DE2401740C2 - Binokulares Stereomikroskop - Google Patents

Description

oder Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation der folgenden Größen entstehen, aufweisen

1. 0,19/</< 0,28/;

2. 0,23 f < Rs < 0.28 f,

3. 0,24 f < \R₆\ < 0.26 f. /?* < 0,

4. 0,043 f<d₃ + ώ. < 0,061 /,

5. 0,043 / < dt + ώ < 0,061 ί und

6. {< \h\ <bf(f_}<0),

worin bedeuten:

/ die Brennweite des Objektivs,

Λ die Brennweite des dritten Linsenglieds,

/ die Gesamtlänge des Objektivs,

R\ — Rto die Krümmungsradien der Linsenflächen

dt—di die Linsen-und Luftspaltdicken,

/7| —/76 die Brechungsindizes, und

»Ί — Vi die Abbe-Zahlen,

jeweils von der Objekt- zur Bildseite gezählt

Die Erfindung betrifft ein binokulares Stereomikroskop für Schrägbetrachtung eines Objekts unter Einhaltung der Scheimpflug-Bedingung durch jedes der beiden optischen Systeme gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1.

Bei der Herstellung von Halbleiterchips mit integrierten Schaltungen werden diese vorzugsweise schräg mit einem binokularen Stereomikroskop betrachtet Eine solche perspektivische Betrachtung des Objekts mit Hilfe der bekannten Stereomikroskope hat jedoch den Nachteil, daß wegen der Schärfentiefe und der Bildfehler nur der mittlere Teil des Bilds hinreichend scharf beobachtet werden kann, weshalb Objektive mit superweiter Feldapertur sinnvoll nicht eingesetzt werden können. Das gilt auch dann, wenn für jedes optische System die Scheimpflugbedingung für schräge Betrachtung erfüllt ist, weil die optischen Achsen der beiden optischen System mit den optischen Achsen der jeweiligen Objektive zusammenfallen. Es entsteht das Bild des in der eo Objektebene angeordneten Objekts nicht genau senkrecht zur optischen Achse des Mikroskops in der vorderen Brenn- oder Beobachtungsebene des Okulars.

Die optischen Achsen beider optischen Systeme des Stereomikroskops sind gegenüber der Objektebene geneigt und schneiden sich in ihr unter einem Konvergenzwinkeln in einem Schnittpunkt Der Konvergenzwinkel hat meist einen kleinen Wert von etwa 3° bis 6", wodurch die Verschiebung des Bilds unbedeutend ist so daß es möglich ist, eine nahe dem Beobachtungsmitteipunkt bzw. Schnittpunkt befindliches Objekt ohne Behinderung zu betrachten. Ein solcher kleiner Konvergenzwinkel führt aber bereits an der Peripherie des Bildfeldes zu einer schlechteren Bildqualität, so daß eine gute Beobachtung nicht mögich ist Um diesen Randfehler nicht

24 Ol 740

augenscheinlich werden zu lassen, hat man die Feldaperatur klein gehalten, z. B. auf einen Wert von 22 Φ. Man möchte aber Objektive mit superweiter Feldaperatur von etwa 30 ," verwenden. Dies ist aber nicht sinnvoll, solange die Randbereiche des Bildfelds nicht ausreichend scharf und verzerrungsfrei abgebildet werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein binokulares Stereomikroskop für eine Schrägbetrachtung eines Objektivs unter Berücksichtigung der Scheimpflugbedingung so auszugestalten, daß es mit superweiter Feldapertur arbeiten kann und dabei die Verschlechterung der Bildqualität an der Peripherie des Beobachtungsfeldes weitgehend unterdrückt.

Ein '^J.iese Aufgabe lösendes Stereomikroskops ist im Patentanspruch 1 gekennzeichnet. Das erfindungsgemäße Stereomikroskop hat die Objektive derart angeordnet, daß die Feldkrümmung an der Peripherie des Objektivs aufrechterhalten wird und in der vorderen Brennebene des Okulars senkrecht zur optischen Achse des optischen Systems liegt, so daß das Bild weitgehend geebnet ist und verzerrungsfrei durch das Okular betrachtet werden kann.

Als Objektive für die optischen Systeme werden vorzugsweise Gaussobjektive verwendet, wie sie in den Patentansprüchen 2 bis 5 gekennzeichnet sind. Gaussobjektive mit dem genannten Aufbau sind an sich bekannt (DE-AS 12 13 140). Bei durch die Werte der Linsenkrümmungen, der Linsendicken und -luftspalte, der Brechungsindizes und der Abbe-Zahlen gemäß den Datentabellen oder von diesen nur im Bereich der Bedingungsgleichungen 1. bis 6. abweichenden Werte gekennzeichneten Objektiven fällt die Feldkrümmung des ObjcKtivs im wesentlichen mit einer Bildebene senkrecht zur optischen Achse jedes optischen Systems zusammen, wodurch verschiedene Aberrationen in der Bildebene wesentlich korrigiert sind, und zwar so, daß die Bildebene zur optischen Achse des Objektivs geneigt ist anstelle senkrecht zu dieser Achse zu liegen. Dies beruht darauf, daß die Objektebene zur optischen Achse jedes optischen Systems des Mikroskops derart konstant geneigt ist, daß die Lage, an der das Bild des Objekts in der Objektebene entsteht, bei der Berechnung berücksichtigt werden kann und daß die optische Achse jedes Objektivs zur optischen Achse des Mikroskops um den im Patentanspruch 1 angegebenen Winkel θ geneigt ist, so daß das Bild der Objektebene jeweils senkrecht in der zur optischen Achse jedes optischen Systems des Mikroskops liegenden Bildebene entsteht. Weil die Aberration an der optischen Achse jedes optischen Systems des Mikroskops der axialen spährischen Aberration entspricht, muß die Coma genügend korrigiert sein. Außerdem muß eine geeignete Feldkrümmung mit einem minimalen Astigmatismus erzeugt werden. Dieses Problem löst das Gauss-Objektiv, dessen asymmetrische Aberrationen so klein sind, daß die achsferne Queraberration genügend korrigiert ist Außerdem ist die Gesamtlänge / des Objektivs verkürzt, um die erwünschte Feldkrümmung zu erzielen. Außerdem sind die Krümmungsradien der beiden einander zugewandten Linsenflächen des zweiten und dritten Linsenglieds, die zu beiden Seiten der Blende liegen, so gewählt, daß der Astigmatismus korrigiert ist.
Die in den Ansprüchen genannten Bedingungsgleichungen haben folgende Bedeutung. Die erste Bedingung 1.0,19 f < I < 0,28 /muß erfüllt sein, um eine ausreichende Bildfeldströmung zu erzeugen. Das dieser Bedingung genügende Objektiv weist eine kürzere Gesamtlänge auf als herkömmliche Objektive. Dies ist ein sehr wichtiges Merkmal des erfindungsgemäßen Gauss-Objektivs. Die Länge soll daher innerhalb der angegebenen Grenzen liegen. Wenn / die obere Grenze von 0,28 / überschreitet, könnte die erwünschte Biidfeldkrümmung nicht erreicht werden, wenn /kleiner als O.iS /ist, würden die anderen Bildfehler vergrößert und nicht durch die anderen Glieder des Objektivs korrigiert werden.

Die Bedingungsgleichung 2.0,23/ < R₅ < 0,28/ und die Bedingungsgleichung 3. 0,24/ < \R₆\ < 0,26/ müssen erfüllt sein, um den Astigmatismus und die Coma zu korrigieren. Wenn die Krümmungsradien R₅ und |/?₆| innerhalb der durch die zweite und dritte Bedingungsgleichung gegebenen Grenzen gewählt werden, sind sowohl der Astigmatismus als auch die Coma gut korrigiert. Wenn R₅ und \R₆\ kleiner als die untere Grenze 0,23 / sind, verschlechtert sich die Coma, und wenn sie größer als die obere Grenze 0,28 /sind, vergrößert sich der Astigmatismus stark.

Die vierte Bedingung 4. 0,043 / < <h + (U < 0,061 / und die fünfte Bedingungsgleichung 5. 0,043 / < df, + di < 0,061 / müssen erfüllt sein, um die notwendige achsferne Längsabberation zu erhalten. Wenn t/₃ + d, und dg + d, innerhalb der durch die vierte und fünfte Bedingungsgleichung gegebenen Grenzen gewählt sind, ist es möglich, die achsferne Längsabberation günstig zu verwirklichen. Wenn d₃ + d» und d₆ + (J₇ so die obere Grenze 0,061 /überschreiten, nimmt die achsferne Aberration ab und die Bildebene wird entsprechend in positiver Richtung verschoben, so daß sie außerhalb der angestrebten Position liegt. Wenn d₃ + d, und d₆ + di kleiner als die untere Grenze 0,043 /sind, nimmt die achsferne Längsaberration zu und entsprechend wird die Bildebene in negativer Richtung verschoben, so daß sie ebenfalls außerhalb der angestrebten Position zu liegen kommt.

Beim Korrigieren der Bildfehler ist es nicht möglich, die astigmatische Differenz über die gesamte Bildebene vollständig zu unterdrücken. Die Verwendung der beschriebenen Daten hat den Vorteil, daß meridionale und saggitale Lichtstrahlen sich zumindest nahe der optischen Achse schneiden, so daß an jedem Ende der Bildebene im wesentlichen ein gleicher und kleiner Astigmatismus entsteht Es wurde gefunden, daß diese astigmatische Differenz über die gesamte Bildebene vollständig unterdrückt werden kann, wenn die resultierende Brennweite /3 des dritten Linsenglieds die Bedingung /< I/3I < 6 f(h < 0) erfüllt

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind anhand einer schematischen Zeichnung näher erläutert, in der zeigt F i g. 1 eine perspektivische Darstellung zur Anordnung der Objektive und Okulare eines binokularen Stereomikroskopobjektivs,

F i g. 2 eine erste Ausführungsform eines Gauss-Objektivs für das Mikroskop nach Fig. 1. F i g. 3 eine zweite Ausführungsform tines Gauss-Objektivs für das Mikroskop nach F i g. 1,

Fig.4A bis 4D graphische Darstellungen der Aberrationen für das Objektiv gemäß Fig.2 und Patentanspruch 2,

Fig.5A bis 5D graphische Darstellungen der Aberrationen des Objektivs gemäß Fig.2 und Patentan-

24 Ol 740

Fi g. 6A bis 6D graphische Darstellungen der Aberrationen des Objektivs gemäß Fig. 2 und Patentanspruch 4,

Fig. 7A bis 7D graphische Darstellungen der Aberrationen des Objektivs gemäß Fig.3 und Patentanspruch 5, und

F i g. 8A bis 8D graphische Darstellungen der Aberration eines herkömmlichen, nicht perspektivisch beobachtenden Objektivs.

F i g. 1 zeigt perspektivisch die Anordnung der Objektive O und O' und Okulare 2 und 2' mit Bezug auf eine Objektebene P eines binokularen Stereomikroskops für Schrägbetrachtung eines Objektivs unter Einhaltung der Scheimpflug-Bedingung durch jedes der beiden optischen Systeme. Die optischen Achsen A bzw. A'der beiden optischen Systeme des Stereomikroskops verlaufen nicht senkrecht zur Objektivebene P sondern geneigt zu ihr und schneidet sich unter einem Konvergenzwinkel <* in ihr in einem Schnittpunkt R. Um Bilder eines in der zu den optischen Achsen A bzw. A' der optischen Systeme des Mikroskops geneigten Objektebene P angeordneten Objektes in zu ihnen senkrechten Bildebenen Q und Q' zu erzeugen, ist es notwendig, die optischen Achsen ßbzw. B'der Objektive Obzw. O'zu den optischen Achsen A bzw. A'des optischen Systems um einen Winkel β derart zu neigen, daß die Fortsetzungen der Hauptebenen der Objektive O bzw. O' jeweils durch eine Schnittlinie zwischen der Objektebene fund der Verlängerung der Bildebenen Q und Q' verlaufen. Die Schnittlinien schneiden sich im Schnittpunkt C. Die beiden Objektive Obzw. O'sind jeweils in einer Ebene X bzw. X' gegenüber der optischen Achse A und A' der optischen Systeme geneigt. Die Ebenen X bzw. X' sind bestimmt durch die optischen Achsen A bzw. A 'der optischen Systeme und eine Schnittgerade DE. Diese ist die Schnittlinie zwischen der Objektebene P und einer Ebene, die senkrecht auf einer von den beiden optischen Achsen A und Λ'des Mikroskops aufgespannte Ebene steht und durch den Schnittpunkt R dieser Achsen in der Objektebene P geht.

Erfindungsgemäß sind die optischen Achsen B bzw. B' der beiden Objektive O bzw. O' in den Ebenen X bzw. .X'jeweils um den Winkel θ gegenüber den optischen Achsen A bzw. /I'des Mikroskops geneigt. Ein Objekt wird in der senkrecht zu den optischen Achsen des Mikroskops stehenden Bildebenen O und O'verzerrungsfrei abgebildet.

Die Ebenen X und X' schneiden sich längs der Linie DE unter dem Konvergenzwinkel tx. Bei einem Konvergenzwinkel von λ = 6° beträgt der Winkel θ 3°, 4° 2' und 3" 35', wenn die Vergrößerung der Objektive 1 χ, 2 χ bzw. 4 χ sind.

Selbst wenn eine Zoom-Linse mit einer Vergrößerung von etwa 0,8 bis 2,0 verwendet wird, ergibt sich nur eine kleine Änderung in der Lage der Bildebene des Objektivs. So ist es in der Praxis möglich, den Winkel θ problemlos konstant zu halten. In diesem Fall ist die Scheimpflug-Bedingung nicht ganz genau eingehalten.

In F i g. 2 ist eine Ausführungsform eines erfindungsgemäß zu verwendenden Gauss-Objektivs O dargestellt Es hat einen kleinen Vergrößerungsfaktor und läßt sich daher für ein binokulares Stereomikroskop vorteilhaft verwenden. Die optische Achse des optischen Systems ist zur Objektivebene P geneigt, die unter 60° beobachtet wird. Dieser Neigungswinkel ist konstant, so daß die verschiedenen Aberrationen des Objektivs O an seiner Peripherie um seine optische Achse B wesentlich korrigiert sind. Es ist jedoch eine symmetrische Coma an der Peripherie der Bildebene Q an sich problematisch. Durch die Verwendung des Gauss-Objektivs wird dieses Problem gelöst. Zusätzlich wird, um die Bildfläche des beobachteten Objekts flach zu halten, die Feldkrümmung an der Peripherie des Objektivs O aufrechterhalten und liegt in der Brennebene 0 des Okulars 2 senkrecht zur optischen Achse des optischen Systems, wodurch die in der Praxis verwendete Bildebene geebnet ist. Weil die Objektebene Pzur optischen Achse AA des optischen Systems um 60° geneigt ist, ist die Lage der Brennebene O des Okulars 2, die durch das geneigte Objektiv O erzeugt wird, derart berechnet, daß die Feldkrümmung von der Periipherie des Objektivs O derart hervorgerufen wird, daß sie im wesentlichen mit der Brennebene Q zusammenfällt, wodurch der Bereich vergrößert wird, innerhalb dessen das Bild verzerrungsfrei durch das Okular betrachtet werden kann. Der Astigmatismus ist relativ zur in der Praxis verwendeten Bildfläche korrigiert und die astigmatische Differenz verhältnismäßig klein.

Das in F i g. 2 dargestellte Gauss-Objektiv weist sechs Linsen auf, die in vier Linsengliedern von der Objektzur Bildseite hin zusammengefaßt sind. λ

Das erste Linsenglied ist eine sammelnde Meniskuslinse. Das zweite Linsenglicd ist eine Doppellinse bzw. ein Kittglied aus einer zerstreuenden und einer sammelnden Meniskuslinse. Das dritte Linsenglied ist wiederum eine Doppellinse bzw. ein Kittglied aus einer zerstreuenden und einer sammelnden Meniskuslinse. Das zweite und dritte LinsenglW nimmt zwischen sich eine Blende auf. Das vierte Linsenglied ist wiederum eine sammelnde Meniskuslinse. Das Objektiv O erfüllt die in den Patentansprüchen 2 bis 4 angegebenen Bedingungsgleichungen. Es bedeuten in diesen /die Gesamtbrennweite des Objektivs, /die Gesamtlänge des Objektivs Rs und Re die Krümmungsradien der Linsenflächen zu beiden Seiten der Blende, dz und <U die Linsendicken der beiden Meniskuslinsen des zweiten Linsenglieds und ds und dj die Linsendicken der beiden Meniskuslinsen des dritten Linsenglieds.

Diese Bedingungsgleichungen bewirken, daß die Feldkrümmung des Objektivs O im wesentlichen mit einer ω senlkrecht zur optischen Achse A des optischen Systems verlaufenden Bildebene O zusammenfällt, wodurch verschiedene Aberrationen der beobachteten Bildebene O so korrigiert sind, daß die Bildebene Q zur optischen Aclise B des Objektivs O geneigt ist anstelle senkrecht zur optischen Achse ausgerichtet zu sein, weil die Objektebene P zur optischen Achse A des optischen Systems derart konstant geneigt ist, daß die Lage, an der das Bild der Objektebene P entsteht, berechenbar ist und die optischen Achsen jedes optischen Systems und Objektivs den Winke! θ einschließen.

Wie aus F i g. 2 ersichtlich, ist der Teil des Objektivs O, der in der Praxis benutzt wird, nur der Teil, der einen großen Bildwinkel hat Als Folge davon ist nur dieser Teil des Objektivs O hinsichtlich der Aberration lcnrri<riert

24 Ol 740

Es genügt also, nur die achsfernen Aberrationen zu korrigieren. Weil aber die Aberration an der optischen Achse A des optischen Systems der axialen sphärischen Aberration entspricht, muß die Coma ausreichend korrigiert sein. Außerdem muß eine geeignete Feldkrümmung mit einem minimalen Astigmatismus erzeugt werden. Das dargestellte Gauss-Objektiv hat kleine asymmetrische Aberrationen, so daß die achsferne Querabberation genügend korrigiert ist. Durch Verkürzung der Gesamtlänge /des Objektivs wird eine geeignete Feldkrümmung erreicht Durch die angegebene Wahl der Krümmungsradien der beiden der Blende zugewandten Linsenflächen ist der Astigmatismus gut korrigiert

In F i g. 3 ist eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäß verwendbaren Gauss-Objektivs dargestellt, die der nach Fi g. 2 mit dem Unterschied gleicht, daß das dritte Linsenglied aus zwei Einzellinsen, nämlich

ίο einer negativen, der Blende benachbarten Meniskuslinse und einer von dieser durch einen Luftspalt trennenden positiven Meniskuslinse, besteht

In den F i g. 4 bis 7 stellt die Ordinate jeweils diejenige für die optische Achse B des betreffenden Objektivs dar. In den F i g. 4A bis 7 A ist jeweils der Astigmatismus, in den F i g. 4B bis 7B die Verzerrung, in den F i g. 4C bis 7C die achsferne Queraberration und in den F i g. 4D bis 7D die achsferne Längsaberration für die Objektive

!5 nach den Patentansprüchen 2 bis 5 dargestellt In F i g. 4A bezeichnet das Bezugszeichen 3 die optische Achse A de« optischen Systems und das Bezugszeichen 4 die Ordinate relativ zur optischen Achse A, & h. die praktische Bildebenenlage. Ein Vergleich dieser Kurven mit den entsprechenden Kurven der F i g. 8 für ein herkömmliches Objektiv verdeutlichen die guten Eigenschaften des erfindungsgemäßen Objektivs.

Hierzu 13 Blatt Zeichnungen

30

?5

40

45

50

55

60

65

Claims (6)

24 Ol 740 Patentansprüche:

1. Binokulares Stereomikroskop für Schrägbetrachtung eines Objekts unter Einhaltung der Scheimpflug-Bedingung durch jedes der beiden optischen Systeme mit einem Objektiv und einem Okular, derart, daß sich die Hauptebene und die Bildebene des Objektivs jedes der beiden optischen Systeme mit der Objektebene jeweils in einer Geraden schneiden,

und bei dem die optischen Achsen des Mikroskops, die mit den optischen Achsen der Okulare zusammenfallen, gegenüber der Objektivebene geneigt sind und sich in ihr unter einem Konvergenzwinke! schneiden,
dadurch gekennzeichnet,

ίο daß die optischen Achsen (B, B') der beiden Objektive (O, O') jeweils um einen Winkel (Θ) gegenüber den

optischen Achsen (A, A') des Mikroskops geneigt sind und daß je eine optische Achse (B, B') immer in je einer der beiden Ebenen (X X') gedreht wird, die aufgespannt werden durch je eine optische Achse (A, A') des Mikroskops und eine Schnittgerade (DE) zwischen der Objektebene (P) und einer Ebene, die senkrecht auf einer von den optischen Achsen (A, A') des Mikroskops aufgespannten Ebene steht und durch den Schnittpunkt (R) dieser Achsen in der Objektebene geht, wodurch ein Objekt in der senkrecht zu den optischen Achsen des Mikroskops stehenden Bildebenen (Q, Q') verzerrungsfrei abgebildet wird.

2. Gauss-Objektiv für die optischen Systeme des Stereotnikroskops nach Anspruch 1 mit
einem objektseitigen ersten Linsenglied aus einer sammelnden Meniskuslinse,

einem zweiten Linsenglied in Form eines Kettenglieds aus einer sammelnden und einer zerstreuenden (Meniskuslinse,

eincni dritten Linsengüed in Form eines nach einer Blende angeordneten Kittglieds aus einer zerstreuenden

und einer sammelnden Meniskuslinse,

und

einem vierten Linsenglied aus einer sammelnden Meniskuslinse, dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen die Werte der nachfolgenden Datentabelle aufweisen

/■=1 /?=2,0X NA=0,08 Ry 0,5707

³⁰ R₁ 1.2687

d, 0.035 n, 1,6583 η 573

d₂ 0.003

n\ 1,6583 "2 1,6779 ,3 1,6259 H₄ 1,6259 1,6779 n_h 1,6583

η 553 P) 35.7 V 35,7 V 553

R₃ 031^2

dj 0,039 /?4 0,7662

³⁵ (U 0.022

K₅ 02568

di 0.084 /?„ -02424

et, 0,022

dj 0,039 K* -0.3146

d» 0.003

f§ R* -1,0148

⁴⁵ d, 0,035 n_h 1,6583 ν 57.3

m Rw -0.4741

φ 1 = Jd₁ = 0.282

Pf oder Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation der folgenden Größen entstehen, aufwei-

■t> ^W sen

p 1. 0,19/· </ <0,28/;

SS 2. 023/· < R; < 0.28/;

,C 3. 0,24/· < IKh| < 0.26/; R_b < 0.

|i 55 4. 0.043/· «cc/j + d, < 0.061/;

v' 5. 0.043/· <d_b + d₇ <0.061/",und

■₍ri 6. f<\f}\ <6/γΛ<0).

fM worin bedeuten:

;^; b0 f die Brennweite des Objektivs.

Iy Λ die Brennweite des dritten l.insenglieds,

:i / die Gesamtlänge des Objektivs.

^: Ri- Rm die Krümmungsradien der Linsenflächen.

d{ — d> die Linsen- und Luftspalulieken.

si «ι — /ν die Biechungsindizes.iinil

V[ jt, die Abbe-Z.ahlen,

jeweils von der Objekt- zur Bildseite gezählt.

VA

24 Oi 740

3. Gauss-Objektiv für die optischen Systeme des Stereomikroskops nach Anspruch 1 mit einem objektseitigen ersten Linsenglied aus einer sammelnden Meniskuslinse, einem zweiten Linsenglied in Form eines Kittglieds aus einer sammelnden und einer zersteuenden Meniskuslinse,

einem dritten Linsenglied in Form eines nach einer Blende angeordneten Kittglieds aus einer zerstreuenden 5 und einer sammelnden Meniskuslinse,
und

einem vierten Linsenglied aus einer sanunelnden Meniskuslinse, dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen die Werte der nachfolgenden Datentabelle aufweisen

/=1,0; f₃ 538 c/i 0.032 πι 1,678 Vl 553 Rx 0375 Ch 0,003 0,710 d₃ 0,026 n₂ 1.658 V₂ 53,4 A3 033 (U 0,017 Πι 1,626 Vl 35,7 A4 0,719 df 0,035 Rs 0,234 du, 0,017 /7₄ 1,626 Va, 35,7 Rf, -0,243 di 0.026 -V» 1,670 V, 473 Rj -0,598 dt 0,003 Rs -031 eh 0,032 Π6 1.678 Vf, 553 R₉ -0,623 2di = 0,191 RiD -0,403 / =

i_i - 25

Vi

30

oder Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation der folgenden Größen entstehen, aufweisen 35

1. 0,19/< 1< 028 f,

2. 0,23 / < R₅ < 0,28 f,

3. 0,24 f < \R_b\ < 0,26 f,R₆<0.

4. 0,043 / < d₃ + (U < 0,061 f, ₄₀

5. 0,043/< dt + di < 0,061 £und

worin bedeuten:

45

Z^- die Brennweite des Objektivs,

Λ die Brennweite des dritten Linsenglieds,

/ die Gesamtlänge des Objektivs,

R\ — Λιο die Krümmungsradien der Linsenflächen,

d\ — d^ die Linsen-und Luftspaltdicken, 50

/i] — n₆ die Brechungsindizes, und

^i—Pt, die Abbe-Zahlen,

jeweils von der Objekt- zur Bildseite gezählt

4. Gaurs-Objektiv für die optischen Systeme des Stereomikroskops nach Anspruch 1 mit 55

einem objektseitigen ersten Linsenglied aus einer sammelnden Meniskuslinse, einem zweiten Linsenglied in Form eines Kettenglieds aus einer sammelnden und einer zerstreuenden Meniskuslinse,

einem dritten Linsenglied in Form eines nach einer Blende angeordneten Kittglieds aus einer zerstreuenden und einer sammelnden Meniskuslinse, eo

und

einem vierten Linsenglied aus einer sammelnden Meniskuslinse, dadurch gekennzeichnet, daP die Linsen die Werte der nachfolgenden Datentabelle aufweisen

24 Ol 740

10

15

20

25

30

35

^= 1.0: /, :=-4,2 di 0.031 n, 1,67« ■>Ί 55,3 Ri 0.384 d₂ 0,003 ■ΙΊ Ri 0.787 di 0,028 η, 1,658 53,4 R₁ 0,297 (U 0,017 n-, 1.626 Vt 35,7 Rt 0.716 di 0.057 Vs Ri 0.232 d» 0,017 n_t l.62f) 35.7 /?fi -0.242 di 0,028 ns 1,670 n, 47,3 Rj -0,596 A 0.003 R* -0.296 A 0,031 n_b 1,678 553 R<> -0.666 2'd = 0.215 Rto -0.408 / _

50

oder Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation der folgenden Größen entstehen, aufweisen

1. 0,19 ( < I < 0.28/;

2. 0,23 f < Ri < 02» f,

3. 0,24/■< \R₆\ < 02Sf, R₆ < 0,

4. 0,043 f < d, + cU < 0.061 f.

5. 0,043 f < dt + di < 0.061 f. und

6. f< \h\ < 6/ΥΛ < 0).

worin bedeuten:

/ die Brennweite des Objektivs.

/j die Brennweite des dritten Linsengiicds,

/ die Gesamtlänge des Objektivs,

Ri — Rw die Krümmungsradien der Linsenflächen

d\ — d* die Linsen-und Luftspaltdicken,

n_t —nt, die Brechungsindizes, und

V] — η die Abbe-Zahlen.

jeweils von der Objekt- zur Bildseite gezählt.

5. Gauss-Objekti ν für die optischen Systeme des Stcreomikroskops nach Anspruch 1 mit einem objektseitigen ersten Linsenglied aus einer sammelnden Meniskuslinse,

einem zweiten ünsenglied in Form eines Kittglieds aus einer sammelnden und einer zerstreuenden Meniskuslinse.

einem dritten Linsenglied aus einer nach einer Blende angeordneten zerstreuenden Meniskuslinse und einer sammelnden Meniskulsinse.

einem vierten Linsenglied aus einer sammelnden Meniskuslinse, dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen die Werte der nachfolgenden Datentabelle aufweisen

55

24 Ol 740

/"=1,0; Λ-· -1,3 d, 0,031 Rt 0,733 ώ 0,028 R: 3,706 di 0,031 R₁ 0,315 d< 0,018 Ra 0,602 d-, 0,042 /?5 0,284 d„ 0,018 R* -0,260 d'„ 0,014 R, -1,945 ώ 0.031 R'j -0,659 d_t 0,028 Λ» -0.326 d, 0,031 /?9 -0,952 Zd₁ = 0,272 Rto -0,390 / =

π, 1,678 ·ΐ', 50,7

/J₂ 1,649 V₂ 53,0

/ΐι 1,626 Vi 39,1 ιο

/7₄ 1.573 η 35,5

π, 1,67 η 57.3

/?b 1,678 η 55.3