikrokanalplatte mit einer Mehrzahl von Mikrokanalplatten
feldern (22, 24) von denen ein erstes Feld (24) in Richtung
der Elektronenverstärkung hinter einem zweiten Feld (22)
angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Feld
(24) einen geringeren Oberflächenzonenwiderstand hat als
das zweite Feld (22).
2. Mikrokanalplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das zweite Feld (22) dicker ist als das erste Feld (24).
3. Mikrokanalplatte nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß das Produkt aus Leitfähigkeit und
Dicke für das erste Feld (22) und für das zweite Feld
(24) den gleichen Wert hat.
4. Mikrokanalplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß das erste Feld (22) an das
zweite Feld (24) anstößt.
5. Mikrokanalplatte nach Anspruch 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß das erste Feld (22) und das zweite Feld
(24) sich eine gemeinsame Elektrode (38, 40) teilen.
6. Mikrokanalplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die Felder (22, 24) aus einem
Glas hergestellt sind, das einen Dauerbetrieb bei Tempe
raturen über 100°C erlaubt.
7. Mikrokanalplatte nach Anspruch 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Felder (22, 24) aus einem Glas mit
folgender Zusammensetzung hergestellt sind:
Gew.-%
SiO₂34,8
Al₂O₃ 0,2
Rb₂O 3,5
Cs₂O 2,4
PbO54,9
BaO 4,0
As₂O₅ 0,2
8. Mikrokanalplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrokanalplatte (20) mit
folgenden Einrichtungen betrieben wird:
eine Konstantstromversorgungsquelle (70, 72), durch die
an die Mikrokanalplatte (20) eine Spannung angelegt wird,
welche einen konstanten Stromfluß bewirkt,
eine Kühleinrichtung (80) zum Kühlen der Mikrokanalplatte
(20), und
eine Steuereinrichtung (74), durch die die Kühleinrichtung
(80) derart geregelt wird, daß beim Betrieb der Mikro
kanalplatte (20) eine vorgegebene Temperatur aufrechter
halten wird.
9. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Steuereinrichtung (20) ein Spannungsvergleicher
ist.
10. Einrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Kühleinrichtung (80) thermo
elektrisch arbeitet.
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