DE2753684C2

DE2753684C2 - Drehbarer Auflagetisch für automatische Prober zur Halterung von Wafern

Info

Publication number: DE2753684C2
Application number: DE19772753684
Authority: DE
Inventors: Erich 8000 München Reitinger
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1977-12-02
Filing date: 1977-12-02
Publication date: 1982-09-30
Also published as: DE2753684A1

Description

Die Erfindung betrifft einen drehbaren Auflagetisch für automatische Prober zur Halterung von Wafern, bestehend aus einem stationären und einem drehfähigen Teil, welches eine Auflageplatte enthält, mit einer Einrichtung zur Aufheizung der Wafer und mit einer Einrichtung zur Erzeugung eines Druckes oder Vakuums an in der Auflageplatte ausgebildeten Aussparungen.

Ein AuflagetKh für Prober, der in X- und y-Richtung verschiebbar und außerdem drehfähig ist, ist bereits ₎₀ bekannt Derartige Prober dienen zur Überprüfung von elektrischen Schaltungschips, wobei mit Hilfe von Nadeln Anschlußpunkte der Schaltungschips kontaktiert werden, um die Eigenschaften der Schaltungschips messen zu können. Das Testen der Schaltungschips eines Wafers wird mit einera derartigen Prober vorzugsweise automatisch ausgeführt, infolgedessen der Auflagetisch in X- und K-Richtung verstellbar sein muß, um die jeweilig erforderliche Bewegung der Wafer bzw. Schaltungschips in eine vorbestimmte Meßstellung ausführen zu können.

Grundsätzlich führt eine Eigenerwärmung des Probers zu einer wesentlichen Erhöhung der Umgebungstemperatur und würde zu Schwierigkeiten führen, da die meisten Meßdaten für integrierte Schaltungen auf 25° C bezogen sind. Durch die Eigenerwärmung des Probers würde die Umgebungstemperatur, bei der Messungen ausführbar sind, auf ca. 36° C erhöht werden.

Der Einsatz von Peltierelementen zur Prüfung von Halbleiterschaltungen, d.h. für Kühlungs- und Heizzwecke, ist bereits aus der Zeitschrift »Electronic Industries«, Mai 1965, Seite 114 bis 115, bekannt. In der DE-OS 26 08 642 ist eine Einrichtung zum Prüfen integrierter Schaltungen beschrieben, die neben einer Vakuumverbindung eine thermoelektrische Steuerung aufweist. Bei dieser Einrichtung ist jedoch der Auflagetisch nicht drehfähig ausgebildet.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen drehbaren Auflagetisch zu schaffen, der während des gesamten Erstell- und Meßvorganges genaue und schnelle Temperaturregelungen sowie eine exakte mechanische Positionierung über einen großen Drehbereich sicherstellt.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch den Gegenstand des Patentanspruchs 1 gelöst.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Der Auflagetisch ermöglicht einen großen Drvhbereich sowie eine genaue und schnelle Temperaturregelung, wobei die vorhandenen Anschlußleitungen die exakte mechanische Positionierung nicht beeinträchtigen.

Bei dem erfindungsgemäßen drehbaren Auflagetisch werden die zu prüfenden Wafer auf die Auflageplatte aufgelegt und die darunter befindliche Einrichtung zum Heizen und Kühlen auf die erforderliche Temperatur geregelt. Damit wild sichergestellt,daß die zu testenden Wafer zu ihrer Prüfung innerhalb eines bestimmten Temperaturbereichs exakt auf konstanten Temperaturwerten gehalten werden können,

Der Temperaturbereich, innerhalb welchem die Wafer getestet werden können, liegt vorzugsweise zwischen 15°C und I25°C und läßt sich mit Schritten von I⁰C ändern: die Reproduzierbarkeit ist kleiner als 0,3°C. Die Oberfiächentemperatur der Auflageplatte und somit der aufgelegten Wafer läßt sich schnell und exakt nachregeln. Die Auflageplatte läßt sich mit der Antriebsplatte (Drehtisch) vorhandener Prober kombinieren, vorteilhafterweise kann ein schneller Anschluß zwischen der Antriebsplatte und der Auflageplatte mittels eines Schnellverschlusses hergestellt werden, wobei eine schnelle und genaue Montage der Antriebsplatte ohne Nachjustierung beim Aufsetzen auf das drehfähige Teil erreicht wird.

Die Zuleitungen wie die elektrische Verbindung und die Druck/Vakuum-Verbindung sind zwischen dem drehfähigen Teil und dem stationären Teil im Inneren des Auflagetisches angeordnet

Die Gesamthöhe des Auflagetisches ist relativ klein. Auch die Masse des Auflagetisches ist vergleichbar gering und daher dem Testrhythmus von Wafern, der vergleichbar schnell ausgeführt wird, angepaßt Der Auflagetisch läßt sich wenigstens um 360°, vorzugsweise sogar um 370° um seine Achse drehen.

Das Material des Auflagetisches weist eine hohe Oberflächengüte auf, so daß Temperaturänderungen praktisch keinen Einfluß auf die Oberflächengüte haben bzw. sich die Planparallelität mit Wp- ».en um höchstens ! 0 μ!π ändert Die an der Oberfläche der Auflageplatte ausgebildeten Aussparungen ermöglichen die Zuführung von Druckluft und damit einen An- und Abtransport der Wafer auf einem Luftpolster oder die Erzeugung eines Vakuums zum Festhalten der Wafer auf dem Auflagetisch, wobei zwischen Vakuum oder Druck umschaltbar ist.

Das nicht stationäre Teil des Auflagetisches besteht aus mehreren flachen und vorzugsweise vollständig planparallelen Bauelementen, die in Schichten übereinanderliegend angeordnet und einfach gegeneinander verschraubt sind, so daß ein Austausch einzelner derartiger Elemente mit geringem Aufwand möglich ist. Die Heiz- und Kühleinrichtung besteht vorzugsweise aus Peltierelementen, die aufgrund ihrer Größe und Genauigkeit bei der Temperaturregelung zu einer guten Reproduzierbarkeit der Meßergebnisse führen. Die Peltierelemente liegen vorzugsweise mit ihrer einen Seite an der Auflageplatte des Auflagetisches an, wobei diese Seite die Erwärmung bzw. Kühlung der Wafer bev ^:.rkt, während die andere Seite der Peltierelemente auf einer Kühlplatte angeordnet ist; dadurch läßt sich die Verlustwärme der Peltierelemente, die bei ihrem Betrieb erzeugt wird, durch einen an der Kühlplatte vorbeigeführten Luftstrom ableiten. Die Konstanthaltung der Temperatur der Peltierelemente an der Kühlplatte ermöglicht einen Kühleffekt an der gegenüberliegenden Seite, d. h. an der Auflageplatte. Zu diesem Zweck wird am stationären Teil eine Einrichtung zur Erzeugung eines Luftstromes vorgesehen.

Der Auflagetisch weist ferner als druck- oder vakuumführende Einrichtung einen Schlauch auf, dessen eines Ende mit dem stationären Teil in fester Verbindung steht, während dessen anderes Ende am Außenumfang eine'' Platte fest angeordnei ist; in dem zwischen der Platte und dem stationären Teil definierten Ringraum liegt der Schlauch nach Art einer Schleife und läßt sich aui den Umfang der Platte über einen Winkel von 0° bis j60°, vorzugsweise bis 370° auf- oder abwickeln.

Im folgenden wird eine bevorzugte Ausführurgsform des erfindungsgemäßen Auflagetisches anhand der Zeichnung beschrieben. Es zeigt

F i g. I eine teilweise im Schnitt gehaltene Ansicht des Auflagetisches.

