DE2510219C3 - Längenmeßeinrichtung - Google Patents
LängenmeßeinrichtungInfo
- Publication number
- DE2510219C3 DE2510219C3 DE19752510219 DE2510219A DE2510219C3 DE 2510219 C3 DE2510219 C3 DE 2510219C3 DE 19752510219 DE19752510219 DE 19752510219 DE 2510219 A DE2510219 A DE 2510219A DE 2510219 C3 DE2510219 C3 DE 2510219C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- scale
- scanning unit
- measuring device
- length measuring
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 12
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 13
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
ίο Die Erfindung betrifft eine Längenmeßeinrichtung
mit einem Maßstab, dessen Teilung außerhalb der neutralen Faser liegt und von einer Abtastbaueinheit
abgetastet wird, die am zu messenden Objekt angekoppelt ist und an einer von der Führung des zu
messenden Objektes unabhängigen Hilfsführung verschiebbar ist.
Bei bekannten Läügenmeßeinrichtungen (DE-OS
17 73 403) mit einem Maßstab, dessen Teilung außerhalb
der neutralen Faser liegt, bewirken Verbiegungen des Maßstabes in seiner Gebrauchslage Meßfehler.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Längenmeßeinrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die im
Hinblick auf die Meßgenauigkeit einer Meßeinrichtung mit in der neutralen Faser des Maßstabkörpers
liegenden Teilung gleichwertig ist, sich dabei aber durch eine einfache Bauweise auszeichnet.
Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe dadurch, daß die Abtastbaueinheit am zu messenden Objekt bzw.
einem daran angebrachten Mitnehmer in einer ersten Ebene in Höhe der neutralen Faser des Maßstabes und
in einer zweiten rechtwinklig dazu liegenden Ebene in Höhe der in Meßrichtung verlaufenden Mittelachse der
Teilung der Abtastbaueinheit gelenkig angekoppelt ist.
Durch die Ankopplung nach der Erfindung wird eine Kompensation von Fehlern bewirkt, die durch Deformationen des Maßstabes in seiner Gebrauchslage und
Führungsungenauigkeiten der Abtastbaueinheit hervorgerufen werden können.
Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Längemeßeinrichtung nach der Erfindung dargestellt.
Es zeigt
F i g. 1 schematisch eine erste Ausführungsform der Ankopplung nach der Erfindung,
F i g. 2 eine Seitenansicht zu F i g. 1,
F i g. 3 eine weitere Ausführungsform der Ankopplung nach der Erfindung,
F i g. 5 die Ankopplung nach der Erfindung bei einer gekapselten digitalen Längenmeßeinrichtung,
F i g. 6 einen Schnitt nach der Linie Λ-ßder F i g. 5,
F i g. 7 einen Schnitt nach der Linie C-Dder F i g. 5.
In F i g. 1 und 2 ist mit 1 der Gittermaßstab einer inkrementalen Meßeinrichtung bezeichnet. Die Abtastbaueinheit Z, die die Gitterabtastplatte 3 trägt, stützt
sich über Gleitschuhe 4 direkt am Gittermaßstab 1 ab. Ar. der Abtastbaueinheit 2 sind auch die Beleuchtungseinrichtung sowie die photoelektronischen Bauelemente te vorgesehen. In der zur Teilungsebene des Gittermaßstabes 1 senkrechten ebene ist die Abtastbaueinheit 2
über Rollen 5/6 am Träger des Gittermaßstabes 1 geführt. Dieser Träger ist in F i g. 5 ein biegesteifer
l· lohlkörper 24, an dem ein Gittermaßstab 1 befestigt ist. Die Abtastbaueinheit 2 ist über einen Mitnehmer 7 am
zu messenden Objekt, z.B. einem Maschinentisch, angekoppelt. Die Ankopplung erfolgt nach der Erfindung dadurch, daß die Abtastbaueinheit 2 in Höhe der
neutralen Faser des Gittermaßstabes 1 gelenkig am Mitnehmer 7 angekoppelt ist Das Gelenk wird in F i g. 1
durch Blattfedern 8 und 9 gebildet, deren Mittelachse in Höhe der neutralen Faser des Gittermr3stabes 1 liegt.
