JPS5836725B2 - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
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- JPS5836725B2 JPS5836725B2 JP53092261A JP9226178A JPS5836725B2 JP S5836725 B2 JPS5836725 B2 JP S5836725B2 JP 53092261 A JP53092261 A JP 53092261A JP 9226178 A JP9226178 A JP 9226178A JP S5836725 B2 JPS5836725 B2 JP S5836725B2
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000010622 cold drawing Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910000760 Hardened steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、メインスケールとこのメインスケールに対向
されたインデックススケールとの相対的な動さを光源と
受光素子とにより読みとり計測する光学式変位測定装置
に関する。
されたインデックススケールとの相対的な動さを光源と
受光素子とにより読みとり計測する光学式変位測定装置
に関する。
従来のこの種測定器は、冷間引抜きにより形成された中
空細長ケース内にガラスなどからなるメインスケールを
長手力向に沿って配置し、このメインスケールに対向し
てインデックススケールを配置し、このインデックスス
ケールを前記ケースの長手力向に沿って形成された開口
から挿入された移動部材である検出機構の腕部にスライ
ダーを介して取付け、このスライダーに発光素子および
受光素子を設けて検出機構とケースとの相対移動を両ス
ケール間で形成される明暗として受光素子で検出して測
定するものである。
空細長ケース内にガラスなどからなるメインスケールを
長手力向に沿って配置し、このメインスケールに対向し
てインデックススケールを配置し、このインデックスス
ケールを前記ケースの長手力向に沿って形成された開口
から挿入された移動部材である検出機構の腕部にスライ
ダーを介して取付け、このスライダーに発光素子および
受光素子を設けて検出機構とケースとの相対移動を両ス
ケール間で形成される明暗として受光素子で検出して測
定するものである。
また前記スライダーは検出機構の腕部に線状ばねを介し
て移動自在に設けられるとともに、この線状ばねにより
一側に付勢され、該スライダーに設けた接触子がメイン
スケールのスケール面およびスケール面と直交した側面
に当接されるようになっている。
て移動自在に設けられるとともに、この線状ばねにより
一側に付勢され、該スライダーに設けた接触子がメイン
スケールのスケール面およびスケール面と直交した側面
に当接されるようになっている。
これによりスライダーはリニアスケールのスケール面と
側面とに案内されて移動することとなり、メインスケー
ルのスケール部とインデックススケールのスケール部と
が対向した状態で移動できるようにされている。
側面とに案内されて移動することとなり、メインスケー
ルのスケール部とインデックススケールのスケール部と
が対向した状態で移動できるようにされている。
しかし、このような従来の光学式変位測定装置にあって
は、一本の線状はねによってのみメインスケールとイン
デックススケールを有するスライダーとの接触力が保た
れるため、スライダーの移動時に線状ばねが形状変形を
きたし、圧接力が変化してスライダーがメインスケール
に対して片側が浮上る場合がある。
は、一本の線状はねによってのみメインスケールとイン
デックススケールを有するスライダーとの接触力が保た
れるため、スライダーの移動時に線状ばねが形状変形を
きたし、圧接力が変化してスライダーがメインスケール
に対して片側が浮上る場合がある。
このように、リニアスケールとスライダーとの当接が不
確実になると、リニアスケールの堅縞状の目盛部とスラ
イダーに取付けられたインデックススケールの堅縞状の
目盛部とが平行でなくなり、ミスカウントの原因となっ
ている。
確実になると、リニアスケールの堅縞状の目盛部とスラ
イダーに取付けられたインデックススケールの堅縞状の
目盛部とが平行でなくなり、ミスカウントの原因となっ
ている。
本発明の目的は、メインスケールとインデックススケー
ルとが相対移動しても均一な押圧力で安定した移動を行
なうことができ光学式変位測定装置を提供するにある。
ルとが相対移動しても均一な押圧力で安定した移動を行
なうことができ光学式変位測定装置を提供するにある。
本発明は、インデックススケールを移動部材に離接動お
よび揺動できるように接続するとともに、メインスケー
ルには磁性部材を、一方、インデックススケールにはマ
グネットをそれぞれメインスケール幅方向にずらした位
置に設けることにより、メインスケール幅方向およびメ
インスケール表面垂直方向の両方向へ密着力が作用する
ように構成して前記目的を達成しようとするものである
。
よび揺動できるように接続するとともに、メインスケー
ルには磁性部材を、一方、インデックススケールにはマ
グネットをそれぞれメインスケール幅方向にずらした位
置に設けることにより、メインスケール幅方向およびメ
インスケール表面垂直方向の両方向へ密着力が作用する
ように構成して前記目的を達成しようとするものである
。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
冷間引抜き力ロエにより形或されたケース１はほぼ方形
の中空断面を有するとともに、第１図の紙面直交方向に
細長に形成され、さらに長手力向の一側面に沿ってほぼ
全長にわたり開口２を有している。
の中空断面を有するとともに、第１図の紙面直交方向に
細長に形成され、さらに長手力向の一側面に沿ってほぼ
全長にわたり開口２を有している。
前記ケース１の開口側の端面には移動部材としての検出
機構３が一対の摺動部材４を介して当接され、ケース１
の長手力向に沿って移動可能とされている。
機構３が一対の摺動部材４を介して当接され、ケース１
の長手力向に沿って移動可能とされている。
この検出機構３の下面に形成された腕部５は前記開口２
からケース１内に延設されている。
からケース１内に延設されている。
また、前記開口２の近傍のケース１の外側面にはケース
１の長手力向に沿って一対のマグネット６が設けられ、
このマグネット６に該開口２を覆うように薄肉の鉄板か
らなる閉塞部材７が吸着され、該開口２からケース１内
へ塵埃等が侵入するのが防止されている。
１の長手力向に沿って一対のマグネット６が設けられ、
このマグネット６に該開口２を覆うように薄肉の鉄板か
らなる閉塞部材７が吸着され、該開口２からケース１内
へ塵埃等が侵入するのが防止されている。
この際、検出機構３０）腕部５が挿入される部分の閉塞
部材７＆マ、該検出機構３に設けられるとともに両端が
検出機構３の下面に開口された側面山形の溝８内に挿入
され、この溝８により跨がれた状態の腕部５はケース１
内への挿入が可能となるようにされている。
部材７＆マ、該検出機構３に設けられるとともに両端が
検出機構３の下面に開口された側面山形の溝８内に挿入
され、この溝８により跨がれた状態の腕部５はケース１
内への挿入が可能となるようにされている。
前記ケース１内の長手力向に設けられた溝９内には、ガ
ラスなどからなり、一側面に縦縞状の目盛１０Ａを（第
２図参照）形成されたメインスケール１０の下端辺が挿
入され、接着剤１１などにより固定されている。
ラスなどからなり、一側面に縦縞状の目盛１０Ａを（第
２図参照）形成されたメインスケール１０の下端辺が挿
入され、接着剤１１などにより固定されている。
前記検出機構３の腕部５はケース１内に延長され、この
延長部には一側面と下面とから切欠かれた凹部５Ａが形
成されるとともに、この凹部５Ａにより切残こされた第
１図中紙面に直交した前後の壁面には長孔５Ｂがそれぞ
れ形成されている。
延長部には一側面と下面とから切欠かれた凹部５Ａが形
成されるとともに、この凹部５Ａにより切残こされた第
１図中紙面に直交した前後の壁面には長孔５Ｂがそれぞ
れ形成されている。
この長孔５Ｂにはベアリング１２を介してスライダー１
３の上端部が揺動かつ上下動自在に支持されている。
３の上端部が揺動かつ上下動自在に支持されている。
前記スライダー１３は、板材から形威された連結部材１
３Ａと、この連結部材１３Ａの一端折曲短辺にねじ止め
されるとともに前記メインスケール１０の目盛１０Ａの
ない面に対向された肉厚の発光素子取付部材１３Ｂと、
前記連結部材１３Ａの途中に上端をねじ止めされるとと
もに前記メインスケール１０の目盛１０Ａを形成された
面に対向された肉厚の受光素子取付部材１３Ｃとにより
構成され、前記ベアリング１２との取付けは、連結部材
１３Ａの上端に設けられたピン１３Ｄを介して行われて
いる。
３Ａと、この連結部材１３Ａの一端折曲短辺にねじ止め
されるとともに前記メインスケール１０の目盛１０Ａの
ない面に対向された肉厚の発光素子取付部材１３Ｂと、
前記連結部材１３Ａの途中に上端をねじ止めされるとと
もに前記メインスケール１０の目盛１０Ａを形成された
面に対向された肉厚の受光素子取付部材１３Ｃとにより
構成され、前記ベアリング１２との取付けは、連結部材
１３Ａの上端に設けられたピン１３Ｄを介して行われて
いる。
この際、各ベアリング１２の内輪の内端面と連結部材１
３Ａの側面との間にはそれぞれ皿ばね１３Ｂが介装され
、これにより連結部材１３Ａとベアリング１２の端面と
の間に間隙が形成されないようにされ、腕部５の第１図
中紙面直交方向の動きが直ちに伝達されるようになって
いる。
３Ａの側面との間にはそれぞれ皿ばね１３Ｂが介装され
、これにより連結部材１３Ａとベアリング１２の端面と
の間に間隙が形成されないようにされ、腕部５の第１図
中紙面直交方向の動きが直ちに伝達されるようになって
いる。
前記スライダー１３の連結部材１３Ａの前記メインスケ
ール１０に対向した面にはメインスケール１０と同様な
縦縞状の目盛１４Ａを有するインデックススケール１４
が固定されている。
ール１０に対向した面にはメインスケール１０と同様な
縦縞状の目盛１４Ａを有するインデックススケール１４
が固定されている。
このインデックススケール１４とメインスケール１０と
を挾んだ状態で光源としての発光素子１５とフォトトラ
ンジスタなどからなる受光素子１６とが配置されている
。
を挾んだ状態で光源としての発光素子１５とフォトトラ
ンジスタなどからなる受光素子１６とが配置されている
。
この際、発光素子１５は前記連結部材１３Ａの短辺に固
着された発光素子取付部材１３Ｂに、また、受光素子１
６は前記連結部材１３Ａの途中に固着された受光素子取
付部材１３Ｃに各２個固定されている。
着された発光素子取付部材１３Ｂに、また、受光素子１
６は前記連結部材１３Ａの途中に固着された受光素子取
付部材１３Ｃに各２個固定されている。
前記受光素子取付部材１３Ｃのインデックススケール１
４が取付けられた面には、インデックススケール１４を
挾んで２個のマグネット１７が埋込まれるとともに、こ
れらのマグネット１７の側方には該マグネット１７の中
央部よりやや下方位置にそれぞれピン１８が植設されて
いる。
４が取付けられた面には、インデックススケール１４を
挾んで２個のマグネット１７が埋込まれるとともに、こ
れらのマグネット１７の側方には該マグネット１７の中
央部よりやや下方位置にそれぞれピン１８が植設されて
いる。
このピン１８は、焼入れされた鋼材などからなり、先端
が受光素子取付部材１３Ｃの表面から突出されている。
が受光素子取付部材１３Ｃの表面から突出されている。
また、受光素子取付部材１３Ｃのインデックススケール
１４が取付けられた面の約下半分には段部１３Ｆが形戒
されるとともに、前記マグネット１７の約下半分もこの
段部１３Ｆに合わせて段部１７Ａが形成されている。
１４が取付けられた面の約下半分には段部１３Ｆが形戒
されるとともに、前記マグネット１７の約下半分もこの
段部１３Ｆに合わせて段部１７Ａが形成されている。
この段部１３Ｆが設けられることにより前記ピン１８の
下面の一部は段部１ ３Ｆから下方に露出されている。
下面の一部は段部１ ３Ｆから下方に露出されている。
このピン１３の露出された下面に対向してガイドバ−１
９が配置されている。
９が配置されている。
このガイドバー１９は、鋼条などの磁性部材から構成さ
れるとともに、前記メインスケール１０の長手力向に沿
って目盛１０Ａと平行に貼付され、前記受光素子取付部
材１３Ｃの段部１３Ｆ内に所定の間隙をもって嵌り込む
ようにされている。
れるとともに、前記メインスケール１０の長手力向に沿
って目盛１０Ａと平行に貼付され、前記受光素子取付部
材１３Ｃの段部１３Ｆ内に所定の間隙をもって嵌り込む
ようにされている。
さらに、このガイドバ−１３の狭巾の上面は精密加工に
より十分の真直度を有するようにされ、この上面に前記
ピン１Ｂが当接されている。
より十分の真直度を有するようにされ、この上面に前記
ピン１Ｂが当接されている。
即ち、磁性部材から構成されるガイドバー１９とマグネ
ット１７とはメインスケール幅方向にずれた位置に配置
されている。
ット１７とはメインスケール幅方向にずれた位置に配置
されている。
前記受光素子取付部材１３Ｃのインデックススケール１
４が取付けられた面とは反対側の面には、前記２個のマ
グネット１７の磁路を閉じさせる為のヨーク２０が取付
けられ、このヨーク２０の受光素子取付部材１３Ｃに埋
込まれた部分は両マグネット１７の裏面に接触されてい
る。
４が取付けられた面とは反対側の面には、前記２個のマ
グネット１７の磁路を閉じさせる為のヨーク２０が取付
けられ、このヨーク２０の受光素子取付部材１３Ｃに埋
込まれた部分は両マグネット１７の裏面に接触されてい
る。
また、受光素子取付部材１３Ｃの上面両端に設けられた
切矢部および下面中央の三箇所にはそれぞれローラ２１
が回転自在に設けられ、これらのローラ２１は前記メイ
ンスケール１０の目盛１０Ａが形成された面に当接可能
にされている。
切矢部および下面中央の三箇所にはそれぞれローラ２１
が回転自在に設けられ、これらのローラ２１は前記メイ
ンスケール１０の目盛１０Ａが形成された面に当接可能
にされている。
これにより、マグネット１７とガイドバ−１９との間に
働く磁力のメインスケール幅方向分力によって受光素子
取付部材１３Ｃがメインスケール１０の幅方向に吸引さ
れた時には、ビン１８がガイドバー１９の上面に当接し
て支え、一方、マグネット１７とガイドバ−１９との間
に働く磁力のメインスケール表面垂直方向分力によって
受光素子取付部材１３Ｃがメインスケール表面垂直方向
に吸引された時には、各ローラ２１がメインスケール１
０の目盛面に当接して支えるようにされている。
働く磁力のメインスケール幅方向分力によって受光素子
取付部材１３Ｃがメインスケール１０の幅方向に吸引さ
れた時には、ビン１８がガイドバー１９の上面に当接し
て支え、一方、マグネット１７とガイドバ−１９との間
に働く磁力のメインスケール表面垂直方向分力によって
受光素子取付部材１３Ｃがメインスケール表面垂直方向
に吸引された時には、各ローラ２１がメインスケール１
０の目盛面に当接して支えるようにされている。
即ち、マグネット１７とガイドバ−１９との間に働く磁
力のメインスケール幅方向分力とピン１８とによってメ
インスケール１０とインデックススケール１４のメイン
スケール幅方向相対位置が一定保持され、さらにマグネ
ット１７とガイドバ−１９との間に働く磁力のメインス
ケール表面垂直方向分力とロール２１とによってメイン
スケール１０とインデックススケール１４とのメインス
ケール表面垂直方向の距離が一定に保持されるのである
。
力のメインスケール幅方向分力とピン１８とによってメ
インスケール１０とインデックススケール１４のメイン
スケール幅方向相対位置が一定保持され、さらにマグネ
ット１７とガイドバ−１９との間に働く磁力のメインス
ケール表面垂直方向分力とロール２１とによってメイン
スケール１０とインデックススケール１４とのメインス
ケール表面垂直方向の距離が一定に保持されるのである
。
このような構成において、ケース１および移動部材とし
ての検出機構３のいずれか一方を被測定物に取付け、他
方を固定して被測定物を移動すると、メインスケーノレ
１０の目盛１０Ａとインデ゛ンクスケール１４の目盛と
の間で明暗の縞模様が発生し、この縞模様を発光素子１
５と受光素子１６とで読み取って被測定物の移動量を読
み取り、測定を行なうものである。
ての検出機構３のいずれか一方を被測定物に取付け、他
方を固定して被測定物を移動すると、メインスケーノレ
１０の目盛１０Ａとインデ゛ンクスケール１４の目盛と
の間で明暗の縞模様が発生し、この縞模様を発光素子１
５と受光素子１６とで読み取って被測定物の移動量を読
み取り、測定を行なうものである。
この際、スライダー１３はベアリング１２と長孔５Ｂと
により揺動自在かつ第１，図中上下方向移動自在に設け
られており、かつマグネット１７の段部１７Ａの下方に
磁性部材からなるガイドバ−１９が位置し両者間に密着
方向の磁力が働いているから、ピン１８がガイドバー１
９の上面に密接しかつ各ローラ２１がメインスケール１
０の目盛面に密接するように付勢されており、従って受
光素子取付部材１３Ｃはメインスケール１０に沿って安
定した移動を行なえる。
により揺動自在かつ第１，図中上下方向移動自在に設け
られており、かつマグネット１７の段部１７Ａの下方に
磁性部材からなるガイドバ−１９が位置し両者間に密着
方向の磁力が働いているから、ピン１８がガイドバー１
９の上面に密接しかつ各ローラ２１がメインスケール１
０の目盛面に密接するように付勢されており、従って受
光素子取付部材１３Ｃはメインスケール１０に沿って安
