DE3239328A1 - Magnetisch gelagerte turbomolekularpumpe mit schwingungsdaempfung - Google Patents

Magnetisch gelagerte turbomolekularpumpe mit schwingungsdaempfung

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Description

ARTHUR PFEIFFER VAKUUMTECHNIK WETZLAR GMBH
Magnetisch gelagerte Turbomolekularpumpe mit Schwingungsdämpfung -
Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit passiven, radialen Magnetlagern und mit mechanischen oder elektro-magnetischen Axiallagern.
Für die schmiermittelfreie Lagerung der Rotoren von Turbomolekularpumpen werden verschiedene Versionen von Magnetlagern benutzt. In der DAS 23 49 033 und in der FR 14 75 werden Turbomolekularpumpen mit aktiven, elektronisch geregelten Magnetlagern beschrieben. In der DAS 28 25 551 ist eine Turbomolekularpumpe mit Hybridlagerung dargestellt. Hierbei wird der Rotor radial durch passive Magnetlager gehalten, während in axialer Richtung mechanische Stützlager vorhanden sind.
Bei beiden Arten der Lagerung verhalten sich die Rotoren wie elastisch gefesselte Kreisel. Somit sind verschiedene Schwingungsmöglichkeiten gegeben. Die Schwingungen können von außen durch Erschütterungen angeregt werden oder wie z.B. bei der Anordnung in der DAS 28 25 551 durch Reibungskräfte im axialen mechanischen Stützlager entstehen. Folgende Arten
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von Rotor-Schwingungen sind in verschiedenen Frequenzbereichen möglich:
1. Präzessionsschwingungen mit einer Frequenz von etwa 0,1 Hz bis 10 Hz. Die Frequenz ist abhängig von der Drehzahl, den Trägheitsmomenten und den Federkonstanten der Lager des Rotors.
2. Parallel-Schwingungen des Rotors senkrecht zur Drehachse. Die Frequenzen dieser Schwingungen werden durch die Federkonstanten der Magnetlager und durch die Masse des Rotors festgelegt und liegen zwischen 30 Hz und 100 Hz.
3. Nutationsschwingungen, welche abhängig sind von der Drehzahl und vom Verhältnis der Trägheitsmomente längs und quer zur Rotorachse. Sie treten in den Bereichen von 300 Hz bis 1500 Hz auf.
Um die möglichen Schwingungen zu vermeiden, können aktiv geregelte Magnetlager elektronisch gedämpft werden. Passive Magnetlagerungen, zum Beispiel nach dem Oberbegriff des ersten Anspruches und in der DAS 28 25 551 neigen bei starken Erschütterungen zum Schwingen in einer oder mehreren der oben genannten Arten. Besonders können Reibungskräfte beim Vor-
handensein mechanischer Stütz lager Nutationsschwingungen anregen, überschreiten die Schwingungsamplituden in den Magnetlagern das vorhandene Freispiel, so muß der Rotor von den vorhandenen Fanglagern wieder in seine Ausgangsposition zurückgeführt werden, was eine starke Abbremsung und einen Verschleiß der Fanglager zur Folge hat. Dies gilt für alle Rotoren mit passiven radialen Magnetlagern ohne Rücksicht auf die Art der axialen Lagerung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, an Turbomolekularpumpen mit passiven radialen Magnetlagern eine Schwingungsdämpfung anzubringen, durch die von außen und durch die Pumpe selbst angeregte Schwingungen wirksam gedämpft werden und ein schwingungsarmer, sicherer und stabiler Betrieb der Pumpe bei allen Frequenzen bis zur Nenndrehzahl gewährleistet wird.
Als Lösung der Aufgabe wird gemäß der kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1 eine Kombination zweier verschiedener Dämpfungseinrichtungen vorgestellt. Eine direkte Dämpfungseinrichtung für die höheren Frequenzen wirkt als Wirbelstromdämpfung. Sie besteht
aus Ringen aus Kupfer oder einem anderen gut elektrisch leitenden Werkstoff, die auf die Magnetlager-Statoren der radialen Magnetlager aufgezogen sind. In diesen Ringen entstehen bei Schwingungen Magnetfeldänderungen, welche Wirbelströme mit dämpfenden Kräften erzeugen.
Diese dämpfenden Kräfte sind proportional der Frequenz der auftretenden Schwingungen und somit besonders zur Dämpfung der Schwingungen mit höheren Frequenzen geeignet.
Für Schwingungen mit niedrigen Frequenzen ist eine Dämpfungseinrichtung vorgesehen, die aus einer einen Magnetlager-Stator tragenden Plattform besteht, die in Federn aufgehängt ist, welche Bewegungen nur senkrecht zur Achsrichtung der Pumpe zulassen. Die Plattform ist über Schwingungsdämpfer mit dem ruhenden Gehäuse verbunden. Dabei ist der Rotor über das radiale Magnetlager an die Plattform angekoppelt. Dieses Magnetlager überträgt auch die dämpfenden Kräfte auf den Rotor. Die Anordnung ist so ausgelegt, daß für niedrige Frequenzen eine ausreichende Dämpfung vorhanden ist. Im Bereich der Eigenfrequenz der Plattform, die gegeben ist durch die Masse der Plattform einschließlich Magnetlager-Stator und die Federkonstanten der Federn, hat die Dämpfung ein Maximum. Bei höheren Frequenzen nimmt sie .ab.
Im Diagramm (Fig. 2) sind die dämpfenden Kräfte in Abhängigkeit der Schwingungsfrequenzen aufgetragen. Kurve A zeigt den Verlauf der Dämpfungskräfte der direkten Dämpfung, die Kurve B zeigt den Verlauf der Dämpfungskräfte der indirekten Dämpfung. Mit Kurve C sind die Dämpfungskräfte der kombinierten Dämpfungseinrichtung bestehend aus direkter Dämpfung,
und indirekter Dämpfung als Funktion der Schwingungsfrequenz aufgetragen. Mit dieser Kombination erhält man über den gesamten Bereich der auftretenden Schwingungen eine wirkungsvolle Dämpfung. Eine wirksame direkte Dämpfung läßt sich wegen des beschränkten Raum'es im Luftspalt der Magnetlager nur für hohe Frequenzen verwirklichen.
Die indirekte Dämpfung ist bei kleinen Frequenzen um einige Zehnerpotenzen größer als die direkte Dämpfung.
Um optimale Verhältnisse zu erreichen, wird die Federkonstante der Federn, in der die Plattform aufgehängt ist, an die Federkonstante des zugehörigen Magnetlagers angepaßt. Es ist auch möglich, die indirekte Dämpfung nur an einem der beiden Magnetlager, bevorzugt auf der Vorvakuumseite der Pumpe, anzubringen.
Anhand von Fig. 1 und Fig. 2 soll die Erfindung näher erläutert werden.
Es zeigen
Fig. 1 ein Ausführungsbeispxel der erfindungsgemäßen Anordnung
Fig. 2 Dämpfungskräfte in Abhängigkeit von der Schwingungsfrequenz
An dem Ausführungsbeispxel in Fig. 1 wird die erfindungsgemäße Anordnung dargestellt. Mit 1 ist der Rotor und mit 2 sind die Rotorscheiben einer Turbomolekularpumpe bezeichnet. Abwechselnd zwischen den Rotorscheiben 2 befinden' sich die Statorscheiben 3. Die radialen Magnetlager bestehen aus den Magnetlager-Rotoren 4 und 4' und aus den Magnetlager-Statoren 5 und 5'. Im vorliegenden Ausführungsbeispxel ist die Axiallagerung durch mechanische axiale Stützlager 7 und V dargestellt. Als Axiallagerung kann auch eine elektro-magnetische Einrichtung dienen. Auf die Magnetlager-Statoren 5 und 51 sind Ringe 6 und 6' aus Kupfer oder einem anderen gut elektrisch leitenden Werkstoff aufgezogen. Bei auftretenden Störungen erzeugen Magnetfeldänderungen Wirbelströme in diesen Ringen, die frequenz-proportionale Dämpfungskräfte erzeugen.
Bei der indirekten Dämfung für niedrige Frequenzen werden Bewegungen der auf senkrecht stehenden Federn (9) angeordneten Plattform (8), die von Rotorschwingungen angeregt werden, durch die angekoppelten an sich bekannten Flüssigkeitsdämpfer (10) wirksam unterdrückt. Die Federn (9) führen die Plattform 8 in axialer Richtung, lassen aber dazu senkrechte Bewegungen zu.
In Fig. 2 ist der Verlauf der Dämpfungskräfte logarithmisch in Abhängigkeit von der Schwingungsfrequenz aufgetragen. Die Kurve A zeigt den Verlauf der direkten Dämpfungskräfte, die proportional der Frequenz sind und somit erst bei höheren Frequenzen wirksam werden. Durch Kurve B sind die indirekten Dämpfungskräfte dargestellt, die bei niedrigen Frequenzen im Bereich der Eigenfrequenz der Plattform ihre größte Wirkung haben. Die Kurve C zeigt die resultierende der beiden Kurven A und B. Hiermit wird eine wirksame Dämpfung für alle auftretenden Schwingungsfrequenzen erreicht.

Claims (3)

  1. ARTHUR PFEIFFER VAKUUMTECHNIK WETZLAR GMBH
    Magnetisch gelagerte Turbomolekularpumpe mit Schwingungsdämpfung
    Patentansprüche;
    l) Turbomolekularpumpe mit passiven, radialen Magnetlagern (4, 5 und 4', 51) und mit mechanischen oder elektro-magnetischen Axiallagern, dadurch gekennzeichnet, daß zur Dämpfung von Schwingungen in Richtung der Magnetlagerebenen.eine direkte und eine indirekte Dämpfungseinrichtung vorgesehen-sind, wobei die direkte Dämpfungseinrichtung eine Wirbelstromdämpfung ist, bestehend aus Ringen (6, 61) aus Kupfer oder einem anderen gut elektrisch leitenden Werkstoff, die auf die Magnetlager-Statoren (5, 5') aufgezogen sind, und die indirekte Dämpfungseinrichtung aus einer die Magnetlager-Statoren tragende Plattform (8) besteht, die in Federn (9) aufgehängt ist, welche nur Bewegungen senkrecht zur Achsrichtung der Pumpe zulassen und die Plattform (8) über einen an sich bekannten Schwingungsdämpfer (10) mit dem ruhenden Gehäuse (11) verbunden und somit gedämpft ist.
  2. 2. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich die indirekte Dämpfungseinrichtung an beiden Magnetlager-Statoren (5, 5f) befindet und die Federkonstante der Federn (9), in denen die Plattform (8) aufgehängt ist, jeweils gleich der radialen Federkonstante des zugehörenden Magnetlagers ist.
  3. 3. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich an einer Lagerstelle nur eine direkte Dämpfungseinrichtung befindet und an der anderen Lagerstelle sowohl eine direkte als auch eine indi rekte Dämpfungseinrichtung vorhanden ist, wobei die Federkonstante der Federn (9), in denen die Plattform (8) aufgehängt ist, gleich der radialen Federkonstanten des zugehörenden Magnetlagers ist.
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NL8303081A NL8303081A (nl) 1982-10-23 1983-09-05 Magnetisch gelagerde turbomoleculairpomp met trillingsdemping.
IT22779/83A IT1167198B (it) 1982-10-23 1983-09-06 Pompa turbomulecolare sopportata magneticamente con smorzamenti delle vibrazioni
FR8315545A FR2534980B1 (fr) 1982-10-23 1983-09-29 Turbopompe moleculaire montee magnetiquement avec amortissement des vibrations
BE1/10892A BE898011A (fr) 1982-10-23 1983-10-18 Turbopompe moleculaire montee magnetiquement avec amortissement des vibrations.
US06/543,264 US4541772A (en) 1982-10-23 1983-10-19 Pump with magnetic bearings
JP58197468A JPS5993995A (ja) 1982-10-23 1983-10-21 ポンプ
GB08328170A GB2129068B (en) 1982-10-23 1983-10-21 Pump with magnetic bearings
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3721680A1 (de) * 1987-07-01 1989-01-12 Vdo Schindling Luefter
DE3818556A1 (de) * 1988-06-01 1989-12-07 Pfeiffer Vakuumtechnik Magnetlager fuer eine schnell rotierende vakuumpumpe
DE4301076A1 (de) * 1993-01-16 1994-07-21 Forschungszentrum Juelich Gmbh Magnetlagerzelle mit Rotor und Stator
DE4342582A1 (de) * 1993-12-14 1995-06-22 Skf Textilmasch Komponenten Magnet-Gaslager eines als Läufer eines Axialfeldmotors ausgebildeten schaftlosen Spinnrotors einer Offenend-Spinnmaschine
EP0867627A2 (de) 1997-03-26 1998-09-30 Pfeiffer Vacuum GmbH Dämpfungssystem für magnetisch gelagerte Rotoren
DE19804768A1 (de) * 1998-02-06 1999-08-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotorlagerung für eine Gasreibungspumpe
DE10001509A1 (de) * 2000-01-15 2001-07-19 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe mit Schwingungsdämpfer
EP1118774A2 (de) * 1999-12-21 2001-07-25 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Vakuumpumpe
DE10022061A1 (de) * 2000-05-06 2001-11-08 Leybold Vakuum Gmbh Magnetlagerung mit Dämpfung
EP2003342A2 (de) 2007-06-15 2008-12-17 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zum Betreiben einer Anordnung mit Vakuumpumpe und Anordnung mit einer Vakuumpumpe
DE102009041530A1 (de) * 2009-09-15 2011-04-07 Weh, Herbert, Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. Axialfeld-Ringgenerator mit Magnetfeld-Lagestabilisierung
EP2884125A3 (de) * 2013-12-13 2015-07-08 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotierendes System

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59168295A (ja) * 1983-03-16 1984-09-21 Hitachi Ltd タ−ボ分子ポンプ
JPS62177314A (ja) * 1986-01-30 1987-08-04 Shimadzu Corp 磁気浮上形回転機械
JP2651569B2 (ja) * 1986-11-04 1997-09-10 セイコー精機 株式会社 ターボ分子ポンプ
JP2527245Y2 (ja) * 1988-03-08 1997-02-26 三菱重工業株式会社 ターボ分子ポンプ
JPH0772556B2 (ja) * 1988-03-18 1995-08-02 株式会社荏原製作所 ターボ分子ポンプ
JPH01166292U (de) * 1988-05-11 1989-11-21
US4988906A (en) * 1988-09-08 1991-01-29 The Dow Chemical Company Magnetic bearing assembly
JPH02105597U (de) * 1989-02-08 1990-08-22
JPH0645698Y2 (ja) * 1989-04-20 1994-11-24 エヌティエヌ株式会社 １軸制御型磁気軸受装置
JP2515923Y2 (ja) * 1989-06-01 1996-11-06 日本フェローフルイディクス株式会社 磁気軸受装置
US4963804A (en) * 1989-07-10 1990-10-16 Westinghouse Electric Corp. Apparatus and method for reducing vibration of rotating machinery
DE3931661A1 (de) * 1989-08-25 1991-04-04 Leybold Ag Magnetgelagerte vakuumpumpe
JPH04219493A (ja) * 1990-08-10 1992-08-10 Ebara Corp ターボ分子ポンプ
US5302874A (en) * 1992-09-25 1994-04-12 Magnetic Bearing Technologies, Inc. Magnetic bearing and method utilizing movable closed conductive loops
US5396136A (en) * 1992-10-28 1995-03-07 Sri International Magnetic field levitation
DE4237971B4 (de) * 1992-11-11 2004-05-06 Unaxis Deutschland Holding Gmbh Vakuumpumpe mit Wandler
DE4314419A1 (de) * 1993-05-03 1994-11-10 Leybold Ag Reibungsvakuumpumpe mit Lagerabstützung
DE4314418A1 (de) * 1993-05-03 1994-11-10 Leybold Ag Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten
DE4410656A1 (de) * 1994-03-26 1995-09-28 Balzers Pfeiffer Gmbh Reibungspumpe
US6019581A (en) * 1995-08-08 2000-02-01 Leybold Aktiengesellschaft Friction vacuum pump with cooling arrangement
US5736798A (en) * 1995-10-19 1998-04-07 Eastman Kodak Company Passive magnetic damper
US6262505B1 (en) * 1997-03-26 2001-07-17 Satcon Technology Corporation Flywheel power supply having axial magnetic bearing for frictionless rotation
US6213737B1 (en) * 1997-04-18 2001-04-10 Ebara Corporation Damper device and turbomolecular pump with damper device
US6078120A (en) * 1998-03-10 2000-06-20 Varian, Inc. Vacuum pump with magnetic bearing system, backup bearings and sensors
US6412173B1 (en) 1999-07-26 2002-07-02 Phoenix Analysis And Design Technologies, Inc. Miniature turbomolecular pump
JP4250353B2 (ja) * 2001-06-22 2009-04-08 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP2003049772A (ja) * 2001-08-08 2003-02-21 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプの接続構造
FR2831621B1 (fr) * 2001-10-25 2004-02-13 Cit Alcatel Utilisation des billes en zircone pour les roulements d'atterrissage des pompes turbomoleculaires sur palier magnetique
SE0200014L (sv) * 2002-01-04 2003-07-05 Olov Hagstroem Magnetiskt radiallagrad rotoranordning
US6834841B2 (en) * 2002-07-03 2004-12-28 Honeywell International Inc. Method and system for decoupling structural modes to provide consistent control system performance
DE102004050743A1 (de) * 2004-10-19 2006-04-20 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vibrationsarme Vakuumpumpe
DE102008032921A1 (de) 2008-07-12 2010-01-14 Schaeffler Kg Lagersystem
DE102008048210A1 (de) * 2008-09-20 2010-05-12 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Dämpfungsvorrichtung
DE102009035812A1 (de) * 2009-08-01 2011-02-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Turbomolekularpumpenrotor
US8717579B2 (en) * 2011-04-20 2014-05-06 Thomas E. Portegys Distance measuring device using a method of spanning separately targeted endpoints
JP6435338B2 (ja) * 2013-10-16 2018-12-05 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． 放射源、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、センサシステム及びセンシング方法
EP3628873B1 (de) * 2015-01-30 2020-09-09 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotorlagerung
EP3154166B1 (de) * 2015-10-08 2022-11-30 Skf Magnetic Mechatronics Rotierende maschine mit magnetischen und mechanischen lagern
JP7371852B2 (ja) * 2019-07-17 2023-10-31 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
CN111677810B (zh) * 2020-05-27 2021-09-21 哈尔滨工业大学 光学有效载荷被动隔振***
CN111735571B (zh) * 2020-07-20 2021-07-09 天津飞旋科技股份有限公司 一种分子泵动平衡调整装置及调整方法
CN115247650B (zh) * 2022-07-28 2023-03-21 瑞希特(浙江)科技股份有限公司 一种全永磁悬浮轴承磁力泵
GB2621342A (en) * 2022-08-09 2024-02-14 Leybold Gmbh Eddy current damper and vacuum pump

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1750602B2 (de) * 1968-05-17 1973-03-15 Boden, Karl, 7991 Oberteuringen; Groth, Wilhelm, Prof. Dr., 5300 Bonn; Scheffer, Dietrich, Dipl.-Ing., Dr.rer. nat., 7990 Friedrichshafen Magnetische lagerung
US3929390A (en) * 1971-12-22 1975-12-30 Cambridge Thermionic Corp Damper system for suspension systems
DE2537367A1 (de) * 1974-09-27 1976-04-15 Balzers Hochvakuum Turbovakuumpumpe
DE2658925B2 (de) * 1976-12-24 1979-09-06 Maschinenfabrik Augsburg-Nuernberg Ag, 8000 Muenchen Notlauflager für schnellaufende Drehkörper
GB1573262A (en) * 1976-04-06 1980-08-20 Ultra Centrifuge Nederland Nv Damping system for a rotatable rotor fitted in a housing
DE2825551C3 (de) * 1978-06-10 1982-06-09 Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar Magnetische Lagerung
DE2341850C2 (de) * 1972-08-23 1982-11-11 Société Européenne de Propulsion, 92800 Puteaux, Hauts-de-Seine Vorrichtung zur Dämpfung der Nutationsbewegung eines magnetisch gelagerten Retors

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2252476A (en) * 1940-11-29 1941-08-12 Gen Electric Base for electric lamps
GB877315A (en) * 1959-04-13 1961-09-13 Eaton Mfg Co Improvements in eddy current machines
FR1471843A (fr) * 1965-03-29 1967-03-03 Chemelex Procédé d'enduisage de compositions conductrices de l'électricité
FR1475765A (fr) * 1966-01-31 1967-04-07 Snecma Perfectionnements aux appareils à arbre vertical tournant à grande vitesse
US3399827A (en) * 1967-05-19 1968-09-03 Everett H. Schwartzman Vacuum pump system
DE2052120A1 (de) * 1970-10-23 1972-04-27 Pfeiffer Vakuumtechnik Lageranordnung für Molekularpumpen und Turbomolekularpumpen
JPS5226578B2 (de) * 1974-02-08 1977-07-14
DD124315A1 (de) * 1976-03-16 1977-02-16
JPS578396A (en) * 1980-06-18 1982-01-16 Hitachi Ltd Movable vane mixed flow pump

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1750602B2 (de) * 1968-05-17 1973-03-15 Boden, Karl, 7991 Oberteuringen; Groth, Wilhelm, Prof. Dr., 5300 Bonn; Scheffer, Dietrich, Dipl.-Ing., Dr.rer. nat., 7990 Friedrichshafen Magnetische lagerung
US3929390A (en) * 1971-12-22 1975-12-30 Cambridge Thermionic Corp Damper system for suspension systems
DE2341850C2 (de) * 1972-08-23 1982-11-11 Société Européenne de Propulsion, 92800 Puteaux, Hauts-de-Seine Vorrichtung zur Dämpfung der Nutationsbewegung eines magnetisch gelagerten Retors
DE2537367A1 (de) * 1974-09-27 1976-04-15 Balzers Hochvakuum Turbovakuumpumpe
DE2537367B2 (de) * 1974-09-27 1980-03-06 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Lagerung eines axial durchfluteten Rotors für eine schnell rotierende Vakuumpumpe
GB1573262A (en) * 1976-04-06 1980-08-20 Ultra Centrifuge Nederland Nv Damping system for a rotatable rotor fitted in a housing
DE2658925B2 (de) * 1976-12-24 1979-09-06 Maschinenfabrik Augsburg-Nuernberg Ag, 8000 Muenchen Notlauflager für schnellaufende Drehkörper
DE2825551C3 (de) * 1978-06-10 1982-06-09 Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar Magnetische Lagerung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
M. Pollermann Bauelemente der physikalischen Technik Springer Verlag Berlin Göttingen Heidelberg 1955, S. 97-98 *

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3721680A1 (de) * 1987-07-01 1989-01-12 Vdo Schindling Luefter
DE3818556A1 (de) * 1988-06-01 1989-12-07 Pfeiffer Vakuumtechnik Magnetlager fuer eine schnell rotierende vakuumpumpe
US5166566A (en) * 1988-06-01 1992-11-24 Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Gmbh Magnetic bearings for a high speed rotary vacuum pump
DE4301076A1 (de) * 1993-01-16 1994-07-21 Forschungszentrum Juelich Gmbh Magnetlagerzelle mit Rotor und Stator
DE4342582A1 (de) * 1993-12-14 1995-06-22 Skf Textilmasch Komponenten Magnet-Gaslager eines als Läufer eines Axialfeldmotors ausgebildeten schaftlosen Spinnrotors einer Offenend-Spinnmaschine
US5537810A (en) * 1993-12-14 1996-07-23 Skf Textilmaschinen-Komponenten Gmbh Magnetic-gas bearing for a shaftless spinning rotor for an open-end spinning machine
EP0867627A2 (de) 1997-03-26 1998-09-30 Pfeiffer Vacuum GmbH Dämpfungssystem für magnetisch gelagerte Rotoren
DE19712711A1 (de) * 1997-03-26 1998-10-01 Pfeiffer Vacuum Gmbh Dämpfungssystem für magnetisch gelagerte Rotoren
DE19804768A1 (de) * 1998-02-06 1999-08-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotorlagerung für eine Gasreibungspumpe
DE19804768B4 (de) * 1998-02-06 2006-08-24 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotorlagerung für eine Gasreibungspumpe
EP1118774A2 (de) * 1999-12-21 2001-07-25 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Vakuumpumpe
EP1118774A3 (de) * 1999-12-21 2002-10-30 Seiko Instruments Inc. Vakuumpumpe
US6575713B2 (en) 1999-12-21 2003-06-10 Seiko Instruments Inc. Vaccum pump
US6814550B1 (en) 2000-01-15 2004-11-09 Leybold Vakuum Gmbh Vacuum pump with vibration absorber
DE10001509A1 (de) * 2000-01-15 2001-07-19 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe mit Schwingungsdämpfer
DE10022061A1 (de) * 2000-05-06 2001-11-08 Leybold Vakuum Gmbh Magnetlagerung mit Dämpfung
US6833643B2 (en) 2000-05-06 2004-12-21 Leybold Vakuum Gmbh Magnetic bearing with damping
EP2003342A2 (de) 2007-06-15 2008-12-17 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zum Betreiben einer Anordnung mit Vakuumpumpe und Anordnung mit einer Vakuumpumpe
DE102007027711A1 (de) 2007-06-15 2008-12-18 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zum Betreiben einer Anordnung mit Vakuumpumpe und Anordnung mit einer Vakuumpumpe
DE102009041530A1 (de) * 2009-09-15 2011-04-07 Weh, Herbert, Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. Axialfeld-Ringgenerator mit Magnetfeld-Lagestabilisierung
EP2884125A3 (de) * 2013-12-13 2015-07-08 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotierendes System

Also Published As

Publication number Publication date
FR2534980A1 (fr) 1984-04-27
GB2129068A (en) 1984-05-10
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IT1167198B (it) 1987-05-13
FR2534980B1 (fr) 1986-05-23
BE898011A (fr) 1984-02-15
DE3239328C2 (de) 1993-12-23
GB8328170D0 (en) 1983-11-23
JPH0569397U (ja) 1993-09-21
JPH078879Y2 (ja) 1995-03-06

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