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Gebilde aus Präzisionsmetallteilen
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Die Erfindung bezieht sich auf Gebilde von Präzisionsmetallteilen
bzw.. -bereichen unter Verwendung von Metallfolien. Insbesondere bezieht sich die
Erfindung auf Gebilde von Präzisionsmetallteilen, in denen der Präzisionsgrad dadurch
verbessert ist, daß Präzisionsteile mit feinsten Formen durch die Verwendung von
Metallfolien von 20 bis 500 ß hergestellt werden durch Herstellung eines Laminats
von elektrolytisch aufgetragenen Schichten unterschiedlicher Metalle, während die
Genauigkeit des notwendigen Musters nur durch eine Metallart vorgesehen wird und
die andere Metallart lediglich als Stütze verwendet wird. Alternativ erfolgt das
Vorsehen der Genauigkeit des notwendigen Musters nur durch eine Metallart und durch
Beseitigen der Abschnitte eines Zwischenmetalls und der anderen Metallart, die dem
Muster der ersten Metallschicht entspricht, wobei die zu entfernenden Abschnitte
ein wenig breiter sein können, als die Abschnitte des Musters.
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Heutzutage werden als ein Beispiel von Präzisionsmetallteilen optische
Schlitzplatten hergestellt (Codierer mit einer Dicke von 30 Mikron bis 200 Mikron
unter Verwendung einer Platte aus rostfreiem Stahl).
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Das bekannte Herstellungsverfahren zur Herstellung derartiger Präzisionsmetallteile
ist im Zusammenhang mit Fig. 1 bis 10 später beschrieben.
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Unter Berücksichtigung der für diesen Stand der Technik angegebenen
Nachteile besteht die Aufgabe der Erfindung darin, ein Gebilde von Präzisionsmetallteilen
vorzusehen, die extrem genauer sind und bei denen im Zusammenhang mit dem Stand
der Technik geltendgemachte Nachteile vermieden werden. Weiterhin ist es Aufgabe
der Erfindung, ein diesbezügliches Verfahren zu schaffen.
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Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß hinsichtlich des Gebildes von Präzisionsmetallteilen
gelöst, die gekennzeichnet sind durch ein Laminat einer ersten elektrolytisch aufgetragenen
Metall schicht und einer zweiten elektrolytisch aufgetragenen Metall schicht, die
von der ersten Metallschicht unterschiedlich ist, oder ein Laminat aus einer ersten
elektrolytisch aufgetragenen Metallschicht, einer zweiten, von der ersten unterschiedlichen
elektrolytisch aufgetragenen Metall schicht und einer dritten elektrolytischen Metallschicht
aus demselben Metall wie die erste Metall schicht, wobei die Genauigkeit des Ätzens
und des elektrolytischen Aufbringens zum Erzielen des notwendigen Musters der genannten
Metallteile nur durch die erste elektrolytisch aufgetragene Metall schicht verbessert
ist, wobei die zweite und die dritte Schicht einfach als Stütze bei der Herstellung
der genannten Metallteile aus Metallfolien verwendet werden.
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Verfahrensgemäß wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung dadurch gelöst,
daß ein Laminat aus zwei elektrolytisch aufgetragenen Schichten eines ersten Metalls
und eines zweiten Metalls, welches vom ersten unterschiedlith ist oder von drei
elektrolytisch aufgetragenen Schichten eines ersten Metalls, eines zweiten Metalls,
welches vom ersten Metall unterschiedlich ist und einem dritten Metall, welches
das gleiche Metall ist wie das erste, zwischen einem oberen und einem unteren Filmblatt
angeordnet wird, auf dem zuvor unterschiedliche Muster aufgebracht sind, daß das
Laminat und die Filmblätter zusammen einer Belichtung und Entwicklung unterworfen
werden, wobei der obere Film eine Abbildung eines notwendigen Präzisionsmusters
für die genannten Präzisionsmetallteile und der untere Film eine Abbildung eines
Musters enthält, welches notwendig ist, um die Festigkeit des Laminats zu halten,
daß im voraus eine Anordnung so getroffen wird, daß nach dem Entwickeln in den gegenüber
den Musterteilen anderen Teilen unbelichtetes photosensitives Harz verbleibt, daß
die Filmblätter auf beiden Seiten entfernt werden, daß das Laminat mit einer ersten
Atzlösung einem Atzvorgang unterworfen wird, welche Lösung in der Lage ist, das
erste Metall zu ätzen, jedoch nicht in der Lage ist, das zweite Metall zu ätzen,
und daß dann mit einer zweiten Ätzlösung ein zweiter Ätzvorgang erfolgt, welche
Ätzlösung in der Lage ist, das zweite Metall, jedoch nicht das erste Metall zu ätzen,
und so die Genauigkeit durch das erste Metall zu verbessern, während die Metalle
in den anderen Schichten einfach als Stütze verwendet werden.
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Eine weitere verfahrensmäßige Lösung der Aufgabe besteht darin, daß
eine zweite Metallfolie, die an beiden Seiten mit Membranen aus lichtsensitivem
Harz versehen ist, zwischen einem oberen und einem unteren Film angebracht wird,
wobei jeder Film jeweils eine Abbildung eines unterschiedlichen
Musters
trägt, daß die Folie einer Belichtung und einer Entwicklung unterworfen wird, daß
der obere Film die Abbildung eines Präzisionsmusters enthält, welches für die genannten
Präzisionsmetallteile notwendig ist, und wobei der untere Film eine Abbildung eines
Musters enthält, welches notwendig ist, die Festigkeit der laminierten Folien zu
halten, die durch elektrolytisches Aufbringen eines ersten Metalls gebildet sind,
welches Metall sich von dem zweiten Metall unterscheidet, daß die Anordnung so erfolgt,
daß unbelichtetes photosensitives Harz nach dem Entwickeln in den Teilen verbleibt,
die nicht die Musterteile sind, daß die beiden Filme entfernt werden, daß die Folie
in ein elektrolytisches Bad für das erste Metall gebracht wird, um dieses erste
Metall auf Teile der zweiten Metallfolie aufzubringen, in denen kein photosensitives
Harz haftet, daß das Laminat mit einer Ätzlösung behandelt wird, die das zweite
Metall ätzt, um so die Genauigkeit durch die erste Metall schicht zu verbessern
und um die zweite Metallschicht und die dritte Metallschicht einfach als Stütze
zu verwenden, indem die erste Metallschicht durch Elektrolyse an der zweiten Metallschicht
haftet.
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Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben
sich aus der nachfolgenden Beschreibung der in den Zeichnungen rein schematisch
dargestellten Ausführungsbeispiele. Anhand dieser Ausführungsbeispiele wird auch
der Herstellungsprozeß erläutert. Es zeigt; Fig. 1 einen Querschnitt durch eine
Folie aus rostfreiem Stahl, die an beiden Seiten mit einer widerstandsfähigen Schicht
zum Erzeugen eines herkömmlichen Codierers versehen ist,
Fig. 2
einen Querschnitt durch eine Folie aus rostfreiem Stahl mit einer widerstandsfähigen
Beschichtung, die sich zwischen zwei Filmblättern befindet, auf denen zuvor ein
erforderliches Musters abgebildet, dem Licht ausge-setzt und entwickelt wurde, Fig.
3 einen Querschnitt durch die Folie gemäß Fig. 2, von der die Filmblätter entfernt
sind, Fig. 4 einen Querschnitt durch eine Folie, die durch Ätzen der Folie gemäß
Fig. 3 ausgebildet wurde, Fig. 5 einen Querschnitt durch ein Folienprodukt, welches
dadurch erhalten'wurde, daß die widerstandsfähige Beschichtung von der Folie gemäß
Fig. 4 entfernt wurde, Fig. 6 eine Draufsicht auf einen herkömmlichen Drehcodierer,
Fig. 7 einen Querschnitt durch den Codierer gemäß'Fig. 6, Fig. 8 den Zustand des
Entfernens des oberen und unteren Films nach der Belichtung und Entwicklung, Fig.
9 einen Querschnitt durch die Folie zusammen mit dem aufgebrachten oberen und unteren
Film, wobei keine Abweichung zwischen den Mustern der beiden Filme besteht, Fig.
9' einen Querschnitt durch eine Folie mit einem durch Atzen ausgebildeten Loch,
Fig. 10 einen Querschnitt durch eine Folie zusammen mit dem oberen und unteren Film,
wobei eine-bweichung zwischen den beiden Filmen besteht,
Fig. 10'
einen Querschnitt durch eine Folie mit einem darin durch Ätzen ausgebildeten Loch,
wobei das Loch schmäler ist als bei der Fig. 10.
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In Fig. 1 bis 10 ist ein herkömmliches Herstellungsverfahren beschrieben.
In den nachfolgenden schematischen Zeichnungen ist das Gebilde gemäß der Erfindung
dargestellt, und zwar unter Heranziehung eines Drehcodierers (wie in Fig. 6 bis
8, die auf den herkömmlichen Drehcodierer abgestellt sind).
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Insbesondere ist dieser Drehcodierer in Fig. 11 bis 15 dargestellt:
Fig. 11 eine Draufsicht auf einen Drehcodierer mit einem Gebilde gemäß der vorliegenden
Erfindung, Fig. 12 einen Querschnitt des Codierers im Zustand der Herstellung, wobei
ein oberes Filmblatt mit einem darauf aufgebrachten Schlitzmuster und ein unteres
Filmblatt mit einem darauf als Stütze aufgebrachten Muster entfernt sind, Fig. 13
einen Querschnitt des Codierers im Zustand der Herstellung, wobei ein Nickelschicht
ohne anhaftende Widerstandsschicht geätzt wird, Fig. 14 einen Querschnitt durch
eine Platte, die durch Ätzen der Kupferplatte gemäß Fig. 13 erzielt worden ist,
Fig. 15 einen Querschnitt durch eine Platte, die durch Entfernen der Widerstandsschicht
erzielt worden ist, Fig. 16 einen Querschnitt durch eine Platte, die eine Mustereinheit
eines fixierten Codierers zeigt, Fig. 17 die Rückseite und Fig. 18 die Vorderseite
der genannten Platte,
Fig. 19 eine Querschnittsansicht der Platte,
bei der unnötige Teile der Kupfer folie mit einer widerstandsfähigen Schicht abgedeckt
ist, Fig. 20 einen Querschnitt durch die Platte, die durch eine Nickelplattierung
der Platte gemäß Fig. 19 erzielt wurde, Fig. 21 einen Querschnitt durch die Platte,
die dadurch erzielt wurde, daß die Widerstandsschicht der Platte gemäß Fig. 20 entfernt
worden ist, Fig. 22 einen Querschnitt durch eine Platte, die dadurch erzielt worden
ist, daß das Kupfer in der Platte gemäß Fig. 21 entfernt worden ist, Fig. 23 eine
Draufsicht auf Schlitze eines Drehcodierers sowie einen Querschnitt derselben, Fig.
24 eine Querschnittsansicht durch einen Schlitz eines Drehcodierers, bei dem die
Abweichung zwischen einer Präzisionsfläche und einer Stützfläche größer wird und
Fig. 25 eine schematische Querschnittsansicht einer geschliffenen, gefrästen bzw.
geriffelten Platte und einer plattierten Nickelfolie, bei der a) diese Platte vor
dem Ätzen, a') dieselbe Platte nach dem Ätzen, b) die plattierte Nickelfolie vor
dem Ätzen und b') dieselbe Platte nach dem Ätzen darstellt.
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1) Werden zunächst auf beiden Seiten einer Platte aus rostfreiem Stahl
Membranen aus photosensitivem Harz (Widerstandsschicht ausgebildet, wobei das Bezugs
zeichen 1 die Platte aus rostfreiem Stahl und das Bezugs zeichen 2 eine Widerstands
schicht bezeichnet.
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2) Um auf einer Folie (oder Platte) aus rostfreiem Stahl, die mit
einer Widerstandsschicht versehen ist, ein Muster aufzubringen, wird die Folie aus
rostfreiem Stahl mit zwei Filmblättern so belegt, daß sich die Folie aus rostfreiem
Stahl zwischen diesen beiden Filmblättern befindet. Auf diesen Filmblättern ist
das gewünschte Muster zuvor aufgebracht, belichtet und entwickelt, wie dies in Fig.
