DE2653484A1 - Integrierbarer konstantwiderstand - Google Patents

Integrierbarer konstantwiderstand

Info

Publication number
DE2653484A1
DE2653484A1 DE19762653484 DE2653484A DE2653484A1 DE 2653484 A1 DE2653484 A1 DE 2653484A1 DE 19762653484 DE19762653484 DE 19762653484 DE 2653484 A DE2653484 A DE 2653484A DE 2653484 A1 DE2653484 A1 DE 2653484A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
field effect
source
drain
circuit arrangement
effect transistors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19762653484
Other languages
English (en)
Inventor
Takaaki Aoki
Paul Evrenidis
Ryo Igarashi
Seiki Ogura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of DE2653484A1 publication Critical patent/DE2653484A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/08Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind
    • H01L27/085Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only
    • H01L27/088Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772Field effect transistors
    • H01L29/78Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Junction Field-Effect Transistors (AREA)

Description

Aktenzeichen der Anmelderin: RA 974 020
Integrierbarer Kons tantwiders tand
Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung mit konstantem Widerstandsverhalten, insbesondere für integrierte Analogschaltungen.
Bei den bisher bekannten integrierten Schaltungen, insbesondere solchen für analoge Schaltungsanwendungen, war es üblich, diskrete Widerstände einzusetzen oder auf der Oberfläche des Schaltungsträgers eine entsprechende Widerstandsschicht vorzusehen. Im Hinblick auf den bei integrierten Halbleiterschaltungen, insbesondere solchen mit Isolierschicht-Feldeffekttransistoren (IGFET), erreichten Entwicklungsstand ist die Verwendung diskreter Widerstandselemente sowohl unter Kostengesichtspunkten als auch angesichts der begrenzten Anschlußmöglichkeiten auf dem Chip zu aufwendig. Das gleiche gilt für auf der Chip-Oberfläche aufzubringende Widerstandsschichten wegen der damit zusammenhängenden besonderen und vor allem zusätzlichen Bearbeitungsschritte sowie des damit verbundenen Platzaufwandes auf dem Chip. Derartige Widerstandsschichten sind weiterhin insofern nachteilig, als der erzielbare Widerstandsbereich nach oben hin dadurch gegrenzt ist, daß sehr hohe Widerstandswerte ausgesprochen schmale Schichtbreiten erfordern, was in besonderem Maße herstellungsmäßig sowie unter Zuverlässigkeitsgesichtspunkten problematisch ist.
709826/0673
Λ-
Es ist in diesem Zusammenhang ebenfalls bekannt, Feldeffekttransistoren als stromsteuernde Elemente und damit als Ersatz für Widerstände einzusetzen. Feldeffekttransistoren weisen jedoch nicht die insbesondere in Analogschaltungen erforderliche Linearität auf, vor allem nicht über einen typisch erforderlichen Spannungsbereich.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein möglichst konstantes Widerstandselement anzugeben, das die aufgezeigten Nachteile des Standes der Technik vermeidet. Insbesondere soll es herstellungsmäßig mit üblichen Bauelementen, insbesondere integrierten Schaltungsbauelementen, vereinbar sein. Die zur Lösung dieser Aufgabe wesentlichen Merkmale sind in den Patentansprüchen gekennzeichnet.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Zuhilfenahme der Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 ein Schaltbild der Grundschaltung nach der
Erfindung und
Fig. 2 ein aus Grundschaltungen nach Fig. 1 zusammengesetztes und zur Erlangung höherer Widerstände oder größerer Anschlußspannungen erweitertes Ausführungsbeispiel der Erfindung.
Die in Fig. 1 dargestellte Grundschaltung nach der Erfindung besteht aus zwei ähnlichen Feldeffekttransistoren 10 und 11, deren Source-Elektroden miteinander verbunden sind und an einer Spannungsquelle Vg liegen. In gleicher Weise sind die Drain-Elektroden der beiden Feldeffekttransistoren miteinander verbunden und an die Spannungsquelle V-. (bzw. Leitung 13) angeschlossen. Von den Gate-Elektroden 15 und 16 der beiden FeId-
RA 974 020
709826/0673
effekttransistoren ist die eine (15) mit dem gemeinsamen Drain-Anschluß (Leitung 13) und die andere (16) mit dem gemeinsamen Source-Anschluß verbunden. Die Feldeffekttransistoren sind solche vom Verarmungstyp/ was durch die Schraffierung im Gate-Bereich angedeutet sein soll. Charakteristisch für diesen Feldeffekttransistortyp ist, daß bei zwischen Source und Drain angelegter Spannung ein Stromfluß durch den Feldeffekttransistor auftritt. Um diesen Stromfluß zu unterbinden, ist es nötig, eine gegenüber Source negative Spannung (-VL1) an das Gate anzulegen.
Für ein solches Paar von Feldeffekttransistoren kann bei entsprechender Parametereinstellung ein hochlineares Strom-Spannungsverhalten erreicht werden. Der Drain-Strom für den Feldeffekttransistor 10 kann angenähert wie folgt ausgedrückt werden:
Entsprechend ergibt sich der Strom für den Feldeffekttransistor 11 ungefähr zu:
1H-TJT^ t(-VT)(VD-Vs)-1/2(VD-Vs)2] mit-VT> VD-VS
W10 und W11 bedeuten dabei die Kanalbreiten der Feldeffekttransistoren 10 und 11; entsprechend bezeichnen L10 und L11 die Kanallängen. C bedeutet den Kapazitätswert des Gate-Oxids pro Flächeneinheit, μ bezeichnet die Elektronenbeweglichkeit im Halbleitermaterial, Vg ist die Source-Spannung, V0 die Drain-Spannung und ν» ist die Einschalt- bzw. Schwellenspannung.
RA 974 020
709.8 26/0 6 73
. jT ·
Für den üblichen Fall, daß W10 - W11 = VJ und L10 = L11 β L ist, gilt für den Gesaratstrom I die folgende Beziehung:
2.W.C.p.VT
Der äquivalente Widerstandswert R beträgt;
I ; 2.W.C.U.VT
Daraus ist ersichtlich, daß der sich durch die beschriebene Schaltung mit dem Feldeffekttransistorpaar ergebende Widerstandswert nur von den einmal gewählten festen Parametern abhängt und somit unabhängig von dem Strom bzv/. der Spannung in der jeweiligen Schaltung ist. Diese Eigenschaft des konstanten Widerstandsverhalitens liegt jedoch nur solange vor, wie die Source-Drain-Spannung j nicht größer ist als die Schwellenspannung VT·
j Diese Einschränkung hinsichtlich der Spannungen kann durch eine Anordnung der in Fig. 2 gezeigten Art überwunden werden. Darin j sind zwischen zwei spannungsführenden Leitungen V1 und V2 1 j deren Differenzspannung größer als -Vn, sein kann, mehrere Schal- !tungen der in Fig. 1 gezeigten Art in Reihe zueinander ange-I ordnet. Bei gleichen Auslegungsparametern der Feldeffekttransistoren sind die Widerstandswerte der einzelnen Stufen untereinander gleich und die Differenzspannung V1 zu V2 teilt sich gleichmäßig über die gezeigte Reihenschaltung auf, so daß für kein Feldeffekttransistorpaar die resultierende Spannung größer als VT ist.
Mit Schaltungen des in Fig. 2 ersichtlichen Aufbaus kann auch nach Art eines Spannungsteilers eine an den Endpunkten ange-[legte Spannung in mehrere gleiche Teilspannungen unterteilt werden. Es kann aber auch eine ungleichmäßige Aufteilung der
RA 974 020
7 09 8 26/0673
Eingangsspannung erreicht werden, wenn man die Parameter W und j
L in den Stufen nicht gleich wählt, so daß unterschiedliche :
ITeilspannungen über den einzelnen Stufen abfallen. Dabei muß
I jedoch beachtet werden, daß die maximale Spannung an einer :
'Stufe nicht den Wert -V- dieser Stufe überschreitet. |
ΡΑ974020 709826/0673

Claims (5)

  1. PATENTAN S P RÜ CHE
    Schaltungsanordnung mit konstantem Widerstandsverhalten, insbesondere für integrierte Analogschaltungen, gekennzeichnet durch mindestens eine Anordnung zweier hinsichtlich Drain und Source parallelgeschalteter Isolierschicht Feldeffekttransistoren mit je einer Gate-Source-VerbindUng beim einen und einer Gate-Drain-Verbindung beim anderen Feldeffekttransistor.
  2. 2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die teilweise parallelgeschalteten Feldeffekttransistoren vom Verarmungstyp sind.
  3. 3. Schaltungsanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere solcher Stufen aus zwei teilweise parallelgeschalteten Feldeffekttransistoren zueinander in Reihe geschaltet sind.
  4. 4. Schaltungsanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Stufenwiderstände in der Reihenschaltung, insbesondere die Werte für die Kanalbreite und/oder die Kanallänge der Feldeffekttransistoren unterschiedlich gewählt sind.
  5. 5. Schaltungsanordnung mindestens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zwei in einem Halbleitersubstrat angeordnete relativ hochleitfähige Bereiche als Source-Bereiche sowie durch zwei weitere vergleichbare Bereiche als Drain-Bereiche, durch je eine Verbindung der Source-Bereiche sowie der Drain-Bereiche miteinander und einem Spannungsanschluß, durch je isoliert über dem Substratbereich zwischen Source und Drain des jeweiligen Feldeffekttransistors angeordnete Gate-Elektroden, von denen eine elektrisch mit dem Source-Bereich des einen Feldeffekttransistors und die andere mit dem Drain-Bereich des anderen Feldeffekttransistors in Verbindung steht.
    RA 974 020 ~ " ~
    709826/0673 orkbinal
DE19762653484 1975-12-17 1976-11-25 Integrierbarer konstantwiderstand Withdrawn DE2653484A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/641,469 US4001612A (en) 1975-12-17 1975-12-17 Linear resistance element for lsi circuitry

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2653484A1 true DE2653484A1 (de) 1977-06-30

Family

ID=24572528

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19762653484 Withdrawn DE2653484A1 (de) 1975-12-17 1976-11-25 Integrierbarer konstantwiderstand

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4001612A (de)
JP (1) JPS5274289A (de)
DE (1) DE2653484A1 (de)
FR (1) FR2335958A1 (de)
GB (1) GB1558486A (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2515875A1 (fr) * 1981-10-30 1983-05-06 Western Electric Co Circuit de chaine de transistors a effet de champ

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53147486A (en) * 1977-05-27 1978-12-22 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor integrated circuit device
SE7900379L (sv) * 1978-01-25 1979-07-26 Western Electric Co Halvledare-integrerad-krets
FR2430092A1 (fr) * 1978-06-29 1980-01-25 Ibm France Procede de correction du coefficient en tension de resistances semi-conductrices, diffusees ou implantees et resistances ainsi obtenues
JPS5544883A (en) * 1978-09-28 1980-03-29 Shin Daiwa Kogyo Electromotive chain saw
DE3026361A1 (de) * 1980-07-11 1982-02-04 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Aus mindestens zwei monolitisch zusammengefassten mis-feldeffekttransistoren bestehender elektrischer widerstand fuer integrierte halbleiterschaltungen
JPS5842269A (ja) * 1981-09-05 1983-03-11 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Mis型可変抵抗器
US4942312A (en) * 1985-08-19 1990-07-17 Eastman Kodak Company Integrated-circuit having two NMOS depletion mode transistors for producing stable DC voltage
US5071660A (en) * 1988-06-10 1991-12-10 Phillips Petroleum Company Process utilizing alcohol oxidase
US5010385A (en) * 1990-03-30 1991-04-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Resistive element using depletion-mode MOSFET's
WO2011107161A1 (en) * 2010-03-05 2011-09-09 Epcos Ag Resistance component

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5211199B1 (de) * 1970-05-27 1977-03-29
US3829888A (en) * 1971-01-08 1974-08-13 Hitachi Ltd Semiconductor device and the method of making the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2515875A1 (fr) * 1981-10-30 1983-05-06 Western Electric Co Circuit de chaine de transistors a effet de champ

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5274289A (en) 1977-06-22
FR2335958B1 (de) 1978-12-29
JPS5531625B2 (de) 1980-08-19
GB1558486A (en) 1980-01-03
FR2335958A1 (fr) 1977-07-15
US4001612A (en) 1977-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2154904C3 (de) Temperaturkompensierte Bezugsgleichspannungsquelle
EP0557850B1 (de) Schaltungsanordnung zur Laststrombegrenzung eines Leistungs-MOSFET
DE2641860A1 (de) Integrierte stromversorgungsschaltung
DE3301648A1 (de) Misfet mit eingangsverstaerker
EP0093125B1 (de) Spannungsteiler in dünn- oder dickschichttechnik
DE3125470C2 (de)
DE69206335T2 (de) Unter niedriger Spannung betriebener Stromspiegel.
DE2653484A1 (de) Integrierbarer konstantwiderstand
DE1639173A1 (de) Temperaturkompensierte Z-Diode
DE3238486C2 (de) Integrierte Halbleiterschaltung
DE1812292A1 (de) Geregelte Verstaerkerschaltung
DE1948064A1 (de) Schaltungsvorrichtung mit einem Feldeffekttransistor mit isoliertem Gatter zur Verwendung als spannungsgesteuerter linearer Widerstand
DE3240189A1 (de) Aus feldeffekttransistoren mit isoliertem gate bestehender (igfet)-schaltkreis
DE3243674C2 (de) Bezugsspannungsschaltung
DE2556683B2 (de) Negativ-Widerstandsnetzwerk
DE3147870A1 (de) Cmos-schaltkreis mit mindestens zwei speisespannungsquellen
DE102010026996A1 (de) Halbleitervorrichtung
DE19527486C2 (de) MOS-Transistor für hohe Leistung
DE2301855A1 (de) Pegelumsetzer
DE3602551C2 (de) Operationsverstärker
DE69005649T2 (de) Spannungsgeneratorschaltung.
DE2950596C2 (de)
DE2248419A1 (de) Festkoerper-elektronenroehrenersatz
DE2348765A1 (de) Schaltungsanordnung zum kurzschliessen eines verbrauchers
DE3026361C2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee