DE3150033A1

DE3150033A1 - Vakuumpumpe mit einem saugstutzen-ventil und betriebsverfahren dafuer

Info

Publication number: DE3150033A1
Application number: DE19813150033
Authority: DE
Inventors: Hanns-Peter Dr. Berges; Peter Dipl.-Ing. Frieden; Hans-Peter Dr. 5000 Köln Kabelitz
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1981-12-17
Filing date: 1981-12-17
Publication date: 1983-07-14
Also published as: EP0084085A1; DE3265261D1; US4483667A; JPS58107894A; JPH0324594B2; EP0084085B1

Description

LEYBOLD-HERAEUS GMBH 5

KoIn-Bayental

Vakuumpumpe mit einem Saugstutzen-Ventil und Betriebsverfahren dafür

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpe mit einem Saugstutzenventil, das ein mit dem Kolben einer Zylinder-Kolben-Einrichtung verbundenes Verschlußelement aufweist, i wobei in den Zylinder das eine Ende einer Druckmittel- | leitung mündet, deren anderes Ende mit einer in Abhängigkeit) vom Betriebszustand der Pumpe offenen oder geschlossenen Eintrittsöffnung versehen ist.Außerdem bezieht sich die Erfindung'auf ein zweckmäßiges Betriebsverfahren für eine Vakuumpumpe mit einem in Abhängigkeit vom Betriebszustand der Pumpe arbeitenden Saugstutzenventil.

'

Rotierende Vakuumpumpen werden mit Dichtungsflüssigkeiten, vorzugsweise Öl, betrieben, um hohe Endvakuumwerte zu erreichen. Gleichzeitig dient das Öl der Schmierung von Lagerungen und der Kühlung der. Pumpe. Nach dem,Anhalten

„_ς derartiger Pumpen - sei es durch .normales Abschalten, Stromausfall oder eine andere Betriebsstörung - besteht die Gefahr, daß Öl in den Rezipienteri hochsteigt, insbesondere wenn dieser unter Vakuum steht, und dort unerwünschte Verunreinigungen"verursacht. Zur Vermeidung dieser Nachteile sind eine Reihe von Lösungen bekannt, die in dem Aufsatz ' ■ "Saugstutzensperre verhindert Ölrücksteigen in rotierenden Vakuumpumpen", Maschinenmarkt, Würzburg, 79(1973), 54, Seiten 1191 bis 1193, beschrieben sind. Unter anderem ist es daraus vorbekannt, eine Vakuumpumpe mit einem Saugstutzenventil der eingangs erwähnten Art auszurüsten (Bild 4 dieses Aufsatzes) . Als Druckmittel dient 'Luft. Die Eintrittsöffnung der Druckmittelleitung ist je nach Betriebszustand der Pumpe geschlossen oder offen. Hierzu ist ein auf der Pumpenwelle angeordneter Fliehkraftschalter vorgesehen,

mit dessen Hilfe die Eintrittsöffnung der Druckmittelleitung ' während des Anlaufens der Pumpe verschlossen wird. Dadurch wird die Öffnungsbewegung des Verschlußelementes des Saugstutzenventils bewirkt. Kommt die Vakuumpumpe, aus welchem Grund auch immer,, zum STillstand, dann bewirkt der Fliehkraftschalter ein Freigeben der Eintrittsöffnung,, so daß ,Q Luft unter Atmosphärendruck in den Zylinder mit dem Kolben des Saugstutzenventils eindringt und dadurch die Schließbewegung des Saugstutzenventils bewirkt» Zusätzlich ist eine Düse vorgesehen, über die nach der Einleitung der Schließbewegung des Saugstutzenventils eine Belüftung des Pumpenraumes erfolgt.

Nachteilig an der vorbekannten Lösung ist, daß der unerwünschte Luftschluck, der ein Ansteigen des'Druckes im am Saugstutzen angeschlossenen Rezipienten bewirkt, immer noch

vorhanden ist, da nicht völlig vermieden werden kann, daß 20

ein Teil der die Bewegung des Kolbens des Saugstutzenventils

verursachenden Luft zwischen Kolben und Zylinder bereits zu einem Zeitpunkt in den Saugraum dringt, in dem das Saugstutzenventil noch nicht seine Schließstellung eingenommen hat. Zusätzlich dringt Luft durch die der Belüftung 25

des Pumpenraumes dienende Düse in den Saugraum und vergrößert dadurch den Luftschluck. Der Luftschluck könnte bei der vorbekannten Lösung nur durch ein sehr enges Spiel zwischen Kolben und Zylinder und durch Verzicht auf eine der

späteren Belüftung der Pumpe dienende Düse erreicht werden» SO

Eine solche Lösung hätte nicht nur den Nachteil, daß eine

selbsttätige Belüftung des Pumpenraumes nach einem Stillstand nicht mehr eintritt, sondern auch den Mangel, daß eine mit äußerst engen Toleranzen hergestellte Zylinder-Kolben-Einrichtung empfindlich gegen Verschmutzungen ist. 3p

Tritt z. B. eine Ölverschmutzung auf, die bei ölgedichteten Drehschieberpumpen häufiger vorkommt, dann arbeitet ein derartiges Saugstutzen-Ventil nicht mehr zuverlässig. Die Öffnungszeit wird erheblich verlängert, beziehungsweise

bei kleinen Druckdifferenzen öffnet das Ventil überhaupt nicht mehr. Ein weiterer Nachteil der Spieleinengung besteht in dem erheblichen Anstieg der Herstellkosteii.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vakuumpumpe mit einem Saugstutzenventil der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der trotz des Vorhandenseins einer relativ großen Toleranz in der Zylinder-Kolben-Einrichtung für das Saugstutzenventil der unerwünschte Luftschluck praktisch nicht mehr auftritt.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Eintrittsöffnung der Druckmittelleitung ölüberlagert ist. Wird eine in dieser Weise ausgebildete Pumpe stillgesetzt, dann gelangt - zumindest zunächst - nicht Luft, sondern öl unter den der Betätigung des Saugstutzenventils dienenden Kolben, so daß ein Luftschluck nicht mehr auftreten kann. . -

Besonders vorteilhaft ist im Rahmen der Erfindung, daß die die Eintrittsöffnung der Druckmittelleitung überlagernde Ölmenge so gering ist, daß sie lediglich der Abdichtung des Kolbens gegenüber der Zylinderwand und einer evtl. vorhandenen Düse zur späteren Belüftung des Pumpenraumes dient. Bei dieser Lösung gelangt anschließend, nachdem das Öl seine Abdichtungsfunktion erfüllt hat, Luft unter den Kolben Eine derartige hydro-pneumatische Betätigung des Saugstutzenventils hat im Vergleich zu einer vollständig hydraulischen Betätigung den Vorteil wesentlich kürzerer Schließzeiten.

Weiterhin ist zweckmäßig, das zwischen dem Kolben und dem Zylinder bestehende Spiel so groß zu wählen, daß nach dem Verschließen des Saugstutzenventils über den vorhandenen Spalt die Belüftung der Pumpe erfolgt. Eine gesonderte Düse zur Belüftung des Pumpenraumes ist dann nicht mehr erforderlich. Außerdem ist die Herstellung von Zylinder-Kolben-Einrichtungen mit relativ großem Spiel nicht mit hohen Kosten verbunden. /7

Ein weiterer Vorteil im Rahmen der Erfindung besteht darin, daß die Steuerung des Saugstutzenventils derart betrieben werden kann, daß sie in Abhängigkeit vom Öldruck in einem u. a. der Versorgung der Lagerungen aex Vakuumpumpe dienenden ölkreislauf erfolgt» Damit kann in besonders einfacher und sicherer Weise eine hydro-pneumatische Betätigung des Saugstutzenventils realisiert werden.

Weitere Vorteilte und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 bis 4 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigens

Fig. 1 ein Schema eines Ölkreislaufs in einer Vakuumpumpe nach der ERfindung mit hydro-pneumatisch gesteuertem Saugstutzenventil,

Fig„ 2 ein Ausführungsbeispiel für eine Vakuumpumpe nach

der Erfindung, teilweise im Schnitt, teilweise in Ansicht der vorderen Stirnwand des Pumpenkörpers,

Fig_o 3 einen Schnitt durch die Stirnwand des Pumpenkörpers nach der Linie III-III in Fig. 2 und

Fig. 4 einen Schnitt durch die Stirnwand des Pumpenkörpers nach der Linie IV-IV in Fig. 2.

Beim Schema nach Fig. 1 sind im wesentlichen nur diejenigen Teile der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe dargestellt, die im Rahmen der Erfindung eine besondere Rolle spielen. Mit 1 ist der Ölkasten oder das äußere Pumpengehäuse bezeichnet, das teilweise mit Öl 2 gefüllt ist. Im Schnitt dargestellt ist weiterhin der Saugstutzen 3 mit dem Saugstutzenventil 4, das von dem plattenförmigen Ventilsitz 5 mit der Öffnung 6 und dem Ventilteller 7 gebildet wird. Der Ventilteller 7 steht mit einem Kolben 8 in Verbindung, der im Zylinder 9 verschiebbar angeordnet ist.

Der Ölkreislauf der Pumpe wird gebildet von der Ansaugleitung 1 1 , über die mittels der Ölpumpe 12 öl aus dem Ölvorrat 2 in die Öldruckleitung 13 gefördert wird. Im Bereich

der Austrittsöffnung 14 der Öldruckleitung 13 ist eine Drossel 15 angeordnet/ welche für die Aufrechterhaltüng des gewünschten Öldruckes (zwischen 1,5 und 2 bar, vorzugsweise 1,7 bar) sorgt und über die der Abbau des Druckes auf den Druck im Ölkasten 1 erfolgt. Über Abzweigungen 16, 17, 18 erfolgt die Versorgung der in der Pumpe vorhandenen Lagerungen mit Drucköl. Drei Ölversorgungsleitungen (16, 17, 18) sind im Falle einer zweistufigen Pumpe erforderlich, bei der zwei Endlager und ein Zwischenlager der beiden Rotoren mit Öl versorgt werden müssen. Im Falle einer einstufigen Pumpe reichen zwei der drei Abzweigleitungen aus. Nach dem Druchströmai der Lagerungen gelangt das in die Abzweigleitungen 16, 17, 18 eingetretene Öl wieder in den Ölvorrat 2.

In die Druckölleitung 13 ist unmittelbar hinter der Öl- . pumpe 12 ein Ölfilter 19 eingeschaltet, so daß sichergestellt ist, daß ausschließlich gereinigtes Öl durch die Leitung 13 und durch die daran angeschlossenen Abzweigleitungen strömt.

Eine weitere Abzweigleitung 21 mündet in den Steuer-

zylinder 22, in dem sich der Steuerkolben 23 befindet/ Auf der der Einmündung der Leitung 21 gegenüberliegenden Seite des Kolbens 23 mündet die Druckmittelleitung 24 in den Zylinder 22, deren anderes Ende mit dem Zylinder 9 auf der dem Ventilteller 7 abgewandten Seite des Kolbens 8

verbunden ist. Die Eintrittsöffnung 25 der Druckmittelleitung 24 in den Zylinder 22 ist als Ventilsitz ausgebildet. Dazu ist in die Eintrittsöffnung 25 ein Stöpsel 26 mit einem Dichtwulst 27 eingesteckt. Als Verschlußglied

dient die Stirnseite 28 eines zylindrischen Ansatzes 29 am 35

Steuerkolben 23 mit gegenüber dem Steuerkolben verringertem Durchmesser. Der Steuerkolben 23 steht unter der Wirkung einer Feder 31, die zwischen dem Steuerkolben 23 und der Stirnwand 32 mit der Eintrittsöffnung 25 der Druckmittelleitung 24 angeordnet und als Druckfeder ausgebildet ist.

Der zylindrische Ansatz 29 ist mittels des Gewindes 33 in den Steuerkolben 23 einschraubbar, so daß auf die im Schließzustand des Steuerventils 27, 28 wirkende Kraft der Feder 31 Einfluß genommen werden kann»

In den Zylinder 22 mündet eine weitere Leitung 34, die mit einem oben offenen ölvorratsgefäß 35 geringen Volumens verbunden ist. Die Einmündung der Leitung 34 in den Zylinder 22 liegt auf der der Einmündung der Leitung 21 entgegengesetzten Seite des Steuerkolbens 23.