Die Blattfeder 8 ist dabei an der Abtastbaueinheit 2 und an einem winkelförmigen Bauteil U befestigt. Die
Blattfeder 9 ist zwischen dem Mitnehmer 7 und einem winkelförmigen Bauteil 12 angebracht Durch diese
Ankopplung der Abtastbaueinheit 2 in Höhe der neutralen Faser des Gittermaßstabes 1 werden Fehler
kompensiert, die durch Deformationen des Gittermaßstabes 1 hervorgerufen werden. Derartige Deformationen
können beispielsweise schon beim Befestigen des Gittermaßstabes 1 in seiner Halterung auftreten.
Eine besonders hohe Meßgenauigkeit kann durch eine weitere Ankopplungsmaßnahme dadurch erzielt
werden, daß die Abtastbaueinheit 2 in einer zweiten, zur vorgenannten Ankopplungsebene senkrecht liegenden
Ebene in Höhe der in Meßrichtung verlaufenden Mittelachse Mder Gitterteilung der Abtastplatte 3 bzw.
des Gittermaßstabes 1 gelenkig am Mitnehmer 7 angekoppelt ist Die Gelenke werden wieder durch
Blattfedern 13 und 14 gebildet die in Höhe der Mittelachse Mder Gitterabtastplatte 3 angebracht sind.
Die Blattfedern 13 und 14 sind an einem U-förmigen Verbindungsteil IO und an den winkelförmigen Bauteilen
Il und 12 befestigt Durch diese Ankopplung der
Abtastbaueinheit 2 in Höhe der Mittelachse M der Gitterteilung der Abtastplatte 3 können auch Fehler
kompensiert werden, die durch Führungsungenauigkeiten der Abtastbaueinheit 2 in der zur Teilungsebene des
Gittermaßstabes 1 senkrechten Ebene hervorgerufen werden.
Die Fig.3 und 4 zeigen eine Ausführungsform, bei
der die Abtastbaueinheit 2 mittels einer Blattfeder 15 in Höhe der neutralen Faser des Gittermaßstabes 1
gelenkig an einem Mitnehmer T angekoppelt ist In der anderen, dazu senkrechten Ebene ist die Abtastbaueinheit
2 aber mittels knicksteifer Drähte 16 und 17 in Höhe der Mittelachse Af der Gitterteilung der Abtastplatte 3
gelenkig am U-förmigen Mitnehmer T angekoppelt. Die Blattfeder 15 ist an der Abtastbaueinheit 2 und an
einem U-fönnigen Bauteil 18 befestigt, an dem auch die
Drähte 16 und 17 befestigt sind.
Die Fig.5 bis 7 zeigen eine lichtelektrische Längenmeßeinrichtung in gekapselter Ausführung, bei
der das in Fig. 1 dargestellte Ankopplungsprinzip mit
besonderem Vorteil angewandt ist.
Die Teilung des Gittermaßstabes 11 und die Teilung
der Gitterabtastplatte 3i werden mittels einer Lampe über einen Kondensor beleuchtet Die Beleuchtungseinrichtung
19, die die Lampe und den Kondensor enthält, ist an der Abtastbaueinheit 2<
angebracht Das die Gitter li/3i durchsetzende Licht wird auf Photoelemente
20/21 (F i g. 6) geworfen. Das elektrische Ausgangssignal der Photoelemente 20/21 wird über die Ausgänge
22/23 direkt einem elektronischen Vo:-/Rückwärtszähler
(nicht dargestellt) der im deutschen Gebrauchsmuster 74 13 290 beschriebenen Art zugeführt wird.
Der Gittermaßstab Ii und die Abtastbaueinheit 2, sind
zur Abschirmung gegen Umwelteinflüsse in einem biegesteifen Hohlkörper 24 eingebracht der zweckmäßig
aus stranggezogenem Aluminium hergestellt ist Der Gittermaßstab Ii ist am Hohlkörper 24 durch Kleben
befestigt Die Abtastbaueinheit 2i ist über Gleitschuhe 4|
direkt am Gittermaßstab Ii und über Kugellager 5i/6i
am Hohlkörper 24 geführt Ein Kugellager 25, das über eine Blattfeder 26 an der Abtastbaueinheit 2i angebracht
ist und sich am Hohlkörper 24 abstützt, drückt die Abtastbaueinheit 2i gegen die Führungsflächen am
Gittermaßstab Ii und Hohlkörper 24. Der Hohlkörper 24 ist mittels biegsamer, dachförmig angeordneter
Dichtlippen 27/28 verschlossen, durch die ein schlanker schwertförmiger Mitnehmer 29 hindurchgreift.
Die Ankopplung der Abtastbaueinheit 2, an den
Mitnehmer 29 erfolgt wie in Fig. 1 und 2 durch Blattfedern 81 und 9i bzw. 13, und 14,. Die Blattfedern 81
und 9i sind in Höhe der neutralen Faser des Gittermaßstabes !1 angeordnet Durch diese Ankopplung
können Fehler kompensiert werden, die durch Deformationen des Gittermaßstabes Ii hervorgerufen
werden. Die Blattfedern 13] und 14i sind in Höhe der
Mittelachse Aider Gitterabtastplatte 3i angeordnet.
Durch diese Ankopplung können Fehler kompensiert werden, die durch Ungenauigkeiten der Führungsbahn
am Hohlkörper 24 hervorgerufen werden. Die Blattfeder 81 ist an der Abtastbaueinheit 2| und am
winkelförmigen Bauteil Hi befestigt, die Blattfeder 9|
am winkelförmigen Bauteil 12] und dem vorspringenden Teil 7] des schwertförmigen Mitnehmers 29 angeordnet.
Die Blattfedern 13] und 14] sind am winkelförmigen Bauteil Hi und 12] und an einem U-förmigen VeiLindungsteil
10] befestigt.
Die Erfindung ist nicht auf die gezeigte lichtelektrische Meßeinrichtung beschränkt, sondern sie ist
selbstverständlich auch bei optischen, induktiven, kapazitiven Meßeinrichtungen anwendbar.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (8)
1. Längenmeßeinrichtung mit einem Maßstab, dessen Teilung außerhalb der neutralen Faser liegt
und von einer Abtastbaueinheit abgetastet wird, die am zu messenden Objekt angekoppelt ist und an
einer von der Führung des zu messenden Objektes unabhängigen Hilfsführung verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbaueinheit (2, 2i) am zu messenden Objekt bzw. einem
daran angebrachten Mitnehmer (7, 7', 7i) in einer ersten Ebene in Höhe der neutralen Faser des
Maßstabes (1, 1|) und in einer zweiten rechtwinklig dazu liegenden Ebene in Höhe der in Meßrichtung
verlaufenden Mittelachse (M) der Teilung (3,3|) der Abtastbaueinheit (2,2i) gelenkig angekoppelt ist.
2. Längenmeßeinrichtung nach Anspmch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Abtasibaueinheit (2, 2i) direkt an der die Teilung tragenden
Fläche des Maßstabes (1,Ij) abstützt.
3. Längenmeßeinrichtung nach Anspmch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbaueinheit
(2) unter Zwischenschaltung einer Blattfeder (15) in Höhe der neutralen Faser eines Gittermaßstabes (1)
am Mitnehmer (7') angekoppelt ist und in der anderen Ebene unter Zwischenschaltung von knicksteifen Drahtstücken (16,17) in Höhe der Mittelachse (M) der Gitterabtastplatte (3) gelenkig am
Mitnehmer (7') angekoppelt ist.
4. Längenmeßeinrichtung nach Anspmch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Blattfeder (15) an
der Abtastbaueinheit (2) und an einem U-förmig ausgebildeten, den Gittermaßstab (1) umgreifenden
Bauteil (18) befestigt ist, und daß die zu beiden Seiten des Gittermaßstabes (1) vorgesehenen Drahtstücke
(16, 17) am vorgenannten U-förmigen Bauteil (18) sowie an einem U-förmig ausgebildeten, den
Gittermaßstab (1) umgreifenden Mitnehmer (7') befestigt sind.
5. Längenmeßeiiirich'iung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbaueinheit (2, 2|) unter Zwischenschaltung zweier Blattfederpaare (8,9 u. i3,14 bzw. 8i, 9t u. 13i, 14|) gelenkig am
Mitnehme' (7,7', 29) angekoppelt ist.
6. Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Blattfedern (8,8| u.
9, 9i) des einen Blattfederpaares an einem winkelförmigen Bauteil (11, lli u. 12,12,) und an der
Abtastbaueinheit (2, 2i) resp. am Mitnehmer (7, 7i, 29) befestigt sind und daß die Blattfedern (13,13, u.
14, 14i) des anderen Blattfederpaares am vorgenannten winkelförmigen Bauteil (11, lli u. 12, 12t)
und an einem U-förmigen Verbindungsteil (10, 10i) befestigt sind.
7. Längenmeßeinrichtung nach Anspmch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbaueinheit
(2,) federnd gegen die Führungsflächen am Maßstab (li) und einem den Maßstab (li) und die Abtastbaueinheit (2|) gegen Umwelteinflüsse abschirmenden
biegesteifen Hohlkörper (24) gedruckt wird und sich an der Führungsfläche des Maßstabes (li) über
Gleitschuhe (4i) und an der Führungsfläche am Hohlkörper (24) über Kugellager (5|, 6|) abstützt.
8. Längenmeßeinrichtung nach Anspmch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine schräg zur
Teilungsebene des Maßstabes (11) liegende, vorzugsweise als Kugellager ausgebildete Rolle (25)
vorgesehen ist, die über eine Blattfeder (26) an der
Abtastbaueinheit (2i) befestigt ist und sich unter
Federwirkung am Hohlkörper (24) abstützt und so die Abtastbaueinheit (2|) mit definierter Kraft gegen
die Führungsflächen am Maßstab (li) und Hohlkörper (24) drückt
Priority Applications (14)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752510219 DE2510219C3 (de) | 1975-03-08 | 1975-03-08 | Längenmeßeinrichtung |
FR7536092A FR2304056A1 (fr) | 1975-03-08 | 1975-11-20 | Appareil de mesure de longueurs |
AT883975A AT357340B (de) | 1975-03-08 | 1975-11-20 | Laengenmesseinrichtung |
CH50476A CH588681A5 (de) | 1975-03-08 | 1976-01-16 | |
GB303076A GB1541285A (en) | 1975-03-08 | 1976-01-27 | Displacement measuring system |
NL7601355A NL180958C (nl) | 1975-03-08 | 1976-02-10 | Lengtemeetinrichting. |
DD19127976A DD123626A5 (de) | 1975-03-08 | 1976-02-17 | |
BE164759A BE839073A (fr) | 1975-03-08 | 1976-03-01 | Dispositif de mesure de longueurs |
CS139076A CS232704B2 (cs) | 1975-03-08 | 1976-03-03 | Zařízení k měření délek |
IT1251876A IT1080724B (it) | 1975-03-08 | 1976-03-05 | Dispositivo per la misura di lunghezze |
PL18773276A PL120591B1 (en) | 1975-03-08 | 1976-03-05 | Measuring device for measurement of length |
HU76HE706A HU173868B (hu) | 1975-03-08 | 1976-03-05 | Izmeritel'noe dlinu prisposoblenie dlja izmerenija ili ustanovki otnositel'nogo polozhenija dvukh predmetov |
JP2427076A JPS51113657A (en) | 1975-03-08 | 1976-03-08 | Length measuring device |
US05/815,092 US4152837A (en) | 1975-03-08 | 1977-07-13 | Length measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752510219 DE2510219C3 (de) | 1975-03-08 | 1975-03-08 | Längenmeßeinrichtung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2510219A1 DE2510219A1 (de) | 1976-09-16 |
DE2510219B2 DE2510219B2 (de) | 1977-09-01 |
DE2510219C3 true DE2510219C3 (de) | 1978-05-18 |
Family
ID=5940851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19752510219 Expired DE2510219C3 (de) | 1975-03-08 | 1975-03-08 | Längenmeßeinrichtung |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS51113657A (de) |
AT (1) | AT357340B (de) |
BE (1) | BE839073A (de) |
CH (1) | CH588681A5 (de) |
CS (1) | CS232704B2 (de) |
DD (1) | DD123626A5 (de) |
DE (1) | DE2510219C3 (de) |
FR (1) | FR2304056A1 (de) |
GB (1) | GB1541285A (de) |
HU (1) | HU173868B (de) |
IT (1) | IT1080724B (de) |
NL (1) | NL180958C (de) |
PL (1) | PL120591B1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3201887A1 (de) * | 1982-01-22 | 1983-08-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengenmesseinrichtung |
DE3409298C1 (de) * | 1984-03-14 | 1985-08-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmeßeinrichtung |
EP0253974A1 (de) * | 1986-06-25 | 1988-01-27 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Längen- oder Winkelmesseinrichtung |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5732407Y2 (de) * | 1976-10-27 | 1982-07-16 | ||
DE2706926C2 (de) * | 1977-02-18 | 1979-06-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE2712096C2 (de) * | 1977-03-19 | 1979-01-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Meßeinrichtung |
DE2712422C2 (de) * | 1977-03-22 | 1978-11-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
DD134986B1 (de) * | 1978-03-10 | 1980-12-24 | Gekapseltes wegmesssystem | |
DE2820753C2 (de) * | 1978-05-12 | 1980-03-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
JPS5551739U (de) * | 1978-10-02 | 1980-04-05 | ||
DE2844066C2 (de) * | 1978-10-10 | 1982-04-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE3113698C1 (de) * | 1981-04-04 | 1982-12-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte,digitale elektrische Positionsmesseinrichtung |
US4549353A (en) * | 1982-07-28 | 1985-10-29 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Displacement measuring instrument |
AT395070B (de) * | 1983-11-22 | 1992-09-10 | Emr Elektronische Mess Und Reg | Laengenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte laengenmesseinrichtung |
DE3400395C1 (de) * | 1984-01-07 | 1985-08-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Laengen- oder Winkelmesseinrichtung |
JPH0612255B2 (ja) * | 1984-05-22 | 1994-02-16 | 株式会社ミツトヨ | 直線型変位測定装置 |
JPH052804Y2 (de) * | 1986-05-21 | 1993-01-25 | ||
AT394110B (de) * | 1989-02-10 | 1992-02-10 | Rsf Elektronik Gmbh | Laengenmesssystem |
JP6074672B2 (ja) * | 2011-10-28 | 2017-02-08 | 株式会社ミツトヨ | 変位検出装置、変位検出方法及び変位検出プログラム |
JP6300431B2 (ja) * | 2012-04-27 | 2018-03-28 | キヤノン株式会社 | エンコーダ、レンズ装置、および、カメラ |
CN114646260B (zh) * | 2021-12-25 | 2024-03-22 | 力邦测控设备(洛阳)有限公司 | 一种滑靴视觉检测机 |
CN114279296B (zh) * | 2022-03-04 | 2022-05-13 | 山东丰源汽车科技有限公司 | 一种汽车板簧半长测量装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3833303A (en) * | 1972-10-06 | 1974-09-03 | Bausch & Lomb | Measuring apparatus using the moire fringe concept of measurement |
US3816003A (en) * | 1973-03-12 | 1974-06-11 | Dynamics Res Corp | Sealed linear encoder |
-
1975
- 1975-03-08 DE DE19752510219 patent/DE2510219C3/de not_active Expired
- 1975-11-20 FR FR7536092A patent/FR2304056A1/fr active Granted
- 1975-11-20 AT AT883975A patent/AT357340B/de not_active IP Right Cessation
-
1976
- 1976-01-16 CH CH50476A patent/CH588681A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-01-27 GB GB303076A patent/GB1541285A/en not_active Expired
- 1976-02-10 NL NL7601355A patent/NL180958C/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-02-17 DD DD19127976A patent/DD123626A5/xx unknown
- 1976-03-01 BE BE164759A patent/BE839073A/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-03-03 CS CS139076A patent/CS232704B2/cs unknown
- 1976-03-05 IT IT1251876A patent/IT1080724B/it active
- 1976-03-05 PL PL18773276A patent/PL120591B1/pl unknown
- 1976-03-05 HU HU76HE706A patent/HU173868B/hu unknown
- 1976-03-08 JP JP2427076A patent/JPS51113657A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3201887A1 (de) * | 1982-01-22 | 1983-08-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengenmesseinrichtung |
DE3409298C1 (de) * | 1984-03-14 | 1985-08-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmeßeinrichtung |
EP0253974A1 (de) * | 1986-06-25 | 1988-01-27 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Längen- oder Winkelmesseinrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2510219A1 (de) | 1976-09-16 |
NL180958C (nl) | 1987-05-18 |
FR2304056B1 (de) | 1981-03-27 |
PL120591B1 (en) | 1982-03-31 |
GB1541285A (en) | 1979-02-28 |
CH588681A5 (de) | 1977-06-15 |
HU173868B (hu) | 1979-09-28 |
AT357340B (de) | 1980-07-10 |
JPS51113657A (en) | 1976-10-06 |
DD123626A5 (de) | 1977-01-05 |
NL7601355A (nl) | 1976-09-10 |
JPS5627803B2 (de) | 1981-06-27 |
FR2304056A1 (fr) | 1976-10-08 |
ATA883975A (de) | 1979-11-15 |
IT1080724B (it) | 1985-05-16 |
BE839073A (fr) | 1976-07-01 |
CS232704B2 (cs) | 1985-02-14 |
DE2510219B2 (de) | 1977-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2510219C3 (de) | Längenmeßeinrichtung | |
DE2810341C2 (de) | Längenmeßeinrichtung | |
DE19912310B4 (de) | Positionsmeßeinrichtung | |
EP0120205B1 (de) | Gekapselte lichtelektrische Messeinrichtung | |
DE3243966A1 (de) | Laengenmesseinrichtung | |
DE2349944B2 (de) | Vorrichtung zur Messung der Verschiebung zwischen zwei in Bezug aufeinander beweglichen Körpern | |
EP0141123B1 (de) | Lichtelektrische inkrementale Messeinrichtung | |
DE2505585C3 (de) | Längenmeßeinrichtung | |
DE3118607A1 (de) | Laengenmessgeraet | |
DE2550840C2 (de) | Fotoelektrischer Verschiebungsgeber | |
DE2724858B2 (de) | ||
EP0040684B1 (de) | Präzisionslängenmesseinrichtung | |
EP0253992B1 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
DE2605020B1 (de) | Laengenmessgeraet | |
DE3136981C1 (de) | Fehlerkompensationseinrichtung | |
DE7507398U (de) | LängenmeBe inrichtu ng | |
EP0143773B1 (de) | Längenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte Längenmesseinrichtung | |
EP0171562B1 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
DE3409298C1 (de) | Positionsmeßeinrichtung | |
DE7807239U1 (de) | ||
DE2219624C2 (de) | Meßanordnung | |
DE2852234C3 (de) | Vorrichtung zur Auswertung von Messbildern | |
DE2845542B1 (de) | Laengenmesseinrichtung | |
DE8423946U1 (de) | Positionsmeßeinrichtung | |
DE8327325U1 (de) | Meßeinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |