DE3152349A1 - Back-flow prevention valve - Google Patents

Back-flow prevention valve

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DE3152349A1
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Description

Patentanwälte ÜiwiAtiG^ii. 1W1Eickmann, Dipl.-Phys. Dr. K. Fincke
Dipl.-Ing. F. A.Weickmann, Dipl.-Chem. B. Huber
Dr. Ing. H. Liska
——
8000 MÜNCHEN 86, DEN "f pRA POSTFACH 860 820
MÖHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 98 39 21/22
Sargent-Welch Scientific Company
7300 North Linder Avenue
Skokie, Illinois 60077
V.St.A.
Rückflußverhinderungsventil
Die Erfindung bezieht sich allgemein auf Rückflußverhinderungsventile, die einen Fluidenfluß lediglich in einer Richtung zulassen. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf verbesserte Rückflußverhinderungsventile, die zur Verwendung mit Vakuumpumpen geeignet sind, um hierbei den Rückfluß in ein evakuiertes System oder dergl. im Falle eines Pumpendefektes zu minimieren.
Vakuumpumpen werden in einer weiten Vielzahl industrieller Verfahren, Herstellungsverfahren und Laborverfahren und Anwendungsfälle eingesetzt. In vielendieser Anwendungsfälle ist die Beibehaltung eines Vakuums kritisch für die Vollendung des Verfahrens, des Experimentes oder dergl. So werden z.B. einige industrielle Plattierverfahren, Beschichtungsverfahren und Elektro-Galvanisierverfahren in einer evakuierten Kammer durchgeführt. In solchen Gegebenheiten kann ein Vakuumverlust in der Kammer zu wesentlichen Verlusten an Zeit und Material führen aufgrund von Kontamination durch eintretende ümgebungsluft. Daher werden oft Rückflußverhinderungsventile zwischen dem zu evakuierenden System und der Vakuumpumpe eingesetzt, so daß Schmutzstoffe nicht in das System im Falle eines Pumpendefektes zurückfließen können.
Ein derartiger Pumpendefekt kann aufgrund eines Stromausfalles oder eines gegenwärtigen mechanischen Fehlers auftreten, üblicherweise setzen diese Rückflußverhinderungsventile ein Ventilelement ein, welches beweglich ausgebildet ist zum Blockieren des Strömungsdurchganges vom evakuierten System, wodurch Luft oder andere Schmutzstoffe gehindert werden in das evakuierte System zurück einzusickern.
Einer der Nachteile bei einigen bekannten Rückflußverhinderungsventilen liegt darin, daß das Pumpenelement nicht schnell genug sich bewegt zum Blockieren des Flusses von Umgebungsluft oder Gas in das evakuierte System. Bei denjenigen industriellen und labormäßigen Anwendungsfällen, bei denen selbst ein geringer Schmutzpegel kritisch ist, läßt diese Zeitverzögerung möglicherweise einen zu großen Rückfluß in das System zu.
Ein weiterer Nachteil bei einigen Rückflußventilen tritt dann auf, wenn die Vakuumpumpe nach einer Unterbrechung wieder startet. In diesem Falle öffnet das Ventilelement manchmal ehe die Vakuumpumpe ein Vakuum gleich dem im System erzeugt, was ein geringes Einströmen von Umgebungsluft oder anderem Gas in das System erlaubt. Bei anderen Rückflußverhinderungsventilen dagegen muß im Falle einer Pumpenunterbrechung aufgrund eines mechanischen Fehlers in der Pumpe das System während der Reparatur oder des Austausches der Pumpe zur Umgebungsatmosphäre hin geöffnet werden. Natürlich führt dies bei dem oben beschriebenen Verfahren zum Verlust des bei dem jeweiligen Prozess oder Verfahren eingesetzten Materials; die entsprechende Arbeit ist umsonst aufgewandt worden.
Dementsprechend ist es generell die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Rückflußverhinderungsventil bereitzustellen, welches nicht die vorstehend beschriebenen Nachteile
aufweist.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung liegt darin, ein Rückflußverhinderungsventil zu schaffen, welches nach dem Wiederingangsetzen der Vakuumpumpe erst dann wieder öffnet, wenn von der Pumpe ein wesentliches Vakuum erzeugt worden ist.
Diese und weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der folgenden detailierten Beschreibung einer in den beigefügten Zeichnungen dargestellten bevorzugten Ausführungform der vorliegenden Erfindung. In dieser Zeichnung stellt dar:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Vakuumpumpe, bei der eine die vorliegende Erfindung verkörpernde Rückflußverhinderungsventilanordnung eingesetzt ist;
Fig. 2 eine Explosionsdarstellung der Rückflußverhinderungsventilanordnung gemäß Fig. 1, die die vorliegende Erfindung verkörpert;
Fig. 3 einen horizontalen Querschnitt entlang der Linie 3-3 der Fig. 2;
Fig. 4 einen vertikalen Querschnitt der erfindungsgemäßen Rückflußverhinderungsventilanordnung, wobei die Ventilanordnung in der Öffnungsstellung, in der ein Fluß von Gas oder anderem Fluid durch die Ventilanordnung hindurch möglich ist, 4ar<?estellt ist;
Fig. 5 einen vertikalen Querschnitt der erfindungsgemäßen Rückflußverhinderungsventilanordnung in der Schließstellung, in der ein Einströmen von Umgebungsluft oder Schmutzstoffen in das evakuierte System verhindert wird.
3=-
In den Zeichnungen, die die vorliegende Erfindung in einer bevorzugten Ausführungsform lediglich zum Zwecke der Darstellung und nicht einer Beschränkung zeigen, wird die Erfindung ganz allgemein von einer Rückflußverhinderungsventilanordnung 10 verkörpert mit einem festen Gehäuse 12, durch welches ein Strömungsdurchgang 14 führt, der dafür ausgelegt ist, eine Verbindung herzustellen zwischen einem stromaufwärts gelegenen System oder Fluidquelle wie z.B. einem nicht dargestellten zu evakuierenden System und einer Vakuumpumpe 16. Um einen Rückfluß zu verhindern, ist ein Ventilelement 18 im Gehäuse 12 zwischen einer Öffnungsstellung (Fig. 4) und einer Schließstellung (Fig. 5) bewegbar. In der Öffnungsstellung ist das Ventilelement 18 von der Eingangsöffnung 20 zum Fluidenfluß-Durchgang 14 hin beabstandet; in der Schließstellung blockiert das Ventilelement 18 den Fluidenfluß an der Eingangsöffnung.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird im Falle eines Pumpendefekts der Rückfluß dadurch minimiert, daß das Ventilelement 18 schnell in die Schließstellung gebracht wird. Dies wird durch Belüftung einer Kammer 24 hinter dem Ventilelement 18 durch einen Luftdurchgang 22 hindurch erreicht mit Umgebungsluft, die unter höherem Druck steht als die evakuierte Luft. Der höhere Luftdruck drückt einen Kolben oder Plunger 26, welcher in der Kammer gleitverschiebbar aufgenommen ist, nach oben, was dazu führt, daß das Dichtelement 28 des Ventilelements die öffnung 20 gegen einen Rückfluß in das gerade evakuierte System absperrt.
Die Strömung der Umgebungsluft in die Kammer 24 wird von einem Membranventil 30 gesteuert. Während des Laufes der Pumpe ist Hochdruck-Hydraulikfluid oder -Gas über einen Druckanschluß 32 angeschlossen, um die normalerweise offene Membran in einer Schließstellung zu halten, in der der Umgebungsluft-Durchgang 22 abgedichtet ist. Wenn die Pumpe,
\ aus welchen Gründen auch immer, zu arbeiten aufhört, öffnet die federbelastete Membran, woraufhin Luft in den Durchgang 22 eindringen kann, die das Ventilteil 18 in eine Schließstellung, wie vorstehend beschrieben,drückt. Falls die Pumpe aufgrund eines mechanischen Defektes oder dergl. ersetzt werden soll, kann die gesamte Ventilanordnung oder einfach die Gehäusedeckelplatte 34 mit dem aufgrund des Ansauge:ffektes an Ort und Stellung gehaltenen Ventilelements 18 von der Pumpe 16 entfernt werden, ohne daß das Vakuum zusammenbricht.
Entsprechend einem weiteren Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung bewegt sich das Ventilelement 18 nicht sofort in die Öffnungsstellung, wenn die Pumpe nach einer Unterbrechung wieder zu laufen beginnt. Die unter höherem Druck stehende, im Durchgang 22 und in der Kammer 24 verbleibende Umgebungsluft hält das Ventilelement in einer Schließstellung bis schließlich ausreichend viel Luft durch den Spielzwischenraum zwischen dem Kolben oder Plunger 26 und den Wänden der Kammer 24 hindurch ausströmt, so daß das Ventilelement in eine Öffnungsstellung fallen kann. Dies gibt der Vakuumpumpe ausreichend Zeit, um ein relativ hohes Vakuum aufzubauen, welches das momentane Einströmen von Schmutzstoffen in das System bei offenem Ventilelement 18 reduziert.
Im folgenden wird eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung, wie diese in den beigefügten Zeichnungen dargestellt ist, in näheren Einzelheiten beschrieben: 30
Fig. 1 zeigt die Ventilanordnung 10 gemäß vorliegender Erfindung montiert an der Oberseite einer Vakuumpumpe 16 der Bauart mit einem Elektromotor 36 in direkter Antriebsverbindung mit rotierenden (nicht dargestellten) Pumpenelementen, die in ein ölbad innerhalb des Gehäuses 38 eingetaucht sind. Die Anordnung 10 ist auf eine Pumpenträger-
platte 40 montiert derart, daß der Gasflußdurchgang 14 in der Ventilanordnung unmittelbar mit dem Einlaß zu den Pumpenkammern kommuniziert. Die Pumpe 16 selbst kann von beliebiger üblicher Bauart sein, beispielsweise Drehschieberpumpe; die Einzelheiten der Pumpenkonstruktion sind nicht dargestellt und auch nicht näher erläutert.
Das Ventilanordnungsgehäuse 12 ist im wesentlichen zweiteilig aufgebaut mit einem im wesentlichen hohlen Körperabschnitt 42, welcher den inneren Strömungsdurchgang 14 definiert und oben durch eine Deckplatte 34 verschlossen ist. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Unterseite des Ventilkörpers 42 unmittelbar oberhalb des Einlasses zur Vakuumpumpe 16 angebracht, um eine direkte Verbindung herzustellen. Gas aus dem System, welches gerade evakuiert wird, tritt in die Ventilanordnung 10 durch die Eingangsöffnung 20 in der Deckplatte 34 ein; die Deckplatte 34 nimmt, wie dargestellt, ein Anschlußteil 44 über einer Verschraubung auf. Das äußere Ende des Anschlußstücks 44 ist konisch verjüngt zur Einführung in einen Gummischlauch oder dergl. Zum schnellen Schließen der öffnung zur Verhinderung eines Rückflusses bei Pumpenausfall, geht ein innerer Querträgerarm 46 von einer Wand des Körperabschnitts 42 aus, der das Ventilelement 18 unmittelbar unterhalb der öffnung 20 haltert.
Das Ventilelement 18 besteht aus dem Dichtelement 28 und dem Kolben oder Plunger 26, der von der Kammer 24 im Ende des Trägerarms 46 gleitverschiebbar aufgenommen ist. Das
3Q Dichtelement 28 ist im wesentlichen scheibenförmig und umfaßt eine flache Stützplatte 48 aus Aluminium oder anderem steifen Material, welche von einer Schicht eines Elastomer-Werkstoffs oder gummiähnlichen Werkstoffs 50 wie z.B. Neopren, Polyurethan oder dergl. bedeckt ist, um für eine
leckfreie Dichtung an der Mündung 20 zu sorgen. Das Dichtelement 28 ist am Kolben oder Plunger 26 über ein Kugelge-
lenk befestigt. Hierbei ist das Kugel-Verbindungsteil am oberen Ende des Kolbens oder Plungers durch eine zentrale öffnung in der Stützplatte 48 in eine im Elastomer-Werkstoff 50 ausgeformte Kugelpfanne 54 eingeführt. Diese Anordnung sorgt für ein geringes Spiel oder Planschlag im Dichtelement 26, was für eine gute Abdichtung gegen die öffnung 20 selbst bei kleinen Herstellungs- oder Dimensionsschwankungen sorgt. Der Plunger oder Kolben 26 ist vorzugsweise zylindrisch und die Kammer 24 von entsprechender Form mit derartigen Abmessungen, daß der Plunger innerhalb der Kammer sich nach oben und nach unten gleitend bewegen kann.
Wie vorstehend kurz beschrieben, wird bei der vorliegenden Erfindung Luftdruck eingesetzt, um im Falle eines Pumpendefektes das schnelle Hochdrücken des Plungers 26 und des Dichtelements 28 zum Abdichten der Mündung 20 gegen Rückfluß zu unterstützen. Die Strömung der Umgebungsluft zwischen dem Luftdurchgang 22, der zur Kammer 24 führt,und dem Umgebungsluft-Belüftungsanschluß 60 im Basisabschnitt 42 wird vom Membranventil 30 gesteuert, welches in eine grosse Ausnehmung 58 im Körperabschnitt 4.2 des Gehäuses eingebaut ist. Wie am besten den Fig. 3, 4 und 5 zu entnehmen ist, erstreckt sich der Luftdurchgang 22 von der Kammer durch den Trägerarm 46 hindurch und durch den Mittelpunkt der Bodenfläche 56 der Ausnehmung 58. Der Belüftungsanschluß 60, kommuniziert ebenfalls durch die Bodenfläche 56 hindurch. Das Membranventil 30 ist in die Ausnehmung 58 eingebaut, wobei ihr Umfangsrand an einer Schulter 62 ruht, die rings um die innere Bodenkante in der Ausnehmung herum verläuft und die die Membran oberhalb der Bodenfläche 56 der Ausnehmung haltert. In dieser Stellung kann Umgebungsluft vom Belüftungsanschluß 60 durch den Raum zwischen der Membran und der Bodenfläche 56 der Ausnehmung 58 hindurch mit dem Luftdurchgang 22 kommunizieren.
-sr-
Der Umfangsrand der Membran 30 wird an Ort und Stelle gehalten und dabei gegen die Schulter 62 gedrückt mittels eines im wesentlichen zylindrischen Einsatzes 64, welcher innerhalb der Ausnehmung 58 angeordnet und an Ort und Stelle mit Hilfe eines Sprengringes 66 verriegelt ist. Der Einsatz 64 hat geringfügig kleineren Durchmesser als die Ausnehmung. Der Einsatz 64 ist gegenüber der Innenfläche der Ausnehmung durch zwei voneinander beabstandete O-Ringe 68 abgedichtet, die auch für die Ausbildung eines Ringkanals 70 zwi- sehen dem Einsatz und der Innenoberfläche der Ausnehmung sorgen. Ein innerer T-förmiger Durchgang 72 (in den Fig. 4 und 5 mit unterbrochenen Linien dargestellt) innerhalb des Einsatzes 64 erstreckt sich von der Seitenfläche des Einsatzes, wo er mit dem Ringkanal 70 in Verbindung steht, bis zur Endfläche des Einsatzes, wo er unmittelbar hinter der Membran 30 ausmündet.
Die Membran 30 wird normalerweise aufgrund der Krafteinwirkung einer zusammengepreßten, innerhalb des ümgebungsluftdurchgangs 22 angeordneten Spiralfeder 76 in einer Stellung mit Abstand von der Bodenfläche 56 der Ausnehmung 58 gehalten. Um das Membranventil zu schließen, wird unter Druck stehendes Fluid angelegt und zwar durch den Hochdruckanschluß 32 im Körperabschnitt 42 hindurch, welcher mit dem Ringkanal 70 und um den Einsatz 64 in unmittelbarer Verbindung steht. Das Fluid fließt vom Kanal 70 durch den T-förmigen Einsatzdurchgang 72 hindurch und drückt die Membran 30 gegen das abgeschrägte Ende des Durchgangs 22, wodurch dieser gegen den Eintritt von Umgebungsluft abgedichtet ist. Vorzugsweise wird dieses unter Druck stehende Fluid von einem hochdruckseitigen Auslaß der Vakuumpumpe bereitgestellt; es hat sich herausgestellt, daß ein überdruck von 18 psig ausreichend ist, um die Membran geschlossen zu halten. Sobald dieser Druck abfällt im Falle eines Pumpendefekts, bringt die Feder 76 die Membran wieder in die normale Öffnungsstellung zurück, woraufhin die Kammer
Ι 24 durch den Durchgang 22 hindurch mit Umgebungsluft belüftet werden kann. Die Membran ist vorzugsweise aus elastischem Gummi oder Elastomer-Werkstoff, der wiederholtem Abbiegen standhält.
Während des Betriebes ist das zu evakuierende System im Normalfall mit der Vakuumpumpe 16 über ein flexibles Rohr verbunden, welches über das verjüngte Ende des Anschlußstückes 44 geschoben und dort festgeklemmt ist. Die Pumpe wird daraufhin in Gang gesetzt; Gas fließt vom System oder der Quelle durch das Anschlußstück 44, die Öffnung 20 und den Durchgang 14 im Ventilgehäuse 12 hindurch und in die Pumpe. In dieser Betriebsart befindet sich das Ventilelement 16 in der in Fig. 4 dargestellten Stellung, wobei das Dichtelement 28 von der öffnung 20 beabstandet ist, so daß Luft aus dem System, welches gerade evakuiert wird, entfernt werden kann. Ein Ausgangsanschluß der Pumpe ist über den Hochdruckanschluß 32 angeschlossen und setzt die Membran an dessen der Feder 76 entgegengesetzten Seite unter Druck und preßt infolgedessen die Membran gegen das Ende des Durchgangs 22, was den Eintritt von Umgebungsluft vom Lüftungsanschluß 60 her ausschließt.
Falls die Pumpe ihren Lauf unterbricht, aus welchem Grund auch immer, steht nicht länger mehr Hochdruckfluid zur Verfügung, um die Membran 30 in Schließstellung zu halten. Die Feder 76 drückt die Membran in eine Öffnungsstellung, woraufhin Umgebungsluft vom Lüftungsanschluß 60 her den Durchgang 22 und die Kammer 24 belüftet. Die Luft fließt durch eine Seitennut 78 in der Kammeroberfläche bis zu einem Orte unterhalb des Plungers 26 und drückt den Plunger und das Dichtelement 28 nach oben zum Abschließen der öffnung 20. Hierdurch wird ein Rückfluß in das evakuierte System verhindert. In der dargestellten Ausführungsform dichtet
das Dichtelement 28 tatsächlich gegen den Bodenrand des Einsatzteiles 44 ab, welches in die öffnung 20 eingeschraubt
ist und sich geringfügig bis unterhalb der inneren Oberfläche der Deckplatte 34 erstreckt. Dies dient jedoch nur zu Darstellungszwecken; das Dichtelement 28 würde die öffnung 20 auch dann abdichten, wenn das Einsatzteil nicht vorhanden wäre.
Falls die Unterbrechung des Pumpvorgangs auf einen mechanischen Fehler zurückzuführen ist, der eine Reparatur oder einen Austausch der Pumpe 16 erforderlich macht, kann die gesamte Ventilanordnung 10 oder lediglich die Deckplatte einfach dadurch entfernt werden, daß Bolzen 80 gelöst werden, welche die Anordnung zusammenhalten und an der Pumpe befestigen. Das Dichtelement 28 bleibt in abgedichtetem Kontakt mit der öffnung 20 aufgrund des Vakuums im evakuierten System. Nachdem die Pumpe repariert oder eine neue Pumpe bereitgestellt worden ist, kann die gesamte Ventilanordnung 10 an die neue Pumpe festgeschraubt werden; oder es kann die Deckplatte 34 und das Ventilelement 18 mit einem neuen, an der neuen Pumpe vorgesehenen Körperabschnitt 42 wieder verbunden werden. Auf jeden Fall kann die Pumpe relativ leicht ausgetauscht oder repariert werden, ohne daß das evakuierte System zur Umgebungsatmosphäre hin geöffnet werden muß.
Nach dem Wiederingangsetzen der Vakuumpumpe nach der Unterbrechung bewegt sich das Ventilelement 18 nicht automatisch in die Öffnungsstellung. Ehe das Ventilelement 18 in die Öffnungsstellung sich bewegen kann, muß die im Luftdurchgang 22 und in der Kammer 24 eingeschlossene Umgebungsluft
"0 entfernt werden. Vorzugsweise ist der Spielraum zwischen den Oberflächen des Kolben-Plungers 26 und der Kammer 24 ausreichend klein, kleiner oder gleich etwa 0,002 inch, um das Entweichen der eingeschlossenen Umgebungsluft zwischen den Flächen hindurch einzuschränken. Dies hat eine Verzöge-
rung in der Freigabe des Ventilelements 18 zur Folge, die es der Vakuumpumpe 16 erlaubt, ein wesentliches Vakuum auf-
zubauen, ehe das Ventil Öffnet. Hierdurch wird das kurzzeitige Einströmen von Luft oder anderen Schmutzstoffen in das evakuierte System beim öffnen des Ventils reduziert, wodurch der insgesamte Rückfluß minimiert wird, der im Falle einer Betriebsunterbrechung der Vakuumpumpe auftreten kann.
Obschon die vorliegende Erfindung anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels beschrieben worden ist, ist beabsichtigt, daß der Umfang dieser Anmeldung entsprechend den beigefügten Ansprüchen auch diejenigen äquivalenten Bauformen umfaßt, von denen einige beim Lesen dieser Beschreibung unmittelbar offensichtlich sind und von denen andere erst nach einigem Studium ersichtlich sind.

Claims (23)

  1. Patentansprüche
    1J Rückflußverhinderungsventilanordnung zur Verwendung mit einer Pumpe zur Steuerung der Strömungsrichtung des zu pumpenden Fluids umfassend:
    ein Gehäuse, welches einen Fluidenströmungsdurchgang durch das Gehäuse hindurch festlegt;
    eine vom Gehäuse getragene Ventileinrichtung, die zwischen einer Öffnungsstellung, in der sie den Fluidenfluß durch den Strömungsdurchgang zuläßt und einer Schließstellung, in der sie den Strömungsdurchgang blockiert, bewegbar ist, wobei das Gehäuse eine Kammer festlegt, und wobei die Ventileinrichtung einen Plunger-Abschnitt umfaßt, welcher von der Kammer gleitverschiebbar aufgenommen ist und einen vorgewählten Abstand von der Wand dieser Kammer aufweist;
    einen Betätigungsfluid-Durchgang in dem Gehäuse, welcher an seinem einen Ende zur Kommunikation mit einer Fluidenquelle mit höherem Druck als das zu pumpende Fluid und an seinem anderen Ende zur Kommunikation mit der Kammer ausgebildet ist, um Druck an den Plunger-Abschnitt anzulegen zur Unterstützung der Bewegung der Ventileinrichtung in die Schließstellung; und
    ein vom Gehäuse getragenes Betätigungsfluid-Steuerventil mit einem Fluiddruckzugangsanschluß zur Kommuni-QU kation mit Hochdruckfluid von der Pumpe, wobei das Ventil unter der Einwirkung des Fluiddrucks von der Pumpe bewegbar ist zum Abschließen des Betätigungsfluid-Durchgangs und bei einem Abfall des Fluiddrucks im Falle eines Pumpendefekts bewegbar ist, um Betätigungsfluid
    in die Kammer fließen zu lassen, zum schnellen Verschieben der Ventileinrichtung in die Schließstellung,
    3»·
    und wobei ferner der vorgewählte Abstand zwischen dem Plunger
    und dem Zylinder ausreichend klein ist, um den Durchtritt des Betätigungsfluids derart einzuschränken, daß die Bewegung des Plunger-Abschnitts und der Ventileinrichtung in die Öffnungsstellung nach Wiederingangsetzen der Pumpe verzögert ist.
  2. 2. Ventilanordnung nach Anspruch 1, wobei das Betätigungsfluidsteuerventil eine längs ihres Umfangs abgedichtete Membran umfaßt, deren eine Seite dem Betätigungsfluid-Durchgang benachbart ist und deren andere Seite mit dem Fluiddruckzugangsanschluß kommuniziert.
  3. 3. Ventilanordnung nach Anspruch 2, wobei die Membran in eine normalerweise eingenommene Öffnungsstellung federvorgespannt ist.
  4. 4. Ventilanordnung nach Anspruch 1, wobei die Kammer im wesentlichen zylindrisch ausgebildet ist und der Plunger-Abschnitt der Ventileinrichtung ein von der Kammer aufgenommenes kolbenähnliches Element umfaßt.
  5. 5. Ventilanordnung nach Anspruch 4, wobei der Fluidenfluß-Durchgang eine Einlaßöffnungsmündung in dem Gehäuse umfaßt und die Ventileinrichtung ein Dichtelement umfaßt, welches dazu geeignet ist, die Mündung abzusperren, wenn sich die Ventileinrichtung in der Schließstellung befindet.
  6. 6. Ventilanordnung gemäß Anspruch 1, wobei der Gehäuseabschnitt, der den Fluid-Durchgang stromaufwärts der Ventileinrichtung definiert, vom Rest des Gehäuses entfernbar ist und wobei die Ventileinrichtung von diesem Rest des Gehäuses entfernbar ist, so daß die Ventileinrichtung in der Schließ-
    Stellung verbleiben kann zur Verhinderung eines Rückflusses.
  7. 7. Ventilanordnung nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse
    einen Gehäuseabschnitt umfaßt, der an einer Seite zur Verbindung mit einer Pumpe und an seiner anderen Seite durch einen Deckel geschlossen ist und carch den sich der Fluid-Durchgang erstreckt, wobei eine Eingangsöffnung im Deckel zum Kommunizieren mit einer Fluidquelle vorgesehen ist und wobei die Ventileinrichtung ein scheibenförmiges Ventilelement umfaßt, welches innerhalb des hohlen Körperabschnitts, der Eingangsöffnung gegenüberliegend, gehaltert ist, wobei der Plunger-Abschnitt vom scheibenförmigen Ventilelement ausgeht.
  8. 8. Ventilanordnung nach Anspruch 1, wobei der Betätigungs-
    fluid-Durchgang mit der Umgebungsatmosphäre kommuniziert.
  9. 9. Ventilanordnung nach Anspruch 1, wobei der vorbestimmte lichte Abstand vorzugsweise kleiner oder gleich etwa 0,002 inch ist.
  10. 10. Ventilanordnung nach Anspruch 5, wobei das Dichtelement und der Plunger-Abschnitt über ein Kugelgelenk aneinander angebracht sind.
  11. 11. Rückflußverhinderungsventilanordnung zum Einsatz in Verbindung mit einer Vakuumpumpe zur V erhinderung eines
    stromaufwärts gerichteten Rückflusses im Falles eines 30
    Pumpendefekts, umfassend:
    ein Gehäuse, welches einen Fluidenströmungs-Durchgang durch das Gehäuse hindurch definiert;
    eine am Gehäuse gehalterte Ventileinrichtung, die zwischen einer Öffnungsstellung, in der sie den Fluidenfluß durch den Strömungsdurchgang zuläßt und einer
    Schließstellung, in der sie den Strömungsdurchgang absperrt, bewegbar ist, wobei die Ventileinrichtung ein Abdichtelement zum Abdichten des Fluidenströmungs-Durchgangs und einen am Dichtelement angebrachten Plunger umfaßt, und wobei das Gehäuse eine Kammer festlegt, die den Plunger gleitverschiebbar aufnimmt;
    einen Umgebungsluft-Durchgang in dem Gehäuse der an seinem einen Ende zur Kommunikation mit der Umgebungsatmosphäre und am anderen Ende zur Kommunikation mit der Kammer ausgebildet ist zum Anlegen von Druck an den Plunger-Abschnitt zur Unterstützung der Bewegung der Ventileinrichtung in die Schließstellung; und
    ein am Gehäuse gehaltertes Umgebungsluft-Steuerventil mit einem Fluiddruckzugangsanschluß zur Kommunikation mit Hochdruckfluid von der Pumpe, wobei dieses Ventil vom Fluiddruck der Pumpe bewegbar ist zum Schließen des Umgebungsluft-Durchgangs und ferner bei Nachlassen des Fluiddrucks im Falles eines Pumpendefektes bewegbar ist, um Umgebungsluft in die Kammer eindringen zu lassen, um die Ventileinrichtung schnell in die Schließstellung zu drücken und wobei ferner der Plunger und das Dichtelement über ein Kugelgelenk aneinander angebracht sind, um für einen zuverlässigeren Dichtkontakt zwischen dem Dichtelement und dem Durchgang zu sorgen, und wobei Mittel vorgesehen sind zur Verlangsamung des Entweichens der Umgebungsluft aus der Kammer nach einem Wiederingangsetzen der Pumpe um hierdurch das öff-
    nen der Ventileinrichtung zu verzögern.
  12. 12. Ventilanordnung nach Anspruch 11, wobei das Umgebungsluft-Steuerventil eine längs ihres Umfangs abgedichtete Membran umfaßt, deren eine Seite dem Umgebungsluft-Durchgang benachbart ist und deren andere Seite mit dem
    -JeT-Fluiddruckzugangsanschluß kommuniziert.
  13. 13. Ventilanordnung nach Anspruch 12, wobei die Membran in eine normalerweise eingenommene Öffnungsstellung federvorgespannt ist.
  14. 14. Ventilanordnung nach Anspruch 12, wobei die Kammer im wesentlichen zylindrisch ausgebildet ist und der Plunger-Abschnitt der Ventileinrichtung ein kolbenähnliches Element umfaßt, welches von der Kammer aufgenommen ist.
  15. 15. Ventilanordnung nach Anspruch 14, wobei der Fluidenströmungsdurchgang eine Eingangsöffnungsmündung in dem Gehäuse umfaßt, und wobei die Vent'ileinrichtung ein Dichtelement umfaßt, welches zum Absperren der öffnung ausgebildet ist, wenn sich die Ventileinrichtung in der Schließstellung befindet.
  16. 16. Ventilanordnung nach Anspruch 11, wobei der Gehäuseabschnitt, der den Fluiden-Durchgang stromaufwärts der Ventileinrichtung definiert, vom Rest des Gehäuses entfernbar ist und wobei die Ventileinrichtung von diesem Rest des Gehäuses entfernbar ist, so daß die Ventileinrichtung in der Schließstellung verbleiben kann zur Verhinderung eines Rückflusses.
  17. 17. Ventilanordnung nach Anspruch 11, wobei das Gehäuse einen Körperabschnitt umfaßt, durch den sich der Fluid-Durchgang hindurch erstreckt und der an einer Seite zur Verbindung mit einer Pumpe ausgebildet ist und an der anderen Seite von einem Deckel geschlossen ist, wobei eine Eingangsöffnung im Deckel zum Kommunizieren mit einer Fluidquelle ausgebildet ist und wobei die Ventileinrichtung ein scheibenförmiges Ventilelement umfaßt, welches innerhalb des hohlen Körperabschnitts der Eingangsöffnung gegenüberliegend gehaltert ist, wo-
    -A
    bei der Plunger-Abschnitt vom scheibenförmigen Ventilelement ausgeht.
  18. 18. Ventilanordnung gemäß Anspruch 11, wobei der Plunger von den Wänden der Kammer eine ausreichend kleine
    Strecke beabstandet ist, um den Durchtritt von Umgebungsluft aus der Kammer einzuschränken, um das öffnen der Ventileinrichtung nach einem Wiederingangsetzen der Pumpe nach einer Unterbrechung zu verzögern. 10
  19. 19. Ventilanordnung nach Anspruch 18, wobei die kleine Strecke vorzugsweise kleiner oder gleich etwa 0,002 inch ist.
  20. 20. Rückflußverhinderungsventilanordnung zur Verwendung mit einer Vakuumpumpe zur Verhinderung des Rückflusses stromaufwärts der Pumpe im Falle eines Pumpendefekts umfassend:
    ein Gehäuse, welches einen Fluidenströmungs-Durchgang durch das Gehäuse hindurch einschließlich einer Eingangsöffnung definiert;
    eine vom Gehäuse gehalterte Ventileinrichtung, die ein Dichtelement und ein Treibelement umfaßt, die aneinander über ein Kugelgelenk angebracht sind, wobei das Dichtelement bewegbar ist zwischen Stellungen, in denen es denFluidströmungs-Durchgang öffnet und schließt und wobei das Gehäuse eine Kammer definiert, die das Treibelement
    gleitverschiebbar aufnimmt;
    30
    einen Umgebungsluft-Durchgang in dem Gehäuse, welcher an einem seiner Enden zu Kommunikation mit der Umgebungsatmosphäre und an dem anderen Ende zur Kommunikation mit der Kammer ausgebildet ist zum Anlegen von Druck an das Treibelement zur Bewegung des Dichtelements in eine Schließstellung; und
    31523A9
    ι ein vom Gehäuse gehaltertes/ normalerweise offenes Membran-Steuerventil mit einem Fluiddruckzugangsanschluß zur Kommunikation mit Hochdruckfluid von der Pumpe, wobei das Membranventil unter Einwirkung des Fluidendrucks von der Pumpe bewegbar ist zum Schließen des Umgebungsluft-Durchgangs und wobei das Membranventil auf ein Nachlassen des Fluiddrucks hin in eine normalerweise eingenommene Öffnungsstellung bewegbar ist, um ein Eindringen der Umgebungsluft in die Kammer zuzulassen, um das Dichtelement schnell in die Schließstellung zu drücken und
    wobei ferner der Plunger-Abschnitt einen vorgewählten lichten Abstand von den Wänden der Kammer einnimmt, welcher ausreichend klein ist zur Einschränkung des Hindurchtretens von Umgebungsluft, um hierdurch die Bewegung des Dichtelements in die Öffnungsstellung nach einem Wiederingangsetzen der Vakuumpumpe nach einer Unterbrechung zu verzögern.
  21. 21. Ventilanordnung nach Anspruch 20, wobei der vorbestimmte Abstand kleiner oder gleich etwa 0,002 inch ist.
  22. 22. Ventilanordnung nach Anspruch 20, wobei das Membranventil in einer im wesentlichen zylindrischen Ausnehmung in dem Gehäuse gehaltert ist und von der Bodenfläche der Ausnehmung beabstandet ist, wobei der Umgebungsluft-Durchgang durch die Bodenfläche der Ausnehmung hindurch kommuniziert und das Membranventil zum Schliessen des Umgebungsluft-Durchgangs in der Bodenwand bewegbar ausgebildet ist.
  23. 23. Ventilanordnung nach Anspruch 22, wobei das Membranventil von einem von der Ausnehmung aufgenommenen Ein-
    satzelement in der Ausnehmung zusammengedrückt gehalten
    It W * W
    ist, wobei ein ringförmiger Strömungsdurchgang zwischen der Seitenwand der Ausnehmung und dem Einsatzelement definiert ist, mit dem der Hochdruckzugangsanschluß kommuniziert und wobei ferner der Einsatz einen inneren Durchgang aufweist, der an seinem einen Ende mit dem ringförmigen Durchgang und an seinem anderen Ende mit dem Membranventil kommuniziert.
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