CN111735571B - 一种分子泵动平衡调整装置及调整方法 - Google Patents
一种分子泵动平衡调整装置及调整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111735571B CN111735571B CN202010695942.1A CN202010695942A CN111735571B CN 111735571 B CN111735571 B CN 111735571B CN 202010695942 A CN202010695942 A CN 202010695942A CN 111735571 B CN111735571 B CN 111735571B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- impeller
- main shaft
- dynamic balance
- electromagnetic
- magnetic suspension
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims abstract description 33
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 31
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 31
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M1/00—Testing static or dynamic balance of machines or structures
- G01M1/30—Compensating imbalance
- G01M1/36—Compensating imbalance by adjusting position of masses built-in the body to be tested
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
本发明提供了一种分子泵动平衡调整装置及调整方法,包括磁悬浮电机,磁悬浮电机一侧安装真空罩,真空罩通过真空管道连接至机械泵,真空罩内部设有叶轮和电磁主轴,磁悬浮电机的主轴连接至电磁主轴一端,电磁主轴另一端安装叶轮,电磁主轴上设有上径向轴承检测位和下径向轴承检测位,叶轮的端部设有第一动平衡加重孔和第二动平衡加重孔,真空罩外部设有检测单元,检测单元用于检测电磁主轴的不平衡量,并将信号传递给上位机。本发明所述的分子泵动平衡调整装置及调整方法,极大的提高了分子泵的动平衡测试效率而且精度高,节省了大量的调试时间。
Description
技术领域
本发明属于真空获得设备领域,尤其是涉及一种分子泵动平衡调整装置的调整方法。
背景技术
分子泵属于高精度精密仪器,是真空获得设备里的高端产品,它的工作原理是通过高速旋转的叶轮定向击打工作环境中的气体分子,使气体分子按设计要求排出真空腔体从而获得洁净的高真空环境。因此分子泵叶轮的转速要求很高,叶轮边缘线速度要达到400m/s以上,同时要求分子泵不能有大幅的振动,需要将泵口的相对振动量控制在0.1μm以内。在这种要求下,分子泵叶轮的动平衡精度一般需要达到G0.4以上。现有的分子泵动平衡方法主要分两种:一种是借用常规的动平衡机,在低速下比如3000rpm时做调整,这种方法操作简单,但是效果不是很理想,因为分子泵的工作转速一般都在20000rpm以上,此时的叶轮状态和低速下的状态不完全一样,所以这种方法的动平衡精度很难达到G0.4,只能勉强使用。另外一种是本机动平衡,需要采用高精度动平衡仪或是磁悬浮分子泵的位移监控软件进行操作,这种方法可以实现高速下动平衡,保证分子泵在额定转速时的动平衡精度,一般都能轻松达到G0.4以上,但是这种方法非常耗时,因为分子泵本身升降速时间很长,一般一次升降速需要20分钟左右,完成一个泵的动平衡差不多要半天时间;操作也是相对复杂,需要来回拆卸泵壳处理叶轮的不平衡质量。
发明内容
有鉴于此,本发明旨在提出一种分子泵动平衡调整装置,以解决分子泵动平衡精度低、操作复杂、耗时长的问题。
为达到上述目的,本发明的技术方案是这样实现的:
一种分子泵动平衡调整装置,包括磁悬浮电机、机械泵、叶轮和电磁主轴,磁悬浮电机一侧安装真空罩,真空罩通过真空管道连接至机械泵,真空罩内部设有叶轮和电磁主轴,磁悬浮电机的主轴连接至电磁主轴一端,电磁主轴另一端安装叶轮,电磁主轴上设有上径向轴承检测位和下径向轴承检测位,叶轮的端部设有第一动平衡加重孔和第二动平衡加重孔,真空罩外部设有检测单元,检测单元用于检测电磁主轴的不平衡质量,并将信号传递给上位机。
进一步的,所述上位机为电脑。
进一步的,所述磁悬浮电机的主轴和磁悬浮电机的壳体之间设有真空密封装置。
进一步的,所述机械泵为前级泵。
进一步的,所述真空管道为波纹管。
进一步的,所述检测单元为电感式位移传感器,电感式位移传感器包括第一电感式位移传感器和第二电感式位移传感器,第一电感式位移传感器对准下径向轴承检测位,第二电感式位移传感器对准上径向轴承检测位。。
相对于现有技术,本发明所述的分子泵动平衡调整装置具有以下优势:
(1)本发明所述的分子泵动平衡调整装置,将叶轮和电磁主轴作为整体进行动平衡调整,既可以实现将叶轮和电磁主轴单独从泵体分离出来整体动平衡,又可以快速实现高速动平衡调整,极大的提高了动平衡效率。