定した移動を行なえる。
このため、メインスケーノレ１０の目盛１０Ａとインデ
ックススケール１４の目盛１４Ａも正確に平行移動する
こととなり、受光素子１６によるカウントミスが発生し
ない。
ックススケール１４の目盛１４Ａも正確に平行移動する
こととなり、受光素子１６によるカウントミスが発生し
ない。
上述のように本実施例によれば、インデックススケール
１４のメインスケール１０側への密着力を、インデック
ススケール１４に設けられたマグネット１７と、メイン
スケール１０に設けられかつマグネット１７に対しメイ
ンスケール幅方向にずれた位置に設けられたガイドバ−
１９との間に働く磁力により構成しているから、スライ
ダー１３のベアリング２１とメインスケール１０、およ
びピン１８とガイドバ−１９とを浮上り等が生じること
なく安定した密接状態で摺動させることができ、メイン
スケーノレ１０の目盛１０Ａとインデックススケール１
４の目盛との傾きによるカウントミスを防止できる。
１４のメインスケール１０側への密着力を、インデック
ススケール１４に設けられたマグネット１７と、メイン
スケール１０に設けられかつマグネット１７に対しメイ
ンスケール幅方向にずれた位置に設けられたガイドバ−
１９との間に働く磁力により構成しているから、スライ
ダー１３のベアリング２１とメインスケール１０、およ
びピン１８とガイドバ−１９とを浮上り等が生じること
なく安定した密接状態で摺動させることができ、メイン
スケーノレ１０の目盛１０Ａとインデックススケール１
４の目盛との傾きによるカウントミスを防止できる。
さらに、インデックススケール１４とメインスケール１
０とのメインスケール幅方向相対位置は常に一定である
ので信号レベルが低下することもない。
０とのメインスケール幅方向相対位置は常に一定である
ので信号レベルが低下することもない。
また、スライダー１３の移動時の案内をピン１８とガイ
ドバ−１９の上面とで行なっているから、従来のメイン
スケール１０の上端面を案内するのと異なり、安価にか
つ高精度に案内できる。
ドバ−１９の上面とで行なっているから、従来のメイン
スケール１０の上端面を案内するのと異なり、安価にか
つ高精度に案内できる。
さらに、ばねなどのように不安定な形状の部材を介して
スライダー１３が腕部５に取付けられていないから、精
度のバラ゛ンキが少なくでき、かつメインスケーノレ１
０の目盛面にのみ倣ってスライダー１３が移動するから
メインスケール１０の歪等に対しても忠実に追随でき高
精度を維持できる。
スライダー１３が腕部５に取付けられていないから、精
度のバラ゛ンキが少なくでき、かつメインスケーノレ１
０の目盛面にのみ倣ってスライダー１３が移動するから
メインスケール１０の歪等に対しても忠実に追随でき高
精度を維持できる。
マグネット１７には約半分の位置に段部１７Ａがあり、
この段部１７Ａの内側に磁性材料からなるガイドバ−１
９が入り込むようになっているから、ピン１８が常時ガ
イドパー１９の上面に当接するように偏位した磁力によ
って付勢され、これによっても移動時の安定が増力日さ
れる。
この段部１７Ａの内側に磁性材料からなるガイドバ−１
９が入り込むようになっているから、ピン１８が常時ガ
イドパー１９の上面に当接するように偏位した磁力によ
って付勢され、これによっても移動時の安定が増力日さ
れる。
なお、実施にあたり、ガイドバ−１９側をマグネットと
し、マグネット１７側を単なる鉄材等にしてもよいが、
前記実施例のようにすれば安価にできるという効果があ
る。
し、マグネット１７側を単なる鉄材等にしてもよいが、
前記実施例のようにすれば安価にできるという効果があ
る。
また、マグネット１７およびガイドバー１９の形状は前
記実施例の形状に限られず、ガイドバー１９を丸棒にす
るなどいかなる形状でもよい。
記実施例の形状に限られず、ガイドバー１９を丸棒にす
るなどいかなる形状でもよい。
要するにマグネット１７とガイドバ−１９とをメインス
ケール幅方向にずらした位置に設け、スライダー１３に
取付けられたインデックススケール１４がマグネット１
７とガイドバ−１９との間に生じる磁力によってメイン
スケール１０の幅方向およびこれに垂直な方向に付勢さ
れるようにすればよい。
ケール幅方向にずらした位置に設け、スライダー１３に
取付けられたインデックススケール１４がマグネット１
７とガイドバ−１９との間に生じる磁力によってメイン
スケール１０の幅方向およびこれに垂直な方向に付勢さ
れるようにすればよい。
さらに、スライダー１３の上端部を支持するベアリング
１２は必ずしも設けなくてもよいが設ければ動作が円滑
となる利点がある。
１２は必ずしも設けなくてもよいが設ければ動作が円滑
となる利点がある。
また、メインスケール１０に当接されるベアリング２１
は低摩擦係数の樹脂からなる小片を当接させるようにし
てもよい。
は低摩擦係数の樹脂からなる小片を当接させるようにし
てもよい。
上述のように、本発明によれば、インデックススケール
のメインスケールへの圧接力が安定し、ミスカウントに
基づく測定誤差の少ない光学式変位測定装置を提供でき
るという効果がある。
のメインスケールへの圧接力が安定し、ミスカウントに
基づく測定誤差の少ない光学式変位測定装置を提供でき
るという効果がある。
第１図は本発明に係る光学式変位測定装置の一実施例を
示す断面図、第２図は第１図のメインスケールとスライ
ダーとの斜視図、第３図はスライダーの分解斜視図、第
４図はスライダーと腕部との取付状態を示す要部の一部
を切欠いた正面図である。 １・・・・・・ケース、２・・・・・・開口、３・・・
・・・検出機構、５・・・・・・腕部、１０・・・・・
・メインスケール、１０Ａ・・・・・・目盛、１３・・
・・・・スライダー、１４・曲・インデックススケール
、１４Ａ・・・・・・目盛、１５・・・・・・発光素子
、１６・・・・・・受光素子、１７・・・・・・マグネ
ット、１８・・・・・・ピン、１９・・・・・・磁性部
材からなるガイドバー。
示す断面図、第２図は第１図のメインスケールとスライ
ダーとの斜視図、第３図はスライダーの分解斜視図、第
４図はスライダーと腕部との取付状態を示す要部の一部
を切欠いた正面図である。 １・・・・・・ケース、２・・・・・・開口、３・・・
・・・検出機構、５・・・・・・腕部、１０・・・・・
・メインスケール、１０Ａ・・・・・・目盛、１３・・
・・・・スライダー、１４・曲・インデックススケール
、１４Ａ・・・・・・目盛、１５・・・・・・発光素子
、１６・・・・・・受光素子、１７・・・・・・マグネ
ット、１８・・・・・・ピン、１９・・・・・・磁性部
材からなるガイドバー。
Claims (1)
- １ 中空細長ケース内に長手力向に沿って配設され所定
間隔の目盛を形成されたメインスケールと、中空細長ケ
ースに組付けられ中空細長ケース長手方向に摺動可能な
移動部材と、この移動部材に接続されるとともにメイン
スケールに対向して配置され所定間隔の目盛を形成され
たインデックススケールと、これらのメインスケールと
インデックススケールとの相対移動を両スケールの目盛
の重なり具合により読取る光源および受光素子とを具備
した光学式変位測定装置において、インデックススケー
ルは移動部材に離接動および揺動可能に支持されるとと
もに、メインスケールに磁性部材が、インデックススケ
ールにマグネットがそれぞれメインスケール幅方向にず
れた位置に取付けられ、マグネットと磁性部材間に作用
する磁力のメインスケール表面垂直方向分力と、インデ
ックススケールに設けられメインスケール表面上を転勤
するローラとによってインデックススケールとメインス
ケール間の距離が一定に保持されるとともに、マグネッ
トと磁性部材間に作用する磁力のメインスケール幅方向
の分力とインデックススケールから突設され磁性部材側
縁部に当接する突子とによってインデックススケールと
メインスケールの幅方向相対位置が一定に保持されるよ
うに構成されていることを特徴とする光学式変位測定装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53092261A JPS5836725B2 (ja) | 1978-07-27 | 1978-07-27 | 光学式変位測定装置 |
| DE19792929488 DE2929488B2 (de) | 1978-07-27 | 1979-07-20 | Optischer Linearkodierer mit einer Linearskala |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53092261A JPS5836725B2 (ja) | 1978-07-27 | 1978-07-27 | 光学式変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5518969A JPS5518969A (en) | 1980-02-09 |
| JPS5836725B2 true JPS5836725B2 (ja) | 1983-08-11 |
Family
ID=14049456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53092261A Expired JPS5836725B2 (ja) | 1978-07-27 | 1978-07-27 | 光学式変位測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5836725B2 (ja) |
| DE (1) | DE2929488B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5726004U (ja) * | 1980-07-21 | 1982-02-10 | ||
| DE3201887C2 (de) * | 1982-01-22 | 1983-11-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| DE19803360C2 (de) * | 1997-02-10 | 2002-01-10 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Montage einer Positionsmeßeinrichtung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| DE102007033574A1 (de) * | 2007-07-19 | 2009-01-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Längenmesseinrichtung |
| KR101105045B1 (ko) * | 2009-07-28 | 2012-01-16 | 현대위아 주식회사 | 공작기계용 선형 엔코더 시스템 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5246754U (ja) * | 1975-09-12 | 1977-04-02 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2029715C3 (de) * | 1970-06-16 | 1980-07-10 | 7517 Waldbronn | Verstelleinrichtung |
| DE2207374C3 (de) * | 1972-02-17 | 1978-09-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Abdeckungseinrichtung für Meßsysteme |
| DE2213373C3 (de) * | 1972-03-20 | 1974-09-05 | Breitbach, Elmar, Dipl.-Ing., 3400 Goettingen | Körperschallwandler |
| US3833303A (en) * | 1972-10-06 | 1974-09-03 | Bausch & Lomb | Measuring apparatus using the moire fringe concept of measurement |
| JPS5713443Y2 (ja) * | 1976-12-21 | 1982-03-18 |
-
1978
- 1978-07-27 JP JP53092261A patent/JPS5836725B2/ja not_active Expired
-
1979
- 1979-07-20 DE DE19792929488 patent/DE2929488B2/de active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5246754U (ja) * | 1975-09-12 | 1977-04-02 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2929488B2 (de) | 1981-07-02 |
| JPS5518969A (en) | 1980-02-09 |
| DE2929488C3 (ja) | 1987-07-30 |
| DE2929488A1 (de) | 1980-02-07 |
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