F i g. 2 eine Schnittansicht des Auflagetisches,

F i g. 3 eine Aufsicht auf die Auflageplatte,

Fig. 4 eine Rückseitenansicht der Auflageplatte mit

Temperaturfühler,

1 ι g. 5 eine Teilaufsicht entsprechend der Schnittlinie 5-5 in Fig. 1,

F i g. 6a und 6b Teilaufsichten entlang der Linie 6-6 in Fig. 1 zur Erläuterung der Anordnung des Druck/Vakuum-Schlauchs in verschiedenen Drehlagen und eines Schnellverschlusses und

Fig. 7a und 7b Teilschnittansichten des in Fig. 6 gezeigten Schnellverschlusses.

Der Auflagetisch besteht nach F i g. I und 2 aus einem stationären und einem drehfähigen Teil. Das stationäre Teil weist einen Montagering I und einen daran angesetzten Ringflansch 2 auf. Der Montagering wird fest auf einem in F i g. I und 2 dargestellten Tisch 29 eines Probers befestigt und umfaßt die stationären Außenanschlüsse, vorzugsweise einen Stecker für die elektrische sowie Druck/Vakuum-Speisung. Die übrigen, in Fig.l und 2 gezeigten Elemente sind dem drehfähigen Teil zugeordnet.

Das drehtähige Teil enthält eine Äuuagepiaüe 3. uie m an ihrer oberen Fläche mit Aussparungen 4, vorzugsweise in Form von kreisförmig verlaufenden Rillen, versehen ist. Die Aussparungen 4 ermöglichen wahlweise das Anlegen eines Druckluftpolsters zum An- und Abtransport von auf die Oberfläche der Auflageplatte 3 aufzulegenden Wafern oder die Erzeugung eines Vakuums zum Festhalten von aufgelegten Wafern. Die Aussparungen 4 stehen über einen in Fig. 2 gezeigten Luftkanal 5 untereinander sowie mit Haupt-Luftkanälen 6, 7 in Verbindung, wobei der Luftkanal 7 zumindest teilweise aus einem Schlauch gebildet ist. Die Luftkanäle 6, 7 stehen mit einem Druck/Vakuum-Schlauch in Verbindung.

Als Heiz- und Kühleinrichtung sind bei der dargestellten Ausführungsform mehrere, vorzugsweise drei Peltierelemente 10 vorgesehen, deren eine Seite an der Auflageplatte i anliegt, während die andere Seite der Peltierelemente 10 mit einer Kühlplatte 11 in Kontakt steht. Der durch die Peltierelemente 10 festgelegte Abstand zwischen der Auflageplatte 3 und der Kühlplatte 11 wird seitlich durch einen Kühlkranz 12 mit Kühlrippen abgeschlossen. An die Kühlplatte 11 schließt sich — in Richtung von oben nach unten in F i g. 1 — ein Luftkanal 13 an, in den durch eine fest am Montagering 1 befestigte Lüftereinheit 8 Kühlluft eingeführt wird, die zur Abführung der von den Peitierelementen 10 abgegebenen Verlustwärme dient. Durch die Umpolung der Peltierelemente 10 wird der Heiz- bzw. Kühlbetrieb nach Bedarf ermöglicht. Neben dem Luftkanal 13 ist ein Distanzstück 14 mit einer Trennwand 15 angeordnet. Die Trennwand 15 legt zwischen dem Distanzstück 14 und dem Montagenng 1 eine ringförmige Aussparung fest, in der ein Ringelement 16 aus Hartgewebematerial und radial nach außen von dem Ringelement 16 weg ein oder mehrere Kabel 17 angeordnet sind. Das Kabel 17 ist spiralförmig auf das Ringelement 16 aufgewickelt. Das Ringelement 16 trägt elektrische Leiter 18, beispielsweise Anschlußstifte; außerdem ist an dem Ringelement 16 ein Ende des Kabels 17 über eine in F i g. 5 angedeutete Zugentlastung 19 befestigt Das andere Ende des Kabels 17 ist am Montagering 1 fest angeordnet und mit einem nicht dargestellten Steckanschluß verbunden.

Auf das Disunzstück 14 folgen in der beschriebenen schichtweisen Anordnung der Elemente 3,10,11 und 14 eine Montageplatte 22. die T förmigen Querschnitt hat, wie aus F i g. 1 und 2 ersichtlich ist. Der durch den T-förmigen Querschnitt gebildete Ringraum am radial nach außen liegenden Teil der Montageplatte 22 nimmt einen Druck/Vakuum-Schlauch 23 und einen ringförmigen Führungsring 24 (Fig. 6) für den Schlauch 23 auf. An der Oberseite des Schlauches 23 und des Führungsringes 24 liegt der T-förmige Teil der Montageplatte 22, während an der unteren Seite im Bereich der durch die Montageplatte 22 gebildeten Aussparung ein Schutzring 25 eingesetzt ist. Aus F i g. 2 ist ersichtlich, daß die Montageplatte 22 mit öffnungen 26 versehen ist, die gemäß F i g. 6 und 7 schlitzförmig ausgebildet sind und zur Aufnahme von an dem Probertisch 27 nach oben abstehenden Führungselementen 28 dienet). An dem oberen Ende der Führungselemente sind nach Fig. 7 Tellerfedern 40 befestigt, die zur Halterung der Montageplatte 22 nach dem Aufsetzen derselben auf den Probertisch 27 dienen. Im montierten Zustand befinden sich die Tellerfedern 40 mit ihren Führungselementen 28 in den öffnungen 26 der Montageplatte 22, wobei diese öffnungen die Montageplatte 22 aufnehmen.

F i g. 3 zeigt eine Aufsicht auf die Auflageplatte 3 mit den Aussparungen 4 zur Erzeugung eines Druckluftpolsters bzw. eines Vakuums. An der unteren Fläche der Auflageplatte 3 ist ein Temperaturfühler 30 angeordnet, der über einen der Leiter 18 und das Kabel 17 mit dem nicht gezeigten Steckeranschluß an dem stationären Teil bzw. dem Montagering 1 des Auflagetisches in Verbindung steht. Der Temperaturfühler 30 ermittelt die Temperatur der Auflageplatte 3 und somit der auf die Auflageplatte 3 aufgelegten, nicht dargestellten Wafer und ist ein Glied eines nicht weiter erläuterten Temperaturregelkreises.

In Fig. 5 ist ein Kabelpaar 17 ciargestellt, die beide spiralförmig und parallel zueinander verlaufen. Eines der beiden Kabel 17 liefert eine elektrische Verbindung zwischen dem Stecker und den Peitierelementen 10 bzw. dem Temperaturfühler 30, während das andere Kabel 17 vom Stecker zur Auflageplatte 3 führt, um letzterer ein elektrisches Potential zu verleihen, wobei die Auflageplatte in diesem Fall gegenüber den anderen Elementen des drehfähigen Teils isoliert ist. Die Kabel 17 in Fig. 5 sind in der Dreh-Mittelstellung (180°) gezeigt und sind spiralförmig und lose auf das Ringelement 16 aufgewickelt. Die Zugentlastungen 19 halten die Kabel 17 an dem Ringelement 16. Das Ringelement 16 ist mit Schlitzen zur Aufnahme von Klemmen und einem Kabelende versehen. Ferner nimmt das Ringelement 16 elektrische Leiter 18, beispielsweise Anschlußstifte, auf, mit weichen die einzelnen Adern des Kabels 17 verbunden, beispielsweise verlötet sind. Die Zugentlastung 19 ist dadurch gebildet, daß ein Ende eines Trägerelements 31 des Kabels 17 in einen Schlitz des Ringelements 16 eingesetzt und vorteilhafterweise mit einer Kunststoffgießharzmasse vergossen ist.

Nach Fig.l und 2 besteht das Kabel 17 aus dem Trägerelement 31, das flache Gestalt hat und an seiner einen Fläche mit mehreren, beispielsweise vier Leitern 32 versehen ist. Die Leiter 32 sind gegenüber dem Trägerelement 31 isoliert; Trägerelement und Leiter 32 sind von einer Umhüllung 33 umgeben. Als Material für die Umhüllung 33 wird ein aufschrumpffähiges Material verwendet, so daß nach der Herstellung des Kabels 17. d. h. nach Einbringen des Trägerelements 31 und der Leiter 32 in die Umhüllung 33 letztere durch Hitze zum Schrumpfen gebracht wird und das Trägerelement und die Leiter fest zusammenhält Als Umhüllung 33 wird vorzugsweise ein Teflonschiauch verwendet Das

Triigerelemcnt 31, vorzugsweise eine Spiralfeder, wird vorzugsweise aus Beryllium-Bronze hergestellt, wobei dieses Material einen relativ hohen Innenwiderstand hat. Das Tragerelement 31 kann selbst als Leiter benutzt werden, muß jedoch in diesem ['all wegen seines hohen -, Innenwiderstandes mit einem oder mehreren der Leiter 32 parallel geschaltet werden.

Um ü>.n Reibungswiderstand zwischen dem oder den spiralförmig verlaufenden Kabel bzw. Kabeln 17 und der Trennwand 15 beziehungsweise der Montageplatte 22 zu reduzieren, werden die dem Kabel 17 gegenüberliegenden Flächen der Trennwand und der Platte mit einer Teflonschicht versehen. Das Kabel 17 hat eine hohe Biegsamkeit bei hoher mechanischer Festigkeit. Die äußere Isolierung des Kabels 17 besteht Vorzugsweise aus strahlungsvernetztem, extrudiertem Polyvinylidenfluorid und die innere Isolierung der Leiter 32 aus strahhinßsvernetztem, extrudiertem Polyalken. Die t.eiicr 32 werden siis einer versilberter; Litze aus einer Kupferlegierung hoher Festigkeit gebildet.

Die lockere Anordnung des Kabels 17 in dem dafür vorgesehenen Raum ermöglicht eine Drehbewegung zwischen dem ein Kabelende haltenden Montagering 1, der an einem Tisch 29 des Probers befestigt ist, und dem das andere Kabelende haltenden Ringelement 16 über >i einen Drehbereich von 0° bis 370°. Der am Montagering 1 vorgesehene Stecker ist in F i g. 5 durch das Bezugszeichen 34 angedeutet. In dem Distanzstück 14 nach F i g. 5 vorgesehene, nicht bezeichnete Öffnungen bilden teilweise den Luftkanal, teilweise Durchführun- y, gen :^r schichtweisen Befestigung der einzelnen Elemente des drehfähigen Teils.

In den F i g. 6a und 6b ist die Anordnung des Druck/Vakuum Schlauchs 23 verdeutlicht. Der Schlauch 23, der mit einer Spiralfeder 35 als Stütze 3-, versehen sein kann, ist mit einem Ende, das mit 36 bezeichnet ist, am Montagering 1 fest angeordnet, während das andere Ende 37 an einem an der Montageplatte 22 fest angeordneten Nippel 38 angeschlossen ist. Die Fig. 6a und 6b zeigen, daß der Schlauch in Form einer Schleife in den Auflagetisch eingesetzt ist. E!ei Einnahme einer dem Drehwinkel 0° entsprechender Stellung des Auflagetisches ist nur ein kleiner Teil des Schlauches auf den Außenumfang der Montageplatte 22 aufgewickelt, während der größte Teil des Schlauches am Innenumfang des Montageringes 1 zur Auflage kommt. Fig. 6b zeigt dagegen eine dem Drehwinkel 370° entsprechende Stellung und es ist ersichtlich, daß der Schlauch vom Innenumfang des Montagerings 1 abgewickelt und auf den Außenumfang der Montageplatte 22 aufgewickelt ist. Auf diese Weise läßt sich ein Drehwinkel von 370° ohne mechanische Verbindung zwischen dem stationären und drehfähigen Teil des Auflagetisches erreichen. Der Anschluß 38 des Schlauches 23 an der Montageplatte 22 ist durch eine Bohrung mit einer Axialbohrung in der Montageplatte

22 verbunden, die in F i g. 2 gezeigt ist, wobei die Axialbohrung mit dem Luftkanal 7 in Verbindung steht. Der Schlauch 23 muß aus einem Material bestehen, welches hohe Knickfestigkeit und große Elastizität hat, so daß auch nach "längerem Gebrauch keine Verhärtung des Schlauchmaterials zu erwarten ist Die Spiralfeder 35, beispielsweise eine Stahlfederspirale, die den Schlauch 23 umgibt, reduziert die Reibung zwischen dem Schlauch und dessen Aiiflageflächen und verhinden außerdem eine Reibungsbelastung des Schlauches

23 selbst. Der Führungsring 24, welcher zur Führung des Schlauches 23 mit der in F i g. 6a, 6b gezeigten Schleife vorgesehen ist, ist vorzugsweise ein Teflonrmg mit einer radialen Aussparung 39. Der Führungsring 24 sitzt lose zwischen beiden Schlaiichwindiingen und hat ein dem Krümmungsradius des Schlauches an dessen Wendepunkt entsprechend gebogenes b/.w. abgerundetes linde 24a. Die den Wendepunkt des Schlauches aufnehmende Aussparung 39 gewährleistet, daß der Schlauch 23 den in den Fig. 6a, 6b gezeigten schleifenformigen Verlauf einhält. Durch diese Anordnung ist gewährleistet, daß der Schlauch 23 vom Montagering 1 weg an dessen Innenperipherie verläuft, bis sich die Richtung des Schlauches umkehrt und der Schlauch durch die Aussparung 39 des Führungsrings 24 wieder zurück verläuft, wobei er dann am Außenrand der Montageplatte 22 anliegt. Der eine Schleifenabschnitt des Schlauches 23 liegt daher zwischen der Innenfläche des Montageringes 1 und dem Führungsring 24, während der andere Schleifenabschnitt zwischen dem Führungsring iind ne.r äußeren Fläche der Montageplatte 22 angeordnet ist, vobei an der oberen Seite dieser Fläche der Montageplatte 22 ein Plattenteil oder Flanschansatz als radiale Verlängerung ausgebildet ist; die Stärke der Trennwand ist kleiner als die Stärke oder Höhe des zentralen Teils der Montageplatte, wodurch der Raum zur Aufnahme des Schlauches festgelegt ist.

Die F i g. 7a, 7b zeigen Einzelheiten der Funktion des Schnellverschlusses. Wie den F i g. 6a. 6b entnehmbar ist. sind die Öffnungen 26 in der Montageplatte 22 auf einer Seite schlitzförmig ausgebildet. Die in F i g. 7a und 7b gezeigten Führungselemente 28 mit an ihrem oberen Teil ausgebildeten Federelementen, vorzugsweise Tellerfedern 40, werden zum Montieren des Auflagetisches an einem Probertisch 27 in die kreisförmigen Bereiche der Öffnungen 26 eingesetzt. Durch Drehung der Montageplatte 22 gegenüber den Führungselementen 28 rastet der schlitzförmige Bereich der Öffnungen 26 an den Führungselementen ein. Durch die Bewegung zwischen den Führungselementen 28 und dem zugehörigen schlitzförmigen Bereich der Öffnungen 26 erfolgt nach Fig. 7 dadurch ein Zusammenpressen der Tellerfedern 40. daß die Öffnungsschlitze ansteigende Führungsflächen 41 und in der Horizontalen liegende Aufnahmeflächen 42 haben. Wenn sich die Führungselemente 28 in den kreisförmigen Abschnitten der Öffnungen 26 befinden, sind die Tellerfedern durch die Führungsflächen 41 hochgedrückt. Wenn die Tellerfedern 40 vollständig auf den Aufnahmeflächen 42 zu liegen kommen, wird durch die Tellerfedern ein Druck auf diese Aufnahmeflächen 42 ausgeübt, was zu einer festen Anordnung der Montageplatte 22 und somit des gesamten Auflagetisches auf dem Probertisch 27 führt, so daß das drehfähige Teil die Drehung des Probers übernehmen kann. Gleichzeitig mit der Montage der Montageplatte 22 auf dem Probertisch 27 erfolgt aufgrund einer kreisförmigen Anordnung der Öffnungen 26 in der Montageplatte 22 eine Justierung zwischen dem Auflagetisch und dem Probertisch 27. Der Aufiagetisch ist aufgrund einer Bewegung des Probertisches in X- und y-Richuing zusammen mit dem Probertisch in diesen Richtungen bewegbar und außerdem drehfähig, wobei alle Anschlüsse zwischen dem Probertisch und dem stationären Teil des Auflagetisches ebenfalls stationär ausführbar sind. Die wegen der Drehbarkeit des Auflagetisches bzw. dessen drehfähigen Teil erforderlichen Verbindungen sind sehr einfach und unterliegen praktisch keinem Verschleiß, so daß der Auflagetisch praktisch wartungsfrei ist.

Die einzelnen Bauelemente des in den Figuren

gezeigten Auflagetisches, beispielsweise die Auflageplatte 3, die Kühlplatte 11, das Distanzstück 14 mit der Trennwand und die Montageplatte 22 sind geläppt, wodurch eine exakte Planparallelität zwischen den einzelnen Bauelementen und somit der oberen Fläche der Auflageplatte 3 gegenüber dem Probertisch 27 erreicht wird. Die Oberfläche der Auflageplatte 3 kann darüber hinaus poliert und vergoldet sein. Die einzelnen Elemente des diehfähigen Teils des Auflagetisches sind gegeneinander verschraubt oder anderweitig gegenein-

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ander befestigt; zu diesem Zweck sind in den einzelnen Elementen des drehfähigen Teils miteinander fluchtende Bohrungen od* " Öffnungen vorzusehen.

Dem Anschluß 34, der am Montagering 1 fest montiert ist, is! vorzugsweise ein Kupplungsstück zugeordnet, welches am Probertisch befestigt ist, infolgedessen bezüglich des Elektroanschlusses Kabelverbindungen zwischen dem Auflagetisch bzw. dessen Montagering 1 und dem Teil des Probertisches entfallen, an welchem der Montagering 1 befestigt ist.

Hierzu 6 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Drehbarer Auflagetisch für automatische Prober zur Halterung von Wafern, bestehend aus einem stationären und einem drehfähigen Teil, welches eine Auflageplatte enthält, mit einer Einrichtung zum Heizen und Kühlen der Wafer und mit einer Einrichtung zum Anlegen eines Druckes oder Vakuums an in der Auflageplatte ausgebildeten Aussparungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Heizen und Kühlen der Wafer im drehfähigen Teil (3,11) vorgesehen ist, daß das stationäre Teil (1. 2, 29) einen Anschluß (34) zu einer externen Speiseeinrichtung aufweist und daß von dem Anschluß (34) am stationären Teil (1,2,29) ₎₅ zum drehfähigen Teil durchgehende Verbindungsleitungen vorgesehen sind.

2. Auflagetisch nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Heiz- und Kühleinrichtung aus Peltierelementen (10) besteht

3. Auflagfcusch nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im drehfähigen Teil ein Temperaturfühler (30) angeordnet ist.

4. Auflagetisch nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der drehfähige Teil einen Schnellverschluß (22, 28) zur Verbindung mit dem Probertisch (27) aufweist

5. Auflagetisch nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Schnellverschluß (22, 28) eine Montageplatte (22) aufweist, die am drehfähigen Teil befestigt ist und daß in der Montageplatte (22) öffnungen (26} zur Befestigung an Verbindungselementen (28,40) vorgesehen sind

6. Auflagetisch nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungselemente (28, 40) Stifte aufweisen, auf welchen Tellerfedern (40) angeordnet sind.

7. Auflagetisch nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an dem drehfähigen Teil eine Kühlplatte (11) vorgesehen ist.

8. Auflagetisch nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Verbindungsleitung (17, 18) aus wenigstens einem spiralförmig angeordneten Kabel (17) sowie im drehfähigen Teil fest angeordneten elektrischen Leitern (18) besteht.

9. Auflagetisch nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Kabel (17) aus einem metallenen Trägerelement (31) und einem gegenüber dem Trägerelement isolierten Leiter (32) besteht und daß das Trägerelement (31) und die Leiter (32) von einer Umhüllung (33) umgeben sind.

10. Auflagetisch nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement (31) aus Beryllium-Bronze hergestellt ist.

11. Auflagetisch nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Umhüllung (33) auf das Trägerelement (31) und die Leiter (32) aufgeschrumpft ist.

12. Auflagetisch nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Umhüllung (33) ein Teflonschlauch ist.

13. Auflagetisch nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ende des spiralförmig angeordneten Kabels (17) dem drehfähigen Teil zugeordnet und über ein Ringclemcnl (16) an dem clrehfähigcn Teil befestigt ist, wobei das Ringelement (16) eine Kabelzugentlastung (19) aufweist.

14. Auflageiisch nach Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Leiter (18) durch Anschlußstifte gebildet und andern Ringelement (16) befestigt sind,

15. Auflagetisch nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Anschlußstift der elektrischen Leiter (18) eine Verbindung zwischen dem Kabel (17) und dem Temperaturfühler (30) herstellt

16. Auflagetisch nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Montageplatte (22) des Schnellverschlusses und das stationäre Teil (1,2,29) eine ringförmige Aussparung zur Aufnahme einer Druck/Vakuum-Verbindung festlegen.

17. Auflagetisch nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet daß die Druck/Vakuum-Verbindung durch einen Schlauch (23) gebildet ist, welcher in der ringförmigen Aussparung verlagerbar ist

18. Auflagetisch nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet daß in der ringförmigen Aussparung ein Führungsring (24) mit Aussparung (39) vorgesehen ist, daß der Schlauch (23) von einem Ende (36) über eine erste Tciüänge der innenfläche des Führungsringes zur Aussparung (39) und über seine zweite Teillänge an der Außenfläche des Führungsringes zurück zum anderen Ende (37) verläuft wobei die beiden Teillängen durch eine Drehung des Führungsringes (24) veränderbar sind.

19. Auflagetiscn nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das andere Ende (37) des Schlauches (23) an einem an der Montageplatte (22) fest angeordneten Nippel (38) befestigt ist und mit Luftkanälen (5, 6, 7) im drehfähigen Teil in Verbindung steht, daß das andere Ende (36) am stationären Teil (1, 2, 29) befestigt ist, und daß die Luftkanäle (5, 6, 7) mit den Aussparungen (4) in der Auflageplatte (3) in Verbindung stehen.

20. Auflagetisch nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Schlauch (23) von einer Spiralfeder (35) umgeben ist.

21. Auflagetisch nach Anspiiich 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Luftkanal (7) zumindest teilweise aus einem Schlauch gebildet ist.

22. Auflagetisch nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das drehfähige Teil von einem Kühlkranz (12) umgeben ist.

23. Auflagetisch nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kühlplatte (11) vorgesehen ist, an welche sich ein Luftkanal (13) anschließt.

24. Auflagetisch nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Ringelement (16) ein scheibenförmiges DistanzstUck (14) umgibt, welches zwischen der Montageplatte (22) des Schnellverschlusses und dem sich an die Kühlplatte (11) anschließenden Luftkanal (13) angeordnet ist.

25. Auflagetisch nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß das Distanzstück (14) eine sich in Radialrichtung erstreckende Trennwand (15) aufweist.

26. Auflagetisch nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das stationäre Teil einen Montagering (l) mit angesetztem Ringflansch (2) zur Befestigung an einem Tisch (29) aufweist.

27. Auflagetisch nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an dem stationären Teil im Bereich dessen Montageringes (1)cine Lüftereinheit (8) angeordnet ist.