(2)本发明所述的分子泵动平衡调整装置,操作简单,易于批量生产,有利于企业减少人力投入、降低生产成本和减少其他配套资源损耗。
本发明的另一目的在于提出一种分子泵动平衡调整方法,以解决分子泵动平衡精度低、操作复杂、耗时长的问题。
为达到上述目的,本发明的技术方案是这样实现的:
一种分子泵动平衡调整方法,具体包括如下步骤:
步骤一:将叶轮和电磁主轴作为一个整体固定在磁悬浮电机上;
步骤二:将电感式位移传感器探头对准电磁主轴的感应部位,并连接上位机;
步骤三:启动磁悬浮电机,使叶轮和电磁主轴达到低速动平衡测试转速,低速的转速范围为3000rpm至5000rpm;
步骤四:电感式位移传感器将采集的数据传递给上位机,上位机判断叶轮和电磁主轴这个整体的不平衡质量是否小于1克,如果不平衡质量大于1克,则进行动平衡调整;如果不平衡质量小于1克,则直接进入步骤五;
步骤五:用机械泵对真空罩粗抽至10Pa的真空度,然后通过磁悬浮电机将叶轮和电磁主轴转速达到额定运行转速,经上位机计算得出不平衡质量分布,并判断叶轮和电磁主轴这个整体的不平衡是否小于0.001克,如果小于0.001克,则测试结束;如果不平衡质量大于0.001克,则采用加重的方式对叶轮和电磁主轴进行不平衡质量调整,直至不平衡质量小于0.001克。
进一步的,所述动平衡调整的具体过程为:在刚性状态下对叶轮和电磁主轴进行低速动平衡调试,低速的转速范围为3000rpm至5000rpm,并对不平衡质量采用加重补偿,直至不平衡质量小于1克;
进一步的,所述上位机内安装的软件为matlab计算软件。
相对于现有技术,本发明所述的分子泵动平衡调整方法具有以下优势:
(1)本发明所述的分子泵动平衡调整方法,采用大功率高速磁悬浮电机驱动,将叶轮和电磁主轴安装在真空罩内,通过电感式位移传感器读取叶轮和电磁主轴的位移振动量,并采用matlab算法进行计算不平衡质量分布,找到不平衡质量分布之后采用加重的方法来实现不平衡质量的调整,极大的提高了分子泵的动平衡测试效率而且精度高,节省了大量的调试时间,也有利于提高行业的整体技术水平。
附图说明
构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1为本发明实施例所述的真空泵打开上盖时分子泵动平衡调整装置的俯视图;
图2为图1中A部的剖视图;
图3为图1中B部的剖视图;图4为本发明实施例所述的真空泵打开上盖时分子泵动平衡调整装置的结构示意图;
图5为图4中C部的剖视图;
图6为本发明实施例所述的分子泵动平衡调整方法的流程图。
附图标记说明:
1-磁悬浮电机;2-机械泵;3-真空管道;4-第一电感式位移传感器;5-第二电感式位移传感器;6-上位机;7-叶轮;8-第一动平衡加重孔;9-第二动平衡加重孔;10-上径向轴承检测位;11-电磁主轴;12-下径向轴承检测位;13-连接件;14-真空密封装置;15-真空罩。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
一种分子泵动平衡调整装置,如图1至图3所示,包括磁悬浮电机1、机械泵2、真空管道3、叶轮7、上径向轴承检测位10、电磁主轴11、下径向轴承检测位12、真空密封装置14和真空罩15,磁悬浮电机1一侧安装真空罩15,真空罩15内部设有叶轮7、电磁主轴11和真空密封装置14,磁悬浮电机1的主轴通过连接件13连接至电磁主轴11一端,电磁主轴11另一端安装叶轮7,电磁主轴11上设有上径向轴承检测位10和下径向轴承检测位12,叶轮7的端部设有第一动平衡加重孔8和第二动平衡加重孔9,真空罩15通过真空管道3连接至机械泵2,真空罩15外部设有若干电感式位移传感器,电感式位移传感器对准上径向轴承检测位10和下径向轴承检测位12,每个电感式位移传感器均信号连接至上位机6。
磁悬浮电机1的主轴与电磁主轴11之间设有真空密封装置。
上位机6为电脑,上位机6内安装matlab计算软件,matlab计算软件通过传感器采集数据的过程为现有技术常用手段,上位机和matlab计算软件使用均为现有常用手段,使得该装置适用范围广泛,在使用之前不需要特殊培训,能快速用于工业生产。
真空密封装置14为迷宫密封环,密封性更强。
电感式位移传感器包括第一电感式位移传感器4和第二电感式位移传感器5,第一电感式位移传感器4对准下径向轴承检测位12,第二电感式位移传感器5对准上径向轴承检测位10。
机械泵2为前级泵。
真空管道3为波纹管,长度可调,灵活度更高,通用性更强。
真空罩15为可开合结构,方便安装叶轮7和电磁主轴11。
磁悬浮电机1为大功率高速磁悬浮电机,其规格为3000rpm至50000rmp。
一种分子泵动平衡调整装置的调试过程为:
第一步,在刚性状态下对叶轮7和电磁主轴11进行低速动平衡调试,低速的转速范围选取3000rpm至5000rpm之间位移轨迹比较稳定的状态进行调整,目标是使得不平衡质量控制在1克以内。第二步,完成第一步的目标后或者叶轮7和电磁主轴11本身就达到了不平衡质量在1克以内的要求时,进行高速动平衡调整,为了减少大气对叶轮7的影响,用机械泵2对真空罩15粗抽至10Pa左右的真空度,然后通过叶轮7和电磁主轴11整体升速至额定工作速,额定转速是20000rpm至45000rmp之间,由于采用了大功率磁悬浮电机1,升速时间不到1分钟,极大的提高了工作效率。读取不平衡质量分布情况进行调整,使得不平衡质量控制在0.001克以内,此时动平衡精度就远高于G0.4了。
分子泵动平衡调整装置将叶轮7和电磁主轴11整体进行动平衡调整,为更好的提高精度,需要叶轮7和电磁主轴11在调整过程中保持较低的振动,这个振动量可以从不平衡质量的分布来体现。本申请要求叶轮7和电磁主轴11在低速状态下达到不平衡质量在1克以内,才能进行高速状态下的动平衡调试。
一种分子泵动平衡调整方法,如图4所示,具体包括如下步骤:
步骤一:将叶轮7和电磁主轴11作为一个整体固定住;
步骤二:用紧固工装将叶轮7和电磁主轴11这个整体固定在磁悬浮电机1上;
步骤三:将电感式位移传感器探头对准电磁主轴11的感应部位,并启动上位机的matlab计算软件;
步骤四:启动磁悬浮电机1,使叶轮7和电磁主轴11达到低速动平衡测试转速(3000rpm至5000rpm之间);
步骤五:通过上位机判断叶轮7和电磁主轴11这个整体的不平衡质量是否小于1克,如果不平衡质量大于1克,则进行动平衡调整;如果小于1克则直接进入步骤六;
如果不平衡质量大于1克,动平衡调整具体过程为:在刚性状态下对叶轮7和电磁主轴11进行低速(选取3000rpm至5000rpm之间)动平衡调试,并对不平衡质量采用加重补偿,直至不平衡质量小于1克;
步骤六:用机械泵2对真空罩15粗抽至10Pa的真空度,然后通过磁悬浮电机1将叶轮7和电磁主轴11转速达到额定运行转速(20000rpm至45000rmp之间),经上位机计算得出不平衡质量分布,判断叶轮7和电磁主轴11这个整体的不平衡是否小于0.001克,如果小于0.001克,则测试结束;如果不平衡质量大于0.001克,则采用加重的方式对叶轮7和电磁主轴11进行不平衡质量调整,直至不平衡质量小于0.001克。
实际测试,应用这种方法来调整动平衡,一般1小时左右就可以完成,而且动平衡精度都可以达到G0.4以上,机械泵2的泵口振动量测试都在0.05μm以内。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种分子泵动平衡调整装置的调整方法,其特征在于:包括磁悬浮电机、机械泵、叶轮和电磁主轴,磁悬浮电机一侧安装真空罩,真空罩通过真空管道连接至机械泵,真空罩内部设有叶轮和电磁主轴,磁悬浮电机的主轴连接至电磁主轴一端,电磁主轴另一端安装叶轮,电磁主轴上设有上径向轴承检测位和下径向轴承检测位,叶轮的端部设有第一动平衡加重孔和第二动平衡加重孔,真空罩外部设有检测单元,检测单元用于检测电磁主轴的不平衡质量,并将信号传递给上位机,检测单元为电感式位移传感器,电感式位移传感器包括第一电感式位移传感器和第二电感式位移传感器,第一电感式位移传感器对准下径向轴承检测位,第二电感式位移传感器对准上径向轴承检测位,
还包括如下步骤:
步骤一:将叶轮和电磁主轴作为一个整体固定在磁悬浮电机上;
步骤二:将电感式位移传感器探头对准电磁主轴的感应部位,并连接上位机;
步骤三:启动磁悬浮电机,使叶轮和电磁主轴达到低速动平衡测试转速,低速的转速范围为3000rpm至5000rpm;
步骤四:电感式位移传感器将采集的数据传递给上位机,上位机判断叶轮和电磁主轴这个整体的不平衡质量是否小于1克,如果不平衡质量大于1克,则进行动平衡调整,并对不平衡质量采用加重补偿;如果不平衡质量小于1克,则直接进入步骤五;
步骤五:用机械泵对真空罩粗抽至10Pa的真空度,然后通过磁悬浮电机将叶轮和电磁主轴转速达到额定运行转速,经上位机计算得出不平衡质量分布,并判断叶轮和电磁主轴这个整体的不平衡是否小于0.001克,如果小于0.001克,则测试结束;如果不平衡质量大于0.001克,则采用加重的方式对叶轮和电磁主轴进行不平衡质量调整,直至不平衡质量小于0.001克。
2.根据权利要求1所述的一种分子泵动平衡调整装置的调整方法,其特征在于:上位机为电脑。
3.根据权利要求1所述的一种分子泵动平衡调整装置的调整方法,其特征在于:磁悬浮电机的主轴和磁悬浮电机的壳体之间设有真空密封装置。
4.根据权利要求1所述的一种分子泵动平衡调整装置的调整方法,其特征在于:机械泵为前级泵。
5.根据权利要求1所述的一种分子泵动平衡调整装置的调整方法,其特征在于:真空管道为波纹管。
6.根据权利要求1所述的一种分子泵动平衡调整装置的调整方法,其特征在于:所述上位机内安装的软件为matlab计算软件。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010695942.1A CN111735571B (zh) | 2020-07-20 | 2020-07-20 | 一种分子泵动平衡调整装置及调整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010695942.1A CN111735571B (zh) | 2020-07-20 | 2020-07-20 | 一种分子泵动平衡调整装置及调整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111735571A CN111735571A (zh) | 2020-10-02 |
CN111735571B true CN111735571B (zh) | 2021-07-09 |
Family
ID=72655036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010695942.1A Active CN111735571B (zh) | 2020-07-20 | 2020-07-20 | 一种分子泵动平衡调整装置及调整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111735571B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114526864B (zh) * | 2021-12-27 | 2023-04-11 | 苏州中科科仪技术发展有限公司 | 一种动平衡调试泵壳及具有其的调试装置与方法 |
