DE3120942A1 - "telezentrische beleuchtungsanordnung" - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Beleuchtungsanordnung für telezentrische Beleuchtung
gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1. Die Erfindung betrifft
speziell eine telezentrische Zoom-Beleuchtungsanordnung, die in der Lage ist, den beleuchteten Flächenbereich
kontinuierlich zu ändern.
Bisher wurden telezentrische Beleuchtungsanordnungen in optischen Instrumenten, wie z. B. einem Projektions-Untersuchungsinstrument
dazu verwendet, den Einfluß des Fokussierfehlers auf die Messung zu minimieren. Um
stets helle projizierte Bilder unabhängig von der Vergrößerungsänderung des Objektivs zu erhalten, wurden
ferner verschiedene Systeme für die Änderung der Vergrößerung vorgeschlagen. Ein Beispiel hierfür ist das
sog. Zoomsystem, welches in der Lage ist, die beleuchtete Fläche mit dem Ändern der Vergrößerung des Objektivs zu
ändern. Im allgemeinen jedoch besitzt das Untersuchungsinstrument einen speziellen Aufbau, der eine relativ
große Entfernung von der Beleuchtungslinse zur Oberfläche der zu untersuchenden Probe, d. h. zur Brennebene der
Projektionslinse, benötigt. Dieses Erfordernis stellt ein schwieriges Problem bei dem Entwurf der für ein solches
optisches Instrument geeigneten Beleuchtungsanorclnung dar.
Speziell trat bei herkömmlichen Beleuchtungsanordnungen das Problem auf, daß diese Anordnungen nicht in der Lage
waren, die Randstrahlen des für die. Beleuchtung verwendeten Lichts wirksam zu nutzen.
Fig. 1A-1C zeigen ein Beispiel einer herkömmlichen Beleuchtungsanordnung.
Fig. 1A zeigt den Zustand der Beleuchtung bei starker Vergrößerung, Fig. 1B den Zustand für mittlere
Vergrößerung und Fig. 1C für schwache Vergrößerung. Wie man aus den Fig. 1A bis 1C erkennt, verringern sich die für die
Beleuchtung zur Verfügung stehenden Randstrahlen nach und nach mit dem Ändern der Vergrößerung auf eine starke Vergrößerung
hin, bei der die Fläche der zu beleuchtenden Probenoberfläche (O) kleiner wird. Folglich vermindert sich die
Wirksamkeit der Beleuchtung entsprechend starker Vergrößerung, Im Falle mittlerer Vergrößerung (Fig. 1B) und schwacher Vergrößerung
(Fig. 1C) ist die zusammengesetzte Brennweite des Gesamt-Beleuchtungssystems relativ groß, und der Strahldurchmesser
des von der Lichtquelle (S) zur Probenoberfläche (0) laufenden Beleuchtungslichts ist groß. Weiterhin ist der
Winkel, den durch gestrichelte Linien angedeutete schräge Strahlen mit der optischen Achse bilden, relativ klein.
Folglich ist der Ausfall von Randstrahlen auf der Probenoberfläche (0) in diesen Fällen nicht so groß.
Bei starker Vergrößerung hingegen (vergl. Fig. 1A) ist die
^:l.-. v.o. Brennweite kurz, und der Strahldurchmesser
wird klein. Der Winkel, den der Hauptstrahl (P) des schrägen Stfahlenbündels mit der optischen Achse bildet, ist groß. Die
schrägen Strahlen liegen vollständig außerhalb der Probenoberfläche (O) und deshalb ist die Wirksamkeit der Beleuchtung
in diesem Fall in hohem Maße herabgesetzt.
Um das Problem einer derartigen schwachen Beleuchtungswirksamkeit bei starker Vergrößerung zu lösen, war man bei den meisten
herkömmlichen Vorrichtungen in der Praxis verpflichtet, ein Kondensor-Beleuchtungssystem zu verwenden. Da diese Lösung jedoch
nicht der Bedingung telezentrischer Beleuchtung genügt, war ein solches Beleuchtungssystem niemals zufriedenstellend, insbesondere
nicht bei Präzisionsinstrumenten wie beispielsweise optischen Meßgeräten.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, eine Beleuchtungsanordnung
der eingangs genannten Art anzugeben, bei der die oben angegebenen Nachteile vermieden sind und mit der
in einem weiten Vergrößerungs-Schwankungsbereich zwischen schwacher und starker Vergrößerung eine telezentrische Beleuchtung
bei stets hoher Wirksamkeit erzielbar ist, wobei eine ausreichend große Entfernung zwischen der Beleuchtungslinse und der Probenoberfläche beibehalten wird.
Die se Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden
Teil des Anspruchs 1 bzw. des Anspruchs 4 angegebenen Merkmale gelöst.
Bei der erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung werden
also die zweite und dritte Linsengruppe entlang der optischen Achse bewegt, während ein Bild der Lichtquelle
an einem Punkt zwischen der ersten und dritten Gruppe erzeugt wird, um dadurch kontinuierlich den Zustand der
telezentrischen Beleuchtung zwischen dem Zustand für starke Vergrößerung und dem Zustand für schwache Vergrößerung
zu ändern.
Speziell wird im Fall starker Vergrößerung, bei der ein Bild der Lichtquelle zwischen der ersten und zweiten Gruppe
durch die zweite, dritte und vierte Gruppe gebildet wird, die zweite und dritte Gruppe versetzt, während die Lage
des Bildes der Lichtquelle mit dem Brennpunkt der ersten Gruppe auf der Seite der Lichtquelle zusammenfällt. Im Falle
schwacher Vergrößerung kommt die zweite Gruppe näher an die erste Gruppe, geht über das Bild der Lichtquelle, und das
Bild der Lichtquelle wird dann zwischen der zweiten und dritten Gruppe von der dritten und vierten Gruppe gebildet; die zweite
und dritte Gruppe werden kontinuierlich versetzt, während die Lage des Bildes der Lichtquelle mit dem Brennpunkt des auf der
ersten und zweiten Gruppe zusammengesetzten Systems auf der
Seite der Lichtquelle zusammenfällt.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es
zeigen:
Fig. 1A-1C ein Beispiel einer herkömmlichen Beleuchtungsanorndung und
Fig. 2A-2D eine erfindungsgemäße telezentrische
Beleuchtungsanorndung.
Fig. 2A-2D zeigen die grundsätzliche Anorndung eines Ausführungsbeispiels
der Erfindung. Wie man aus den Fig. 2A-2D ersieht, setzt sich die Beleuchtungsanordnung aus einer
erste Linsengruppe L-, einer zweiten Linsengruppe L„, einer
dritten Linsengruppe L. und einer vierte Linsengruppe L.. zusammen, die in der genannten Reihenfolge - betrachtet von
der Seite des zu beleuchtenden Objekts (O) - angeordnet sind. Die erste Gruppe ist eine Sammellinsengruppe und stationär.
Die zweite Gruppe ist eine Zerstreuungslinsengruppe und entlang der optischen Achse beweglich. Die dritte Gruppe ist
eine Sammellinsengruppe und entlang der optischen Achse beweglich. Die vierte Gruppe ist eine Sammellinsengruppe und
stationär. Im Brennpunkt der vierte Gruppe L. ist eine Lichtquelle S angeordnet. Durch Anordnen der Lichtquelle in der
Lage wird zwischen der dritten und vierten Gruppe L und L.
ein paralleles System geschaffen, und das Bild der Lichtquelle S wird einmal zwischen der ersten und dritten Gruppe
L1 bzw. L_ innerhalb der Linsenanordnung erzeugt. Das erzeigte
Bild der Lichtquelle ist in Fig. 2 mit S1 bezeichnet.
Fig. 2A zeigt die Stellung für eine Beleuchtung bei starker
Vergrößerung, wobei eine (nicht dargestellte) stark vergrößernde Projektionslinse verwendet wird. In dieser Lage
liegt erfindungsgemäß die zweite Linsengruppe L2 zwischen
dem Brennpunkt F_ der dritten Gruppe L., auf der Seite des
beleuchteten Objekts und der dritten Gruppe. Weiterhin wird in dieser Stellung das Bild S' der Lichtquelle am Brennpunkt
F1 der erste Gruppe L1 auf der Seite der Lichtquelle erzeugt.
Der Hauptstrahl P der schrägen Strahlen, die durch gebrochene Linien dargestellt sind, erreicht die Mitte der Oberfläche
des Objekts O. Für diese Stellung der Anordnung ergibt sich die Vergrößerung ß des Bildes S1 der Lichtquelle zu:
ß =
wobei f_-, die zusammengesetzte Brennweite der zweiten und
dritten Gruppe L_ und L- und f. die Brennweite der vierten Gruppe L. sind. Wenn φ den Zerstreuungswinkel des Strahlenbündcls
auf der Seite; der I.ichtquol.1 ο und &' den Winkel
des Lichtbündels auf der Bildseite der Lichtquelle bezeichnen, dann gilt tandJ = -x tanOUVorausgesetzt, daß die Lage
des Bildes der Lichtquelle mit dem Brennpunkt der ersten Gruppe L1 zusammenfällt, ergibt sich daher der Durchmesser
des beleuchteten Gesichtsfeldes 0 zu:
0 = f
Da das wirksame Gesichtsfeld bei schwacher Vergrößerung gewöhnlich
relativ groß ist, muß die Brennweite f.. der ersten Gruppe begrenzt werden, um Aberrationen in einem bevorzugten
Bereich zu halten. Aus diesem Grund ist es, um den Strahlbündeldurchmesser des Beleuchtungslichts zum Erzielen einer
wirksamen Beleuchtung für starke Vergrößerung so weit wie möglich an das schmale Gesichtsfeld anzunähern, notwendig,
daß die Vergrößerung ß des Bildes der Lichtquelle groß ist, und daß der Zerstreuungswinkel &.' klein ist. Erfindungsgemäß
kann dies auf einfache Weise dadurch realisiert werden, daß die Brennweiten der zweiten und dritten Linsengruppe L0 und
L^ sowie der Abstand zwischen den beiden Gruppen L„ und L-in
geeigneter Weise festgelegt werden.
Wie bereits erwähnt wurde, ist es für die Beleuchtung bei starker Vergrößerung notwendig, das Licht als Beleuchtungsstrahlenbündel
voll auszunutzen, und zwar einschließlich der
6/7
Randstrahlen. Um dies zu erreichen, sollte die Austrittspupille in der Nachbarschaft der Oberfläche des Objekts (O)
gebildet werden. Bei der Linsenanordnung gemäß der vorliegenden Erfindung kann die wirksame Ausnutzung sämtlicher
Lichtstrahlen in vorteilhafter Weise dadurch realisiert werden, daß in der Nachbarschaft der vierten Linsengruppe L.,
die am nächsten an der Lichtquelle S4 liegt, eine Blende
oder deren Äquivalent vorgesehen wird, und daß ein Bild der Blende oder deren Äquivalent in der Nachbarschaft der Oberfläche
-des Objekts (0) erzeugt wird. In der Praxis übernimmt die Öffnung der vierten Linsengruppe L4 selbst die Rolle
einer solchen Blende (stop). Bei der erfindungsgemäßen Anordnung wird das Zerstreuungs-Brechvermögen der zweiten Gruppe
relativ hoch, um ein großes Änderungsverhältnis der Vergrößerung zu erreichen. Wenn sich daher das System in der Lage befindet,
in der eine starke Vergrößerung zur Linse verwendet wird, liegt das Bild (das virtuelle Bild) der Blende, das von dem
aus der zweiten und dritten Gruppe L„ und L zusammengesetzten
System erzeugt wird, in der Nachbarschaft der zweiten Gruppe, und zwar auf der Seite der dritten Gruppe. Das von der ersten
Gruppe L1 erzeugte Bild der Blende liegt an einer von dem
Brennpunkt der ersten Gruppe auf der Objektseite entfernten Stelle. Da das Bild der Blende an einer von dem Brennpunkt
der ersten Gruppe L. entfernten Stelle gebildet wird, ist es
möglich, rl if Lage der Austritt ερυ;'U ] π im wesentlichen mit
dor Ob j okt ebene1 selbst dcinn zusamiiionfcil len zu lassen, wenn
7/8 BAD ORIGINAL
eine ausreichend große Entfernung von der ersten Linsengruppe L1 bis zu der Objektebene (O) eingestellt ist, wie
es für ein Projektions-Untersuchungsgerät erforderlich ist.
Der Abstand zwischen der zweiten und dritten Gruppe L„
bzw. L_ wird dadurch erhöht/ daß die Vergrößerung in Richtung auf schwächere Vergrößerung geändert wird, wie in Fig. 2B
dargestellt ist. Ferner werden die zweite und dritte Gruppe individuell derart bewegt, daß das Bild S1 der Lichtquelle
mit dem Brennpunkt F1 der ersten Gruppe L. zusammenfällt.
Dieses Erhöhen des Abstands zwischen L^ und L^ führt zu einer
Abnahme der Brennweite f„o des zusammengesetzten Systems L2
und L,, wodurch wiederum die Vergrößerung ß des Bildes der
Lichtquelle herabgesetzt wird. Daher wird der Zerstreuungswinkel (λ1 des Strahlenbündels auf der Seite des Bildes der
Lichtquelle größer, und man erhält einen größeren Beleuchtungsstrahl, wie es für die Beleuchtung bei schwacher Vergrößerung
erforderlich ist.
Im allgemeinen ist bei Projektions-Untersuchungsgeräten die
Vergrößerung in einem weiten Bereich zwischen schwacher und starker Vergrößerung variabel. Um daher ein Projektions-Untersuchungsgerät
mit optimalen: Beleuchtung bei einer speziell ausgewählten Vergrößerung zu erhellten, muß auch das
Beleuchtungssystem einen breiten Schwankungsboraich für die Vergrößerung aufweisen. Um den notwendigen breiten Schwan-
8/9 ~
kungsbereich für die Vergrößerung in der erfindungsgemäßen
Anordnung zu erhalten, ist die Beleuchtungsanordnung so ausgebildet, daß die zweite Gruppe L„ über den Brennpunkt
F1 der ersten Gruppe L1 hinausbewegt werden kann, wie in
den Figuren 2C und 2D zu sehen ist. Die zweite und dritte Gruppe werden derart bewegt, daß das Bild S1 der Lichtquelle
mit dem Brennpunkt F12 des aus der ersten und zweiten Gruppe
L1 und L zusammengesetzten Systems zusammenfällt. In diesem
Fall ist die Vergrößerung ß' des Bildes der Lichtquelle gegeben durch:
ß1 = f 3/f4=: konstant (>ß)
wobei f^ die Grennweite der dritten Gruppe L_ ist.
Für den Zerstreuungswinkel &" des Strahlenbündels auf der
Seite des Bildes der Lichtquelle gilt
tan*." = —-, · tanol( <*!'>a) .
Der Durchmesser 01 des nun beleuchteten Gesichtsfels ergibt
sich durch:
0 = f12· tan*/1
wobei f.« die Brennweite des aus L. und L_ zusammengesetzten
Systems ist.
Folglich wird der Durchmesser 0 mit ansteigendem Wert von
f 2 durch vermindern des Abstandes zwischen der ersten und zweiten Gruppe L1 bzw. L~ größer.
Unter den vier in den Figuren 2A bis 2D dargestellten Stellungen ist lediglich die in Fig. 2A für starke Vergrößerung
dargestellte Stellung diejenige, in der die schrägen Strahlen korrekt die Mitte der Objektebene (O)
erreichen können. Jedoch kann auch in den anderen Stellungen gemäß Fig. 2B, 2C und 2D für schwächere Vergrößerungen die
Randfläche der Objektoberfläche in für praktische Zwecke ausreichender Weise beleuchtet werden, weil der Strahlenbündeldurchmesser
größer wird und der VJinkel der schrägen Strahlen in diesen Stellungen kleiner wird. Daher kann
mit der erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung das zu untersuchende Objekt nicht nur bei starker Vergrößerung
sondern auch bei schwacher Vergrößerung wirksam beleuchtet werden. Da bei der erfindungsgemäßen Anordnung weiterhin
die Gruppe L„ über dem Brennpunkt der ersten Gruppe L1
hinausbewegt werden kann, besitzt die Beleuchtungsanordnung einen weiteren Schwankungsbereich der Vergrößerung als bei
herkömmlichen Anordnungen. Die numerische Apertur (N.A) der Beleuchtungsanordnung schwankt abhängig von der Größe
des beleuchteten Gesichtsfeldes.
Als ein konkretes Beispiel des oben unter Bezugnahme auf
die Figuren 2A bis 2D beschreibenen Beleuchtungssystems sind nachstehend die numerischen Daten bezüglich der
jeweiligen Leistungsaufteilung der Gruppen in Form von
Tabellen dargestellt, wobei L., L„, L_. und L4 die erste,
z/weite, dritte bzw. vierte Linsengruppe und f., f „, f3 und
f. die Brennweiten der entsprechenden Gruppen sind.
Vergrößerungsänderungsverhältnis 7,6
f1 = 90,0
f2 = -28,8
f3 = 128,6
f4 = 45,0
Erste Stellung (Fig.2A) für starke Vergrößerung |
Zweite Stellung (Fig.2B) für mittlere bis starke Vergrößerung |
|
Abstand zwischen L. und Ln |
131,3 | 111,6 |
Abstand zwischen L0 und L-, |
111,6 | 116,2 |
Abstand zwischen L3 und L4 |
23,6 | 38,7 |
Dritte Stellung Vierte Stellung
(Fig.2C) für (Fig.2D) für
mittlere bis schwache schwache
Vergrößerung Vergrößerung
83,2
137,4
45,9
70,4
189,8
6,3
NJ CD CD
Wie man aus der vorstehenden Erläuterung leicht ersieht, schafft die vorliegende Erfindung eine telezentrische
Beleuchtungsanordnung, die es ermöglicht, die Vergrößerung in einem breiten Schwankungsbereich zwischen schwacher Vergrößerung
und starker Vergrößerung zu ändern, während eine ausreichend große Entfernung von dem zu beleuchtenden Objekt
beibehalten wird. Hierdurch wird stets eine gute und in hohem Maße wirksame telezentrische Beleuchtung in dem
breiten Vergrößerungs-Schwankungsbereich gewährleistet. Die telezentrische Beleuchtungsanordnung kennt !verschiedene
Anwendungsfälle. Wenn die Beleuchtungsanordnung in einem
Projektions-Untersuchungsgerät eingesetzt werden soll, welches für gewöhnlich an einem relativ hellen Ort eingesetzt
wird, kann die Probe gut und hell beleuchtet werden, so daß stets eine gute Beobachtung gewährleistet ist, selbst
wenn eine stark vergrößernde Projektionslinse des Instruments verwendet wird. Das erfindungsgemäße Beleuchtungssystem kann
auch in einem Werksmikroskop und ähnlichen Instrumenten eingesetzt werden, die eine telezentrische Beleuchtung
benötigen, wenn das oben geschilderte Ausführungsbeispiel
etwas modifiziert wird. Selbstverständlich ist die erfindungsgemäße Anordnung auch sinnvoll als Beleuchtungssystem für
ein herkömmliches Mikroskop, wenn die Beziehung zwischen N.A. und dem Gesichtsfels geeignet ausgewählt wird.
/9.
Leerseite
Claims (5)
- Patentansprüche1 Beleuchtungsanordnung für telezentrische Beleuchtung in einem breiten Vergrößerungs-Schwankungsbereich unter Beibehaltung einer großen Entfernung von dem zu beleuchtenden Objekt, . .
dadurch gekennzeichnet,daß eine erste, Sammellinsengruppe (L.) vorgesehen ist, die stehenbleibt, wenn die Vergrößerung geändert wird, daß eine zweite, Zerstreuungslinsengruppe (L3) entlang der optischen Achse beweglich vorgesehen ist, daß eine dritte, Sammellinsengruppe (L3) entlang der optischen Achse beweglich vorgesehen ist, daß eine vierte, Sammellinsengruppe (L.) vorgesehen ist, die stehenbleibt, wenn die Vergrößerung geändert wird, daß im Brennpunkt der vierten Linsengruppe (L4) eine Lichtquelle (S) angeordnet ist, daß die erste bis Vierte Gruppe sowie die Lichtquelle in der genannten Reihenfolge - betrachtet vom Objekt (0) aus - angeordnet sind, und daß die zweite und dritte Gruppe (L„, L3) entlang der optischen Achse derart in vorbestimmter Beziehung bewegt werden, daß ein Bild der Lichtquelle zwischen der ersten und dritten Gruppe entsteht, um dadurch den Beleuchtungs'-zustand zwischen demjenigen für starke und demjenigen für schwache Vergrößerung zu ändern. - 2. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 ,dadurch gekennzeichnet, daß die zweite und dritte Gruppe (Ii , L-.) entlang der optischen Achse derart bewegbar sind, daß, wenn das Bild der Lichtquelle zwischen der ersten und zweiten Gruppe liegt, die Lage des Bildes mit dem Brennpunkt auf der der Lichtquelle zugewandten Seite der ersten Gruppe zusammenfallen kann, und daß, wenn das Bild zwischen der zweiten und dritten Gruppe (L9, L_) liegt, die Lage des Bildes mit dem Brennpunkt des aus der ersten und zweiten Gruppe zusammengesetzten Systems auf der der Lichtquelle (S) zugewandten Seite zusammenfallen kann.
- 3. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 2,dadurch gekennzeichnet, daß die erste bis vierte Linsengruppe folgende numerischen Daten aufweisen:Vergrößerungsänderungsverhältnis 7,6ft = 90,0 f2 = -28,8 f3 = 128,6 f4 = 45,0Erste Stellung (Fig.2A) für starke VergrößerungZweite Stellung
(Fig.2B) für
mittlere bis starke
VergrößerungDritte Stellung Vierte Stellung(Fig.2C) für (Fig.2D) fürmittlere bis schwache schwacheVergrößerung VergrößerungAbstand zwischen L1 und L0 131,3111,683,270,4Abstand zwischen L0 und L0 111,6116,2137,4189,8Abstand zwischen L, und L„ 23,638,745,96,3wobei L., L , L- und L die erste, zweite, dritte bzw. vierte Linsengruppe bedeuten und f., f„, f und f. die Brennweiten der ersten, zweiten, dritten bzw. vierten Linsengruppe sind. - 4. Beleuchtungsanordnung, bei der der Bereich der zu beleuchtenden Fläche zwischen einer schmalen Fläche der Oberfläche eines zu beleuchtenden Objekts und einer großen Flächeder Oberfläche des Objekts schwankt,gekennzeichnet durch eine erste, Sammellinsengruppe, die bei Verändern der Vergrößerung stehenbleibt, eine zweite, Zerstreuungslinsengruppe sowie eine dritte, Sammellinsengruppe, die entlang der optischen Achse in bezug aufeinander in einem vorbestimmten Verhältnis bewegbar sind, und eine Lichtquelle (S, L.), mit der parallele Lichtstrahlen an die dritte Gruppe gebbar sind, wobei die zweite und dritte Gruppe derart bewegt werden, daß die von der Lichtquelle kommenden parallelen Strahlen zwischen der ersten und dritten Gruppe fokussiert werden können, um dadurch wirksam die beleuchtete Fläche zu ändern.
- 5. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 4,dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle eine Sammellinsengruppe (L4) und ein im Brennpunkt der Sammellinsengruppe angeordnetes Lichtquellenelement (S) enthält.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6899780A JPS56165111A (en) | 1980-05-26 | 1980-05-26 | Telecentric illuminating system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3120942A1 true DE3120942A1 (de) | 1982-04-29 |
Family
ID=13389802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3120942A Withdrawn DE3120942A1 (de) | 1980-05-26 | 1981-05-26 | "telezentrische beleuchtungsanordnung" |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4386828A (de) |
JP (1) | JPS56165111A (de) |
DE (1) | DE3120942A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3623114A1 (de) * | 1985-07-12 | 1987-01-22 | Olympus Optical Co | Endoskop |
EP1046073B1 (de) | 1998-01-14 | 2015-04-08 | Leica Microsystems CMS GmbH | Verfahren zur abstimmung des beleuchtungsstrahlengangs eines konfokalen mikroskops auf die eintrittspupille eines objektivs |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57208523A (en) * | 1981-06-19 | 1982-12-21 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Telecentric variable magnification lighting system |
JPS5878115A (ja) * | 1981-11-04 | 1983-05-11 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | テレセントリツク照明用補助コンデンサ−レンズ |
JPS58108417U (ja) * | 1982-01-18 | 1983-07-23 | 株式会社ミツトヨ | 投影装置用照明光学系 |
JPS58150924A (ja) * | 1982-03-04 | 1983-09-07 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 二重共役維持光学系 |
JPS63316817A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 変倍可能なテレセントリック結像光学系 |
JPH09311278A (ja) | 1996-05-20 | 1997-12-02 | Nikon Corp | 反射屈折光学系 |
JP3360387B2 (ja) * | 1993-11-15 | 2002-12-24 | 株式会社ニコン | 投影光学系及び投影露光装置 |
US5461228A (en) * | 1994-04-07 | 1995-10-24 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Optical inspection of container dimensional parameters using a telecentric lens |
JP3395801B2 (ja) | 1994-04-28 | 2003-04-14 | 株式会社ニコン | 反射屈折投影光学系、走査型投影露光装置、及び走査投影露光方法 |
USRE38438E1 (en) | 1994-08-23 | 2004-02-24 | Nikon Corporation | Catadioptric reduction projection optical system and exposure apparatus having the same |
US5610391A (en) * | 1994-08-25 | 1997-03-11 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Optical inspection of container finish dimensional parameters |
JPH08179204A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-07-12 | Nikon Corp | 投影光学系及び投影露光装置 |
JP3454390B2 (ja) | 1995-01-06 | 2003-10-06 | 株式会社ニコン | 投影光学系、投影露光装置及び投影露光方法 |
US6243212B1 (en) | 1999-07-30 | 2001-06-05 | Amarel Precision Instruments, Inc. | Telecentric zoom lens |
US6256095B1 (en) | 2000-01-21 | 2001-07-03 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Container sealing surface area inspection |
EP3674771A1 (de) * | 2018-12-27 | 2020-07-01 | Leica Instruments (Singapore) Pte. Ltd. | Optisches system und verfahren zur abbildung eines objekts |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3399014A (en) * | 1965-03-22 | 1968-08-27 | Bausch & Lomb | Zoom type lens system for microprojectors having constant brightness of image |
US3549230A (en) * | 1967-03-15 | 1970-12-22 | Nippon Kogaku Kk | Zooming device for adjusting the light amount of a formed image |
JPS4511946Y1 (de) * | 1967-03-29 | 1970-05-27 |
-
1980
- 1980-05-26 JP JP6899780A patent/JPS56165111A/ja active Granted
-
1981
- 1981-05-13 US US06/263,174 patent/US4386828A/en not_active Expired - Lifetime
- 1981-05-26 DE DE3120942A patent/DE3120942A1/de not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3623114A1 (de) * | 1985-07-12 | 1987-01-22 | Olympus Optical Co | Endoskop |
EP1046073B1 (de) | 1998-01-14 | 2015-04-08 | Leica Microsystems CMS GmbH | Verfahren zur abstimmung des beleuchtungsstrahlengangs eines konfokalen mikroskops auf die eintrittspupille eines objektivs |
DE19901219B4 (de) * | 1998-01-14 | 2017-10-19 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Optische Anordnung im Beleuchtungsstrahlengang eines Auflichtmikroskops |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0428084B2 (de) | 1992-05-13 |
JPS56165111A (en) | 1981-12-18 |
US4386828A (en) | 1983-06-07 |
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---|---|---|
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