DE3124988C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Thyristors, bei dem
durch Bestrahlung mit Ionen durch eine Hauptfläche die Sperrverzugsladung ohne
wesentliche Vergrößerung des Durchlaßspannungsabfalls durch Störstellenerzeu
gung in der Nähe eines pn-Übergangs verringert wird, wobei die Lage der Stör
stellenzone durch die Bestrahlungsenergie bestimmt wird.
Gewisse Halbleiteranordnungen, wie z. B. Thyristoren, schalten von einem Durch
laßbetrieb mit hohem Strom in einen Sperrbetrieb mit hoher Spannung, das trifft
auch für komplexere Halbleiteranordnungen, wie DIACS, TRIACS, rückwärts
schaltende Gleichrichter und rückwärtsleitende Thyristoren, zu.
Wenn sich ein Thyristor und insbesondere ein Leistungsthyristor, im Durchlaß
zustand befindet, haben die Basisbereiche eine überschüssige Trägerkonzentration
und dementsprechend eine Überschußladung. Das gilt insbesondere für den Ano
den-Basisbereich, der in der Regel eine geringere Störstellenkonzentration als der
Kathodenbasisbereich hat. Während der Schaltung in den Sperrbetrieb muß die
überschüssige Ladung abgebaut werden. Dies geschieht durch Ladungsträgerrekom
bination und Diffusion. Durch die entsprechenden, von Null verschiedenen Lebens
dauern wird eine Überschußladung erzeugt, die sogenannte Sperrverzugsladung Qrr,
die die Sperrcharakteristik des Thyristors begrenzt. Der Anteil der Sperrverzugs
ladung hängt von den Bauteilparametern und insbesondere von der Minoritäts
trägerlebensdauer in den Basisbereichen sowie der Stromverstärkung im Anoden-
Basisbereich ab. Für viele Thyristoranwendungen ist es wünschenswert, die Sperr
verzugsladung so gering wie möglich zu halten oder auf einen bestimmten Wert
einzustellen. In der US-PS 40 75 037 wird beispielsweise vorgeschlagen, die Über
schußladung durch Verringerung der Minoritätslebensdauer in den Basisbereichen
und insbesondere im Kathodenbasisbereich durch Bestrahlung zu reduzieren, wobei
vorzugsweise Elektrodenbestrahlung Verwendung findet. Dieses Verfahren erfor
dert eine sehr sorgfältige Steuerung der Dosis, da die Verringerung der Minori
tätsträgerlebensdauer und die Verringerung der überschüssigen Ladung mit einer
Vergrößerung des Durchlaßspannungsabfalls VTM und des Leckstromes verbunden
ist. Eine kompensierende Abstimmung ist insbesondere zwischen der Überschuß
ladung und dem Anstieg des Durchlaßspannungsabfalls erforderlich.
Durch die US-PS 40 56 408 ist schon ein Verfahren bekannt, um die Umschalt
zeit von Halbleiteranordnungen einschließlich Thyristoren durch Bestrahlung
von Atomen und Ionen zu verringern, wobei insbesondere Wasserstoff-(Protonen)
und Heliumionen (Alphateilchen) Verwendung finden. Die Energie der Ionen
wird so gewählt, daß das Störstellenmaximum in unmittelbarer Nähe des sperren
den pn-Übergangs zwischen dem Kathoden-Basisbereich und dem Anoden-Basis
bereich stattfindet. Dieses bekannte Verfahren führte nicht zu den gewünschten
Ergebnissen, da Kurzschlüsse während der schnellen Umschaltung, die zur Zer
störung des Thyristors führten, nicht vermeidbar waren.
Davon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, diese Schwierigkeiten
zu überwinden und ein Verfahren zu schaffen, mit welchem die Sperrverzugs
ladung Qrr eines Thyristors mit minimalen Änderungen des Durchlaßspannungs
abfalls VTM und des Leckstromes verringert werden kann.
Diese Aufgabe wird durch die Maßnahmen im Kennzeichen des Patentanspruches
gelöst.
Durch die Maßnahmen der Erfindung kann in gewünschter Weise die Sperrverzugs
ladung eines Thyristors verringert werden, wobei keine wesentlich nachteiligen
Veränderungen anderer elektrischer Eigenschaften stattfinden, wie Durchlaß
spannungsabfall oder Leckstrom. Die Umschaltzeit tq wird sogar erniedrigt.
Das Verfahren wird beispielsweise mit monoenergetischen Wasserstoff- oder
Heliumionen durchgeführt. Diese Strahlung hat den Vorteil, daß die in den Fest
körper eingebauten Wasserstoff- oder Heliumteilchen weitgehend elektrisch und
chemisch inaktiv sind. Es gibt Anwendungsmöglichkeiten, bei welchen eine Im
plantation mit Teilchen höherer Massezahl, z. B. Stickstoffionen, wünschenswert
ist, da für die Störstellenerzeugung eine geringere Halbwertsbreite benötigt wird.
Unter dem Begriff Halbwertsbreite ist dabei die Breite des Implantationsprofils
beim halben Intensitätsmaximum gemeint (vgl. Fig. 1 in US-PS 40 56 408). Zur
Durchführung des Verfahrens werden ein oder mehrere Thyristoren mit einer
Hauptfläche relativ zur Ionenstrahlrichtung ausgerichtet und bei der Energie
implantiert, bei der die projizierte Reichweite der gewünschten Tiefe ent
spricht, bei der das Maximum an Störstellen erzeugt werden soll. Die Dosis
wird so gewählt, daß die Sperrverzugsladung verringert wird, aber Durchbruchs
spannung und Leckstrom nicht wesentlich nachteilig beeinflußt werden.
Die Erfindung mit ihren Vorteilen und Merkmalen wird beispielsweise anhand
der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 einen Schnitt durch einen zentral zündbaren Thyristor, welcher als
erstes Beispiel einer Bestrahlung gemäß der Erfindung ausgesetzt
ist,
Fig. 2 einen Schnitt durch einen zentral zündbaren Thyristor, welcher als
zweites Beispiel einer Bestrahlung gemäß der Erfindung ausgesetzt ist,
Fig. 3 eine graphische Darstellung der Tiefenverteilung von
Störstellen, die durch die Bestrahlung im Thyristor erzeugt
wurden.
Fig. 4 eine graphische Darstellung der Abhängigkeit zwischen dem
Durchbruchspannungsabfall und der Sperrverzugsladung bei
einer Bestrahlung von Thyristoren mit Wasserstoffionen
(Protonen) unterschiedlicher Energien.
Fig. 5 eine graphische Darstellung der Abhängigkeit zwischen der
Umschaltzeit und dem Durchlaßspannungsabfall bei einer
Bestrahlung derselben Thyristoren, wie sie auch der Darstellung
von Fig. 4 zugrunde liegen.
Fig. 6 eine graphische Darstellung zwischen der Umschaltzeit und der
Sperrverzugsladung, bei einer Bestrahlung derselben
Thyristoren, wie sie auch der Darstellung gemäß Fig. 4
zugrunde liegen.
In Fig. 1 ist ein zentral zündbarer Thyristor in einem Halbleiterkörper
10 dargestellt, der gemäß der Erfindung einer Bestrahlung ausgesetzt
ist. DerHalbleiterkörper 10 hat zwei Hauptflächen 11 und 12, sowie eine
gekrümmte Seitenfläche 13. In der Halbleiterstruktur ist ein Kathoden-
Emitterbereich 14 und ein Anoden-Emitterbereich 17 durch Dotierung
entgegengesetzter Leitfähigkeit ausgebildet. Der eine Bereich grenzt an
die Hauptfläche 11 und der andere an die Hauptfläche 12 an. Ferner ist
ein Kathoden-Basisbereich 15 und ein Anoden-Basisbereich 16 im Inne
ren des Halbleiterkörpers 10 zwischen den beiden Bereichen 14 und 17
ausgebildet. Auch der Kathoden-Basisbereich hat eine zum Anoden-Ba
sisbereich entgegengesetzte Leitfähigkeit. Somit ergibt sich, daß die
Kathoden-Emitterbereiche 14, welche an dem Kathoden-Basisbereich 15
angrenzt von entgegengesetzter Leitfähigkeit sind, was auch für den Ano
den-Basisbereich 16 und den Anoden-Emitterbereich 17 gilt. Der Katho
den-Basisbereich 15 und der Anoden-Emitterbereich 17 werden vorzugs
weise gleichzeitig durch eine Duffision z. B. von Gallium und/oder Alumi
nium durch die Hauptfläche 11 und die Hauptfläche 12 hergestellt. Dabei
können übliche Verfahren Verwendung finden, mit welchen eine
Oberflächenkonzentration von etwa zwischen 1×10¹⁷ und 1×10¹⁹
Atome/cm³ erreichbar ist. Anschließend wird der Kathoden-
Emitterbereich 14 durch eine selektive Diffusion z. B. mit Phosphor durch
die Hauptfläche 11 hergestellt. Durch diese Ausgestaltung erhält man
einen Thyristoraufbau im Halbleiterkörper 10, der aus vier Schichten
besteht, zwischen welchen drei pn-Übergänge 18 und 19 und 20
ausgebildet sind. Es handelt sich dabei um den Kathoden-pn-Übergang 18,
den Blockier-pn-Übergang 19 und den Anoden-pn-Übergang 20.
Der Thyristor ist mit einer zentral zündbaren Basis versehen, indem der
Kathoden-Basisbereich 15 im Zentrumbereich des Halbleiterkörpers 10
bis zur Hauptfläche 11 ausgebildet ist. Der Kathoden-Basisbereich 15
greift auch zwischen den Kathoden-Emitterbereichen 14 bis zur Haupt
fläche 11 durch, um bei Hochleistungstransistoren übliche Shunts auszu
bilden. Zur Kontaktierung des Thyristors sind eine Gate-Elektrode 21 und
eine Kathodenelektrode 22 vorgesehen, welche mit dem Kathoden-Basis
bereich 15 einerseits und dem Kathoden-Emitterbereich 14 andererseits
an der Hauptfläche 11 verbunden sind. Diese beiden Elektroden können
herkömmlich mit einer Dicke von etwa 4000 nm ausgebildet
sein, indem eine entsprechende Metallisierung mit einem geeigneten
Material, z. B. Metall zunächst flächendeckend mit Hilfe eines
photolithographischen Verfahrens aufgebracht und anschließend durch
Ätzen strukturiert wird. Eine weitere Elektrode 23 ist mit dem Anoden-
Emitterbereich 17 an der Hauptfläche 12 verbunden und wird
vorzugsweise als Legierungselektrode aus einem geeigneten Material,
wie z. B. Molybdän hergestellt, welches mit einer Dicke von etwa 2 mm
auf dem Halbleiterkörper angebracht wird. Atmosphärische Einflüsse auf
die Wirkungsweise des Thyristors werden im wesentlichen durch eine
über der gekrümmten Seitenfläche 13 abgebrachten
Passivierungsschicht 24 reduziert, welche aus Siliconen, Epoxidharz
oder Lackverbindungen bestehen kann.
Zur Verwirklichung der vorliegenden Erfindung wird die Tiefe des
Anoden-pn-Übergangs 20 im Halbleiterkörper 10 als Abstand von der
Hauptfläche 11 in bekannter Weise ermittelt.
Für die Bestrahlung wird eine geeignete Strahlungsquelle vorgesehen,
welche Ionen abgibt.
Bevorzugt wird eine Strahlung aus Protonen, Alphateilchen oder
Stickstoffionen, da diese Teilchen sowohl elektrisch als auch chemisch
im wesentlichen bezüglich des bestrahlten Halbleiterkörpers inaktiv
sind. Es können jedoch auch Berylliumionen oder andere Partikel
Verwendung finden.
Im übrigen sollen
Partikel wie z. B. Borionen, Kohlenstoffionen und Sauerstoffionen nicht
verwendet werden, da diese sowohl elektrisch als auch chemisch im
Halbleiterkörper aktiv sind. Deshalb werden eine Protonen- oder
Alphastrahlung als besonders zweckmäßig angesehen, obwohl Partikel
mit höherer Masse wie z. B. Stickstoffionen für bestimmte
Anwendungsfälle sehr nützlich sind, insbesondere wenn eine geringe
Halbwertsbreite für die Verteilung der Störstellenerzeugung
wünschenswert ist.
Die Bestrahlungsquelle besteht aus einer im wesentlichen
monoenergetischen Quelle, wie sie ein Van der Graaff-Beschleuniger
darstellt, damit man eine möglichst geringe Halbwertsbreite für die
Verteilung der Störstellenerzeugung erhält. Mit bestimmten
Strahlungsquellen kann es zweckmäßig sein, die Forderung nach einer
monoenergetischen Quelle etwas abzuschwächen, indem eine Streufolie
in den Strahlengang eingefügt wird, um eine gleichmäßigere
Partikelverteilung zu erhalten, wenn die Strahlung nicht in horizontaler
und vertikaler Richtung zur gleichmäßigeren Verteilung der Partikel
moduliert werden kann. Allgemein gilt, daß eine monoenergetische
Strahlungsquelle soweit als möglich angenähert werden soll, um eine
möglichst geringe Halbwertsbreite für die Verteilung der
Störstellenerzeugung und weiter eine möglichst geringe Sperrverzugs
ladung bei Beibehaltung eines möglichst geringen
Durchlaßspannungsabfalls zu erzielen.
Bei der Bestrahlung wird die Energie so gewählt, daß die Tiefe der
maximalen Störstellenerzeugung benachbart zu dem Anoden-pn-Übergang
60 des Thyristors liegt. Die Energie wird experimentell ermittelt und
kann gemäß der US-PS 40 56 408 in Verbindung mit Fig. 10
dargestellten Weise erfolgen. Anschließend werden verschiedene
Halbleiter eines bestimmten Thyristortyps mit verschiedener Energie
innerhalb eines ausgewählten Energiebereichs bestrahlt und die
elektrischen Charakteristiken bzw. die Abschaltzeit, der Durchbruchs
spannungsabfall und der Leckstrom gemessen. Die optimale Energie kann
für die graphisch voneinander abhängigen ausgemessenen Werte
ermittelt werden, wie dies anhand der Fig. 4, 5 und 6 gezeigt ist.
Selbstverständlich kann die Ermittlung der optimalen Energie auch durch
eine Datenverarbeitung in einem Rechner erfolgen. Die Energie der
Bestrahlung wird durch die Einstellung der Energie der
Bestrahlungsquelle abgestimmt.
Der Thyristor wird bestrahlt, indem er mit seiner Hauptfläche 11 einer
Strahlungsquelle ausgesetzt wird. Dabei tritt die Strahlung 26 durch die
Hauptfläche 11 und den angrenzenden Kathoden-Emitterbereich 14 in den
Halbleiterkörper ein. Die Strahlungsdosis wird derart eingestellt, daß
sie ausreicht, um die Sperrverzugsladung der Thyristoren auf das
gewünschte Niveau zu verringern. Diese optimale Strahlendosis wird
ebenfalls experimentell ermittelt, indem eine Anzahl von Thyristoren
verschiedenen Strahlungsdosen ausgesetzt wird, und durch graphische
Erfassung bzw. durch Errechnung der Abhängigkeit zwischen dem
Durchlaßspannungsabfalls der Sperrverzugsladung und der Umschaltzeit
das Optimum ermittelt wird. Das Beispiel der Messungen ist graphisch in
den Fig. 4, 5 und 6 dargestellt. Zusätzlich kann auch der Leckstrom in
dieser Betrachtung für die Optimierung der elektrischen Werte
berücksichtigt werden.
Grundsätzlich wird die maximale Störstellenerzeugung im Bereich der
gestrichelten Linie 25 gemäß Fig. 1 ausgebildet, welche im Anoden-
Emitterbereich 17 benachbart zum Anoden-pn-Übergang 20 auf der Seite
der Hauptfläche 12, d. h. in einem Abstand von vorzugsweise innerhalb 10
bis 15 µm von dem Anoden-pn-Übergang des Leistungstransistors. Die
maximale Störstellenerzeugung ist von diesem Anoden-pn-Übergang in
einem Abstand angeordnet, um den Leckstrom zu verringern. Durch diese
Positionierung wird die Sperrverzugsladung des Thyristors verringert,
wobei gleichzeitig der Durchlaßspannungsabfall und der Leckstrom nur
minimal vergrößert wird.
In Fig. 2 ist ein im Zentrum zündbarer Thyristor mit einem der Fig. 1
entsprechenden Aufbau dargestellt, welcher
bestrahlt wird, um die Sperrverzugsladung zu verringern. Der Transistor
ist bezüglich der Ausführungsform gemäß Fig. 1 gleichartig ausgebaut,
was durch das Vorstellen einer "1" vor das entsprechende Bezugszeichen
angedeutet ist. Der einzige Unterschied zwischen den beiden
Ausführungsformen besteht in der Positionierung der Zone 125 der
maximalen Störstellenerzeugung. Diese Zone 125 ist im Anoden-Basis
bereich 116 neben dem Anoden-pn-Übergang 120 ausgebildet. Dabei
befindet sich diese Zone in einem Abstand von weniger als einem Viertel
der Dicke des Anoden-Basisbereichs neben dem Anoden-pn-Übergang 120
zwischen diesem Übergang und dem Blockier-pn-Übergang 119. Bei einem
Leistungsthyristor beträgt dieser Abstand weniger als etwa 20 µm vom
Anoden-pn-Bereich 120. Auch in diesem Fall ist die Zone der maximalen
Störstellenerzeugung in einem gewissen Abstand zum Anoden-pn-
Übergang 120 angeordnet, um ein Ansteigen des Leckstroms zu
vermeiden.
Obwohl somit die Positionierung der Zone der maximalen Störstellen
erzeugung in der Nähe des Anoden-pn-Übergangs 20 bzw. 120 auf beiden
Seiten alternativ vorgesehen ist, wird die Positionierung im Anoden-
Basisbereich bevorzugt , da hierfür eine höhere Dosis und eine höhere
Energie benötigt wird, um die Störstellenerzeugung im Anoden-
Emitterbereich mit der höheren Störstellenkonzentration bewirken zu
können.
Eine bevorzugte Positionierung der Zone maximaler Störstellenerzeugung
in einem typischen Leistungstransistor ist in Fig. 3 dargestellt, wobei
eine Bestrahlung mit monoenergetischen Alphateilchen mit einer
Intensität von 10,2 MeV erfolgt. Wie man aus der Darstellung entnehmen
kann, befindet sich die Zone der maximalen Störstellenerzeugung in
einer Tiefe von etwa 61 µm von der Hauptfläche aus gerechnet, durch
welche die Strahlung eintritt. Die Zone verläuft in dem Anoden-
Basisbereich in einem Abstand von etwa 9 µm von dem Anoden-pn-
Übergang. Die Halbwärtsbreite der Störstellenstrahlung beträgt etwa
1,3 µm.
Zur Erläuterung des Erfolges durch das Verfahren nach der Erfindung gemäß den Fig. 2
und 3 wurden zwei Gruppen von je 20 Leistungsthyristoren vom Typ T62
NBH mit monoenergetischen Alphateilchen von einem Van der Graaff-
Beschleuniger aus mit einer Intensität von 10,2 MeV bestrahlt. Jede
Gruppe wurde einer Dosis von 3,72 × 10¹⁰ Alphateilchen/cm³
ausgesetzt. Die zweite Gruppe wurde anschließend mit Alphateilchen
mit einer Energiedichte von 15 MeV zusätzlich bestrahlt, was einer
Dosis von 1,24 × 10¹⁰ Alphateilchen/cm³ entspricht. Mit der zweiten
Bestrahlung sollte festgestellt werden, welchen Einfluß die Alphateilchen
mit der Energiedichte von 17 MeV zur Störstellenerzeugung auf die
Sperrverzugsladung hat.
Die Sperrverzugsladung jedes einzelnen Thyristors wurde vor und nach
der Bestrahlung in (Mikrocoulombs) ausgemessen. Der Mittelwert der
Sperrverzugsladung für jede Gruppe nach der Bestrahlung ist mit der
prozentualen Verringerung der Sperrverzugszeit in der nachfolgenden
Tabelle angegeben.
Aus dieser Tabelle ergibt sich, daß die Sperrverzugsladung in beiden
Fällen durch die Bestrahlung erheblich verringert werden konnte. Der
Durchbruchspannungsabfall VTM und die Leckstromänderungen waren bei
diesen Energien und Strahlungsmengen jedoch trotzdem verhältnismäßig minimal.
Zur weiteren Erläuterung wurden Leistungs
thyristoren mit Protonen bestrahlt, wobei die Bestrahlung mit
verschiedenen Energien durch eine 11 µm dicke Aluminium-Streufolie
erfolgt. Der Unterschied in den Energien wurde derart ausgewählt, daß
sich die Position der maximalen Störstellenerzeugung in der Nähe des
Anoden-pn-Übergangs im Anoden-Basisbereich einerseits und Anoden-Emitterbereich
andererseits einstellte.
Es wurden sieben Gruppen von Leistungsthyristoren mit jeweils 5 bis 10
Einheiten pro Gruppe verwendet. Der Anoden-pn-Übergang eines jeden
Thyristors wurde innerhalb vorgegebener Grenze bei einem Abstand von
236 µm festgelegt. Die Bestrahlung erfolgt durch eine Streufolie mit
Protonen bei Energien von 5,2; 5,4; 5,6; 5,8; 6,0; 6,2; und 6,6 MeV. Bei
einer Energie von 5,8 MeV ergab sich die errechnete Position der
maximalen Störstellenerzeugung am Anoden-pn-Basisbereich, wogegen
die anderen Energien dazu geeignet waren, die maximale
Störstellenerzeugung beiderseits dieses Übergangs in Schritten von 15 µm
auszubilden.
Die Sperrverzugsladung Qrr sowie die Umschaltzeit tq und der
Durchlaßspannungsabfall VTM wurden sowohl vor als nach der
Bestrahlung mit den unterschiedlichen Dosen ausgemessen. Die
Meßergebnisse sind in den Fig. 4, 5 und 6 dargestellt, welche die
Abhängigkeit des Durchlaßspannungsabfalls einerseits und
Sperrverzugsladung und andererseits von der Umschaltzeit sowie von der
Abhängigkeit der Sperrverzugsladung von der Umschaltzeit darstellen.
Aus Fig. 4 läßt sich entnehmen, daß sich die Sperrverzugsladung
drastisch mit nur einer geringen Vergrößerung des Durchlaßspannungs
abfalls verringern läßt. Außerdem erkennt man, daß die Positionierung
der maximalen Störstellenerzeugung in der Nähe des Anoden-pn-
Übergangs sowohl in dem Anoden-Basisbereich als auch im Anoden-
Emitterbereich nur eine geringe Änderung der elektrischen Eigenschaften
mit sich bringt. Geringfügig bessere charakteristische Werte ließen sich
bei einer Energie von 6,0 MeV erzielen, bei welchem sich die Summe der
maximalen Störstellenerzeugung im Anoden-Emitterbereich etwa 15 µm
von dem Anoden-pn-Übergang einstellt. Fig. 4 zeigt jedoch auch, daß eine
große Änderung der Sperrverzugsladung mit einer geringeren Dosis
erzielbar ist, indem die Zone maximaler Störstellenerzeugung im
Anoden-Basisbereich positioniert wird, wodurch sich eine sehr
vorteilhafte Ausführungsform ergibt.
Aus den Darstellungen gemäß den Fig. 5 und 6 läßt sich überdies zeigen,
daß sich die Energie der Bestrahlung auch zur Optimierung der Beziehungen zwischen der
Umschaltzeit und dem Durchlaßspannungsabfalls einerseits oder
zwischen der Umschaltzeit und der Sperrverzugszeit andererseits
auswählen läßt. Auch hier ergeben sich nur geringe Unterschiede, wobei
das Energieniveau von 6,0 MeV nur geringfügig bessere Werte zeigt,
Aus Fig. 6 läßt sich entnehmen, daß die Umschaltzeit durch die
Bestrahlung nur in einem sehr unwesentlichen Umfang verringert wurde.
Die Verringerung beträgt etwa den Faktor 1/2 für die gesamte Strahlungsdosis. Es
wird angenommen, daß dies deshalb der Fall ist, weil die Bestrahlung die
Stromverstärkung im Anoden-Basisbereich wesentlich verändert, ohne
gleichzeitig die Trägerlebensdauer im Kathoden-Basisbereich
wesentlich zu beeinflussen.
Claims (1)
- Verfahren zum Herstellen eines Thyristors, bei dem durch Bestrahlung mit Ionen durch eine Hauptfläche die Sperrverzugsladung ohne wesentliche Ver größerung des Durchlaßspannungsabfalls durch Störstellenerzeugung in der Nähe eines pn-Übergangs verringert wird, wobei die Lage der Störstellenzone durch die Bestrahlungsenergie der Ionen bestimmt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestrahlungsenergie so gewählt wird, daß die Lage der maximalen Störstellenkonzentration entweder im Anoden-Basisbereich innerhalb eines Abstandes von 20 Üm vom Anoden-pn-Übergang oder im Anoden-Emitter bereich innerhalb eines Abstandes von 15 µm vom Anoden-pn-Übergang liegt.
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