CN116973753B (zh) * | 2023-09-24 | 2023-11-28 | 苏州中科科仪技术发展有限公司 | 一种磁悬浮分子泵电机反电动势检测装置及检测方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1167198B (it) * | 1982-10-23 | 1987-05-13 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Pompa turbomulecolare sopportata magneticamente con smorzamenti delle vibrazioni |
JP2000274391A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-03 | Seiko Seiki Co Ltd | オーバーハング型ターボ分子ポンプ |
CN102251979A (zh) * | 2011-07-05 | 2011-11-23 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法 |
CN102410238A (zh) * | 2011-11-02 | 2012-04-11 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种磁悬浮分子泵升速过程中的平稳控制方法 |
CN102425562A (zh) * | 2011-12-05 | 2012-04-25 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种磁悬浮分子泵动平衡方法 |
JP6313918B1 (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-18 | 株式会社クラレ | 樹脂組成物、ペレット、ベール、制振材、遮音材および合わせガラス用中間膜 |
CN108412785A (zh) * | 2018-02-26 | 2018-08-17 | 北京海斯德电机技术有限公司 | 一种复合分子泵 |
CN110578703A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-12-17 | 深圳市柏英特电子科技有限公司 | 一种调整磁悬浮涡轮分子泵动平衡的新方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6313918A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-21 | Seiko Seiki Co Ltd | 磁気軸受式タ−ボ分子ポンプの回転軸姿勢制御装置 |
CN202004696U (zh) * | 2010-12-31 | 2011-10-05 | 清华大学 | 磁悬浮分子泵*** |
CN102011745B (zh) * | 2010-12-31 | 2013-08-07 | 清华大学 | 一种磁悬浮分子泵的神经网络控制***及方法 |
-
2020
- 2020-07-20 CN CN202010695942.1A patent/CN111735571B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1167198B (it) * | 1982-10-23 | 1987-05-13 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Pompa turbomulecolare sopportata magneticamente con smorzamenti delle vibrazioni |
JP2000274391A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-03 | Seiko Seiki Co Ltd | オーバーハング型ターボ分子ポンプ |
CN102251979A (zh) * | 2011-07-05 | 2011-11-23 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法 |
CN102410238A (zh) * | 2011-11-02 | 2012-04-11 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种磁悬浮分子泵升速过程中的平稳控制方法 |
CN102425562A (zh) * | 2011-12-05 | 2012-04-25 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种磁悬浮分子泵动平衡方法 |
JP6313918B1 (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-18 | 株式会社クラレ | 樹脂組成物、ペレット、ベール、制振材、遮音材および合わせガラス用中間膜 |
CN108412785A (zh) * | 2018-02-26 | 2018-08-17 | 北京海斯德电机技术有限公司 | 一种复合分子泵 |
CN110578703A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-12-17 | 深圳市柏英特电子科技有限公司 | 一种调整磁悬浮涡轮分子泵动平衡的新方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Design and Implementation of a Fault-Tolerant;Seong-Rak Cho等;《IEEE/ASME TRANSACTIONS ON MECHATRONICS》;20130523;全文 * |
磁悬浮分子泵的振动抑制;张剀等;《真空科学与技术学报》;20130615;全文 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111735571A (zh) | 2020-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111735571B (zh) | 一种分子泵动平衡调整装置及调整方法 | |
US20210278312A1 (en) | Dynamic Strain Field Measuring Method and System for Rotor Blade Based on Blade Tip Timing | |
CN103790647B (zh) | 基于电感传感的液压抓卡式航空发动机转子装配装置 | |
EP1568848A2 (en) | A method and machine for rotor imbalance determination | |
CN101178335A (zh) | 可同步双转子***内外转子不平衡量快速识别方法 | |
CN103806958B (zh) | 基于感应同步器的液压抓卡式航空发动机转子装配装置 | |
CN103791815B (zh) | 基于电感测量的航空发动机转子气浮装配方法与装置 | |
CN103868649A (zh) | 双转子轴流风机转子在线动平衡校正方法 | |
CN207365823U (zh) | 一种导弹自转状态下的自由模态试验*** | |
CN106323548A (zh) | 基于双振动传感器的转子不平衡振动响应识别方法 | |
CN108680322B (zh) | 一种离心叶轮振动阻尼测试***及方法 | |
CN104977126A (zh) | 一种主轴动不平衡检测计算方法及*** | |
CN112729682A (zh) | 一种获取转子等效不平衡量的方法和改善转子临界转速振动响应的方法 | |
CN101520963B (zh) | 单盘转子综合实验装置 | |
US6536279B1 (en) | Process for balancing a shaft with an oscillation damper | |
CN115688306A (zh) | 一种弹性环式支点振动抑制装置的减振性能评估方法 | |
CN216381720U (zh) | 变形评估设备和风力发电机组 | |
CN110646139A (zh) | 根据弯曲度确定轴弹性的转子的不平衡度的方法 | |
EP4239187A1 (en) | Method and device for identifying a dominant mode during operation of a wind turbine | |
CN104154024B (zh) | 实现离心风机激励特性物理分离的试验解耦装置 | |
CN207976250U (zh) | 一种卧式曲轴动平衡测试机构 | |
CN114720123A (zh) | 一种新型立式燃机主轴静力和疲劳试验装置 | |
CN109847952B (zh) | 一种基于驱动电流的双轴精密离心机回转台动平衡方法 | |
CN103790644B (zh) | 基于空间矢量投影的航空发动机转子装配方法与装置 | |
CN114136564A (zh) | 一种航空发动机转子轴承座的振动测试***及测试方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
CB02 | Change of applicant information |
Address after: 300457 Block D, No. 90, 12th Avenue, Binhai New Area Development Zone, Tianjin Applicant after: Tianjin Feixuan Technology Co.,Ltd. Address before: 300457 Block D, No. 90, 12th Avenue, Binhai New Area Development Zone, Tianjin Applicant before: TIANJIN EMAGING TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
CB02 | Change of applicant information | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |