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Die Erfindung betrifft einen Aufzeichnungsträgerkörper, in dem ein
Benutzer mittels optischer Strahlung Information aufzeichnen kann, wobei der
Aufzeichnungsträgerkörper ein Substrat und eine Aufzeichnungsschicht auf diesem
Substrat enthält, der Körper mit einer vorgeprägten, optisch detektierbaren
Reliefstruktur aus Servospurabschnitten und Sektoradressen versehen ist, die
Adreßinformation über zugeordnete aufzeichenbare Abschnitte des Aufzeichnungsträgers
in Form optisch detektierbarer Gebiete enthalten, die mit Zwischengebieten abwechseln,
und die Gebiete in den Sektoradressen eine andere Phasentiefe als die
Servospurabschnitte besitzen, wobei die Breite der Servospurabschnitte gleich der Breite
der Sektoradreßgebiete ist. Die Erfindung bezieht sich ebenfalls auf Geräte zum
Aufzeichnen einer Struktur gleich der Reliefstruktur von Sektoradressen und der
Servospurabschnitte des Aufzeichnungsträgerkörpers.
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Der Aufzeichnungsträgerkörper kann ein kreisförmiges plattenförmiges
Substrat mit einer Aufzeichenschicht enthalten, in der eine optisch detektierbare
Änderung mit Hilfe eines Strahlungsbündels ausreichend hoher Intensität erzeugbar ist.
Die Servospurabschnitte können in die Substratoberfläche eingelassene Rillen oder auf
der Substratoberfläche befindliche Erhöhungen enthalten und die Sektoradreßgebiete
können in der Substratoberfläche gebildete Grübchen oder auf dieser Oberfläche
gebildete Erhöhungen enthalten. Die Sektoradressen befinden sich zwischen
aufeinanderfolgenden Servospurabschnitten, wenn in der Spurrichtung gesehen, und
bilden so eine zusammengesetzte Spur. Diese Spur erstreckt sich über das ganze
Oberflächengebiet der Aufzeichnungsschicht und ist vorzugsweise eine Spiralspur, kann
aber auch eine Vielzahl konzentrischer Spuren enthalten.
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Wenn die Sektoradressen und Servospurabschnitte mit einem
Strahlungsbündel angestrahlt werden, der zur Bildung eines kleinen Strahlungsflecks
fokussiert ist, unterteilt sich dieses Bündel in ein Teilbündel 0. Ordnung, in Teilbündel
erster Ordnung und Teilbündel höherer Ordnung. Hier sei Phasentiefe als der
Phasenunterschied zwischen dem Teilbündel 0.Ordnung und einem Teilbündel erster
Ordnung zu verstehen. Diese Phasentiefe wird durch die Geometrien der
Sektoradreßgebiete und der Servospurabschnitte u.a. durch die Tiefe oder die Höhe
dieser Gebiete und Spurabschnitte bestimmt.
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Ein derartiger Aufzeichnungsträgerkörper wurde u.a. in der US-
Patentschrift 4 363 116 beschrieben. Nach der Beschreibung in dieser Patentschrift
werden die Servospurabschnitte zum Detektieren und Korrigieren der Radiallage eines
auf der Aufzeichnungsschicht durch ein Strahlungsbündel geformten Strahlungsflecks
verwendet, wenn der Benutzer Information aufzeichnet. Dies ermöglicht es, die am
Antrieb und an den Führungseinrichtungen gestellten Anforderungen, mit welchem
Antrieb und mit welchen Führungseinrichtungen das Schreibbündel und der
Aufzeichnungsträgerkörper gegeneinander verschoben werden, weniger streng zu haben,
so daß das Schreibgerät einfacher und preisgünstiger sein kann.
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Vorzugsweise wird die Radiallage des Strahlungsflecks in bezug auf einen
Servospurabschnitt mit dem Gegentakt- oder Differentialverfahren detektiert. Zu diesem
Zweck werden zwei strahlungsempfindliche Detektoren verwendet, die im Weg des
Strahlungsbündels nach der Wechselwirkung mit dem Aufzeichnungsträgerkörper
angeordnet sind, und radial verschiedene Teile dieses Bündels empfangen. Der
Unterschied zwischen den Ausgangssignalen der beiden Detektoren enthält Information
über die Radiallage des Strahlungsflecks gegen den Servospurabschnitt. Wenn diese
Ausgangssignale identisch sind, fällt die Mitte des Strahlungsflecks mit der Zentralachse
des Servospurabschnitts zusammen. Das Differentialspurnachführungsverfahren kann
nur dann ausgenutzt werden, wenn die Servorillen oder Servorstegen eine derartige
Tiefe oder Höhe besitzen, daß ihre Phasentiefe in der Ordnung von 90º beträgt.
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Die Sektoradreßgebiete werden unter Anwendung des Zentralöffnungs-
oder Integralverfahrens gelesen. Zu diesem Zweck wird die Änderung der
Gesamtintensität der aus dem Aufzeichnungsträgerkörper austretenden und ein
Objektivsystem durchquerenden Strahlung mit einem einfachen Detektor auf der
optischen Achse oder mit den für Spurnachführung benutzten Detektoren, deren
Ausgangssignale dann addiert werden detektiert. Für eine optimale Auslesung der
Sektoradressen müßten die Gebiete darin eine Phasentiefe in der Größenordnung von
180º besitzen.
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Gefunden wurde, daß zusätzlich zur Phasentiefe die in einer Richtung
senkrecht zur Spurrichtung der Servospurabschnitte und der Sektoradreßgebiete
gemessene Breite einen wesentlichen Einfluß auf die Amplituden der beim Aufzeichnen
der Benutzerinformation erhaltenen Signale hat. Im Aufzeichnungsträgerkörper nach der
US-Patentschrift 4 363 116, der zum Abtasten mittels eines Strahlungsflecks dient,
dessen Halbintensitätsdurchmesser etwa 800 nm beträgt, besitzen die
Servospurabschnitte und die Sektoradreßgebiete eine Breite von etwa 600 nm, während
die Periode der Spurstruktur senkrecht zur Spurrichtung etwa 1600 nm beträgt. Der
Halbintensitätsdurchmesser eines Strahlungsflecks ist gleich dem Abstand zwischen zwei
Punkten, wobei die Intensität gleich der Hälfte der Intensität in der Mitte des
Strahlungsflecks ist. Mit dem bekannten Aufzeichnungsträgerkörper ist es möglich, eine
Differentialspurnachführsignal zu erhalten, dessen Signalamplitude mittelmäßig ist.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen
Aufzeichnungsträgerkörper zu schaffen, der beim Abtasten zum Aufzeichnen von
Information ein verbessertes Differentialspurnachführsignal und ein ausreichendes
integrales Sektoradresssignal und beim mit dem Integralverfahren Lesen der in den
Servospurabschnitten von einem Benutzer aufgezeichneten Informationsgebiete ein
Informationssignal ausreichender Signalamplitude liefert.
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Der erfindungsgemäße Aufzeichnungsträgerkörper ist dadurch
gekennzeichnet, daß die größte Breite der Servospurabschnitte und der
Sektoradreßgebiete größer als die halbe Periode der Spuren in einer Richtung quer zur
Spurrichtung ist.
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Der Begriff "größte Breite" wird benutzt, weil die Servorillen oder
Servorstege sowie die Sektoradreßgrübchen oder Sektoradreßerhöhungen nicht unbedingt
senkrechte Wände haben, aber in der Praxis im allgemeinen geneigte Wände aufweisen.
Die größte Breite ist dabei die Breite an der Stelle der Aufzeichnungsschichtoberfläche,
die dem Substrat abgewandt ist. Die Servorillen und Sektoradreßgrübchen haben nicht
nur eine größte Breite, sondern auch eine wirksame Breite. Die untiefen Servorillen sind
querschnittlich im allgemeinen V-förmig. Für eine derartige Rillenform ist die
geometrische wirksame Breite gleich etwa der Hälfte der größten Breite. Die tieferen
Grübchen in den Sektoradressen haben häufig eine Trapezform. Für derartige Grübchen
ist die wirksame Breite gleich der Hälfte der Summe der größten Breite und der
Mindestbreite.
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Es sei bemerkt, daß in der US-Patentschrift 4.385.372, die sich auf einen
einschreibbaren Aufzeichnungsträger mit vorgeprägten Spur- und Sektoradressen
bezieht, beschrieben ist, daß die Breite der Spuren und der Sektoradreßgebiete im
Bereich zwischen 0,3 und 1 um und die Breite der Flächen zwischen den Spuren in der
Größenordnung bis zu 1 um liegen. Diese Patentschrift gibt keinen Aufschluß darüber,
daß eine Spurbreite von 1 um statt von 0,3 um bevorzugt wird. Die Spurbreite
überschreitet nicht die Hälfte der Spurperiode.
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Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß
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1. die wirksame Breite des Servospurabschnitts im wesentlichen gleich der Hälfte der
Spurperiode betragen soll, um ein optimales Spurnachführungssignal entsprechend
dem Differentialverfahren zu erhalten,
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2. die Sektoradreßgebiete auf optimale Weise mit dem Integralverfahren gelesen
werden können, wenn die wirksame Breite dieser Gebiete im wesentlichen gleich
einem Drittel der Spurperiode beträgt, und
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3. die Servospurabschnitte für ein optimales Auslesen entsprechend dem
Integralverfahren der in einem Servospurabschnitt aufgezeichneten
Informationsgebiete, beispielsweise in Form weggeschmolzener Abschnitte der
Aufzeichnungsschicht, möglichst breit sein sollen
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Überraschenderweise hat sich gezeigt, daß für einen Wert der wirksamen
Spurbreite zwischen einer Hälfte und einem Drittel der Spurperiode ein im wesentlichen
verbessertes Spurnachführungssignal erhalten wird, während das aus den
Sektoradreßgebieten erzeugte Signal noch eine ausreichend tiefe Modulation besitzt.
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Eine zweite Eigenschaft der Erfindung nach Anspruch 2 betrifft das Gerät
zum Aufzeichnen der Struktur von Servospurabschnitten und Sektoradressen auf einer
Mutterplatte.
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Das Bündelbegrenzungsmittel kann bekannte Elemente enthalten, wie z.B.
eine Blende, eine Zylinderlinse u.dgl.
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Es sei bemerkt, daß GB-A 2 058 434 ein kombiniertes Schreib/Lesegerät
beschreibt, in dem Bündelbegrenzungsmittel vor dem Objektivsystem zur Bildung eines
länglichen Aufzeichnungsflecks angeordnet sind. Zum aufeinanderfolgenden
Aufzeichnen von zwei benachbarten Informationsspuren wird die Längsrichtung dieses
Flecks zwischen zwei Positionen geschaltet, die gleiche, jedoch entgegengesetzte spitze
Winkel bilden, beispielsweise +45º und -45º mit der Abtastrichtung dieses Flecks. Der
Fleck ist länglich ausgebildet zum Aufzeichnen von Informationsgebiete mit einer
spezifischen Geometrie zum Erhöhen der Informationsdichte des Aufzeichnungsträgers
und nicht zum Erweitern der Spur zum Erhalten eines besseren
Spurnachführfehlersignals.
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Auführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend an Hand der
Zeichnung näher erläutert. Es zeigen
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Fig. 1 eine Draufsicht auf einen Aufzeichnungsträgerkörper,
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Fig. 2 eine Draufsicht auf einen kleinen Teil zweier benachbarter
Sektoradressen dieses Aufzeichnungsträgerkörpers,
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Fig. 3 einen radialen Querschnitt durch einen Teil des
Aufzeichnungsträgerkörpers nach der Erfindung,
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Fig. 4 einen Tangentialschnitt eines Teils dieses
Aufzeichnungsträgerkörpers,
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Fig. 5 ein erfindungsgemäßes Gerät zum Aufzeichnen einer Struktur von
Servospurabschnitten und Sektoradreßgebieten.
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Der Aufzeichnungsträgerkörper 1 in Fig. 1 hat eine Vielzahl von
Spurwindungen, die eine Spiralspur bilden können. Es sind nur einige Windungen in
Fig. 1 dargestellt. Die Spurwindungen werden in eine große Anzahl von Sektoren 5
unterteilt, beispielsweise in 64 oder 128 pro Windung. Jeder Sektor enthält einen
Servospurabschnitt 7, in dem ein Benutzer Information aufzeichnen kann, und eine
Sektoradresse 6, in dem u.a. die Adresse des zugeordneten Servospurabschnitts 7 in
digitaler Form in optisch lesbaren Gebieten 8 codiert ist wie in Fig. 2 dargestellt ist.
Diese Gebiete und die Servospurabschnitte 7 sind optisch detektierbar, so daß die
gewünschte Adresse vor dem Aufzeichnen eines Informationsblocks geortet werden kann
und dafür gesorgt werden kann dass ein Schreibfleck der Servospurabschnitte sowohl
vor als während dem Aufzeichnen genau verfolgt. Der Aufzeichnungsträgerkörper trägt
eine Aufzeichnungsschicht, die einer optisch detektierbaren Änderung unterworfen wird,
wenn sie mit Strahlung ausreichend hoher Intensität angestahlt wird.
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Die Art und Weise des Lesens der Adressen und des Verfolgens der
Servospurabschnitte beim Aufzeichnen von Information durch den Benutzer sowie das
dabei benutzte Gerät und die Art und Weise, auf die die aufgezeichnete
Benutzerinformation gelesen werden kann, fallen außerhalb des Rahmens der Erfindung
und werden hier weiter nicht beschrieben. Für Einzelheiten darüber wird auf die US
Patentschrift 4 363 116 verwiesen.
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In Fig. 2 sind zwei radial benachbarte Sektoren in der Spur 2 dargestellt.
Wie in dieser Fig. dargestellt, enthalten die Sektoradressen Gebiete 8, die mit
Zwischengebieten 9 in der Spurrichtung abwechseln. Zwischen den
aufeinanderfolgenden Windungen der Spur 2 befinden sich Flächen 11 auf dem gleichen
Niveau wie die Zwischengebiete 9. Die Servospurabschnitte können aus Erhöhungen in
Bezug auf der Oberfläche der Zwischengebiete 9 und der Flächen 11 bestehen, oder wie
in Fig. 3 dargestellt, aus in dieser Oberfläche ausgebildete Rillen. Im letzten Fall
enthalten die Sektoradreßgebiete in diese Oberfläche eingelassene Grübchen, die tiefer
als die Servorillen liegen, wie in Fig. 4 dargestellt.
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Der Deutlichkeit halber, sei bemerkt, daß in Fig. 1 die Breiten der Spur
2 und der Flächen 11 im Vergleich zum Gesamtoberflächengebiet des
Aufzeichnungsträgerkörpers vergrößert dargestellt wurden. In der Wirklichkeit besitzt
der Aufzeichnungsträgerkörper beispielsweise einen Durchmesser von etwa 30 cm und
eine Radialperiode Pr, d.h. die Periode der Spurstruktur in der radialen Richtung r,
beispielsweise von 1600 nm. Außerdem wurde die Länge der Sektoradressen im
Vergleich zu der der Servospurabschnitte 7 vergrößert dargestellt. In der Praxis beträgt
die Länge eines Abschnitts 7 beispielsweise das 10- bis 1000-Fache der Länge einer
Sektoradresse 6.
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In Fig. 3 ist ein Radialschnitt eines Teils des Aufzeichnungsträgerkörpers
entlang der Linie 3-3' in Fig. 1 an einer Stelle dargestellt, wo sich nur
Servospurabschnitte 7 befinden. Die Servospurabschnitte 7 enthalten in den Oberflächen
der Flächen 11 gebildete Rillen, die mit dem Differentialverfahren verfolgt werden
können. Wie in der britischen Patentschrift 2 034 097 beschrieben, besitzen diese Rillen
eine Phasentiefe in der Größenordnung von 90º. Diese Rillen sind untief und ihre
Wände besitzen einen großen Neigungswinkel Θ beispielsweise in der Größenordnung
von 80º. Das Substrat 12 trägt eine dünne Aufzeichenschicht 13. Diese Schicht kann
eine reflektierende Schicht sein und beispielsweise Wismut oder Tellur als Hauptelement
enthalten. Die Spurstruktur wird dabei mit einem Bündel abgetastet, das von unten
projiziert wird und das Substrat durchsetzt, wie mit der Pfeilspitze 15 angegeben.
Weiter kann eine Schutzschicht 14 auf der Aufzeichnungsschicht 13 angebracht werden.
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In Fig. 4 ist ein Tangentialschnitt entlang der Linie 4-4' in Fig. 1 eines
Teils des Aufzeichnungsträgerkörpers dargestellt. Wie in Fig. 4 angegeben, enthält jede
Sektoradresse einen Adreßteil 6a und einen Synchronisierabschnitt 6b, und diese
Abschnitte enthalten je eine Anzahl von Grübchen 8 einheitlicher Abmessungen, die in
das Substrat eingelassen sind. Die Folge der Grübchen im Abschnitt 6a stellt die
Adreßinformation dar. Die Grübchen im Abschnitt 6b besitzen eine feste räumliche
Frequenz und beim Auslesen erzeugen sie ein Taktsignal, mit dem es beispielsweise
möglich ist, die Taktfrequenz einer Signalquelle zu steuern, die zum Modulieren der
Amplitude des Schreibbündels dient, mit dem der Benutzer die Information aufzeichnet.
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Ein Schreibbündel, dessen Intensität entsprechend der aufzuzeichnenden
Benutzerinformation moduliert wird, kann Grübchen 16 in die Aufzeichnungsschicht an
der Stelle der Spurabschnitte 7 zur Bildung von Informationsgebieten einschmelzen,
deren Reflexion von der der Spur in ihrer Nähe abweichen. Nachdem diese Information
aufgezeichnet ist, besitzt der Benutzer einen Aufzeichnungsträger, in dem die
Servospurabschnitte 7 und die Sektoradressen 6 eine Phasenstruktur bilden, aber in dem
die Benutzerinformation in Form einer Amplitudenstruktur aufgezeichnet ist.
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Erfindungsgemäß ist nach Fig. 3 die größte Breite Wmax der
Servospurabschnitte 7, d.h. die Breite in der Ebene der Oberfläche der Flächen 11,
größer als die Hälfte der Radialperiode Pr, beispielsweise ist sie gleich oder größer als
900 nm bei einer Spurperiode Pr = 1600 nm. Die Sektoradreßgebiete 8 haben dieselbe
Breite. Durch diesen Wert der Breite der Gebiete 8 und der Spurabschnitte 7 hat das
Differentialspurnachführungssignal eine bessere Signalamplitude als das
Spurnachführungssignal, das mit den bisher bekannten Aufzeichnungsträgerkörpern
erhalten wurde, in denen die maximale Spurbreite beispielsweise 600 nm für eine
Spurperiode Pr = 1600 nm beträgt, und können die Gebiete 8 der Sektoradressen bei
Verwendung des Integralverfahrens noch zufriedenstellend gelesen werden. Ein weiterer
bedeutsamer Vorteil ist, daß für die spezifizierte Breite der Servospurabschnitte 7 die
vom Benutzer aufgezeichneten Informationsgebiete 16 mit dem Integralverfahren besser
gelesen werden können als im Fall, bei dem die Spurabschnitte 7 eine geringere Breite
besitzen. Der letztgenannte Effekt läßt sich daraus erklären, daß die Informationsgebiete
16, die sich von dem umgebenden Gebiet in ihrem Reflexionskoeffizienten
unterscheiden, besser detektierbar sind, wenn die Rillenabschnitte 7 breiter sind und
größere Ähnlichkeit mit den flachen Teilen der Aufzeichnungsschicht tragen.
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Der Wert der größten Breite, der für das
Differential-spurnachführungssignal und für das integral gelesene Signal aus den Sektoradreßgebieten
nach der Erfindung optimal ist, ist das Ergebnis eines erfinderischen Gebrauchs der
folgenden Einsichten, die mittels vektorieller Diffraktionsberechnungen gewonnen
wurden. Die Amplituden der geradzahligen zweiten und höheren Diffraktionsordnungen
sinken ab, wenn der Servospurabschnitt breiter wird, und bei gleicher Spurtiefe steigt
die Amplitude eines Unterbündels erster Ordnung durch das größere Volumen der
Servorille oder des Servosteges an. Wenn die größte Spurbreite sich der Radialperiode
der Spurstruktur nähert, nähert sich die Phasentiefe sogar für größere Tiefen der
Servospur mehr den optimalen Wert von 90º. Gefunden wurde, daß es einen
spezifischen Wert für die größte Spurbreite gibt, über der die Amplitude des
Differentialspurnachführungssignals kaum höher wird. Für einen
Aufzeichnungsträgerkörper mit einer Periode Pr in der Größenordnung von 1600 nm
und bei einer Abtastung mit einem Strahlungsfleck, dessen Halbintensitätswert etwa 800
nm beträgt, ist dieser Wert ungefähr 1200 nm.
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Wenn jedoch die Grübchen oder Erhöhungen der Sektoradressen diese
größte Breite besitzen, wird die wirksame Breite, die durch die größere Wandsteilheit
der Grübchen nahe bei der größten Breite liegt, für ausreichendes Auslesen dieser
Grübchen mit dem Integralverfahren zu groß sein. Daher ist für die größte Spurbreite
ein kleinerer Wert zu wählen. Gefunden wurde, daß für einen
Aufzeichnungsträgerkörper mit einer Periode Pr = 1600 nm und bei der Abtastung mit
einem Bündelfleck mit Halbintensitätswert von etwa 800 nm gute Signale mit einer
größten Spurbreite im Bereich von etwa 800 nm bis zu etwa 1000 nm erhalten werden.
Im allgemeinen müßte die größte Breite wenigstens in der Größenordnung der Hälfte
der Spurperiode für ein gutes Differentialspurnachführungssignal und ein gutes integral
gelesenes Signal der Sektoradreßgebiete sein.
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Diese Gebiete 8 und die Servospurabschnitte 7 können auf dem
Aufzeichnungsträgerkörper mit einem einfachen Strahlungsfleck gebildet werden, dessen
Intensität zwischen zwei verschiedenen Pegeln schaltbar ist. In Fig. 5 ist ein Gerät
dargestellt, mit dem die Sektoradressen und die Servospurabschnitte auf der Mutterplatte
aufgezeichnet werden können. In dieser Fig. führt das Substrat der Mutterplatte, die
beispielsweise aus Glas besteht, die Referenzziffer 20. Dieses Substrat trägt eine
photoempfindliche Schicht 21, deren Dicke derart gewählt wurde, daß nach dem
Entwickeln der photoempfindlichen Schicht die auf diese Weise gebildeten
Sektoradreßgebiete eine solche Tiefe oder Höhe in Bezug auf der Wellenlänge des
Bündels haben, mit dem der Aufzeichnungsträgerkörper abzutasten ist, dass die
geeignete Phasentiefe erreicht wird. Das Element 23 in Fig. 5 ist eine Strahlungsquelle,
beispielsweise ein Argon/Ionenlaser, der ein Bündel b mit einer Wellenlänge
beispielsweise von 457,9 nm erzeugt. Das schmale Bündel weitet auf, beispielsweise
durch ein Teleskop mit den Linsen 26 und 27. Ein Spiegel 29 reflektiert das Bündel
nach einem Objektivsystem 30 mit einer großen numerischen Öffnung, beispielsweise
0,4 oder 0,5. Dieses Objektivsystem fokussiert das Bündel b zur Bildung eines kleinen
Strahlungsflecks V. Das Bündel kann auch mit einer Linse zwischen dem Spiegel 29
und dem Objektivsystem aufgeweitet werden.
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Durch Drehen der Platte um die Achse 22 beschreibt der Strahlungsfleck
V eine Drehung auf der Platte. Zum Schreiben einer Spiralspur oder einer Anzahl
konzentrischer Spuren könnten der Strahlungsfleck V und die Platte in einer radialen
Richtung in bezug aufeinander mit konstanter Geschwindigkeit oder gestuft bewegt
werden. Zu diesem Zweck können der Spiegel 29 und das Objektivsystem 30 in einem
Gehäuse angeordnet werden, das sich in der mit dem Pfeil 31 angegebenen Richtung
bewegt.
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Ein Modulator 24, beispielsweise ein akusto-optischer Modulator, mit
dem die Intensität des Bündels entsprechend dem Steuersignal an die Klemmen 25 und
25' geschaltet werden kann, ist im Strahlungsweg des Bündels b angeordnet. Zum
Aufzeichnen der Sektoradressen wird die Intensität zwischen einem hohen Pegel und
einem Nullpegel geschaltet und zum Aufzeichnen der Servospurabschnitte besitzt die
Intensität des Bündels einen Zwischenpegel.
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Die Belichtung fördert stellenweise die Erweichung der
photoempfindlichen Schicht. Das gewünschte Reliefmuster wird durch selektives
Entfernen des belichteten photoempfindlichen Materials in einem Entwicklungsverfahren
erhalten. Tiefe und Breite der Servorille werden dabei durch die Intensität des Bündels,
bzw. durch die Breite des Strahlungsflecks V bestimmt. Nachdem die Mutterplatte
entwickelt ist, kann sie beispielsweise mit einer Silberschicht bedeckt werden. Danach
können von dieser Mutter auf bekannte Weise Matrizen hergestellt und für die
Herstellung einer Vielzahl von Repliken benutzt werden.
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Wie in Fig. 5 dargestellt, hat der Strahlungsfleck V eine längliche Form,
wobei ihre Längsrichtung sich quer zur Spurrichtung erstreckt. In Fig. 5 ist die
Spurrichtung die Y-Richtung, die sich senkrecht zur Zeichenebene erstreckt. Ein
derartiger Strahlungsfleck wird durch asymmetrisches Beleuchten des Objektivsystems
derart erhalten, daß die Pupille des Objektivsystems nicht vollständig in der X-Richtung,
aber immerhin in der Y-Richtung vollständig ausgefüllt wird. Die Abmessung des
Strahlungsflecks V, der durch das Objektivsystem gebildet wird, ist dabei in der X-
Richtung größer als in der Y-Richtung. Asymmetrisches Ausfüllen der Pupille läßt sich
mit Hilfe einer Blende 32 zwischen dem Spiegel 29 und dem Objektivsystem zum
Beschränken des Bündels in der X-Richtung erreichen. Als Alternative in bezug auf eine
Blende kann eine Zylinderlinse verwendet werden, deren Zylinderachse sich in der Y-
Richtung erstreckt. Die Zylinderlinse gewährleistet, daß das Bündel b in der XZ-Ebene
konvergiert wird und parallel zur YZ-Ebene verläuft.