DE3118607A1

DE3118607A1 - Laengenmessgeraet

Info

Publication number: DE3118607A1
Application number: DE19813118607
Authority: DE
Inventors: Kinji Kawasaki Kanagawa Takizawa
Original assignee: Mitutoyo Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1980-07-21
Filing date: 1981-05-11
Publication date: 1982-03-04
Also published as: JPS5726004U; DE3118607C2; GB2079943A; GB2079943B; US4444504A

Description

B_e_s__iC h r_e_i_b_u_n g

Die Erfindung bezieht sieht auf ein Längenmeßgerät mit einer Meßskala und einem entlang derselben beweglichen Schlitten, welcher eine Abtastskala mit einer eine Skalenteilung auf v/eisenden Oberfläche trägt, welcher einer eine Heßteilung aufweisenden Oberfläche der Meßskala in geringem Abstand gegenübersteht, so daß die Größe einer Eelativbewegung zwischen der Meßskala und dem Schlitten anhand von durch die Eelativbewegung hervorgerufenen Schwankungen der Stärke von auf die Meßskala und die Abtastskala fallendem und von diesen durchgelassenem oder reflektiertem Licht meßbar ist.

Bei einem bekannten Längenmeßgerät der vorstehend genannten Art ist eine lineare Meßskala mittels einer Halterung an einem von zwei relativ zueinander beweglichen Körpern, deren gegenseitige Eelativbewegung bzw. deren gegenseitiger Abstand geraessen werden soll, befestigbar, während der Schlitten mit dem anderen der beiden Körper verbunden ist. Die zum Zwecke einer Längenmessung ausgeführte Verschiebung der am Schlitten angebrachten Abtastskala wird mittels fotoelektrischer Einrichtungen abgetastet und für die Darstellung des Meßergebnisses ausgewertet.

Derartige Meßgeräte ermöglichen äußerst genaue Messungen von linearen ReLativbewegungen oder Abständen zwischen jeweils zwei Körpern, wobei es jedoch darauf ankommt, daß die Abtastskala mit höchster Genauigkeit gegenüber der Meßskala geführt ist. Bei bekannten Meßgeräten stützt sich ein die Abtastskala tragendes Teil des Schlittens über Gleitschuhe auf der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala ab, so daß die Abtastskala in genau gleichbleibendem, geringem Abstand über

die Meßteilung der Meßskala geführt ist. Der Ausrichtung der Abtastskala quer zur Meßskala dient wenigstens ein weiterer am Schlitten angebrachter Gleitschuh, !■reicher sich an einer zu der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala winklig ausgerichteten Fläche, beispielsweise einer Seitenfläche der Meßskala abstützt. Diese Stützfläche muß offensichtlich genau parallel zur Meßteilung der Meßskala verlaufen und darüber hinaus äußerst glatt sein, damit der oder die Gleitschuhe des Schlittens mit möglichst geringem Widerstand darauf entlang gleiten können. Eine derart genaue Bearbeitung der Stützfläche bietet beträchtliche Schwierigkeiten und ist entsprechend teuer, so daß sich die !Fertigungskosten für das Meßgerät beträchtlich erhöhen.

Ein Ziel der Erfindung ist daher die Schaffung eines Längenmeßgeräts der eingangs genannten Art, bei welcher für die genaue !Führung der Abtast skala allein die die Meßteilung tragende Oberfläche der Meßskala herangezogen wird, so daß die Notwendigkeit der genauen Bearbeitung einer weiteren Stützfläche entfällt, und dabei gleichwohl eine äußerst "genaue !Führung der Abtastskala erzielbar ist.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines Längenraeßgeräts der eingangs genannten Art wahlweise mit einer lichtdurchlässigen oder eine reflektierenden Meßskala und zxri.sch.en der die Meßteilung tragenden Oberfläche derselben und dem Schlitten angeordneten !Führungseinrichtungen, welche eine genaue Führung der Abtastskala relativ zur Meßteilung der Meßskala gewährleisten.

Bei einem Längenmeßgerät der eingangs genannten Art ist dieses Ziel gemäß der Erfindung erreicht durch zwischen dem Schlitten und der Meßskala angeordnete Führungsein-

richtungen mit einer an der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala oder an einer dieser gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens geformten, in der Bewegungsrichtung des Schlittens verlaufenden Nut und einem an der anderen der beiden Flächen befestigten, in der Nut geführten konvexen Führungsprofil.

In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß die Nut in der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala geformt ist und ein V-förmiges Erofil aufweist und daß das Führungsprofil ein einen halbkreisförmigen Querschnitt aufweisender Stab ist, welcher an der der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens befestigt ist.

In einer anderen Ausführungsform der Erfindung hat die Nut ein halbkreisförmiges Profil und ist in der der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens geformt, und das J¹Uh rungsprofil ist ein einen kreisförmigen Querschnitt aufweisender und an der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala befestigter Stab.

In der vorstehend genannten Ausführungsform sitzt das stabförmige Führungsprofil vorzugsx-ieise bis zur Hälfte in einer in der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala geformten Nut und ist mittels eines in die Nut gefüllten Klebers darin befestigt.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß eine zwischen der Meßskala und dem Schlitten eines Längenmeßgeräts der eingangs genannten Art angeordnete !führungseinrichtung ein erstes lind ein zweites Führungspaar aufweist, von denen das erste wenigstens einen am Schlitten befestigten und

auf der die Meßteilung tragenden Oberfläche der lichtdurchlässigen Meßskala gleitenden Gleitschuh und das zweite eine in der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala geformte, sich in der Bewegungsrichtung des Schlittens erstreckende und ein V-förmiges Profil aufweisende Nut und ein einen halbkreisförmigen Querschnitt aufweisendes, an der der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens befestigtes und verschieblich in der !Tut geführtes Führungsprofil aufweist.

In einer anderen vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß eine zwischen einer lichtdurchlässigen Meßskala und einem Schlitten eines Längenmeßgeräts der eingangs genannten Art angeordnete Führ imgseinrichtung ein erstes und ein zweites Führungspaar aufweist, von denen das erste wenigstens einen am Schlitten befestigten und auf der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala gleitenden Gleischuh und das zweite eine in der der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens geformte, ein halbkreisförmiges Profil aufweisende Nut sowie ein an der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala befestigtes, kreisförmigen Querschnitt aufweisendes und verschieblich in der Nut geführtes Führungsprofil aufweist.

In der vorstehend angegebenen Ausführungsform der Erfindung ist die Nut vorzugsweise in einem an der Oberfläche des Schlittens befestigten Block aus Polytetrafluoräthylen geformt.

In noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß eine zwischen einer lichtreflektierenden Meßskala und einem Schlitten eines Längenmeßgeräts der eingangs genannten Art angeordnete Führungseinrichtung

ein erstes und ein zweites !Führungspaar aufweist, von denen das erste wenigstens einen am Schlitten befestigten und auf der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala gleitenden Gleitschuh und das zweite eine in der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala geformte, in der Bewegungsrichtung des Schlittens verlaufende, V-förmige Mit sowie ein an der der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens befestigtes, einen halbkreisförmigen Querschnitt aufweisendes und verschieblich in der Mut geführtes lührungsprofil aufweist.

In einer Abwandlung der vorstehend beschriebenen Ausführungsform kann die V-förmige Fut in einer zu der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala parallelen Oberfläche einer die Meßskala tragenden Halterung geformt sein.

In den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen ist der jeweils wenigstens eine Gleitschuh vorzugsweise aus Polytetrafluoräthylen.

Die in den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen erwähnte V-fÖrmige Hut hat vorzugsweise' Jeweils einen Öffnungswinkel von ca. 90 .

Im folgenden sind Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung erläutert- Es zeigen:

3?ig. 1 eine Querschnittansicht eines bekannten Längenmeßgeräts mit lichtdurchlässiger Meßskala,

3Tig. 2 eine Ansicht im Schnitt entlang der Linie II-II in Fig. 1,

Pig. 3 eine Ansicht im Schnitt entlang der Linie III-III in Fig. 1,

lig. 4 eine Teil-Querschnittansicht eines Längenmeßgeräts in einer ersten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 5 eine Pig. 4 entsprechende Schnitt ansicht einer zweiten Ausführungsform,

Fig. 6 eine Schrägansicht von wesentlichen Teilen einer dritten Ausführungsform der Erfindung und

Pig. 7 eine Ansicht im Schnitt entlang der Linie VII-VII in Pig. 6.

Ein in Pig. 1 bis 3 dargestelltes Längenmeßgerät bekannter Ausführung hat ein beispielsweise aus Aluminium kaltgezogenes Gehäuse 10 mit einem etwa rechteckigen Querschnitt aufweisenden Innenraum, welches an einem von zwei Eörpern, deren Relativbewegung oder gegenseitiger Abstand gemessen werden soll, befestigbar ist. Eine im Gehäuse 10 geformte Längsnut 10a dient der Aufnahme einer lichtdurchlässigen, etwa aus Glas geformten Meßskala 12, welche mittels eines Gummistabs 14 und eines elastischen Klebers 16 etwa aus Silikongummibasis in der Nut 10a befestigt ist» Ein am anderen der beiden Körper befestigbares Anschlußteil 20 hat einen an der Unterseite hervorstehenden Arm 20a, an welchem ein Schlitten 22 mittels eines Pederschenkeis 24 befestigt ist. Der Federschenkel 24 ist mit einem Ende starr am Arm 20a befestigt und greift mit dem anderen Ende an einem konischen Zapfen 23 des Schlittens 22 an, um diesen in Richtung auf die Oberfläche der Meßskala 12 zu belasten. Der Schlitten 22 trägt eine Anordnung von Lichtquellen 26, eine Abtastskala 28 und eine Anordnung von den Lichtquellen 26 gegenüber an der anderen Seite der

Abtastskala 28 angebrachten Fotosensoren 30. Yon den Lichtquellen 26 ausgehende Lichtstrahlen fallen durch eine auf der Meßskala 12 vorhandene Meßteilung 12a und die mit einer komplementären Teilung versehene Abtastskala 28 hindurch auf die IPotosensoren 30. Der Schlitten 22 stützt sich über eine Anordnung von Gleitschuhen 32, 33 an der die Meßteilung 12a tragenden Oberfläche 12b der Meßskala 12 sowie an einer Seitenfläche 12c derselben ab, so daß die Abtastskala 28 in einem gleichbleibenden, äußerst geringen Abstand über der Meßskala geführt ist. Der Eintritt von Schmutz und Staub in das Gehäuse wird durch ein sich entlang einer oberen öffnung desselben erstreckendes Stahlband 3^- verhindert, welches durch im Gehäuse 10 eingebettete Magnete 36 festgehalten wird.

Bei einer zur Zeichnungsebene der !"ig. 1 lotrecht verlaufenden Relativbewegung zwischen dem an dem einen Körper befestigten Gehäuse 10 und dem am anderen der beiden zu vermessenden Körper befestigten Anschlußteil 20 treten in der Stärke des von den Lichtquellen 26 erzeugten und durch die Teilungen der Meßskala 12 und der Abtastskala hindurch auf die Fotosensoren fallenden Lichts durch die Relativbewegung hervorgerufene Schwankungen auf, auf welche die Fotosensoren 30 ansprechen, so daß auf diese Veise die Größe der Relativbewegung zwischen dem Gehäuse 10 und dem Anschlußteil 20-meßbbar ist.

In der vorstehend beschriebenen bekannten Ausführungsform eines Längenmeßgeräts dienen sowohl die die Meßteilung 12a tragende Oberfläche 12b der Meßskala 12 als auch die eine Seitenfläche 12c derselben als Bezugsflächen für die Führung des Schlittens. Dabei ist die die Meßteilung 12a tragende Oberfläche 12b der Meßskala 12 ohnehin äußerst genau bearbeitet, aus den eingangs

genannten Gründen ist jedoch auch eine äußerst genaue Bearbeitung der Seitenfläche 12c notwendig, woraus sich die vorstehend erläuterten Nachteile ergeben.

In der in Fig. 4 dargestellten ersten Ausführungsform Ü.QV Erfindung weist eine zwischen dem wie in der bekannten Ausfuhrungsform mittels eines Federschenkels an einem Arm eines Anschlußteils befestigten Schlitten 22 und einer lichtdurchlässigen Meßskala 12 angeordnete Führungseinrichtung wenigstens einen am Schlitten 22 befestigten und auf der die Meßteilung 12a tragenden Oberfläche 12b der Meßskala gleitenden Gleitschuh 32 im oberen Bereich der Meßskala auf. Im unteren Bereich der die Meßteilung tragenden Oberfläche 12b der Meßskala 12 ist eine einen Öffnungswinkel von 90° aufweisende, in der Bewegungsrichtung des Schlittens 22 verlaufende Y-förmige Nut 40 geformt, in welcher ein an der gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens befestigtes, halbkreisförmigen Querschnitt auf v/eisendes Führungsprofil 42 verschieblich geführt ist. Die auf der Seitenfläche 12c der Meßskala 12 gleitenden Gleitschuhe 33 sind hier weggelassen. Im übrigen entspricht diese Ausführungsform der in Fig. 1 dargestellten Bekannten, so daß eine weitere Beschreibung entfallen kann.

In der Ausführungsform nach Fig. 4 ist der Schlitten durch den Federschenkel in Richtung auf die die ,.Meßteilung tragende Oberfläche 12b der Meßskala 12 belastet und durch die sich an dieser Oberfläche abstützenden Gleitschuhe 32 sowie durch das sich in der V-Nut abstützende Führungsprofil 42 geführt. Das in der V-Nut 40 gleitende Führungsprofil 42 übernimmt dabei gleichzeitig die Querführung des Schlittens, so daß die Seitenfläche 12c der Meßskala 12 nicht für diesen Zweck herangezogen zu werden braucht.

In einer in 5¹Xg. 5 dargestellten zweiten Ausführungsform der Erfindung stützt sich der Schlitten 22 über daran befestigte, beispielsweise aus Polytetrafluorethylen geformte Gleitschuhe 32 auf dem oberen Bereich der die Meßteilung tragenden Oberfläche 12b der lichtdurchlässigen Meßskala 12 ab. Ein weiteres Führungspaar ist aus einer halbkreisförmigen Querschnitt aufweisenden Hut 44 in einem an der der die Meßteilung tragenden Oberfläche 12b der Meßskala 12 gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens 22 befestigten Block 43 aus Polytetrafluoräthylen und einem verschieblich in der Nut 44 geführten, kreisförmigen Querschnitt aufweisenden und an der die Meßteilung tragenden Oberfläche 12b der Meßskala 12 befestigten Führungsprofil 46 gebildet. Das Führungsprofil 46 sitzt etwa bis zur Hälfte seines Durchmessers in einer in der Oberfläche 12b der Meßskala 12 geformten !Tut 12d und ist mittels eines in die Nut gefüllten Klebers 48 darin befestigt. Des weiteren entsprechen der Aufbau und die Wirkungsweise dem- bzw. derjenigen der vorstehend beschriebenen Ausführungsform, so daß sich eine weitere Beschreibung erübrigt..

In einer in Fig. 6 und 7 gezeigten dritten Ausführungsform der Erfindung sind die Lichtquellen und Fotosensoren an der gleichen Seite einer reflektierenden, z.B. aus Metall gefertigten linearen Meßskala 50 an einem Schlitten 52 angebracht, so daß Belativbewegungen zwischen der Meßskala 50 und dem Schlitten 52 anhand ■von Schwankungen der Stärke des von der Oberfläche der Meßskala reflektierten Lichts meßbar sind.

Eine zwischen dem über den Federschenkel 24 mit dem Arm 20a des Anschlußteils 20 verbundenen und durch ihn in Richtung auf die die Meßteilung tragende Oberfläche 50a der Meßskala 50 belasteten Schlitten 52 und der Meßskala 50 angeordnete Führungseinrichtung weist hier

wiederum zwei Führungspaare auf, von denen das eine durch am Schlitten 52 befestigte Gleitschuhe 54 etwa aus Polytetrafluoräthylen und die Oberfläche 50a der Meßskala 50 gebildet ist, und das andere durch eine mit einem öffnungswinkel von 90° in einer zu der die Meßteilung tragenden Oberfläche 50a der Meßskala 50 parallelen Oberfläche einer die Meßskala 50 tragenden Halterung 56 geformte V-Nut 58 und ein an der dieser Oberfläche gegenüberliegenden Oberfläche ö.es Schlittens 52 befestigtes Führungsprofil 60 von halbkreisförmigem Querschnitt. In anderer Hinsicht entspricht diese Ausführungsform den vorstehend Beschriebenen, so daß weitere Erläuterungen nicht notwendig sind.

In den beschriebenen Ausführungsformen der Erfindung ist das In der Nut verschiebliche Führungsprofil jeweils als ein durchgehender Stab ausgeführt. Stattdessen kann es jedoch auch als ein in Längsrichtung in mehrere Stücke unterteilter Stab oder als eine Reihe von halbkugelförmigen Erhebungen ausgebildet sein.

Ferner ist die Erfindung nicht auf Ausführungsformen beschränkt, in denen das eine Führungspaar durch die Gleitschuhe und die Oberfläche der Meßskala und das andere durch die Nut und das darin verschiebliche Führungsprofil gebildet ist. Stattdessen können auch beide Führungspaare jeweils aus einer Hut und einem darin verschieblichen Führungsprofil gebildet sein.

Außerdem brauchen die Striche der Teilung auf der Abtastskala nicht, wie in den vorstehend beschriebenen Beispielen, parallel zu den Strichen der Meßteilung der Meßskala ausgerichtet zu sein, sie können vielmehr auch schräg dazu verlaufen. Im Rahmen der Ansprüche sind weitere Abwandlungen der beschriebenen Ausführungsformen möglich.

Claims

PATENTANWÄLTE

REPHESENTATiVES BEFORE THE EUROPEAN PATENT OFFICE

A. GRÜNECKER

DIPU-ING.

H. KINKELDEY

DH-ING.

W. STOCKMAIR

DH.-ING ■ AeE(CALTECH)

K. SCHUMANN

DR RER NAT ■ DtPU-PHYS

P. H. JAKOB

Dl PL-ING

G. BEZOLD

DR R£R NAt- OtPL-CHEM

MITUTOYO MEG. CO., LTD.

35-7» Shiba 5-chome, Minato-ku

Tokyo, Japan

Längenmeßgerät

8 MÜNCHEN

MAXIMILIANSTRASSE

P 16 11. Mai 1981

Pa t e ntajn

c he

Längenmeßgerät mit einer Meßskala und einem entlang derselben beweglichen Schlitten, welcher eine Abtastskala mit einer eine Skalenteilung aufweisenden Oberfläche trägt, welche einer eine Skalenteilung aufweisenden Oberfläche der Meßskala in geringem Abstand gegenübersteht, so daß die Größe einer Relativbewegung zwischen der Meßskala und dem Schlitten anhand von durch die Relativbewegung hervorgerufenen Schwankungen der Stärke von auf die Meßskala und die Abtastskala

TELEFON (OSB) 2228 63

TELEX O5-2S38O

TELEGRAMME MONAPAT

TELEFAX

fallendem und von diesen durchgelassenem oder reflektiertem Licht meßbar ist, gekennzeichnet durch zwischen dem Schlitten (22, 52) und der Meßskala (12, 50) angeordnete IHihrungseinrichtungen mit einer an der die Meßteilung tragenden Oberfläche (12b, 5Oa) der Meßskala oder an einer dieser gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens„geformten, in der Bewegungsrichtung des Schlittens verlaufenden Hut (40, 44, 58) und einem an der anderen der beiden Flächen befestigten, in der Nut geführten konvexen Führungs— profil.
2. Längenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Hut (40, 58) in der die Meßteilung tragenden Oberfläche (12b, 50a) der Meßskala (12, 50) geformt ist und ein V-förmiges Profil aufweist und daß das Führungsprofil ein einen halbkreis förmigen Querschnitt aufweisender Stab (42, 60) ist, welcher an der der die Meßteilung tragenden Fläche der Meßskala gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens (22, 52) befestigt ist.
3- Längenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Hut ein halbkreisförmiges Profil (44) hat und in der der die Meßteilung tragenden Oberfläche (12b) der Meßskala (12) gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens (22) geformt ist und daß daß-Führungsprofil ein einen kreisförmigen Querschnitt aufweisender und an der die Meßteilung tragenden Fläche der Meßskala befestigter Stab (46) ist.
4. Längenmeßgerät nach Anspruch 3, dadurch · gekennzeichnet, daß der Führungsstab (46) bis zur Hälfte in einer in der die Meßteilung tragenden Oberfläche (12b) der Meßskala geformten Hut (I2d) sitzt

und mittels eines in die Nut gefüllten Klebers in dieser befestigt ist.
5. Längenmeßgerät mit einer lichtdurchlässigen Meßskala und einem entlang derselben beweglichen Schlitten, welcher eine Abtastskala mit einer eine Skalenteilung aufweisenden Oberfläche trägt, welche einer eine Meßteilung aufweisenden Oberfläche der Meßskala in geringem Abstand gegenübersteht, so daß die Größe einer Relativbewegung zwischen der Meßskala und dem Schlitten anhand von durch die Relativbewegung hervorgerufenen Schwankungen der Stärke von auf die Meßskala und die Abtastskala fallendem und von diesen durchgelassenem Licht meßbar ist, sowie mit zwischen der Meßskala und dem Schlitten angeordneten Führungseinrichtungen, dadurch gekennzeichnet, daß die !"ührungseinrichtungen ein erstes und ein zweites Führungspaar aufweisen, von denen das erste wenigstens einen am Schlitten (22) befestigten und auf der.die Meßskala tragenden Oberfläche (12b) der Meßskala (12) gleitenden Gleitschuh (32) und das zweite eine in der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala geformte, sich in der Bewegungsrichtung des Schlittens erstreckende und ein V-förmiges Profil aufweisende Nut (40) und ein einen halbkreisförmigen Querschnitt aufweisendes, an der der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens befestigtes und verschieblich in der Nut -geführtes Führungsprofil (42) aufweist.
6. · Längenmeßgerät mit einer lichtdurchlässigen Meßskala und einem entlang derselben beweglichen Schlitten, welcher eine Abtastskala mit einer eine Skalenteilung aufweisenden Oberfläche trägt, welche einer eine Meßteilung aufweisenden Oberfläche der Meßskala in geringem Abstand gegenübersteht, so daß die Größe einer Relativ-

Λ-

bewegung zwischen der Meßskala und dem Schlitten anhand von durch die Relativbewegung hervorgerufenen Schwankungen der Stärke von auf die Meßskala und die Abtastskala fallendem und von diesen durchgelassenem Licht meßbar ist, sowie mit zwischen der Meßskala und dem Schlitten angeordneten Führungseinrichtungen, dadurch gekennzeichnet, daß die !"ührungseinrichtungen ein erstes und ein zweites Pührungspaar aufweisen, von denen das erste wenigstens einen am Schlitten (22) befestigten und auf der die Meßteilung tragenden Oberfläche (12b) der Meßskala (12) gleitenden Gleitschuh (52) und das zweite eine in der der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens geformte, ein halbkreisförmiges Profil aufweisende Mut (44) sowie ein an der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala befestigtes, kreisförmigen Querschnitt aufweisendes und verschieblich in der Hut geführtes 3?ührungsprofil (46) aufweist.
7. Längenmeßgerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Hut (44). in einem an der Oberfläche des Schlittens befestigten Block (43) aus Polytetrafluorethylen geformt ist.
8. Längenmeßgerät mit einer lichtreflektierenden Meßskala und .einem entlang derselben beweglichen Schlitten, welcher eine Abtastskala mit einer eine Skalanteilung aufweisenden Oberfläche trägt, welche einer eine Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala in geringem Abstand gegenübersteht, so daß die Größe einer !Relativbewegung zwischen der Meßskala und dem Schlitten anhand

von durch die Relativbewegung hervorgerufenen Schwankungen der Stärke von auf die Meßskala und die Abtastskala fallendem und von gener reflektiertem Licht meßbar ist, sowie mit zwischen der Meßskala und dem Schlitten ange-

ordneten IHihrungseinrichtungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Iführungseinrichtungen ein erstes und ein zweites IPührungspaar aufweisen, von denen das erste wenigstens einen am Schlitten (52) befestigten und auf der die Meßteilung tragenden Oberfläche (5Oa) der Meßskala (50) gleitenden Gleitschuh (54) und daß zweite eine in der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala geformte, in der Bewegungsrichtung des Schlittens verlaufende, V-förmige Uut (58) sowie ein an der der die Meßteilung tragenden Oberfläche der Meßskala gegenüberliegenden Oberfläche des Schlittens befestigtes, einen halbkreisförmigen Querschnitt aufweisendes und verschieblich in der Hut geführtes Führungsprofil (60) aufweist.
9. Längenmeßgerät nach Anspruch 8,. dadurch gekennzeichnet, daß die V-förmige Nut (58) in einer zu der die Meßteilung tragenden Oberfläche (50a) der Meßskala parallelen Oberfläche einer die Meßskala (50) tragenden Halterung (55) geformt ist.
10. Längenmeßgerät nach Anspruch 5₅ 6 und/oder 8, dadurch gekenn ζ e i chnet, daß der wenigstens eine Gleitschuh (32, 54) aus Polytetrafluoräthylen ist. ' ·
11. Längenmeßgerät nach Anspruch 5 und/oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die V-?förmige Nut (40, 58) einen Öffnungswinkel von 90° hat.