Während des Betriebs einer nach diesem Schema aufgebauten Pumpe fördert die ölpumpe 12 öl aus dem ölvorrat 2 in die Öldruckleitung 13. Die ölpumpe 12 kann als Drehschieberpumpe oder Zahnradpumpe ausgebildet sein und ist in bekannter Weise mit der Pumpenwelle als Antrieb gekoppelt (vgl. GB-PS 875 444). Die Fördereigenschaften der Pumpe 12

und die Große der Drossel 15 sind so bemessen, daß sich nach dem Anlaufen der Vakuumpumpe der gewünschte Öldruck in der Leitung 13 aufbaut und gehalten wird. Dieser Druck wirkt auf den Kolben 23 und überwindet die Kraft der Feder 31, so daß die Eintrittsöffnung 25 der Druckmittel-

leitung 24 verschlossen ist.Das Saugstutzenventil 4 befindet sich in seiner Offenstellung, so daß der an den Saugstutzen 3 angeschlossene Rezipient evakuiert wird.

Während dieses Betriebszustandes strömen durch die öldruckleitung 13 bestimmte Ölmengen, die mit Q.,, Q₂ und Q₃ bezeichnet sind. Der Kolben 23 bildet mit der Wand des Zylinders 22 einen relativ großen Spalt 36, so daß sich der Zylinderraum 22 unterhalb des Kolbens 23 und der Ölvorratsraum 35 mit Öl füllen. Wegen des Spaltes 36 wird ein ständiger Ölstrom mit der Menge Q. aufrechterhalten. Überschüssiges Öl gelangt vom Ölvorrat 35 wieder in den Ölvorrat 2. Die Ölpumpe 12 ist so dimensioniert, daß der gesamte Ölkreislauf mit überschußöl gefahren wird, d. h., zu jeder Zeit strömt mehr Öl durch den Ölkreislauf,

als von der Pumpe benötigt wird.

Wird die Pumpe abgestellt, nimmt gleichzeitig die von der ölpumpe 12 geförderte Ölmenge ab, so daß der Öldruck in der Leitung 13 nachläßt. Bei Unterschreiten eines bestimmten Druckes wird die Eintrittsöffnung 25 freigegeben, so daß infolge des auf der Oberfläche des Öls in dem Ölvorrat 35 herrschenden Atmosphärendruckes Öl in die Druckmittelleitung 24 gedrückt wird und unter den Kolben in Zylinder 9 gelangt. Die unterhalb des Kolbens 23 und im Ölvorrat 35 befindliche Ölmenge ist so gering, daß das in den Zylinder 9 gelangende Öl im wesentlichen nur der Abdichtung des Kolbens 8 gegenüber seiner Zylinderwand dient. Das eigentliche Druckmittel zur Betätigung des Kolbens 8 ist die Luft, die im Anschluß an das Öl durch den Ölvorrat 35 in die Druckmittelleitung 24 gelangt. Die gesamte im Zylinder 22 und im Ölvorratsgefäß 3 5 befindliche Ölmenge ist deshalb so groß bzw. klein gewählt, daß einerseits eine Abdichtung des Spaltes zwischen Kolben 8 und Zylinderwand 9 während des Schließvorganges sichergestellt ist und andererseits die Pumpe kurz nach dem Abschalten belüftet wird. Diese Vorgänge bewirken ein Schließen des Saugstutzenventils 4 ohne den unerwünschten Luftschluck. Nachdem das Saugstutzenventil 4 geschlossen ist und die nachdrängende Luft das zwischen dem Kolben 8 und der Zylinderwandung 9 befindliche Öl verdrängt hat, erfolgt hierüber die Belüftung des Pumpenraumes. Die Funktion der Saugstutzenventilsteuerung ist unabhängig von der Existenz eines Ölfilters 19, d. h., auch bei einem Ölkreislauf ohne Ölfilter 19 (vgl. gestrichelt eingezeichneten Leitungsabschnitt 20) arbeiten das Saugstutzenventil und seine Steuermittel einwandfrei.

Ein besonderer Vorteil der beschriebenen Ausführung des Saugstutzenventils 4 und seiner in Abhängigkeit vom Öldruck arbeitenden Steuermittel liegt noch darin, daß beide Zylinder-Kolben-Einrichtungen 8, 9 bzw. 22,-23 wegen der

erwünschten Spalte zwischen Kolben und Zylinder kaum toleranzanfällig sind und deshalb ohne besonderen Kostenaufwand herstellbar sind. Durch geeignete Wahl der strömenden ölmengen Q₁ und Q„, der Drosselstellendurchmesser und durch entsprechendes Anpassen der Kraft der Feder 31 können die Steuermittel derart justiert werden, daß bereits bei relativ

,Q kleinen Drucksenkungen im Ölkreislauf (z„ B. ein Absinken des Solldruckes von ca, 1,7 bar auf 1,4 bar) die Eintrittsöff~ nung 25 der Druckmittelleitung 24 freigegeben wird» Die Ansprechzeit des Saugstutzenventils 4 ist aufgrund der hydropneumatischen Betätigung so klein, daß sichergestellt ist, daß bereits vor dem endgültigen Auslaufen der VÄkuumpumpe das Saugstutzenventil geschlossen ist. Generell hat die Ansteuerung des Saugstutzenventils durch den Öldruck in einem Ölkreislauf, der von einer auf der Pumpenwelle angeordneten Ölpumpe versorgt wird, den Vorteil einer schnellen und sicheren Betriebsweise, da vom Öldruck im Ölkreislauf eindeutig der Betriebszustand der Pumpe abgeleitet werden kann.

Der Austrittsöffnung 14 der Leitung 13 ist eine federnde Abdeckung 41 zugeordnet, die - gemeinsam mit einer besonderen

Gestaltung der Wandung 42 im Bereich der Austrittsöffnung 14 25

mehrere Funktionen erfüllt» Die Austrittsöffnung 14 ist von einer konzentrischen Nut 43 in der Wandung 4 2 umgeben, die bis in eine Bohrung 4 4 reicht, durch die d «.; der Versorgung des Pumpenraumes dienende Öl hindurchtritt. Diese Bohrung

ist ebenfalls mit einer Drossel 45 ausgerüstet, deren Größe SO

der Saugleistung bzw. dem Ölbedarf der jeweiligen Pumpe angepaßt ist= Die federnde Abdeckung 41, die vorzugsweise aus einem elastischen Stahlbandabschnitt besteht, überdeckt sowohl die Austrittsöffnung 14 der Öldruckleitung 13 als auch die Bohrung 44. Ihre Kraft und der Abstand der Befesti-

gungspunkte 46, 47 von den Ölkanälen 13, 44 sind so gewählt, daß sie für das aus der Austrittsöffnung 14 austretende öl eine Druckstufe mit einer vernachlässigbaren Druckdifferenz darstellt. Praktisch tritt das Öl mit dem Druck des

/12

Ölkastens aus der Austrittsöffnung 14 aus. Außerdem gilt auch an dieser Stelle des Ölkreislaufs, daß er mit Übe~rschußöl gefahren wird, d. h., daß selbst bei Enddruckbetrieb der Pumpe durch die Austrittsöffnung14 mehr Öl austritt,als von der Pumpe durch die Bohrung 44 bzw. Drossel 45 angesaugt wird. .

Während des Betriebs der Pumpe wird das Drucköl infolge der Drossel 15 auf den Druck im Ölkasten entspannt und strömt zunächst in die die Austrittsöffnung 14 umgebende Nut 43. Aus dieser Nut, die mit der Bohrung 44 in Verbindung steht, strömt ein Teil des Öles infolge der Saugwirkung des Pumpenraumes durch die Bohrung 44 bzw- Drossel 45 hindurch. Überschüssiges Öl gelangt in den ölvorrat 2 zurück. Durch die federnde Abdeckung 41 ist sichergestellt, daß durch die Bohrung 44 und die Drossel 45 nur solches öl strömt, das aus der Austrittsöffnung 14 ausgetreten ist. In den Pumpenraum gelangt deshalb ausschließlich Öl, das den Ölfilter 19 durchströmt hat. Beeinträchtigungen des Pumpenraumes durch verschmutztes öl tretenjieshalb nicht mehr auf. Dennoch ...... arbeitet die Pumpe wie eine selbstansaugende Pumpe, d.. h., sie bestimmt die von ihr benötigte ölmenge selbst. In hohen Druckbereichen treten z. B. geringe ölmengen durch die Drossel 45 hindurch, so daß unerwünscht hohe Öldampfanteile in den aus der Pumpe austretenden geförderten Medien nicht vorhanden sind. Unabhängig davon ist sichergestellt, daß die Lagerungen mit Drucköl versorgt werden.

Weiterhin wird durch die federnde Abdeckung und die spezielle Nutausbildung eine Ölabsperrung bei Stillstand der Pumpe erreicht. In diesem Betriebszustand bewirkt der durch die Bohrung 44 hindurch wirkende Unterdruck im Pumpenraum, daß sich die federnde Abdeckung dicht an die Wandung 42 anlegt. Dadurch versperrt die Abdeckung die Bohrung 44 vollständig, so daß die Ölzufuhr zur Vakuumpumpe unterbleibt. Durch diese Lösung ergibt sich ein weiterer Vorteil. Es existiert

/13

generell das Problem, daß es bei einem versehentlichen Ruckle wärtslauf der Pumpe (infolge falschen Stromanschlusses) zu einem unerwünschten ölanstieg im Saugstutzen kommt. Durch diese Anordnung wird dieser Ölanstieg zuverlässig verhindert.

Fig. 2 zeigt eine Drehschiebervakuumpumpe. Während des Betriebs der Pumpe gelangen die geförderten Gase durch den Saugstutzen 3, das offene Saugstutzenventil 4, über den in der Zeichnungsebene nicht sichtbaren und deshalb als Pfeil dargestellten Saugkanal 51 in den Pumpenraum 52, in dem sich .--, der Rotor 53 mit den Schiebern 54 befindet. Die komprimierten

Gase gelangen durch den Austrittskanal 55 in den ölkasten 1, 15

der bis zur Linie 56 mit Öl gefüllt ist, so daß die federnde Abdeckung 41 unterhalb des Ölspiegels liegt. Der eigentliche Auspuffstutzen ist nicht dargestellt.

Die Stirnwand 42 des im ölkasten 1 angeordneten Pumpen-

■ körpers 57 ist in ihrem unteren Teil in Ansicht dargestellt. Schnitte durch diese Stirnwand in Höhe der Linien IH-III und IV-IV zeigen die Figuren 3 und 4. In der Stirnwand 42 endet die Öldruckleitung 13 mit der Drosselstelle 15. Vor der Entspannung des Öls auf den Druck im ölkasten infolge

* der Drossel 15 erfolgt noch die Schmierung des in der Stirnwand 42 angeordneten Lagers der Pump welle (nicht dargestellt) über die als Bohrung ausgebildete Abzweigleitung 17. Nach außen hin ist diese Bohrung durch den Stöpsel 58 verschlossen.

Mittels der Schrauben 46, 47 ist die federnde Abdeckung 41 (in Fig. 2 gestrichelt dargestellt) auf der Stirnwand 42 befestigt. Sie überdeckt die beiden Öffnungen 14 und 44 sowie die die Öffnung 14 umgebende Nut 43. Die Düse 15 ist durch beidseitiges Bohren der Stirnwand 42 hergestellt. Die Düse 45 ist mittels eines Gewindes 59 in die Stirnwand 42 eingeschraubt, so daß je nach Saugleistung der Pumpe unterschiedliche Düsen verwendet werden können.

Claims

81.036

LEYBOLD-HERAEUS GMBH Köln-Bayental

Vakuumpumpe mit einem Saugstutzen-Ventil und Betriebsverfahren dafür

ANSPRÜCHE

Vakuumpumpe mit einem Saugstutzenventil, das ein mit dem Kolben einer Zylinder-Kolben-Einrichtung verbundenes Verschlußelement aufweist, wobei in den Zylinder das eine Ende einer Druckmittelleitung mündet, deren anderes Ende mit einer in Abhängigkeit vom Betriebszustand der Pumpe offenen oder geschlossenen Eintrittsöffnung versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Eintrittsöffnung (25) der Druckmittelleitung (24) ölüberlagert ist.

Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die die Eintrittsöffnung (25) überlagernde ölmenge so gering ist, daß sie während des Schließvorganges im wesentlichen nur der Abdichtung des zwischen dem Kolben (8) und dem Zylinder(9) bestehenden Spaltes dient.

Vakuumpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß das Spiel zwischen dem Kolben (8) und dem Zylinder (9) so groß gewählt ist, daß nach dem Verschließen des Saugstutzenventils über den vorhandenen Spalt die Belüftung des Pumpenraumes erfolgt.

Vakuumpumpe nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet , daß der Eintrittsöffnung (25) der Druckmittelleitung (24) in Abhängigkeit vom Betriebszustand der Pumpe arbeitende Steuermittel (22, 23, 31) mit einem ölvorrat (35) zugeordnet sind. ,„

5. Vakuumpumpe nach Anspruch 4, dadurch

gekennzeichnet, daß ein Ölkreislauf (11, 13) mit einer gesonderten Ölpumpe (12) vorhanden ist und daß die der Eintrittsöffnung (25) zugeordneten Steuermittel (22, 23, 31) derart ausgebildet sind, daß sie in Abhängigkeit vom Öldruck im Ölkreislauf arbeiten.

6. Vakuumpumpe nach Anspruch 5, dadurch

gekennzeichnet , daß die Ölpumpe (12) in an sich bekannter Weise auf der Pumpenwelle angeordnet ist

7. Vakuumpumpe nach Anspruch 4, 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuermittel eine weitere Zylinder-Kolben-Einrichtung (22,23) umfassen.

8. Vakuumpumpe nach Anspruch 7 und einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf der einen Seite des Kolbens (23) eine mit dem Ölkreislauf in Verbindung stehende Leitung (21) und auf der anderen Seite des Kolbens (23) die Druckmittelleitung (24) in den Zylinder (22) münden.

9. Vakuumpumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , daß die Eintrittsöffnung (25) der Druckmittelleitung (24) als Ventilsitz ausgebildet ist, dem ein mit dem Kolben (23) verbundenes Verschlußglied (29) zugeordnet ist.

^⁰ 10. Vakuumpumpe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschlußglied ein in den Kolben (23) einschraubbarer Ansatz (29) ist.

11. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 8 bis 10, 35. dadurch gekennzeichnet, daß der Kolben (23) unter der Wirkung einer Feder (31) steht, deren Kraft dem Öldruck auf der einen Seite des Kolbens (23) entgegengerichtet ist.

/3

12. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 8 bis 11,

dadurch gekennzeichnet, daß auf der der Einmündung der Leitung (21) gegenüberliegenden Seite des Kolbens (23) ein oben offenes Ölvorratsgefäß (35) an den Zylinder (22) angeschlossen ist und daß der zwischen dem Zylinder (22) und dem Kolben (23) bestehende Spalt (36) so groß gewählt ist, daß während des Betriebs der Vakuumpumpe ein kontinuierlicher Ölstrom durch den Spalt (36) aufrechterhalten wird.

13. Vakuumpumpe nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Volumen des

die Eintrittsöffnung überlagernden Öls so groß gewählt ist, daß einerseits eine Abdichtung des Spaltes zwischen Kolben 8 und Zylinderwand 9 während des Schließvorganges sichergestellt ist und andererseits 2Q die Pumpe kurz nach dem Abschalten belüftet wird.

14. Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe mit einem in Abhängigkeit vom Betriebszustand der Pumpe arbeitenden Saugstutzenventil, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn-

zeichnet, daß die Ansteuerung des Saugstutzenventils über den Druck in einem Ölkreislauf der Vakuumpumpe erfolgt.

15. Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe mit einem in Abhängigkeit vom Betriebszustand der Pumpe arbeitenden Saugstutzenventil, das ein mit dem Kolben einer Zylinder-Kolben-Einrichtung verbundenes Verschlußelement aufweist, wobei zur Betätigung des Ventils dem Zylinder ein Druckmittel zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß dem Zylinder (22) zunächst Öl zum Zwecke der Abdichtung und danach Luft als Druckmittel zugeführt werden.