2 dargestellt ist. In diesem Fall ist es notwendig, ein oberes und unteres Muster
vorzusehen, die zusammenfallen. Das Bezugszeichen 3 bezeichnet dabei die Filmblätter.
Die Bezugszeichen 3' und 4 verdeutlichen den Zustand der Belichtung (siehe Fig.
2).
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3) Nach dem Beseitigen der Filmschichten wird die Platte aus rostfreiem
Stahl in einen Ätzbehälter eingegeben, um diese gleichzeitig von beiden Seiten zu
ätzen. Fig. 3 ist eine Querschnittsansicht der Platte aus rostfreiem Stahl, von
der der Film entfernt wurde. Fig. 4 ist eine Querschnittsansicht der Platte aus
rostfreiem Stahl, die durch Ätzen der Platte aus rostfreiem Stahl gemäß Fig. 3 hergestellt
wurde. Wenn in diesem Zusammenhang von einer Widerstands schicht die Rede ist, so
kann es sich dabei um einen Abdecklack handeln bzw.
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um eine Schutzmasse, die gegen das Ätzmittel widerstandsfähig ist.
2' ist die Widerstandsschicht, die nach dem Belichten und nach dem Entwickeln verblieben
ist. 5 ist das weggeätzte Teil.
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4) Die Widerstandsschicht wird von der Platte aus rostfreiem Stahl
entsprechend Fig. 5 entfernt, um das gewünschte Produkt zu erzielen. Ein so erzieltes
Produkt entsprechend einem her-
kömmlichen Verfahren ist in. Draufsicht
in Fig. 6 dargestellt, wobei jedoch das Muster nur teilweise dargestellt ist (d.h.
in anderen Teilen weggelassen ist). Im Schnitt ist dieses Produkt in Fig. 7 dargestellt.
In beiden Figuren durchdringen dünne Linearschlitze das Material, damit das Licht
durchdringen kann. Fig. 8 zeigt den Zustand, bei dem die oberen und unteren Filme
beseitigt sind, nachdem das Belichten und Entwickeln entsprechend Fig. 2 erfolgt
ist.
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Ein durch die zuvor genannten Verfahrensschritte hergestelltes Produkt
hat die folgenden Nachteile: a) Es ist entschieden unmöglich, zwei Filmblätter zusammenzubringen,
die Muster von dünnen Linien in der Einheit von mehreren 10 Mikrons bis 100 Mikrons
enthalten, so daß die Muster vollständig einander entsprechen. Entsprechend Versuchen
treten Abweichungen von mindestens 10 Mikron bis zu maximal mehr als 20 Mikron auf.
Diese Abweichungen werden mit der Zunahme des Filmbereiches größer.
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b) Die Filmblätter dehnen sich oder ziehen sich zusammen, wenn sie
Wärme, Feuchtigkeit und dgl. ausgesetzt werden.
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Sogar wenn sie vollständig fluchtend zueinander aufgebracht werden,
so daß sie vollständig einander entsprechen, treten Abweichungen zueinander mit
der Zeit der Verwendung derselben auf.
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c) Die Ätzpräzision nimmt proportional mit der Zunahme der Dicke des
Metalls ab. Das Ätzen von beiden Seiten ist ein Vorgang, der dazu verwendet wird,
um ein möglichst präzises Ätzen vornehmen zu können. Wenn ein Loch in einer Metallplatte
durch Ätzen von beiden Seiten vorgesehen wird, wie dies in Fig. 9 dargestellt ist
und wenn eine Abweichung der Figuren zwischen dem oberen und unteren Filmblatt vorliegt,
wie dies in Fig. 10 dargestellt ist, erfolgt ein Ätzen mit einer Abweichung entsprechend
Fig. 10.
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Die Präzision des Durchdringens wird durch die Breite a eines in
Fig. 9 dargestellten Loches bestimmt. Wenn das Ätzen in Querrichtung fortschreitet,
sollte ein Idealzustand gemäß Fig. 9 vorliegen. Wenn jedoch sich in dem oberen und
unteren Filmblatt eine Abweichung befindet, so wird die Breite a' entsprechend der
Darstellung in Fig. 10 kleiner. Fig. 10' zeigt den Idealzustand, bei dem angenommen
wird, daß das Ätzen in Querrichtung fortschreitet. Darüber hinaus wird die Seitenätzmenge
proportional der Zunahme der Dicke größer.
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Die Genauigkeit zum Halten der notwendigen Dicke wird extrem schwierig.
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d) Wenn ein Präzisionsmetallteil durch Atzen aus einem gefrästen oder
gewalzten Metall, wie einer Platte aus rostfreiem Stahl hergestellt wird, ist in
der gefrästen oder gewalzten Metallplatte die Walz- oder Fräsrichtungseigenschaft
in dieser Metallplatte ausgebildet, so daß das Ätzen in Längs- und Querrichtung
schwierig wird. Das Atzen von Metall ist das Eliminieren individueller Metallpartikel.
Jedoch im Fall eines gefrästen oder gewalzten Metalls nehmen die Metallpartikel
einen quer oder seitlich gestapelten Zustand ein, wie gestapelte Ziegelsteine, so
daß eine unregelmäßige geätzte Fläche entsteht. Dies ist auch als Nachteil des herkömmlichen
Verfahrens anzusehen.
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Nunmehr wird das erfindungsgemäße Verfahren beschrieben. Das Gebilde
gemäß der Erfindung ist in zwei Teile aufgeteilt, d.h.
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in einen Teil A, welcher eine hohe Genauigkeit erfordert und einen
Teil B, welcher die geeignete Dicke erfordert, um das Produkt in andere Teile einzusetzen,
d.h. ein Teil, welches als Stütze notwendig ist.
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Weiterhin werden Muster in Filmblättern unterschiedlich gemacht, d.h.
ein Filmblatt enthält die Aufbringung eines Musters des Teils, welches die Genauigkeit
erfordert und das andere Filmblatt enthält ein Muster des Stützteils. Sie werden
in einem Teil mit einer Struktur vorgesehen, die mit der übereinstimmt, die in einer
früheren
Anmeldung 427919 aus dem Jahre 1980 übereinstimmt und auf eine feste Metallmaskenplatte
bezogen ist, welche eine Metallplatte mit Bildlöchern ist, die von beiden Seiten
in die Platte eindringen, wobei die Dicke des Metalls in drei von optionaler Proportion
aufgeteilt ist und als eine Zwischenschicht. Ein unterschiedliches Metall kann nicht
mit einer Ätzlösung geätzt werden, welche das Metall von beiden Seiten korrodiert.
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Der Drehcodierer mit einer erfindungsgemäßen Struktur ist in Draufsicht
in Fig. 11 und im Querschnitt in Fig. 15 dargestellt.
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Anstatt einer Platte 1 aus rostfreiem Stahl des herkömmlichen Codierers
wird als erste Metall schicht ein plattiertes Laminat verwendet, welches eine Nickelschicht
8 ist. Als zweite Metallschicht wird eine Kupferschicht 7 und als dritte Metallschicht
eine andere Nickelschicht 8' verwendet. Als zweite Metallschicht ist ebenso eine
Legierung aus Nickel und Phosphor verwendbar.
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In Fig. 12 ist der Zustand dargestellt, in dem ein oberes Filmblatt
und ein unteres Filmblatt im entfernten Zustand sich befinden. Das obere Filmblatt
ist mit einem darauf aufgebrachten Schlitzmuster (X) versehen, welches für einen
Codierer notwendig ist. Das untere Filmblatt ist mit einem geeigneten Muster Y versehen,
welches einen breiteren Bereich einnimmt als der Bereich, welcher für das Schlitzmuster
notwendig ist, um Stufen relativ zu den Schlitzen des Codierers auszubilden.
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Fig. 13 zeigt den Zustand, in dem der Nickelteil, welcher nicht mit
einer Widerstandsschicht versehen ist, geätzt wird. In Fig.14 ist der Zustand dargestellt,
in der das Kupfer der Platte gemäß Fig. 13 geätzt wird. In Fig. 15 ist der Zustand
gezeigt, in der die Widerstandsschicht der Platte gemäß Fig. 14 durch Lösen entfernt
wird.
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Für einen. fixierten Codierer, welcher zusammen mit einem Drehcodierer
verwendet wird, kann die Genauigkeit durch dasselbe Gebilde verbessert werden. Fig.
16 zeigt einen Querschichtt einer Mustereinheit. Fig. 18 zeigt das Muster auf einem
oberen Film und Fig. 17 zeigt das Muster zum Halten eines unteren Films. Der tatsächliche
Codierer ist eine flache Platte, auf der das Muster der vorgenannten Einheit auf
einer Ebene wiederholt ist.
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Ein Drehcodierer gemäß Fig. 11 bis 15 wird entsprechend einem Ätzverfahren
(hier Beispiel 1) erzeugt. Jedoch derjenige gemäß Fig. 19 bis 22 wird entsprechend
einem Plattierungsverfahren hergestellt. Fig. 19 zeigt einen Querschnitt einer Platte,
die durch Einsetzen einer Kupferfolie erzielt wurde, die mit photosensitiven Harzmembranen
an beiden Seiten derselben versehen ist, und zwar zwischen zwei Filmen, auf denen
verschiedene Muster zuvor aufgebracht worden sind.
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Daraufhin erfolgte ein Belichten und ein Entfernen der Filme, wo unnötige
Teile der Kupferfolie mit der Widerstandsschicht beschichtet sind. Wenn die Nickelplattierung
auf die Folie gemäß Fig. 19 aufgebracht wird, wird eine Platte entsprechend Fig.
20 erhalten. Fig. 21 zeigt einen Querschnitt der Platte gemäß Fig. 20 mit entfernter
Widerstandsschicht.
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Fig. 22 zeigt einen Querschnitt des Produktes gemäß Fig. 21, von dem
das Kupfer durch Ätzen entfernt ist.
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Die Metallteile des zuvor genannten Gebildes haben verschiedene Vorteile.
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a) Da die Genauigkeit durch eine Seite der Schlitze definiert sein
kann und die entgegengesetzte Seite rauh bzw. grob in die vorhandene Struktur gebohrt
werden kann, hat die beim Ätzen ausgebildete Breite a keinen Einfluß auf die Präzisionsfläche.
Entsprechend der Darstellung in Fig. 23 ist die Anordnung so getroffen, daß eine
Abweichung a
auftritt, d.h. ein breitenmäßiger Abstand von der
Kante der Stützfläche bis zur Kante der Präzisionsfläche im Bereich von 10 bis 20
Mikron für den Fall der Schlitze des Decodierers. Sogar wenn a durch Ätzen 2a wird,
erfolgt kein Einfluß auf die Präzisionsfläche.
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b) Da ein Präzisionsmetallteil gemäß der vorliegenden Erfindung nicht
durch Verwendung von zwei übereinanderliegenden Filmblättern mit demselben Muster
hergestellt wird, kann die Gefahr einer mangelnden Ausrichtung der beiden Filmblätter
nicht auftreten.
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c) Da die Dicke eines Teils, welches die Präzision erfordert, frei
und genau geändert werden kann, hat dies eine erhebliche Verbesserung zur Folge.
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d) Metallteile, die eine hohe Genauigkeit und Präzision erfordern,
wurden bisher dadurch hergestellt, daß Filmblätter eines kleinen Bereiches wegen
der Abweichung der Filmblätter verwendet wurden. Nun ist es jedoch durch das erfindungsgemäße
Verfahren möglich, Filmblätter großen Bereiches zu verwenden. Außerdem ist eine
Massenproduktion möglich.
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e) Da Folien durch einen Plattierungsprozeß hergestellt werden, ergeben
sich keine Ausrichtungseigenschaften des Metalls.
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Deswegen ergeben sich nicht im geringsten Fehler beim Ätzen.
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Es können somit Metallteile ausgezeichneter Präzision erzielt werden.
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Entsprechend der Darstellung in Fig. 25 sind bei gewalzten Metallplatten,
wie einer Platte aus rostfreiem Stahl, Kristalle von Metallpartikeln in einem Zustand
zueinander angeordnet, als wenn Ziegelsteine quergeschichtet aufgebaut wären (Fig.
25a).
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In Fig. 25b sind im Fall einer plattierten Platte, wie einer nickelplattierten
Folie die Kristalle von Metallpartikeln wie Ziegelsteine längsgeschichtet. Der Seitenätzeffekt
ist beim
Ätzen einer plattierten Folie verglichen mit gewalzten
Folien wesentl ich geringer.
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f) Wenn ein Präzision erforderndes Teil nur durch einen Plattierungsprozeß
hergestellt wird, kann die Genauigkeit noch weiter verbessert werden, da beim Ätzen
keine nachteilige Auswirkung erfolgen kann. Darüber hinaus ist es ausreichend, daß
nur notwendige Teile mit Nickel plattiert werden, so können Schritte durch Nicht-Ätzen
eingespart werden.
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Gebilde von Präzisionsmetallplatten der vorliegenden Erfindung werden
in besonderen Beispieln erläutert, die jedoch den Schutzumfang der Erfindung nicht
einschränken.
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Beispiel 1 Eine laminierte Platte mit einer Dicke von 40 ß Nickel,
40 ß Kupfer und 20 ß Nickel (100 ß insgesamt) wurde durch Plattieren mit einem gemeinsamen
Nickelsulfaminatbad und einem Kupfer sulfatbad hergestellt. Wenn im Zusammenhang
mit der vorliegenden Erfindung von "Plattieren" die Rede ist, so ist damit ein elektrolytisches
Aufbringen des Metalls gemeint. Beide Flächen der Platte werden entfettet und mit
Wasser gewaschen.
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Nach dem Trocknen wurde die Platte mit einem Widerstandsmittel (TPR
der Firma Tokyo Oka) beschichtet und getrocknet.
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Dann wurden die Filme auf beiden Seiten der Fläche der Platte gedruckt.
Nach dem Entfernen der Filme wurde die Platte entwickelt, mit Wasser gewaschen und
dann geätzt. Für das Nickelätzen wurde eine wässrige Lösung von 10 % HNO3 und 20
% Wasserstoffperoxid verwendet und nach dem Ätzen bei 28"C für 3 min entsprechend
einem Sprühprozeß wurde die Platte mit Wasser gewaschen. Dann wurde Kupfer mit einer
kommerziellen alkalischen Atzlösung geätzt. Nach dem Waschen mit Wasser und nach
dem Trocknen wurde die Widerstands schicht durch eine bestimmte Lösung entfernt,
um eine Produktplatte vorzusehen.
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Durch die vorgenannten Verfahrensschritte ist es möglich, ein Produkt
mit hoher Genauigkeit und einer Form zu erhalten, die in Fig. 11 dargestellt ist.
Sie ist mit allen Vorteilen der vorliegenden Erfindung versehen. (Eine Lösung zum
Entfernen, die widerstandsfähig ist, ist kommerziell verfügbar, jedoch kann auch
Trichloräthylen verwendet werden.) Beispiel 2 Nach der Preparation einer Kupferfolie
mit einer Dicke von 40 ß durch Verwendung eines Kupfersulfatbades gemäß Beispiel
1 wurde dasselbe Widerstandsmittel wie in Fig. 1 auf beide Flächen der Folie beschichtet.
Nach dem Aufdrucken von Filmen, was dem Beispiel 1 entgegengesetzt ist (d.h. positiv
zu negativ der Fig. 1) wurde die Folie einer Entwicklung unterworfen, mit Wasser
gewaschen und in einem Nickelplattierungsbad plattiert, um dieselbe Dicke wie beim
Beispiel 1 zu erzeugen. Nach dem Beseitigen des Widerstandsmittels wurde das Kupfer
entsprechend einem Verfahren gemäß dem Beispiel 1 geätzt, um das gewünschte Produkt
zu schaffen. Als Resultat wurde dasselbe Produkt wie in Beispiel 1 erzielt.